DE1616352B2 - Selbstschwingender mikrowellen-leistungsgenerator - Google Patents

Description

Die Erfindung betrifft einen selbstschwingenden Mikrowellen-Leistungsgenerator mit einem aktiven Element, das eine Nennfrequenz/ innerhalb eines Arbeitsfrequenzbereichs A f liefert und zwecks Selbsterregung rückgekoppelt ist.

Bisher wurden Klystrons verwendet, um die Mikrowellen-Leistung für' industrielle Mikrowellen-Heizanlagen zu erzeugen. In solchen Anlagen war es notwendig, das Klystron als Verstärker zu betreiben und mit dem Ausgang einer Treiberröhre mit Leistungspegeln von 0,1 bis 1 Watt zu speisen. Die Mikrowellen-Leistung wird gewöhnlich bei einer Frequenz von 2450 MHz erzeugt. Treiberröhren bei diesen Frequenzen und Leistungspegeln besitzen eine sehr geringe Lebensdauer, etwa in der Größenordnung von 500 Stunden, während das Klystron eine Lebensdauer in der Größenordnung von 7500 Stunden aufweist.

Man hat auch versucht, das Klystron als Oszillator zu betreiben, indem ein Teil der Ausgangsleistung über ein Dämpfungsglied und einen einstellbaren Phasenschieber rückgekoppelt wurde; eine solche Anordnung ist in der USA.-Patentschrift 2 829 252 beschrieben. Bei diesen Anordnungen ergab sich aber die Schwierigkeit, daß die phasenrichtige -Rückkopplung wesentlich vom Verhalten der Belastung abhängt, die sich ihrerseits während des Betriebs ändern kann. Demgemäß müssen bei solchen Systemen Einrichtungen zum Abstimmen oder Nachstimmen vorgesehen werden.

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Aufgabe der Erfindung ist es, einen Mikrowel- Länge, wie oben definiert, besitzen, wobei A f derje-

len-Leistungsgenerator zu schaffen, bei dem — aus- nige Frequenzbereich der geschlossenen Schleife ist,

gehend von einer Anordnung mit einem Mikrowel- innerhalb dem die Schleifenverstärkung größer als 1

lenverstärker und mit einer Rückkopplungsleitung ist. Die geschlossene Rückkopplungsschleife umfaßt

für Mikrowellen-Leistung nach Verstärkung zu 5 das Klystron 1 und die Rückkopplungsleitung mit

einem Eingang des Verstärkers — die Notwendigkeit dem Koppler 3, der Übertragungsleitung 4 und dem

der Phasenabstimmung entfällt. Diese Aufgabe wird Dämpfungsglied 5. Obwohl gemäß einem bevorzug-

bei dem Generator der eingangs genannten Gattung ten Ausführungsbeispiel der Erfindung die große

dadurch gelöst, daß eine Rückkopplungsleitung einer Länge der Übertragungsleitung 4 mittels physisch

Länge von mindestens N Wellenlängen der Nennfre- io langer Abschnitte von Koaxialkabel bewirkt wird,

quenz vorgesehen ist mit N = f/A f. kann auch ein geeignetes Verzögerungsnetzwerk ver-

Mit dieser Lösung ergibt sich, daß — da innerhalb wendet werden. Ein solches Verzögerungs- oder FiI-

des Arbeitsfrequenzbereichs Δ j die Amplitudenbe- ternetzwerk kann eine genügende Anzahl miteinan-

ziehung für die Aufrechterhaltung der Schwingungen der gekoppelter periodischer Abschnitte aufweisen,

immer erfüllt ist — die Phasenbeziehung automa- 15 um so die gewünschte elektrische Länge vorzusehen,

tisch mit erfüllt wird, weil sich mit einer solchen In einer typischen Ausführungsform wurde für das

Länge der Rückkopplungsleitung immer eine Fre- Klystron der Typ 5K70SH verwendet, hergestellt von

quenz innerhalb des Arbeitsbereichs ergibt, bei der der Fa. EIMAC, einer Untergruppe der Fa. Varian

stehende Wellen und damit stabile Oszillationen Associates, und die Länge des Koaxialkabels 4 vom

möglich sind. Es sei als Beispiel angenommen, - daß 20 Typ RG/58U betrug etwa 30 mund wies einen Ver-

das betreffende aktive Element ein Klystron ist mit lust von 15 db auf. Die Klystronröhre 1 wurde fest

einer Nennfrequenz von 10 GHz und einem Arbeits- abgestimmt auf 2450 MHz.

