DE1773471A1 - Vorrichtung zur Umwandlung von Weg- bzw.Winkelaenderungen in absolutcodierte und inkrementalcodierte Ausgangssignale - Google Patents

Vorrichtung zur Umwandlung von Weg- bzw.Winkelaenderungen in absolutcodierte und inkrementalcodierte Ausgangssignale

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DE1773471A1 DE19681773471 DE1773471A DE1773471A1 DE 1773471 A1 DE1773471 A1 DE 1773471A1 DE 19681773471 DE19681773471 DE 19681773471 DE 1773471 A DE1773471 A DE 1773471A DE 1773471 A1 DE1773471 A1 DE 1773471A1
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Description

  • Vorrichtung zur Umwandlung von Weg-bzw. Winkeländerungen in absolutcodierte und inkrementalcodierte Ausgangssignale bie Erfindung betrifit eine Vorrichtung, bei der der Informationsparameter der Me#grö#e Weg bzw. Winkel direkt in ein entsprechendes elektrisch digitales Ausgangssignal umgewandelt wird. ist bereits ein Verfahren bekannt, daß die Umwandlung von sich periodisch ändernder Intensitäts -. verteilung, beispielseise von Interferenzstreifen, deren Periodenzahl innerhalb eines fest vorgegebenen abbildungsbereiches in einem funktionellen Zusammenhang mit der zu messenden Größe steht, in ein digitales Signal dadurch erfolgt, daß Empfänger in diesem Abbildungsbereich solche Stellen abtasten, an denen die Periodenzahlen, gerechnet zwischen diesen Stellen und einem gemeinsamen Bezugspunkt, dessen Intensitatsniveau den Code bestimmt, der durch Justierung der Lage der Empfänger gewonnen wird, sich verhalten wie 1 t 2 s 4 : 8 : Au#erdem ist bekannt, daß man den Informationsparameter der Meßgröße Weg in binärcodierte Ausgangssignale mit Hilfe von Impulsmaßstäben oder -scheiben umwandeln kann.
  • Handelt es sich um Impulsmaßstäbe mit 2 Spuren, wobei die Teilung der einen Spur gegenüber der anderen um § Teilungsintervall verschoben ist und tastet diese fotoelektrisch ab, so erhält man unter Verwendung eines Zänlrichtungsdiskriminators und eines Vor- und Rückwärtszählers eine inkrementalcodierte Anzeige.
  • Codescheiben oder -schienen, die mehrere Spuren besitzen, die foto elektrisch abgetastet werden und wobei jeder der fotoelektrischen Empfänger nur über L oder 0 Cd. h. z. B. hell oder dunkel) zu entscheiden hat, liefern eine absolutcodierte Meßwertanzeige.
  • Codierte digitale Ausgangssignale kann man auch dadurch erreichen, daß man Me#fühler für Wege mit analogem Abbildungssignal benutzt. Dieses analoge Abbildungssignal wird mit Hilfe eines Analog-Digit-al-Wandlers in ein digitales Signal umgewandelt0 Codescheiben und -schienen mit zwei oder mehreren Spuren sind zur digitalen Me#wertanzeige großer ziege (> 1mm) geeignet. Da Teilungen unter ### mm wirtschaftlich nicht mehr vertretbar sind, könnte ein Weg von 1 mm nur auf + 1 /«o vom Endwert aufgelöst werden.
  • Verfahren mit Analog-Digital-Wandler sind aufwendig und bringen auf Grund der erforderlichen Zwischenelemente zusätzliche Fehler mit sich.
  • Es ist Zweck der Erfindung, die genannten Mängel zu beseitigen, also kleine Wege (< 1mm) direkt ohne Zwischenelemente in codierte Ausgangssignale zu verwandeln.
  • Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, Meßfühler für kleine Wege (< 1 mm) zu bauen, die auf direktem Wege - also ohne Zwischenelemente - ein codiertes Ausgangssignal liefern. Es soll eine Absolutcodierung sowohl im Graycode als auch im Dualcode mit V-Abtastung und eine Inkrementalcodierung möglich sein.
