DE1573401C3 - Anordnung zur zerstörungsfreien Werkstoffprüfung auf verborgene Defekte - Google Patents

Anordnung zur zerstörungsfreien Werkstoffprüfung auf verborgene Defekte

Info

Publication number
DE1573401C3
DE1573401C3 DE1573401A DE1573401A DE1573401C3 DE 1573401 C3 DE1573401 C3 DE 1573401C3 DE 1573401 A DE1573401 A DE 1573401A DE 1573401 A DE1573401 A DE 1573401A DE 1573401 C3 DE1573401 C3 DE 1573401C3
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
radiation
workpiece
filters
signal
arrangement according
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired
Application number
DE1573401A
Other languages
English (en)
Other versions
DE1573401A1 (de
DE1573401B2 (de
Inventor
Dale Raymond Boulder Col. Maley (V.St.A.)
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Automation Industries Inc
Original Assignee
Automation Industries Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Automation Industries Inc filed Critical Automation Industries Inc
Publication of DE1573401A1 publication Critical patent/DE1573401A1/de
Publication of DE1573401B2 publication Critical patent/DE1573401B2/de
Application granted granted Critical
Publication of DE1573401C3 publication Critical patent/DE1573401C3/de
Expired legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N25/00Investigating or analyzing materials by the use of thermal means
    • G01N25/72Investigating presence of flaws

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Investigating Or Analyzing Materials Using Thermal Means (AREA)
  • Radiation Pyrometers (AREA)