frequenzbereich von ± 0,5 °/o. Damit ergibt sich eine Im Falle der Schaltung von F i g. 1, bei der die geerfindungsgemäß erforderliche (elektrische) Länge schlossene Schleife den Verbraucher 2 nicht enthält, der Rückkopplungsleitung von 100 Wellenlängen, 35 besitzt das Klystron 1 vorzugsweise ein Durchlaßweil N = 100 ist. Ist aber der Toleranzbereich des band, das in dem Durchlaßband des Verbrauchers 2 aktiven Elements größer, so ist die Länge der Rück- enthalten ist, um so extreme Wellenreflexionen von lcopplungsleitung weniger kritisch, und die Phasenbe- dem Verbraucher 2 zu unterbinden.
Ziehung wird gleichwohl erfüllt. Die Mikrowellen-Oszillatorschaltung mit geschlos-

Bevorzugte Weiterbildungen des Generators ge- 30 sener Schleife gemäß F i g. 1 besitzt verschiedene

maß der Erfindung ergeben sich aus den Ansprü- Vorteile gegenüber den bekannten Einrichtungen,

chen. Nähere Erläuterungen folgen nachstehend un- Das System ist relativ einfach und zuverlässig und

ter Bezugnahme auf die Zeichnungen. vermeidet die Notwendigkeit der Treiberstufe und

F i g. 1 zeigt schematisch ein Blockdiagramm des der zugeordneten Leistungsquelle, wie sie bisher üb-

Mikrowellen-Leistungsgenerators gemäß der Erfin- 35 lieh waren. Zusätzlich reguliert sich die Schaltung

dung für die Anwendung im industriellen Heizein- selbst im Betrieb bei voller Leistung bezüglich

richtungen, und Brummspannungen vom der Energiequelle her. Wenn

F i g. 2 bis 6 sind schematische Blockdiagramme beispielsweise eine Klystronanordnung verwendet verschiedener Ausführungsformen des Erfindungsge- wird, wird die 15prozentige Spitze-Spitze-Brummgenstandes. 40 überlagerung in der Strahlspannung, wenn diese von

In Fig. 1 ist in Form eines Blockdiagramms eine einem S-Phasen-Vollwellen-Brückengleichrichter ge-

Ausführungsform des Erfindungsgegenstandes darge- wonnen wird, der in der Zeichnung nicht dargestellt

stellt. Ein Klystron-Leistungsverstärker 1, z.B. mit ist, infolge des.Sättigungseffektes des Klystron-Oszil-

einer mittleren Trägerwellen-Ausgangsleistung von lators eliminiert. Der mittlere Ausgangsleistungspegel

30 kW und fünf Hohlraum-Resonatoren, abgestimmt 45 kann einfach zwischen 30 und 2 kW eingestellt wer-

auf 2450 MHz mit einer Leistungsverstärkung von den, indem das variable Dämpfungsglied 5 betätigt

50 db, ist mit seinem Ausgang an einen Mikrowellen- wird.

