DE1797091C - Blende mit einem durch Warme regel baren Steuerglied fur optische, lnsbesonde re ionenoptische Gerate - Google Patents

Description

Die Erfindung betrifft eine Blende mit als Plättchen ausgebildeten Spakbacken, bei der die Breite des Spaltes zwischen den Kanten der Spakbacken durch ein Steuerglied verstellbar ist, das in seiner Längsausdehnung durch Wärme regelbar ist, für optische, insbesondere ionen- oder elektronen-optische Geräte. Derartige Blenden, die z. B. durch die

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US-PS 3 242 796 bekannt sind, müssen präzise ge- nete Spaltbacken paarweise in mehreren Ebenen öffnet oder geschlossen werden können, um einerseits übereinander liegend eine Art Irisblende bilden,
eine Justierung und andererseits den Betrieb der Die Tragplatte für die Spaltbacken braucht aber Apparaturen bei veränderlichem Auflösungsvermö- nicht eben zu sein; sie kann gemäß einer weiteren gen zu ermöglichen. Dabei ist es oft notwendig, be- 5 Ausgestaltung der Erfindung auf der die Spaltbacken sonders bei der Verwendung in ionenoptischen Ge- tragenden Seite einen Sockel aufweisen; die Spalträten, die Breite des Spaltes kontinuierlich bis zu backen selbst werden dann rechtwinklig abgebogen, einem Abstand von einigen μ zu verringern. Außer- wobei der abgebogene Teil aus Bi-Metall bestehen dem muiJ eine nickfreie, zur Mittelebene symmetri- kann. Gemäß einer weiteren Ausführungsform kann sehe Öffnung der Blende unter Beibehaltung der io der Sockel Anschläge für den abgebogenen, aus BiParallelität der Spaltbacken gewährleistet sein. Metall bestehenden Teil aufweisen.

Bisher wurden im allgemeinen solche Blenden mit Die Spaltbacken können flach entweder in derfeinmechanischen Antrieben verstellt, was besonders selben Ebene auf einer ebenen Tragplatte oder aber an unzugänglichen Stellen von Apparaturen oder bei in verschiedenen Ebenen auf einer abgestuften Trag-Spaltsystemen in Hochvakuumapparaten mit be- 15 platte aufliegen. Im letztgenannten Fall besteht die trächtlichem mechanischen Aufwand verbunden ist. Möglichkeit, daß sich die Spaltbacken mit ihren Auch sind solche Antriebe gegen außergewöhnliche Kanten überlappen, so daß sich durch Einschnitte in Beanspruchung, z. B. das Ausheizen bei Hoch- den Spaltbackenkanten besonders geformte Spaltvakuumapparaturen, empfindlich. öffnungen für den Durchtritt der Strahlen erzielen

Um die dabei erforderlichen Getriebe. Nocken, so lassen.

Se;\omotoren und ähnliche mechanische Einrichtun- Um die Spaltbreite in möglichst weitem Bereich gen mit ihren Reibungs- und Abnutzungserscheinun- veränderlich zu machen (wenn es aiii das Schließen gen zu vermeiden, den Gesamtaufbau zu vereinfachen der Blende ankommt), kann die Tragplatte aus einem und außerdem noch ein verhältnismäßig schnelles Material mit kleinem Wärmeausdehnungskoeffizien-Arbeiten der Blende zu ermöglichen, ist bei der 25 ten 1/ B. Molybdän) bestehen, wogegen die Spalteiii.irangs genannten bekannten Blende als Steuerglied backen aus einem Material mit großem Warmeausziii Verstellung der Blende ein Stab vorgesehen, dehnungskoeffizienten (z. B. Ni, Cu, Al od. dgl.) herde -on Länge in Abhängigkeit von der auf ihn ein- gestellt sind. Wenn es umgekehrt auf das Öffnen der wirkenden Wärme veränderlich ist. Diese Längen- Blende ankommt, sind die Materialien für die Tragar.dcrungen des Stabes bewirken über ein Hebel- 30 platte und die Spaltbacken gerade umgekehrt zu system unter Verwendung zahlreicher Haltefedern wählen. Dabei läßt sich der Änderungsbereich noch und einer besonderen Rückstellfeder eine Verschie- .. erweitern, wenn für die Spaltbacken selbst oder aber büng der Spaltbacken gegeneinander. Der Gesamt- nur für Teile von ihnen Bi-Metall verwendet wird.
aufbau einer derartigen Blende ist aber immer noch Die Breite des Spaltes läßt sich durch Steuerung sehr umfangreich und aufwendig. 35 der vorgesehenen Heizeinrichtung regeln. Das not-

