DE1917551B2

DE1917551B2 - Ultraschall-verzoegerungsleitung mit einem glasverzoegerungsmedium und verfahren zu ihrer herstellung

Info

Publication number: DE1917551B2
Application number: DE19691917551
Authority: DE
Inventors: Shigeru; Mikoda Masanari; Osaka Hayakawa (Japan)
Original assignee: Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Current assignee: Panasonic Holdings Corp
Priority date: 1968-04-09
Filing date: 1969-04-01
Publication date: 1976-04-08
Also published as: SE365132B; DE1917551A1; NL152414B; NL6905468A; FR2005838A1; NO125654B; US3550044A; GB1268942A

Description

Stellen. 50 Erfindungsgemäß wird diese Aufgabe dadurch

5. Verfahren zur Herstellung des Verzögerungs- gelöst, daß die äußere Zone eine durch Eindiffusion mediums einer Ultraschall-Verzögerungsleitung solcher zusätzlicher monovalenter Ionen in ein die nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, Grundelemente enthaltendes Grundglas hergestellte daß ein Silberlack aus Silberpulver mit einer Zone ist, deren lonenradius kleiner ist als der der Teilchengröße von weniger als 2 μ an der unbe- 55 Grundelemente.

nutzten Fläche auf das Grundglas aufgebracht Eine Weiterbildung der Erfindung besteht darin, daß

und das Grundglas auf eine Temperatur zwischen die Sauerstoffatome durch Fluoratome in einer Menge der Übergangstemperatur und der Erweichungs- von weniger als 10 Atomprozent ersetzt sind. Bei temperatur des Grundglases erwärmt wird, um dieser Weiterbildung ist vorteilhaft, daß die unerdie Diffusionsschichten für den Außenbereich 60 wünschten Signale wirkungsvoller unterdrückt werden, herzustellen. Eine Verfahrensmaßnahme zur Herstellung des

Verzögerungsmediums der Ultraschall-Verzögerungsleitung besteht darin, daß man das Grundglas in eine

Salzschmelze aus Silberhalogenid, Lithiumcarbonat 65 oder Natriumnitrat taucht, um die Diffusionsschicht

zur Ausbildung des Außenbereiches herzustellen, und

Jltraschall-Verzögerungsleitung mit einem Glas- daß man die so hergestellte Diffusionsschicht an den zögerungsmedium, mit Kalium oder Fluoroxid als benutzten Oberflächen entfernt.

3 ^V 4

Eine weitere Verfahrensmaßnahme zur Herstellung Die Wandler oder Übertrager 2 und 3 bestehen aus

4es Verzogerungsmediums der Ultraschall-Verzö- einem piezoelektrischen Material wie Bariumtitanat

gerungsleitung besteht dann, daß man an der unbe- oder Quarz oder aus einem polykristaliinkchen piezo-

putzten Flache eine L-maille aus Glasfritte mit Li- elektrischen Material, wie Bleititanat-Zirkonat oder

foiumionen, Natnumionen oaer Silberionen auf das 5 Blei-Magnesium-Niobat-Titanat-Zirkonat. Dasammei-

Orundglas aufbringt und das Grundglas auf eine sten bevorzugte piezoelektrische keramische Material

Temperatur zwischen der Ubergangstemperatur und besteht aus Blei-Magnesium Niobat-Titanat-Zirkonat

4er Erweichungstemperatur des Grundglases erwärmt, in der rhombohedralen Phase, da der wesentliche Wert

_Bm /he Diffusionsschicht fur den Außenbereich kV/ε* größer ist als bei anderen keramischen Mate-

fcerzustellen. _{10 r}j_aij_{erL Die} Wandler oder Übertrager 2 und 3 werden

Dabei ist vorteilhaft, daß die Ultraschall-Ver- von den Verbindungsgliedern 4 und 5 mit den Ein-

jogerungsleitung sehr leicht herzustellen ist. gangs- und Ausgangsflächen des Verzogerungsmediums