verbraucher 2 angekoppelt, um Mikrowellen-Lei- In F i g. 2 ist ein abgewandeltes Ausführungsbeistung auf ein Material zu übertragen, das beheizt spiel des Erfindungsgegenstandes dargestellt. In die- oder wärmebehandelt werden soll. Andere Mikro- 50 ser Form ist der Kreis im wesentlichen gleich dem wellen-Verstärker, z.B. Leistungsgitteröhren und nach Fig. 1, jedoch mit der Ausnahme, daß in die Strahlröhren, wie Wanderwellenröhrenanordnungen, Leitung zwischen dem Ausgang des Klystrons 1 und können an Stelle des Klystron-Leistungsverstärkers dem Eingang des Verbrauchers 2 ein Richtungskoppverwendet werden. Ein Bruchteil der Ausgangslei- ler 6 vorgesehen ist. Der Richtungskoppler 6 umfaßt stung, z. B. 20 Watt, wird von dem Klystron 1 über 55 einen VorwärtsleistungsabtastanscMuß 7 für die Beeinen Koppler 3 auf den Hochfrequenzeingang des Stimmung der Ausgangsleistung des Klystrons, Klystrons 1 zurückgekoppelt, und zwar über einen welche auf den Verbraucher 2 übertragen wird. Der langen Abschnitt einer Übertragungsleitung 4 und ein abgetastete Wert wird mittels der Diode 8 gleichgeelektrisch veränderbares Dämpfungsglieds. Die richtet, um ein Gleichspannungssignal gemäß der Rückkopplung kanni am Ausgangshohlraum des KIy- 60 Vorwärtsausgangsleistung zu erzeugen, und dieses Sistrons oder irgendeinem mittleren Hohlraum des gnal wird einem Fehlerdetektor 9 zugeführt. Der Klystrons abgegriffen werden. Eine geeignete Übertra- Fehlerdetektor 9 vergleicht das Vorwärtsleistungssigungsleitung 4 ist ein Koaxialkabel des Typs RG/58 U gnal mit einer Bezugsgleichsspannung aus einer Be- und ein geeignetes Dämpfungsglied 5 ist der PIN- zugsgleichspannungsquelle 11, um so ein Fehlersi-Dioden-Modulator vom Typ 8732 A, der marktgän- 65 gnal zu erzeugen gemäß der Differenz zwischen dem gig ist und von der Fa. Hewlett Packard Inc. herge- Vorwärtsleistungspegel und einem vorgegebenen Bestellt wird, zugsleistungspegel, dargestellt durch das Bezugssi-

Die Übertragungsleitung 4 soll eine elektrische gnal. Das letztgenannte Fehlersignal wird dem varia-

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blen Dämpfungsglied 5 zugeführt, um den Leistungs- Ausführungsbeispiel ist der Mikrowellen-Verbraupegel des Klystron-Oszillators 1 zu steuern. Diese eher 2 in mehrere Abschnitte 21, 22 bzw. 23 unterRegelung stabilisiert nicht nur die Oszillator-Ampli- teilt, die jeweils auf unterschiedliche Frequenzen f_v tude ohne kostspielige primäre Energiequellenrege- /,, /₃ abgestimmt sind, und zwar innerhalb des Arlung, sondern entfernt auch die Brummspannung vom 5 beitsfrequenzbereichs des Klystrons 1. Das Werk-Ausgang, und damit ist die Notwendigkeit von Hoch- stück 17 ist bei den Verbraucherabschnitten anspannungsfilterkomponenten und deren Schutzschal- geordnet. Koppler 24, 25 bzw. 26 sind bei dem Vertungseinrichtungen eliminiert. braucher und dem Werkstück 17 derart angeordnet,

Zusätzlich weist der Richtungskoppler 6 einen daß die Hochfrequenzkopplung von jedem Abschnitt Rückwärtsleistungsabtastanschluß 12 auf, der die io 21, 22 oder 23 zu dem zugeordneten Koppler 24, 25 von der Verbraucherlast 2 reflektierte Leistung abta- oder 26 in direkter Beziehung steht mit dem Energiestet. Das abgetastete Rückwärtsleistungssignal wird betrag, der von dem jeweiligen Teil des Werkstücks von einer Diode 13 gleichgerichtet und von einem 17 umgesetzt wird, das bei dem zugeordneten Ver-Gleichspannungsverstärker 14 verstärkt und dem braucherabschnitt angeordnet ist.
Steuereingang eines zweiten variablen Dämpfungs- 15 Demgemäß schwingt im Betrieb das Klystron 1 mit gliedes 5' zugeführt. Wenn die reflektierte Leistung der Frequenz Z₁, /₂ oder /₃ desjenigen Verbraucherdie Tendenz zur Zunahme zeigt, so reduziert das abschnitts 21, 22 oder 23, der auf das Werkstück den Rückleistungssignal, das auf das Dämpfungsglied 5' größten Energieanteil überträgt. Dies ist insbesonrückgekoppelt ist, den Leistungspegel des Klystron- dere wünschenswert für Aushärtungs- oder Trock-Oszillators, um so Überspannungen über dem Aus- 20 nungsarbeiten, z.B. an Schichtholz oder anderem gangsfenster des Klystrons 1 zu vermeiden. Exzessive Schichtmaterial mit Einschlüssen oder Unregelmä-Spannungen könnten das Ausgangsfenster des KIy- ßigkeiten, die mehr Energie für die Trocknung oder strons ausbrennen. Der Leistungspegel des Klystrons Wärmebehandlung benötigen. Wenn sich beispielswird dabei reduziert, doch wird der normale Betrieb weise ein feuchter Fleck unter dem Verbraucherabsehr schnell wiederhergestellt, wenn die Ursache für 25 schnitt 22 befindet, so schwingt die Anordnung mit die unnormale Leistungsreflexion beseitigt worden /₂, um Energie in diesen Abschnitt des Werkstücks ist. 17 zu übertragen. Wenn der feuchte Fleck genügend

