DE1266937B - Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung einer unmittelbar mit einer Glasschicht durch Pressdruck verbundenen Metallfolie - Google Patents

Description

BUNDESREPUBLIK DEUTSCHLAND

DEUTSCHES

PATENTAMT

AUSLEGESCHRIFT

Int. Cl.:

C03c

Deutsche KL: 32 b - 27/02

Nummer: 1 266 937

Aktenzeichen: E 22515 VI b/32 b

Anmeldetag: 8. März 1962

Auslegetag: 25. April 1968

Die Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Vorrichtung eines für eine gedruckte Schaltung geeigneten plattenförmigen Elementes aus einer unmittelbar mit einer mikrokristallinen Glasschicht durch Preßdruck verbundenen Metallfolie.

Es ist bereits ein Verfahren zum Verschmelzen eines Glases mit einem metallischen Element bekannt, wobei die Verbindung unter Vakuum hergestellt wird. Es ist weiterhin ein Verfahren bekannt, wobei auf eine erhitzte metallische Grundplatte ein Glasüberzug aufgeschmolzen und dann auf dessen Oberfläche eine Metallfolie aufgepreßt wird. Anschließend wird die Metallfolie abgezogen. Hierdurch sollen dünne, gleichmäßig starke Glasschichten auf der Metallgrundplatte hergestellt werden. Die so hergestellten, aus Glasschichten und Metallschichten bestehenden Elemente sind jedoch für gedruckte Schaltungen ungeeignet. Einerseits weisen nämlich hierbei die Metallschichten in der Regel eine wesentlich größere Stärke auf als die Glasschichten, während zur Herstellung gedruckter Schaltungen umgekehrt relativ starke Isolierstoffträgerplatten mit einer dünnen Metallschicht darauf benötigt werden, andererseits sind aber die Glasschichten als Trägerplatten für gedruckte Schaltungen wenig geeignet, da sie eine nur geringe mechanische Festigkeit aufweisen und zu zerbrechlich sind.

Es ist ferner bekannt, vorgeformte Teile aus Glas, Metall und/oder Keramik unter Verwendung von entglastem Glas als Verbindungsmasse miteinander zu verbinden. Das entglaste Glas dient hierbei lediglich als Kitt.

Es ist ferner bekannt, als Grundplatten für gedruckte Schaltungen Keramikplatten zu verwenden. Die für die Herstellung der gedruckten Schaltung auf der Keramikplatte benötigte Metallschicht wird hierbei mit der Keramikplatte verkittet.

Der hier verwendete Ausdruck »gedruckte Schaltung« ist in der Technik bekannt. Der Ausdruck bedeutet nicht, daß ein Druckarbeitsgang ausgeführt wird. Das gewünschte Muster der elektrischen Verbindungen kann z. B. durch Widerstandsätzung eines elektrisch leitenden Materials hergestellt werden, welches anfangs einen isolierenden Grundkörper bedeckt.

Es wird ein für eine gedruckte Schaltung geeignetes plattenförmiges Element aus einer unmittelbar mit einer Glasschicht verbundenen Metallfolie vorgeschlagen, wobei erfindungsgemäß die Glasschicht aus einem überwiegend mikrokristallinem entglasten Glaskeramikwerkstoff besteht.

Ein solches Element besitzt nach der Verarbeitung Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung einer unmittelbar mit einer Glasschicht durch
Preßdruck verbundenen Metallfolie

Anmelder:

The English Electric Company Limited, London

Vertreter:

Dipl.-Ing. C. Wallach, Patentanwalt,

8000 München 2, Kaufingerstr. 8

Als Erfinder benannt:
Peter William McMillan,
Brian Purdam Hodgson,
Stofford (Großbritannien)

Beanspruchte Priorität:

