DE1489113B2 - Festkörperbildwandler - Google Patents

Festkörperbildwandler

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DE1489113B2
DE1489113B2 DE1489113A DE1489113A DE1489113B2 DE 1489113 B2 DE1489113 B2 DE 1489113B2 DE 1489113 A DE1489113 A DE 1489113A DE 1489113 A DE1489113 A DE 1489113A DE 1489113 B2 DE1489113 B2 DE 1489113B2
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Tadao Yokohama Kohashi (Japan)
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Matsushita Electric Industrial Co Ltd
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Description

Die Erfindung bezieht sich auf einen Festkörperbildwandler, bei dem auf einer lichtdurchlässigen Trägerplatte eine lichtdurchlässige, erste Elektrode aufgebracht ist, darauf eine Elektrolumineszenzschicht, auf dieser eine Zwischenschicht und eine lichtundurchlässige Lichtabschirmschicht, an die sich eine photoleitende Schicht anschließt, mit der sich eine
ao dritte Elektrode in elektrischem Kontakt befindet, weiche aus elektrisch leitfähigen Drähten, Bändern oder einem Gitter bestehen kann, die entweder gemeinsam mit einem äußeren Anschluß oder jeweils abwechselnd mit zwei verschiedenen leitenden Strei-' fen verbunden sind, mit einer auf der photoleitenden Schicht und der dritten Elektrode angeordneten Impedanzschicht, auf der ihrerseits eine strahlungsdurchlässige, zweite Elektrode angebracht ist, sowie mit einer Spannungsversorgung zum Anlegen von Gleich- oder Wechselspannungen V1 zwischen die erste und dritte Elektrode und V2 zwischen die erste und zweite Elektrode.
Festkörperbildwandler dieser Art sind bekannt (französische Patentschrift 1314094). Bekannt ist es auch (französische Patentschrift 1153 717), einen Festkörperbildwandler mit einer fluoreszierenden Schicht zu versehen, die als einzige Schicht ausgebildet ist und deren sich unter Einwirkung von Strahlungsenergie ergebender Spektralbereich der Fluoreszenz zumindest teilweise mit dem Spektralbereich der photoleitenden Schicht zusammenfällt. Bei anderen bekannten Bildwandlern (deutsches Gebrauchsmuster 1869477, deutsche Patentschrift 1107 846), fehlt eine zusätzliche Fluoreszenzschicht ganz. Schließlich ist noch ein Festkörperbildwandler bekannt (deutsche Auslegeschrift 1041184), der eine auf Röntgenstrahlen ansprechende Fluoreszenzschicht aufweist. Neben dieser Fluoreszenzschicht ist eine Elektrolumineszenzschicht angeordnet, deren Spektralbereich mit dem Spektralbereich übereinstimmt, in dem die Fluoreszenzschicht fluoresziert. Ein darüber hinaus gehendes Zusammenwirken der Schichten tritt nicht auf. Festkörperbildwandler der genannten Art dienen zum Sichtbarmachen von für das menschliche Auge an sich unsichtbaren Strahlungen. Eine solche unsichtbare Strahlung trifft dabei auf den Festkörperbildwandler von der Seite der lichtdurchlässigen ersten Elektrode her auf, durchdringt diese und gelangt schließlich zur photoleitenden Schicht, die entsprechend der Einfallsintensität der Strahlung beeinflußt wird. In Abhängigkeit von der sich dabei ergebenden örtlichen Leitfähigkeit der photoleitenden Schicht fließt so zwischen der ersten und der dritten Elektrode ein elektrischer Strom, der dabei auch durch die Elektrolumineszenzschicht fließt. Unter Einfluß dieses Stromes bzw. der ihn begleitenden elektrischen Felder wird die Elektrolumineszenzschicht erregt und gibt das ursprünglich unsichtbare Strahlungsbild im sieht-
baren Spektralbereich wieder.
Dabei ergibt sich jedoch der Nachteil, daß die photoleitende Schicht nur auf Strahlungen bestimmter Frequenz lebhaft anspricht. Als Material für die photoleitende Schicht wurde bisher im allgemeinen Cadmiumsulfid und Cadmiumselenid verwendet, die mit Kupfer, Chlor usw. aktiviert sind. Auch feste Cadmiumsulfid- und Cadmiumselenid-Lösungen kamen zur Verwendung. Diese Materialien weisen eine Photoleitfähigkeit nur für den Spektralbereich von 500 bis 900 μπι auf. Es handelt sich also um einen Abschnitt des schon an sich sichtbaren Spektralbereiches und einen schmalen Abschnitt des anschließenden Bereiches infraroter Strahlung. Je nach den Herstellungsbedingungen wird der Bereich noch weiter eingeengt. So ist die aus solchem Material gefertigte photoleitende Schicht vollkommen unempfindlich gegenüber Strahlungen mit einer Wellenlänge von weniger als 500 μπι. Sie ist deshalb noch nicht einmal geeignet, in den bekannten Festkörperbildwandlern Ultraviolettstrahlen sichtbar zu machen. Überdies ist auch die Empfindlichkeit für Röntgenstrahlen gering. Wegen * des hohen Durchdringungsvermögens dieser Strahlen wird außerdem ein hoher Prozentsatz der Strahlung die photoleitende Schicht ohne Wirkung durchdringen, was ihre Empfindlichkeit für das Sichtbarmachen derartiger Strahlung weiter verringert.
Andererseits liegt die photoleitende Schicht bei den bekannten Festkörperbildwandlern so tief im Festkörperbildwandler eingebettet, daß sie von Strahlen geringen Durchdringungsvermögens gar nicht erreicht wird. Die photoleitende Schicht wird überdies häufig durch eine Impedanzschicht gegen Elektronenstrahlen voll abgeschirmt. Elektronenstrahlen können die photoleitende Schicht nur unter so erheblicher Dämpfung erreichen, daß mit dem bekannten Festkörperbildwandler Elektronenstrahlbilder nicht sichtbar gemacht werden können.
Die Erfindung stellt sich deshalb die Aufgabe, die bekannten Festkörperbildwandler so weiterzubilden, daß sie ohne Nachteil für ihre sonstigen Eigenschaften auch für das Sichtbarmachen von Elektronenstrahlbildern geeignet sind. ·
I) Eine erfindungsgemäße Lösung dieser Aufgabe besteht darin, daß die Impedanzschicht als eine 20 bis 200 μπι starke Mischschicht ausgebildet ist, die unter Einwirkung der sichtbar zu machenden Strahlung in einem Spektralbereich fluoresziert, der etwa beim Empfindlichkeitsmaximum der photoleitenden Schicht liegt.