Eine weitere Verfahrensmaßnahme zur Herstellung i fest in Berührung gehalten. Nach der Erfindung wertes Verzögerungsmediums der Ultraschall-Verzöge- den beide Flächen an den Wandlern und am Medium rungsleitung besteht dann, daß man einen Silberlack 15 nach dem herkömmlichen Aufdampfungsverfahren »us Silberpulver mit einer Teilchengröße von weniger metallisiert und durch ein Lötmittel miteinander tis 2 μ an der unbenutzten Fläche auf das Grundglas verbunden, wobei ein die Verbindungsglieder 4 und 5 •ufbringt und das Grundglas auf eine Temperatur bildender dünner Film erzeugt wird. Durch Koniwischen der Übergangstemperatur und der Erwei- trollieren der Dicke des Lötmittelfilmes kann die chungstemperatur des Grundglases erwärmt, um die 20 Dicke der Verbindungsglieder 4 und S ohne Schwierig-Diffusionsschichten für den Außenbereich herzustellen. keiten mit nur 5 μΐη bemessen werden. Das Lötmittel Dadurch wird erreicht, daß auf diese Weise die Ultra- kann aus Blei, Zinn, Indium, Wismut und Kadmium ichall-Verzögerungsleitung am leichtesten hergestellt bestehen. Mit Hilfe des beschriebenen Lötverfahrens werden kann. k_ann f_{ur e}j_ne Abscherwelle von einigen Megahertz

An Hand der Zeichnungen werden bevorzugte 25 bei der Verbindung eine Dicke von A/100 leicht

Weiterbildungen der Erfindung näher erläutert. erzielt werden. Die Abdeckglieder 6 und 7 weisen

In den Zeichnungen ist die vorzugsweise eine mechanische Impedanz auf, die

F i g. 1 eine zum Teil als Schnitt gezeichnete Seiten- ungefähr der Impedanz der Wandler entspricht,

ansicht einer akustischen Festkörper-Verzügerungs- und können aus einem Lötmittel mit einem nied-

leitung, 30 rigen Schmelzpunkt hergestellt v/erden, z. B. aus

F i g. 2 ein Querschnitt durch die Verzögerungs- Newton-Metall oder aus einer Silberfarbe. Das

leitung nach der F ig. 1, Newton-Metall besteht aus 32% Blei, 52% Wis-

F i g. 3 eine graphische Darstellung der Verteilung mut und 16% Zinn. Die Abdeckung glättet das

des mechanischen Gütefaktors Q im Verzögerungs- Ansprechen, beeinträchtigt jedoch die Dämpfung der

medium längs der in der F i g. 2 dargestellten Lei- 35 Verzögerungsleitung. Die Abdeckuns wird daher in

tung, Verzögerungsleitungen nicht immer benutzt. Die

F i g. 4 eine graphische Darstellung der Ver- schematisch dargestellten elektrischen Kreise 8 und 9

änderungen von Störsignalen innerhalb von Zeit- können die bei Verzögerungsleitungen im allgemeinen

perioden, in denen die Verzögerungsmedien in ge- verwendeten verschiedenen Schaltungselemente ent-

schmolzenem Silberchlorid eingetaucht sind, 40 haken. Der Belag 10 besteht vorzugsweise aus einem

F i g. 5 eine graphische Darstellung der Verände- weichen Harz.

rungen von Störsignalen innerhalb von Zeitperioden, Die F i g. 3 zeigt in graphischer Darstellung den

in denen auf ein Glasmedium eine Silberpaste auf- mechanischen Gütefaktor an einer Stelle der Linie 11

gebrannt wird, in der F i g. 2, wobei die Bezugszahlen auf der waage-

F i g. 6 eine graphische Darstellung der Verände- 45 rechten Achse in der F i g. 3 den Positionen mit den

rungen von Störsignalen innerhalb von Zeitperioden, gleichen Bezugszahlen in der F i g. 2 entsprechen,

in denen auf ein Glasmedium eine Glasur aufgebrannt Eine innere Zone 17 des Verzogerungsmediums

wird, weist einen hohen mechanischen Gütefaktor Q auf.