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, die wendige Erwärmen kann dabei durch Heizung der Einrichtungen zum Verstellen der Blende nocli weiter Tragplatte in irgendeiner bekannten Weise erfolgen, zu vereinfachen und auf diese Weise die Baugröße z. B. durch direkten Stromdurchgang, durch Elekder Blende noch mehr zu verkleinern, insbesondere tronen- oder Ionen-Bombardement, durch indirekte die bei der vorgenannten bekannten Blende immer 40 Heizung mittels besonderer Heizelemente, durch noch L(forderlichen zahlreichen Hebel und Federn Strahlungs- oder induktive Heizung oder aber durch zu vermeiden, wobei jedoch gewährleistet bleiben Erwärmung des ganzen Raumes, in dem die Blende soll, daß die Bewegung der Spaltbacken gegenein- verwendet wird. Dabei sollte das Erwärmen im ander schnell, präzise, symmetrisch und parallel Interesse einer schnellen Spaltbreitenverstellung mögerfolgt. 45 liehst so erfolgen, daß weit ab von der einzustellen-

Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch ge- den Temperatur mit wesentlich höherer Leistung

löst, daß die Spaltbacken selbst zusammen mit einer geheizt wird als in der Nähe dieser Temperatur,

für die Spaltbacken gemeinsamen Trageinrichtung als Durch Regelkreise von aus der Meßtechnik be-

Steuerglied wirken derart, daß die Spaltbacken je mit kannter Art läßt sich leicht eine konstante Spaltbreite

ihrer dem Spalt abgewendeten Seite fest mit der 50 einhalten. In vielen Fällen wird allerdings schon

Trageinrichtung verbunden sind, deren Werkstoff eine Speisung der Heizung aus einer Konstantspan-

einen Wärme-Ausdehnungskoeffizienten α aufweist, nungsquelle ausreichen.

der wesentlich verschieden von dem Wärme-Aus- In den Zeichnungen sind Ausführungsbcispiele der

dehnungskoeffizienten b des Werkstoffs der Spalt- Erfindung dargestellt. Es zeigt:

backen ist, und daß eine für die Spaltbacken und die 55 F i g. 1 eine schaubildliche Ansicht einer Blende. Trageinrichtung gemeinsame Heizeinrichtung vorge- bei welcher Tragplatte und Spaltbacken aus Materiasehen ist, durch die die Spaltbacken und die Trag- lien verschiedener Ausdehnungskoeffizienten bergeeinrichtung in ihrer Temperatur regelbar sind. Dabei stell; sind,

hängt es von der Wahl der Materialien für die Spalt- Fig. 2 das Schema eines Querschnittes durch die

backen und die Tragplatte ab, ob sich die Blende 60 Blende nach Fig. 1,

bei Erwärmung öffnet oder schließt. F i g. 3 das Schema einer Variation der Anord-

In weiterer Ausgestaltung der Erfindung kann die nung nach Fig. 2, welche eine Verstellung des Blende entweder zwei Spaltbacken aufweisen, die Spaltes über größere Spaltbreiten ermöglicht,
auf einer Tragplatte flach aufliegen, oder aber zwei Fig. 4a, 4b eine besondere Form der Spaltoder mehrere Spaltbackenpaare, die übereinander 65 backen, welche eine quadratische öffnung freigeben, angeordnet sind, um den Bereich für die Spaltbreiten- Fig. 5 eine öffnung mit mehreren Spaltbacken, änderung noch zu erweitern. Es können aber auch welche im Innern eines Tragringes angebracht sind, mehr als zwei im Innern eines Tragringes ange:>rd- Fig. 6 eine schaubildliche Ansicht einer Blende,

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x\ der die Spaltbreite durch Verbiegen von zum dehnungskoeffizientcn α sind wie bei Fig. 2 zwei

Teil aus Bi-Metali bestehenden Spaltbacken ver- Plättchen 36, 37 mit dem Ausdehnungskoeffizienten b

