DE1539159B2 - Sortionspumpe - Google Patents
SortionspumpeInfo
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- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
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- H01J9/38—Exhausting, degassing, filling, or cleaning vessels
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
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- F25—REFRIGERATION OR COOLING; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS; MANUFACTURE OR STORAGE OF ICE; LIQUEFACTION SOLIDIFICATION OF GASES
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Description
1 2
Die Erfindung betrifft eine Sorptionspumpe, be- F i g. 1 ist ein Schnitt durch eine erfindungsgemäße
stehend aus einem gasdichten Gehäuse, das mit dem Pumpe;
zu evakuierenden Raum in Verbindung steht, einem F i g. 2 ist eine Aufsicht und
in diesem Gehäuse angeordneten, festes Adsorptions- F i g. 3 eine Seitenansicht dieser Pumpe;
material enthaltenden Körper, einem über diesem 5 F i g. 4 zeigt wieder im Schnitt eine etwas andere
Körper im gasdichten Gehäuse angeordneten Behäl- Ausführungsform.
ter für ein flüssiges Kühlmittel mit einem aus dem Nach der F i g. 1 enthält die Sorptions-Vakuum-
gasdichten Gehäuse hinausführenden Abzug für ver- pumpe 10 eine das Adsorptionsmittel enthaltende
dampftes Kühlmittel und mit Leitungen für das Kammer 12, die sich innerhalb eines einwandigen
flüssige Kühlmittel, die durch das Adsorptionsmaterial ίο gasdichten Gehäuses 14 befindet. Das Adsorptions-
führen und mit ihm in thermischem Kontakt stehen. material 15 wird durch ein flüssiges Kühlmittel, vor-
Es sind schon Sorptions-Vakuumpumpen bekannt, zugsweise durch flüssigen Stickstoff, gekühlt, der
(USA.-Patentschrift 3 172 745) die aus einem gas- durch Leitungen oder Rohre 16 fließt. Diese Rohre
dichten Gehäuse, das mit dem zu evakuierenden führen durch das Bett aus Adsorptionsmaterial in der
Raum in Verbindung steht, aus einem in diesem Ge- 15 Kammer 12 zu einem unten angeordneten Verteiler
häuse angeordneten Bett eines festen Adsorptions- 20. Zur Regelung und Verteilung des flüssigen Kühlmaterials
und einer Kühlvorrichtung für das feste mittels ist ein Behälter 17 oberhalb der Kammer 12
Adsorptionsmaterial bestehen. Ein flüssiges Kühl- vorgesehen.
mittel umgibt entweder das gasdichte Gehäuse oder Aus einer äußeren Quelle 11 gelangt das flüssige
wird mittels Leitungen durch das Bett des festem 20 Kühlmittel durch die Leitung 18 in den Behälter 17.
Adsorptionsmaterials, das vorzugsweise ein Mole- Aus diesem fließt es durch das mittige Rohr 19 zu
kularsieb ist, geführt. Durch Adsorption der in dem dem unten befindlichen Verteiler 20. Durch die
zu evakuierenden Raum oder in dem Gehäuse be- Rohre 16 steigt das Kühlmittel wieder aufwärts,
fmdlichen Gase an dem festen Adsorptionsmaterial Diese Rohre 16 können vergrößerte Oberflächen
können Vakua bis herab zu 1O-3 und 10~3mmHg 25 oder Flossen haben, die nicht abgebildet sind. In
erreicht werden diesen Rohren verdampft ein Teil des Kühlmittels
Bei Pumpen mit einer großen Kapazität ist es und kühlt dadurch das umgebende Adsorptionsschwierig
und unerwünscht, das Gehäuse mit dem material wirksam und gleichmäßig. Die Flüssigkeit
Bett des festen Adsorptionsmaterials in einen Be- läuft in diesem System um, während die durch Verhälter
mit dem flüssigen Kühlmittel einzutauchen. 30 dämpfung entstehenden Gase aus dem Gasraum 21
Auch wenn das flüssige Kühlmittel in einem beson- des Behälters entweichen und durch die -Dampfderen,
mit dem gasdichten Gehäuse verbundenen Be- leitung 22 abgezogen werden. Das Bett des Adsorphälter
sich befindet, besteht die Schwierigkeit, daß tionsmaterials wird vorzugsweise von den Leitungen
das stehende flüssige Kühlmittel entlang der wärme- 22 gehalten. Es befindet sich innerhalb eines Siebes
austauschenden Oberfläche zu sieden beginnt, was zur 35,23. Genügender Zwischenraum ist vorgesehen, um
Bildung einer Gasschicht führt, welche die Wärme- einen ungehinderten Gaszutritt zu dem Adsorptionsübertragung
hindert und die Wirksamkeit der Pumpe material durch den ringförmigen Raum 24 zu erbeeinträchtigt.