F i g. 7 ein Querschnitt durch eine Ultraschall- Der mechanische Gütefaktor Q in der Außenzone 16

Festkörper-Verzögerungsleitung für ein Farbfernseh- 50 liegt im Bereich zwischen einem niedrigen Wert an der

system. unbenutzten Fläche 18 bis zum genannten hoher

Die in der F i g. 1 dargestellte einfache Verzöge- Wert an der Zwischenfläche mit der inneren Zone 17

rungsleitung weist auf ein Verzcgerungsmedium 1, Die im Medium 1 erregte Hauptwelle pflanzt sich

die Wandler oder Übertrager 2 und 3, die Verbin- hauptsächlich in der inneren Zone 17 fort. Die aus dei

dungsglieder 4 und 5, die Abdeckglieder 6 und 7, 55 Strahlausbreitung und den Seitenkeulen des Diffrak-

die elektrischen Signaleingangs-und-ausgangskreise 8 tionsmusters herrührende Energie gelangt in di«

und 9 und einen Belag 10. Das Verzögerungsmedium 1 Zone 16 und wird vernichtet auf Grund viskosei

besitzt eine unbenutzte Fläche 21 und die benutzte·! Dämpfung, thermischer Effekte und einer spannungs

Flächen, etwa die Eingangsfläche 22 und die Ausgangs- induzierten Wanderung, so daß die Energie zu

fläche 23, mit denen die Wandler 2 und 3 über die 60 inneren Zone nicht zurückkehrt.

Verbindungsglieder 4 und 5 in Verbindung stehen. Bei den bekannten Verzögerungsleitungen wurdei

Das Verzögerungsmedium 1 kann jede herkömmliche solche Störsignale durch einen absorbierenden Belaj

Form aufweisen z. B. die Form eines langgestreckten auf der unbenutzten Fläche 18 gedämpft. Da es jedocl

Zylinders, einer Scheibe, einer polygonalen Platte mit unmöglich ist, die mechanischen Impedanzen de

Reflexionsflächen usw. Das Verzögerungsmedium wird 65 Verzogerungsmediums und des Absorbierungsmittel

aus bekannten Materialien geformt z. B. aus geschmol- aneinander anzupassen, wird ein Teil der auffallende!

zenem Quarz, Alkali-Blei-Silizium-Glas oder aus Energie an der Fläche 18 reflektiert und erzeugt an

Alkali-Blei-Silizium-Fluoroxidglas. Ausgang Störsignale.

Das Verzögerungsmedium nach der Erfindung kann mittels einer Oberflächenbehandlung erzeugt werden, wobei von der unbenutzten Fläche 18 aus geeignete Ionen in das Medium hineindiffundieren. Bei dieser Oberflächenbehandlung wird ein die gewünschte Form aufweisender Körper des Mediums in ein Bad eines geschmolzenen Salzes getaucht, das die geeigneten Ionen enthält, oder es wird ein Körper des Mediums erhitzt, der mit einer Glasur oder einer Paste beschichtet ist, die die zu diffundierenden Ionen enthält. Die genannten Ionen müssen den mechanischen Gütefaktor Q des Mediums herabsetzen. Die Dicke der äußeren Zone 16, d. h. die Strecke zwischen 12 und 13 in den F i g. 2 oder 3, wird von der Temperatur und von der Zeitdauer des Eintauchens bestimmt, wobei das Störsignal, nicht jedoch das Hauptsignal geschwächt wird. Die Größe und die Verteilung des mechanischen Gütefaktors Q in der Zone 16 hängt von der Menge und von der Verteilung der diffundierten Ionen ab. Da im vorliegenden Falle die Zusammensetzung sich allmählich von der inneren Zone aus zur unbenutzten Fläche 18 des Mediums ändert, so vernichtet die in die Außenzone einfallende Schallwelle die Energie, ohne in die innere Zone 17 zurückreflektiert zu werden.

Es kann jedes geschmolzene Salz verwendet werden, solange das Medium nach dem Eintauchen eine Verteilung des mechanischen Gütefaktors Q entsprechend der Kurve nach der F i g. 3 aufweist. Silber-, Lithiumoder Natrium-Ionen diffundieren in erheblichem Ausmaß bei einer Temperatur in ein Glas hinein, die innerhalb des Bereiches zwischen der Übergangstemperatur und der Erweichungstemperatur liegt und die eine Herabsetzung des mechanischen Gütefaktors Q bewirkt. Besonders zu bevorzugen sind geschmolzene Silbersalze, geschmolzenes Lithiumsalz oder geschmolzenes Natriumsalz, z. B. Silberhalogen, Lithiumkarbonat oder Natriumnitrat. Die Ionendiffusion in einen Glaskörper hinein wird vorzugsweise innerhalb eines Temperaturbereiches zwischen der Übergangs-Tabelle 1

temperatur und der Erweichungstemperatur des Glaskörpers durchgeführt. Unterhalb der Übergangstemperatur erfolgt keine wesentliche Diffusion, und oberhalb der Erweichungstemperatur verformt sich der Glaskörper als Folge einer viskosen Strömung. Nach der Immersion werden die Diffusionsschichten an den Flächen, an denen die Wandler oder Übertrager angebracht werden sollen, z. B. durch Fräsen oder Polieren entfernt.

