DE1771527B2 - Vorrichtung zur galvanischen Abscheidung eines metallischen Films von gleichförmiger Dicke auf einer ebenen Oberfläche - Google Patents

Description

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Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur galvanischen Abscheidung eines metallischen Films von gleichförmiger Dicke auf einer ebenen Oberfläche eines metallischen Gegenstandes, insbesondere einer Magnetaufzeichnungsscheibe, mit einem Elektrolytbehälter, in den ein als Kathode dienender Halter für den Gegenstand und parallel zu diesem verlaufend, bis an die quer zu dieser Richtung angeordneten, nicht leitenden Behälterwandungen sich erstreckend eine oder mehrere Anodenplatten einsetzbar sind.

Diese aus der DT-AS 12 04 492 bekannte Vorrichtung ist zur Erzeugung großer Schichtdicken in sehr kurzen Expositionszeiten ausgelegt, um galvanische Überzüge ohne dendritisches Wachstum zu erhalten.

Bei der Herstellung von metallischen Filmen, die als Magnetspeicher in modernen Datenverarbeitungsanlagen verwendet werden sollen, ist nicht die Schichtdicke das entscheidende Qualitätskriterium; vielmehr ist eine möglichst ideale Gleichförmigkeit der Schichtdicke erwünscht Bislang hat man nur durch die Zwischenschaltung nicht leitender Blenden zwischen Anode und Kathode (Metalloberfläche, September 1951, Seiten B 129 bis 132) die Strombahnen so beeinflussen können, daß die üblicherweise zum Rand hin zunehmende Schichtdicke nicht mehr als 4% von der in mittleren Bereichen des zu plattierenden Gegenstandes gemessenen Schichtdicke abweicht Selbst diese Schichtdicken-Schwankung beeinträchtigt in erheblichem Umfang die Qualität eines metallischen Films, der als Speichermedium für digitale Daten dienen soll. Man hat diese Randverdickungen des metallischen Films auch gemäß DT-AS 12 32 432 durch besondere Gestaltungen der Matrize bei der Herstellung von Metallfolien zu beseitigen versucht. Die dabei verwendeten Ausgleichsmuster erfordern eine spezielle, dem jeweiligen zu plattierenden Gegenstand angepaßte Kathodenfläche und sind außerdem nicht geeignet, Schichtdickenschwankungen in dünnen Filmen zu verhindern. Die aus der GB-PS 3 12 395 schließlich bekannte Vorrichtung arbeitet zwar mit einem einigermaßen gleichförmigen elektrischen Feld, ist jedoch auf die Plattierung zylinderförmiger Gegenstände beschränkt und bringt wegen der besonderen Führung des Elektrolyten zusätzliche Probleme.

Der Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, die Vorrichtung der genannten Art derart weiterzubilden, daß ein metallischer Film von extrem gleichförmiger Dicke durch Elektroplattieren eines metallischen Gegenstandes hergestellt werden kann, der insbesondere in modernen Datenverarbeitungsanlagen als Magnetspeicherfläche Verwendung finden kann.

Die Lösung dieser Aufgabe gelingt bei der eingangs genannten Vorrichtung erfindungsgemäß dadurch, daß die als Halter ausgebildete Kathode den Elektrolytbehälter durchsetzt und bis an die gegenüberliegenden Wände dieses Behälters reicht und daß sie eine öffnung zur Aufnahme des Gegenstandes aufweist, dessen zu galvanisierende Oberfläche dann mit der Kathoden oberfläche eine im wesentlichen durchgehende, ebene zu beschichtende Fläche bildet. Ohne die Verwendung besonderer, die Strombahnen lenkender Blenden erreicht die Erfindung eine Schichtdicken-Kontinuität de; plattierten Gegenstandes, bei dem die Dickenschwan kungen des plattierten Filmes weinger als 1% über die gesamte plattierte Oberfläche betragen.