Zusätzlich ist ein Lichtbogenschutzschaltkreis mit getrocknet ist, so daß er weniger Energie absorbiert einer Fotozelle 10, die. auf das Dämpfungsglied 5' als irgendein Bereich unter einem anderen der Verwirkt, vorgesehen, der aber im Rahmen der vorlie- 30 braucherabschnitte, z.B. dem Abschnitt 21, so wird genden Erfindung nicht näher erläutert zu werden die Kopplung durch diesen anderen Abschnitt 21 dobraucht. minieren und automatisch die Schwingfrequenz auf Z₁

In Fig. 3 ist eine abgewandelte Ausführungsform verschieben. Demgemäß wird die Frequenz des KIy-

der Erfindung dargestellt. Hier wird das Rückkopp- stron-Oszillators automatisch verschoben, um dabei

lungssignal für den Klystron-Oszillator aus dem Aus- 35 eine gleichmäßige Trocknung des Werkstücks 17 zu

gang des Verbrauchers 2 für die nicht umgesetzte erzielen.

Leistung entnommen. Die nicht rückgekoppelten An- In F i g. 5 ist ein weiteres abgewandeltes Ausfüh-

teile der nicht umgesetzten Leistung werden einer ge- rungsbeispiel des Erfindungsgegenstandes dargestellt,

eigneten Belastung 16 zugeführt. In dieser Ausführungsform mit einer Einrichtung

Die Schaltung gemäß F i g. 3 weist bestimmte Vor- 40 ähnlich der Anordnung nach F i g. 4 ist die Abwandteile auf. Zum Beispiel ist sie selbstregelnd bezüglich lung getroffen, daß die Rückkopplung über den der Kopplung einer konstanten Leistung in die zu Koppler 3 vom Ausgang des Klystrons 1 erfolgt und heizende Last 17. Dies erkennt man, wenn berück- die Rückkopplungsleitung einen Ferritphasenschiesichtigt wird, daß, falls das Werkstück 17 dahin ten- ber 28 aufweist, der eine variable Phasenverschiediert, daß weniger Mikrowellen-Leistung absorbiert 45 bung für die Durchstimmung der Oszillatorfrequenz wird, die Rückkopplungsleistung zunimmt infolge des Systems einführt, und zwar eine Abstimmung auf der herabgesetzten Leistungsaufnahme durch das irgendeine der Frequenzen der Verbraucherab-Werkstück, wobei zugleich der Leitungspegel des schnitte 21, 22 bzw. 23. Zusätzlich sind mehrere Klystron-Oszillators angehoben wird und damit mehr Feuchtigkeitsdetektoren 29, 31 oder 32 oder andere Leistung in das Werkstück 17 übertragen wird. Um- 50 Abtasteinrichtungen vorgesehen für die Ermittlung gekehrt, falls das Werkstück dahin tendiert, daß des Mikrowellen-Leistungsanteils, der für die Abmehr Leistung umgesetzt wird, wird die Rückkopp- schnitte des Werkstücks 17 bei deren Behandlung erlung reduziert, um damit die Leistung, die dem forderlich ist, die jeweils nahe einem der Mikrowel-Werkstück 17 zugeführt wird, zu senken. len-Verbraucherabschnitte 21, 22 oder 23 angeord-

Ein anderer Vorteil der Schaltungsanordnung nach 55 net sind.

