DE1386145U - - Google Patents

Info

Publication number
DE1386145U
DE1386145U DENDAT1386145D DE1386145DU DE1386145U DE 1386145 U DE1386145 U DE 1386145U DE NDAT1386145 D DENDAT1386145 D DE NDAT1386145D DE 1386145D U DE1386145D U DE 1386145DU DE 1386145 U DE1386145 U DE 1386145U
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
mirror
mirrors
light
smooth surfaces
draws
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
DENDAT1386145D
Other languages
German (de)
English (en)
Publication of DE1386145U publication Critical patent/DE1386145U/de
Active legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Optical Elements Other Than Lenses (AREA)
DENDAT1386145D Active DE1386145U (OSRAM)

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DE1386145U true DE1386145U (OSRAM)

Family

ID=698195

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DENDAT1386145D Active DE1386145U (OSRAM)

Country Status (1)

Country Link
DE (1) DE1386145U (OSRAM)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE69813126T2 (de) Vier-Spiegel Projektionsoptik für extremes UV
DE69424246T2 (de) Optisches Konfokalsystem für Dickenmessungen an einer Halbleiterscheibe mit einem Muster
EP0290733A1 (de) Kombinierte Hellfeld-Dunkelfeld-Auflichtbeleuchtungseinrichtung
DE1386145U (OSRAM)
DE102018207277A1 (de) Lithografiemaske, optisches System zur Übertragung von Original Strukturabschnitten der Lithografiemaske sowie Projektionsoptik zur Abbildung eines Objektfeldes, in dem mindestens ein Original-Strukturabschnitt einer Lithografiemaske anordenbar ist
WO2017080937A1 (de) Abbildende optik zur abbildung eines objektfeldes in ein bildfeld sowie projektionsbelichtungsanlage mit einer derartigen abbildenden optik
DE10151309A1 (de) Projektionsbelichtungsanlage der Mikrolithographie für Lambda <200 nm
DE2660987C2 (de) Auflichtbeleuchtungssystem für ein Mikroskop
DE2413504A1 (de) Beleuchtungssystem fuer mikroskope
JP5654735B2 (ja) 結像光学器械及びその結像光学器械を含む投影露光装置
US1995599A (en) Illuminating device for microscopes
DE102022205273B3 (de) Beleuchtungssystem, Projektionsbelichtungsanlage und Projektionsbelichtungsverfahren
DE102016217737A1 (de) Optisches System für die Mikrolithographie
DE954428C (de) Einrichtung zur Anzeige von Zugnummern od. dgl. im Eisenbahnsicherungswesen
DE485798C (de) Sphaerisch, komatisch, chromatisch und astigmatisch korrigiertes Objektiv fuer Photographie
DE1528860U (OSRAM)
DE3425674C2 (de) Dunkelfeld-Beleuchtungssystem
DE937671C (de) Mikroskopkondensor
DE202007007786U1 (de) Prüfkörper für optische Messeinrichtungen
DE703865C (de) Diaeinrichtung an Laufbildwerfern
DE603839C (de) Bildumkehrendes Prismensystem
DE1403161U (OSRAM)
DE1401949U (OSRAM)
CH100227A (de) Apparat zur diaskopischen und episkopischen Projektion.
DE436596C (de) Mikroskopische Vergleichsvorrichtung