Großbritannien vom 10. März 1961 (8 791)

zu einer gedruckten Schaltung im Vergleich zu üblicherweise verwendeten gedruckten Schaltungen, deren Grundkörper aus organischen Verbundschichten gebildet sind, zahlreiche Vorteile. Insbesondere kann eine solche gedruckte Schaltungsplatte noch bei wesentlich höheren Temperaturen als die bekannten Schaltungsplatten eingesetzt werden, z. B. bis zu Temperaturen von etwa 300° C. Bei den bisher bekannten Schaltungsplatten, auch bei solchen aus keramischem Material, bei denen die Metallfolie mit Hilfe eines organischen Klebers mit der Keramikgrundplatte verbunden ist, tritt schon bei Temperaturen von 15O⁰C ein erheblicher Abfall der Haftfestigkeit zwischen der Metallfolie und der Grundplatte auf. Ein weiterer Vorteil des erfindungsgemäßen plattenförmigen Elementes besteht noch darin, daß die Haftfestigkeit im Gegensatz zu den Verhältnissen bei bekannten Trägerplatten von der Luftfeuchtigkeit nicht beeinträchtigt wird.

Zur Herstellung eines solchen plattenförmigen Elementes wird eine Metallfolie mit einer Glasschicht aus einem Glas, das geeignet ist, durch eine Wärmebehandlung in ein mikrokristallines, entglastes Glaskeramikmaterial übergeführt zu werden, verbunden und dieses Verbundelement einer Wärmebehandlung unterzogen, um die Glasschicht in ein entglastes Glaskeramikmaterial umzuwandeln.

Im folgenden werden Ausführungsbeispiele des Verfahrens zur Herstellung eines plattenförmigen

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Elementes gemäß der Erfindung an Hand der Zeich- Besteht die zu verbindende Metallkomponente nung beschrieben. In dieser veranschaulicht aus Kupfer oder Silber, so kann der Verbund zwi-F i g. 1 eine Ausführungsform des Verfahrens ge- sehen Metall und Glas durch Auflegen einer dünnen maß der Erfindung, Schicht aus Nickel auf das Kupfer oder Silber ver-F i g. 2 eine Abwandlung des Verfahrens nach 5 bessert werden. Die Stärke der Nickelschicht beträgt Fig. 1 und vorzugsweise 0,0025 bis 0,0125 mm und kann bis zu F i g. 3 eine zweite Ausführungsform des Verfah- 0,025 mm betragen. Sie kann durch Elektroplattierens gemäß der Erfindung. rung oder, falls das Metall Kupfer ist, dadurch auf-Zur Verwendung in Verbindung mit der Erfin- gebracht werden, daß ein flacher, zusammengesetzter dung sind folgende thermisch kristallierbare Glas- io Nickel-Kupfer-Block auf die gewünschte Folienzusammensetzungen geeignet: stärke gewalzt wird.

SiO₂ 50 bis 80 Gewichtsprozent ^..^Eine Jf^Sf Metallkomponente in Form einer

ZnO 5 bis 30 Gewichtsprozent *umen Metallfolie wird mit einer Glasschicht nach

Li₂O 5bis 15 Gewichtsprozent Fig. 1 m der folgenden Weise verbunden: _

P₂O₅ 1 bis 3 Gewichtsprozent ¹^ . ^Es J^{ird eme}. Stahl- oder Gußeisenform 10 mit

Al O 0 bis 3 Gewichtsprozent ^{einer dem} gewünschten Umriß der Platte entspre-

B₂O,³1:!:::::: Ο Ms 7 Gewichtsprozent f ^eiL^{den Fo]}f verwendet. Die Metallfolie 11 wird in

