DE1648821A1 - Vorrichtung zur Ionenerzeugung aus Niederspannungsentladungen im Vakuum aus einem Impulsgeber - Google Patents

Vorrichtung zur Ionenerzeugung aus Niederspannungsentladungen im Vakuum aus einem Impulsgeber

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    • H01J49/02—Details
    • H01J49/10—Ion sources; Ion guns
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