Eine andere erfindungsgemäße Lösung besteht darin, daß zwischen der Impedanzschicht aus einer transparenten Substanz mit geringen dielektrischen Verlusten und der strahlungsdurchlässigen, zweiten Elektrode eine Fluoreszenzschicht eingefügt ist, die unter Einwirkung der sichtbar zu machenden Strahlung in einem Spektralbereich fluoresziert, der etwa beim Empfindlichkeitsmaximum der photoleitenden Schicht liegt.
Es wird also eine zusätzliche Schicht verwendet, die unter Einwirkung der sichtbar zu machenden Strahlung in einem Spektralbereich fluoresziert, der etwa beim Empfiridlichkeitsmaximum der photoleitenden Schicht liegt. Die photoleitende Schicht muß damit nicht mehr direkt von der auffallenden und sichtbar zu machenden Strahlung erregt werden. Die Strahlung regt vielmehr die Fluoreszenz der zusätzlichen Schicht an. Das Material für die Fluoreszenzschicht ist so gewählt, daß die Frequenz der Fluoreszenzstrahlung geeignet ist, die photoleitende Schicht zu erregen und damit die Elektrolumineszenz auf dem Bildschirm des Festkörperbildwandlers auszulösen. Bei der Wahl des Materials für die fluoreszierende Schicht erfolgt gleichzeitig die Anpassung an die Art der sichtbar zu machenden Strahlung. Besonders einfach wird der Festkörperbildwandler, wenn die Impedanzschicht auf die erwähnte Weise als Mischschicht ausgebildet
ίο ist, die unter Einwirkung der sichtbar zu machenden Strahlung fluoresziert. Man erreicht dann die erwünschte Wirkung ohne eine Komplizierung des Aufbaus des Festkörperbildwandlers. Die Impedanzschicht wird beibehalten und dadurch als Mischschicht ausgebildet, daß das fluoreszierende Material in sie eingelagert wird. Damit kann auch eine sonst von der Impedanzschicht abgeschirmte Strahlung das Fluoreszenzmaterial erreichen, dessen Fluoreszenz wiederum zu der sich unmittelbar anschließenden photo-
ao leitenden Schicht gelangt. Ohne Komplizierung des Aufbaus erhält man so auch bei Weiterverwendung des bisher üblichen Materials für die photoleitende Schicht eine Funktionsfähigkeit des Festkörperbild-, wandlers für eine weite Vielfalt einfallender Strahlungsarten.
Statt der Ausbildung der Impedanzschicht als Mischschicht kann auch eine eigene Fluoreszenzschicht zwischen Impedanzschicht und strahlungsdurchlässiger zweiter Elektrode angeordnet sein. Eine derartige Anordnung ist insbesondere dann günstig, wenn Strahlen mit sehr geringem Durchdringungsvermögen, beispielsweise Ultraviolettstrahlen sichtbar gemacht werden sollen. Da jedoch die Fluoreszenzstrahlung bis zur photoleitenden Schicht gelangen muß, wird in diesem Fall eine Impedanzschicht aus einer transparenten Substanz verwendet. Sie kann zu diesem Zweck aus einem Polyesterfilm oder Emailglas bestehen. Handelt es sich aber um die Sichtbarmachung von Strahlen mit höherem Durchdringungsvermögen, wie Röntgenstrahlen oder Gammastrahlen, so wird die Fluoreszenzschicht zweckmäßig zwischen der Impedanzschicht und der dritten Elektrode angeordnet. Ihrem Röntgen- und Gammastrahlen nur geringfügig schwächendem Material kann in diesem Fall ein stark lichtreflektierendes Material beigemischt werden. Dadurch ergibt sich eine gute Trennung der . sichtbar zu machenden Strahlen mit hohem Durchdringungsvermögen von zufällig auftretender Strahlung des sichtbaren Spektralbereichs. Die Impedanzschicht kann hierfür beispielsweise Magnesiumoxid enthalten.
Gegebenenfalls können zwischen der ersten und der dritten Elektrode mehr als zwei Fluoreszenz- und Impedanzschichten einander abwechselnd angeordnet sein, falls das für die jeweilige Verwendung zweckmäßig erscheint.
Auf der Zeichnung ist die Erfindung beispielsweise erläutert, und zwar zeigt
F i g. 1 eine perspektivische Ansicht einer Ausführungsform mit als Mischschicht ausgebildeter Impedanzschicht und angedeuteter Stromversorgung,
F i g. 2 ein Betriebsschema eines Festkörperbildwandlers zum Sichtbarmachen von Elektronenstrahlbildern,
F i g. 3 im Schnitt und mit schematisch angegebener Spannungsversorgung eine Ausführungsform mit Impedanzschicht und Fluoreszenzschicht in Nebeneinanderanordnung, und
Fig. 4 eine andere Ausführungsform mit einer zusätzlichen Gleichstromsteuerung.