K₂O 0 bis 5 Gewichtsprozent die Form gelegt und an die Bodenflache angedruckt,

nLo 0 bis 5 Gewichtsprozent ^s° ^daß/^{m 8}^ Wameubragang zwischen der Folie

² 20 U und der Form 10 ermöglicht und dadurch das In bestimmten bevorzugten Zusammensetzungen Schmelzen der Folie verhindert wird, wenn das geist noch PbO in einem Bereich von 0,5 bis 30 Ge- schmolzene Glas in Berührung mit dieser steht. Die wichtsprozent vorhanden. Dicke der Metallfolie ist nicht kritisch; sie beträgt Aus dem obengenannten Bereich ergeben sich jedoch vorzugsweise zwischen 0,050 und 0,125 mm. Zusammensetzungen, die im entglasten Zustand 25 Auf die Mitte der Metallfolie 11 wird dann eine thermische Ausdehnungskoeffizienten besitzen, welche ausreichende Glasmenge 13 in schmelzflüssigem Zuim Bereich von 20 bis 400° C zwischen 135 und stand und mittels eines Stahlkolbens 14 auf die 175 · IO-⁷/⁰ C liegen und besonders brauchbar zur Metallfläche U zu einer dünnen Schicht aufgepreßt. Verbindung mit Kupfer und Silber sind. Die so gebildete Glas-Metall-Verbundplatte wird aus Zwei bevorzugte Zusammensetzungen haben die ₃₀ der Form herausgenommen und in einem Temperfolgende Zusammensetzung in Gewichtsprozent: ofen je nach der Glaszusammensetzung bei 450 bis Zusammensetzung A 600⁰C wenigstens 15 Minuten lang getempert, d.h.

einer* Wärmebehandlung unterzogen und anschließend

59,2 _mj_{t e}j_{ner n}j_cnt größeren Geschwindigkeit als 10° C

? ²'Ί 35 pro Minute auf Zimmertemperatur abgekühlt. In

~^ζ® 9,0 diesem Zustand ist das Glas durchsichtig und kann

•^2^ 2,0 begutachtet werden, um festzustellen, daß keine

P2O5 2,7 Hohlräume und andere Unvollkommenheiten, ins-

Thermischer Ausdehnungs- besondere an der Glas-Metall-Zwischenfläche, vor-

koeffizient (20 bis 400° C) .... 174-10-V⁰C 40 handen sind.

Zusammensetzung: B ^^e Geschwindigkeit dieser Arbeitsgänge ist ein

⁸ wichtiger Faktor, und zwar sowohl um ein Schmel-

SiO₂ 54,2 zen oder Verziehen der Metallfolie als Folge eines

ZnO 24,4 zu langen Kontaktes mit dem geschmolzenen Glas

Li₂O 9,0 ₄₅ als auch eine übermäßige Abkühlung der gepreßten

B₂O₃ , 5,0 Glasplatte als Folge einer zu langen Berührung des

Na₂O 5,0 Stahlkolbens zu verhindern, was zu einem Bruch des

Themischer Ausdehnungs- Glases führen könnte. Ein vollständiger Zyklus von

koeffizient (20 bis 400° C) .... 147 · IO-⁷/⁰ C ^der Einführung des geschmolzenen Glases bis zu der

50 Herausnahme der gepreßten Platte aus der Form

Die Zusammensetzung A hat somit einen thermi- sollte nicht langer als 60 Sekunden dauern; vorzugsschen Ausdehnungskoeffizienten, welcher gut zu dem weise wird er schneller ausgeführt,
des Kupfers (183 · 10~⁷/° C) und ausreichend zu Die Platte wird dann einer gesteuerten Wärmedem des Silbers (203 · IO"⁷/⁰ C) paßt. Der ther- behandlung unterworfen, welche, wenn die Metallmische Ausdehnungskoeffizient der Zusammen- ₅₅ folie aus Kupfer besteht, in einer Atmosphäre aus setzung B paßt ausreichend zu dem des Kupfers. handelsüblichem Stickstoff ausgeführt wird, um eine Eine weitere bevorzugte Zusammensetzung hat die übermäßige Oxydation des Metalls zu verhindern, folgenden Bestandteile in Gewichtsprozent: Wenn die Metallfolie aus Silber besteht, kann die Zusammensetzung C Wärmebehandlung in Luft ausgeführt werden.