ίο Die F i g. 4 zeigt die Veränderungen der Störsignale in einer Verzögerungsleitung für verschiedene Eintauchzeiten, wenn die Verzögerungsleitungen aus einem Glasmedium hergestellt werden, das in geschmolzenes Silberchlorid mit einer Temperatur von 550⁰C eingetaucht wurde. Das Oxidglas setzt sich wie folgt zusammen: 73 Molprozent SiO₂, 19,1 Molprozent PbO, 7,9 Molprozent K₂O. Für das Fluoroxidglas gelten folgende Werte: 72 Molprozent SiO₂, 15,5 Molprozent PbO, 3,2 Molprozent PbF₂, 7 MoI-

prozent K₂O, 1,5 Molprozent AI₂O₃ und 0,8 Molprozent As₂O₃. Diese Zusammensetzungen eignen sich als Verzögerungsmedium wegen des kleinen Temperaturkoeffizienten der Verzögerungszeit, d. h., er ist kleiner als einige ppm/°C. Aus der F i g. 4 ist zu ersehen, daß das in der oben beschriebenen Weise behandelte Fluoroxidglas die Störsignale weitaus besser schächen kann als die anderen Oxidgläser. In der Tabelle 1 sind Glaszusammensetzungen angeführt, die als Verzögerungsmedium zu bevorzugen sind.

Der Zusatz von 0,5 Molprozent zu den 3,0 Molprozent Al₂O₃ des Fluoroxidglases bewirkt eine Stabilisierung der akustischen Eigenschaften des Glases. Der Zusatz von 0,1 Molprozent zu 2,0 Molprozent As₂O₃ des Fluoroxidglases vermindert die Dämpfung der Schall-

welle. Das As₂O₃ wirkt überdies als Reinigungsmittel im Glas. Werden im Glassystem die Sauerstoffionen durch mehr als 10 Atomprozent Fluorionen ersetzt, so erfolgt eine Kristallisation des Glaskörpers in der gesamten Zone mit der Folge, daß die Fortpflanzung des Hauptsignals stark beeinträchtigt wird.

Oxidglas (Molprozent) 1 2

Fluoroxidglas
(Molprozent)
4 5

SiO₂	73,0	70,6	73,6	69,0	72,0	71,9
PbO	19,1	20,2	16,8	17,5	15,5	16,0
PbF₂				4,0	3,2	3,0
K₂O	7,9	8,5	9,6	8,0	7,0	6,6
Na₂O		0,7
BaO
Bi₂O₃
Al₂O₃				1,0	1,5	1,5
As₂O₃				0,5	0,8	1,0
Temperatur- Koeffizient der Verzögerungs- Zeit (10-<7°C)	0,06	0,38	0,08	1,3	1,2	0,8
Mechanischer Gütefaktor Q	4500	3000	4800	3900	4300	4700
Mechanische Impedanz (KV-kc/m^scc)	8,9	9,2	8,7	9,2	8,9	8,7

Eine Diffusion erwünschter Ionen in das Glas geschwindigkeit bekanntlich die akustischen Eigenhineinkann dadurch erzielt werden, daß die unbenutzte schäften des Glasmediums beeinflußt. Bei den beFläche, an an der keine Verbindung mit Wandlern schriebenen Verfahren beträgt die Abkühlungsgehergestellt wird, mit einem Belag einer Silberpaste oder schwindigkeit immer 5°C/Stunde und ist daher zu einer Glasur versehen wird, die die gewünschten 5 bevorzugen. Bei einer mit dem Verzögerungsmedium Ionen enthält, wonach das Verzögerungsmedium bei nach der Erfindung ausgestatteten Verzögerungseiner Temperatur gebrannt wird, die zwischen der leitung wird die Energie der in die äußere Zone 16 Übergangs- und der Erweichungstemperatur des hineinwandernden unerwünschten Wellen vernichtet, Glasmediums liegt, und zwar so lange wie zum so daß der Ausgangswandler 3 nur sehr wenig beein-Erzeugen der gewünschten Dicke der Diffusions- io flußt und das Störsignal in der Verzögerungsleitung schicht an der unbenutzten Fläche erforderlich ist. stark geschwächt wird.

