DE1564714B2 - Magnetische Linsenanordnung für unter Vakuum arbeitende Korpuskularstrahlgeräte, insbesondere Objektivlinsenanordnung für Elektronenmikroskope - Google Patents

Description

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Die Erfindung betrifft eine magnetische Linsenanordnung mit stromdurchflossener Linsenwicklung und mit möglichst kleiner öffnungsfehlerkonstante, für unter Vakuum arbeitende Korpuskularstrahlgeräte, mit zwei Abschirmzylindern, die in Richtung der Achse der Linsenanordnung in einem durch die sich gegenüberstehenden Stirnflächen der beiden Abschirmzylinder begrenzten Abstand aufeinanderfolgen und koaxial zu dieser Achse angeordnet sind, wobei diese Abschirmzylinder aus supraleitendem Material bestehen, eine Bohrung für den Durchtritt des Korpuskularstrahls aufweisen und mit einem Tiefkühlmittel in wärmeleitender Verbindung stehen.

In der deutschen Auslegeschrift 1 209 224 ist eine wie voranstehend angegebene magnetische Linsenanordnung für unter Vakuum arbeitende Korpuskularstrahlgeräte beschrieben, die sich insbesondere als Objektivlinsenanordnung für ein Elektronenmikroskop eignet. Es kann sich jedoch auch um eine Linsenanordnung für ein Ionenmikroskop, ein Elektronenbeugungsgerät oder einen anderen Korpuskularstrahlapparat, z. B. nach Art einer Röhre, handeln.

Die in der genannten Auslegeschrift beschriebene Linsenanordnung weist eine stromdurchflossene Linsenwicklung auf, mit der im Bereich des Korpuskularstrahles ein magnetisches Feld erzeugt wird. Um dem Magnetfeld eine für eine magnetische Linsenanordnung im Bereich des Korpuskularstrahles geeignete Form zu geben, wie sie an sich schon von Linsenanordnungen mit eisernen Polschuhen her bekannt ist, ist bei dieser bekannten supraleitenden Linsenanordnung eine Lochscheibe aus supraleitendem Material vorgesehen. Diese das Loch, durch den der Korpuskularstrahl hindurchtritt, umgebende ringförmige Scheibe wirkt nach entsprechender Inbetriebnahme, wie sie in der Auslegeschrift beschrieben ist, dahingehend, daß in dem Loch der Scheibe das geforderte Linsenfeld für den Korpuskularstrahl vorliegt. Dieses Feld wird im wesentlichen durch die Ringströme gebildet, die in der Lochscheibe entstehen, wenn die Lochscheibe, wie in der Auslegeschrift angegeben, im Magnetfeld der Linsenwicklung aus dem normal leitenden Zustand in den supraleitenden Zustand übergeführt wird. Bezüglich dieser vorbekannten Linsenanordnung ist im übrigen festgestellt worden, daß sich das Linsenfeld im Bereich des Loches der Scheibe in Größe und Konfiguration praktisch nicht ändert, wenn, nachdem die Scheibe im magnetischen Feld der Linsenwicklung supraleitend gemacht worden ist, der Strom in der Linsenwicklung ausgeschaltet wird.

Bei der in der obengenannten Auslegeschrift angegebenen Linsenanordnung sind zusätzlich zu der Lochscheibe noch zwei als Abschirmzylinder bezeichnete rohrförmige Körper aus supraleitendem Material vorgesehen. Diese Abschirmzylinder stehen sich axial einander mit je einer ihrer Stirnflächen im Abstand voneinander gegenüber, wobei sich im Bereich dieses Abstandes die beschriebene Lochscheibe befindet. Im supraleitenden Zustand bewirken diese Abschirmzylinder, daß das Feld der Linsenwicklung von den von dem Loch der Scheibe entfernten Bereichen der Achse der Linse, auf der entlang der Korpuskularstrahl verläuft, ferngehalten wird. Damit wird auch das Feld der Linsenwicklung in verstärktem Maße durch die Bereiche der Scheibe außerhalb des Loches gezwungen, solange diese Scheibe normalleitend ist. Grundsätzlich lassen sich bei der aus der genannten Auslegeschrift bekannten Linsenanordnung die Abschirmzylinder weglassen, ohne daß sich das Linsenfeld im Loch der Scheibe entscheidend ändern würde.

