DE1764724A1 - Thermoelektrische Vorrichtung - Google Patents

Thermoelektrische Vorrichtung

Info

Publication number
DE1764724A1
DE1764724A1 DE19681764724 DE1764724A DE1764724A1 DE 1764724 A1 DE1764724 A1 DE 1764724A1 DE 19681764724 DE19681764724 DE 19681764724 DE 1764724 A DE1764724 A DE 1764724A DE 1764724 A1 DE1764724 A1 DE 1764724A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
carrier plate
thermoelectric device
semiconductor
legs
semiconductor legs
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
DE19681764724
Other languages
English (en)
Other versions
DE1764724B2 (de
DE1764724C3 (de
Inventor
Hans Schering
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Siemens AG
Original Assignee
Siemens AG
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Siemens AG filed Critical Siemens AG
Priority to DE1764724A priority Critical patent/DE1764724C3/de
Priority to FR6924933A priority patent/FR2014713A1/fr
Priority to GB1231312D priority patent/GB1231312A/en
Priority to JP44059294A priority patent/JPS4933549B1/ja
Publication of DE1764724A1 publication Critical patent/DE1764724A1/de
Publication of DE1764724B2 publication Critical patent/DE1764724B2/de
Application granted granted Critical
Publication of DE1764724C3 publication Critical patent/DE1764724C3/de
Expired legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10NELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N10/00Thermoelectric devices comprising a junction of dissimilar materials, i.e. devices exhibiting Seebeck or Peltier effects
    • H10N10/01Manufacture or treatment

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Cooling Or The Like Of Semiconductors Or Solid State Devices (AREA)
  • Wire Bonding (AREA)
  • Electromechanical Clocks (AREA)

