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Die
Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum Galvanisieren von Gegenständen,
die im Wesentlichen ebene Oberflächen aufweisen, in einem
Durchlaufverfahren; mit
- a) einem Elektrolytbehälter
zur Aufnahme eines Elektrolytbads;
- b) wenigstens einer Transporteinrichtung zur Förderung
der Gegenstände in einer Transportrichtung längs
des Elektrolytbehälters;
- c) einer Kathodeneinrichtung zur Beaufschlagung der Gegenstände
mit einem ersten elektrischen Potential;
- d) einer Anodeneinrichtung zur Beaufschlagung des Elektrolytbads
mit einem zweiten elektrischen Potential,
sowie ein entsprechendes
Verfahren zum Betreiben einer derartigen Vorrichtung.
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Aus
der
DE 196 33 797
B4 ist eine Vorrichtung zum Galvanisieren von elektronischen
Leiterplatten oder dergleichen bekannt, bei der die Leiterplatten
längs eines Bewegungsweges mittels mehrerer rotierender
Walzen gefördert werden. Dabei sind einige der Walzen elektrisch
leitend gestaltet, um die Leiterplatten mit einem ersten elektrischen
Potential zu beaufschlagen. In der bekannten Vorrichtung sind wei terhin
mehrere längs des Bewegungsweges angeordnete Anoden vorgesehen,
die von dem Elektrolytbad umspült werden und die mit einem
zweiten elektrischen Potential beaufschlagt sind. Zwischen den mit
dem ersten elektrischen Potential beaufschlagten Transportrollen
und den mit dem zweiten elektrischen Potential beaufschlagten Anoden
liegt somit eine Potentialdifferenz vor, die zu einer Abscheidung
von Metall aus dem Elektrolytbad auf die Leiterplatten führt.
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Bedingt
durch die Anordnung der Transportrollen gegenüber den Anoden
sowie durch die Gestaltung der äußeren Kontur
der Leiterplatten ergibt sich gegebenenfalls eine inhomogene Verteilung
des elektrischen Feldes. Daraus resultieren bereichsweise unterschiedliche
Stromdichten an der Oberfläche der Leiterplatten, so dass
eine ungleichmäßige Abscheidung von Metall auf
die Leiterplatten auftritt.
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Aus
dem Stand der Technik sind unterschiedliche Einrichtungen bekannt,
die eine homogenere Beschichtung der Leiterplatten mit Metall gewährleisten
sollen. Exemplarisch können hierfür Anodenblenden
oder in mehrere, elektrisch voneinander isolierte Anodensegmente
aufgeteilte Anoden aufgeführt werden. Derartige Einrichtungen
haben jedoch nur einen begrenzten Wirkungsgrad, erfordern eine aufwendige
Anpassung auf die Geometrie der herzustellenden Leiterplatte bzw.
benötigen eine erhebliche Anzahl von zur Bereitstellung
des Galvanisierungsstroms notwendigen Gleichstromquellen.
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Die
Aufgabe der Erfindung besteht darin, eine Vorrichtung zum Galvanisieren
von Gegenständen zu schaffen, die eine einfache, individuelle
Anpassung der lokalen Stromdichten an die zu beschichtenden Gegenstände
ermöglicht.
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Diese
Aufgabe wird durch eine Vorrichtung mit den Merkmalen des Anspruchs
1 sowie durch ein Verfahren mit den Merkmalen des Anspruchs 17 gelöst.
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Vorteilhafte
Weiterbildungen der Erfindung sind Gegenstand von Unteransprüchen.
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Erfindungsgemäß ist
vorgesehen, dass die Anodeneinrichtung wenigstens eine einstellbare
Anode aufweist, die in Abhängigkeit von der gewählten Einstellung
lokal unterschiedliche Stromdichten zwischen der Anodeneinrichtung
und den Gegenständen gewährleistet. Als zu beschichtende
Gegenstände kommen Leiterplatten, also gedruckte Schaltungen,
oder Folien oder Substrate für die Halbleiter- oder Solartechnik
in Frage. Eine einstellbare Anode ermöglicht lokal unterschiedliche
Abstände zwischen Oberflächenbereichen der Anode
und den zu beschichtenden Gegenständen. Durch die lokal
unterschiedlichen Abstände stellen sich lokal unterschiedliche
elektrische Feldstärken und somit auch lokal unterschiedliche
Stromdichten im Elektrolyten ein. Aufgrund von im Wesentlichen zu
den Stromdichten proportionalen Abscheideraten für das
Metall resultieren daraus vorgebbare, lokal unterschiedliche oder
homogene Metall-Schichtstärken auf den Gegenständen.