60 Die Wärmebehandlung, durch welche das Glas in

59,2 ein vorherrschend kristallines Glaskeramikmaterial

14,0 umgewandelt wird, verläuft wie folgt:

^Ο ¹^l 1. Die Temperatur wird mit einer 10° C pro Mi-

„ ²Jr ^ nute nicht übersteigenden und vorzugsweise

P²Q · 27 ⁶S 3 bis 5° C pro Minute betragenden Geschwin-

^{2 s} ' digkeit bis zu einer ersten Haltetemperatur ge-

Thermischer Ausdehnungs- steigert, welche je nach der Glaszusammen-

koeffizient (20 bis 400° C) .... 170 ·10-⁷/° C setzung zwischen 450 und 600⁰C liegt und

mindestens 15 Minuten, vorzugsweise 1 Stunde lang, aufrechterhalten wird.

2. Die Temperatur wird dann weiter mit einer 10° C pro Minute nicht übersteigenden und vorzugsweise 3 bis 5° C pro Minute betragenden Geschwindigkeit bis zu einer zweiten Haltetemperatur gesteigert, welche je nach Glaszusammensetzung zwischen 700 und 900° beträgt und mindestens 15 Minuten, vorzugsweise 1 Stunde lang, aufrechterhalten wird.

3. Die Temperatur wird mit einer Abkühlungsgeschwindigkeit, die 10° C pro Minute nicht übersteigt, vorzugsweise 5° C pro Minute, auf Zimmertemperatur gesenkt.

Wenn es nicht erforderlich ist, die zusammen- ¹S gesetzten Platten in der Glasform zu prüfen, kann der Temperprozeß weggelassen werden, und die Platten können direkt von dem Formungsarbeitsgang in einen Ofen übergeführt werden, der auf der ersten Haltetemperatur des Wärmebehandlungszyklus gehalten wird. Nach Beendigung der Wärmebehandlung liegt eine glaskeramische Platte vor, mit deren einer Fläche die leitende Metallfolie verbunden ist. Die Metallfolie dieses Metall-Glaskeramik-Verbundelementes kann dann durch bekannte Mittel weggeätzt werden, um die gewünschte gedruckte Schaltung herzustellen.

Besondere Beispiele des Ausführungsverfahrens der Erfindung werden im folgenden beschrieben. Bei den ersten Beispielen wurde Glas der Zusammensetzung A mit einer Kupferfolie sowohl der Stärke 0,025 mm als auch der Stärke 0,050 mm verbunden. In jedem Fall wurde das Folienstück entfettet und durch Erhitzung in einer Gasflamme auf eine Temperatur von 600 bis 65O⁰C während einer 20 Sekünden nicht überschreitenden Zeit auf einer Fläche leicht voroxydiert. Auf diese Weise entstand auf der Kupferoberfiäche eine sehr dünne Schicht von schwarzem Kupferoxyd. Eine Mischung geeigneter Rohstoffe für die gewünschte Glaszusammensetzung wurde bei 1300⁰C in einem feuerfesten Schmelztiegel, der aus einem Material mit einem hohen Anteil von Zirkon besteht, geschmolzen, bis das Glas homogen und blasenfrei war. Die Temperatur des geschmolzenen Glases wurde dann auf 1250⁰C gesenkt; darauf wurde das Glas bei dieser Temperatur bis zum Erreichen eines thermischen Gleichgewichtszustandes stehengelassen. Die voroxydierte Kupferfolie wurde am Boden einer geeigneten Stahlform angedrückt, und eine geeignete Menge von geschmolzenem Glas wurde auf die Folie gegossen und mittels eines Kolbens schnell gepreßt. Die so gebildete zusammengesetzte Glas-Metall-Platte wurde schnell in einen auf 480° C gehaltenen Temperofen übergeführt. Diese Temperatur wurde 1 Stunde lang aufrechterhalten. Darauf wurde der Ofen mit einer maximalen Geschwindigkeit von 5° C pro Minute auf Zimmertemperatur abgekühlt. Nach der Begutachtung wurde die zusammengesetzte Platte in einer gesteuerten Stickstoffatmosphäre wie folgt wärmebehandelt, um die Entglasung des Glases zu bewirken:

1. Die Temperatur wurde bei einer Geschwindigkeit von 5° C pro Minute auf 500° C pro Minute gesteigert und bei diesem Wert 1 Stunde lang aufrechterhalten.