ändert werden kann, befestigt, auf diesen wiederum zwei Plättchen 38, 39

F i g. 7 das Schema eines Querschnittes durch die mit dem Ausdehnungskoeffizienten α und auf diesen

Blende nach F i g. 6 bei einer Temperatur Γ, 5 die eigentlichen, näher als die übrigen Plättchen zu-

Fig. 8 die Anordnung nach Fig. 7 bei veränder- sammenliegenden Spaltbacken 32, 33 mit dem Auster Temperatur T , dehnungskoeffizienten b. Die Plättchen sind an den

Fi g. 9 das Schema einer Blende nach Fig. 1, bei Stellen A, B miteinander und an der Stelle C mit der

welcher die Spaltbreitenverstellung durch Verbiegen Tragplatte fest verbunden (gelötet, geschweißt). Sie

der Spaltbacken bei Temperaturänderung erreicht io werden durch Schrauben 34, 34' gegen die Trag-

_wj_rd, platte 31 gedrückt. 1st z. B. der Ausdehnungskoeffi-

Fig. 10 die Anordnung nach Fig. 9 bei ver- zient α kleiner als b und sind die Abstände d_x,d bei

änderter Temperatur, einer Temperatur T eingestellt, so ändert sich beim

Fig. 11 den Querschnitt einer Anordnung ähnlich Erhöhen der Temperatur der Abstand rf, zwischen

Fig. ft mit Anschlägen für die aus Bi-Mctall be- 15 den Plättchen 36, 37 analog der Spaltbreite bei

siehenden Teile der Spaltbacken. Fig. 2. Die Plättchen 38, 39 ändern ihre Längen im

F i g. 1 zeigt den Aufbau einer Blende, bei welcher gleichen Sinne wie die Tragplatte 31 und die Plätteine Tragplatte 1 und Spaltbacken 2, 3 verschiedene chen ?.2, 33 wie die Plättchen 36, 37, so daß die Wärmeausdehnungskoeffizienten besitzen. Die Trag- Änderung der Spaltbreite d doppelt so groß ist wie platte 1 hat eine Bohrung 6, durch welche Licht-bzw. ₂₀ die der Spaltbreite d_t. Man hat also demgegenüber Teilchenstrahlen hindurchtreten können. Von den der Anordnung nach Fig. 2 bei gleicher Temperatur-Kanten 2', 3' der Spaltbacken 2, 3, die z. B. mit änderung eine Verdoppelung der Änderung der Hilfe von Schrauben 4, 4' an der Tragplatte 1 be- Spaltbreite. Bei Verwendung von weiteren in entfestigt sind, wird ein Spalt 5 über der Bohrung 6 sprechender Weise übereinander angeordneten Plättgebildet. Die Spaltbacken können von Plättchen ge- 25 chenpaaren läßt sich die Änderung der Spaltbreite bildet werden, die z. B. die Abmessungen 5 X 25 X noch vervielfachen.

0.1 mm haben; die Dicke der Tragplatte 1 kann Eine besondere Formgebung der Spaltbacken 42

wesentlich größer sein. Die Breite des Spalts ist bis und 43 gemäß Fig. 4 a ermöglicht es, nicht nur

auf wenige μ einstellbar. Spalte mit länglichem rechteckigem Querschnitt her-

F ig. 2 veranschaulicht die Arbeitsweise der Blende 30 zustellen, sondern auch solche mit quadratischem

nach Fig. 1. Die Spaltbrcite d des Spaltes 5 sei bei Querschnitt, wie man sie z. B. für Elektronenmikro-

einer bestimmten Temperatur auf einen bestimmten skope wünscht. Wie aus der Fig. 4 b (als Querschnitt

Wert eingestellt. Dann kann man zwei Fälle unter- der F i g. 4 a) zu erkennen ist, ist die Tragplatte 41

scheiden: auf der die Spaltbacken 42, 43 tragenden Seite der-

1. Der thermische Ausdehnungskoeffizient der ₃₅ art abgestuft ausgebildet, daß die Spaltbacken in

Spaltbacken 2, 3 ist größer als der der Tragplatte 1. verschiedenen Ebenen liegen. Dabei weisen die dem