Fig. 3 tritt in Erscheinung, wenn der Verbraucher Die Abtasteinrichtungen speisen ihr jeweiliges ein engeres Durchlaßfrequenzband aufweist als der Ausgangssignal in eine Frequenzprogrammeinrich-Klystron-Verstärker 1. In diesem Falle befindet sich tung 33 ein, die ihrerseits dem Ferritphasenschieber der Verbraucher 2 in der geschlossenen Schleife und ein Signal zuführt, um so die Frequenz des schwinbestimmt damit die Länge der Übertragungsleitung 4 6p genden Klystrons 1 auf die Frequenz desjenigen Ver- und somit auch die Schwingfrequenz des Klystron- braucherabschnittes 21, 22 oder 23 abzustimmen, in Oszillators, wobei sichergestellt wird, daß das KIy- welchem Abschnitt die meiste Mikrowellen-Leistung stron dem Verbraucher innerhalb seines Durchlaß- für die Behandlung der jeweiligen Werkstückteile erfrequenzbandes Leistung zuführt. Damit werden forderlich ist, je nach dem Ausgangssignal der Abübermäßige Wellenreflexionen vom Verbraucher 65 tasteinrichtungen 29, 31 oder 32. Andererseits kann unterbunden. . die Frequenzprogrammeinrichtung 33 die Mikrowel-

In Fig.4 ist eine abgewandelte Ausführungsform len-Leistung auf die verschiedenen Verbraucherab-

des Erfindungsgegenstandes dargestellt. In diesem schnitte 21, 22 oder 23 umschalten gemäß einer vor-

bestimmten Reihenfolge oder gemäß der Steuerung durch eine Bedienungsperson.

In dem Ausführungsbeispiel gemäß F i g. 4 und 5 wird das Klystron 1 frequenzmoduliert in Übereinstimmung mit bestimmten Erscheinungen in dem Verbraucher 2. Das Klystron 1 könnte jedoch auch unabhängig von dem Verbraucher 2 frequenzmoduliert werden, um beispielsweise eine elektronische Moduswandlung in einem Verbraucher zu bewirken, wobei der zeitliche Mittelwert der Mikrowellen-Energieverteilung in dem Verbraucher vergleichmäßigt wird. Das kann in einem Schaltkreis, ähnlich dem nach Fig.5, durchgeführt werden, wobei der Ferritphasenschieber 28 so betrieben wird, daß die Frequenz des Klystrons 1 kontinuierlich und unabhängig von dem Verbraucher 2 verschoben wird.

In F i g. 6 ist eine weitere Ausführungsform des Erfindungsgegenstandes gezeigt, wobei Modulationseinrichtungen 45 für den Ausgang des Mikrowellen-Oszillators vorgesehen sind. In der dargestellten Ausführung ist ein Impulsgenerator 47 über einen Schalter 48 angekoppelt, um eine Folge von Spannungspulsen 49 in das variable PIN-Dämpfungsglied 5' einzuspeisen, um so periodisch die rückgekoppelte Leistung zum Mikrowellen-Verstärker 1 zu reduzieren und damit ein Abreißen der Schwingungen zu bewirken. Dies führt zu einer Impulsmodulation des Mikrowellen-Verstärkers, wobei die Schwingschaltung Mikrowellenleistungsimpulse abgibt. Die Pulsfolgefrequenz und die Pulsdauer der Mikrowellen-

Leistung, die abgegeben wird, ist bestimmt durch die Pulsfolge und die Pulsbreite der Impulse 49, die vom Impulsgenerator 47 erzeugt werden. Der Mikrowellen-Oszillator kann, falls dies erwünscht wird, auch auf andere Weise moduliert werden, z. B. durch Einkoppeln eines Signals in das PIN-Dämpfungsglied 5', um dessen Dämpfung zu verändern und eine geringere als eine lOOprozentige Modulation der vom Mikrowellen-Verstärker 1 abgegebenen Leistung zu bewirken, oder durch Verändern der Phase des Rück-

kopplungssignals, um, wie oben beschrieben, eine Frequenzmodulation zu bewirken.

Hierzu 1 Blatt Zeichnungen

309534/377

Claims (11)

Patentansprüche:

1. Selbstschwingender Mikrowellen-Leistungsgenerator mit einem aktiven Element, das eine Nennfrequenz / innerhalb eines vorgegebenen Arbeitsfrequenzbereichs Af liefert und zwecks Selbsterregung rückgekoppelt ist, dadurch gekennzeichnet, daß eine Rückkopplungsleitung einer Länge von mindestens N Wellenlängen der Nennfrequenz vorgesehen ist. mit j

2. Generator nach Anspruch 1, gekennzeichnet durch ein veränderbares Dämpfungsglied (5, 5') in der Rückkopplungsleitung für die Steuerung der Leistungsabgabe des als Verstärker (1) ausgebildeten aktiven Elements.

