DE1623410A1

DE1623410A1 - Vibrationsempfindliche Vorrichtung

Info

Publication number: DE1623410A1
Application number: DE19671623410
Authority: DE
Inventors: Neish David Anthony; Botcherby Stephen Charl Lauder
Original assignee: Decca Ltd
Current assignee: Decca Ltd
Priority date: 1966-02-16
Filing date: 1967-02-15
Publication date: 1971-03-25
Also published as: DE1623410B2; US3482436A; DE1623410C3; GB1173772A; NL6702275A; NL133616C; SE331493B; BE694087A

Description

DIPL.-ING.P.WEICKMANN, Dr. Ing. A.Weickmann, Dipl.-Ing. H.Weickmann Dipl.-Phys. Dr. K. Fincke Patentanwälte 1 D Jc 3410

8 MÜNCHEN 27, MOHLSTRASSE 22, RUFNUMMER 483921/22

DECCA LIMITED

Decca House, 9 Albert Embankment,

London, S.E.1., England

Vibrationsempfindliche Vorrichtung

Die Erfindung bezieht sich auf eine vibrationsempfindliche Vorrichtung, mit deren Hilfe eine Vibrationsbewegung eines Elementes festgestellt oder gemessen verden kann, ohne dabei irgendeinen physikalischen Kontakt mit dem betreffenden Element besitzen zu müssen.

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Die erfindungsgemäße vibrationsempfindliche Vorrichtung ist gekennzeichnet durch einen Laser, der einen Strahl kohärenten Lichtes auf das betreffende Element richtet, dessen Vibration festzustellen ist, durch eine Mischstufe, die von dem betreffenden Element reflektiertes Licht mit dem von dem Laser abgegebenen Licht mischt, durch einen Detektor, der das Ausgangssignal der Mischstufe in elektrische Signale umwandelt, durch eine auf Änderungen des Ausgangssignals des Detektors ansprechende Ausverteschaltung und durch einen Modulator, der in dem optischen System eine relative Verschiebung des von dem Laser abgegebenen Lichtes und des von dem betreffenden Element reflektierten Lichtes durch Modulation mit einer Frequenz bewirkt, die größer ist als es der größten durch die Bewegung des betreffenden Elementes hervorgerufenen Doppler-Verschiebung entspricht.

Es ist bekannt, einen Laser zur Messung der Bewegungsgeschwindigkeit eines Körper in der Weise anzuwenden, daß das von dem Laser abgegebene Licht auf den Körper gerichtet wird und daß dann die Dopplerschwebungsfrequenz zwischen dem von dem Laser abgegebenen Licht und dem von dem betreffenden Körper reflektierten Licht bestimmt wird. Bei der Vorrichtung gemäß der Erfindung werden demgegenüber Änderungen des Ausgangssignals der Detektorstufe ausgewertet. Die erfindungsgemäße Vorrichtung kann beispielsweise zur Bestimmung der Frequenz und/oder der Amplitude einer Vibration eines Körpers verwendet werden. Dieser Körper kann in einer Anlage enthalten sein, in welcher kein direkter Zugang zu ihm besteht. Es ist leicht möglich, die erfindungsgeiaaße Vorrichtung auch zur Feststellung der Vibration eines Körpers bei

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sehr hohen Temperaturen zu verwenden« Daneben ist es auch möglich» die Vibration eines Körpers, wie eines Freileitungskabels, festzustellen, welches nur schwer erreichbar ist. Die auf die Änderungen des Ausgangssignals des Detektors ansprechende Auswerteschaltung kann einen Indikator oder eine Aufzeichnungsvorrichtung enthalten, welche auf Frequenz- oder Amplitudenänderungen des Detektorausgangssignals anspricht.

Die Bewegung des jeweiligen Elementes wird sinusförmig oder in irgendeiner Weise nichtlinear sein. Die Augenblicks-Dopplerfrequenz wird der Augenblicksgeschwindigkeit des betreffenden Elementes bezogen auf den Laser proportional sein; ein sich änderndes Ausgangssignal des Detektors kann zur Erzeugung eines der betreffenden Vibration entsprechenden Vellenzuges verwendet werden· Ein derartiger Wellenzug könnte einem Spektralanalysator zugeführt werden, mit Hilfe dessen dann die einzelnen Frequenzanteile des betreffenden Wellenzuges bestimmt werden. Dies wäre insbesondere in dem Fall von Vorteil, in dem die erfindungsgemäße Vorrichtung zur Messung der Vibration einer Betriebsanlage eingesetzt wird.