Bei einer Temperaturerhöhung über die Anfangs- Spalt zugewendeten Seiten der Spaltbacken in ihrer

temperatur dehnt sich die Tragplatte 1 aus, die Aus- Mitte je einen Einschnitt 42', 43' in Form eines

dehnung einer jeden Spaltbacke ist jedoch bei der Dreiecks auf, so daß bei sich überlappenden Kanten

gleichen Temperaturänderung auf Grund des größe- 40 der Spaltbaeken je nach der Form des eingeschnittc-

ren Ausdehnungskoeffizienten größer. Deshalb ver- nen Dreiecks eine rechtwinklige, quadratische oder

ringert sich die Breite d des Spaltes. rhombenförmige Spaltöffnung 45 für den Durchtritt

U. Der thermische Ausdehnungskoeffizient der der Strahlen entsteht.

Spaltbacken 2, 3 ist kleiner als der der Tragplatte 1. Durch Verwendung von mehreren im innern einet

Die Änderung der Spaltbreite erfolgt in umgekehrter ₄₅ als Tragring 51 ausgebildeten Trageinrichtung ange-

Richtung. ordneten Spaltbacken 52 bis 59 gemäß Fig. 5, bei

Es ist besonders vorteilhaft, wenn die Tragplatte der die Spaltbacken paarweise in mehreren Ebenen

z. B. aus Molybdän und die Spaltbacken z. B. aus übereinander liegend angeordnet und in ihrer Länge

Nickel, Kupfer oder Aluminium bestehen. Wird der entsprechend bemessen sind, ist es weiterhin möglich.

Spalt einer Blende nach Fig. 1 bei Zimmertempe- 50 eine Art Irisblende für sehr kleine Öffnungen ?u

ratur z. B. auf etwa 0,1 mm eingestellt und sind die schaffen. Durch thermische Ausdehnung des Trag-

Befcstigungspunkte 4, 4' auf beiden Seiten des Spaltes ringes 51 werden zwar alle Spaltbacken mit ihrem

gegeneinander z. B. 2 cm voneinander entfernt, so dem Spalt abgewendeten Ende von der Ringmitte

ändert sich die Spaltbreite um etwa 0,2 μ⁰C. Bei der entfernt; sie werden ihr jedoch mit ihrem dem Spalt

für den Betrieb von Massenspektrometern günstigen 55 zugewendeten Ende genähert, wenn ihr thermischer

Spalttemperatur von etwa 500° C (die Spalte bleiben Ausdehnungskoeffizient größer ist als der des Trag-

bei dieser Temperatur frei von anhaftenden Ober- ringes. Die Arbeitsweise entspricht im übrigen der

flächcnvcrunrcinigungcn) schließt sich bei Verwen- beim Spalt nach F i g. 2.

dung von Materialien gemäß Fall I der Spalt auf Bei der Anordnung nach Fig. 6 liegen auf einer

wenige μ. 6o mit einem Sockel 68 versehenen Grundplatte 61 mit

Durch Kombination von Materialien verschiedener einer öffnung 69 für den Teilchenstrahl zwei Spalt-

Wärmeausdchnungskocffizienten lassen sich Spähe backen 62, 63 mit ihren den Spalt 65 bildenden

verschiedener Tcmpcratur-Spaltwcite-Charaktcristi- Kanten auf dem Sockel 68 unter Vorspannung flach

ken herstellen. auf. Diese Vorspannung wird dadurch erzeugt, daß

!·' i g. 3 zeigt eine Anordnung, bei welcher die 65 der dem Spalt abgcwendctc Teil 66, 67 j<»rfrr Spalt-

Spalthrcitc gegenüber der Anordnung nach F i g. 2 backe rechtwinklig abgebogen ist, wobei dieser abgc-

ülicr einen größeren Bereich verändert werden kann. bogcnc Teil an der Tragplatte 61 befestigt und aus

Auf einer Tragplatte 31 mit dem thermischen Aus- Bi-Mctall hergestellt ist, wodurch er sich bei einer

Temperaturänderung verbiegt. Entsprechend der Verbiegung der Platten ändert sich die Spaltbreite d (nach F i g. 6, 7, 8).

In Fig. 9, 10 ist eine Variation der Blende nach Fig. 1 dargestellt, bei welcher die Spaltbacken 92, 93 selbst ganz aus Bi-Metall bestehen und sich bei Temperaturänderung verbiegen. Sie bewirken damit eine Spaltweitenänderung gemäß Fig. 10, die größer ist als bei Blenden gemäß Fig. 1.