  • Erfindungsgemä# wird die Aufgabe wie folgt gelöst. Die sich periodisch mit dem Informationsparameter des Meßsignals änderne Intensitätsverteilung entsteht durch interferierende, monochromatische und parallele Lichtstrahlen am Keil (Fizeauinterferenzen). Durch die Meßgröße Weg wird der Keilwinkel zweier planparalleler Glasplatten verändert. Die Ordnungszahl # an einer beliebigen Stelle des Keiles ist gegeben durch die 2d@ Beziehung #= wobei d die Dicke des Keiles an @ dieser Steile, n der Brechungsindex und # die Wellenlange des Lichtes ist. Die entstehenden Interferenzbilder werden in bekannter Weise (DWP 60 153 ) mit mehreren fotoelektrischen Empfängern abgetastet, wenn ein absolutcodiertes Ausgangssignal gewünscht wird. Der abstand (in Lichtrichtung) der Drehachse, die sich in einer der beiden Keilflächen befinden iaa1, zur anderen Keilfläche bestimmt die Art des Codes, in der verschlüsselt wird. Will man im Dualcode verschlüsseln, dann muß genau wie bei den Codescheiben oder -schienen eine sicherheitsabtastung, z.B. V-Abtastung erfolgen, d.h. alle Spuren außer der Spur mit der niedrigsten Wertigkeit müssen mit zwei fotoelektrischen Empfängern, die um 90° phasenverschobene Signale erhalten, abgetastet werden. Diese Signale werden dadurch erzeugt, dal3 z. B. die feststehende Glasplatte, die senkrecht zu den Lichtstrahlen steht, an der den lauftkeil mit bildenden Fläche. eine Stufung in Richtung der Drehachse aufweist. Die Stufenhöhe der beiden erforderlichen Stufen # mu# je betragen. Das gleiche kann auch erreicht wer-16 den, wenm die Spur der Drehachse auf der Keilfläche der feststehenden Glasplatte mit der Drehachse einen solchen Winkel bildet, daß die fotoelektrischen fänger, deren Verbindungsgerade parallel zur Drehachse verlaufen mu#, um 90° phasenverschobene Signale erhalten.
  • Verwendet man an Stelle eines Keiles zwei oder mehrere Keile, die so hintereinandergeschaltet sind, daß die bewegung des nachfolgenden Keiles von einer beliebigen Stelle des vorhergehenden Keiles eingeleitet wird, drinn werden die Forderungen bei der Absolutcodierung an die Schaltungssicherheit der fotoelektrischen Abtastvorrichtlng erheblich herabgesetzt. Dazu ist erforderlich, daß man alle Spuren, die zwischen der Drehwachse des vorhergehenden Keiles und dem Abgriffpunkt zur Bewegung des nachfolgenden Keiles liegen, im nachfolgenden Keil abtastet. DadurCh werden eine Verbreitung der Interferenzstreifen und größere Wanderwege der Interferenzstreifen (bezogen auf eine bestimmte Änderung der Meßgröße) erzielt, was die fotoelektrische Abtastung wesentlich erleichert.
  • Der Keil, der aus zwei planparallelen Glasplatten gebildet wird, bietet außerdem noch die Möglichkeit zur Inkrementalcodierung, da die Ordnungszahl an Jeder beliebigen Stelle des Keiles in fester Beziehung zum Weg bzw. Winkel steht. Die Zäjilung kann z. B. so erfolgen, daß mit Hilfe der beschriebenen Stufung an einer beliebigen Stelle des Keiles zwei um 90° phasenverschobene Signale, die einem Vor-Rückwärtszähler zugeführt werden, erzeugt werden oder so, daß die im Keil entstehenden Interferenzstreifen, die sich zwischen der Drehachse und einer beliebigen Stelle im Keil ausbilden, der Reihe nach mit Hilfe einer Ablenkvorrichtung auf einen totoelektrischen empfänger mit nachgeschaltetem Geradeauszähler abgebildet werden. Die Ablenkvorrichtung kann z.B. eine Schwinglinse oder ein rotierender Spiegel oder Planplatte sein.
  • Die Erfindung soll nachstehend an in den Zeichnungen dargestellten Ausfiiirungsbeispielen näher erläutert werden. In den dazugehörigen Zeichnungen zeigen: Fig. 1: Vorrichtung zur erzeugung sich periodisch anderen der Intensitätsverteilungen zur Verschlüsselung im Graycode und zur Inkrementalcodierung.
  • Fig. 2: Keilpaar mit abgestufter Platte zur Erzeugung sich periodisch andernder Intensitatsverteijungen zur Verschlüsselung im Dualcode und zur Inicrementalcodierung.
  • Fig. 3: Keilpaar, das gegenüber der Drehachse des Systems ein geneigtes Interterenzstreifensystem erzeugt und zur Dualcodierung und Iiiirementalcodierung geeignet ist.
  • Fig. 4: Hintereinandergeschaltete Keile.
  • Dic Glasplatten 5 und 6 werden nach Fig. 1 mit Hilfe des Kondensators 2 und einer monochromatischen Lichtquelle 1 mit parallelem, monochromatischen Licht durchstrahlt.
  • Die zwischen den beiden Glasplatten en-tstehende Interferenzerscheinung wird vom optischen System 3 auf die fotoelektrischen Empfänger 4, z. B. Fotowiderstande, an denen das absolutcodierte Signal hervorgerufen wird, abgebildet. Um ein absolutcodiertes Signal zu erhalten, werden die Empfänger entsprechend Patent Nr. DWP 60 153 angeordnet. Außerdem muß das optische System 3 fixiert werden.