Description

55
Die Erfindung betrifft eine Anordnung zur zerstörungsfreien Werkstoffprüfung auf verborgene Defekte gemäß dem Oberbegriff des Anspruchs 1.
Bei einer derartigen Untersuchungsmethode wird die Tatsache ausgenutzt, daß die Wärmeleitfähigkeit eines Werkstücks grundsätzlich eine Funktion des Materials ist, jedoch auch stark von Veränderungen bestimmter Werkstückeigenschaften, beispielsweise der Porosität, durch Hohlräume, Einschlüsse, durch die Art der Konstruktur, durch die Werkstückdicke usw. beeinflußt wird. Mit der Änderung der Wärmeleitfähigkeit ändert sich auch die Oberflächentemperatur des Werkstücks. Um die Oberflächentemperatur insbesondere in kleinen aufeinanderfolgenden Bereichen zu messen, wird die Oberfläche beispielsweise mit einem Strahlungsmesser abgetastet, der die von der Oberfläche abgestrahlte Infrarotstrahlung aufnimmt. Die Intensität dieser Strahlung ist eine Funktion der vierten Potenz der Oberflächentemperatur.
Andererseits ist die Strahlung jedoch auch eine direkte Funktion des Emissionsvermögens der Werkstückoberfläche. Schwankt das Emissionsvermögen, so ändert sich die Strahlung um einen entsprechenden Wert. Ergeben sich nun etwa auf Grund von Materialfehlern verhältnismäßig geringe Änderungen der Oberflächentemperatur, etwa unter 10° C, so werden die sich daraus ergebenden Änderungen der Strahlungsintensität praktisch von den viel größeren Intensitätsschwankungen überdeckt, die auf den normalen Schwankungen des Emissionsvermögens beruhen. Da nur das Emissionsvermögen, nicht aber die Temperaturstrahlung von der Wellenlänge abhängt, ist es möglich, den Einfluß des Emissionsvermögens dadurch zu berücksichtigen, daß Messungen bei zwei verschiedenen Wellenlängen durchgeführt werden.
Aus der USA.-Patentschrift 3 043 956 ist eine Prüfmethode auf dem Infrarotstrahlungsprinzip zur Untersuchung von Werkstücken bekannt, bei der das Werkstück mit einer amplitudenmodulierten Infrarotstrahlung erwärmt wird. Die von dem Werkstück abgegebene Temperaturstrahlung schwankt in ihrer Intensität entsprechend der Modulation der Primärstrahlung. Die Schwankungen erfolgen jedoch mit einer Verzögerung oder Phasenverschiebung, die von den zu untersuchenden Materialeigenschaften abhängen. Um nun bei der bekannten Methode die Einflüsse des Emissionsvermögens zu eliminieren, wird mit auf zwei verschiedene Wellenlängen ansprechenden Strahlungsempfängern gearbeitet, wobei die Modulation der Primärstrahlung mit den Modulationen beider empfangener Strahlungen verglichen bzw. die beiden Phasenverschiebungen zwischen den Sekundärstrahlungen einerseits und der Primärstrahlung andererseits bestimmt werden. Da die Erwärmung des zu untersuchenden Werkstücks der Modulation der Infrarot-Strahlungsquelle folgen muß, sind Frequenz und Modulationsgrad beschränkt, wodurch die Genauigkeit und vor allem die Geschwindigkeit der Messung beschränkt werden.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, die Genauigkeit und Geschwindigkeit der Messung mit einer möglichst einfachen Apparatur zu steigern. Die Lösung dieser Aufgabe erfolgt gemäß dem Kennzeichen des Anspruchs 1.
Erfindungsgemäß erfolgt also keine Modulation der primären Strahlung aus der Infrarotquelle, und die Messung ist auch nicht davon abhängig, daß die Erwärmung des Werkstücks den Schwankungen einer derartigen Modulation folgt. Dadurch ergibt sich eine genauere Messung sowie die Möglichkeit bei kontinuierlicher Untersuchung etwa von bandförmigen Materialien mit einer höheren Vorschubgeschwindigkeit zu arbeiten. Da ferner lediglich die Amplituden der beiden Signale von den auf verschiedene Wellenlängen ansprechenden Strahlungsempfänger, nicht aber zwei verschiedene Modulationen oder Phasenverschiebungen verglichen zu werden brauchen, ergeben sich eine einfachere Auswertschaltung und eine weitere Steigerung der Genauigkeit.
Die Erfindung wird in der nachstehenden Be- die Fläche 18 des Werkstückes 12 fällt, wird an dem
Schreibung bevorzugter Ausführungsbeispiele an ^heißen Punkt« 28 in dem Bereich unmittelbar ne-
Hand der Zeichnungen erläutert. In den Zeichnun- ben der Oberfläche 18 Wärme erzeugt. Ein Teil die-
gen zeigt ser Wärme wird in das Innere des Werkstückes 12
F i g. 1 ein Ausführungsbeispiel einer auf dem In- 5 geleitet, wo sich die Wärme quer durch das Werk-
frarotstrahlungsprinzip arbeitenden Anordnung zur stück 12 zu dessen Rückfläche und seitlich im we-
zerstörungsfreien Werkstoffsprüfung in Blockschalt- sentlichen parallel zu der vorderen und rückwärtigen
bilddarstellung, Oberfläche ausbreitet. Ein anderer Teil der Wärme
Fig.2 A und 2B Schaubilder zur Veranschauli- wird von der Oberfläche 18 des Werkstückes 12 in
chung der Kennwerte der Anordnung von F i g. 1 bei io Form von Infrarotstrahlung zurückgestrahlt. Die
verschiedenen Betriebsbedingungen, Wellenlängen sowie die Strahlungsmengen sind eine
F i g. 3 ein Schaubild zur Veranschaulichung einer Funktion der Temperatur der Oberfläche 18.
anderen Betriebsbedingung der Anordnung, Die Geschwindigkeit, mit welcher die Wärme in
F i g. 4 ein abgeändertes Ausführungsbeispiel einer und durch das Innere des Werkstückes 12 übertragen
auf dem Infrarotstrahlungsprinzip arbeitenden An- 15 wird, ist eine Funktion einer großen Anzahl von
Ordnung zur zerstörungsfreien Werkstoffsprüfung in Faktoren, beispielsweise der thermischen Leitfähig-
Blockschaltbilddarstellung, keit des Materials, der Höhe des Temperaturgefälles,
F i g. 5 eine in der Anordnung nach F i g. 4 zu ver- der Abmessungen des Materials und dergleichen,
wendende Filterscheibe in Querschnittdarstellung. Ein verhältnismäßig dickes Werkstück wirkt als
Die in Fig. 1 gezeigte Anordnung, welche allge-.*o Wärmespeicher, und die Wärme zeigt das Bestreben, mein mit der Bezugsziffer 10 bezeichnet ist, dient zur sich über das gesamte Innere des Werkstückes verUntersuchung einer verhältnismäßig flachen Platte 12 hältnismäßig schnell auszubreiten. Da ein solches und kann verborgene Defekte anzeigen, orten und/ Werkstück die Wärme schnell absorbieren kann, oder die Abmessungen des Werkstückes bzw. der bleibt wenig Energie an der Oberfläche, und die Platte 12 bestimmen. 25 Oberflächentemperatur steigt nicht.
Die Anordnung 10 umfaßt eine Halterung 14 zum Folglich ist die Menge der Infrarotstrahlung gering
Festhalten des Werkstückes 12 in seiner Lage wäh- und weist hohe Wellenlängen auf.
rend der Durchführung einer Untersuchung. Ein Ab- Ein verhältnismäßig dünnes Werkstück ist nicht in
tastmechanismus 16 ist mit der Halterung 14 gekop- der Lage, so viel Wärme mit einer so hohen Ge-
pelt, um das Werkstück 12 zu bewegen. Das Werk- 30 schwindigkeit zu absorbieren. Die Wärme verteilt
stück 12 kann lediglich in einer Richtung transpor- sich rasch zu der rückwärtigen Oberfläche, wobei die
tiert werden. Wenn indessen die gesamte Fläche 18 Fähigkeit des Werkstückes zur Absorption zusätzli-
des Werkstückes 12 zu untersuchen ist, kann dieses eher Wärme durch die Geschwindigkeit bestimmt
in einer ersten Richtung mit einer ersten Geschwin- wird, bei welcher die Energie seitlich durch das
digkeit und in einer zweiten Richtung mit einer zwei- 35 Werkstück in Richtung parallel zu den Vorder- und