Die erfindungagemäße Vorrichtung ist mit besonderem Vorteil bei der Aufnahme von Sprachsignalen von einer entfernt gelegenen Stelle aus anwendbar. Dabei wird ein Laserstrahl lediglich auf einen Körper gerichtet, der den Sprachsignalen entsprechende Schwingungen ausführt. Wie aus der nachfolgenden Beschreibung der Erfindung noch ersichtlich werden wird, kann bei der erfindungsgemäßen Vorrichtung eine derartige Empfindlichkeit erreicht werden, daß äußerst geringe physikalische Verschiebungen

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feststellbar sind, d.h. Verschiebungen in der Größenordnung von 1 Mikron. Dabei ist es, vie schon ervähnt, lediglich erforderlich, den Laserstrahl auf einen Gegenstand zu richten, vie auf einen Fensterausschnitt, der sehr schvach mit einer der betreffenden akustischen Signalfrequenz entsprechenden Frequenz schvingt.

Wird die erfindungsgemäße Vorrichtung zur Spracherkennung vervendet, so kann die zuvor erwähnte, auf das Ausgangssignal des Detektors ansprechende Auswerteschaltung einen elektroakustischen Wandler enthalten, vie einen Lautsprecher oder ein Niederfrequenzsignal-Aufzeichnungsgerät. Das von dem Detektor abgegebene Signal kann verstärkt verden, bevor es dem Wandler oder der Aufzeichnungsvorrichtung zugeführt wird. Zu diesem Zveck ist dann ein Verstärker mit einer zur übertragung von Sprachsignalen geeigneten Bandbreite zu verwenden.

Die Empfindlichkeit der erfindungsgemäßen Vorrichtung kann durch Vervendung eines optischen Systems zur Fokussierung des von dem jeveiligen vibrierenden Körper zurückkehrenden Lichtes erhöht verden. Zu diesem Zveck kann der von dem Laser abgegebene Lichtstrahl durch ein Fernrohr oder durch eine entsprechende optische Fokussierungsvorrichtung geleitet verden. Das von dem vibrierenden Körper in verschiedene Richtungen zerstreute Licht vird dann mit Hilfe eines eine große Blendenöffnung besitzenden optischen Systems fokussiert und der Mischstufe mit räumlicher Phasenkohärenz zugeführt.

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Die Mischstufe ist vorzugsweise durch eine Gegentaktmischstufe gebildet, in welcher die getrennten Signale wieder zusammengesetzt werden, und zwar derart, daß in dem Laserausgangssignal vorhandene nicht erwünschte Signale aufgehoben werden und daß ein Ausgangssignal aus dem Dopplerfrequenz-Verschiebesignal erhalten wird.

Die Mischstufe kann beispielsweise ein Polarisationstrennelement (Polarisations-Splitter) enthalten, das einen direkten Strahl von dem Laser mit einer Polarisation und einen zweiten Strahl mit dazu senkrechter Polarisation abgibt, welcher auf das betreffende Element gerichtet und nach der durch dieses Element erfolgenden Reflektion mit dem direkten Strahl einem zweiten Polarisationstrennelement zugeführt wird, welches die betreffenden Lichtsignale trennt und gesonderten fotoelektrischen Anordnungen zuführt. Durch diese Anordnungen kann ein Differenzverstärker gespeist werden. Dadurch, daß durch das zweite Polarisationstrennelement jeder der beiden Lichtstrahlen in zwei Komponenten zerlegt wird, können in einem Strahl vorhandene Signale in dem Differenzverstärker ausgelöscht werden. Die von dem Verstärker abgegebenen Ausgangssignale ergeben sich aufgrund der Differenzfrequenz zwischen den Signalen in den beiden einfallenden Lichtstrahlen.