Es ist Aufgabe der Erfindung, eine magnetische

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Linsenanordnung für unter Vakuum arbeitende Kor- S. 23 ff., Handbuch der Physik, herausgegeben von puskularstrahlgeräte, insbesondere eine Objektiv- S. Flügge, Springer Verlag, 1956, S. 404 ff., Zeitlinsenanordnung für Elektronenmikroskope, mit schrift für Physik, Bd. 89 (1934), S. 90 ff. sowie aus supraleitenden feldformenden Elementen und mög- der USA.-Patentschrift 3 008 044 bekannt. Von liehst kleiner Öffnungsfehlerkonstanten C₀ bei maxi- 5 diesen bekannten Anordnungen mit ferromagnetimaler Feldstärke im Linsenspalt für eine große schem Material, die zudem meistenteils in relativ Brechkraft, anzugeben, bei der die zusätzliche Ab- spitzem Winkel zueinander laufende Polschuhe haben, kühlung eines feldformenden Elementes entbehrlich siehe z.B. Fig. 2 der genannten USA.-Patentschrift, ist und/oder der Linsenspalt leicht zugänglich ist. ist kein Hinweis auf die Erfindung zu entnehmen, Diese Aufgabe wird mit einer wie eingangs ange- io nämlich ausschließlich supraleitendes Material in gebenen Linsenanordnung gelöst, die erfindungs- Form zweier wie beschriebener Zylinder zu verwengemäß dadurch gekennzeichnet ist, daß der durch den. Auch die in der genannten USA.-Patentschrift diesen Abstand (5) der Stirnflächen (6,7) gebildete angegebene zusätzliche Verwendung von supraleiten-Linsenspalt frei von abschirmenden Teilen aus supra- dem Material gibt keinen Hinweis auf die vorliegende leitendem Material ist, daß der Abstand so bemessen 15 Erfindung, da einerseits bei dieser bekannten Anordist, daß die öfFnungsfehlerkonstante minimal ist, und nung die Polschuhe die wesentliche Funktion der daß der Bohrungsdurchmesser des Abschirmzylinders Feldführung ausüben und die supraleitenden Anteile auf den für den Durchtritt des Korpuskularstrahls lediglich dazu dienen, aus den magnetischen Polerforderlichen Mindestwert bemessen ist. schuhen austretende Streufeldlinien in den Polschuhen Aus den Unteransprüchen gehen weitere Aus- 20 zu halten. Die Form des Linsenfeldes wird dort entgestaltungen und Weiterbildungen der Erfindung scheidend durch die Form und Anordnung der PoI-hervor. schuhe bestimmt. Das dort erreichte Linsenfeld ent-Bei der erfindungsgemäßen magnetischen Linsen- spricht naturgemäß wenigstens im Prinzip demanordnung läßt sich durch Wahl der Größe des jenigen, das auch durch die erfindungsgemäße Linsenspaltes zwischen den einander gegenüber- 25 Linsenanordnung erzeugt wird, weil beide zur Fokusstehenden Stirnflächen der beiden Abschirmzylinder sierung eines Korpuskularstrahles dienen, jedoch ist ein Wert der Öffnungsfehlerkonstanten C_n erreichen, die erfindungsgemäße Linsenanordnung vergleichsder noch unterhalb eines vorgegebenen Wertes liegt, weise wesentlich leistungsfähiger, insbesondere in d. h. ein möglichst kleiner Wert sein kann. Außer- bezug auf eine Verringerung der Öffnungsfehlerhalb des Linsenspaltes herrscht ein vorgegebener 30 konstante, worauf nachfolgend noch eingegangen Wert H₁₁ der Feldstärke, der durch die Linsenwick- wird.