Description

SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT Berlin und München
2 5. JUL11968
PLA 68/0054
Thermoelektrische Vorrichtung
En ist bekannt, den Peltier-Effekt zum Betrieb von Wärmepumpen bzw. den Geebeck-Effekt zum Betrieb von Thermogeneratoren auszunutzen. Als Wärmepumpen betriebene Peltier-/inordnun^en sind in der Regel in der Weise aufgebaut, daß parallel zueinander liegende Schenkel aus Halbleitermaterial, die abwechselnd p- bzw. η-leitend sind, an ihren Stirnflächen durch metallische Kontaktbrücken derart verbunden sind, daß ri';h ein rnäanderförmi^er Stromverlauf ergibt. Es ist auch bekannt, die Kontaktbrücken als metallische Schichten auf
_ 1 _ 109843/DU7 v;.;;/KLe
BAD ORIGINAL
ft PLA 68/0G3<
einer elektrisch isolierenden Trägerplatte, z.B. einer Keramik-Platte, auszubilden (z.B. deutsches Gebrauchsmuster-1 912 958). Hierbei stehen jedoch die Halbleiterschenkel bezüglich ihrer Stromflußrichtung senkrecht zur Fläche der Isolierplatte; sie sind außerdem nur mittelbar über die Kontaktbrücke mit der Trägerplatte verbunden.
Bei den bisher gebräuchlichen Peltier-Wärmepurapen mit z.B. 70 Lleaentenpaaren liegt die Anschlußspannung nur in der Größenordnung von einigen Volt. Das ist darauf zurückzuführen, daß die Thermokra£t der besten bisher bekannten Materialpaare nur etwa 200 χ 10"" V/°C beträgt. Es ist jedoch erwünscht, Arischlußspannungen zu erreichen, die in der Größenordnung der Spannung öffentlicher Netze, also 110 bzw. 220 V, liegen, damit die Notwendigkeit der Transformierung entfällt. Derart hohe Anschlußspannungen lassen sich nur durch eine erhebliche Vermehrung der Elementenpaare bei entsprechender Querschnittsverminderung erreichen. Dadurch ergeben sich jedoch Fertigungsprobleme, die sich bei der bisherigen Bauweise in wirtschaftlich vertretbaren Grenzen nicht lösen lassen. Dabei besteht die Hauptschwierigkeit darin, eine einwandfreie elektrische Verbindung der zahlreichen Halbleiterncherikel mit den Kontaktbrücken, z.B. durch Verlötung, herzustellen, wozu nämtliche Schenkel genau in der erforderlichen Lage gehaltert werden müssen. Entsprechende:? gilt für
Thermof'enera türen.
_ 2 _1 098^3/0447
BAD ORIGINAL
V/64724
PLA 68/GG^
Lev Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, diese .Jchwierigkeiun zu beheben. Sie bezieht sich auf eine thermoelektrisch«.: Verrichtung (7.'arme pumpe oder Thermogenerator), bei der ίί·Γ: Ie: terschenkel und metallische Kontaktbrücken auf einer if-el it rennen Trägerplatte angeordnet sind, und besteht darin, ■Ή;?- öie lüilbleiterschenkel unmittelbar mit der Trägerplatte •■;er-irt verbunden sind, daß ihre Stromflußrichtung parallel zur oberfläche der Trägerplatte verläuft, und daß die Kontaktdruck en über die Kanten der Trägerplatte geführt sind. Die Erfindung errnörlicht es, zunächst eine feste Einheit aus Trägerplatte und Halbleiterschenkeln herzustellen und erst d;iiii: die Kontaktbrücken anzubringen. Dadurch entfallen die bisher zur Halterung der losen Halbleiterschenkel erforderlichen Vorkehrungen, so daß die Herstellung der elektrischen Verbindungen auch bei einer großen Zahl von Elementenpaaren nur einen relativ geringen Fertigungsaufwand bedingt.
Tit- liaibleiterschenkel sind vorzugsweise mit der Trägerplatte verklebt. Bei Vorrichtungen, die bei höheren Temperaturen arbeiten sollen, kann als Verbindungsmittel mit Vorteil ein Jjcsjct oder Glasemail (unter Verwendung einer Keraiüik-Trägerplatte) dienen. Ferner sind anorganische Kitte, z.H. 'VaFserglüskitte, verwendbar. Man kann jedoch das Ha]bleiter!:ialerial auch unmittelbar auf die Trägerulatte aufdair.p"en, insbesondere dann, wenn besonders kleine Querschnitte
BAD
PLA 68/0034
erwünscht sind. Mit Vorteil 3ind mehrere Trägerplatten, die jeweils Halbleiterschenkel mit p- oder η-Leitfähigkeit tragen, zu e'!nem größeren Block übereinander geschichtet. Dabei können die jeweils aus einer Trägerplatte mit Halbleiterschenkeln bestehenden Einheiten untereinander ebenfalls verklebt sein. Die Trägerplatte kann auch auf beiden Seiten mit Halbleiterschenkeln belegt sein, derart, daß das Halbleitermaterial auf der einen Seite n-leitfähig, auf der anderen Seite p-leitfähig ist.
Die Vorrichtung nach der Erfindung kann vorteilhaft in der Weise hergestellt werden, daß die Trägerplatte zunächst mit einer geschlossenen Schicht aus Halbleitermaterial belegt wird und daß aus dieser Schicht die Halbleiterschenkel nachträglich ausgespart werden, z.B. durch Ätzen, Sägen oder Fräsen. Die Herstellung kann ferner dadurch vereinfacht werden, daß zunächst eine größere Ausgangs-Trägerplatte mit Halbleiterschenkeln belegt und dann senkrecht zur Richtung der Halbleiterschenkel in schmälere Streifen unterteilt wird.
Die Figuren A und 5 bzw. 6 zeigen Ausführungsbeispiele der Erfindung, während die Figuren 1 bis 3 Vorstufen zur Herstellung der thermoelektrischen Vorrichtung erläutern.
In Figur 1 ist mit 1 eine isolierende Trägerplatte bezeichnet.