Eine zu bevorzugende Silberpaste kann nach dem Die Störsignale können auch durch die Verwendung folgenden Verfahren zubereitet werden. 95 g Silber- eines Glasmediums unterdrückt werden, das eine pulver, 5 g Polymetaakrylat und 20 g Terpineol Kristallisationsschicht an der Außenzone nahe an der werden in einer herkömmlichen Kugelmühle 20 bis 15 unbenutzten Fläche aufweist. Diese örtlich begrenzte 150 Stunden lang miteinander vermischt. Die Partikel- Kristallisationsschicht kann durch eine Wärmegröße des Silberpulvers beträgt vorzugsweise weniger behandlung des Glaskörpers erzeugt werden, der als 2 Mikron. Die F i g. 5 zeigt die Veränderungen Ionen enthält, die als Kristallisationskerne wirken, tei den Störsignalen in der Verzögerungsleitung, wenn Die Dicke der Kristallisationsschicht kann durch die das Verzögerungsmedium verschieden lange bei einer 20 Erhitzungstemperatur und die Dauer der Erhitzung Temperatur von 500⁰C mit dem Belag der Silberpaste bestimmt werden. Für diesen Zweck eignen sich hesonauf der unbenutzten Fläche gebrannt worden ist. Die ders gut Titan-, Zirkonium- und Platinionen. Ein im Zusammensetzungen des Verzögerungsmediums waren Glasmedium ausgefällter Kristall wirkt als Zerstreuin beiden Fällen die gleichen. ungszentrum für die Schallwelle. Ein weiteres Merkmal

Für die Glasur ist ein Gemisch zu bevorzugen, das 25 des als Verzögerungsmedium verwendeten teilweise aus im wesentlichen 100 g Glasfritte, 3 g Zellulose- kristallisierten Glases ist darin zu sehen, daß die azetatbutylat, 17 g Terpineol und 1 g eines flächen- Kristallisation des Glases von der Außenseite aus aktiven Mittels besteht. Das Gemisch wird in einer zur inneren Zone hin fortschreitet, wobei nadeiförmige herkömmlichen Kugelmühle gemahlen und bildet eine Kristalle erzeugt werden. Solche Kristalle zerstreuen Glasur. Eine bevorzugte Zusammensetzung der Glas- 30 und unterdrücken die unerwünschten Wellen in derftitte besteht aus gewichtsmäßig 28,5% Na₂O, 20% selben Weise wie ein Verzögerungsmedium, dessen PbO, 6,0% SiO₂ und 45,5% B₂O₃. Die Glasfritte wird unbenutzte Fläche durch teilweises Wegfräsen zickin der folgenden Weise hergestellt. Die Zusammen- zackförmig ausgestaltet ist.

Setzung wird in einem Platintiegel 30 Minuten lang bei Die F i g. 7 zeigt eine erfindungsgemäße Vereiner Temperatur von 800 bis 120O⁰C geschmolzen, 35 zögerungsleitung für ein Farbfernsehsystem. Die danach auf Raumtemperatur abgekühlt und gemahlen Wandler 30 und 31 bestehen aus Blei-Magnesiumbis zu einer Partikelgröße von ungefähr 1 Mikron. Niobat-Zirkonat-Titanat, welches keramische Material Die F i g. 6 zeigt die Veränderungen bei den Stör- parallel zu den beiden mit Elektroden versehenden Signalen in der Verzögerungsleitung, wenn die Glasur Flächen polarisiert ist, von denen die eine Fläche frei auf die unbenutzte Fläche des Verzögerungsmediums 40 und die andere Fläche mit dem Verzögerungsmedium aufgetragen und verschieden lange bei einer Tempera- verbunden ist. Das Verzögerungsmedium weist eine tür von 550⁰C gebrannt worden ist. die Schallwelle reflektierende Fläche auf. Die mit dem