Die Polarisationstrennelemente enthalten in üblicher Weise je zwei 45°-Prismen, die "Rückenfläche an Rückenfläche" zueinander angeordnet sind, wobei zwischen ihnen eine mehrlagige veränderliche dielektrische Schicht vorgesehen ist. Einer der Lichtstrahlen

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wird nach Austritt aus dem ersten Polarisationstrennelement durch ein Lambda/4-Blättchen zu einem Spiegel hingeleitet, von welchem er zu dem betreffenden Polarisationstrennelement zurückreflektiert wird. Der zu dem vibrierenden Körper hin abgegebene Lichtstrahl und der von diesem Körper zurückkehrende Lichtstrahl gelangen ebenfalls durch ein Lambda/4-Blättchen hindurch. Diese Anordnung stellt eine Doppelvorrichtung dar, bei der das zurückkehrende Signal und das Bezugssignal orthogonal polarisiert sind, im übrigen aber übereinstimmen. Diese übereinstimmenden, jedoch senkrecht zueinander polarisierten Strahlen können dem zweiten Polarisations trennelement zugeführt werden, und zwar durch ein Lambda/2-Blättchen, um die erforderliche Polarisationsdrehung zu bewirken. Die beiden Ausgangsstrahlen des zweiten Polarisationstrennelementes werden gesonderten Fotozellen zugeführt, welche einen Gegentaktverstärker speisen. Die eine Dopplerfrequenzverschiebung besitzenden Signale werden in diesem Verstärker nicht ausgelöscht? der Verstärker gibt somit ein entsprechendes Ausgangssignal ab.

Andere Formen von Gegentaktmischstufen können ebenfalls angewendet werden, wie z.B. solche, bei denen von den beiden Enden des Lasers Signale erhalten werden, können, deren eines auf den vibrierenden Körper gerichtet und dann zurück zu der Mischstufe geleitet wird, während das andere Signal über einen gesonderten Weg der Misch^stufe zugeführt wird.

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Obwohl mit Hilfe eines Systems, in welchem das von dem Laser abgegebene Licht mit dem von dem jeweiligen Element reflektierten Licht einfach gemischt werden kann, eine Vibration des betreffenden Elementes feststellbar ist, ist es jedoch nicht möglich, den Verlauf der von dem vibrierenden Element ausgehenden Schwingungen naturgetreu nachzubilden. Die Ursache hierfü^r liegt darin, daß bei einer jeweils gleich großen Dopplerverschiebung eine gleich große Verschiebung des betreffenden Elementes vorhanden ist, unabhängig davon, ob der betreffende Gegenstand in Richtung auf den Laser zu oder von diesem weg bewegt wird. Wenn die Schwingungen einen sinusförmigen Verlauf besitzen, wird das nach Demodulation der entsprechenden Schwingungssignale, die die sich ändernde Dopplerkomponente enthalten,erzeugte Signal durch eine Reihe von Halbwellen ein und derselben Polarität gebildet sein. Um diesen Nachteil zu vermeiden, ist es zweckmäßig, eine zusätzliche Dopplerfrequenzverschiebung in dem von dem Laser abgegebenen "Bezugslichtstrahl" vorzunehmen, mit welchem das empfangene optische Lichtsignal verglichen wird. Ist f die Laser-Grundfrequenz und f_d die durch die Schwingung hervorgerufene maximale Dopplerfrequenz, so wird die Frequenz des empfangenen Signals sich zwischen f_Q + f_d und f_Q - f_d ändern. Das Signal f_o', mit dem dieser Wert verglichen wird, sollte mindestens so groß sein, daß f_Q· - (f_o + f_d)>0 ist. In der Praxis kann dies dadurch erreicht werden, daß das von dem Laser abgegebene Bezugslichtsignal vor Mischung mit dem reflektierten Licht einem Reflektor zugeführt und von diesem reflektiert wird; dieser Reflektor wird dabei mit einer Geschwindigkeit bewegt, die größer (vorzugsweise mindestens eine Größenordnung in der Amplitude größer) ist als

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die höchste Bewegungsgeschwindigkeit der vibrierenden Oberfläche des betreffenden Elementes. Eine geeignete Bewegung kann durch entsprechende Anordnung eines Spiegels erreicht werden, von welchem aus das von dem Laser abgegebene Licht vor Zuführung zu der Mischstufe an einer piezoelektrischen Platte reflektiert wird, die durch ein hochfrequentes Signal gespeist wird. Viele weitere Anordnungen sind möglich; so kann insbesondere der Spiegel mit einer sehr niedrigen Frequenz vorwärts und zurück bewegt werden. Die Frequenz ist dabei so zu wählen, daß eine hinreichend schnelle Bewegung auftritt.

