DE19832175B4 - Verfahren und Anordnungen zur transversalen optischen Kohärenztomographie - Google Patents
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Abstract
Verfahren zur transversalen ebenen optischen Kurzkohärenz-Tomographie durch Abtastung des Objekts mittels eines Messstrahls, der in einer Interferometer-Anordnung mit einem Referenzstrahl zur Interferenz gebracht wird, der Abtaststrahlengang nach einer Fokussieroptik auf der Seite des abzutastenden Objekts telezentrisch verläuft und ebene tomographische Abbildungen ohne zusätzliche, durch die Abtastung bedingte, Frequenzmodulation des Interferometer-Ausgangssignals erreicht werden, dadurch gekennzeichnet, dass der abtastende Messstrahl von einer Zoom-Optik auf das Objekt fokussiert wird.
Description
- Diese Erfindung bezieht sich auf das Gebiet der optischen Bildgewinnung in der Medizin.
- Stand der Technik:
- Bei der transversalen optischen Kohärenztomagraphie wird ein transversales Schnittbild eines Objekts dadurch gewonnen, daß der Meßstrahl eines Kurzkohärenz-Interferometers das Objekt auf der Oberfläche flächenmäßig abtastet, also beispielsweise entlang einer Mäanderlinie oder kammförmig. Diese Abtastbewegung ergibt die x- und y-Koordinaten des Bilds. In jeder x-y-Position dringt der Meßstrahl auch in das Objekt in z-Richtung ein. Mit Hilfe des tomographischen Kurzkohärenz-Interferometers wird die Tiefenposition z0 festgelegt, aus welcher das remittierte Licht registriert wird. So erhält man ein tomographisches Bild I(x, y, z0) des Objekts in transversaler Richtung, d. h. in Richtung normal zum abtastenden Lichtstrahl.
- Eine solche transversale optische Kohärenztomographie wurde erstmalig von den Autoren A. Gh. Podoleanu, G. M. Dobre, D. J. Webb und D. A. Jackson in: Optics Letters, Band 21, Jahrgang 1996, Seiten 1789 bis 1791, beschrieben. Das von diesen Autoren beschriebene Verfahren ist in der
- Bezugszeichenliste
-
- 1
- Lichtquelle kurzer Zeitkohärenz
- 2
- räumlich kohärenter Lichtstrahl kurzer Zeitkohärenz
- 3
- Teilerspiegel
- 4
- Referenzstrahl
- 5
- Referenzspiegel
- 6
- Meßstrahl
- 7' und 7''
- Scanning-Spiegelpaar mit zueinander normalen Drehachsen
- 8
- Fokussieroptik
- 9
- Objekt, von dem Tomographien angefertigt werden
- 10
- Drehzentrum des Scanning-Spiegelpaars
7' und7'' - 11
- Bild der Drehzentrums
10 - 12
- Photodetektor
- 13
- Elektronik zur Verstärkung und Bandpaßfilterung des Interferometersignals
- 14
- Rechner
- 15
- Monitor
- 16
- ebene Objektoberfläche
- 17
- Kugelfläche
- 18
- Quarzglasblock
- 19
- Schallgeber
- 20
- Wechselspannungsquelle
- 21
- Brennpunkt der Fokussieroptiken
- 22
- Brennebene der Fokussieroptiken
- 23
- Objekt
- 23' und 23''
- Schnittebenen der tomographischen Abbildung
- 24
- optische Achse der Zoom-Optik
- 25
- Zoom-Optik
- 26
- optische Achse der Fokussieroptiken
- 27 und 27'
- zur optischen Achse geneigte Schnittebenen der tomographischen Abbildung.