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In
Ausgestaltung der Erfindung ist vorgesehen, dass die Anode eine
einstellbare äußere Gestalt aufweist. Erfindungsgemäß wird
die Anode derart in ihrer Gestalt verän dert, dass Anodenbereiche
näher oder weiter von der im Wesentlichen ebenen Oberfläche
der zu beschichtenden Gegenstände entfernt sind. Beispielsweise
kann durch die Einstellung der äußeren Gestalt,
also einer die Anode berandenden bzw. umgebenden Hüllkurve,
eine teilweise oder vollständige Kompensation von Randeffekten,
wie sie in den Randbereichen des zu beschichtenden Gegenstandes
aufgrund von Inhomogenitäten des elektrischen Felds auftreten,
vorgenommen werden.
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In
weiterer Ausgestaltung der Erfindung ist vorgesehen, dass die Anode
verschwenkbar aufgehängt ist, um eine Einstellung eines
Feldstärkegradienten durch Veränderung der räumlichen
Lage gegenüber den Gegenständen zu ermöglichen.
Wird die Anode beispielsweise um eine Schwenkachse verschwenkt,
die parallel zur Transportrichtung ausgerichtet ist, ergeben sich
in Querrichtung orthogonal zur Transportrichtung unterschiedliche
elektrische Feldstärken. Bei im Wesentlichen ebener Anode
und idealisiertem elektrischen Feld kann zwischen den voneinander
entfernten seitlichen Bereichen des Gegenstands ein konstanter Gradient
für das elektrische Feld, die daraus resultierenden lokalen
Stromdichten und die damit verknüpften lokalen Metall-Abscheideraten
auf den Gegenstand angenommen werden. Damit kann der Gegenstand
beispielsweise in einem bezogen auf die Transportrichtung rechts gelegenen
Bereich mit einer geringen Schichtstärke als in einem links
gelegenen Bereich beschichtet werden, wobei eine dem Gradienten
des elektrischen Felds zumindest im Wesentlichen entsprechende gleichmäßige
Zunahme der Schichtstärke zwischen dem rechten und dem
linken Bereich vorliegt.
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In
weiterer Ausgestaltung der Erfindung ist vorgesehen, dass die Anode
aus mehreren, zueinander relativbeweglichen, elektrisch miteinander
verbundenen Segmenten aufgebaut ist. Der Abstand der einzelnen Segmente
der Anode gegenüber dem zu beschichtenden Gegenstand kann
entsprechend der Anforderungen für eine gezielt inhomogene
oder homogene Abscheidung von Metall auf den Gegenstand eingestellt
werden. Dabei können die Segmente linear und/oder rotatorisch
zueinander verstellt werden. Die Segmente sind vorzugsweise aus
Material mit einheitlicher elektrischer Leitfähigkeit hergestellt.
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In
weiterer Ausgestaltung der Erfindung ist vorgesehen, dass die Anode
einstückig aus einem elektrisch leitfähigen, elastisch
deformierbaren Material hergestellt ist. Eine solche Anode ist einfach
aufgebaut, vorzugsweise als Metallstreifen mit geringer Dicke. Eine
Einstellung der unterschiedlichen Abstände gegenüber
den zu beschichtenden Gegenständen erfolgt durch elastische
oder gegebenenfalls plastische Deformation der einstellbaren Anode.
Vorzugsweise wird die Anode dabei bereichsweise oder vollständig
mit einem oder mehreren Krümmungsradien gekrümmt.