Mit einer derartigen Anordnung wäre es bei einer mit niedriger Frequenz erfolgenden Modulation erforderlich, eine i8O°-Phasenverschiebung des Ausgangssignals des Detektors jeweils dann zu bewirken, wenn der Spiegel seine Bewegungsrichtung umkehrt, um ein gleichförmiges Ausgangssignal zu erhalten. Dies kann in einfacher Weise durch Verwendung eines Schalters erreicht werden, der synchron mit dem für den Spiegel vorgesehenen Antrieb betätigt wird und dabei abwechselnd eines von zwei Signalen auswählt, die ein Phasentrennverstärker abgibt, der mit dem Ausgangssignal des Detektors gespeist wird.

Zur Modulation des Laserlichtstrahles, der mit dem empfangenen Lichtstrahl verglichen wird, welcher der Dopplerverschiebung unterliegt, kann in dem optischen System eine Hochfrequensnodulation vorgenommen werden, beispielsweise eine Einseitenbandmodulation der Komponente des Laserlichtes, die mit dem empfangenen

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Lichtstrahl, welcher der Doppler-Verschiebung unterliegt, verglichen vird. Auf diese Weise können der Laserlichtstrahl und der empfangene Lichtstrahl um eine Frequenz verschoben werden, die größer ist als jede zu ermittelnde Frequenz. Die Modulation kann durch Verwendung einer Kerr-Zelle, durch mechanische Vibration eines Reflektors oder durch Verwendung eines nach dem Pockle-Effekt arbeitenden Modulators erfolgen. Fotoelektrische Zellen rauschen normalerweise bei niedrigen Frequenzen; bei der Modulation kann eine Verstärkung der gewünschten Signale dadurch erfolgen, daß ein Vorverstärker verwendet wird, der auf die Modulationsfrequenz abgestimmt ist» Erst die verstärkten Signale werden dann dem Detektor zugeführt. Die Anwendung eines Hochfrequenzmodulationsverfahren bringt noch eine beträchtliche Empfindlichkeitssteigerung sowie eine bessere naturgetreue Wiedergabe des jeweiligen Vibrationswellenzuges mit sich.

An Hand einer Zeichnung wird nachstehend ein Ausführungsbeispiel der Erfindung in Anwendung auf ein Sprachsignaldetektorsystem erläutert.

Bei dem in der Zeichnung dargestellten Ausführungsbeispiel ist angenommen, daß eine Oberfläche 10 aufgrund von Sprachsignalen in Schwingungen gerät und daß diese Sprachsignale festzustellen sind. Die in der Zeichnung dargestellte Anordnung umfaßt einen Gaslaser 11, der von einer Laser-ßteuerschal.tung 12 gespeist wird. Der von dem Laser abgegebene Ausgangsstrahl gelangt durph , ein Lambda/2-Blättchen 13zu einem Polarisationstrennelement, j -

(Polarisations-Splitter) 14, das ein zwei 45°-Prismen umfassendes

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Polarisationsprismensystem enthält. Die beiden Prismen liegen mit ihren Längsseiten aneinander an; zwischen diesen beiden Seiten ist ein veränderbares dielektrisches Material vorgesehen. Durch diese Prismenanordnung wird der unter irgendeinem Winkel von dem Laser 11 abgegebenen Lichtstrahl, der geradlinig polarisiert ist, in eine erste und eine zweite Komponente aufgeteilt; diese beiden Komponenten sind senkrecht zueinander polarisiert. Eine Lichtkomponente wird mit Hilfe des Prismas durch ein Lambda/4-Blättchen 15 auf einen Spiegel 16 geleitet, der die betreffende Lichtkomponente durch das Lambda/4-Blättchen 15 wieder zurückreflektiert. Dieses Blättchen bewirkt eine totale Polarisationsdrehung um 90° , so daß die betreffende Lichtkomponente durch das Polarisationstrennelement 14 geradewegs hindurchtritt. Die senkrecht polarisierte Lichtkomponente gelangt nach Austritt aus dem Polarisationstrennelement 14 durch ein Fernrohrsystem 17 und ein Lambda/4-Blättchen 18 zu der Oberfläche 10 hin. Das von dieser Oberfläche 10 reflektierte und dabei zerstreute Licht wird mit Hilfe des Fernrohrsystems 17 gesammelt und dem Polarisationstrennprisma 14 wieder zugeleitet, in welchem es derart reflektiert ,wird, daß es mit der ersten Lichtkomponente zusammenfällt. Die kombinierten Lichtsignale werden dann durch ein weiteres Lambda/2-Blättchen 19 einem zweiten Polarisationstrennsystem 20 zugeführt, das den Lichtstrahl in zwei Komponenten aufteilt. Das Polarisationstrennsystem 20 ist dem Polarisationstrennsystem 14 ähnlich? es enthält zwei 45°-Prismen_jr die »it ._:. ihren Längsseiten aneinander anliegen, wobei zwischen diesen Längsseiten ein veränderbares dielektrisches Material vorgesehen ist. Das Lantbda/2-Blättchen 19 bewirkt eine Polarisationsdrehung

