DE1447975A1 - Verfahren zur Herstellung von Photokopiedacken - Google Patents

Verfahren zur Herstellung von Photokopiedacken

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Germany
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sulfonic acid
diazide
photocopies
naoh
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Pending
Application number
DE19651447975
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German (de)
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Inventor
Klaus Rademacher
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Alcatel Lucent Deutschland AG
Original Assignee
Standard Elektrik Lorenz AG
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Publication date
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Pending legal-status Critical Current

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    • G—PHYSICS
    • G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/004—Photosensitive materials
    • G03F7/022—Quinonediazides

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  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
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EP0472936A3 (en) * 1990-08-02 1992-08-19 Kanegafuchi Kagaku Kogyo Kabushiki Kaisha Process for modifying surfaces
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