Zweckmäßig werden oben in den Seitenwänden offe ne parallele Führungsnuten zum lösbaren Einsatz de Halters und der Anode sowie gegebenenfalls eines Dia phragmas vorgesehen. Die Qualität der plattiertei Schicht leidet nicht, wenn der scheibenförmige Gegen stand mit dünnen, leitfähigen Ringen in der öffnung de Halters festgelegt ist. In eine zentrale öffnung de scheibenförmigen Gegenstandes kann dann ein leitfäh ger Stopfen eingesetzt sein, dessen plattierbare Außer fläche in der Ebene der plattierbaren Oberfläche de

Gegenstandes liegt Zweckmäßig wird der Stopfen in ler zentralen öffnung des scheibenförmigen Gegen- ;tandes dann durch leitfähige Ringe festgelegt Zur Erzielung eines Druckausgleichs im Elektrolyten zwiichen den Elektroden, der die Beschaffenheit des plat- S jerten Niederschlages weiter verbessert, kann vorge- »ehen sein, daß unterhalb des Elektrolytbehälters eine mit diesem Behälter durch einen sich über dessen gesamte Breite erstreckenden Längsschlitz verbundene Druckausgleichskammer angeordnet ist, daß in diese Druckausgleichskammer die Einlaßöffnung für den Elektrolyten einmündet die als konisches, längs des Schlitzes verlaufendes l-ochblech, dessen Löcher in ihrem Öffnungsquerschnitt in Richtung auf die Verjüngung des Konui abnehmen, ausgebildet ist und daß zwischen dem Lochblech und dem Schlitz Ausgleichsbleche angeordnet sind, die einander in verschiedenen Höhen teilweise überdecken.

Die Erfindung wird nachstehend an einem Ausführungsbeispiel unter Bezugnahme auf die Zeichnungen näher beschrieben. Im einzelnen zeigt

F i g. 1 einen Querschnitt der Elektroplattiervorrichtung,

F i g. 2 eine Ansicht der Vorrichtung in F i g. 1 von oben, ²S

F i g. 3 einen teilweisen Längsschnitt der Vorrichtung,

F i g. 4 eine schematische Darstellung des Halters für die Scheibe und

F i g. 5 ein schematisches Schaltbild einer elektrisehen Schaltung, die mit den Elektrodenanordnungen beim beiderseitigen Galvanisieren der Scheibe verbunden ist.

Die Elektroplattiervorrichtung weist einen Tank 10 auf, der aus einem nichtleitenden Material, wie etwa glasfaserverstärktem Polyester, besteht. Der Tank 10 hat gegenüberliegende Seitenwände 12 und 14, gegenüberliegende Stirnwände 16 und 18 und einen Bodenteil 20. Die gegenüberliegenden Seiten- und Stirnwände sind im wesentlichen parallel zueinander und senkrecht zum Bodenteil 20 angeordnet. Das Bodenteil 20 weist einen Längsschiitz 22 auf, der sich zwischen den beiden Seitenwänden 12 und 14 erstreckt. Die gegenüberliegenden Stirnwände 16 und 18 haben Langlöcher 24 bzw. 26, die sich am oberen Ende des Tanks entlang den Stirnwänden erstrecken. Die Langlöcher 24 und 26 führen in Kanäle 28 bzw. 30, die außen an den Stirnwänden 16 und 18 angeformt sind und einen Teil ihrer Außenfläche ausmachen. Die Kanäle 28 und 30 leiten den flüssigen Elektrolyten vom Tank in einen (nicht dargestellten) Vorratsbehälter.

In den Stirnwänden 12 und 14 sind in Verlängerung des Langloches 22 ein Paar Führungenuten 32 und 32' vorgesehen. Die Nut 32 läuft in der StVnwand 12 vom oberen Ende des Tanks 10 herab bis zu einem etwas über dem Schlitz 22 liegenden Punkt, während sich entsprechend die Nut 32' in der Stirnwand 14 vom oberen Ende des Tanks herab bis zu einem ähnlichen Punkt kurz über dem Schlitz 22 erstreckt. Die oberen Enden der Nuten 32 und 32' erweitern sich zu den Seitenwänden 16 und 18 hin und ermöglichen die Aufnahme und Abstützung eines Halters 34.

Wie aus F i g. 1 und 4 deutlich hervorgeht, besteht der Halter 34 aus einer im wesentlichen rechtwinkligen Platte mit einem oberen, als Handgriff ausgebildeten Abschnitt 35. Der Halter ist aus einem galvanisierbaren Material hergestellt, das nach dem gleichen Verfahren gereinigt werden kann, welches für die Säuberung der durch die Vorrichtung zu galvanisierenden Teile nötig ist So kann z. B. der Halter 34 aus Kupfer bestehen, wenn eine Messingscheibe 36 (F i g. 4) gaWanisieri werden soll. Der Halter 34 hat in der dargestellten Weise zwei gegenüberliegende, im wesentlichen ebene galvanisierbare Flächen 38 und 40 und ferner eine Öffnung 42 zur Aufnahme des zu galvanisierenden Teiles, hier der Scheibe 36. Diese hat ebenfalls zwei gegenüberliegende, im wesentlichen ebene und galvanisierbare Flächen 44 und 46. Der Halter 34 ist so angeordnet daß die Flächen 38 und 40 mit den Flächen 44 bzw. 46 eine im wesentlichen durchgehende ebene elektroplattierbare Fläche bilden, wenn die Scheibe 36 in der öffnung 42 angeordnet ist