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um 45° ; es ist derart angeordnet, daß die beiden Prismensysteme 14 und 20 zueinander fluchten und nicht unter einem entsprechenden Winkel zueinander angeordnet sind, um den jeveiligen Lichtstrahl von dem zveiten Prismensystem 20 in zvei orthogonal zueinander polarisierte Komponenten aufzuteilen, Diese von dem zveiten Prismensystem 20 abgegebenen Komponente¹¹ verden getrennt durch fotoelektrische Zellen 21 und 22 abgetastet. Die an den Ausgängen der Fotozellen 21,22 auftretenden Doppier-Frequenz-Signale sind phasenverschoben; sie können über einen Differenzverstärker 23 zusammengefaßt verden, in velchem Laserstörfrequenzen ausgelöscht verden. Die Lichtsignale verden mit hoher Frequenz durch mechanische Vibration des Spiegels 16 in Richtung der Spiegelnormale über einen Teil einer Wellenlänge moduliert, z.B. 1/3 Lambda. Diese Vibration vird durch eine Vibrationsantriebsschaltung 26 bekannter Bauart bevirkt· Da die Modulation sich lediglich auf eine der von dem ersten Polarisationstrennelement abgegebenen Komponenten ausvirkt, tritt die Modulationsfrequenz auch in dem Verstärkerausgangssignal auf. Die Modulationsfrequenz kann vesentlich höher gevählt verden als es den festzustellenden Doppler-Verschiebungsänderungen entspräche. Der Verstärker 23 vird auf diese Modulationsfrequenz abgestimmt. Das Ausgangssignal des Verstärkers 23 vird mit Hilfe eines Niederfrequenzdetektors 24 (vie eines Frequenzdiskriminators, dessen Mittenfrequenz gleich der Modulationsfrequenz ist) demoduliert; das demodulierte Signal vird dann einem Lautsprecher 25 oder eine* Aufzeichnungsgerät zugeführt.

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Wenn die Modulationsfrequenz der durch die Antriebsschaltung 26 bewirkten Modulation in einer niedrigeren Größenordnung liegt als die zu erwartenden Doppler-Frequenzen, dann wird das von dem Detektor 24 abgegebene Ausgangssignal dem Eingang eines Phasen trennvers tärlcers zugeführt verden. Die (gegenphasigen) Ausgangssignale dieses Verstärkers verden dann abwechselnd mit Hilfe eines synchron mitlaufenden Schalters 28 ausgewählt, vobei das jeveils ausgewählte Ausgangssignal dem Lautsprecher 25 oder einem Aufzeichnungsgerät zugeführt vird. Der ervähnte Schalter vird von der Antriebsschaltung 26 her betätigt, um mit jedem Wechsel der Bewegungsrichtung des Spiegels ein anderes Ausgangssignal abzugeben.

Abschließend sei noch erwähnt, daß mit Rücksicht auf die Art der Schwingungen des jeweiligen Objektes der Wahl der Amplitude und Frequenz der Schwingung des Spiegels Aufmerksamkeit geschenkt verden muß um sicherzustellen, daß das von dem Detektor jeveils abgegebene Ausgangssignal unzweideutig den Schwingungen des betreffenden Objektes entspricht.

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Claims

P a t e η t a η s p r ü ehe

1. Vibrationsempfindliche Vorrichtung,gekennzeichnet durch einen Laser (11), der einen Strahl kohärenten Lichtes abgibt, welcher auf ein Element (10) gerichtet wird, dessen Vibration zu ermitteln ist, durch eine Mischstufe (14,20) die den von dem betreffenden Element (10) reflektierten Lichtstrahl mit dem von dem Laser (11) abgegebenen Lichtstrahl mischt, durch einen Detektor (24), der den von der Mischstufe (14,20) abgegebenen Lichtstrahl in elektrische Signale umsetzt, durch eine auf Änderungen in dem von dem Detektor (24) abgegebenen Ausgangssignal ansprechende Ausverteschaltung (25) und durch eine Steuereinrichtung (16,26), die in dem optischen System eine relative Verschiebung des von dem Laser (11) abgegebenen Licht-Strahles und des von dem betreffenden Element (10) reflektierten Lichtstrahles bewirkt, und zwar durch Modulation mit einer Frequenz, die höher ist als es der größten durch die Bewegung des betreffenden Elementes (10) hervorgerufenen Doppler-Verschiebung entspricht.

