DE1648225U - Interferenzmikroskop zur untersuchung der oberflaechenguete fester koerper. - Google Patents

Description

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  Zur Untersuchung der Oberflächengüte fester Körper, ins-

  besondere der Güte von feinstbearbeiteten Flächen, verwendet

  man neuerdings Interferenzapparate, bei denen, in üblicher Weise zwei von einer Lichtquelle durch eine physikalische

  Strahlenteilung aufgespaltete Lichtbündel nach. Reflexion des

  ersten Bündels an der zu prüfenden Fläche und des anderen

  Bündels an einer Vergleichsfläche miteinander zur Interferenz

  rebraeht-erden-n-beiden-Strahlengäsgen=befindet-sich je

  ein Mikrcskopobjektiv, die das Licht sowohl auf dem Hinweg, wie auf dem Rückweg durchsetzt. Die Beobachtung der entstehenden Interferenzen erfolgt durch ein gemeinsames Okular, in dem gleichzeitig die Prüffläche vergrößert abgebildet erscheint. Die beiden Objektive müssen, um die Entstehung der Interferenzen zu ermöglichen, gleiche optische Eigenschaften, insbesondere gleiche Brennweite besitzen. Will man also aus Gründen der besseren Beobachtungsmoglichkeit die Vergrößerung verändern, so müssen stets beide Objektive durch solche mit anderer Brennweite ersetzt werden. Um diesen Wechsel in einfacher Weise vornehmen zu können, sieht man nach der Erfindung mehrere Objektivpaare verschiedener Brennweite vor die auf einem gemeinsamen Revolver so angeordnet sind, daß sie wahlweise nacheinander in den Strahlengang des Instruments gebracht werden können. Dadurch ist man in der Lage, durch einfaches Verdrehen des Revolvers einen Vergrößerungswechsel vornehmen und damit die günstige Vergrößerung für die Beobachtung auswählen zu können. Eine zweckmäßige bauliche Anordnung ergibt sich hierbei, wenn man jedes Paar zusammenarbeitender Objektive symmetrisch zur

  Revolverachse anordnet, so daß auch die beiden Strahlengänge

  in einer die Revolverachse enthaltende1 Ebene verlaufen.. Es

  empfiehlt sich darüber hinaus, die Objektive jedes Paares so anzuordnen, daß sie die gleiche zur Revolverachse senkrechte optische Achse besitzen, was einen räumlich gedrängten und damit handlichen Aufbau ergibt. Die zur Erzeugung der Interferenzen benützte Vergleichsfläche wird im allgemeinen nicht immer die gleiche sein ; man wird das Reflexionsvermögen derselben von Fall zu Tall so wählen, wie es die zu

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  solche Vergleichsfläche in einer Kappe unterzubringen, die am zugehörigen Objektiv auf einfache Weise ; beispielsweise durch Aufstecken oder Aufschrauben befestigt werden kann. Der Gesamtaufbau eines solchen Interferenzmikroskops kann beliebig gewählt werden. Da bei Oberflächenprüfungen vielfach auch Objekte mit größeren Abmessungen in Betracht kommen, ist es zweckmäßige zwei Auflagetische vorzusehen, der Art, daß man den Prüfling sowohl in üblicher Weise auf einem Objekttisch von oben her, als auch nach der Anordnung von Le Chatelier von unten her beobachten kann. Da der jeweils als Prüffläche dienende Spiegel mit dem zugehörigen Mikroskopobjektiv verbunden ist ; genügt eine einfache Weiterdrehung des Objektivrevolvers, um von der einen Beobachtungsweise zur andern umzuschalten.
• Als Ausführungsbeispiel der Erfindung ist auf der Zeichnung ein Interferenzmikroskop mit drei Objektivpaaren dargestellt. Fig 1 ist eine Ansicht, von der Seite des Objektivrevolvers her gesehen ? Fig. 2 zeigt einen Horizontalshnitt des Instruments in Höhe der Revolverachse. Die für die Erfindung nebensächlichen Dinge sind nur schematisch wiedergegeben oder weggelassen. Ein im wesentlichen rechteckiges Metallgehäuse a besitzt im Innern eine lotrechte Wand al' die den vorderen, den Objektivrevolver enthaltenden Raum von dem dahinter liegenden Raum abgrenzt, in dem die übrigen optischen Teile geschätzt untergebracht sind. Das Licht einer Lichtquelle b gelangt über ein Kondensorsystem bl in ein System von Prismen d1, d2, d3, d4, d5 und d6, die im Innern des Gehäuses a in passender Weise gelagert zu denken sind.
• Die Prismen dn und dp sind miteinander verkittet und besitzen

  in der Kittfläche eine halbdurchlässige Verspiegelung, die

  .dasankommendejjj.chtbündel in zwei kohärente Bündel aufteilt.