Fig. 11 zeigt eine Blende mit einem Spalt, dessen Breite d in einem gewissen Temperaturbereich grob und in einem anderen unmittelbar anschließenden Temperaturbereich mit der Temperatur fein veränderlich ist. Die Grundplatte 111, die ähnlich wie bei der Blende gemäß F i g. 6 einen Sockel 114 trägt, auf dem die dem Spalt 115 zugewendeten Seiten der Spaltbackcn 112,113 flach aufliegen, ist an seiner als Auflage für die Spaltbacken dienenden Oberseite derart verbreitert, daß die gegenüber dem Sockelquerschnitt vorspringenden Teile 118, 119 Anschläge ao für die rechtwinklig abgebogenen, aus Bi-Metall bestehenden Teile 116, 117 der Spaltbacken bilden. Bei Erwärmung werden die Spaltbacken 112 und 113 zunächst relativ schnell über große Bereiche z. B. 1 mm bewegt. Bei einer bestimmten Temperatur z. B. 200° C sind die Bi-Metallteile dann soweit gebogen, daß sie gegen die Anschläge 118 und 119 drücken. Bei weiterer Temperaturerhöhung erhöht sich dann nur noch ihr Anpreßdruck, die Spaltbreite d wird aber nicht mehr von dem Bimetallteil beeinflußt. Die Spaltbreite ändert sich dann entsprechend der verschiedenen Ausdehnung der Spaltbacken 112 und 113 sowie des Spaltträgers 111 bzw. 118 und 119.

Der Vorteil der erfindungsgemäßen Blende gegenüber allen bisher bekannten Blenden besteht darin, daß sie in ihrem Gesamtaufbau wesentlich kleiner und einfacher ist, zu ihrer Steuerung keine mechanischen Antriebe benötigt und doch eine sehr genaue symmetrische und parallele Einstellung der Spaltbacken ermöglicht.

Hierzu 1 Blatt Zeichnungen

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Claims (13)

I 797 Patentansprüche:

1. Blende mit als Plättchen ausgebildeten Spaltbacken, bei der die Breite des Spaltes zwisehen den Kanten der Spaltbacken durch ein Steuerglied verstellbar ist, das in seiner Längsausdehnung durch Wärme regelbar ist, für optische, insbesondere ionen- oder elektronen-optische Geräte, dadurch gekennzeichnet, daß die Spaltbackeu selbst zusammen mit einer für die Spaltbacken gemeinsamen Trageinrichtung als Steuerglied wirken derart, daß die Spakbacken je mit ihrer dem Spalt abgewendeten Seite fest mit der Trageinrichtung verbunden sind, deren Werkstoff einen Wärme-Ausdehnungskoeffizienten (a) aufweist, der wesentlich verschieden von dem Wärme-Ausdehnungskoeffizienten (b) des Werkstoffes der Spaltbacken ist, und daß eine für die Spaltbacken und die Trageinrichtung gc- ao meinsame Heizeinrichtung vorgesehen ist, durch die die Spaltbacken und die Trageinrichtung in ihrer Temperatur regelbar sind.

2. Blende nach Patentanspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Blende zwei Spakbacken »5 (2, 3, in F i g. 1) aufweist, die auf einer als Tragplatte (1) ausgebildeten Trageinrichtung flach aufliegen, und daß die Tragplatte (1) im Bereich des Spaltes (5) mit einer Bohrung (6) zum Durchtritt von Licht- bzw. Teilchenstrahlen versehen ist (Fig. 1, 2).

3. Blende nach Patentanspruch I, dadurch gc kennzeichnet, daß die Blende auf jeder Spall seite zwei oder mehrere Spaltbackenpaare (32, 33; 36, 37) übereinander aufweist, die derart angeordnet sind, daß das spaltseitige Ende (B) der auf der Tragplatte (31) aus Materia! (α) aufliegenden Spaltbacke (36) aus Material (b) mit dem entsprechenden Ende eines auf der Spaltbacke (36) aufliegenden weiteren Plättchens (38) aus Material (a) fest verbunden ist, und daß das dem Spalt abgewendete Ende dieses Plättchens (38) mit dem entsprechenden Ende (A) einer auf dem Plättchen (38) aufliegenden Spaltbacke (32) aus Material (b) fest verbunden ist, die mit ihrem freiliegenden Ende die eine Seite des Spaltes (d) bildet (F i g. 3).