  • Die Verschlüsselung erfolgt im Graycode, da im Ursprung (in der Ansprengfläche) ein Maximum an Intensität vorliegt.
  • Die beweglich. Glasplatte 5 weist einen Absatz auf, mit dem eie an die feststehende Glasplatte 6 angesprengt wird. Die verbindungsstelle wird außerdem kraftschlüssig gesichert. Die Änderung der Meßgröße Weg ruft eine Winkeländerung der Glasplatte 5 hervor, wobei ihr Absatz als Drehgelenk benutzt wird. binde Inkrementalcodierung erhält man mit dieser Vorrichtung, wenn die im Keil entstehenden Interferenzstreifen der Reihe nach z. B. mit Hilfe einer optischen Ablenkvorrichtung (Schwinglinse) auf einen der gezeich neten iinipfänger mit nachgeschaltetem Verstärker, Trigger und Geradeaussähler abgebildet werden. In Fig. 1 ist dargestellt, wie das optische System 3 schwingen muß, so da# an einem der Empfänger die Interferenzstreifen im Keil ausgewählt werden können.
  • Nach Fig. 2 wird die Anderung der Me#grö#e Weg in eine Winkeländerung der Glasplatte 5, die aul Schneiden 9 um die Achse LL drehbar ist, umgeformt. Die feststehende Glasplatte 6 besitzt auf der zum Luftkeil zeigenden # Flache zwei Stufen mit je einer Stufenhöhe von 16 Durch die stufung erhält man 3 Interferenzstreifensysteme, von denen je 2 benachbarte um Ç Breite eines hellen oder dunklen Interferenzstreifens phasenverschoben sind. Die fotoelektrischen Empfänger 4 werden nun in cer dargestellten Weise angeordnet. Die Verbindungsgerade zweier zu einer Spur gehöriger empfänger muß parallel zum Bild der Drehachse A'A' verlaufen. In Fig. 2 ist die Lage der Interferenzstreifensysteme dargestellt, die dem überhang von dem Codewort, das die Dezimalzahl 3 verschlüsselt, zu dem, das die Dezimalzahl 4 verschlüsselt, entspricht.
  • Bringt man an den gestrichelt gezeichneten Stellen fotoelektrische Empfänger an, dann erhält man hier um 900 phasenverschobene Signale, die über einen Zählrichtungsdiskriminator einem Vor Rückwärtszähler zugeführt werden können. Somit erhält man auch eine Inkrementalcodierung.
  • Nach Fig. 3 schließen die Drehachse der Glasplatte 5 und die Spur der Drehachse AA auf der dem Luftkeil zugekehrten Fläche der feststehenden Glasplatte 6 einen solchen Winkel miteinander ein, daß die fotoelektrischen Empfänger 4, deren Verbindungsgerade parallel zur Achse A'A' verlaufen muß, um 90° phasenverschobene Signale erhalten. Diese Vorrichtung erspart das Anbringen einer Stufung - bringt aber zusätzliche Justierprobleme mit sich. In Fig. 3 ist wieder die Lage der Interferenzstreifensysteme dargestellt, die dem Ubergang von dem Codewort, das die Dezimalzahl 3 verschlüsselt, zu dem, das die DezimalzZll 4 verschlüsselt, entspricht. Die gestrichelt gezeichneten stellen dienen entsprechend iig. 2 der Inkrementalcodierung. zeigt 4 zeigt zwei hintereinandergeschaltete Keile. Die Glasplatten 6 und 8 stehen fest, während die bewegliche Glasplatte5 um die Drehachse s~ und die Glasplatte 7 um A1A1 drehbar ist. Die Meßgröße Weg verändert den Keilwinkel zwischen den Glasplatten 5 und 6. An der Stelle P wird die Bewegung in der dargestellten Art und Weise auf die Glasplatte 7 übertragen. Die fotoelektrische Abtastung der Spuren, die zwischen der Stelle P und der Drehachse ~~ liegen, erfolgt im zweiten Keil. In der Zeichnung wird der im ersten Kcil gestrichelt gezeichnete Empfänger verlagert. Durch die damit verbundene Verbreiterung der Interferenzstreiien und die grö#eren Wanderwege (bezogen auf eine bestimmte Änderung der Me#grö#e) dieser werden die Anforderungen bei absolutcodierung an die fotoelektrische Abtastung bezäglich der Konstanz des Triggerschaltpunktes wesentlich herabgesetzt. In Fig. 4 ist die Lage der Interferenzstreifensysteme dargestellt, die dem Übergang von dem Codewort, das die Dezimalzall 7 verschlüsselt, zu de., das die Dezimalzahl 8 verscillüsselt, entspricht (Graycode).