  -&as-a-nkommende-Tci :, qh

  Die beiden Bündel werden dann durch die Prismen d und d4

  den Prismen d5 und do zugeführt, die sich in einer zur Zeichenebene der Fig. 2 unter 45 liegenden Ebene berühren und dort ebenfalls miteinander verkittet sind. In der Kittfläche ist eine lichtundurchlässige Verspiegelung angebracht, die die von beiden Seiten ankommenden Lichtbündel in entgegengesetzter Richtung senkrecht zur Zeichenebene der Fig. 2 weiterleitet.
• Die beiden Prismen d5 und d6 ragen durch eine Öffnung der Wand al hindurch in den Hohlraum eines zylind. richen Körpers e. der den Objektivrevolver bildet. Er ist in der Öffnung der Wand al drehbar gelagert und wird durch eine auf die Stirnfläche drückende Kugel f in Verbindung mit einer am Gehäuse

  a befestigtaifederdol Brücke fl in seiner Lage gehalten De ;

  Revolver e trägt am Umfang sechs senkrecht zu seiner Drehachse angesetzte Mikroskopobjektive el mit gleichen äußeren Abmessungen, von denen je zwei einander gegenüberliegende Objektive gleiche Brennweite besitzen. Die Brennweiten der drei Paare von Objektiven sind verschieden und so gewählt, daß eine zweckmäßige Abstufung der Vergrößerung sich ergibt.
• Durch geeignete Rasten, die auf der Zeichnung nicht angegeben sind, wird jeweils für eines der Objektivpaare die lotrechte Stellung gesichert. In Fig. 2 ist der Deutlichkeit wegen der Objektivrevolver e etwas verdreht gegenüber der Stellung in Fig. 1 dargestellt, damit ein Objektivpaar in der Zeichenebene erscheint. Zur bequemen Drehung des Revolvers ist derselbe mit einem vorstehenden Rändel e2 versehen. Auf der oberen Seite des Instruments befindet sich ein Tisch g zur Aufnahme der zu prüfenden Gegenstände, beispielsweise eines gestrichelt angedeuteten Prüflings h, nach der von Le Chatelier eingeführten Methode zur Betrachtung von unten. Außerdem ist unterhalb des Revolvers ein zweiter Tisch i vorgesehen, der eine Beobachtung in der normalen MikroskopanordnuTig von oben erlaubt.
• Beide Tische g und i können in üblicher Weise als Kreuztisch ausgeführt und mit einer Höheneinstellung zur Fokussierung versehen sein. Auf das jeweils dem Prüfling gegenüberliegende Objektiv ist eine Kappe k federnd aufgesteckt, die im Innern einen als Vergleichsfläche dienenden Spiegel kl trägt. Das nach Durchsetzung der Mikroskopobjektive hin und zurück in der halbdurchlässigen Spiegelfläche nach links austretende Licht kommt über ein Objektiv m in ein Okular n, in dem die entstehenden Interferenzen und gleichzeitig die zu prüfende Fläche dem Auge sichtbar werden.

Claims (5)

1. n/z' : ruche 1. Interferenzmikroskop zur Untersuchung der Ober- flächengüte fester Körper, gekennzeichnet durch mehrere Paare zusammenarbeitender Mikroskopobjektive, die verschiedene Brennweiten besitzen und auf einem gemeinsamen Revolver so angeordnet sind, daß sie wahlweise nacheinander in den Strahlengang des Instruments gebracht werden können.
2. 2. Interferenzmikroskop nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß jedes Paar zusammenarbeitender Objektive symmetrisch zur Revolverachse angeordnet ist.
3. 3. Interferenzmikroskop nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Objektive jedes Paares die gleiche, zur Revolverachse senkrechte optische Achse besitzen.
4. 4. Interferenzmikroskop nach Anspruch 1, dadurch geekennzeichnet, daß die als Vergleichflächen dienenden Spiegel jeweils in einer Kappe untergebracht sind,, die am zugehörigen Objektiv befestigt werden kann.
5. 5. Interterenzmikroskop nach Anspruch 1, gekennzeichnet durch zwei Auflagetische für das zu prüfende Objekt, der Art, daß dasselbe sowohl in üblicher Weise von oben her, als auch nach der Anordnung von Le Chatelier von unten her beobachtet werden kann.