DE1548551A1 - Optisches Vergleichssystem - Google Patents

Optisches Vergleichssystem

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DE1548551A1 DE19661548551 DE1548551A DE1548551A1 DE 1548551 A1 DE1548551 A1 DE 1548551A1 DE 19661548551 DE19661548551 DE 19661548551 DE 1548551 A DE1548551 A DE 1548551A DE 1548551 A1 DE1548551 A1 DE 1548551A1
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Freeman Robert John
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    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/95—Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
    • G01N21/956—Inspecting patterns on the surface of objects
    • G01N21/95607—Inspecting patterns on the surface of objects using a comparative method
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01C—MEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
    • G01C11/00—Photogrammetry or videogrammetry, e.g. stereogrammetry; Photographic surveying

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Description

Optisches Vergleichssystem
Die Erfindung bezieht sich auf Systeme zum optischen Vergleich eines perfekt bearbeiteten Gegenstandes o.dgl. und eines ähnlichen, neuhergestellten Gegenstandes o.dgl.
Das erfindungsgemäße optische Vergleichssystem eignet sich insbesondere für komplexe Anordnungen, beispielsweise gedruckte Schaltungen, die Hunderte von elektronischen Komponenten enthalten, wobei das System insbesondere dazu dient, die Anstrengung für das Auge beim Vergleich eines Urmodells und einer Reproduktion davon herabzusetzen.
Gewöhnlich werden das Urmodell oder Urprodukt und seine Reproduktion Seite an Seite liegend betrachtet und das Auge
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des Beobachters bewegt sich dabei mehrfach vom Urmodell zur Reproduktion und zurück.
Durch die Erfindung wird einerseits ein optisches Vergleichssystem geschaffen, in welchem differentiell polarisierte Bilder eines ürmodells o.dgl. und einer Reproduktion davon auf einen gemeinsamen Blickpunkt über einen Analysator übertragen werden, der so angeordnet ist, daß er die Bilder von urmodell und Reproduktion abwechselnd überträgt.
Darüberhinaus wird durch die Erfindung ein optisches Vergleichssystem geschaffen, in welchem ein Urmodell und eine Reproduktion davon in ähnlicher Weise beleuchtet und die Bilder von beiden durch ein Reflektorsystern auf einen gemeinsamen Blickpunkt übertragen werden, wobei die Wegstrecke des Lichtes des einen Bildes durch eine Polarisationsplatte in einer Ebene und die Wegstrecke des Lichtes des anderen Bildes durch eine polarisierende Platte verläuft, die eine Polarisation in einer Ebene liefert, die senkrecht zu derjenigen der ersten Platte steht, und wobei ferner eine umlaufende Änalysatorscheibe in der Wegstrecke des Lichtes beider Bilder zum Blickpunkt angeordnet ist, um das eine Bild nach dem anderen dem Auge des Beobachters zuzuführen .
Handelt es sich um sehr kleine zu vergleichende Gegenstände,
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dann kann man Linäensysteme einbauen, um vergrößerte BiI-der am Blickpunkt zu erhalten. Sollen dagegen große Gegenstände miteinander verglichen werden, dann kann man sie auf gelenkig beweglichen Tischen montieren und unter dem Instrument tasten.
Bei bevorzugten Systemen gemäß der vorliegenden Erfindung finden halbreflektierende Spiegel in den Beleuchtungswegstrecken zu den zu vergleichenden Gegenständen und in der Wegstrecke des Lichtes zum Blickpunkt de Verwendung, wobei die Wegstrecken des Lichtes durch die Spiegel und infolge der Reflexion an ihnen gleichgehalten sind, so daß die Beleuchtungsintensität am Blickpunkt unabhängig von dem betrachteten Gegenstand im wesentlichen konstant ist.
Der Analysator, bei dem es sich vorteilhaft um eine umlaufende Scheibe handelt, ist vorzugsweise mit einem veränderlichen Getriebe ausgerüstet, so daß die Betrachtungszeit für das Urmodell und seine Reproduktion nach Bedarf geändert werden kann.
Die oben angegebenen und weitere Merkmale der Erfindung ergeben sich noch deutlicher aus der folgenden Beschreibung einer bevorzugten Konstruktion einer Apparatur, die beispielsweise in den Zeichnungen in schematischer perspektivischer Ansicht dargestellt ist.
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Ein Tisch Of auf welchem die Apparatur montiert ist, weist zwei Stationen A und B für das Aufsetzen eines Urproduktes und einer Reproduktion davon auf.
Lampen K mit ähnlicher Leistung sind senkrecht oberhalb jeder dieser Stationen montiert.
Das Licht von jeder Lampe gelangt nach unten durch einen halbversilberten Spiegel C und J, die unter 45° zur Tischoberseite winkelig angestellt sind, so daß eine wirkliche senkrechte Beleuchtung des ürmodells und seiner Kopie gegeben ist.
Das Bild des einen Gegenstandes, beispielsweise des an der Station A befindlichen ürmodells, wird von der unteren Oberfläche des halbverspiegelten Spiegels C unmittelbar oberhalb des Ürmodells so refelktiert, daß es parallel zur Tischoberfläche durch eine senkrechte polarisierende Platte D verläuft. Das polarisierte Bild wird weiter durch einen zweiten halbversilberten Spiegel E reflektiert, der unter 45° zur Plattenoberfläche angeordnet ist und das Licht senkrecht nach oben leitet, wo es weiter durch ein Paar vollversilberter Aufrichtespiegel F und G reflektiert wird und durch die Blicköffnung M einer umlaufenden analy** sierenden Scheibe L zu einem Blickpunkt N gelangt.
Die Wegstrecke des Bildes umfaßt in diesem Falle zwei Re-
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■ flexionen an halbversilberten Spiegeln.
Das Bild des anderen Gegenstandes auf der Station B wird in gleicher Weise durch den halbversilberten Spiegel J reflektiert, der unmittelbar über dem Gegenstand sitzt und das Licht durch eine zweite polarisierende Platte I leitet, uelche eine Polarisation in einer Ebene liefert, die rechtwinklig zu der ersten Polarisationsebene steht.
Ein vollrefelktierender Spiegel H lenkt die Wegstrecke des Bildes senkrecht nach oben durch den halbversilberten Spiegel E, durch den das polarisierte Bild des Urmodells senkrecht nach oben reflektiert wurde, und anschließend folgt das polarisierte Bild der Kopie der gleichen Wegstrecke wie das Bild des Urmodells zum Blickpunkt.
Die Wegstrecke des Bildes umfaßt in diesem Falle eine Reflexion an einem halbversilberten Spiegel und einen Durchgang durch einen halbversilberten Spiegel, so daß der Verlust an Beleuchtungsstärke demjenigen im ersten. Fall vergleichbar ist.
Die Analysatorscheibe L wird über ein Untersetzungsgetriebe durch einen Elektromotor mit veränderbarer Drehzahlreglung (nicht wiedergegeben) angetrieben und besitzt abwechselnde Flächen zur Analyse der umgekehrt polarisierten Bilder, die somit eines nach dem anderen am Blickpunkt mit im wesent-
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lichen konstanter Beleuchtungsstärke und damit verbundener Reduktion der Augenbelastung aufgenommen werden.
Linsensysteme zur Schaffung vergrößerter Bilder kleiner Gegenstände und eine Vorrichtung zur Bewegung der Tische, auf denen große Gegenstände montiert sind, zur Abtastung von Teilen dieser großen Gegenstände sind üblich und wurden deshalb in den Zeichnungen nicht wiedergegeben.
- Patentansprüche -
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Claims (6)