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In
weiterer Ausgestaltung der Erfindung ist vorgesehen, dass der einstellbaren
Anode Einstellmittel zugeordnet sind, die für eine Festlegung
der äußeren Gestalt und/oder der räumlichen
Lage der Anode dienen. Eine Einstellung der äußeren
Gestalt und/oder der räumlichen Lage der Anode kann auch von
Hand durch Verbiegen oder Knicken erfolgen. Für eine reproduzierbare
Veränderung der äußeren Gestalt und/oder
der räumlichen Lage der Anode sowie für eine ver schleißarme
Nutzung der Anode ist es von Vorteil, wenn Einstellmittel, insbesondere
Einstellschrauben, zur Einstellung der Anode genutzt werden. Die
Einstellmittel bewirken eine Zwangsführung und damit die
gewünschte Deformation und/oder Lageänderung der
Anode. Ein weiterer Vorteil von Einstellmitteln liegt in der Stabilisierung
der elastisch deformierbaren Anode. Damit führen im Elektrolytbad
auftretende Strömungen des Elektrolyts nicht zu einer kurzzeitigen
oder langfristigen Deformation der Anode, insbesondere werden Schwingungen
vermieden.
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In
weiterer Ausgestaltung der Erfindung weisen die Einstellmittel von
einer Steuereinrichtung ansteuerbare Aktoren, insbesondere Getriebemotoren, für
eine fremdkraftbetätigte Gestalt- und/oder Lageänderung
der Anode auf. Mit Hilfe der Aktoren kann somit eine Steuerung oder
Regelung der Gestalt und/oder Lage der Anoden ohne Zutun eines Bedieners
bewirkt werden. Die Steuereinrichtung ermöglicht die Abarbeitung
eines vorgebbaren Steuerprogramms für die Aktoren. Alternativ
kann die Gestaltänderung der Anoden aufgrund von Sensorsignalen geregelt
werden, die von Messeinrichtungen im Elektrolytbad oder dem Elektrolytbad
vor- oder nachgelagerten Mess- und Prüfstationen bereitgestellt
werden. Dies ist insbesondere dann von Interesse, wenn in rascher
Folge unterschiedliche Gegenstände galvanisiert werden
sollen, die zur Gewährleistung einer in wesentlichen homogenen
Schichtdicke oder einer gezielt inhomogenen Schichtdickeverteilung
des Metalls jeweils unterschiedliche lokale Stromdichteverteilungen
benötigen. Diese unterschiedlichen Stromdichteverteilungen
werden durch die ge steuerte oder geregelte Gestalt- und/oder Lageänderung
der Anoden gewährleistet.
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In
weiterer Ausgestaltung der Erfindung ist vorgesehen, dass sich die
Anode mit ihrer längsten Außenkante im Wesentlichen
senkrecht zur Transportrichtung erstreckt. Die Anode weist in der
Transportebene, die sich aus der im Wesentlichen ebenen Oberfläche
der zu beschichtenden Gegenstände ableiten lässt
und die die Transportrichtung umfasst, eine im Wesentlichen rechteckige
Projektion auf. Die längere Kante der rechteckigen Projektion
der Anode ist orthogonal zur Transportrichtung ausgerichtet. Dies
ermöglicht eine Anordnung mehrerer, voneinander beabstandet
angeordneter Anoden in Transportrichtung. Dabei können
die einzelnen Anoden jeweils mit unterschiedlichen elektrischen
Potentialen beaufschlagt werden. Dadurch wird in Transportrichtung ein
vorgebbarer Verlauf von elektrischen Feldstärken verwirklicht.
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In
weiterer Ausgestaltung der Erfindung sind mehrere in Transportrichtung
im Abstand zueinander angeordnete Anoden vorgesehen, die von der
Steuereinrichtung in ihrer Gestalt synchron einstellbar sind. Die
synchron einstellbaren Anoden sind mit einem oder mehreren von der
Steuereinrichtung ansteuerbaren Aktoren zwangsgekoppelt. Eine Betätigung
eines Aktors führt zu einer synchronen Deformation gleicher
Bereiche bei allen miteinander verbundenen Anoden.
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In
weiterer Ausgestaltung der Erfindung sind die in Transportrichtung
im Abstand zueinander angeordneten, einstellbaren Anoden unabhängig
voneinander in ihrer Gestalt ein stellbar. Dies ermöglicht eine
individuelle Gestaltveränderung für jede der Anoden,
so dass eine vorteilhafte Kompensation von feldstärkeabhängigen
Abscheidungseffekten in unterschiedlichen Bereichen des Elektrolytbads
und somit eine im Wesentlichen homogene oder gezielt inhomogene
Abscheidung auf die zu beschichtenden Gegenstände gewährleistet
werden kann.
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In
weiterer Ausgestaltung der Erfindung sind in Transportrichtung einstellbare
und nicht einstellbare Anoden im Abstand zueinander angeordnet.