Um die Scheibe 36 im Halter 34 im wesentlichen senkrecht zu den Seitenwänden 12 und 14 einzuspannen, ist ein Paar ebener und außerordentlich dünner Ringe 48 und 50 vorgesehen, die den Rand der Scheibe 36 und die öffnung 42 im Halter 34 überdecken. Die Ringe 48 und 50 bestehen auch aus Kupfer und sind am Halter 34 mittels mehrerer kleiner Kupferschrauben 52 befestigt, die so weit in den Halte/ hineinreichen, daß sie im wesentlichen mit der äußeren Fläche der Ringe abschließen. Die Scheibe 36 kann auch eine zentrale öffnung 54 (F i g. 4) haben. Um diese öffnung 54 auszufüllen, ist ein flacher Stopfen 56 vorgesehen, der in die öffnung 54 paßt und die im wesentlichen ebenen galvanisierbaren Flächen der gegenüberliegenden Flächen der Scheibe 36 erweitert Der Stopfen 56 besteht ebenfalls aus einem Metall, wie Kupfer, das dem gleichen Reinigungsverfahren wie die Messingscheibe unterworfen wird.

Um den Stopfen 56 in der öffnung 54 einzuspannen, ist ein Paar flacher Kupferringe vorgesehen, die die gegenüberliegenden Flächen der Scheibe 36 um die öffnung 54 herum ein wenig überdecken. Die Ringe 58 und 60 sind extrem dünn gehalten und mit dem Stopfen 56 durch mehrere Kupferschrauben 62 verbunden, die in den Stopfen 56 eingeschraubt sind und mit der äußeren Fläche des Ringes 58 abschließen.

Da die Ringe und Schrauben für die Einspannung der Scheibe 36 in der öffnung 42 im Halter 34 außerordentlich dünn sind und nur äußerst wenig über die im übrigen vollständig ebene galvanisierbare Fläche hervorstehen, haben sie, wenn überhaupt, nur einen sehr kleinen Einfluß auf das gleichmäßige Galvanisieren.

Gleich weit entfernt auf gegenüberliegenden Seiten der Nuten 32 und 32' sind zwei Paar Führungsnuten 64 und 64' sowie 66 und 66' vorgesehen. Die Nuten 64 und 66 laufen in der Seitenwand 12 vom oberen Ende des Tanks 10 parallel zur Nute 32 nach unten bis zu zwei Stellen unmittelbar neben dem Schlitz 22. Die Nuten 64' und 66' laufen in der Seitenwand 14 nach unten und liegen mit den Nuten 64 und 66 jeweils in einer Ebene Die oberen Enden der Nuten 64, 64', 66 und 66' sind etwas erweitert, um die oberen Teile eines Paares vor Diaphragmen 68 und 70 aufzunehmen und zu halten wie die F i g. 1 und 2 zeigen.

Die Diaphragmen 68 und 70 erstrecken sich zwischen den Wänden 12 und 14 sowie im wesentlicher parallel zum Halter 34 auf gegenüberliegenden Seiter des Schlitzes 22. Die Diaphragmen sind so angeordnet daß nur dann der Elektrolyt durch ihre Poren dringt wenn ein vorbestimmter Druckunterschied zwischer beiden Diaphragmen besteht. Außerdem sind die Dia phragmen 68 und 70 so angebracht, daß sie innerhall des Tankes 10 etwas über den unteren Rand der Aus laßöffnungen 24 und 26 in den Seitenwänden des Tan

kes 10 reichen. Wie noch beschrieben werden wird, verhindert diese Anordnung der Diaphragmen 68 und 70, daß der Elektrolyt durch die Diaphragmen zum Halter fließt, während im reinen Elektrolyten, der mit den Galvanisierflächen der Scheibe 36 und des Halters 34 in Berührung ist, eine gleichförmige Spannung aufrechterhalten wird.