Fig. 1 zeigt einen Festkörperbildwandler, der zum Sichtbarmachen von Elektronenstrahlbildern, Röntgenstrahlen oder Gammastrahlen geeignet ist. Der Festkörperbildwandler hat eine lichtdurchlässige Trägerplatte 1, die beispielsweise aus transparentem Glas besteht. Auf die Trägerplatte 1 ist eine lichtdurchlässige erste Elektrode 2 aufgebracht, die aus einem Metalloxid, wie Zinnoxid gefertigt ist. Eine sich anschließende Elektrolumineszenzschicht 3 besteht aus einer aufgedampften dünnen Schicht aus ZnS, das gegebenenfalls zum Erzielen einer Grünlumineszenz mit Kupfer aktiviert und mit Emailglas, Kunststoff od. dgl. gebunden ist. Die elektrolumineszierende Schicht 3 hat eine Stärke von 5 bis 70 μπι und strahlt bei elektrischer Erregung Licht ab. Die nächste Schicht ist eine lichtundurchlässige Lichtabschirmschicht 4, die eine Erregung einer photoleitenden Schicht 5 durch die Elektrolumineszenzschicht 3 oder durch von dieser Seite hereinfallendes Außenlicht verhindert. Die Lichtabschirmschicht 4 besteht aus einer aufgedampften dünnen Schicht hohen Widerstandes, beispielsweise aus schwarzer Farbe, Ruß od. dgl. in einem Bindemittel, wie Kunststoff oder Emailglas. Die Lichtabschirmschicht 4 hat eine Stärke von 1 bis 10 jum. Die sich anschließende photoleitende Schicht 5 besteht aus einem photoleitenden Material wie CdS, das mit Kupfer oder Chlor aktiviert und mit Kunststoff, Emailglas oder einem ähnlichen Bindemittel abgebunden ist. Die Schicht kann durch Aufdampfen ohne Verwendung eines Bindemittels oder auch als Sinterfilm ausgebildet sein. Die photoleitende Schicht 5 hat eine Stärke von 5 bis 100 μητ. Sie besitzt eine hohe Empfindlichkeit für eine Erregung durch eine Strahlung aus dem orangen oder infraroten Spektralbereich. Mit der photoleitenden Schicht 5 steht eine dritte Elektrode 6 in elektrischem Kontakt, die aus elektrisch leitfähigen Drähten, Bändern oder einem Gitter besteht. Die leitfähigen Bereiche haben dabei eine Breite von etwa 10 bis 30 μΐη und eine Stärke von einigen Mikrometern. Bei einer gitterartigen Ausbildung wird die Dichte der öffnungen im Gitter mit 8 bis 15 Öffnungen pro Quadratzentimeter (50 bis 100 Mesh) angegeben. Besteht die Elektrode 6 aus Drähten, so werden vorzugsweise Wolfram- oder andere Metalldrähte mit einer Stärke von rund 10 bis 30 μπι verwendet. Notfalls können die Drähte vorab mit Gold oder einem anderen Metall plattiert werden.
Der Festkörperbildwandler weist weiter als Impedanzschicht eine Mischschicht 100 auf, auf der eine strahlungsdurchlässige zweite Elektrode 7 angeordnet ist. Die Mischschicht 100 hat eine Stärke von 20 bis 200 μπι. Handelt es sich bei der sichtbar zu machenden Strahlung Ex μπι Elektronenstrahlen, so wird die als Impedanzschicht dienende Mischschicht 100 aus einem Material wie (Zn, Mg) F2, bei Röntgen- oder Gammastrahlen aus einem Material wie ZnCdS:Ag gefertigt. Diese Materialien fluoreszieren unter Einwirkung der jeweils sichtbar zu machenden Strahlung in einem Spektralbereich orangen Lichtes, der etwa beim Empfindlichkeitsmaximum der photoleitenden Schicht 5 liegt.
Zweckmäßig wird die Mischschicht 100 aus dem beschriebenen pulverförmigen fluoreszierenden Material gefertigt, das mit einem Bindemittel wie Epoxyharz oder Emailglas abgebunden ist. Das fluoreszierende Material kann auch durch Aufdampfen als Mischschicht 100 erhalten werden. Auch kann die Mischschicht 100 durch Ausfällen des fluoreszierenden Materials erhalten werden, das vorher in einer Lösung einer geeigneten Zellulose, wie Nitrozellulose suspendiert wurde. Die Ausfällung erfolgt in eine geeignete organische Lösung, wie Aluminiumacetat. Die ausgefällte Mischschicht 100 kann durch Erwärmen ausgehärtet werden, da dabei die in ihr enthaltenen organischen Substanzen verdampfen und den Niederschlag zu einer für das Sichtbarmachen von Elektronenstrahlbildern besonders gut geeigneten einzigen Mischschicht 100 verkleben.
Die als Mischschicht 100 ausgebildete Impedanzschicht weist einen hohen spezifischen Widerstand und eine kapazitive Impedanz gegenüber Wechselspannungen auf. Die auf ihr angeordnete strahlungsdurchlässige zweite Elektrode 7 besteht aus einem dünnen aufgedampften Film aus einem Metall, wie Aluminium. Die Elektrode 7 ist damit leicht für die sichtbar zu machende Strahlung strahlungsdurchlässig auszubilden. Überdies reflektiert sie die von der Mischschicht 100 abgestrahlte Fluoreszenzenergie sehr gut, so daß die Fluoreszenzenergie der Misch- ' schicht 100 nicht durch die Elektrode 7 nach außen entweicht, sondern in Richtung auf die photoleitende Schicht 5 reflektiert wird. Gegebenenfalls wird die strahlungsdurchlässige zweite Elektrode 7 mit einem elektrisch leitenden Überzug, beispielsweise einem Silberanstrich versehen.
Die Spannungsversorgung des Festkörperbildwandlers kann beispielsweise, wie in Fig. 1 angedeutet, erfolgen. Besteht die Elektrolumineszenzschicht 3 aus ZnS: Cu, Al, das bei Erregung Grünlicht ausstrahlt, so ergibt sich die Lumineszenz nur bei Erregung durch eine Wechselspannung. Zwischen einem leitfähigen Streifen 17 an der dritten Elektrode 6 und der ersten Elektrode 2 ist deshalb eine Wechselstromquelle 8 über Leiter 9 und 10 angeschlossen. Die Wechselstromquelle 8 legt zwischen die erste und die dritte Elektrode eine Wechselspannung V1. Weiter ist eine Wechselstromquelle 11 über den Leiter 9 und einen Leiter 12 mit der ersten Elektrode 2 und der zweiten Elektrode 7 verbunden. Auf diese Weise ist zwischen die erste und die zweite Elektrode eine Wechselspannung V2 gelegt, die mit der Wechselspannung V1 in der Frequenz übereinstimmt.
Ist V2 = 0 (Kurzschluß der Elektroden 2 und 7), so verwendet man bei Röntgenstrahlen als sichtbar zu machende Strahlung Ex eine Wechselspannung V1 einer Frequenz von 100 bis 5000 Hz bei einem geeigneten Spannungswert. Die Röntgenstrahlen erregen dabei die Mischschicht 100 zur Fluoreszenz. Durch die Fluoreszenz wird wiederum die photoleitende Schicht 5 erregt. Gleichzeitig durchdringt die Strahlung Ex, die ein hohes Durchdringungsvermögen besitzt, die Mischschicht 100 und erregt selbst die photoleitende Schicht 5. Die photoleitende Schicht 5 wird also durch zwei Energiebilder erregt, nämlich das Röntgenstrahlbild und ein von der Mischschicht 100 unter Einwirkung des Röntgenstrahlbildes erzeugtes oranges Fluoreszenzbild. Die photoleitende Schicht 5 nimmt deshalb in einer rechtwinklig zur Richtung der Strahlung E1 verlaufenden Ebene an Leitfähigkeit zu, und.es entsteht ein entsprechender Lichtstrom durch die Elektrolumineszenzschicht 3. Dieser Strom erregt die Elektrolumineszenzschicht 3 zur Lumineszenz, die so ein helles positives Grünbild erzeugt.