- In der
1 , beispielsweise eine Superlumineszenz-Diode, einen räumlich kohärenten Lichtstrahl2 mit kurzer zeitlicher Kohärenz. Dieser Lichtstrahl trifft auf den Teilerspiegel3 eines modifizierten Michelson-Interferometers. Der Teilerspiegel3 reflektiert einen Teilstrahl4 als Referenzstrahl zum Referenzspiegel5 . Der den Teilerspiegel3 durchsetzende Teilstrahl6 bildet den Meßstrahl. Dieser wird von dem Scanning-Spiegelpaar7' und7'' mit zueinander normalen Drehachsen über die Optik8 auf das Objekt9 gerichtet und tastet dieses in x- und y-Richtung ab. Näherungsweise kann man annehmen, daß das Scanning-Spiegelpaar7' und7'' den Meßstrahl3 von einem gemeinsamen Drehzentrum10 aus ablenkt. Die Optik8 bildet das Drehzentrum10 des Scanning-Spiegelpaars7' und7'' in den Punkt11 ab. Durch diesen Punkt gehen alle das Objekt9 abtastenden Meßstrahlen6 . Die vom Objekt9 und vom Referenzspiegel5 remittierten beziehungsweise reflektierten Lichtbündel gelangen über die Scanning-Spiegel7' und7'' und über den Teilerspiegel3 zum Photodetektor12 und interferieren dort. Das entstehende photoelektrische Interferometer-Ausgangssignal IS wird – nach Verstärkung und Bandpaßfilterung in einer nachfolgenden Elektronik13 zur Reduzierung des Rauschens – als Bildsignal I(x, y, z0) benutzt. Ein Rechner14 registriert die Größe des photoelektrischen Interferometer-Ausgangssignals IS und die zugehörigen x- und y-Positionen anhand der Signale von dem Scanning-Spiegelpaar7' und7'' . Das so erstellte Bild wird vom Rechner auf einem Monitor15 dargestellt oder anderweitig ausgegeben. - Bildet man mit der Anordnung nach
16 ab, ändert sich die Weglänge des Meßstrahls6 . Diese Weglänge wäre zwar konstant zur Kugeloberfläche17 (mit dem Zentrum11 ), nicht jedoch zur ebenen Fläche16 . Da sich die optische Weglänge im Meßstrahl während des Abtastvorgangs einer ebenen Fläche offenbar ändert, kommt es zu abwechselnd auftretenden konstruktiven und destruktiven Interferenzen am Photodetektor. Das Interferometer-Ausgangssignal IS erfährt somit eine Frequenzmodulation. Die dadurch erzeugte Frequenzbandbreite im Interferometersignal erschwert die elektronische Bandpaßfilterung. Die oben genannten Autoren führen daher im letzten Absatz ihrer Veröffentlichung aus, daß man durch Verlegen des Meßstrahls aus dem Drehzentrum des Scanningspiegels heraus dem Interferometersignal eine höhere Grundfrequenz geben und damit die relative Frequenzbandbreite verkleinern kann. Damit jedoch wird das Problem der Frequenzbandbreite nicht vollständig gelöst; außerdem erhält man einen unsymmetrischen Strahlengang mit entsprechenden Abbildungsfehlern und krumme Bildflächen Aus naheliegenden Gründen sind jedoch ebene tomographische Bilder von besonderer Wichtigkeit - Die Erfindung gibt daher Verfahren und Anordnungen an, bei welchen:
- 1 ebene Objektflächen ohne Änderung der optischen Weglänge im Meßstrahl abgetastet werden können, und
- 2. die Frequenz des photoelektrischen Interferometer-Ausgangssignal IS konstant bleibt, was optimale Rauschfilterung erlaubt.