ten Geschwindigkeit bewegt werden, wobei die ge- Rückflächen strömen kann. Für eine gegebene Ener-
samte Fläche 18 auf einer Reihe von im wesentlichen giemenge steigt die Temperatur an der Oberfläche
parallelen Geraden abgetastet wird. eines dünnen Werkstückes schneller und auf einen
Während einer Untersuchung wird die Temperatur höheren Wert als bei einem dicken Werkstück, des Werkstückes 12 geändert, indem Wärme in das 4° Wenn das Innere des Werkstückes homogen ist, oder aus dem Werkstück 12 übertragen wird. Ob- werden die Geschwindigkeit und die Menge des gleich die Wärme in das gesamte Werkstück 12 über- Energieüberganges durch das Werkstück gleichförtragen werden kann, wird bei der vorliegenden An- mig sein, wenn der »heiße Punkt« 28 eine Abtastung Ordnung 10 die Wärme aufeinanderfolgend begrenz- über die Fläche 18 durchführt, und der Temperaten Bereichen zugeführt, wenn das Werkstück 12 ab- 45 turanstieg ist eine Funktion der Dicke. Unbeschadet gefühlt wird. Die Wärme kann durch geeignete Heiz- der Tatsache jedoch, ob das Werkstück 12 dick oder elemente 20 erzeugt werden, beispielsweise durch dünn ist, ergibt sich eine entsprechende örtliche Anden Heizfaden einer an eine Energiequelle 22 ange- derung der thermischen Leitfähigkeit des Werkstükschlossenen Glühlampe. kes 12, wenn irgendwelche örtlichen Uneinheitlich-
Die seitens der Heizeinrichtung 20 erzeugte 50 keiten in dem Werkstück 12 vorliegen, beispielsweise Wärme wird in einen gut definierten Strahl 24 durch in Form eines Lufteinschlusses oder Lunkers, soneine Linse und/oder einen Spiegel 26 gebündelt. Der stiger Einschlüsse, einer Änderung der Porosität oder Strahl 24 konzentriert im wesentlichen die gesamte Kornstruktur, einer Dickenänderung und derglei-Energie in einen verhältnismäßig kleinen »heißen chen. Folglich werden Änderungen in der Tempera-Punkt« 28 an der Oberfläche 18 des Werkstückes 12. 55 tür an der Fläche 18 entsprechend den inneren Än-Die dem »heißen Punkt« 28 zugeführte Energie so- derungen des Werkstückes 12 lokalisiert, wie die Form des Punktes hängen von der Art des Demgemäß sind die augenblicklichen Temperatu-Materials, der Art der durchgeführten Untersuchung, ren der aufeinanderfolgenden Oberflächenbereiche der Abfühlgeschwindigkeit und dergleichen ab. In an dem Werkstück 12 eine Funktion von dessen therden meisten Fällen ergibt die in das Werkstück 12 60 mischer Leitfähigkeit, welche wiederum eine Funkübertragene Wärmemenge normalerweise eine Ober- tion der Kennwerte des Werkstückes 12 einschließflächentemperatursteigerung in dem allgemeinen Be- lieh dessen Dicke, innerer Einheitlichkeit und derreich von etwa 14° bis 28° C oberhalb Umgebungs- gleichen ist.
temperatur. Dies bewirkt, daß die meiste von der Eine geeignete Form eines Aufnahmeelementes Oberfläche 18 abgestrahlte Energie eine Wellenlänge 65 kann verwendet werden, um diese Oberflächentemin dem Bereich von etwa 2 bis etwa 15 Mikron auf- peratur abzufühlen. Im vorliegenden Fall wird ein weist. sogenannter Strahlungsmesser 30 verwendet. Der InWenn die Strahlungsenergie des Strahlers 24 auf frarotstrahlungsmesser spricht auf abgestrahlte Ener-
5 6
gie im Infrarotbereich von etwa 1 oder 2 Mikron bis Dies stellt starke Signale mit einem hohen Verhältnis
etwa 15 Mikron an und erzeugt ein elektrisches Si- von Signal zu Störung sicher.
gnal, welches eine Funktion der Intensität oder der Die Signale der Filter 38, 40 sind somit Wechsel-Menge der Strahlung ist. Stromsignale mit Amplituden, welche sich mit der
Bei der Ausführungsform nach F i g. 1 wird ein 5 vierten Potenz der Temperatur der Oberfläche 18 än-Paar von Strahlungsmessern 30, 32 auf die Ober- dem. Die Amplituden sind jedoch auch eine Funkfläche 18 des Werkstückes 12 fokussiert. Vorzugs- tion des Emissionsvermögens des Bereiches der weise werden diese Strahlungsmesser 30, 32 auf den Oberfläche 18, welcher durch die Strahlungsmesser gleichen Bereich fokussiert und nehmen die gleichen 30, 32 abgefühlt wird. Dies bedeutet, daß bei Mengen infraroter Strahlung auf. Die Größe oder io schwarzer oder nahezu schwarzer (d. h. im infraroten Amplitude dieser Strahlung sowie die Wellenlänge Bereich) Oberfläche 18 das Emissionsvermögen hoch ändert sich mit der vierten Potenz der Oberflächen- liegt, beispielsweise 1, und die Intensität der Strahtemperatur. Somit entsprechen die Signale der Strah- lungen ebenfalls hoch. Wenn die Oberfläche 18 grau lungsmesser 30, 32 der vierten Potenz der Tempera- ist und ein niedrigeres Emissionsvemögen aufweist, tür des gemessenen Oberflächenbereiches. 15 beispielsweise von 0,5, machen die Strahlungen Ie-
Der Bereich, auf welchem die Strahlungsmesser diglich 50% der Schwarzkörperstrahlung aus.
30, 32 fokussiert sind, liegt auf der gleichen Abtastli- Zusätzlich zur Oberflächentemperatur und dem nie wie der »heiße Punkt« 28, welcher von dem Oberflächenemissionsvermögen sind die Signale der Heizelement 20 erzeugt wird. Der Abfühlbereich, be- Strahlungsmesser 30, 32 (sowie der Filter 38, 40) findet sich jedoch in einem Abstand gegenüber dem 20 auch eine Funktion der Kennwerte der Wandler in »heißen Punkt« 28. Somit fühlen die Strahlungsmes- den Strahlungsmessern 30, 32. In den Strahlungsmesser 30, 32 den Bereich um ein bestimmtes Zeitinter- sern 30, 32 kann irgendein gewünschter Wandler vall später ab, nachdem der abgefühlte Bereich von verwendet werden, jedoch erwies es sich als günstig, dem Heizelement 20 erwärmt wurde. Der abgeta- einen mit Quecksilber geimpften Germanium-Langstete Bereich wird somit zuerst auf einen bestimmten 25 wellen-Infrarotdetektor der Firma Texas Instrument Wert aufgeheizt, um einen »heißen Punkt« 28 mit Co. vom Typ M-6000 zu verwenden. Die Kennwerte einer bestimmten eingespeisten Energiemenge zu bil- eines solchen Detektors sind beschrieben in »Texas den. Die Beheizung des »heißen Punktes« 28 endigt Instruments Bulletin«, Nr. DL-S 622563, April 1962. dann, und die Energie zeigt das Bestreben, sich in Ein Detektor dieser Art spricht auf Strahlungen mit der oben beschriebenen Weise zu verteilen, wobei ein 3° Wellenlängen zwischen etwa 1 und 15 Mikron an Teil der Energie das Werkstück 12 als Wärme durch- und weist Kennwerte ähnlich F i g. 3 auf.
setzt und ein Teil von der Oberfläche 18 als Infrarot- Obgleich das Ansprechen eines solchen Detektors strahlung abgegeben wird. Die Geschwindigkeit, bei eine gewisse Änderung mit der Frequenz in einem welcher die Energie durch das Werkstück 12 geleitet Band von etwa 4 bis 13 Mikron erfährt, ist das Anwird, und somit die Geschwindigkeit, mit welcher die 35 sprechvermögen im wesentlichen gleichförmig. Fer-Temperatur des »heißen Punktes« 28 fällt, ist eine ner kann das Ansprechvermögen in zwei verschie-Funktion der inneren Kennwerte des Werkstückes dene Bereiche, nämlich einen Bereich 1 und einen 12. Durch Messung der Strahlungsmenge von einem Bereich 2, unterteilt werden. Das Ansprechvermögen Bereich in einem bestimmten Zeitraum nach dessen in jedem Bereich ist etwa gleich, wobei die durch Erwärmung ergeben die Strahlungsmesser 30, 32 Si- 40 Kurve 42 miteinander verbundenen Bereiche und die gnale, welche eine Funktion der inneren Struktur des Bereichsgrenzen im wesentlichen gleich sind. Obgleich Werkstückes 12 neben diesem Bereich sind. diese Bereiche getrennt dargestellt sind, können sie