Die Glasfritte kann enthalten etwas Lithium, Eingangswandler aktivierte Abscherwelle wandert im Natrium und/oder Silberionen, die in das Glasmedium Verzögerungsmedium 32 durch Reflexion an der hineinwandern und während des Brennens die äußere 45 Fläche 36 über eine Bahn 33, die in der F i g. 7 7one 16 im Glasmedium bilden. Die bevorzugten schematisch dargestellt ist. Das Verzögerungsmedium Zusammensetzungen der Glasfritte weisen die gleiche weist im vorliegenden Falle die gleiche Zusammenmechanische Impedanz auf wie das Glasmedium, Setzung auf wie das Beispiel 4 in der Tabelle 1, wobei und wegen der guten mechanischen Übereinstimmung die unbenutzten Flächen, die zur Ebene der Zeichnung Zwischen dem Glasmedium und der Glasfritte ist ein 50 senkrechten oberen und unteren Flächen und beide Übergang der auffallenden Wellen an der unbenutzten Seiten 34 und 35 mit einem Belag aus Silberpaste verFläche in die Glasfritte hinein ohne Reflexion möglich, sehen und 50 Stunden lang bei einer Temperatur vor $0 daß die akustische Energie der Welle in der Glas- 550° C gebrannt worden sind. Die Verbindung zwischer fritte wirksam vernichtet werden kann. den Wandlern und dem Verzögerungsmedium wire

Während des Tauch- oder des Brennverfahrens 55 durch Löten hergestellt. DieTabelle2 zeigt die charakte

können die gewünschten Ionen, wie die Silber-, ristischen Eigenschaften der Verzögerungsleitung.

Lithium- oder Natriumionen in das Medium hinein- Tabelle 2

wandern und die genannte Außenzone bilden, deren Verzögerungszeit 64,0 Mikrosekunden

mechanischer Gütefaktor Q die in der F i g. 3 als Dämpfung 10 Dezibel

Kurve dargestellte Verteilung aufweist. Wie aus den 60 Störsignal —25 Dezibel

F i g. 4, 5 und 6 zu ersehen ist, betragen die bevor- Bandbreite 2,5 MHz

zugten Tauch- oder Brennzeiten mehr als 10 Stunden. Mittelfrequenz 4,43 MHz

Außergewöhnlich lange Tauch- oder Brennzeiten Abweichung dei

führen zu einer Diffusion der in Betracht kommenden Verzögerungszeit ±1,3 Nano-sekunden

Ionen in die innere Zone des Verzögerungsmediums 65 Temperaturkoeffizient der

hinein und bewirken eine Dämpfung des Hauptsignals. Verzögerungszeil 0+0,9 ppm/⁰ C

Weiterhin ist bei den beschriebenen Verfahren die b_ej 25⁰C

Abkühlungsperiodc wichtig, da die Abkühlungs- Gewicht 55 g

Hierzu 4 Blatt Zeichnungen ^{609 51} ⁵^'

Claims

Grundelemente, das benutzte Flachen, wie Signal- Patentansorüche- eingangs- und -ausgangsflächen, reflektierende Flächen Patentansprucne. ^b^ unbenutzte Flächen aufweist, an welcher,