r möglichen, der das Adsorptionsmaterial umgibt. Es
Das Ziel der Erfindung ist eine Sorptionspumpe, kann ebenso ein mittig angeordneter Raum innerhalb
welche das Evakuieren von großen Räumen mit 40 des Bettes des Adsorptionsmaterials vorgesehen sein,
guter Wirksamkeit ermöglicht. Beim Abkühlen des Adsorptionsmaterials entsteht
Die erfindungsgemäße Sorptionspumpe ist dadurch in dem Raum 24 innerhalb des Gehäuses 14 ein
gekennzeichnet, daß die Leitungen für das Kühl- Vakuum. Dieses isolierende Vakuum umgibt das ge-
mittel aus einer von der Mitte des Kühlmittelbehälters kühlte Adsorptionsmittel innerhalb der Kammer 12.
in der Mitte des gasdichten Gehäuses abwärts füll- 45 Es entsteht also in dieser ein eigenes isolierendes
renden Leitung, einem an diese Leitung anschließen- Vakuum, so daß zum Isolieren ein doppelwandiges
den, unterhalb des Adsorptionsmaterials angeord- Gefäß mit einem evakuierten Zwischenraum nicht
neten Verteiler und mehreren von diesem Verteiler notwendig ist.
ausgehenden, durch ,das Adsorptionsmaterial nach Ein Strahlen reflektierender, wärmeleitender
oben führenden, in den-Kühlmittelbehälter münden- 5° Schirm 25 aus Metall ist wärmeleitend verbunden
den Leitungen bestehen.- -- ·'■ ', . mit der Ableitung 22 und wird daher wirksam ge-
Vorzugsweise weist der Kiihlmittelbehälter eine kühlt. Dieser Schirm ist vorzugsweise innerhalb des
gesonderte Zuleitung für das flüssige Kühlmittel auf. Raumes 24 angeordnet, um ein Einsickern von
Zwischen dem Gasraum des Behälters für das Wärme in die kalte Kammer zu verhindern oder zu
flüssige Kühlmittel· uhd-der'Ableitung für den Abzug 55 verringern. Dadurch können die Kosten für den Be-
von verdampftem Kühlmittel kann ein Phasenscheider trieb der Pumpe erheblich herabgesetzt werden,
angeordnet sein. Im oberen Teil des Pumpengehäuses befindet sich
Es kann auch mindestens eine Leitung vorgesehen ein Phasenscheider 28, durch welchen mitgerissenes
sein, mit der ein Spülgas durch das Adsorptions- flüssiges Kühlmittel abgetrennt werden kann. Dieser
material geführt werden kann. 6° Phasenscheider besteht vorzugsweise aus porösem zu-
Bei einer guten Ausführungsform ist mindestens sammengepacktem Material, welches die Strömungsein
Wärmestrahlen reflektierender Schirm zwischen geschwindigkeit des entweichenden Gases herabsetzt
dem Adsorptionsmaterial enthaltenden Körper und und eine Kondensation und Abtrennung von flüssigen
der Wand des gasdichten Gehäuses angebracht und Tropfen bewirkt. Selbstverständlich kann der
mit dem Abzug für verdampftes Kühlmittel wärme- 65 Phasenscheider auch eine andere Form haben,
leitend verbunden. Der Behälter 17 dient zum gleichmäßigen Ver-
leitend verbunden. Der Behälter 17 dient zum gleichmäßigen Ver-
Die Zeichnungen zeigen beispielsweise einige Aus- teilen der Kühlflüssigkeit zu den Rohren 16. In ihm
führungsformen der Erfindung. werden auch die entstehenden Dämpfe des. Kühl-
mittels gesammelt, die durch die Leitungen 22 austreten. Diese Anordnung ermöglicht eine maximale
Abkühlungsgeschwindigkeit, bei welcher keine Verluste an Kühlmittel durch mitgerissene Tröpfchen in
der Leitung 22 auftreten. Es kann auch ein Fühler für den Stand des flüssigen Kühlmittels in dem Behälter
vorgesehen sein, der nach der Abbildung aus einem Proberohr 29 besteht.