Normalerweise ist die Strahlung von der Ober- wesentlich breiter sein und einander auf Wunsch
fläche 18 im wesentlichen gleichförmig oder ändert auch überlappen.
sich lediglich geringfügig. Eine langsame Änderung 45 Gemäß der vorliegenden Erfindung sind Infrarotoder ein Gleichstromstrahlungssignal dieser Art er- filter 44, 46 vor jedem Strahlungsmesser 30, 32 anfordert Gleichstromverstärker, welche instabil sind geordnet. Das erste Filter 44 läßt lediglich Infrarot- und einer Drift unterworfen sind. Um diese Schwie- strahlung in dem ersten Bereich zu dem Strahlungsrigkeit zu umgehen und auch die Wechselstromkenn- messer 30 durch, während das zweite Filter 46 ledigwerte der Strahlungsmesser 30, 32 auszunutzen, er- 50 lieh Infrarotstrahlungen in dem zweiten Bereich zu wies es sich als günstig, eine (nicht gezeigte) Sekto- dem zweiten Strahlungsmesser 32 durchläßt. Die Sirenscheibe innerhalb jedes der Strahlungsmesser 30, gnale des ersten Strahlungsmessers 30 und des Filters 32 zu verwenden. Auf diese Weise wird die Strah- 38 sind eine Funktion der Strahlung des »heißen lung, welche die Strahlungsmesser erreicht, zerhackt. Punktes« 28 in dem ersten Bereich. In ähnlicher Der Strahlungsmesser erzeugt hierbei Wechselstrom- 55 Weise sind die Signale des zweiten Strahlungsmessers signale mit einer Frequenz, welche durch die Dreh- 32 und Filters 40 eine Funktion der Strahlung von zahl der Sektorenblende bestimmt ist, sowie mit Am- dem »heißen Punkt« 28 in dem zweiten Bereich,
plituden, welche entsprechend der Strahlungsintensi- Die Strahlung in dem »heißen Punkt« 28 hängt tat moduliert ist. von einer großen Anzahl von Faktoren ab. Die In-
Ein Verstärker 34 bzw. 36 ist mit dem Ausgang 60 tensität und Wellenlänge der Strahlung hängt in er-
des Strahlungsmessers 30 bzw. 32 verbunden, um die ster Linie von der Abmessung und Temperatur des
Amplitude des Signals auf einen brauchbaren Wert »heißen Punktes« 28 ab. Beispielsweise ist eine
anzuheben. Die Ausgänge der Verstärker 34, 36 sind Gruppe von Strahlungskurven für eine Temperatur
wiederum mit Filtern 38, 40 gekoppelt. Diese Filter in F i g. 2 A gezeigt. Bei dieser Temperatur tritt die
38, 40 sind Bandpaßfilter und auch auf die Zerhak- 65 maximale Intensität bei einer Wellenlänge von etwa
kungsfrequenz der Strahlungssignale abgestimmt. 7 bis 8 Mikron auf. Oberhalb und unterhalb dieser
Diese Filter 38, 40 lassen lediglich die Strahlungs- Wellenlänge nehmen die relativen Intensitäten ab.
signale durch und unterdrücken alle anderen Signale. Die Absolutwerte der Intensität sind eine Funktion
verschiedener Variablen. Eine der Variablen ist das Emissionsvermögen der Strahlen an der Oberfläche. Wenn das Emissionsvermögen hoch ist, liegt die Strahlungsintensität hoch, und zwar ähnlich der oberen Kurve 44. Wenn umgekehrt das Emissionsvermögen niedrig ist, liegt die Strahlungsintensität niedrig, und zwar ähnlich der unteren Kurve 46. Das Emissionsvermögen steuert somit die Höhe der Kurve. Wenn die Temperatur gleich bleibt, ändert das Emissionsvermögen nicht wesentlich die Form der Kurve 44 oder 46. Die maximale Intensität befindet sich noch auf der gleichen Wellenlänge, und die Intensität oberhalb und unterhalb dieser Wellenlänge liegen im gleichen Verhältnis. Im Ergebnis bleibt eine Strahlung in dem ersten und zweiten Bereich im wesentlichen in dem gleichen Verhältnis unbeschadet des Emissionsvermögens.
Falls das Emissionsvermögen konstant bleibt, jedoch eine Temperaturänderung auftritt, verschiebt sich die Wellenlänge der Maximalintensität der Strahlung. Wie sich aus F i g. 2 B ergibt, tritt die Maximalintensität bei niedriger Temperatur in den Bereich von etwa 10 Mikron auf, wobei die Strahlung oberhalb und unterhalb dieses Punktes um entsprechende Werte verschoben wird. Bei dieser niedrigeren Temperatur werden die Anteile der Strahlungen, welche in dem ersten und zweiten Bereich auftreten, geändert.
Während bei der höheren Temperatur in F i g. 2 A der erste Bereich den größten Anteil der Strahlung aufweist, trifft dies bei der niedrigeren Temperatur gemäß F i g. 2 B für den zweiten Bereich zu. Das Verhältnis zwischen den Strahlungen in den beiden Bereichen bleibt somit konstant, unbeschadet von Änderungen des Emissionsvermögens. Das Verhältnis ändert sich indessen als eine Funktion der Temperatur des strahlenden »heißen Punktes«. Da die Filter 44, 46 die Strahlung, welche die Strahlungsmesser 30, 32 erreicht, in seinen ersten und zweiten Bereich unterteilen, ist das Verhältnis zwischen den Signalen der Filter 38, 40 eine Funktion der Oberflächentemperatur und unabhängig von dem Emissionsvermögen der Oberfläche.
Die Ausgänge der beiden Filter 38, 40 können mit geeigneten Bauelementen zur Bestimmung des Verhältnisses zwischen den Signalen aus dem ersten und zweiten Bereich verbunden werden. Im vorliegenden Fall ist ein Teiler oder eine Vergleichssignaleinheit 48 mit zwei getrennten Eingängen 50, 52 unmittelbar an die Ausgänge der Filter 38, 40 angeschlossen. Die Vergleichsbaueinheit 48 teilt oder vergleicht die Amplituden der beiden Signale und erzeugt ein Ausgangs- oder Verhältnissignal. Dieses Verhältnissignal ist somit eine Funktion der relativen Anteile der Strahlung in dem ersten und zweiten Bereich und somit der Temperatur der Oberfläche 18.
Der Ausgang 54 der Vergleichsbaueinheit 48 ist mit einem Verstärker 56 gekoppelt, welcher die Amplituden des Signals auf einen brauchbaren Wert anhebt. Der Verstärker 56 wiederum ist mit einer geeigneten Ablesevorrichtung 58, beispielsweise einem Oszillographen und/oder einem Meßinstrument 62 und dergleichen, versehen. Die Ableseelemente sprechen auf das Signal an und zeigen die Kennwerte des Werkstückes an.
Um ein Werkstück 12 mit einer erfindungsgemäßen Anordnung zu untersuchen, wird dieses zuerst auf die Halterung 14 gelegt. Darauf werden die Heizeinrichtung 20 und die Abkühleinrichtung 16 in Betrieb gesetzt. Wenn das Werkstück an der Heizeinrichtung 20 vorbeiläuft, wird ein »heißer Punkt« 28 an der Oberfläche 18 des Werkstückes 12 erzeugt und wandert quer hierzu. Eine bestimmte Zeit nach Bildung des »heißen Punktes« 28 fühlen die beiden Strahlungsmesser 30, 32 die vorangehend seitens der Heizeinrichtung 20 aufgeheizten und nun abkühlenden Bereiche ab. Da eine bestimmte Wärmemenge in
ίο das Werkstück 12 übertragen wird und ein festes Intervall vergeht, bevor eine Abfühlung stattfindet, ist die Temperatur des abgefühlten Bereiches eine Funktion der thermischen Leitfähigkeit des Werkstückes 12 in der Nähe. Die thermische Leitfähigkeit ist wiederum eine Funktion des Vorliegens oder Nichtvorliegens von Unregelmäßigkeiten, beispielsweise Leerräumen, Einschlüssen, Schichtentrennungen, fehlenden Verbindungen, Dickenänderungen und dergleichen.