1. Ultraschall-Verzögerungsleitung mit einem Eingangs- und Ausgangs flächen Signaleingangs- und Glasverzögerungsmedium, mit Kalium oder FJuor- 5 -ausgangswandler angebracht sind die im Verzögeoxid als Grundelemente das benutzte Flächen, rungsmedium eine Schallwelle erzeugen bzw. aus ,hm wie Signaleingangs- und -ausgangsflächen, reflek- aufnehmen, und das Glasverzogerungsmed.um eine tierende Flächen sowie unbenutzte Flächen auf- innere Zone mit einem hohen mechanischen Guteweist, an welchen Eingangs- und Ausgangsflächen faktor Q von mehr als 3000 und eine äußere Zone an Signaleingangs- und -ausgangswandler angebracht xo den unbenutzten Flachen aufweist, deren mechanischer sind, die im Verzögerungsmedium eine Schallwelle Gütefaktor Q von einem niedrigen Wert an den unbeerzeugen bzw. aus ihm aufnehmen, und das nutzten Flächen auf einen hohen Wert an der Grenz-Glasverzögerungsmedium eine innere Zone mit fläche zwischen der inneren und der äußeren Zone einem hohen mechanischen Gütefaktor ρ von mehr ansteigt, und die äußere Zone die unerwünschten als 3000 und eine äußere Zone an den unbenutzten 15 Signale in der Verzögerungsleitung dampft.
Flächen aufweist, deren mechanischer Gütefaktor Eine derartige Ultraschall-Verzögerungsleitung .si Q von einem niedrigen Wert an den unbenutzten in der US-PS 27 27 214 beschrieben. Bei dieser wird Flächen auf einen hohen Wert an der Grenzfläche die äußere Zone z. B. durch chemisches Atzen oder zwischen der inneren und der äußeren Zone ansteigt, durch mechanisches Abschleifen der AuUenobernache und die äußere Zone die unerwünschten Signale in »o der inneren Zone oder durch Überziehen der Außender Verzögerungsleitung dämpft, d a d u r c h ge- oberfläche der inneren Zone z.B. mit Guttapercha kennzeichnet, daß die äußere Zone eine oder Kautschuk hergestellt. Der Zweck dieser Maßdurch Eindiffusion solcher zusätzlicher mono- nähme ist die Unterdrückung unerwünschter Signale. valenter Ionen in ein die Grundelemente enthal- Dabei ändert sich jedoch der Wert des mechanischen lendes Grundglas hergestellte Zone ist, deren 25 Güiefaktors Q abrupt zwischen der inneren und der lonenradius kleiner ist als der der Grundelemente. äußeren Zone, und es ist nachteilig, daß bei dem

2. Ultraschall-Verzögerungsleitung nach An- schmalen Übergangsbereich des mechanischen Gütespruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Sauer- faktors Q zwischen der inneren und der äußeren Btoffatome in einer Menge von weniger als 10 Atom- Zone eine Reflexion der Ultraschallwellen eintritt, prozent durch Fluoratome ersetzt sind. 30 wodurch unerwünschte Signale erzeugt werden.

3. Verfahren zur Herstellung des Verzögerungs- Aus der GB-PS 9 17 388 ist ein Verfahren zur mediums einer Ultraschall-Verzögerungsleitung Erhöhung der Zugfestigkeit eines Glases bekanntlich Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, geworden. Zu diesem Zweck erzeugt man an der daß das Grundglas in eine Salzschmelze aus Silber- Oberfläche des Glases eine Druckspannung. Dabei halogenid, Lithiumcarbonat oder Natriumnitrat 35 werden monovalente Ionen in das Glas eindiffundiert, getaucht wird, um die Diffusionsschicht zur um die Druckspannung zu erzeugen. Dieses Eindiffun-Ausbildung des Außenbereiches herzustellen, und dieren monovalenter Ionen erfolgt jedoch zur Erzeudaß die so hergestellte Diffusionsschicht an den gung der Druckspannung in dem Grundglas, wobei es benutzten Oberflächen entfernt wird. sich um ein gewöhnliches Plattenglas, d. h. Sodakalk-

4. Verfahren zur Herstellung des Verzögerungs- 40 glas, handelt. Wie bekannt, ist der mechanische mediums einer Ultraschall-Verzögerungsleitung Gütefaktor von Sodakalkglas sehr niedrig und dieses nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, Glas folglich für Verzögerungsleitungen unbrauchbar, daß an der unbenutzten Fläche eine Emaille aus da es das gewünschte Signal zu hohen akustischen Glasfritte mit Lithiumionen, Natriumionen oder Verlusten unterwirft.

Silberionen auf das Grundglas aufgebracht wird 45 Die Aufgabe der Erfindung besteht darin, die Eigen-

Und das Grundglas auf eine Temperatur zwischen schäften der äußeren Zone der Ultraschall-Verzöge-

der Übergangstemperatur und der Erweichungs- rungsleitung der eingangs genannten Art derart zu

temperatur des Grundglases erwärmt wird, um die verbessern, daß unerwünschte Signale darin sehr stark

Diffusionsschicht für den Außenbereich herzu- unterdrückt werden.