Dadurch können beispielsweise in Bereichen des Elektrolytbehälters,
in denen ungünstige Strömungsbedingungen für
den Elektrolyten vorliegen, verstellbare Anoden vorgesehen werden.
Diese gewährleisten eine im Wesentlichen homogene oder
gezielt inhomogene Abscheidung von Metall auf den Gegenständen.
In gut durchströmten Bereichen des Elektrolytbehälters
sind aus Kostengründen nicht verstellbare Anoden vorgesehen.
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In
weiterer Ausgestaltung der Erfindung sind der einstellbaren Anode
wenigstens zwei, vorzugsweise wenigstens drei, besonders bevorzugt
wenigsten vier, insbesondere wenigstens fünf Einstellmittel zugeordnet.
Dadurch kann beispielsweise in den seitlichen Randbereichen durch
lokale Annäherung der Anode an den zu beschichtenden Gegenstand eine
höhere Stromdichte als in mittleren Bereichen erreicht
werden. Je nach Anzahl der Einstellmittel wird eine ein- oder mehrfache
Krümmung mit unterschiedlichen Krümmungsradien
für die Anode erreicht.
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In
weiterer Ausgestaltung der Erfindung ist die Anode um eine im Wesentlichen
parallel zur Transportebene und orthogonal zur Transportrichtung
und/oder um eine im Wesentlichen parallel zur Transportebene und
parallel zur Transportrichtung ausgerichtete Schwenkachse verschwenkbar
gelagert. Dadurch können quer und/oder in Transportrichtung
einstellbare, lokal unterschiedliche Stromdichten verwirklicht werden,
die insbesondere einer durch Gestaltänderung der Anode
erzielten Stromdichteverteilung überlagert sind. Vorzugsweise
sind auch zur Verschwenkung der Anode um eine oder mehrere Schwenkachsen
fremdkraftbetätigte Einstellmittel vorgesehen.
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In
weiterer Ausgestaltung der Erfindung ist jede Anode der Anodeneinrichtung
mit einem separaten Gleichrichter verbunden. Damit kann jede Anode
auf ein individuell einstellbares elektrisches Potential gelegt
werden.
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In
weiterer Ausgestaltung der Erfindung ist der Steuereinrichtung zur
Ansteuerung der Einstellmittel eine Schichtdickenmesseinrichtung
zugeordnet, die eine Ermittelung der auf den Gegenstand abgeschiedenen
lokalen Schichtdicken ermöglicht, wobei die Steuereinrichtung
für eine Einstellung der Einstellmittel anhand einer Differenz
zwischen einem ermittelten Schichtdicken-Ist-Profil und einem vorgegebenen
Schichtdicken-Soll-Profil eingerichtet ist. Dies erlaubt eine benutzerunabhängige
Prozessregelung des Galvanisierungsprozesses. Vom Bediener muss lediglich
die gewünschte Schichtdicke bzw. Schichtdickenverteilung
auf dem zu beschichtenden Gegenstand vorgegeben werden. Die Steuereinrichtung kann
anhand der gemessenen Schichtdicken-Ist- Profile eine Abweichung
gegenüber den vorgegebenen Schichtdicken-Soll-Profilen
ermitteln und nimmt unter Verwendung geeigneter Regelalgorithmen
zur Reduzierung der Abweichungen die entsprechenden Gestalt- und/oder
Lageänderungen der Anoden vor.
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Gemäß einem
weiteren Aspekt der Erfindung ist ein Verfahren zum Betreiben einer
Vorrichtung zum Galvanisieren von Gegenständen gemäß einem
der Ansprüche 1 bis 16 vorgesehen, wobei durch Einstellung
einer oder mehrerer Anoden ein Schichtdickenprofil für
die Gegenstände vorgegeben wird. Mit diesem Verfahren kann
je nach Anforderung eine gezielt inhomogene oder homogene Abscheidung
von Metall auf die zu beschichtenden Gegenstände erreicht
werden. Dazu werden die im Elektrolytbad angeordneten, einstellbaren
Anoden gemäß empirisch ermittelten oder theoretisch
vorgegebenen Beziehungen gezielt mit Einstellmitteln deformiert und/oder
in ihrer räumlichen Lage verändert.