ao Wenn die Strahlungsmesser 30, 32 die vorbeilaufenden Bereiche abfühlen, erzeugen sie Signale, welche Funktionen der Temperatur und des Emissionsvermögens sind. Jedes Signal wird jedoch auf die Strahlung beschränkt, welche innerhalb des ersten oder zweiten Bereiches auftritt. Diese beiden Signale werden dann durch die Verstärker 34, 36 sowie die Filter 38,40 in die Signalvergleichseinheit 48 geleitet. Die Vergleichseinheit 48 teilt ein Strahlungssignal durch das andere und erzeugt ein Verhältnis- signal, welches eine Funktion der Oberflächentemperatur und unabhängig von dem Emissionsvermögen ist.
Die Ableseelemente 58, beispielsweise das Element 62 und/oder der Oszillograph 60, sprechen auf das Signal des Verstärkers 56 an. Es erfolgt somit ein Ansprechen auf die laufende thermische Leitfähigkeit des Werkstückes 12. Dementsprechend können die Anzeigegeräte so geeicht sein, daß sie Kennwerte des Werkstückes 12 anzeigen, die der thermischen Leitfähigkeit entsprechen. Durch Beobachtung der Ableseeinrichtung 58 kann beispielsweise eine Bedienungsperson die Kennwerte des Werkstückes 12 überwachen. Auf Wunsch kann die Ableseeinrichtung 58 Bauelemente zur Erzeugung einer dauernden Aufzeichnung und/oder Bauelemente die zur automatischen Abgabe eines akustischen Warnsignals oder zur Zurückweisung des Werkstückes 12 und dergleichen enthalten.
Obgleich eine Untersuchungsanordnung der beschriebenen Art sehr wirksam ist, um Werkstücke auf innere Defekte hin zu überprüfen oder zu untersuchen, erwies es sich unter gewissen Umständen als günstig, eine Untersuchungsanordnung 70 gemäß F i g. 4 und 5 zu verwenden. Diese Untersuchungsan-Ordnung 70 umfaßt ein Auflageelement 72, einen Abfühlmechanismus 74, ein Heizelement 76 und eine Energieversorgung 78, welche alle im wesentlichen den entsprechenden Bauelementen der vorangehend beschriebenen Anordnung 10 entsprechen. Die Heizeinrichtung 76 kann einen »heißen Punkt« 80 an dem Werkstück 12 bilden, welcher die Oberfläche 18 in einer einzigen Linie oder in einer Reihe paralleler Linien abtastet.
Ein Strahlungsaufnahmeelement 82 befindet sich in seitlichem Abstand gegenüber dem Heizungselement 76 und fühlt die gleiche Linie wie das Heizelement 76 ab. Das Strahlungsaufnahmeelement 82 nimmt hierbei Strahlung von dem »heißen Punkt« 80
409 524/159
9 10
auf, nach dem dieser über eine bestimmte Zeit abge- mechanischer oder elektronischer Schalter, und mit
kühlt wurde. Das Strahlungsaufnahmegerät 82 kann der Filterscheibe 96 beispielsweise durch eine Lei-
irgendwelche Elemente umfassen, welche auf Infra- tung 106 synchronisiert sein.
rotstrahlung ansprechen, und ein hierzu proportiona- Der Schalter 104 läßt zuerst den Strahlungsanteil
les elektrisches Signal erzeugen. Beispielsweise wird 5 in dem ersten Bereich zu dem ersten Ausgang 108
im vorliegenden Fall ein einziger Strahlungsmesser und danach den Strahlungsausgang in dem zweiten
84 verwendet. Bereich zu einem zweiten Ausgang 110 durch. Das
Eine Sammellinse 86 oder ein Hohlspiegel können Signal an dem ersten Ausgang 108 entspricht der
vor einem Strahlungsmesser 84 angeordnet sein. Die Strahlung in dem ersten Bereich, das Signal an dem
Linse 86 bündelt einen großen Anteil der Infrarot- io zweiten Ausgang 110 der Strahlung in dem zweiten
strahlung und fokussiert diesen in einen Strahl 88, Bereich. Jeder der beiden Ausgänge 108, 110 ist an
welcher auf den Strahlungsmesser 84 fällt. Aus nach- geeignete Verstärker 112, 114 angeschlossen, um die
folgend noch zu erläuternden Gründen ist es günstig, Signale auf einen brauchbaren Wert zu verstärken,
daß der Strahl 88 auf eine verhältnismäßig kleine Die Ausgänge der beiden Verstärker 112, 114 sind
Zone 90 am gleichen Punkt gebündelt wird. 15 beispielsweise mit einer Vergleichsbaueinheit 116
Der Strahlungsmesser 84 kann im wesentlichen zum Vergleich der beiden Signale gekoppelt. Diese gleich den Strahlungsmessern 30, 32 bei der zuerst Vergleichsbaueinheit 116 kann von beliebiger Ausbeschriebenen Anordnung 10 sein und umfaßt eine bildung sein, beispielsweise in Form eines Tellers, (nicht gezeigte) Verschluß- oder Sektorenscheibe, welcher das Signal des einen Ausganges 108 durch welche die den Strahlungsmesser erreichende Sfrah- 20 das Signal des anderen Ausganges 110 teilt und ein lung periodisch unterbricht. Der Ausgang des Strah- resultierendes Verhältnissignal erzeugt. Die Größe lungsmessers ist mit einem Verstärker 92 verbunden, des entstehenden Verhältnissignals ist demnach eine welcher das Strahlungssignal auf einen brauchbaren Funktion des Verhältnisses zwischen der Strahlung in Wert verstärkt. Der Ausgang des Verstärkers 92 ist den beiden Frequenzbereichen und entspricht dem wiederum mit einem Filter 94 gekoppelt, welches auf 25 Signal der Vergleichsbaueinheit 48 bei der Ausfühdie gleiche Frequenz wie die seitens der Sektoren- rungsform nach Fig. 1. Das Ausgangssignal der Verscheibe erzeugte Frequenz abgestimmt ist. Das Filter gleichsbaueinheit 116 kann mit einem Verstärker 118 94 läßt das Strahlungssignal durch und unterdrückt und einem Ablesemechanismus 120 ähnlich wie bei alle anderen Signale, wobei ein hohes Verhältnis von der ersten Ausführungsform gekoppelt sein.
Signal zu Störung erhalten wird. 30 Zum Betrieb der zuletzt beschriebenen Ausfüh-
Eine Filterscheibe 96 ist vor dem Strahlungsmes- rungsform wird das Werkstück 12 auf die Auflage 72 ser 84 vorgesehen, um die diesen erreichende Strah- gelegt, und der Abfühlmechanismus 74 sowie die lung zu modulieren. Die Scheibe 96 sitzt auf einer Heizeinrichtung 66 werden eingeschaltet. Der entsterotierenden Welle und wird durch einen Motor 98 hende »heiße Punkt« 80 bewirkt dann eine Abfühangetrieben. Der Umfang der Scheibe 98 ist in dem 35 lung über die Oberfläche 18 des Werkstückes 12. Strahlengang 88 angeordnet, vorzugsweise bei oder Der Strahlungsmesser 84 nimmt alsdann wechselnahe der Pupille 90. Der Umfang umfaßt mehrere weise Strahlung in dem ersten und zweiten Bereich Infrarotfilter 100, 102, welche den Filtern 44, 46 der auf, und der Schalter 104 trennt synchron die beiden vorangehend beschriebenen Ausführungsform einer Anteile des Strahlungssignals. Diese Anteile entspreerfindungsgemäßen Anordnung entsprechen und 40 chen den Strahlungen in dem ersten und zweiten Bewechselweise so angeordnet ist, daß wechselweise Ie- reich und werden dem Verstärker 114 bzw. dem Verdiglich Strahlung in einem Bereich und danach in stärker 116 zugeleitet. Die Signalvergleichsbaueinheit dem anderen Bereich durchgelassen wird. 116 teilt alsdann diese beiden Signale durcheinander
Die Strahlungssignale des Filters 94 weisen somit und erzeugt ein Ausgangssignal, welches der Tempe-
zwei verschiedene Teile auf, welche periodisch und 45 ratur der Oberfläche 18 an dem Werkstück 12 ent-
wechselweise zueinander auftreten und den Strahlun- spricht. Die Ablesebauelemente 120 sprechen auf
gen in zwei verschiedenen Wellenlängenbereichen dieses Signal an und erzeugen eine gewünschte Form
entsprechen, d. h. einem ersten und zweiten Bereich. der Anzeige.
Der Ausgang des Filters 94 ist mit einem Schalter Obgleich beide beschriebenen Ausführungsformen
104 gekoppelt, welcher die beiden unterschiedlichen so von Untersuchungsanordnungen in ähnlicher Weise
Signalteile voneinander trennen kann. Der Schalter arbeiten, verwendet die zweite Ausführungsform Ie-
104 kann beliebig ausgeführt sein, beispielsweise als diglich einen einzigen Strahlungsmesser.
Hierzu 1 Blatt Zeichnungen

