DE1614960A1

DE1614960A1 - Verfahren und Vorrichtung zur Entnahme von geordnet oder ungeordnet uebereinanderliegenden kleinen flaechenhaften Koerpern

Info

Publication number: DE1614960A1
Application number: DE19671614960
Authority: DE
Inventors: Arno Grass; Siegfried Kreher
Original assignee: Elektromat VEB
Current assignee: Elektromat VEB
Priority date: 1967-02-25
Filing date: 1967-02-25
Publication date: 1971-01-14

Description

Verfahren und Vorrichtung -zur Entnahme von

geordnet oder ungeordnet übereinanderliegenden-

kl,einen flächenhaften Körpern

Die Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Vorrich.-

tung zur Entnahme von geordnet oder ungeordnet überein-

anderlegenden kleinen flächenhaften Körpern-für Halb-

leiteranordnungen und Zuführen derselben nach einer-

Bearbeitungsstation, mit Eilte eines-Saughalters für

jeden Körper, -

Für die geordnete -Zufuhr von Plättcäen oder ähnlichen

Körpern für Halblsiteranordnungen ist eine Vorrichtung

bekannt, bei der in einem kippbaren Behälter eine Viel-

zahl von Plättchen aufgenommen werden, Die Innenwand

des Behälters ist mit mehreren Saughaltern ausgestattete.

Beim Hin- und Herkppen des Behälters gleiten die Plätt-

chen oder Körper von einem Ende zum anderen des Behälters.

Die dabei auf die Saughalter fallenden Plättchen werden

dort festgehalten und an bereitgestellte Legierurigafor-

men abgegeben. -

Bei sehr dünnen Plättchen, die durch Adhäsion oder sta-

tische Aufladung aneinander hängen, besteht die Gefahr,-

daß jeweils nicht nur ein Plättehen, sondern gleich meh-

rere von einem Saughalter festgehalten werden, Bin wei-

terer Nachteil dieser Vorrichtung :ist es da.ß obe.rflächen-

vergütete Teilchen durch das Hin, urul FIergleiten --im :Be-

hälter beschädigt werden können,

Hei einer weiteren bekannten Vorrichtung, welche aus einem Ober- und Unterteil besteht, ist das Oberteil schwenkbar angeordnet und mit Saugröhrchen ausgestattet.