lung erzeugt ist. Der Einsatz supraleitender Materialien im Rahmen

Während bei der Linsenanordnung nach der deut- von elektromagnetischen Linsenanordnungen erfolgt sehen Auslegeschrift 1 209 224 die oben definierten deshalb, weil der in das Auflösungsvermögen der Abschirmzylinder lediglich die Aufgabe haben, die 35 Linse bzw. des Korpuskularstrahlgerätes eingehende Ausbildung des magnetischen Feldes im Bereich des Öffnungsfehler der Linsenanordnung um so kleiner Korpuskularstrahles an Stellen außerhalb einer be- gehalten werden kann, je größer die magnetische stimmten Stelle zu verhindern, wobei diese bestimmte Feldstärke im Bereich des Korpuskularstrahles und Stelle durch das von der Lochscheibe erzeugte ma- je kleiner die Länge dieses felderfüllten Bereiches ist. gnetische Linsenfeld gegeben ist, ist bei der Erfin- 40 Mit üblichen, bei normalen Temperaturen arbeitendung die Ausbildung der durch die beiden Zylinder den und mit Eisenrückschlüssen sowie Polschuhen gebildeten Anordnung so getroffen, daß die beiden versehenen elektromagnetischen Linsen lassen sich Abschirmzylinder einen Linsenspalt bilden und den diese Forderungen, die dort sogar als einander widerVerlauf des magnetischen Feldes innerhalb dieses sprechend bezeichnet werden müssen, im Hinblick Linsenspaltes allein festlegen. Die bei der Linsen- 45 auf die magnetischen Eigenschaften des Eisens nicht anordnung nach der vorbekannten Auslegeschrift in einem für hohe Auflösungen ausreichenden Maße durch die Lochscheibe übernommene Aufgabe wird erfüllen. Will man hohe magnetische Feldstärken im bei der Erfindung durch die entsprechend angeord- Bereich des Korpuskularstrahles erzeugen, so muß neten beiden Abschirmzylinder gelöst, da diese die man zwecks Vermeidung der Sättigung des Eisens Feldverhältnisse am Korpuskularstrahl bestimmen. 50 große Eisenquerschnitte vorsehen, wodurch die axiale Dadurch wird die Linsenkonstruktion einfacher, und Länge desjenigen Bereiches, in dem das magnetische man kann zumindest bei geeigneter Aufteilung der Linsenfeld auf den Korpuskularstrahl einwirkt, ver-Linsenwicklungen leicht an den Linsenspalt heran- größert wird.

kommen. Ferner ist die bei der bekannten Anord- Bei Verwendung supraleitender Materialien ist es

nung notwendige Abkühlung der supraleitenden 55 demgegenüber möglich, wesentlich höhere magne-Lochscheibe von außen nach innen, um die Feld- tische Feldstärken zu erzielen, ohne daß dadurch die linien im Bereich des Korpuskularstrahles zu sam- axiale Länge des Bereiches der Einwirkung des mein, nicht erforderlich. magnetischen Feldes auf den Korpuskularstrahl in

Es sind zwar bereits Anordnungen mit ferromagne- nennenswertem Maße vergrößert wird, tischen bzw. eisernen Polschuhen bekanntgeworden, 60 Genau genommen hängt die Öffnungsfehlerkonin deren Material das magnetische Feld geführt wird. stante C₀ einer elektromagnetischen Linsenanord-Diese Polschuhanordnungen weichen bereits in ihrer nung außer von dem Maximalwert H₀ der Feldstärke Form erheblich von der Zylinderform und von der in dem Linsenspalt, d. h. dem mehrfach erwähnten Anordnung zweier solcher Zylinder, wie sie bei der Bereich der Einwirkung des Feldes auf den Korpus-Erfindung vorgesehen sind, ab. Außerdem müssen 65 kularstrahl, von dem Feldgradienten längs der Achse diese Polschuhe unbedingt ferromagnetisch sein. im Linsenspalt ab.