Wird der Spannungswert Vx so gewählt, daß die
Elektrolumineszenzschicht 3 dann, wenn keine sichtbar zu machende Strahlung Ex vorliegt, dunkel ist, so fließt entsprechend der Wechselspannung V1 ein Dunkelstrom I1 durch die Elektrolumineszenzschicht 3. Wird eine Wechselspannung V2 angelegt, dann fließt über die Mischschicht 100 ein Strom I2, der dabei auch durch die Elektrolumineszenzschicht 3 fließt. Bei festgelegter Wechselspannung V1 ergibt sich durch Wahl der Phasendifferenz der Wechselspannungen V2 und V1 eine Differenz zwischen den Strömen I1 und I2, die Amplitude des durch die Elektrolumineszenzschicht 3 fließenden Stromes I3 = I1 + I2 verringert sich und demgemäß auch die Dunkellumineszenz bei Zunahme der Amplitude der Spannung V2. Die Phasendifferenz wird je nach dem verwendeten Material gewöhnlich im Bereich von 180° ±90° gewählt.
Wird unter dieser Bedingung eine sichtbar zu machende Strahlung E1 auf den Festkörperbildwandler aufgestrahlt, so entsteht ein sichtbares positives Bild E2, dessen Kontrast mit zunehmender Amplitude von V2 ansteigt. Werden dagegen die Amplituden von V1 und V2 festgelegt, und nur die Phasendifferenz veränderlich gemacht, so kann der Kontrast über einen weiten Bereich abnehmend gesteuert werden, da das Phasenverhältnis von demjenigen für das vorstehend beschriebene Differentialverhältnis zwischen /, und I2 abweicht.
Ähnlich wird, wenn V1 = 0 durch Anlegen der Wechselspannung V2 die Beziehung I3 = I2 erzielt, nach der die Elektrolumineszenzschicht 3 durch den Strom I2 erregt wird. Fällt unter diesen Umständen eine sichtbar zu machende Strahlung E1 auf den Festkörperbildwandler auf, so nimmt die photoleitende Schicht 5 entsprechend stellenweise an Leitfähigkeit zu. Da die Elektroden 2 und 6 das gleiche Potential besitzen, wirkt die photoleitende Schicht 5 als elektrostatische Schutzschicht, und der Strom I2 wird durch die dritte Elektrode 6 abgeleitet, so daß der Strom I3 = I2, der durch die Elektrolumineszenzschicht 3 fließt, abnimmt. Auf diese Weise wird die Strahlung E1 in ein verstärktes, helles und gut sichtbares Bild E2 umgewandelt, das ein Negativ des Bildes der Strahlung E1 ist.
Unter dieser Bedingung hinsichtlich der Strahlung E1 nehmen - wenn die Phasendifferenz von V1 zu V2 derart gewählt ist, daß sich das Differentialverhältnis von I1 (gewöhnlich im Bereich von 180° ±90°) ergibt —, der Kontrast und der Gammawert zu, da die Amplitude von V1 über Null ansteigt. Wenn die Phasendifferenz verändert wird, so daß sie von dem Differentialverhältnis abweicht, während die Amplitude von V1 und V2 auf einem genau eingestellten Wert festgelegt wird, nehmen andererseits der Kontrast und der Gammawert dementsprechend ab. Falls V1 eine mehr oder weniger große Amplitude besitzt, hat die Abweichung der Phasendifferenz eine Verminderung des Kontrastes und des Gammawertes zur Folge, und dadurch entsteht ein sichtbares Bild E2, das die Kombination eines negativen Bildes darstellt, das den wenig intensiven Teilen des Bildes E1 entspricht, und eines positiven Bildes, das den hochintensiven Stellen des Bildes E1 entspricht. Ergibt die Phasendifferenz zwischen den Spannungen V1 und V2 ein additives Verhältnis zwischen den Strömen I1 und I2, dann entsteht ein positives Bild E2, das vollkommen umgekehrt ist in bezug auf das vorstehend beschriebene.
Sind die Amplituden von V1 und V2 derart gewählt, daß nahezu ein Differenzverhältnis zwischen I1 und I2 erzielt wird und I3 im Dunkeln und bei fehlender Strahlung E1 größer als I2 und bei Vorhandensein einer Strahlung E1 mit gleichförmiger und hoher Intensität größer als I1 ist, so ist, wenn ein Röntgenstrahlenenergiebild E1 mit ausreichend hoher Stärke aufgestrahlt wird und dabei I1 und I2 in einem Differenzverhältnis gehalten werden, in dem I1 und I2 in Phase liegen und die gleiche Amplitude besitzen,
ίο unter dieser Bedingung das erzielte Ausgangsbild E2 in seiner Helligkeit an denjenigen Stellen, die der lokalisierten Stärke des Röntgenstrahlenenergiebildes E1 entsprechen, kaum vorhanden, und in denjenigen Bereichen, die den Stellen des Röntgenstrahlenbildes mit einer niedrigeren Stärke als der lokalisierten Stärke negativ und in den Bereichen, die den Stellen mit höherer Stärke als der lokalisierten Stärke entsprechen, positiv. Auf diese Weise wird das Röntgenstrahlenenergiebild in zwei Stärkebereichgruppen aufgeteilt und in ein kombiniert negativ-positives Bild umgewandelt. Die Anordnung besitzt also eine sogenannte V-förmige Betriebscharakteristik. Bei zunehmender Amplitude von V1 oder abnehmender Amplitude von V2 verschiebt sich in diesem Falle die V-förmige Charateristik in eine Richtung, in der die Stärke der Eingangs-Röntgenstrahlung zunimmt und umgekehrt. Auf diese Weise kann das Verhalten des Eingangsbildes E2 durch bloßes Steuern der Amplituden von V1 und V2 beliebig verändert werden, und durch eine Art Null-Methode ist eine genaue Beobachtung und Prüfung des Röntgenstrahlenenergiebildes E1 möglich.
