DE1808579A1 - Verfahren zur Anbringung elektrischer Kontakte auf Metallfilmen und danach erhaltener Duennschichtwiderstand - Google Patents

Verfahren zur Anbringung elektrischer Kontakte auf Metallfilmen und danach erhaltener Duennschichtwiderstand

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Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2847356A1 (de) * 1977-11-14 1979-05-17 Nitto Electric Ind Co Substrat fuer eine gedruckte schaltung mit widerstandselementen
DE2847821A1 (de) * 1977-11-21 1979-05-23 Nitto Electric Ind Co Substrat fuer eine gedruckte schaltung mit einer widerstandsbeschichtung
DE2833919A1 (de) * 1978-08-02 1980-02-14 Siemens Ag Elektrische schichtschaltung auf kunststoffolie und herstellungsverfahren
DE3638342A1 (de) * 1986-11-10 1988-05-19 Siemens Ag Elektrisches bauelement aus keramik mit mehrlagenmetallisierung und verfahren zu seiner herstellung
DE19842006A1 (de) * 1998-09-15 2000-03-16 Moeller Gmbh Kontaktanordnung elektrisch leitfähiger Polymere

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2159848A5 (GUID-C5D7CC26-194C-43D0-91A1-9AE8C70A9BFF.html) * 1971-11-05 1973-06-22 Bosch
FR2210881B1 (GUID-C5D7CC26-194C-43D0-91A1-9AE8C70A9BFF.html) * 1972-12-14 1976-04-23 Honeywell Bull

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2847356A1 (de) * 1977-11-14 1979-05-17 Nitto Electric Ind Co Substrat fuer eine gedruckte schaltung mit widerstandselementen
DE2847821A1 (de) * 1977-11-21 1979-05-23 Nitto Electric Ind Co Substrat fuer eine gedruckte schaltung mit einer widerstandsbeschichtung
DE2833919A1 (de) * 1978-08-02 1980-02-14 Siemens Ag Elektrische schichtschaltung auf kunststoffolie und herstellungsverfahren
DE3638342A1 (de) * 1986-11-10 1988-05-19 Siemens Ag Elektrisches bauelement aus keramik mit mehrlagenmetallisierung und verfahren zu seiner herstellung
DE19842006A1 (de) * 1998-09-15 2000-03-16 Moeller Gmbh Kontaktanordnung elektrisch leitfähiger Polymere

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