- Eine erste Anordnung des erfindungsgemäßen Verfahrens ist in der
1 , beispielsweise eine Superlumineszenz-Diode, einen räumlich kohärenten, parallelen Lichtstrahl2 mit kurzer zeitlicher Kohärenz. Dieser Lichtstrahl trifft auf den Teilerspiegel3 eines als Kurzkohärenz-Interferometer modifizierten Michelson-Interferometers. Der Teilerspiegel3 teilt das Lichtstrahlenbündel2 in Meßstrahl6 und Referenzstrahl4 . - Der Referenzstrahl
4 wird zum Referenzspiegel5 reflektiert und durchläuft hierbei einen beispielsweise akustooptischen Frequenzmodulator. Akustooptische Frequenzmodulatoren gehören zum bekannten Stand der Technik. Diese bestehen beispielsweise aus einem transparenten Quarzglasblock18 mit einem angekoppelten Schallgeber19 . Der Schallgeber wird von einer Wechselspannungsquelle20 betrieben. Die durch den Quarzglasblock18 laufenden Schallwellen erzeugen in diesem ein mit Schallgeschwindigkeit bewegtes Bragg-Beugungsgitter. Der Referenzstrahl4 wird an diesem Gitter beim Hin- und Rücklauf gebeugt und erfährt dabei gleichzeitig eine Doppler-Verschiebung der Lichtfrequenz um einen Betrag Δv. Auch andere, dem Stand der Technik entsprechende Methoden zur Frequenzverschiebung des Referenzlichtbündels, beispielsweise elektrooptische, können eingesetzt werden. Ferner kann die Einrichtung zur Frequenzverschiebung anstatt im Referenzstrahl4 auch im Meßstrahl6 angeordnet sein kann. - Der Meßstrahl
6 trifft zunächst auf das Scanning-Spiegelpaar7' und7'' , deren Drehachsen zueinander normal liegen. Das gemeinsame Drehzentrum10 des Scanning-Spiegelpaars7' und7'' wird gemäß der Erfindung in der Brennebene22 der Fokussieroptik8 , beispielsweise im Brennpunkt21 angeordnet. Dann erhält man einen objektseitig telezentrischen Strahlengang. Das parallele Meßstrahlenbündel6 wird nun von der Fokussieroptik8 in der objektseitigen Brennebene22' fokussiert, was in der6' ,6'' und6''' angedeutet ist. Hier sind alle optischen Längen von dem Brennpunkt21 zur objektseitigen Brennebene22' gleich groß. Es kommt daher bei der Abtastung einer ebenen Fläche – hier der Brennebene22' – zu keiner Veränderung der optischen Weglänge im Meßstrahl6 und auch zu keiner zusätzlichen Frequenzmodulation des Interferometersignals. In der Anordnung nach23' des Objekts23 in der Brennebene22' . Mit Hilfe des Scanning-Spiegelpaars7' und7'' tastet man also nun einen ebenen Bereich an der Oberfläche23' ab. - Am Interferometerausgang interferiert das frequenzverschobene Referenzlicht mit dem vom Objekt remittierten Meßlicht. Die resultierende Intensität oszilliert nun mit der Frequenz Δv, was eine Bandpaßfilterung ermöglicht. Dabei muß noch berücksichtig werden, daß, wegen der Verwendung einer Lichtquelle mit kleiner Zeitkohärenz, nur jene Lichtanteile aus dem Referenzstrahl und dem Meßstrahl interferenzfähig sind, die – innerhalb der Kohärenzlänge – gleiche optische Weglängen zurückgelegt haben. Es muß daher die optische Weglänge vom Strahlteiler
3 zur abzubildenden Ebene23' und zurück zum Strahlteiler3 gleich groß sein, wie die optische Weglänge vorn Strahlteiler3 zum Referenzspiegel5 und zurück zum Strahlteiler3 . Die Position des Referenzspiegels5 im Referenzstrahlengang bestimmt somit die z-Position derjenigen Ebene23' , die abgebildet wird. Um andere Objektebenen abzubilden, verschiebt man entweder das Objekt23 in Strahlrichtung oder man verschiebt den Referenzspiegel5 , beispielsweise in die Position5' ; nun wird die Objektebene23'' abgebildet. - Verschiebt man bloß den Referenzspiegel
5 , um andere Objektebenen, wie beispielweise die Ebene23'' abzubilden, verschlechtert sich die Transversalauflösung, weil der Meßlichtstrahl nicht in der Ebene23'' fokussiert wird, sondern in der Ebene23' . Um diesen Nachteil zu vermeiden, kann man die Fokussieroptik8 als Zoom-Optik25 ausbilden. Verändert man nun die Brennweite der Zoom-Optik25 – bei festbleibendem Fokus21 – können ebene transversale Tomogramme hoher Auflösung aus verschiedenen Objektebenen gewonnen werden, ohne das Objekt zu verschieben. Dies ist in der25 in dem in der8 . Entsprechend wird nun eine tiefer im Objekt23 liegende Ebene23'' abgebildet. Gleichzeitig muß natürlich der Referenzspiegel5 zum Abgleich der Weglängen in Referenz- und Meßstrahl in die entsprechende Position5'' verschoben werden. - Durch eine weitere Modifizierung kann man auch transversale Tomographien unter beliebigen Winkeln gewinnen. Dies ist in der Anordnung nach
10 des Scanning-Spiegelpaars7' und7'' aus der optischen Achse26 der Fokussieroptik8 heraus – und bleibt damit in der Brennebene22 – werden entsprechend geneigte Schnittebenen27 oder27' abgebildet.