2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die auf Änderungen in dem Ausgangssignal des Detektors (24) ansprechende Auswerteschaltung (25) einen Indikator oder ein Aufzeichnungsgerät enthält, der bzw. das auf Frequenzänderungen des Detektorausgangssignals anspricht.

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3. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die auf Änderungen des Ausgangssignals des Detektors (24) ansprechende Ausverteschaltung (25) einen Indikator oder ein Aufzeichnungsgerät enthält, der bzw. das auf Änderungen in _;. der Amplitude des Detektorausgangssignals anspricht,

4· Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die auf Änderungen in dem Ausgangssignal des Detektors (24) ansprechende Ausverteschaltung (25) einen elektroakustischer! Wandler (25) enthält.

5. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß ein optisches System (17) vorgesehen ist, das das von dem betreffenden Element (10) zurückkehrende Licht fokussiert. .

6. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Mischstufe (14,20) eine Gegentaktmischstufe ist, die die zugeführten Signale nach Trennung wieder zusammensetzt,' so daß außer denjenigen Signalen, bei denen eine Doppler-Frequenzverschiebung aufgetreten ist, alle übrigen Ausgangssignale gelöscht sind.

7. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Mischstufe (14,20) ein erstes Pol«- risationstrennsystem (14) enthält, das auf den von dem Laser (11) zugeführten Lichtstrahl hin einen in einer ersten Polarisationsebene liegenden direkten Lichtstrahl und einen »weiten Licht-

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strähl-in einer dazu senkrecht liegenden Polarisationsebene abgibt, welcherauf das betreffende Element (1O) gerichtet wird, und daß ein zweites Polarisationstrenneystem (20) vorgesehen ist, welches den von dem betreffenden Element (1O) reflektierten Lichtstrahl mit dem direkten Lichtstrahl des Lasers (11) nach Trennung gesonderten fotoelektrischen Anordnungen (21,22) zuführt.

8. Vorrichtung nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß das zweite Polarisationstrennsystem (20) jeden der ihr zugeführten Lichtstrahlen in eine durchgehende und in eine abgelenkte Komponente aufteilt, daß die durchgehenden Komponenten zu einer ersten fotoelektrischen Anordnung (21) und die abgelenkten Komponenten zu einer zweiten fotoelektrischen Anordnung (22) hin gelangen und daß der Detektor (24) derart ausgebildet ist, daß er auf die Differenz der von den fotoelektrischen Anordnungen (21,22) abgegebenen Ausgangssignale anspricht.

9« Vorrichtung nach Anspruch 7 oder 8. dadurch gekennzeichnet, daß jedes Polarisations trennsystem (14,20) zwei 45°-Prismen enthält, die jeweils mit ihren Rückenseiten zueinander angeordnet sind, und daß zwischen diesen Rückenseiten jeweils ein mehrlagiger, veränderbarer dielektrischer überzug vorgesehen ist.

10. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 7 bis 9, dadurch gekennzeichnet, daß in dem Weg des direkten Lichtstrahles von dem ersten Polarisationstrennsystem (14) zu einem Spiegel (16)

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hin ein Lambda/4-Blättchen (15) vorgesehen ist, und daß in dem Weg des an das vibrierende Element (10) abgegebenen und von diesem zurückkehrenden Lichtstrahles ebenfalls ein Lambda/4-Blättchen (18) vorgesehen ist.

11. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß ein das von dem Laser (11) abgegebene Licht vor Wirksamverden in der Mischstufe (14,20) reflektierender Reflektor (16) vorgesehen ist, der zur entsprechenden Modulation mit einer mechanischen Vibratoranordnung (26) verbunden ist.

12. Vorrichtung nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, daß die Frequenz der Vibration des Reflektors (16) größer gevählt ist, als es der größten durch Bevegung des betreffenden Elementes (10) erzeugten Verschiebung entspricht.

13. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 10, dadurch gekennzeichnet, daß zur Modulation mit hoher Frequenz eine Kerr-Zelle dient.

14. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 10, dadurch gekennzeichnet, daß zur Modulation mit hoher Frequenz ein nach dem Pockle-Effekt arbeitender Modulator dient.

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