- 4 - 109843/0447
=7^4?2
;.··:"e kann aus einen schlecht wärmeleitenden Ke ram:;x.nu lerla?. κ.B. gesintertem Aluminiiirasilikat, oder aus einem K^astste f bestehen. Mit der Oberseite der Trägerpläte 1 ist eine Halv~ leiterplatte 2 verbunden, z.B. durch Klebung. Die H^lbleii rplstte 2 kann beispielsweise aus η-dotiertem Wisrauttelluri;'· bestehen. Die Dicken beider Platten können in der Größenordnung von Bruchteilen eines Millimeters bis zu einigen l.;.!!,.-IUtH er η liegen. Falls die Halbleiterplatte 2 vor dem Auf-rle ή: Μ oun mechanischen Gründen nicht dünn genug hergestellt κκ ι kann, kann sie zunächst dicker hergestellt und nach dem Aufkleben auf die gewünschte Dicke abgeschliffen werden.
Aus der Halbleiterplatte 2 werden nunmehr gemäß Figur 2 mehrere, parallel zueinander liegende Halbleiterschenkel 2a aus;■.:?- spart. Dies kann z.B. auf chemischem Wege, z.B. durch Atze"··* oder auf mechanischem Wege, z.B. durch Sägen oder Fräsen, geschehen. Die Anordnung nach Figur 2 kann dann durch Sehn.. ' t, | senkrecht zur Richtung der Ilalbleiterschenkel 2a in kleineio, streifenföriuige Einheiten unterteilt werden, von denen eint in Figur 3 dargestellt ist.
In gleicher Weise können weitere Einheiten hergestellt werden, die gemäß Figur 3 ausgebildet sind und uv?, ζ in?:· isolJ.-.--renden Trägerplatte eine Anzahl von Halbleiterachenkeln tragen, die aua p-dotiertem Wisrauttellurid 'τ- "^i en.
~ 5 - 109843/044?
PLA 68/0034
Aus Einheiten dieser Art wird nun ein Block zusammengesetzt, von dem die Figuren 4 und 5 perspektivische Ansichten auf die gegenüberliegenden Stirnseiten zeigen. Der Block umfaßt vier Einheiten. Die unterste Einheit besteht aus einer isolierenden Trägerplatte 3 mit n-leitenden-Halbleiterschenkeln 4. Darüber liegt eine weitere Einheit aus einer Trägerplatte 5 mit p-leitenden Halbleiterschenkeln 6. Es folgen dann eine Trägerplatte 7 mit η-leitenden Halbleiterschenkeln 8 und eine Trägerplatte 9 mit p-leitenden Halbleiterschenkeln 10. Sämtliche Einheiten können durch Verklebung miteinander verbunden sein. Ein Paar von benachbarten p- bzw. n-leitenden Halbleiterschenkeln ist jeweils durch metallische Kontaktbrücke« 11 verbunden, die auf die Stirnflächen der Halbleiterschenkel aufgebracht und über die Kanten der Trägerplatten 3, 5, 7 und 9 geführt sind. Die Kontaktbrücken 11 sind in den Figuren 4 und 5 durch eine Schraffur angedeutet. Mit 12 und 13 sind die äußeren Anschlußkontakte des Blockes bezeichnet, die z.B. aus angelöteten Blechstreifen bestehen können. Wie die Figuren 4 und 5 zeigen, bilden sämtliche Halbleiterschenkel zwischen den Anschlüssen 12 und 13 eine Reihenschaltung, in der jeweils p-Schenkel mit n-Schenkeln abwechseln.
Die Koutaktbrücken 11 können in der durch die Schraffuren gekennzeichneten Lage in Form einer Metallpaste 'aufgestrichen
- 6 -109843/0447
BAD ORIGINAL
PLa t·:-'·"-X}]54
If
ic:-v aufgedruckt und in "bekannter ?veise eingebrannt "f-.ru·-.;. Y-- besteht auch die Möglichkeit, zunächst eine geriet io^e^- ■;!.9.Ί'.'.schicht oder Metallfolie auf die Stirnfläche '-., ;.:. .'■■-■; Γ : puren 4 ·:ηα 5 dargestellten Blocken aufzubrin^.-. ; ca· : v:. 1Aölen und die Kontaktbrücken dann durch Ausätze' oder· ^'-ei; en in der gewünschten Form sussuspsren. Ferner κ:.·α:ΐ ■ ■■'Yi '".ie Kontakt brücken durch Aufdampfen mit Hilfe einer ei:·.· .;/eojencen iviaake herstellen; falls erwünscht, können die -•ii'i^ecanipf ten Schichten galvanisch verstärkt werden.
;1 MUi ueiu in den Figuren 4 und 5 dargestellten Schema können :.uch hlöüke Dit einer wesentlich größeren Anzahl von Einhei-α zusei:.r:;en^enetzt werden. Die Figuren lassen erkennen, d■-:■':■ :.' :-.~, ther-iiceler.irische Vorrichtung dieser Art infolge ihrou -■-■npakten Aufbaus nur wenig Raum beansprucht. Bei großer Zahl ■:.■-.r M'ersceiekirisch wirksamen Schenkelpaare ergibt sich Ir-; -■■'j11 äis reltier-Betriebes eine hohe Anschlußspannung., im ;-J.l des Seebeck-Betriebes eine hohe Generatorspannung.
Die in den Figuren 4 und 5 vorn liegenden Stirnflächen sind jeweils diejenigen Flächen, über die Wärme aufgenommen bzw, abgegeben wird. Diese Flächen können über möglichst gut wiiriaeleitende isolierende Zvdschenlagen mit "'ärmeaustauschcrr; •rerbH}!i7Gn werden.
109843^ 0A47
PLA 68/0034
In Fi;',ur 6 ist ein weiteres Ausführungsbeispiel der Erfindung dargestellt. Hier ist eine isolierende Trägerplatte 14 auf beiden Seiten mit Halbleiterschenkeln 15 bzw. 16 belegt, wobei die Halbleiterschenkel 15 η-leitend, die Halbleiterschenkel 16 p-leitend sind. Die Schenkel sind auch hier durch schraffiert angedeutete metallische Kontaktbrücken 17 verbunden. Mit 18 und 19 sind die äußeren Anschlußorgane bezeichnet. Auch aus Einheiten der in Figur 6 dargestellten Art können größere Blöcke zusammengesetzt werden, wobei zwischen den Einheiten jeweils eine Isolierplatte anzuordnen ist.
6 Figuren
7 Ansprüche
BAD ORIGINAL
1 0 9 8 4 3 / iU 4 7

