DE1648225U - Interferenzmikroskop zur untersuchung der oberflaechenguete fester koerper. - Google Patents
Interferenzmikroskop zur untersuchung der oberflaechenguete fester koerper.Info
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Description
-
I-qLterferenzmikroskop zurUntersuung, der £ der ghnn . l4chen ä e-ter KÖMe : 5 ObeEf elacheuu. teester. orBer Zur Untersuchung der Oberflächengüte fester Körper, ins- besondere der Güte von feinstbearbeiteten Flächen, verwendet Strahlenteilung aufgespaltete Lichtbündel nach. Reflexion des ersten Bündels an der zu prüfenden Fläche und des anderen Bündels an einer Vergleichsfläche miteinander zur Interferenz rebraeht-erden-n-beiden-Strahlengäsgen=befindet-sich je Revolverachse anordnet, so daß auch die beiden Strahlengänge in einer die Revolverachse enthaltende1 Ebene verlaufen.. Es « o # ; rende-Fläche--r-fordert.-Es-em-ehlt-sich-daher,--jede - Als Ausführungsbeispiel der Erfindung ist auf der Zeichnung ein Interferenzmikroskop mit drei Objektivpaaren dargestellt. Fig 1 ist eine Ansicht, von der Seite des Objektivrevolvers her gesehen ? Fig. 2 zeigt einen Horizontalshnitt des Instruments in Höhe der Revolverachse. Die für die Erfindung nebensächlichen Dinge sind nur schematisch wiedergegeben oder weggelassen. Ein im wesentlichen rechteckiges Metallgehäuse a besitzt im Innern eine lotrechte Wand al' die den vorderen, den Objektivrevolver enthaltenden Raum von dem dahinter liegenden Raum abgrenzt, in dem die übrigen optischen Teile geschätzt untergebracht sind. Das Licht einer Lichtquelle b gelangt über ein Kondensorsystem bl in ein System von Prismen d1, d2, d3, d4, d5 und d6, die im Innern des Gehäuses a in passender Weise gelagert zu denken sind.
- Die Prismen dn und dp sind miteinander verkittet und besitzen
in der Kittfläche eine halbdurchlässige Verspiegelung, die .dasankommendejjj.chtbündel in zwei kohärente Bündel aufteilt. -&as-a-nkommende-Tci :, qh Die beiden Bündel werden dann durch die Prismen d und d4 - Die beiden Prismen d5 und d6 ragen durch eine Öffnung der Wand al hindurch in den Hohlraum eines zylind. richen Körpers e. der den Objektivrevolver bildet. Er ist in der Öffnung der Wand al drehbar gelagert und wird durch eine auf die Stirnfläche drückende Kugel f in Verbindung mit einer am Gehäuse
a befestigtaifederdol Brücke fl in seiner Lage gehalten De ; - Durch geeignete Rasten, die auf der Zeichnung nicht angegeben sind, wird jeweils für eines der Objektivpaare die lotrechte Stellung gesichert. In Fig. 2 ist der Deutlichkeit wegen der Objektivrevolver e etwas verdreht gegenüber der Stellung in Fig. 1 dargestellt, damit ein Objektivpaar in der Zeichenebene erscheint. Zur bequemen Drehung des Revolvers ist derselbe mit einem vorstehenden Rändel e2 versehen. Auf der oberen Seite des Instruments befindet sich ein Tisch g zur Aufnahme der zu prüfenden Gegenstände, beispielsweise eines gestrichelt angedeuteten Prüflings h, nach der von Le Chatelier eingeführten Methode zur Betrachtung von unten. Außerdem ist unterhalb des Revolvers ein zweiter Tisch i vorgesehen, der eine Beobachtung in der normalen MikroskopanordnuTig von oben erlaubt.
- Beide Tische g und i können in üblicher Weise als Kreuztisch ausgeführt und mit einer Höheneinstellung zur Fokussierung versehen sein. Auf das jeweils dem Prüfling gegenüberliegende Objektiv ist eine Kappe k federnd aufgesteckt, die im Innern einen als Vergleichsfläche dienenden Spiegel kl trägt. Das nach Durchsetzung der Mikroskopobjektive hin und zurück in der halbdurchlässigen Spiegelfläche nach links austretende Licht kommt über ein Objektiv m in ein Okular n, in dem die entstehenden Interferenzen und gleichzeitig die zu prüfende Fläche dem Auge sichtbar werden.
Claims (5)
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n/z' : ruche 1. Interferenzmikroskop zur Untersuchung der Ober- flächengüte fester Körper, gekennzeichnet durch mehrere - 2. Interferenzmikroskop nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß jedes Paar zusammenarbeitender Objektive symmetrisch zur Revolverachse angeordnet ist.
- 3. Interferenzmikroskop nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Objektive jedes Paares die gleiche, zur Revolverachse senkrechte optische Achse besitzen.
- 4. Interferenzmikroskop nach Anspruch 1, dadurch geekennzeichnet, daß die als Vergleichflächen dienenden Spiegel jeweils in einer Kappe untergebracht sind,, die am zugehörigen Objektiv befestigt werden kann.
- 5. Interterenzmikroskop nach Anspruch 1, gekennzeichnet durch zwei Auflagetische für das zu prüfende Objekt, der Art, daß dasselbe sowohl in üblicher Weise von oben her, als auch nach der Anordnung von Le Chatelier von unten her beobachtet werden kann.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DEZ539U DE1648225U (de) | 1950-08-16 | 1950-08-16 | Interferenzmikroskop zur untersuchung der oberflaechenguete fester koerper. |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DEZ539U DE1648225U (de) | 1950-08-16 | 1950-08-16 | Interferenzmikroskop zur untersuchung der oberflaechenguete fester koerper. |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE1648225U true DE1648225U (de) | 1952-12-18 |
Family
ID=30468675
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DEZ539U Expired DE1648225U (de) | 1950-08-16 | 1950-08-16 | Interferenzmikroskop zur untersuchung der oberflaechenguete fester koerper. |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
DE (1) | DE1648225U (de) |
-
1950
- 1950-08-16 DE DEZ539U patent/DE1648225U/de not_active Expired
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