Claims (6)

Patentansprüche:
1. Anordnung zur zerstörungsfreien Werkstoffprüfung auf verborgene Defekte auf dem Prinzip der Messung des Emissionsvermögens eines Werkstückes für Infrarotstrahlung mit einer Heizeinrichtung zur im wesentlichen punktförmigen Bestrahlung eines fortlaufend vorgeschobenen Werkstückes, einem in Vorschubrichtung sowie in bestimmtem Abstand hinter der jeweils be- ίο strahlten Stelle angeordneten Strahlungsempfänger, der auf zwei verschiedene Wellenlängen ansprechend ausgebildet ist, und einer nachgeordneten Signalauswerteeinrichtung, dadurch gekennzeichnet, daß die Signalauswerteeinrichtung eine durch die den beiden Wellenlängen entsprechenden Signale des Strahlungsempfängers beaufschlagte Vergleichseinheit (116) umfaßt, deren Ausgangssignal proportional dern^ Verhältnis der beiden Signalamplituden ist. '.
2. Anordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Strahlungsempfänger (30, 32; 84) zwei auf verschiedene Wellenlängen ansprechende Filter (40, 46; 100,102) umfaßt.
3. Anordnung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß der Strahlungsempfänger zwei Wandler (30, 32) umfaßt, deren jeder einem der Filter (44, 46) nachgeordnet ist.
4. Anordnung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß der Strahlungsempfänger einen einzigen Wandler (84) sowie eine mechanische Bewegungseinrichtung (98) zum periodisch aufeinanderfolgenden Einbringen beider Filter (100, 102) in den Strahlengang des Wandlers umfaßt und daß dem Wandler (84) ein mit der Bewegungseinrichtung synchronisierter Schalter (104) zur abwechselnden Beaufschlagung je eines von zwei Eingängen der Vergleichsbaueinheit (116) nachgeordnet ist.
5. Anordnung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Filter (100, 102) auf einer umlaufenden Sektorenscheibe (96) angeordnet sind.
6. Anordnung nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß mehrere eine erste Wellenlänge durchlassender Filter (100) und eine gleiche Anzahl eine zweite Wellenlänge durchlassender Filter (102) abwechselnd auf dem Umfang der Sektorenscheibe (96) angeordnet sind.
50
DE1573401A 1965-07-26 1966-07-20 Anordnung zur zerstörungsfreien Werkstoffprüfung auf verborgene Defekte Expired DE1573401C3 (de)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US47466165A 1965-07-26 1965-07-26