Andererseits nimmt - wenn die Amplituden von V1 und V2 festgelegt sind und wenn auf deren Phasendifferenz eingewirkt wird, so daß sie vom Differenzverhältnis abweicht, die Minimallumineszenzstärke des Ausgangsbildes E2 zu und verkleinert den Kontrast, während sich die V-förmige Charakteristik verschiebt. Wenn die Phasendifferenz von V1 und V2 verändert wird, so daß zwischen I1 und I2 ein additives Verhältnis entsteht, dann verändert sich das Ausgangsbild E2 kontinuierlich in ein positives Bild.
Wie aus der obigen Beschreibung mehrerer Betriebsarten hervorgeht, kann durch Steuern der Amplituden der Spannungen V1 und V2 und des Phasenverhältnisses kontinuierlich von einer Art zur anderen übergegangen werden.
Zur kontinuierlichen Steuerung der Anordnung oder deren Feineinstellung in einem begrenzten Bereich wird vorteilhafterweise eine Wechselstromquelle verwendet, die nur einen einzigen Signalgenerator und zwei elektrische Signalverstärkersysteme umfaßt mit einem einstellbaren Phasenschieber und einem zumindest in einem der Verstärkersysteme angeordneten Amplitudensteuermittel.
Aus der vorstehenden Beschreibung einiger Ausführungsformen der Mischschicht 100 ist ersichtlich, daß die dielektrische Festigkeit der Mischschicht 100 des öfteren Schwierigkeiten bereitet. Ein derartiges Problem kann jedoch durch Zusatz eines Pulvers dielektrischer Substanz zur Schicht 100 gemildert werden, welches Licht reflektiert und eine hohe dielektrische Festigkeit aufweist. Beispielsweise kann die Mischschicht 100 durch Vermischen eines fluoreszierenden Pulvers und eines stark lichtreflektierenden dielektrischen Pulvers, wie Zinksulfid, Zinkoxid, Titanoxid oder Bariumtitanat und durch Laminieren dieses Gemisches mit einem Bindemittel, wie Epoxy-
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harz, hergestellt werden. Natürlich muß die dielektrische Festigkeit und der Impedanzwert für die Mischschicht 100 genau gewählt werden.
Die Wahl eines Impedanzwertes läuft auf die Steuerung der Schichtstärke hinaus. Andererseits bieten die hoch lichtreflektierenden Materialien einen recht weiten Bereich für die Wahl der Dielektrizitätskonstante. So besitzt z.B. Bariumtitanatpulver eine Dielektrizitätskonstante von einigen Tausend und darüber, und diejenigen von Titanoxid liegt bei einer Größenordnung von zehn. Der Impedanzwert der Mischschicht 100 kann also durch geeignete Wahl der Materialien und Veränderung ihres Volumenverhältnisses im Gemisch in einem weiten Bereich gewählt werden.
Zwar ist die Beschreibung im Hinblick auf den Betrieb mit einer Wechselstromquelle bzw. Wechselspannungsquelle durchgeführt, jedoch können die Spannungen Vx und V2 auch Gleichspannungen sein, wenn die Elektrolumineszenzschicht 3 aus einem aufgedampften Film besteht, wie z.B. ZnS, das mit Mn oder einem anderen Element aktiviert ist, da eine solche Schicht bei Gleichstrom luminesziert. Auch in diesen Fällen müssen natürlich die verschiedenen Schichten des Festkörperbildwandlers eine geeignete Leitfähigkeit aufweisen, so daß der Durchfluß eines mehr oder weniger starken Gleichstroms möglich ist. Dies ist durch richtige Wahl der Materialien einschließlich der Bindemittel für die Schichten oder durch geeignetes Steuern ihrer Volumenverhältnisse erzielbar, oder auch durch Zusatz eines Materials bzw. Materialien mit geeignet niedrigem Widerstand.
Fig. 2 zeigt eine Ausführungsform, die sich insbesondere zur Verwendung bei Strahlungsenergie in Form von Elektronenstrahlbildern eignet. Ein Festkörperbildwandler 200 hat eine Stromquelle 300 zum Anlegen der Spannungen V1 und V2 und ist in einen Glaskolben 400 eingeschlossen, der der Bildröhre in einem Fernsehapparat entspricht und zwar an der Stelle, die dem Bildschirm eines Fernsehapparates entspricht. Eine Elektronenkanone 401 sendet ein Elektronenbündel E1 aus, das durch ein elektrisches Signal S moduliert wird und durch eine Ablenkspule 402 über den Schirm geführt wird.
Wenn bei Anlegen der Spannungen V1 und V2 ein Elektronenbündel E1 auf die zweite Elektrode 7 gerichtet wird, die beispielsweise aus einem aufgedampften Aluminiumfilm besteht und durchlässig gegenüber dem Elektronenbündel ist, dann erregt das die zweite Elektrode 7 durchdringende Elektronenbündel die Mischschicht 100. Diese strahlt bei Erregung Lichtenergie aus, die die photoleitende Schicht 5 erregt. Auf diese Weise ist der Lumineszenzausgang E2 der Elektrolumineszenzschicht 3 elektrisch steuerbar.
Wenn beispielsweise als elektrisches Signal S ein Videosignal zur Steuerung des Elektronenbündels E1 verwendet wird, kann dieses in ein sichtbares Bild umgewandelt werden, das auf der Seite der ersten Elektrode 2 der Anordnung erscheint.
Diese Ausführungsform arbeitet somit wie die herkömmlichen Fernsehbildröhren. Da sie einen viel höheren Verstärkungsfaktor aufweist, kann sie zufriedenstellend mit einem Elektronenbündel JE1 arbeiten, dessen Spannung und Stromstärke niedriger sind als bei jeder herkömmlichen Fernsehröhre, und mit einem Videosignal S, das schwächer ist als je zuvor. Zusätzlich ist das mit der Anordnung erzielte Ausgangsbild auf Grund seiner höheren Verstärkung heller.
Ein äußerst wichtiger Vorteil dieser Anordnung
besteht weiter darin, daß nicht nur Kontrast und Gammawert des Bildes durch Veränderung der Spannungen V1 und V2 frei steuerbar sind, wie oben beschrieben, sondern daß mit dem gleichen Signal 5 auch ein Ausgangsbild negativer oder kombiniert positiv—negativer Art durch Steuern von V1 und V2 erzielbar ist.
ίο Fig. 3 zeigt eine Ausführungsform, die sich insbesondere zur Verwendung bei einem Strahlungsenergiebild E1, wie z.B. einem Ultraviolettbild eignet, dessen Durchdringungsvermögen verhältnismäßig niedrig ist. Hier ist die Mischschicht 100 in eine Fluoreszenzschicht 101 und eine Impedanzschicht 102 aufgelöst.