Gleich weit entfernt von den Nuten 64 und 64' laufen von der Stirnwand 16 entlang den Wänden 12 und 14 Nuten 72 und 72'. Diese Nuten 72 und 72' ergeben eine Führung 74, die eine Anode 76 aufnimmt. Diese Anode 76 weist einen metallischen Querträger 78 auf, der sich über die Führung 74 von der Seitenwand 12 bis zur Seitenwand 14 erstreckt. Dieser Querträger 78 liegt oben auf den Seitenwänden 12 und 14 auf und ist mit «5 ihnen durch ein Paar Schrauben 82 und 84 verbunden, die durch zwei Langlöcher 86 und 88 im oberen Teil des Querträgers 78 in die Seitenwände 12 und 14 geschraubt sind (F i g. 2). Durch Lösen der Schrauben 86 und 88 kann die Anode gegenüber dem Halter 34 vor- und zurückbewegt werden, wodurch die Einstellung einer bestimmten Lage der Anode 76 in der Führung 74 möglich wird.

Der Querträger 78 trägt mehrere flache Anoden 90, 92, 94. Die Anoden sind am Querträger 78 durch Schrauben % befestigt, die durch die Anoden in einen aufwärts gerichteten Flansch 80 des Querträgers geschraubt sind. Die Anoden 90,92 und 94 liegen entlang dem Querträger 78 in kleinen Abständen voneinander fluchtend angeordnet. Durch diese Anordnung ist eine 3» im wesentlichen ebene Anodenfläche ausgebildet, die im wesentlichen parallel zum Halter 34 zwischen den Seitenwänden 12 und 14 des Tanks 10 verläuft.

Wie in F i g. 2 dargestellt, ragt der Querträger 78 über die Seitenwand 12 hinaus, um ein Verbindungsstück 98 aufzunehmen. An dieses Verbindungsstück 98 wird ein Kabel 100 angeschlossen, das den elektrischen Strom der Anode 76 zuführt.

Gleich weit entfernt von den Nuten 66 und 66' laufen von der Stirnwand 18 entlang den Seitenwänden 12 und 14 Nuten iO2 und 102'. Diese Nuten 102 und 102' bilden eine Führung 104, die eine Anode 106 aufnimmt. Die Anode 106 weist einen metallischen Querträger 108 auf, der sich über die Führung 104 von der Seitenwand 12 bis zur Seitenwand 14 erstreckt. Der Querträger liegt oben auf den Seitenwänden 12 und 14 auf und ist mit ihnen durch ein Paar Schrauben 111 und 112 verbunden, die durch zwei Langlöcher 116 und 118 in den Oberflächen des Querträgers 108 in die Seitenwände 12 und 14 eingeschraubt sind (F i g. 2). Durch Lösen der Schrauben 111 und 112 kann die Anode gegenüber dem Halter 34 vor- und zurückbewegt werden, wodurch die Einstellung einer bestimmten Lage der Anode 106 in der Führung 104 ermöglicht wird.

Der Querträger 108 trägt eine Vielzahl von flachen Anodenplatten 120, 122, 124. Sie sind am Querträger 108 durch Schrauben 125 befestigt, die durch die Anoden in einen aufwärts gerichteten Flansch 110 des Querträgers geschraubt sind. Die Plattenanoden 120, 122 und 124 liegen mit keinem Abstand voneinander in ^fc einer Reihe nebeneinander entlang dem Querträger 108. Durch diese Anordnung bildet sich eine im wesentlichen ebene Anodenfläche aus, die im wesentlichen parallel zum Halter 34 und zwischen den Seitenwänden 12 und 14 des Tanks 10 verläuft ^6s

Wie in F i g. 2 dargestellt, ragt der Querträger 108 über die Seitenwand 12 hinaus, um ein Verbindungsstück 128 aufzunehmen. An diesem wird ein Kabel 130 angeschlossen, durch das der elektrische Strom zur Anode 106 fließen kann.

Wie in den F i g. 1 und 3 dargestellt, ist der Tank 10 auf einer Druckausgleichskammer 132 montiert. Diese Kammer 132 ist von dem Tank durch eine Dichtung 134 getrennt und hat eine Einlaßöffnung 136, durch die der gefilterte Elektrolyt in die Kammer 132 gelangen kann. Die Kammer 132 hat ferner eine längliche Auslaßöffnung 138, die mit dem Schlitz 22 im Tank 10 über eine Öffnung 140 in der Dichtung 134 verbunden ist.