Publications (3)

Publication Number Publication Date
DE1573401A1 DE1573401A1 (de) 1970-05-21
DE1573401B2 DE1573401B2 (de) 1974-06-12
DE1573401C3 true DE1573401C3 (de) 1975-01-30

Family

ID=23884476

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE1573401A Expired DE1573401C3 (de) 1965-07-26 1966-07-20 Anordnung zur zerstörungsfreien Werkstoffprüfung auf verborgene Defekte

Country Status (4)

Country Link
US (1) US3451254A (de)
DE (1) DE1573401C3 (de)
FR (1) FR1487658A (de)
GB (1) GB1151082A (de)

Families Citing this family (48)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3596519A (en) * 1970-01-21 1971-08-03 Molecular Research Inc Hot spot detector system
US3783284A (en) * 1971-10-28 1974-01-01 Texas Instruments Inc Method and apparatus for detection of petroleum products
US3795133A (en) * 1972-02-15 1974-03-05 Int Liquid Xtal Co Thickness measuring method and apparatus
BE795553A (fr) * 1972-02-17 1973-06-18 Landis & Gyr Ag Appareil permettant de comparer des reemissions spectrales respectives de surfaces colorees
GB1382081A (en) * 1972-03-14 1975-01-29 Ici Ltd Transmission spectra
US3808439A (en) * 1972-04-24 1974-04-30 Us Army Laser illumination thermal imaging device for nondestructive testing
US3842277A (en) * 1973-06-25 1974-10-15 Western Electric Co Infrared scanning apparatus using a plurality of parallel detectors
US3922550A (en) * 1973-12-28 1975-11-25 Raytheon Co Radiometric system
CA1061433A (en) * 1976-04-07 1979-08-28 Michael A. Hamid Counting agricultural products
US4190053A (en) * 1977-06-20 1980-02-26 Rca Corporation Apparatus and method for hyperthermia treatment
NO142594C (no) * 1977-11-04 1980-09-10 Elkem Spigerverket As Fremgangsmaate for syning av valseemner.
US4301682A (en) * 1979-08-24 1981-11-24 Everest Charles E Infrared thermometer in making stress-degree measurements for irrigation purposes
FR2660998B1 (fr) * 1980-06-06 1993-03-12 Thomson Trt Defense Dispositif pour detecter un point chaud dans un paysage percu selon un rayonnement infrarouge et systeme de guidage d'un missile sur une cible comportant un tel dispositif.
US4352016A (en) * 1980-09-22 1982-09-28 Rca Corporation Method and apparatus for determining the quality of a semiconductor surface
US4352017A (en) * 1980-09-22 1982-09-28 Rca Corporation Apparatus for determining the quality of a semiconductor surface
US4470710A (en) * 1980-12-11 1984-09-11 Commonwealth Of Australia I. R. Radiation pyrometer
FR2501370A1 (fr) * 1981-03-03 1982-09-10 Sumitomo Metal Ind Procede et dispositif pour la mesure d'une preparation de temperature, notamment de la zone de soudage d'un tube soude electriquement
US6317953B1 (en) * 1981-05-11 2001-11-20 Lmi-Diffracto Vision target based assembly
NO149793C (no) * 1981-11-03 1984-07-04 Elkem As Fremgangsmaate ved syning av valseemner
JPS58102118A (ja) * 1981-12-14 1983-06-17 Sumitomo Metal Ind Ltd 金属体温度測定方法
US4468136A (en) * 1982-02-12 1984-08-28 The Johns Hopkins University Optical beam deflection thermal imaging
US4494881A (en) * 1982-03-10 1985-01-22 Everest Charles E Intra-optical light beam sighting system for an infrared thermometer
US4432657A (en) * 1982-03-26 1984-02-21 Bethlehem Steel Corporation Pyrometer method for measuring slab temperature in a reheat furnace
CA1218866A (en) * 1984-04-24 1987-03-10 John M. Lucas Tuyere pyrometer
US4647220A (en) * 1984-07-09 1987-03-03 Lockheed Corporation Method of and apparatus for detecting corrosion utilizing infrared analysis
GB8422873D0 (en) * 1984-09-11 1984-10-17 Secr Defence Static stress measurement in object
US4890245A (en) * 1986-09-22 1989-12-26 Nikon Corporation Method for measuring temperature of semiconductor substrate and apparatus therefor
DE3735286A1 (de) * 1987-10-17 1989-04-27 Rheinische Braunkohlenw Ag Verfahren zur bestimmung der zusammensetzung von mineralischen lagerstaetten
US4885633A (en) * 1988-06-13 1989-12-05 The United States Of America As Represented By The Administrator Of The National Aeronautics And Space Administration Quantitative surface temperature measurement using two-color thermographic phosphors and video equipment
US5131758A (en) * 1990-05-16 1992-07-21 Administrator Of The National Aeronautics And Space Administration Method of remotely characterizing thermal properties of a sample
US5111048A (en) * 1990-09-27 1992-05-05 General Electric Company Apparatus and method for detecting fatigue cracks using infrared thermography
US5100243A (en) * 1990-12-12 1992-03-31 Servo Corporation Of America Self-calibrating hot wheel detector for railroads
US5255286A (en) * 1991-05-17 1993-10-19 Texas Instruments Incorporated Multi-point pyrometry with real-time surface emissivity compensation
US5541413A (en) * 1992-04-24 1996-07-30 Thiokol Corporation Acousto-optic tunable filter-based surface scanning system and process
US5406082A (en) * 1992-04-24 1995-04-11 Thiokol Corporation Surface inspection and characterization system and process
US5228776A (en) * 1992-05-06 1993-07-20 Therma-Wave, Inc. Apparatus for evaluating thermal and electrical characteristics in a sample
GB9222082D0 (en) * 1992-10-21 1992-12-02 Davy Mckee Poole A radiation pyrometer assembly for sensing the temperature of an elongate body moving longitudinally
GB2296335B (en) * 1994-12-22 1998-03-18 Sumitomo Rubber Ind A method of checking the structural integrity of tyres
SE9500736D0 (sv) * 1995-02-28 1995-02-28 Whirlpool Europ Förfarande vid en ugn för styrning av ett uppvärmnings/tillagningsförlopp, och ugn, informationsgivare, tillagningskärl eller behållare för utförandet, samt användning av informationsgivaren i en ugn
DE19628391C1 (de) * 1996-07-13 1997-09-11 Phototherm Dr Petry Gmbh Signalverarbeitungseinheit einer Vorrichtung zum photothermischen Prüfen einer Oberfläche eines Prüfkörpers
DE19749984C2 (de) * 1997-11-12 2000-05-25 Fraunhofer Ges Forschung Verfahren und Vorrichtungen zum photothermischen Untersuchen eines Prüfkörpers
US6712502B2 (en) * 2002-04-10 2004-03-30 The United States Of America As Represented By The Administrator Of The National Aeronautics And Space Administration Synchronized electronic shutter system and method for thermal nondestructive evaluation
DE102004037575A1 (de) * 2004-08-03 2006-03-16 Daimlerchrysler Ag Prüfvorrichtung und Prüfverfahren zur fertigungsintegrierbaren, zerstörungsfreien Prüfung insbesondere von Membran-Elektroden-Anordnungen zur Verwendung in Brennsoffzellen
DE102005054552B4 (de) * 2005-11-14 2017-06-08 Infineon Technologies Austria Ag Vorrichtung und Verfahren zur Prüfung von Halbleitersubstraten auf Risse
US20070230536A1 (en) * 2006-03-28 2007-10-04 Mtu Aero Engines Gmbh Method and apparatus for detection of flaws in a metal component
GB2442744B (en) * 2006-10-12 2009-07-08 Rolls Royce Plc A test apparatus and method
US7553070B2 (en) * 2006-11-06 2009-06-30 The Boeing Company Infrared NDI for detecting shallow irregularities
CN112781835A (zh) * 2021-01-27 2021-05-11 长安大学 辐射供冷下灯具对流与辐射散热量分配比测试装置及方法