4. Blende nach Patentanspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Blende mehr als zwei im Innern einer als Tragring (51) ausgebildeten Trageinrichtung radial angeordnete Spaltbacken (52 bis 59 in F i g. 5) aufweist, die paarweise in mehreren Ebenen übereinander liegend angeordnet und in ihrer Länge derart bemessen sind, daß sie in der Mitte des Tragringes (51) eine Art Irisblende bilden (F i g. 5).

5. Blende nach Patentanspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Tragplatte (61 in Fig. 6 bis 8) auf der die Spaltbacken tragenden Seite abgestuft ausgebildet ist, derart, daß in der Mitte der Tragplatte (61) ein Sockel (58) vorgesehen ist, auf dem die Spaltbacken (62, 63) mit ihren den Spalt bildenden Kanten flach unter Vorspannung aufliegen, und daß der dem Spalt abgewendete Teil jeder Spaltbacke (62; 63) rechtwinklig abgebogen und der rechtwinklig abgebogene Teil auf der Tragplatte (61) befestigt und aus Bi-Mctall hergestellt ist (Fig. 6 bis 8).

6. Blende nach Patentanspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß der Sockel (114 in Fig. 11) an seiner als Auflage für die Spaltbacken (112, 113) dienenden Oberseite derart verbreitert ist, daß die gegenüber dem Sockelquerschnitt vorspringenden Teile (118, 119) Anschläge für die rechtwinklig abgebogenen, aus Bi-Metall bestehenden Teile (116, 117) der Spaltbacken bilden (Fig. 11).

7. Blende nach Patentanspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Tragplatte (41 in Fig. 4b) auf der die Spakbacken tragenden Seite derart abgestuft ausgebildet ist, daß die Spakbacken (42, 43) in verschiedenen Ebenen liegen, und daß ■ die dem Spalt zugewendeten Seiten der Spaltbacken in ihrer Mitte je einen Einschnitt (42', 43') in Form eines Dreiecks aufweisen, so daß bei sich überlappenden Kanten der Spakbacken je nach der Form des eingeschnittenen Dreiecks eine rechtwinklige, quadratische oder rhombenförmige Spaltöffnung (45) für den Durchtritt der Strahlen entsteht (Fig. 4 a, 4b).

8. Blende nach den Patentansprüchen 2 oder 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Tragplatte auf der die Spakbacken tragenden Seite eben ist und die Spakbacken in derselben Ebene liegen (Fig. 1 bis 3, 9 bis 10).

9. Blende nach den Patentansprüchen 2 bis 6 und 8, dadurch gekennzeichnet, daß die einander gegenüberliegenden, den Spalt (5) bildenden Kanten (T, 3') der Spakbacken (2, 3 in Fig. 1, 2) gerade und paiallel zueinander verlaufen.

10. Blende nach den Patentansprüchen 2 bis 9, dadurch gekennzeichnet, daß die Spakbacken an ihrer dem Spalt zugewandten Kante messerartig abgeschrägt sind.

11. Blende nach den Patentansprüchen 2 bis 4, 7 bis 10, dadurch gekennzeichnet, daß die Tragplatte aus einem Material (a) mit kleinem Wärmeausdehnungskoeffizienten (z. B. Molybdän) besteht, wogegen die Spakbacken aus einem Material (b) mit großem Wärmeausdehnungskoeffizienten (z. B. Ni, Cu, Al) hergestellt sind, oder umgekehrt.

12. Blende nach den Patentansprüchen 2 bis 4, 7 bis 10, dadurch gekennzeichnet, daß die Spakbacken in ihrer ganzen Länge aus Bi-Metall bestehen (F i g. 9, 10).

13. Blende nach Patentanspruch 5 oder 6, dadurch gekennzeichnet, daß der dem Spalt zugewendete, nicht abgebogene Teil der Spakbacken (62, 63; 112. 113) aus einem vom Material (a) der Grundplatte in bezug auf den Wärmeausdehnungskoeffizienten abweichenden Material (b) besteht.