3. Generator nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß das Dämpfungsglied (5, 5') eine PIN-Diode ist.

4. Generator nach Anspruch 2,- gekennzeichnet durch einen Komparator (9) für den Vergleich eines von der Ausgangsleistung des Verstärkers (1) abgeleiteten Signals mit einem Bezugssignal und für die Erzeugung eines Fehlersignals entsprechend der Differenz zwischen der Ausgangsleistung und einer vorgegebenen Solleistung so- yne für die Steuerung des Dämpfungsgliedes (5) zwecks dessen Steuerung der rückgekoppelten Amplitude und damit zur Steuerung der Verstärker-Ausgangsleistung.

5. Generator nach Anspruch 2, gekennzeichnet durch einen Richtungskoppler (6) im Ausgang des Verstärkers für die Ableitung eines Signals entsprechend derjenigen Ausgangsleistung des Verstärkers (1), die zu jenem von einer Last (2) zurückreflektiert wird, und durch eine Einrichtung (13, 14) für die Einspeisung des abgeleiteten Signals in das Dämpfungsglied (5') zur Herabsetzung der Verstärker-Ausgangsleistung bei Überschreiten eines vorgegebenen Pegels durch die reflektierte Leistung und damit zur Unterdrückung von Überspannungen im Ausgang des Verstärkers.

6. Generator nach den Ansprüchen 4 und 5, dadurch gekennzeichnet, daß dem Dämpfungsglied (5, 5') ein erstes Signal entsprechend der reflektierten Leistung und ein zweites Signal entsprechend der Differenz zwischen der abgegebenen Leistung und einer vorgegebenen Solleistung zugeführt wird.

7. Generator nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß an den Ausgang des aktiven Elements ein Verbraucher (2) mit einem Durchlaßband angekoppelt ist, das schmaler ist als das des aktiven Elements, und daß die Rückkopplungsleitung an einen Ausgang (3) des Verbrauchers angekoppelt ist, so daß die Rückkopplungsschleife das aktive Element, den Verbraucher (2) und die Rückkopplungsleitung (3, 4, 5) umfaßt und der Generator mit einer Frequenz innerhalb des Durchlaßbandes des Verbrauchers (2) schwingt.

8. Generator nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß der Verbraucher eine Mehrzahl von Abschnitten (21, 22, 23) mit unterschiedlichen Frequenzdurchlaßbändern aufweist, die schmaler sind als das des aktiven Elements

und jeweils für die Abgabe von Leistung an unterschiedliche Belastungsteile vorgesehen sind, und daß die Rückkopplungsleitung über Kopplungseinrichtungen· (24, 25, 26) an jeden der verschiedenen Abschnitte (21, 22, 23) des Verbrauchers (2) angekoppelt ist, welche Kopplungseinrichtungen (24, 25, 26) derart angeordnet sind, daß die Kopplung durch den zugeordneten Verbraucherabschnitt in die Rückkopplungsleitung zunimmt, wenn die Leistungsaufnahme in dem zugeordneten Belastungsteil zunimmt, wobei der Generator in demjenigen Durchlaßband schwingt, das dem Belastungsteil mit der größten Leistungsaufnahme zugeordnet ist, und die Leistung diesem Belastungsteil zugeführt wird.

9. Generator nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß die Rückkopplungsleitung einen variablen Phasenschieber (28) für- die Durchstimmung des Generators über sein abstimmbares Durchlaßband aufweist, wobei die verschiedenen Abschnitte (21, 22, 23) des Verbrauchers in Aufeinanderfolge gemäß der Durchstimmung mittels des Phasenschiebers (28) erregt sind.

10. Generator nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß der Phasenschieber (28) ein Ferrit-Phasenschieber ist.

11. Generator nach Anspruch 10, gekennzeichnet durch ein elektrisch variables Dämpfungsglied (5) in der Rückkopplungsleitung und durch einen Impulsgenerator (47), der an das Dämpfungsglied (5) angekoppelt ist zur periodischen Erhöhung von dessen Dämpfung der rückgekoppelten Leistung und damit zum periodischen Abreißen der Schwingungen unter Abgabe von Mikrowellen-Leistungsimpulsen.