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2658390A (en) * 1948-02-06 1953-11-10 Leeds & Northrup Co Radiation pyrometry
US3020745A (en) * 1958-11-13 1962-02-13 Smith Corp A O Method of flaw detection in a metal member
US3261257A (en) * 1961-10-10 1966-07-19 Pfister Marcel Charles Radiation pyrometer for measuring the color temperature
US3206603A (en) * 1962-08-16 1965-09-14 Gen Electric Infrared flaw detector method and apparatus

Also Published As

Publication number Publication date
FR1487658A (fr) 1967-07-07
DE1573401A1 (de) 1970-05-21
US3451254A (en) 1969-06-24
DE1573401B2 (de) 1974-06-12
GB1151082A (en) 1969-05-07

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE1573401C3 (de) Anordnung zur zerstörungsfreien Werkstoffprüfung auf verborgene Defekte
EP0034156B1 (de) Verfahren und vorrichtung zur bestimmung von glucose im serum oder im harn
DE2045386C3 (de) Gerät zur Bestimmung des CO2 -Gehaltes einer biologischen Substanz
DE2014531A1 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Messung der Konzentration suspendierter Festteilchen unter Verwendung von zirku larpolarisiertem Licht
EP0682243A1 (de) Vorrichtung und Verfahren zur Messung des Bräunungsgrades eines Gargutes
DE3615259C2 (de)
CH421557A (de) Kalorimeteranordnung zur Messung der Strahlungsenergie eines Bündels kohärenter, elektromagnetischer Strahlung
DE3240559A1 (de) Verfahren zur kontinuierlichen messung der masse von aerosolteilchen in gasfoermigen proben sowie vorrichtung zur durchfuehrung des verfahrens
DE4015893A1 (de) Vorrichtung zur beruehrungslosen und zerstoerungsfreien untersuchung der inneren und/oder aeusseren struktur absorptionsfaehiger prueflinge
DE19700379B4 (de) Verfahren zur Einstellung der optischen Achse einer Meßvorrichtung zur Messung der Teilchengrößenverteilung mittels des Streueffekts
DE19606453C2 (de) Verfahren und Vorrichtung zum photothermischen Prüfen von Werkstücken
DE2255088B2 (de) Zweistrahl-lnfrarot-GasanalysatOT
DE3149869C2 (de)
EP0123672A2 (de) Verfahren zur Bestimmung der Massen von absorbierenden Anteilen einer Probe und Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens
WO2002086432A1 (de) Verfahren zur bestimmung von temperaturen an halbleiterbauelementen
CH423274A (de) Verfahren und Vorrichtung zum automatischen und kontinuierlichen Messen von Schichtdicken
EP0555508B1 (de) Verfahren und Vorrichtung zur simultanen Bestimmung der Konzentrationen von Molekülverbindungen in Gasen und Flüssigkeiten
DE2153077A1 (de) Verfahren zur beruehrungslosen messung der oberflaechentemperatur an einem objekt
DE4134313A1 (de) Infrarot-messverfahren und -messanordnung
AT390326B (de) Verfahren zur temperaturmessung eines objektes mittels strahlungspyrometrie
DE102011113572B9 (de) Verfahren zur schnellen Bestimmung der separaten Anteile von Volumen- und Oberflächenabsorption von optischen Medien, eine Vorrichtung hierzu sowie deren Verwendung
DE2537494A1 (de) Photometer
DE1623131B1 (de) Vorrichtung zur Überwachung von Verfahren zur Oberflächenbehandlung optischer Gläser in geschlossenen Behältern
DE2438869C3 (de) Gerät zur Vermessung von Eigenschaften eines Films mit einer Infrarot-Strahlungsquelle
DE102012219674B4 (de) Verfahren zur berührungslosen Teilchengrößenanalyse eines Granulats sowie Messvorrichtung zur berührungslosen Teilchengrößenanalyse

Legal Events

Date Code Title Description
C3 Grant after two publication steps (3rd publication)