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Nachstehend
wird ein Ausführungsbeispiel der Erfindung anhand der Zeichnung
näher beschrieben. In dieser zeigen:
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1 eine
Galvanikanlage mit mehreren in Förderrichtung hintereinander
angeordneten, zum Teil einstellbaren Anodenblechen,
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2 eine
stirnseitige Darstellung der Galvanikanlage gemäß 1,
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3 eine
zweite Ausführungsform einer Galvanikanlage mit einer synchronen
Verstellung der Anodenbleche, und
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4 eine
weitere Ausführungsform der Galvanikanlage mit separat
ansteuerbaren Getriebemotoren zur individuellen Gestaltveränderung
der Anodenbleche.
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Eine
in der 1 schematisch dargestellte Galvanikanlage 10 zur
galvanischen Beschichtung von planparallelen, mit im Wesentlichen
rechteckiger Außenkontur gestalteten Leiterplatten 12 weist
einen Badbehälter 14 auf, in dem ein flüssiges,
nicht näher dargestelltes Elektrolytbad aufgenommen ist.
Der Flüssigkeitsspiegel des Elektrolytbads ist im Bereich einer
Oberkante des Badbehälters 14 angesiedelt. In dem
Badbehälter 14 sind mehrere Förderwalzen 18 jeweils
paarweise angebracht, die zur Förderung der Leiterplatten 12 in
der eingezeichneten Förderrichtung 36 vorgesehen
sind.
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Die
Förderwalzen 18 sind mit einer nicht näher
dargestellten, elektrisch leitfähigen Beschichtung versehen
und stehen jeweils mit Minuspolen nicht dargestellter Gleichrichter
in Verbindung. Sie liegen somit auf ersten elektrischen Potentialen.
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In
das Elektrolytbad sind mehrere Anodenbleche 20 eingetaucht,
die jeweils mit den Pluspolen der oben genannten Gleichrichter elektrisch
verbunden sind. Sie liegen somit auf zweiten elektrischen Potentialen.
Die Anodenbleche 20 sind aus streifenförmigem
Titanblech hergestellt und sind mit einer dünnen Edelmetallschicht,
insbesondere mit Platin, Gold oder Iridium-Mischoxyd, beschichtet.
Die Dicke der Anodenbleche 20 ist so gewählt,
dass sie durch an Tragleisten 30 höhenverstellbar
angebrachte Einstellschrauben 22 in einem vorgebbaren Verstellbereich
elastisch deformiert werden können. Exemplarisch weist
ein Anodenblech bei einer Breite von 400 m eine Dicke von 2 mm auf.
In der 1 sind in Förderrichtung 36 jeweils
abwechselnd verstellbare und nicht verstellbare Anodenbleche 20 im
Abstand zueinander angebracht.
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In
der 2 ist ein verstellbares Anodenblech 20 in
Förderrichtung 36 gezeigt. Das Anodenblech 20 erstreckt
sich nahezu über die gesamte Breite des Badbehälters 14 und
leitet somit das zweite elektrische Potential nahezu über
die gesamte Breite des Badbehälters 14 in das
Elektrolytbad ein. Dadurch bildet sich gegenüber den elektrisch
mit den Förderwalzen 18 gekoppelten Leiterplatten 12 ein elektrisches
Feld aus. Bedingt durch die in der 2 näher
dargestellte, bereichsweise Krümmung des Anodenblechs 20 stellen
sich lokale, abstandsabhängige elektrische Feldstärken
zwischen der Anode 20 und der Leiterplatte 12 ein.
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Mit
den lokal unterschiedlichen elektrischen Feldstärken gehen
lokal unterschiedliche Stromdichten einher, wobei eine Verringerung
des Abstandes zwischen Anodenblech 20 und Leiterplatte 12 eine überproportionale
Steigerung der Stromdichte mit sich bringt.
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Bei
dem in 2 dargestellten Anodenblech 20 sind jeweils
randseitige Bereiche sowie ein zentraler Bereich mit einem minimalen
Abstand zur Leiterplatte 12 angeordnet. Dazwischen liegende
Bereiche der Anode 20 weisen einen größeren
Abstand zur Leiterplatte 12 auf. Damit liegen in den Randbereichen
sowie im zentralen Bereich der Leiterplatte 12 gegenüber
den dazwischenliegenden Bereichen erhöhte Stromdichten
vor. Diese führen zu einer verstärkten Abscheidung
von Metall auf den entsprechenden Bereichen der Leiterplatte 12.