Claims (4)
- Verfahren zur transversalen ebenen optischen Kurzkohärenz-Tomographie durch Abtastung des Objekts mittels eines Messstrahls, der in einer Interferometer-Anordnung mit einem Referenzstrahl zur Interferenz gebracht wird, der Abtaststrahlengang nach einer Fokussieroptik auf der Seite des abzutastenden Objekts telezentrisch verläuft und ebene tomographische Abbildungen ohne zusätzliche, durch die Abtastung bedingte, Frequenzmodulation des Interferometer-Ausgangssignals erreicht werden, dadurch gekennzeichnet, dass der abtastende Messstrahl von einer Zoom-Optik auf das Objekt fokussiert wird.
- Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass zur Abtastung Scanning-Spiegel benutzten werden, die in der Brennebene außerhalb der optischen Achse der Fokussieroptik angeordnet werden.
- Anordnung zur Durchführung des Verfahrens nach den Ansprüchen 1 und 2, bei der die zur Abtastung benutzten Scanning-Spiegel (
7' und7'' ) im Brennpunkt (10 ) jener Fokussieroptik (8 ) angebracht werden, dadurch gekennzeichnet, dass die Fokussieroptik (25 ), die den abtastenden Messstrahl (6 ) auf das Objekt fokussiert, als Zoom-Optik ausgebildet ist. - Anordnung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass die zur Abtastung benutzten Scanning-Spiegel (
7' und7'' ) in der Brennebene (22 ) außerhalb der optischen Achse jener Fokussieroptik (8 oder25 ) angeordnet sind, die den abtastenden Messstrahl (6 ) auf das Objekt fokussiert.
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
AT0123597A ATA123597A (de) | 1997-07-21 | 1997-07-21 | Anordnung zur transversalen optischen kohärenztomographie |
AT1235/97 | 1997-07-21 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE19832175A1 DE19832175A1 (de) | 1999-01-28 |
DE19832175B4 true DE19832175B4 (de) | 2012-02-09 |
Family
ID=3509531
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE19832175A Expired - Fee Related DE19832175B4 (de) | 1997-07-21 | 1998-07-17 | Verfahren und Anordnungen zur transversalen optischen Kohärenztomographie |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US6124930A (de) |
JP (1) | JP4024390B2 (de) |
AT (1) | ATA123597A (de) |
DE (1) | DE19832175B4 (de) |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
8110 | Request for examination paragraph 44 | ||
R016 | Response to examination communication | ||
R016 | Response to examination communication | ||
R018 | Grant decision by examination section/examining division | ||
R081 | Change of applicant/patentee |
Owner name: CARL ZEISS MEDITEC AG, DE Free format text: FORMER OWNER: CARL ZEISS JENA GMBH, 07745 JENA, DE Effective date: 20111206 |
|
R081 | Change of applicant/patentee |
Owner name: CARL ZEISS MEDITEC AG, DE Free format text: FORMER OWNER: CARL ZEISS MEDITEC AG, 07745 JENA, DE Effective date: 20120222 |
|
R020 | Patent grant now final |
Effective date: 20120510 |
|
R119 | Application deemed withdrawn, or ip right lapsed, due to non-payment of renewal fee |