DE1564714C3 - Magnetische Linsenanordnung für unter Vakuum arbeitende Korpuskularstrahlgeräte, insbesondere Objektivlinsenanordnung für Elektronenmikroskope - Google Patents
Magnetische Linsenanordnung für unter Vakuum arbeitende Korpuskularstrahlgeräte, insbesondere Objektivlinsenanordnung für ElektronenmikroskopeInfo
- Publication number
- DE1564714C3 DE1564714C3 DE19661564714 DE1564714A DE1564714C3 DE 1564714 C3 DE1564714 C3 DE 1564714C3 DE 19661564714 DE19661564714 DE 19661564714 DE 1564714 A DE1564714 A DE 1564714A DE 1564714 C3 DE1564714 C3 DE 1564714C3
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- lens
- shielding
- lens arrangement
- gap
- cylinders
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/02—Details
- H01J37/04—Arrangements of electrodes and associated parts for generating or controlling the discharge, e.g. electron-optical arrangement or ion-optical arrangement
- H01J37/10—Lenses
- H01J37/14—Lenses magnetic
- H01J37/141—Electromagnetic lenses
- H01J37/1416—Electromagnetic lenses with superconducting coils
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01F—MAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
- H01F6/00—Superconducting magnets; Superconducting coils
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
- Particle Accelerators (AREA)
- Magnetic Resonance Imaging Apparatus (AREA)
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DES0105968 | 1966-09-21 | ||
| DE19702059417 DE2059417B2 (de) | 1966-09-21 | 1970-12-02 | Magnetische Linsenanordnung für Korpuskularstrahlgeräte mit Mitteln zur Korrektur von Linsenfehlern und Verfahren zur Justierung |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| DE1564714A1 DE1564714A1 (de) | 1969-12-11 |
| DE1564714B2 DE1564714B2 (de) | 1974-09-12 |
| DE1564714C3 true DE1564714C3 (de) | 1975-04-24 |
Family
ID=25760129
Family Applications (2)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| DE19661564714 Expired DE1564714C3 (de) | 1966-09-21 | 1966-09-21 | Magnetische Linsenanordnung für unter Vakuum arbeitende Korpuskularstrahlgeräte, insbesondere Objektivlinsenanordnung für Elektronenmikroskope |
| DE19702059417 Granted DE2059417B2 (de) | 1966-09-21 | 1970-12-02 | Magnetische Linsenanordnung für Korpuskularstrahlgeräte mit Mitteln zur Korrektur von Linsenfehlern und Verfahren zur Justierung |
Family Applications After (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| DE19702059417 Granted DE2059417B2 (de) | 1966-09-21 | 1970-12-02 | Magnetische Linsenanordnung für Korpuskularstrahlgeräte mit Mitteln zur Korrektur von Linsenfehlern und Verfahren zur Justierung |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| DE (2) | DE1564714C3 (OSRAM) |
| GB (1) | GB1176708A (OSRAM) |
| NL (1) | NL155126B (OSRAM) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE2307822C3 (de) * | 1973-02-16 | 1982-03-18 | Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München | Supraleitendes Linsensystem für Korpuskularstrahlung |
-
1966
- 1966-09-21 DE DE19661564714 patent/DE1564714C3/de not_active Expired
-
1967
- 1967-03-20 NL NL6704131A patent/NL155126B/xx not_active IP Right Cessation
- 1967-05-30 GB GB2482567A patent/GB1176708A/en not_active Expired
-
1970
- 1970-12-02 DE DE19702059417 patent/DE2059417B2/de active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| NL155126B (nl) | 1977-11-15 |
| DE1564714A1 (de) | 1969-12-11 |
| DE2059417B2 (de) | 1978-09-21 |
| NL6704131A (OSRAM) | 1968-03-22 |
| DE2059417A1 (de) | 1972-06-08 |
| DE1564714B2 (de) | 1974-09-12 |
| GB1176708A (en) | 1970-01-07 |
| DE2059417C3 (OSRAM) | 1979-05-17 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EP0242602B1 (de) | Elektrostatisch-magnetische-Linse für Korpuskularstrahlgeräte | |
| DE973258C (de) | Magnetische Polschuhlinse kleiner Brennweite fuer elektronenoptische Vergroesserungen in Elektronenmikroskopen | |
| EP3117443B1 (de) | Supraleitender magnetfeldstabilisator | |
| EP0542737A1 (de) | Synchrotronstrahlungsquelle | |
| EP1385193A2 (de) | Objektivlinse für ein Elektronenmikroskopiesystem und Elektronenmikroskopiesystem | |
| DE69321082T2 (de) | Kernspinresonanzapparat mit einem supraleitenden Magneten | |
| DE2307822C3 (de) | Supraleitendes Linsensystem für Korpuskularstrahlung | |
| CH635464A5 (de) | Elektronen-optische linsenanordnung zur statischen und dynamischen fokussierung. | |
| DE69120726T2 (de) | Schwingspulenbetätiger | |
| DE1804199C3 (de) | Korpuskularstrahlgerät zur wahlweisen Abbildung eines Präparates oder seines Beugungsdiagrammes | |
| DE112012001937T5 (de) | Spin-Drehvorrichtung | |
| EP0235318A1 (de) | Betätigungsmagnet | |
| EP0488015A1 (de) | Homogenfeldmagnet mit mindestens einer mechanisch auszurichtenden Polplatte | |
| DE3919829C2 (de) | Elektronenkanonen-System mit Feldemission | |
| DE3438987C2 (OSRAM) | ||
| DE1564714C3 (de) | Magnetische Linsenanordnung für unter Vakuum arbeitende Korpuskularstrahlgeräte, insbesondere Objektivlinsenanordnung für Elektronenmikroskope | |
| DE1920941B2 (de) | Vorrichtung zur Korrektur des Strahlenganges eines durch ein magnetisches Streufeld einer oder mehrerer magnetischer Linsen abgelenkten Elektronenstrahles | |
| DE10046182C2 (de) | Magnetanordnung mit einem supraleitenden Magnetspulensystem und einer magnetischen Feldform-Vorrichtung sowie Verfahren zur Dimensionierung | |
| DE69227442T2 (de) | Magnetische elektronenlinse und Elektronenmikroskop unter Verwendung derselbe. | |
| DE4236905B4 (de) | Magnet-Fokussiereinrichtung für Kathodenstrahlröhren | |
| DE857992C (de) | Magnetlinsensystem mit mindestens drei im Strahlengang hintereinander liegenden Linsenspalten | |
| DE2059781B2 (de) | Magnetische Linsenanordnung | |
| DE3639973A1 (de) | Vorrichtung zum behaelterlosen schmelzen von metallen oder legierungen | |
| DE895637C (de) | Elektromagnetische Polschuhlinse | |
| DE1162491B (de) | Kathodenstrahlroehre mit magnetischen Strahlablenkeinrichtungen und mit einer den Kathodenbereich gegen die Strahlablenkeinrichtungen abschirmenden Vorrichtung |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C3 | Grant after two publication steps (3rd publication) | ||
| E771 | Valid patent as to the heymanns-index 1977, willingness to grant licences |