In der hochgeschwenkten Zage werden Plättchen auf das Oberteil gestreut und durch die Saugröhrchen angesaugt. Die übrigem Plättchen werden abgestreift. Nach dem Aufsetzen des Oberteiles auf das Unterteil werden die angesaugten Plättchen, an den in dem Unterteil befindlichen Glasröhrchen durch Aufhebung der Saugkraft, abgegeben. Auch bei dieser Vorrichtung können die durch Adhäsion oder statische Aufladu.ng zusammenhängenden sehr dünnen Plättchen nicht ohne weiteres abgestreift werden, Diese Schwierigkeiten treten insbesondere dann auf, wenn die Plättchen oder flachen Körper eine etwas leicht geWIbte Oberfläche besitzen und somit kein genaues Maß für einen Abstreifer eingestellt werden kann, Der Uhrfindung liegt die Aufgabe- zugrunde, ein Arbeitsverfahren und eine Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens zu schaffen, welche die Gewähr bieten, sehr dünne und zum Teil durch Adhäsion oder statische Aufladung aneinander heftende flächenhafte Körper aus einem ungeordneten oder geordneten Vorrat mittels eines Saughälters regelmäßig einzeln entnehmen zu können, Erfindungsgemäß wird dies dadurch .erreicht, daB dem Saughalter wenigstens während der Entnahme des Körperseine Schwingung übertragen wird, durch die ein oder mehrere an dem zu. entnehmenden Körper haftenden Körper abgeworfen Werden, Zur Übertragung der Schwingungen :auf den Saughalter wird ein an schbekannter elektromagnetischer Schwingserzeuger verwendet. _ Die Vorrichtung zur Durchführung dieses Verfahrens be- steht vorzugsweise aus einem mit mehreren Baugiältern versehenen Vakuumbehälter, Auf dem Vakuumbehälter ist ein für alle Saughalter gemeinsamer seiner Schwingungen auf alle:$aughalter übertragender Schwingungserzeuger befestigte Um beim. Aufsetzen der Saughalter auf die zu entnehmenden Körper diese nicht zu beschädigen' sind die Saughalter in axialer Richtung leicht verschiebbar an dem Vakuumbehälter angeordnet, Das Verfahren ist en Hand eines Ausführu®gsbeispieles näher erläutert» In der-Zeichnung zeigelix _ Pig. 1 eine .schematische Darstellung eines _ 8augäandg®rätes zur Durchführung des Verfahrens :; Fige 2 eine schematische Darstellung eines 8aügkopfes mit mehreren daran arge- -ordneten Saughaltern: In einem Behälter 1 :-befinden sich fier die Herstellung von Halbleiteranordnungen dienende Plättchen 2 oder andere flächenhafte Körper, die mit Hilfeeitler Saugeinrichtung dem Behälter 1 eatnon und einer Beerbeitungsstäton zugeführt A®rdene -Die Saugeinrichtung besteht. aus einem Saughalter -3 der an einem Vakuumbehälter 4 angeschlossen ist. An diesem ist eine Saugleitung 5 und ein Handgriff 6 angebracht. Der Saugeinrichtung ist ein an sich bekannter elektromagnetischer Schwingungserzeuger 7 zugeordnet' der vorteilhafterweise@auf dem Vakuumbehälter 4 befestigt ist und der wenigstens während des Ansaugens eines Plättchens 2 seine Schwingungen auf den Saughalter 3 überträgt und somit ein oder mehrere durch Adhäsion oder statische Aufladung an dem angesaugten Plättchen 2 haftengebliebene Plättchen 2 abgeworfen werden. Das am S-ußhalter 3 gehaltene Plättchen 2 wird der Bearbeitungsstation zugeführt und dort durch Aufhebung der Saugkraft, vorzugsweise mittels Druckluft abgelegt. Zur Entnahme von gleichzeitig mehreren einzelnen Flättchen 2 kann gemäß Fig. 2 ein Saugkopf mit gleichzeitig mehreren Saughaltern 3 Verwendung finden. Auch hier ist ein Schwingungserzeuger ? vorgesehen, der seine Schwingungen gleichzeitig auf alle Saughalter 3 des Saugkopfes -überträgt, Bei Verwendung eines Saugkopfes ist es vorteilhaft, die Plättchen 2 aus Magazinen 8 zu entnehmen, die nach Maßgabe der Anordnung der Saughalter 3 entsprechend zu gestalten sind.
Um beim Aufsetzen der Saughalter 3 auf die Plättchen 2 diese nicht zu beschädigen, sind die Sauhalter 3 in axialer Richtung leicht verschiebbar an dem Vakuumbehälter 4 angeordnet. Bei Entnahme der Plättchen 2 ,eus Magazinen 8 ist es vorteilhaft, den Saughaltern 3 nicht nur während des Ansaugens, sondern schon vorher Schwingungen aufzuerlegen, so äaß an dem zu entnehmenden Plättchen 2 haftende Plättchen 2 sich bereits zum Zeitpunkt des Beginns der Entnahme voneinander lösen,

Claims

Pate n t a n s p r ü c h e 1. Verfahren zur Entnahme von geordnet oder ungeordnet übereinanderlegenden kleinen flächenhaften Körpern für Halbleiteranordnungen und Zuführen.derselben nach einer Bearbeitungsstation, mit Hilfe eines Saughalters für jeden Körper, dadurch gekennzeichnet, daß dem Saughalter wenigstens während der Entnahme des Körpers eine Schwingung übertragen wird, durch die ein oder mehrere an dem zu entnehmenden Körper haftende Körper abgeworfen werden.
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daB zur Übertragung der Schwingungen auf den Saughalter ein an sich bekannter elektromagnetischer Schwingungserzeuger verwendet wird* 3. Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens nach Anspruch 1 und 2, bestehend aus einem mit mehreren Saughaltern versehenen Vakuumbehälter, dadurch gekennzechnett' daß auf dem Vakuumbehälter (4) ein für alle Saughalter-(3) gemeinsamer seine Schwingungea_: auf alle Saughalter (3) übertragender Sahwingungeereuger (7) befestigt-ist und daß die Saughalter (3) in agier Richtung leicht verschiebbar an dem Vakuumbehälter (4) angeordnet sind Aufstellung der Bezugszeichen zur Patentanmeldung: "Verfahren und Vorrichtung zur Entnahme von geordnet oder ungeordnet übereinanderliegenden kleinen flächenhaften Körpern" 1 Behälter 2 Plättchen
3 Saughalter 4 Vakuumbehälter 5 Saugleitung 6 Handgriff Schwingungserzeuger 8 Magazin