Um die Einlaßöffnung 136 herum ist längs der Auslaßöffnung 138 ein hohles konisches Lochblech 142 angeordnet. Zur Halterung dieses konischen Lochbleches 142 ist ein nach außen gebogener Flansch 144 vorgesehen, der an einer Seitenwand der Kammer 132 mittels mehrerer Schrauben befestigt ist. Das konische Lochblech 142 hat zwei Gruppen von Auslaßöffnungen 146 und 148 (F i g. 1), die in die Kammer 132 münden und zu einander gegenüberliegenden Seiten der Kammer gerichtet sind. Die Auslaßöffnungen jeder Gruppe sind in einer von der Einlaßöffnung 136 weggerichteten Linie ausgerichtet, sie haben Abstand voneinander und einen um so kleineren Öffnungsquerschnitt, je näher sie am geschlossenen, kleineren Ende des konischen Lochbleches 142 liegen. Die Auslaßöffnungen sind insbesondere so dimensioniert, daß der durch die Öffnung 136 in das konische Lochblech 142 eintretende Elektrolyt mit gleicher Geschwindigkeit durch die Auslaßöffnungen fließt, unabhängig davon, wie weit diese Öffnungen von der Einlaßöffnung 136 entfernt sind. Mit dieser Anordnung des konischen Lochbleches 142 wird erreicht, daß der Staudruck des Elektrolyten beim Einpumpen in die Kammer 132 aufrechterhalten bleibt.

Außer dem konischen Lochblech 142 enthält die Ausgleichskammer 132 mehrere Ausgleichsbleche 152, 154 und 156. Die Ausgleichsbleche 152 und 154 liegen in einer gemeinsamen Ebene und ragen von gegen überliegenden Seitenwänden in die Kammer 132. Die Ausgleichsbleche 152 und 154 haben Abstand voneinander, so daß sich eine Öffnung 158 ergibt, durch die die Flüssigkeit in der Kammer 132 aufwärts steigen kann. Das Ausgleichsblech 156 erstreckt sich zwischen den gegenüberliegenden Stirnwänden der Kammer 132 über der Öffnung 158. Durch diese Anordnung der Ausgleichsbleche 152, 154 und 156 strömt der durch die Auslaßöffnungen im konischen Lochblech 142 austretende Elektrolyt um das Blech 142 herum, durch die Öffnung 158 und um das Ausgleichsblech 156 nach oben und gelangt dann durch die Öffnungen 138, 140 und 22 in den Tank 10. Infolge der beschriebenen Anordnung der Ausgleichsbleche steht der Elektrolyt beim Passieren des Schlitzes 22 in dessen Ebene unter einem konstanten Druck.

Der Elektrolyt steigt auf beiden Seiten des Halters 34 zwischen den Diaphragmen 68 und 70 hoch. Wenn der Elektrolyt zwischen dem Halter 34 und den Diaphragmen emporsteigt entsteht ein Druckunterschied zwischen den beiden Seiten jedes der Diaphragmen welcher einen Teil des Elektrolyten durch die Porer der Diaphragmen in das Gebiet um die Anoden 76 unc 106 eindringen läßt Sobald der Elektrolyt die oberer Enden der Diaphragmen 68 and 70 erreicht hat unc somit die Scheibe 36 und die zu galvanisierenden Flä chen des Halters 34 vollständig in ihn eingetaucht sind fließt er über diese hinweg in das Gebiet um die An öden 76 und 106. Er füllt dann den Rest des Tanks 10 zi einer Höhe aus, die durch die Höhe der Auslaßöffnun gen 24 und 26 bestimmt ist Da, wie vorstehend be

Ä7Q

schrieben, die Diaphragmen 68 und 70 etwas höher sind als der untere Rand der Auslaßöffnungen 24 und 26, bleibt über die Diaphragmen ein Druckunterschied erhalten, der verhindert, daß der Elektrolyt durch die Diaphragmen zum Halter 34 fließt. Dadurch bleibt ein konstantes Volumen an sauberen Elektrolyten mit den galvanisierbaren Flächen der Scheibe und des Halters in Berührung. Da außerdem der Elektrolyt an den zu galvanisierenden Flächen der Scheibe und des Halters aufwärts fließt, bleibt er gegenüber diesen Flächen ständig in Bewegung.