Solche Anordnungen sind z. B. aus dem Jahrbuch Betrachtet man als anschauliches Beispiel den Fall

der AEG-Forschung, 7. Bd., 1940, Verlag Springer, eines zumindest ungefähr glockenförmigen Feldes, so

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ist die den Feldgradienten bei gegebenem Maximal- kularstrahlgerätes häufig zweckmäßiger sein, mit den

wert H₀ der Feldstärke im Spalt bestimmende Größe beiden Abschirmzylindern weitere Abschirmungen

die Halbwertsbreite 2d. aus supraleitendem Material zu verbinden, wodurch

Zur Erläuterung sei auf Fig. 1 verwiesen, in der die Ausdehnung des von den Linsenwicklungen erlängs der Achsen auf der normierten Koordinate z/d, 5 zeugten magnetischen Feldes verringert wird. Vorderen Ausgangspunkt 0 die Mittelebene des Linsen- zugsweise handelt es sich bei diesen weiteren Abspaltes bildet, der Verlauf der auf ihren Maximal- schirmungen um solche, die die um die Abschirmwert H₀ normierten Feldstärke HfH₀ im Spalt aufge- zylinder herum angeordneten Linsenwicklungen außer tragen ist. Unter der Halbwertsbreite Id versteht auf ihren den Abschirmzylindern zugekehrten Oberman definitionsgemäß die Feldbreite bei HIH₀ = 0,5. 10 flächenbereichen allseitig umgeben. Diese weiteren

Es ist einzusehen, daß diese Halbwertsbreite von Abschirmungen gleichen in ihrer letzterwähnten Ausder Dimensionierung der bei der Erfindung zur BiI- führungsform also der ringkörperförmigen Abschirdung des Linsenspaltes verwendeten beiden Ab- mung in der Konstruktion nach der deutschen Ausschirmzylinder im Bereich ihrer einander gegenüber- legeschrift 1 209 224.

stehenden Stirnflächen abhängt. Diese Abhängigkeit 15 Wesentlich für die ohne nennenswerte Vergrößegilt nicht nur bezüglich des gewählten Abstandes rung der Länge des felderfüllten Bereiches am der beiden Abschirmzylinder, d. h. der Spaltlänge, Korpuskularstrahl anwendbare Feldstärke ist die sondern auch bezüglich der Formgebung der Ab- Abschirmwirkung der beiden Abschirmzylinder. Sie schirmzylinder im Bereich ihrer sich gegenüber- müssen daher eine im Hinblick auf die gewünschte stehenden Stirnflächen. Da die Abschirmzylinder in 20 Feldstärke gewählte Wandstärke besitzen,
der Weise wirken, daß sie zwar über ihre Länge die Für die Abschirmzylinder und gegebenenfalls Annäherung des elektromagnetischen Linsenfeldes auch für die weiteren Abschirmungen hat sich als an den Korpuskularstrahl verhindern, dagegen aber Material gesintertes Niob-3-Zinn (Nb₃Sn) als günstig unter Übernahme der in der Konstruktion nach der erwiesen. Allerdings muß insbesondere bei relativ deutschen Auslegeschrift 1 209 224 der supraleiten- 25 dickwandiger Ausführung der Abschirmzylinder aus den Lochscheibe obliegenden Aufgabe das magne- diesem Sintermaterial zwecks Vermeidung von Flußtische Feld in möglichst großem Maße zum Eintritt sprängen dafür gesorgt werden, daß die magnetische in den Linsenspalt veranlassen sollen, sieht eine be- Feldstärke H_a außerhalb der Abschirmzylinder und vorzugte Ausführungsform der Erfindung vor, daß des Spaltes sich beim Einschalten nur relativ die den Linsenspalt begrenzenden Stirnflächen der 30 langsam vergrößert. Diese die Arbeitsgeschwindigbeiden Abschirmzylinder so geformt sind, daß Ma- keit mit einem derartige Linsenanordnungen aufgnetflußspränge im supraleitenden Material ver- weisenden Korpuskularstrahlgerät verringernde Tatmieden sind. Dabei können die beiden Stirnflächen sache läßt sich vermeiden, wenn man poröses Sinterauch unterschiedlich geformt sein, so daß das Feld material verwendet oder die Abschirmzylinder und im Spalt unsymmetrisch ist. 35 gegebenenfalls die weiteren Abschirmungen aus