Claims (1)

  1. Patentansprüche
    ; 1.) Thermoelektrische Vorrichtung (Wärmepumpe oder 7iier..iogenerator), bei der llalbleiterschenkel und metallische Ko ,tsi brücken auf einer isolierenden Trägerplatte angeordnet sind, dadurch gekennzeichnet, daß die Halbleiterschenkel (4, 6. 3, 10) unmittelbar mit der Trägerplatte O-, 5, 7, 9) cerfc-t -erbunden sind, duß ihre Stromflußrichtung parallel zur Ober fläche der Trägerplatte verläuft, und daß die Kontaktb'üc; ^n (11) über die Kanten der Trägerplatte geführt sind.
    2. Thermoelektrische Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Halbleiterschenkel mit der Trägerplatte verklebt sind,
    5. Thermoelektrische Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß mehrere Trägerplatten, die jeweils Hs. bleiterschenkel mit p- oder η-Leitfähigkeit tragen, su oir..;:-:; größeren Block übereinander geschichtet sind,
    4. Thermoelektrische Vorrichtung nach Anspruch 3» dadurch .^kennzeichnet, daß He jeweils <>w^ einer Tr-';*errlirte iii
    "/.le.bt rjiijd,
    - 9 -1ßS843/ü.- "
    PLA 68/0034
    /9
    i* Thermoelektrische Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß eine Trägerplatte (14) auf ihrer einen Seite Halbleiterschenkel (15) mit n-Leitfähigkeit, auf der anderen Seite Halbleiterschenkel (16) mit p-Leitfähigkeit
    6. Verfahren zur Herstellung einer thermoelektrischen Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Tragerplatte (1) zunächst mit einer geschlossenen Schicht (2) aus Halbleitermaterial belegt wird und daß aus dieser Schicht die Halbleiterschenkel (2a) nachträglich ausgespart v/erden, z.B. durch Atzen, Sägen oder Fräsen.
    7. Verfahren zur Herstellung einer thermoelektrischen Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß eine mit Halbleiterschenkeln (2a) belegte Trägerplatte (1) durch Schnitte senkrecht zurEichtung der Halbleiterschenkel in schmälere Streifen unterteilt v/ird.
    1 "109843/044?
    BAD OFUGINAL
DE1764724A 1968-07-25 1968-07-25 Thermoelektrische Vorrichtung und Verfahren zum Herstellen Expired DE1764724C3 (de)

Priority Applications (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE1764724A DE1764724C3 (de) 1968-07-25 1968-07-25 Thermoelektrische Vorrichtung und Verfahren zum Herstellen
FR6924933A FR2014713A1 (de) 1968-07-25 1969-07-22
GB1231312D GB1231312A (de) 1968-07-25 1969-07-25
JP44059294A JPS4933549B1 (de) 1968-07-25 1969-07-25