In der nachstehenden Beschreibung wird vorausgesetzt, daß E1 ein Ultraviolettbild ist. Bei Erregung der Fluoreszenzschicht 101 kann diese nur an ihrem Oberflächenbereich lumineszieren, da das Ultraviolettbild E auf Grund des begrenzten Durchdringungsvermögens das Schichtinnere nicht gänzlich erregen kann. Aus diesem Grunde wird die Erregung der pho- ' toleitenden Schicht 5 durch die aus dem Oberflächenbereich der Fluoreszenzschicht 101 durchkommende Lichtenergie bewirkt. Eine derartige Erregung kann nicht ausreichend wirksam sein, weil die Lichtenergie während ihres Durchtritts durch das Material der Fluoreszenzschicht 101 durch Absorption teilweise verlorengeht. Um diese Erscheinung zu vermeiden, soll die Fluoreszenzschicht 101 außerordentlich dünn sein. Andererseits ist die Stärke der Fluoreszenzschicht 101 Begrenzungen auf Grund der Anforderungen der Impedanz und der dielektrischen Festigkeit unterworfen.
Dies kann durch Anordnung einer Lumineszenzlichtenergie übertragenden Impedanzschicht 102 zwischen der Fluoreszenzschicht 101 und der photoleitenden Schicht 5 verbessert werden. Die Impedanzschicht 102 besteht aus einer transparenten, verlustarmen dielektrischen Substanz, wie z. B. einem Polyesterfilm oder einem lichtdurchlässigen Emailglas. Durch diesen Aufbau kann den Schwierigkeiten hinsichtlich Impedanz und dieleketrischer Festigkeit begegnet werden, und die Fluoreszenzschicht 101 kann jede gewünschte Stärke besitzen. Die in der Fluoreszenzschicht 101 bei Erregung durch das Ultraviolettbild E1 erzeugte Lichtenergie durchdringt die Impedanzschicht 102 und erregt wirksam die photoleitende
so Schicht 5.
Durch Verwendung der zusammengesetzten Schicht an Stelle der Mischschicht 100 kann jedes Ultraviolettbild E1 in sichtbare Bilder E2 unterschiedlicher Art durch Steuern der Spannungen V1 und V2 umgewandelt oder verstärkt werden, obgleich eine derartige Bildumwandlung mit einer aus lichtelektrisch leitendem Material, wie CdS: Cu, Cl bestehenden photoleitenden Schicht 5 nicht möglich ist. Bei dieser Ausführungsform besteht die zweite Elektrode 7 aus einer Basis- bzw. Trägerplatte, wie z. B. einer Quarzplatte 14, die in diesem Beispiel gegenüber Ultraviolettstrahlen strahlungsenergiedurchlässig ist und einem elektrisch leitenden Film aus Zinnoxid oder ähnlichem Material, der in Form einer Schicht auf die Quarzplatte 14 aufgebracht ist.
Die dritte Elektrode 6 dieser Ausführungsform umfaßt eine Anordnung von unter Abstand untereinander angeordneten parallelen Metalldrähten und ei-
nem leitfähigen Streifen 17, an die von einer Wechselstromquelle 8 eine Spannung V1 angelegt wird.
Die Anordnung gemäß Fig. 3 umfaßt auch eine Zwischenschicht 13, die zwischen der Lichtabschirmschicht 4 und der elektrolumineszierenden Schicht 3 angeordnet ist. Die Zwischenschicht 13 ist derart beschaffen, daß sie einen dielektrischen Zusammenbruch zwischen den Elektroden 2 und 6 verhindert und dabei das Licht von der Elektrolumineszenzschicht 3 reflektiert und dadurch die Helligkeit des sichtbaren Ausgangsbildes E2 verstärkt. Die Zwischenschicht 13 kann durch Verdampfen einer weißen, stark dielektrischen Substanz mit einem hohen Reflexionsfaktor und einer hohen dielektrischen Festigkeit, z.B. Titanoxid oder Bariumtitanat erzielt werden. Die Stärke der Zwischenschicht 13 ist derart bestimmt, daß sie eine Impedanz ergibt, die niedriger ist als diejenige der Elektrolumineszenzschicht 3, um somit den Spannungsverlust zu vermindern.
Die als Entladungselektrode dienende Drahtgitter-Elektrode 6 besteht aus Wolfram- oder anderen Metalldrähten mit einer Stärke von rund 10 bis 150 μπι, die unter regelmäßigem Abstand von ungefähr 250 bis 700 μΐη angeordnet und nötigenfalls mit Gold plattiert sind. In der gezeigten Ausführungsform besteht die Elektrode 6 aus dünnen Wolframdrähten mit einer Dicke von rund 10 μπι und ist in der Mitte der verhältnismäßig starken photoleitenden Schicht 5 bei rund 80 μΐη eingelagert.
Selbstverständlich ist diese Ausführungsform unter den gleichen Prinzipien bei Strahlungsenergie E1 in Form von Röntgenstrahlen, Gammastrahlen oder ähnlichen Strahlungsarten mit hohem Durchdringungsvermögen verwendbar. Bei Elektronenstrahlen sind zufriedenstellende Ergebnisse erzielbar, wenn die Quarzplatte 14 weggelassen wird und die Elektrode 7 durchlässig gegenüber einem Elektronenstrahl ausgebildet ist, z. B. die Form eines aufgedampften Aluminiumfilms aufweist.
F i g. 4 zeigt eine weitere Ausführungsform, die sich insbesondere für Strahlungsenergieformen mit hohem Durchdringungsvermögen, wie z.B. Röntgenstrahlen und Gammastrahlen eignet. Bei dieser Ausführungs-, \ form ist die Mischschicht 100 ebenfalls in eine zusammengesetzte Schicht aufgelöst, ihr Aufbau unterscheidet sich jedoch von demjenigen gemäß Fig. 3. In F i g. 3 wird nämlich die photoleitende Schicht durch Lichtstrahlen erregt, die die Impedanzschicht 102 durchdrungen haben. In diesem Falle werden die Lichtstrahlen häufig in einem solchen Ausmaß in der Impedanzschicht 102 gestreut, daß das Ausgangsbild E2 verschwommen wirkt.