Unter demselben Gesichtspunkt steht die Maß- Niob-3-Zinn (Nb₃Sn) beschichteten, vorzugsweise

nähme den Bohrungsdurchmesser der Abschirm- scheibenförmigen Trägerkörpern aus warmfestem

zylinder auf den für den Durchtritt des Korpuskular- Material herstellt, beispielsweise Niob, Platin oder

Strahles erforderlichen Mindestwert zu bemessen. warmfestem Stahl.

Durch diese Reduzierung des Bohrungsdurchmessers 40 Die supraleitenden Materialien können in der

auf den für den Durchtritt des Korpuskularstrahles Weise in Verbindung mit strom- und wärmeleitenden

erforderlichen Wert wird eine eindeutige Führung Normalleitern verwendet werden, daß in abwech-

des magnetischen Feldes im Spalt und insbesondere selnder Folge supraleitende und normalleitende Teile

in der unmittelbaren Umgebung des Korpuskular- aufeinanderfolgen.

Strahles bei definiertem Feldgradienten gewährleistet. 45 In den Fig. 2 bis 10 sind verschiedene Ausfüh-

Wie bereits dargelegt, ist eine die öffnungsfehler- rungsbeispiele der erfindungsgemäßen Linsenanordkonstante Q einer Linsenanordnung stark beeinflus- nung in ihren wesentlichen Merkmalen wiedersende Größe der Maximalwert H₀ der magnetischen gegeben. In der Konstruktion nach F i g. 2, die eben-Feldstärke im Linsenspalt. Es kann daher zweck- falls wie die Anordnung nach F i g. 3 nur eine, in mäßig sein, im Linsenspalt weitere felderzeugende 50 beiden Figuren mit 1 bezeichnete felderzeugende Linsenwicklungen zur Erhöhung des Maximal- Linsenwicklung aufweist, umgibt diese die beiden in wertes H₀ der Feldstärke im Linsenspalt anzuordnen, Richtung der durch die Koordinate ζ gegebenen die also die den Spalt bildenden Abschirmzylinder Linsenachse koaxial aufeinanderfolgend angeordneumgebenden Linsenwicklungen unterstützen. Der- ten beiden Abschirmzylinder 2 und 3 aus supraartige zusätzliche Wicklungen können auch zur Feld- 55 leitendem Material, deren sich gegenüberstehende, in formung oder dazu vorgesehen werden, Hysterese- diesem Ausführungsbeispiel eben ausgebildete Stirnerscheinungen zu verringern oder durch Erzeugung flächen 4 und 5 den Linsenspalt s begrenzen. Die eines Gegenfeldes Änderungen der Brennweite der beiden Abschirmzylinder 2 und 3 verhindern also die Linse zu ermöglichen. Ausbildung des in der Wicklung 1 erzeugten magne-