Claims (4)

  1. Patentansprüche 1. Vorrichtung, insbesondere zur Umwandlung von Weg-bzw. 11)inkeländerungen mit Hilfe von Fizeau-Interferenzstreifen in entsprechende Ausgangssignale, dadurch gekennzeichnet, daß zur Erzeugung von inkremental- und/ oder absolutcodierte Ausgangssignalen zwei planparallele Glasplatten (5;6) derart angeordnet sind, daß die eine Glasplatte (5), die einen Absatz besitzt, mit diesem Absatz auf der anderen Glasplatte (6) angesprengt ist, wobei der Absatz gleichzeitig als Drehgelenk verwendbar ist, oder daß eine der beiden Glasplatten (5;6) auf Schneiden (9) drehbar lagert ist und daß ferner an sich bekannte Vorrichtungen, beispielsweise ein Projektionsobjektiv (3) und ein oder mehrere fotoelektrische Empfänger (4) angeordnet sind.
  2. 2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß eine der beiden planparallelen Glasplatten (5;6) in Richtung der Drehachse (AA) entsprechend, beispielsweise mit einer Stufenhöhe von Je , abgestuft ist.
  3. 3. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die beiden planparallelen Glasplatten (5:6) derart angeordnet sind, daß die Drehachse (AA) und die Spur der Drehachse auf der gegenüberliegenden Fläche einen von Null verschiedenen Winkel bilden.
  4. 4. Vorrichtung nach Anspruch 1 bis 3, dadurch gekennzeichnetß daß mehrere Keilpaare, Jeweils bestehend aus zwei planparallelen Glasplatten, wobei die Bewegung des nachtolgenden Keilpaares durch die Bewegung des vorhergehenden Keilpaares ausgelöst wird, entsprechend angeordnet sind.
    L e e r s e i t e
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE1226073B (de) * 1961-06-24 1966-10-06 Still Fa Carl Horizontalkokskammerofen mit regenerativem Waermeaustausch von Heizmedien und Abgasen
EP0352602A2 (de) * 1988-07-27 1990-01-31 Bodenseewerk Gerätetechnik GmbH Optischer Lagegeber
EP0499545A1 (de) * 1991-02-14 1992-08-19 Bertin & Cie Empfänger zum paralellen Demultiplexen für ein optisches Sensornetzwerk mit Spektralmodulationskodierung

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE1226073B (de) * 1961-06-24 1966-10-06 Still Fa Carl Horizontalkokskammerofen mit regenerativem Waermeaustausch von Heizmedien und Abgasen
EP0352602A2 (de) * 1988-07-27 1990-01-31 Bodenseewerk Gerätetechnik GmbH Optischer Lagegeber
EP0352602A3 (en) * 1988-07-27 1990-12-05 Bodenseewerk Geratetechnik Gmbh Position-providing device
EP0499545A1 (de) * 1991-02-14 1992-08-19 Bertin & Cie Empfänger zum paralellen Demultiplexen für ein optisches Sensornetzwerk mit Spektralmodulationskodierung
FR2673022A1 (fr) * 1991-02-14 1992-08-21 Bertin & Cie Recepteur de demultiplexage parallele pour un reseau de capteurs optiques a codage de modulation spectrale.

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