Dieser Nachteil wird durch die Ausführungsform gemäß F i g. 4 dadurch beseitigt, daß unmittelbar auf die Oberfläche der photoleitenden Schicht 5 eine Fluoreszenzschicht 101 aufgebracht wird. Eine strahlungsenergiedurchlässige Hilfs-Impedanzschicht 103 ist, wie aus der Zeichnung ersichtlich, zwischen die zweite Elektrode 7 und die Fluoreszenzschicht 101 eingebracht, um die Charakteristiken der dielektrischen Festigkeit und der Impedanz der Anordnung zu verbessern. Die Impedanzschicht 103 besteht aus einer röntgenstrahlendurchlässigen dielektrischen Substanz, wie z.B. Polyester oder einem anderen Kunststoffilm oder Emailglas.
Die zweite Elektrode 7 ist eine lichtreflektierende röntgenstrahlendurchlässige Elektrode, auf die ein Aluminium- oder ein anderer Metallfilm oder eine Aluminium- bzw. eine andere dünne Metallfolie aufgeklebt ist. Es kann auch ein elektrisch leitender Film aus einem Metalloxid, wie z. B. Zinnoxid verwendet sein, der auf eine dünne Basisplatte aus Glas aufgebracht ist.
Zusätzlich kann der Impedanzschicht 103 eine geeignete Lichtreflexion erteilt werden, um den Ausnutzungsfaktor der aus der Fluoreszenzschicht 101 kommenden Lichtenergie zu vergrößern. Die Impedanzschicht 103 kann als Strahlungsenergie durchlässig und zusätzlich Fluoreszenzenergie reflektierend gemacht werden. So sollte bei Verwendung mit Röntgenstrahlenbildern die Schicht 103 zumindest eine stark lichtreflektierende Substanz enthalten. Ein Beispiel hierfür ist eine einzige Schicht aus Magnesiumoxid oder ähnlichem Material, die auf die Fluoreszenzschicht 101 aufgebracht ist. Eine Abwandlung weist die Form einer Mischschicht auf, die ein feines Pulver aus Zinksulfid, Titanoxid, Bariumtitanat oder ein ähnliches Gemisch einschließt, das mit einem Bindemittel, wie Epoxyharz oder einem anderen Kunststoff oder Emailglas vermischt ist.
Bei diesen Ausführungsformen ist die von der-Fluoreszenzschicht 101 herkommende Lichtenergie nur einem äußerst verringerten Lichtzerstreuungseffekt unterworfen und ist mit gutem Erfolg in der photoleitenden Schicht 5 verwendbar, so daß ein klares und abgegrenztes Ausgangsbild E2 entsteht, weil es unmittelbar durch die Impedanzschicht 103 in Richtung auf die photoleitende Schicht 5 reflektiert wird. Diese Impedanzschicht 103 ist selbstverständlich durchlässig gegenüber Röntgenstrahlen, da sie gewöhnlich recht dünn ausgebildet sind.
Die Verwendung der Impedanzschicht 103 ist auch vom Standpunkt der Steuerung ihres Impedanzwertes dahingehend vorteilhaft, daß für die Schicht leicht ein geeigneter Impedanzwert gewählt werden kann, während ihre dielektrische Festigkeit durch geeignete Wahl der Schichtstärke und - im Falle einer Mischschicht- der spezifischen Dielektrizität und des Volumenverhältnisses der pulverförmigen Materialien zur Bildung der Schicht verbessert wird.
Das in Fig. 4 dargestellte Stromzuführungssystem -eignet sich insbesondere zur Steuerung der Betriebs-Charakteristiken des Festkörperbildwandlers mit Gleichstrom über einen weiten Bereich, wobei deren Empfindlichkeit verbessert wird, falls die Anordnung eine photoleitende Schicht 5 in Form einer Mischschicht umfaßt, die ein lichtelektrisch leitendes PuI-vermaterial, wie z. B. CdS: Cu, Cl und ein Bindemittel, wie Epoxyharz, umfaßt und durch eine Wechsel-Stromquelle 300 gesteuert wird.
Die dritte Elektrode 6 besteht aus einer Anordnung aus elektrisch leitenden Metall- oder ähnlichen -Streifen oder Metalldrähten. In F i g. 4 ist die Elektrode 6 als eine Elektrode dargestellt, die Metalldrähte umfaßt und in der lumineszierenden Impedanzschicht 100 eingelagert ist und in elektrischem Kontakt mit der lichtelektrisch leitenden Schicht 5 gehalten ist. Die Drähte der dritten Elektrode 6 sind abwechselnd mit leitenden Streifen 71 und 72 verbunden und bilden somit zwei gegenseitig isolierte Elektroden, die über einen die Polarität wechselnden Schalter 15 an eine veränderliche Stromquelle 16 und über Gleichstrom blockierende Kondensatoren C1 und C2 und einen Leiter 10 an eine Wechsel-Stromquelle 300 angeschlossen sind. Die Kapazität der Kondensatoren C1 und C2 sollte groß genug sein, um ihre Wechselstrom-
impedanz zu verringern.
Wie aus der Zeichnung ersichtlich, legt die Wechsel-Stromquelle 300 eine Wechselspannung F1 an die Leiter 9 und 10 und eine weitere Wechselspannung F2 an die Leiter 9 und 12. Hierbei wird eine Wechselspannung F1 an die dritte Elektrode 6 und die erste Elektrode 2 angelegt, und eine Gleichspannung VB an die beiden Sätze abwechselnder Elemente in der dritten Elektrode 6 (in der Ebene der photoleitenden Schicht 5, die sich rechtwinklig zu derjenigen Richtung erstreckt, in der die Röntgenstrahlenenergie E1 aufgestrahlt wird).
Die Wechselstrom-Empfindlichkeit der photoleitenden Schicht, die, wie vorstehend beschrieben, aus einem Gemisch eines lichtelektrisch leitenden Pulvers, wie CdS: Cu, Cl, und eines Bindemittels besteht, nimmt mit steigender Frequenz ab, und zwar auf Grund der fehlenden Proportionalität ihrer Spannungs-Strom-Charakteristik und der innewohnenden Wechselstromabhängigkeit. Diese Abnahme der lichtelektrischen Wechselstrom-Empfindlichkeit kann durch Verwendung einer Steuergleichspannung verbessert werden.