Wie ebenfalls bereits angedeutet, sollen die Ab- 60 tischen Linsenfeldes im Bereich der Achse ζ der schirmzylinder die Ausbildung des magnetischen Linse und damit im Bereich des Korpuskularstrahles Feldes in der Nähe des Korpuskularstrahles — außer außer im Spalt s, wo sie die Ausbildung des Feldes im Linsenspalt — verhindern. Aus diesem Grunde mit möglichst hoher Feldstärke zulassen,
erstrecken sie sich mit ihren einander abgewandten Um die Feldausbildung im Bereich des Korpus-Stirnflächen zweckmäßigerweise bis in Bereiche ver- 65 kularstrahles innerhalb des Spaltes s gegenüber der nachlässigbarer Feldstärke. Anordnung nach F i g. 2 zu erleichtern, sind im Falle

Es kann aber beispielsweise aus Gründen der Platz- der Linsenkonstruktion nach Fig. 3 die sich gegen-

ersparnis innerhalb des Vakuumraumes eines Korpus- überstehenden, dort mit 6 und 7 bezeichneten Stirn-

flächen so geformt, daß Magnetflußsprünge im supraleitenden Material vermieden sind.

Weiterhin unterscheiden sich die beiden Abschirmzylinder 2 und 3 in den F i g. 2 und 3 dadurch voneinander, daß die Wandstärke der Zylinder im Falle der Konstruktion nach Fig. 3 etwa viermal so groß wie die Wandstärke im Falle der Lösung nach F i g. 2 ist. Es hat sich gezeigt, daß dann eine doppelt so große Feldstärke H₀ außerhalb der Abschirmzylinder vorliegen kann, ohne daß eine störende Vergrößerung der Länge des felderfüllten Bereichs am Korpuskularstrahl zu befürchten ist.

Verständlicherweise kann man, sofern die einander abgekehrten Stirnflächen der beiden Abschirmzylinder 2 und 3 noch in Bereichen hoher magnetischer Feldstärke liegen, entweder die Zylinder verlängern oder zusätzliche Abschirmungen vorsehen; gegebenenfalls können, insbesondere bei sehr hohen Feldstärken, beide Maßnahmen gleichzeitig angewendet werden.

Bereits bei der Formgebung der den Spalt j begrenzenden Stirnflächen 6 und 7 der beiden Abschirmzylinder 2 und 3 in der Linsenanordnung nach Fig. 3 war eine Anpassung an den Verlauf der Feldlinien im Linsenspalt s angestrebt worden. In den F i g. 4 bis 9 sind verschiedene Möglichkeiten dieser Art dargestellt, die sich als günstig erwiesen haben. Dabei stellt F i g. 4 nochmals den Fall einer Abschrägung der Stirnflächen dar, wie ihn auch Fig. 3 zeigte; im Falle der Fig. 5 ist der Winkel dieser Schräge erheblich vergrößert. Insbesondere bei höheren Feldstärken H_a außerhalb des Spaltes hat dies eine Vergrößerung des Maximalwertes H₀ der Feldstärke im Spalt zur Folge; allerdings muß dies mit einer kleinen Vergrößerung der Länge des felderfüllten Bereichs am Korpuskularstrahl erkauft werden.

Im Falle der F i g. 6 sind an der spaltbegrenzenden Stirnfläche zwei Abschrägungen unterschiedlichen Winkels vorgesehen, um eine noch weitere Anpassung der Form der Stirnflächen an den Verlauf der Feldlinien zu erzielen. In F i g. 7 ist der Bereich der Stirnfläche um die Bohrung für den Kor-S puskularstrahl herum abgerundet.

Dagegen ist im Falle der F i g. 8 die Stirnfläche vollkommen eben ausgebildet und der Durchmesser der Bohrung im Bereich der Stirnfläche sehr klein gehalten. Diese Maßnahme hat einen großen Maximalwert H₀ der Feldstärke im Spalt bei kleiner Länge des felderfüllten Bereichs am Korpuskularstrahl zur Folge.

F i g. 9 zeigt eine Variante der Anordnung nach Fig. 8, bei der zusätzlich zu der Durchmesserverringerung der Bohrung eine Abschrägung und Abrundung der Stirnfläche am Spalt vorgesehen ist.