Eine nach diesen Grundsätzen gebaute Pumpe enthielt etwa 68 kg eines Zeolith-5A-Molekularsiebes in
Form von etwa 1,6 mm großen Kügelchen. Mit Hilfe dieser Vorrichtung konnten Räume mit einem Inhalt
von 4,2 m3 innerhalb von 2 Stunden vom Atmosphärendruck auf einen Druck von etwa 10~3 mm Hg evakuiert
werden. Größere Räume können schnell evakuiert werden, wenn man mehrere solcher Pumpen
gleichzeitig verwendet oder sie in Reihe hintereinander anordnet. Man kann auch ein Vorvakuum mittels
einer üblichen Pumpe erzeugen, worauf dann die erfindungsgemäße Pumpe angeschlossen wird. Bessere
Vakua von 10~4 oder 10-5mmHg können erhalten
werden, wenn man den zu evakuierenden Raum vorher mit Stickstoff oder Kohlendioxyd ausspült, um
die Konzentration von Helium, Neon oder Wasserstoff herabzusetzen, die von den Molekularsieben bei
der Temperatur des flüssigen Stickstoffs nur wenig adsorbiert werden.
Eine derartige Pumpe besteht beispielsweise aus einem zylindrischen Gehäuse von rostfreiem Stahl
mit einem Durchmesser von etwa 50 cm und einer Höhe von etwa 125 cm. Diese Pumpe ist mittels einer
Leitung mit einem Durchmesser von 50 cm durch die Einlaßöffnung 30 mit dem zu evakuierenden Raum
verbunden. Die Einlaßöffnung befindet sich im oberen Teil der Umhüllung 14 der Pumpe. Sie kann genügend
lang sein, um eine Verbindung beispielsweise durch Schweißen zu ermöglichen. Alle Zuführungen r
für die Kühlflüssigkeit befinden sich ebenso im oberen Teil des Gehäuses, wie die F i g. 2 und 3 es zeigen.
Das Adsorptionsmaterial wird durch die Öffnung 30 zugeführt oder entfernt.
In der Regel sind senkrecht angeordnete Rohre vorzuziehen. Die Leitungen können aber auch eine
andere Stellung haben, wobei lediglich darauf geachtet werden muß, daß das flüssige Kühlmittel
gleichmäßig durch sie fließt.
Ein Reaktivieren der Pumpe ist in der F i g. 4 gezeigt. Aus einer äußeren Quelle 31 wird ein erwärmtes
Gas durch die Leitung 40 und die Leitungen 16 geführt, wobei das Adsorptionsmaterial erwärmt
wird. Gleichzeitig leitet man ein trockenes Spülgas aus einer äußeren Quelle 41 durch die Leitung 42
und den Verteiler 44 durch das Bett 15 des Adsorptionsmaterials. Durch in gleichmäßigen Öffnungen
befindliche Öffnungen 46 gelangt das Gas durch das Adsorptionsmaterial und spült die beim Erwärmen
freigesetzten Gase hinweg. Das Abgas kann aus der Kammer an ihrem oberen Ende durch die Leitung 48
abgezogen werden.
Claims (5)
1. Sorptionspumpe, bestehend aus einem gasdichten Gehäuse, das mit dem zu evakuierenden
Raum in Verbindung steht, einem in diesem Gehäuse angeordneten, festes Adsorptionsmaterial
enthaltenden Körper, einem über diesem Körper im gasdichten Gehäuse angeordneten Behälter für
ein flüssiges Kühlmittel mit einem aus dem gasdichten Gehäuse hinausführenden Abzug für verdampftes
Kühlmittel und mit Leitungen für das flüssige Kühlmittel, die durch das Adsorptionsmaterial
führen und mit ihm in thermischem Kontakt stehen, dadurch gekennzeichnet,
daß die Leitungen für das Kühlmittel aus einer von der Mitte des Kühlmittelbehälters (17) in der
Mitte des gasdichten Gehäuses abwärts führenden Leitung (19), einem an diese Leitung (19) anschließenden,
unterhalb des Adsorptionsmaterials (15) angeordneten Verteiler (20) und mehreren
von diesem Verteiler (20) ausgehenden, durch das Adsorptionsmaterial (15) nach oben führenden,
in den Kühlmittelbehälter (17) mündenden Leitungen (16) bestehen.