Andererseits hängen die Empfindlichkeit, die Betriebscharakteristiken, der Kontrast und der Gammawert bei dem Festkörperbildwandler gemäß Fig. 4 von der Empfindlichkeit in einer Ebene ab, die senkrecht zu derjenigen Richtung verläuft, in der E1 aufgestrahlt wird. Aus diesem Grunde können diese Eigenschaften der Anordnung durch Verwendung einer von der veränderlichen Gleichstromquelle 16 ausgehenden Gleichspannung VB veränderlich gestaltet werden, um die Wechselstrom-Empfindlichkeit steuerbar in einer Ebene zu erhöhen, die senkrecht zur Richtung der Strahlung E1 verläuft. Der Veränderungsbereich der Betriebscharakteristiken vergrößert sich mit zunehmender Frequenz der Spannungen V1 und F2.
Bei der positiven, V-förmigen und negativen Betriebsweise der Anordnung, die durch Steuerung von F1 und F2 in der in bezug auf Fig. 1 beschriebenen Weise erzielt wird, hat das Anwachsen von VB die Verschiebung der Betriebscharakteristiken in einer Richtung zur Folge, in der die Bestrahlungsintensität der Eingangsstrahlungsenergie abnimmt und dabei die Empfindlichkeit, der Kontrast und der Gammawert erhöht wird. Ein bedeutender Vorteil ergibt sich dahingehend, daß der Veränderungsbereich beim Betrieb der Anordnung der durch Steuerung der Amplitude und des Phasenverhältnisses von F1 und F2 erzielbar ist (einschließlich des Falles, wo F1 oder F2 auf Null vermindert werden) unter der Steuerung der Gleichspannung VB weiterhin vergrößerbar ist.
Andererseits ist die Verwendung einer photoleitenden Schicht aus miteinander verbundenem Pulvermaterial für einige Anwendungsformen sehr unerwünscht, weil selbst nach beendeter Aufstrahlung des Strahlungsenergiebildes die Reaktionsgeschwindigkeit derart begrenzt ist, daß für eine Zeitspanne von mehreren Sekunden bis mehrere Minuten ein Restbild entsteht. Unter Nutzbarmachung einer besonderen Erscheinung bei dieser Art photoleitender Schicht kann das Restbild durch Wechseln der. Polarität der gerade an den untereinander verbundenen Elektroden 6 anliegenden Gleichspannung VB schnell gelöscht werden, wodurch die Polarität des Gleichspannungsfeldes, in dem die photoleitende Schicht 5 liegt, umgekehrt wird. Für diesen.Zweck ist der Polaritäts-Umschalter 15 vorgesehen. Das Stromzuführungssystem gemäß Fig. 4 weist somit den Vorteil auf, daß nicht nur die Betriebscharakteristik der Sichtanordnung über einen größeren Bereich hinweg veränderlich gestaltet werden kann, sondern auch das Restbild leicht löschbar ist.
Zwar weist in der vorstehenden Beschreibung die Mischschicht 100 immer ein oder zwei Schichten auf, sie kann jedoch die Form einer zusammengesetzten Schicht mit mehr als zwei Elementarschichten besit-
zen.
Hierzu 1 Blatt Zeichnungen

Claims (6)

Patentansprüche:
1. Festkörperbildwandler, bei dem auf einer lichtdurchlässigen Trägerplatte eine lichtdurchlässige, erste Elektrode aufgebracht ist, darauf eine Elektrolumineszenzschicht, auf dieser eine Zwischenschicht und eine lichtundurchlässige Lichtabschirmschicht, an die sich eine photoleitende Schicht anschließt, mit der sich eine dritte Elektrode in elektrischem Kontakt befindet, welche aus elektrisch leitfähigen Drähten, Bändern oder einem Gitter bestehen kann, die entweder gemeinsam mit einem äußeren Anschluß oder jeweils abwechselnd mit zwei verschiedenen leitenden Streifen verbunden sind, mit einer auf der photoleitenden Schicht und der dritten Elektrode angeordneten Impedanzschicht, auf der ihrerseits eine strahlungsdurchlässige, zweite Elektrode angebracht ist, sowie mit einer Spannungsversorgung zum Anlegen von Gleich- oder Wechselspannungen V1 zwischen die erste und dritte Elektrode und V2 zwischen die erste und zweite Elektrode, dadurch gekennzeichnet,daß die Impedanzschicht als eine 20 bis 200 μτη starke Mischschicht (100) ausgebildet ist, die unter Einwirkung der sichtbar zu machenden Strahlung in einem Spektralbereich fluoresziert, der etwa beim Empfindlichkeitsmaximum der photoleitenden Schicht liegt.
2. Festkörperbildwandler, bei dem auf einer lichtdurchlässigen Trägerplatte eine lichtdurchlässige, erste Elektrode aufgebracht ist, darauf eine Elektrolumineszenzschicht, auf dieser eine Zwischenschicht und eine lichtundurchlässige Lichtabschirmschicht, an die sich eine photoleitende Schicht anschließt, mit der sich eine dritte Elektrode in elektrischem Kontakt befindet, welche aus elektrisch leitfähigen Drähten, Bändern oder einem Gitter bestehen kann, die entweder gemeinsam mit einem äußeren Anschluß oder jeweils abwechselnd mit zwei verschiedenen leitenden Streifen verbunden sind, mit einer auf der photoleitenden Schicht und der dritten Elektrode angeordneten Impedanzschicht, auf der ihrerseits eine strahlungsdurchlässige, zweite Elektrode angebracht ist sowie mit einer Spannungsversorgung zum Anlegen von Gleich- oder Wechselspannungen V1 zwischen die erste und dritte Elektrode und V2 zwischen die erste und zweite Elektrode, dadurch gekennzeichnet, daß zwischen der Impedanzschicht (102) aus einer transparenten Substanz mit geringen dielektrischen Verlusten und der strahlungsdurchlässigen, zweiten Elektrode (7) eine Fluoreszenzschicht (101) eingefügt ist, die unter Einwirkung der sichtbar zu machenden Strahlung in einem Spektralbereich fluoresziert, der etwa beim Empfindlichkeitsmaximum der photoleitenden Schicht (5) liegt.
3. Festkörperbildwandler nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Impedanzschicht (102) aus Polyesterfilm oder Emailglas besteht.
4. Festkörperbildwandler nach Anspruch 2 oder 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Impedanzschicht (103) ein stark lichtreflektierendes Material enthält.
5. Festkörperbildwandler nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Impedanzschicht
(103) Magnesiumoxid enthält.
6. Festkörperbildwandler nach einem der Ansprüche 2 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß zwischen der dritten Elektrode (6) und der zweiten Elektrode (7) mehr als zwei einander abwechselnde Fluoreszenz- und Impedanzschichten angeordnet sind.
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