DE1623156A1 - Anordnung zur Erzeugung von Vielstrahlinterferenzen im weissen Licht und zur Unterteilung des Ordnungsabstandes der Interferenzstreifen - Google Patents

Anordnung zur Erzeugung von Vielstrahlinterferenzen im weissen Licht und zur Unterteilung des Ordnungsabstandes der Interferenzstreifen

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DE1623156A1
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Description

  • Aufstellung der verwendeten Bezugszeichen 1 Weißlichtquelle 2 Kondensor 3 Blende 4 Pabry-Perot-Interferometer 5 Blende 6 Objektiv 7 Keilint erferomet er 8 abbildendes System 9 Interferenzfilter

Claims (3)

  1. Patentansprüche : 1. Anordnung zur Erzeugung von Vielstrahlinterferenzen im weißen Licht und/oder zur Unterteilung des Ordnungsabstandes der Interferenzstreifen in N gleiche Teile, gekennzeichnet durch eine Reihenschaltung vdn zwei Interferometern, deren Dicken sich wie 1/N verhalten, wobei das dünnere der beiden Interferometer von den Prüfflächen gebildet wird und die Dicke des dickeren Interferometers größer ist als k.N q2/4, worin k die gewünschte Me#genauigkeit #o/q darstellt und q eine reine Zahl ist.
  2. 2. Anordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß in den Strahlengang ein schmalbandiges Interferenzfilter mit der Band breite##<2#o eingeht schaltet ist.
  3. 3. Anordnung nach Anspruch 1 und 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Dicke des einen oder beider Interferometer in weiten Grenzen variierbar ist,
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3044183A1 (de) * 1980-11-24 1982-06-24 Reinhard Dipl.-Phys. Dr. 7250 Leonberg Ulrich Verfahren zur optischen messung von laengen und laengenaenderungen und anordnung zur durchfuehrung des verfahrens
FR2641861A1 (fr) * 1989-01-18 1990-07-20 Photonetics Dispositif de mesure opto-electronique

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