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE1764724A DE1764724C3 (de) 1968-07-25 1968-07-25 Thermoelektrische Vorrichtung und Verfahren zum Herstellen

Publications (3)

Publication Number Publication Date
DE1764724A1 true DE1764724A1 (de) 1971-10-21
DE1764724B2 DE1764724B2 (de) 1974-03-21
DE1764724C3 DE1764724C3 (de) 1974-10-17

Family

ID=5698100

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE1764724A Expired DE1764724C3 (de) 1968-07-25 1968-07-25 Thermoelektrische Vorrichtung und Verfahren zum Herstellen

Country Status (4)

Country Link
JP (1) JPS4933549B1 (de)
DE (1) DE1764724C3 (de)
FR (1) FR2014713A1 (de)
GB (1) GB1231312A (de)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3018013A1 (de) * 1980-05-10 1981-11-12 W.C. Heraeus Gmbh, 6450 Hanau Bandfoermiges thermoelement
DE102020203503A1 (de) 2020-03-18 2021-09-23 Mahle International Gmbh Thermoelektrisches Modul für eine thermoelektrische Einrichtung

Also Published As

Publication number Publication date
DE1764724B2 (de) 1974-03-21
GB1231312A (de) 1971-05-12
FR2014713A1 (de) 1970-04-17
JPS4933549B1 (de) 1974-09-07
DE1764724C3 (de) 1974-10-17

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE2352357A1 (de) Halbleitergehaeuse
EP1118127A1 (de) Verfahren zum herstellen eines thermoelektrischen wandlers
DE102015107240B4 (de) Thermoelektrischer Energiesammler im Wafermaßstab und Verfahren zur Herstellung eines thermoelektrischen Sammlers
DE2101028C2 (de) Verfahren zum Herstellen einer Mehrzahl von Halbleiterbauelementen
DE2139656B2 (de) Elektrolumineszente Halbleitervorrichtung
DE2500235C2 (de) Ein-PN-Übergang-Planartransistor
DE2117365A1 (de) Integrierte Schaltung und Verfahren zu ihrer Herstellung
DE1764724A1 (de) Thermoelektrische Vorrichtung
DE2601131A1 (de) Halbleitereinrichtungen vom druckkontakt-typ
EP2006910A2 (de) Leistungselektronikmodul
EP2317577A2 (de) Verfahren zum Herstellen eines Seebeckschenkelmoduls und korrespondierendes Seebeckschenkelmodul
DE2325351A1 (de) Verfahren zur herstellung von gleichrichtern mit hoher durchbruchsspannung
DE102013212294A1 (de) Optoelektronischer Halbleiterchip
DE1916555A1 (de) Halbleiter-Gleichrichter-Anordnung und Verfahren zu ihrer Herstellung
DE1196794C2 (de) Halbleiterbauelement mit einem scheiben-foermigen Halbleiterkoerper, insbesondere Transistor, und Verfahren zum Herstellen
DE2252830C2 (de) Halbleiterbauelement mit einem Halbleiterelement in einem hermetisch geschlossenen Gehäuse
DE2003423C3 (de) Verfahren zum Kontaktieren von Halbleiteranordnungen
DE2855972A1 (de) Halbleiteranordnung
DE1614748C3 (de) Monolithisch integrierte Graetz-Gleichrichteranordnung und Verfahren zu Ihrer Herstellung
DE1614133B2 (de) In kunstharz gekapselte halbleiteranordnung
AT238256B (de) Freischwingende Kippschaltung
DE1514565B2 (de) Verfahren zur Herstellung von Halbleiteranordnungen
DE1639306C (de) Verfahren zum Herstellen eines gemein samen Kontaktes an mindestens zwei be nachbarten Zonen entgegengesetzten Lei tungstyps eines steuerbaren Halbleiter bauelements sowie danach hergestelltes Halbleiterbauelement Ausscheidung aus 1273699
DE1994425U (de) Thermoelektrische vorrichtung.
DE1273699B (de) Verfahren zum Kontaktieren von mindestens zwei benachbarten Zonen entgegengesetzten Leitungstyps eines steuerbaren Halbleiterbauelementes

Legal Events

Date Code Title Description
C3 Grant after two publication steps (3rd publication)
E77 Valid patent as to the heymanns-index 1977