Patentansprüche
1. Verfahren zum optischen Vergleich zweier Gegenstände, insbesondere eines Urmodells mit einer Reproduktion, dadurch gekennzeichnet, daß differenziell polarisierte Bilder eines Urmodells und einer Reproduktion davon durch einen gemeinsamen Blickpunkt über einen Analysator übertragen werden, der die Bilder von Urmodell und Reproduktion abwechselnd überträgt.
2. Optisches Vergleichssystem zur Durchführung des Verfahrens nach Anspruch X, gekennzeichnet durch eine ähnliche Beleuchtung eines Urmodells und einer Reproduktion und übertragung von Bildern von Urmodell und Reproduktion über ein Reflektorsystem zu einem gemeinsamen Blickpunkt, wobei der Lichtweg des einen Bildes durch eine Polarisationsplctte in einer Ebene und der Lichtweg des anderen Bildes durch eine eine zur ersten Polarisation^ senkrechte Polarisation liefernde Polarisationsplatte führt und im Lichtweg beider Bilder zum Blickpunkt eine umlaufende Analysatorscheibe angeordnet ist, die dem Auge des Beobachters das eine Bild nach dem anderen zuführt.
3. Optisches Vergleichssystem nach Anspruch 2, für den Vergleich kleiner Gegenstände, gekennzeichnet
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durch Linsensysteme zur Erzeugung vergrößerter Bilder der Gegenstände.
4. Optisches Vergleichssystem nach Anspruch 2, für den Vergleich großer Gegenstände, gekennzeichnet durch eine Vorrichtung zum gemeinsamen Bewegen der Gegenstände zum gleichzeitigen Abtasten von Teilen von ihnen.
5. Optisches Vergleichssystem nach einem oder mehreren der Ansprüche 2-4, gekennzeichnet durch halbref^eyktierende Spiegel in der Wegstrecke des Lichtes zu den zu vergleichenden Gegenständen und in der Wegstrecke des Lichtes zum Blickpunkt, wobei die Wegstrecke des Lichtes durch die Spiegel und infolge der Reflexion an ihnen gleichgehalten sind, so daß die Beleuchtungsintensität am Blickpunkt unabhängig vom betrachteten Gegenstand im wesentlichen konstant ist.
6. Optisches Vergleichssystem nach einem oder mehreren der Ansprüche 2-5, dadurch gekennzeichnet, daß der Analysator aus einer umlaufenden Scheibe mit veränderlicher Drehzahl besteht und damit die Betrachtungszeit für die zu vergleichenden Gegenstände nach Bedarf veränderbar ist.
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DE19661548551 1965-06-22 1966-06-21 Optisches Vergleichssystem Pending DE1548551A1 (de)

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CH (1) CH440736A (de)
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GB (1) GB1143581A (de)

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GB1143581A (de)
CH440736A (de) 1967-07-31
US3481673A (en) 1969-12-02

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