DE1623156A1 - Anordnung zur Erzeugung von Vielstrahlinterferenzen im weissen Licht und zur Unterteilung des Ordnungsabstandes der Interferenzstreifen - Google Patents
Anordnung zur Erzeugung von Vielstrahlinterferenzen im weissen Licht und zur Unterteilung des Ordnungsabstandes der InterferenzstreifenInfo
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- G01B9/00—Measuring instruments characterised by the use of optical techniques
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- G01B9/02055—Reduction or prevention of errors; Testing; Calibration
- G01B9/02062—Active error reduction, i.e. varying with time
- G01B9/02064—Active error reduction, i.e. varying with time by particular adjustment of coherence gate, i.e. adjusting position of zero path difference in low coherence interferometry
- G01B9/02065—Active error reduction, i.e. varying with time by particular adjustment of coherence gate, i.e. adjusting position of zero path difference in low coherence interferometry using a second interferometer before or after measuring interferometer
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- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B2290/00—Aspects of interferometers not specifically covered by any group under G01B9/02
- G01B2290/25—Fabry-Perot in interferometer, e.g. etalon, cavity
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- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
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Description
- Aufstellung der verwendeten Bezugszeichen 1 Weißlichtquelle 2 Kondensor 3 Blende 4 Pabry-Perot-Interferometer 5 Blende 6 Objektiv 7 Keilint erferomet er 8 abbildendes System 9 Interferenzfilter
Claims (3)
- Patentansprüche : 1. Anordnung zur Erzeugung von Vielstrahlinterferenzen im weißen Licht und/oder zur Unterteilung des Ordnungsabstandes der Interferenzstreifen in N gleiche Teile, gekennzeichnet durch eine Reihenschaltung vdn zwei Interferometern, deren Dicken sich wie 1/N verhalten, wobei das dünnere der beiden Interferometer von den Prüfflächen gebildet wird und die Dicke des dickeren Interferometers größer ist als k.N q2/4, worin k die gewünschte Me#genauigkeit #o/q darstellt und q eine reine Zahl ist.
- 2. Anordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß in den Strahlengang ein schmalbandiges Interferenzfilter mit der Band breite##<2#o eingeht schaltet ist.
- 3. Anordnung nach Anspruch 1 und 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Dicke des einen oder beider Interferometer in weiten Grenzen variierbar ist,
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DED0052224 | 1967-02-09 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE1623156A1 true DE1623156A1 (de) | 1971-07-29 |
Family
ID=7054004
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE19671623156 Pending DE1623156A1 (de) | 1967-02-09 | 1967-02-09 | Anordnung zur Erzeugung von Vielstrahlinterferenzen im weissen Licht und zur Unterteilung des Ordnungsabstandes der Interferenzstreifen |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
DE (1) | DE1623156A1 (de) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3044183A1 (de) * | 1980-11-24 | 1982-06-24 | Reinhard Dipl.-Phys. Dr. 7250 Leonberg Ulrich | Verfahren zur optischen messung von laengen und laengenaenderungen und anordnung zur durchfuehrung des verfahrens |
FR2641861A1 (fr) * | 1989-01-18 | 1990-07-20 | Photonetics | Dispositif de mesure opto-electronique |
-
1967
- 1967-02-09 DE DE19671623156 patent/DE1623156A1/de active Pending
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3044183A1 (de) * | 1980-11-24 | 1982-06-24 | Reinhard Dipl.-Phys. Dr. 7250 Leonberg Ulrich | Verfahren zur optischen messung von laengen und laengenaenderungen und anordnung zur durchfuehrung des verfahrens |
FR2641861A1 (fr) * | 1989-01-18 | 1990-07-20 | Photonetics | Dispositif de mesure opto-electronique |
EP0390615A2 (de) * | 1989-01-18 | 1990-10-03 | Photonetics | Opto-elektronische Messeinrichtung |
EP0390615A3 (en) * | 1989-01-18 | 1990-10-10 | Photonetics | Opto-electronic measuring circuit |
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