Dadurch werden Inhomogenitäten des elektrischen Feldes,
wie sie bei im Wesentlichen parallel zur Oberfläche der Leiterplatte 12 angeordneten
Anodenblechen auftreten würden, zumindest teilweise kompensiert.
Alternativ kann eine gezielte inhomogene Abscheidung von Metall
durch entsprechende Deformation der Anodenbleche 20 bewirkt
werden.
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Die
in den 1 und 2 dargestellten Einstellschrauben 22 sind
für eine manuelle Verstellung durch einen Bediener vorgesehen.
Dies ist eine besonders kostengünstige Lösung,
die bei einer Großserienproduktion von immer gleichen Leiterplatten 12 eingesetzt
werden kann, da hierbei keine signifikanten Veränderungen
während des Produktionsablaufs auftreten.
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Bei
der Ausführungsform gemäß der 3 sind
die Einstellschrauben durch Getriebemotoren 24 ersetzt,
deren zugeordnete Ausgangswellen 28 parallel zur Förderrichtung 36 ausgerichtet
sind. Die Ausgangswellen 28 sind abschnittsweise mit Scheckengewinden
versehen, die auf drehbeweglich in den Tragleisten 30 angeordnete
Gewindebolzen 34 wirken.
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Die
Gewindebolzen 34 werden durch die Rotation der Ausgangswellen 28 höhenverstellt
und beeinflussen die äußere Gestalt der Anodenbleche 20. Durch
die mit mehreren Gewindebolzen 34 gekoppelten Ausgangswellen 28 ist
eine synchrone Verstellung der Anodenbleche 20 möglich.
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Bei
der in 4 dargestellten Ausführungsform sind über
die Breite des Badbehälters 14 mehrere separat
voneinander ansteuerbare Getriebemotoren 24 an der Tragleiste 30 angeordnet
und wirken jeweils auf Gewindebolzen 34. Dies dient der
individuellen Verstellung des Anodenblechs 20 entsprechend
den Erfordernissen des Galvanisierungsprozesses. Die Getriebemotoren 24 sind über
Steuerleitungen mit einer speicherprogrammierbaren Steuerung 26 verbunden,
in der ein Programm zur individuellen Ansteuerung der Getriebemotoren 24 abgelegt ist.
Vorzugsweise ist die speicherprogrammierbare Steuerung 26 mit
einem nicht dargestellten Schichtdickenmessgerät gekoppelt,
das eine Schichtdickenkontrolle während oder nach dem Galvanisierungsprozess
vornehmen kann. Damit können Informationen über
die Schichtdicke auf der Leiterplatte 12 an die speicherprogrammierbare
Steuerung 26 bereitgestellt werden. Anhand der bereitgestellten
Schichtdickeninformationen steuert die speicherprogrammierbare Steuerung 26 die
Getriebemotoren 24 an, um eine entsprechende Anpassung
der lokalen Stromdichten durch die Veränderung der Gestalt
des Anodenbleches 20 zu erreichen.
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Bei
einer nicht dargestellten Ausführungsform der Erfindung
sind die Tragleisten 30 schwenkbar gegenüber dem
Badbehälter 14 angeordnet, sodass eine Verschwenkung
der Anodenble che 20 um eine orthogonal oder parallel zur
Förderrichtung 36 und parallel zur Transportebene
ausgerichteten Schwenkachse möglich ist, sodass sich auch
in bzw. quer zur Förderrichtung 36 ein Stromdichtegradient erzielen
lässt.
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Bei
einer weiteren nicht dargestellten Ausführungsform der
Erfindung sind sowohl oberhalb als auch unterhalb der durch die
Leiterplatten 12 bestimmten Transportebene einstellbare
und/oder nicht einstellbare Anoden vorgesehen, um eine beidseitige Beschichtung
der Leiterplatten zu ermöglichen. Dabei können
einstellbare und nicht einstellbare Anoden gegenüberliegend
angeordnet sein, um beispielsweise eine inhomogene Beschichtung
an einer Oberseite der Leiterplatte 12 zu kompensieren,
während an einer Unterseite der Leiterplatte keine Schichtdickenkompensation
erforderlich ist.
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ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
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Zitierte Patentliteratur
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