Um einen metallischen Film von gleichmäßiger Dikke und gleichmäßigen magnetischen Eigenschaften auf der Scheibe 36 und dem Halter 34 durch Galvanisieren zu erzeugen, werden die Anoden 76 und 106 sowie der Halter 34 mit einem in F i g. 5 dargestellten elektrischen Schaltkreis verbunden. Der Halter 34 mit der Scheibe 36 ist als Kathode mit dem negativen Pol einer Spannungsquelle, dargestellt als Batterie 160, verbunden. Die Anoden 76,106 sind mit dem positiven Pol der Batterie 160 über Widerstände 162, 164 verbunden. Die Widerstände 162 und 164 sind gleich groß. Zwischen die Widerstände 162 und 164 ist ein Millivoltmeter 166 eingeschaltet. Mit Hilfe der Widerstände und des Millivoltmeters kann eine überall gleiche Stromdichte auf den Flächen der Scheibe 36 eingehalten werden. Um diese Einstellung zu erreichen, werden die Schrauben, die die Querträger der Anoden 76 und 106 haltern, gelöst und die Anoden in ihren Führungen so weit verschoben, bis sich der Ausschlag des Millivoltmeters 166 auf Null einstellt. Dann fließen gleiche Ströme durch die Widerstände 162 und 164 und über die einander gegenüberliegenden zu galvanisierenden Flächen der Scheibe 36 und des Halters 34, wodurch sichergestellt ist, daß die Dicke des erzeugten metallischen Überzuges auf beiden Seiten der Scheibe gleich groß ist.

Hierzu 4 Blatt Zeichnungen O 5.75 509520/14

87Q

Claims (6)

Patentansprüche:

1. Vorrichtung zur galvanischen Abscheidung eines metallischen Filmes von gleichförmiger Dicke auf einer ebenen Oberfläche eines metallischen Gegenstandes, insbesondere einer Magnetaufzeichnungsscheibe, mit einem Elektrolytbehälter, in den ein als Kathode dienender Halter für den Gegenstand und parallel zu diesem verlaufend, bis an die quer zu dieser Richtung angeordneten, nicht leitenden Behälterwandungen sich erstreckend eine oder mehrere Anodenplatten einsetzbar sind, dadurch gekennzeichnet, daß die als Haker (34) ausgebildete Kathode den Elektrolytbehälter durchsetzt und bis an die gegenüberliegenden Wände dieses Behälters reicht und daß sie eine öffnung (42) zur Aufnahme des Gegenstandes (36) aufweist, dessen zu galvanisierende Oberfläche (44) dann mit der Kathodenoberfläche (38) eine im wesentlichen durchgehende, ebene, zu beschichtende Fläche bildet.

2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß oben in den Seitenwänden (12,14) offene, parallele Führungsnuten (32, 32'; 102, 102'; 64, 64'; 66, 66'; 72, 72') zum lösbaren Einsatz des Halters und der Anode (76, 106) sowie gegebenenfalls eines Diaphragmas (68) vorgesehen sind.

3. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der scheibenförmige Gegenstand mit dünnen, leitfähigen Ringen (48, 50) in der öffnung des Halters festgelegt ist.

4. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 oder 3, dadurch gekennzeichnet, daß in eine zentrale öffnung (54) des scheibenförmigen Gegenstandes ein leitfähiger Stopfen (56) eingesetzt ist, dessen plattierbare Außenfläche in der Ebene der plattierbaren Oberfläche des Gegenstandes liegt.

5. Vorrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß der Stopfen (56) in der zentralen öffnung des scheibenförmigen Gegenstandes durch leitfähige Ringe (58,60) festgelegt ist.

6. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß unterhalb des Elektrolytbehälters (10) eine mit diesem Behälter durch einen sich über dessen gesamte Breite erstreckenden Längsschlitz (22) verbundene Druckausgleichskammer (132) angeordnet ist, daß in diese Druckausgleichskammer die Einlaßöffnung (136) für den Elektrolyten einmündet, die als konisches, längs des Schlitzes (22) verlaufendes Lochblech (142), dessen Löcher (146, 148) in ihrem Öffnungsquerschnitt in Richtung auf die Verjüngung des Konus abnehmen, ausgebildet ist, und daß zwischen dem Lochblech (142) und dem Schlitz (22) Ausgleichsbleche (152, 154, 156) angeordnet sind, die einander in verschiedenen Höhen teilweise überdecken.