Wie aus diesen Bemerkungen hervorgehen dürfte, müssen der Abstand s zwischen den beiden Zylindern, ihre Länge und die Formgebung der spaltbegrenzenden Stirnflächen der Zylinder weitgehend empirisch im Hinblick auf die speziellen Verhältnisse in dem jeweiligen Korpuskularstrahlgerät bestimmt werden.

Fig. 10 schließlich zeigt eine Ausbildung der eras findungsgemäßen Linsenanordnung, bei der um die beiden ebenfalls mit 2 und 3 bezeichneten Zylinder herum zwei felderzeugende Wicklungen 8 und 9 vorgesehen sind. Die beiden Abschirmzylinder 2 und 3 sind mit weiteren supraleitenden Abschirmungen 10 und 11 versehen. Die Kühlmittelbehälter sind, wie schon in den anderen Figuren, nicht dargestellt, da ihre Ausbildung und Anordnung an sich bekannt sind.

Durch die Aufteilung in zwei Linsenwicklungen 8 und 9 ist der Spalt s gut zugänglich. In ihm können, wie bei 12 angedeutet, zusätzliche Wicklungen vorgesehen sein. Es ist aber auch möglich, ein Präparat, eine Blende oder Stigmatorelemente von der Seite her in den Spalt 5 einzuführen.

Hierzu 3 Blatt Zeichnungen

409 537/94

Claims (6)

Patentansprüche:

1. Magnetische Linsenanordnung mit stromdurchflossener Linsenwicklung und mit möglichst kleiner Öffnungsfehlerkonstante, für unter Vakuum arbeitende Korpuskularstrahlgeräte, mit zwei Abschirmzylindern, die in Richtung der Achse der Linsenanordnung in einem durch die sich gegenüberstehenden Stirnflächen der beiden Abschirmzylinder begrenzten Abstand aufeinanderfolgen und koaxial zu dieser Achse angeordnet sind, wobei diese Abschirmzylinder aus supraleitendem Material bestehen, eine Bohrung für den Durchtritt des Korpuskularstrahls aufweisen und mit einem Tiefkühlmittel in wärmeleitender Verbindung stehen, dadurch gekennzeichnet, daß der durch diesen Abstand (5) der Stirnflächen (6, 7) gebildete Linsenspalt frei von abschirmenden Teilen aus supraleitendem Material ist, daß der Abstand so bemessen ist, daß die Öffnungsfehlerkonstante minimal ist, und daß der Bohrungsdurchmesser der Abschirmzylinder auf den für den Durchtritt des Korpuskularstrahls erforderlichen Mindestwert bemessen ist.

2. Linsenanordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die den Linsenspalt (S) begrenzenden Stirnflächen (6, 7) der beiden Abschirmzylinder (2, 3) so geformt sind, daß Magnetfiußsprünge im supraleitenden Material vermieden sind (F i g. 3 bis 7 und 9).

3. Linsenanordnung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die beiden Abschirmzylinder (2, 3) mit ihren einander abgewandten Stirnflächen sich in Bereiche .vernachlässigbarer Feldstärke erstrecken.

4. Linsenanordnung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß die beiden Abschirmzylinder (2, 3) mit weiteren Abschirmungen aus supraleitendem Material verbunden sind, die die um die Abschirmzylinder (2, 3) herum angeordnete Linsenwicklung (1) außer auf ihren den Abschirmzylindern (2,3) zugekehrten Oberflächenbereichen allseitig umgeben.

5. Linsenanordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Abschirmzylinder (2, 3) und die gegebenenfalls vorgesehenen weiteren Abschirmungen aus gesintertem Niob-3-Zinn (Nb₃Sn) bestehen.

6. Linsenanordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Linsenwicklung in zwei Linsenwicklungen (7, 8) derart aufgeteilt ist, daß der Linsenspalt (S) seitlich gut zugänglich ist.