2. Sorptionspumpe nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Kühlmittelbehälter (17)
eine gesonderte Zuleitung (18) für das flüssige
, Kühlmittel aufweist.
3. Sorptionspumpe nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß zwischen dem Gasraum
des Behälters (17) für das flüssige Kühlmittel und der Ableitung (22) für den Abzug von
verdampftem Kühlmittel ein Phasenscheider (28) angeordnet ist.
4. Sorptionspumpe nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß mindestens
eine Leitung (42) vorgesehen ist, mit der ein Spülgas durch das Adsorptionsmaterial (15) geführt
werden kann.
5. Sorptionspumpe nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß mindestens
ein Wärmestrahlung reflektierender Schirm (25) zwischen dem Adsorptionsmaterial enthaltenden
Körper (23) und der Wand (14) des gasdichten Gehäuses (12) angebracht und mit dem Abzug
(22) für verdampftes Kühlmittel wärmeleitend verbunden ist.
Hierzu 1 Blatt Zeichnungen
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Families Citing this family (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3435624A (en) * | 1967-10-31 | 1969-04-01 | United Aircraft Corp | Dual temperature cold trap |
US3464223A (en) * | 1967-12-28 | 1969-09-02 | Us Army | Trap pump for vacuum system |
US3490247A (en) * | 1968-01-24 | 1970-01-20 | Perkin Elmer Corp | Sorption pump roughing system |
FR2048253A5 (de) * | 1969-12-01 | 1971-03-19 | Air Liquide | |
FR2146100B2 (de) * | 1971-07-16 | 1974-03-29 | Air Liquide | |
BE791888A (fr) * | 1971-11-26 | 1973-05-24 | Air Liquide | Dispositif de cryopompage |
NL7601906A (nl) * | 1976-02-25 | 1977-08-29 | Philips Nv | Cyclische desorptiekoelmachine resp. - warmte- pomp. |
FR2489101B1 (fr) * | 1980-08-29 | 1986-04-11 | Blaizat Claude | Procede et dispositif de refrigeration d'un produit notamment agricole |
US4718240A (en) * | 1985-03-01 | 1988-01-12 | Helix Technology Corporation | Cryopump regeneration method and apparatus |
SU1698481A1 (ru) * | 1987-12-17 | 1991-12-15 | Институт Аналитического Приборостроения Научно-Технического Объединения Ан Ссср | Криогенный адсорбционный насос |
SU1682628A1 (ru) * | 1988-03-10 | 1991-10-07 | Институт Аналитического Приборостроения Научно-Технического Объединения Ан Ссср | Криоадсорбционный насос |
DE4017213C1 (de) * | 1990-05-29 | 1991-05-23 | Bruker Analytische Messtechnik Gmbh, 7512 Rheinstetten, De | |
US5806319A (en) * | 1997-03-13 | 1998-09-15 | Wary; John | Method and apparatus for cryogenically cooling a deposition chamber |
US6367267B1 (en) * | 2000-09-22 | 2002-04-09 | Applied Epi, Inc. | Integrated phase separator for ultra high vacuum system |
US6718775B2 (en) | 2002-07-30 | 2004-04-13 | Applied Epi, Inc. | Dual chamber cooling system with cryogenic and non-cryogenic chambers for ultra high vacuum system |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US1285415A (en) * | 1918-03-16 | 1918-11-19 | Paul Schou | Vacuum-cooler with interior absorption. |
GB1008740A (en) * | 1959-02-20 | 1965-11-03 | Secr Aviation | Refrigeration unit |
US3199343A (en) * | 1961-10-12 | 1965-08-10 | Childs James Howard | Electric propulsion engine test chamber |
FR1387162A (fr) * | 1963-12-12 | 1965-01-29 | Comp Generale Electricite | Dispositif de stockage de gaz liquéfié |
US3197973A (en) * | 1964-10-14 | 1965-08-03 | United Aircraft Corp | Refrigeration system with sublimator |
-
1966
- 1966-11-02 US US591552A patent/US3371499A/en not_active Expired - Lifetime
-
1967
- 1967-10-26 DE DE19671539159 patent/DE1539159B2/de active Pending
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE1539159A1 (de) | 1970-09-10 |
GB1143277A (en) | 1969-02-19 |
US3371499A (en) | 1968-03-05 |
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