2. Die Temperatur wurde weiter mit 3° C pro Minute auf 850° C gesteigert und bei diesem Wert 1 Stunde lang aufrechterhalten.

3. Die Temperatur wurde mit einer 5⁰C pro Minute nicht überschreitenden Geschwindigkeit auf Zimmertemperatur abgekühlt.

Es wurde gefunden, daß die Kupferfolie durch diesen Prozeß fest mit der entglasten Glasplatte verbunden wurde. Die Verbundelemente eigneten sich zur Verarbeitung zu gedruckten Schaltungen durch die Verwendung üblicher Ätzverfahren.

Bei einem weiteren besonderen Beispiel wurden 0,025 bis 0,125 mm starke Stücke einer Kupferfolie, welche durch einen Walzprozeß mit einer Nickelschicht von 0,0025 bis 0,0050 mm bedeckt war, zunächst entfettet und dann durch Heizen bei 930° C in Stickstoff, der bei Zimmertemperatur mit Wasserdampf gesättigt ist, während einer Zeit bis zu 5 Minuten je nach der Größe der Folie voroxydiert. Auf diese Weise wurde eine haftende Schicht von grünem Nickeloxyd auf der Nickeloberfläche gebildet, während die Oberfläche des Kupfers im wesentlichen frei von Oxyd blieb. Eine Mischung geeigneter Rohstoffe nach der Glaszusammensetzung C wurde bei 1300° C in einem Schmelztiegel aus feuerfestem keramischem Material mit einem hohen Anteil an Zirkon geschmolzen, bis das Glas homogen und blasenfrei war. Die Temperatur des Glases wurde dann auf 1250° C gesenkt, und das Glas wurde bis zum Erreichen des thermischen Gleichgewichtes bei dieser Temperatur stehengelassen. Die voroxydierte Folie wurde am Boden einer geeigneten Stahlform, wie in F i g. 1 dargestellt, angedrückt, wobei die Nickeloberfläche zuoberst lag. Danach wurde eine geeignete Menge geschmolzenen Glases auf die Folie gebracht und mittels eines Kolbens schnell gepreßt. Die so gebildete zusammengesetzte Metall-Glas-Platte wurde in einen auf 480° C gehaltenen Temperofen übergeführt. Diese Temperatur wurde 1 Stunde lang aufrechterhalten; darauf wurde der Ofen mit einer maximalen Geschwindigkeit von 5⁰C pro Minute auf Zimmertemperatur abgekühlt. Nach Begutachtung und Zurechtschneiden wurde die zusammengesetzte Platte in einer Stickstoffatmosphäre in der folgenden Weise wärmebehandelt, um die Entglasung des Glases zu bewirken:

1. Die Temperatur wurde mit einer Geschwindigkeit von 5° C pro Minute auf 500° C gesteigert und bei diesem Wert 2 Stunden lang gehalten.

2. Die Temperatur wurde bei 2 bis 3° C pro Minute weiter auf 725° C gesteigert und bei diesem Wert 1 Stunde lang gehalten.

3. Die Temperatur wurde mit einer 5° C pro Minute nicht überschreitenden Geschwindigkeit auf Zimmertemperatur gesenkt.

Es wurde gefunden, daß das so hergestellte Metall-Glaskeramik-Verbundelement eine gute Haftung zwischen der nickelüberzogenen Kupferkomponente und der entglasten Glaskomponente zeigte.

Der Standard-Schälfestigkeitstest ergab einen Wert von etwa 2 kg/cm. Für gedruckte Schaltungen mit einem Phenol-Harz-Verbundpapiergrundkörper, wie er bisher verwendet wurde, ist eine Schälfestigkeit von 1 bis 1,5 kg/cm typisch.

Bei dem erwähnten Test wird ein 2,5 cm breiter Streifen der Folie zunächst auf einem kurzen Stück abgeschält und dann im rechten Winkel zu dem Grundkörper hochgebogen. Darauf wird an das Ende der Folie eine anwachsende Last angelegt, welche

Claims (3)

7 8 einen rechten Winkel mit dem Grundkörper bildet. 4. Verfahren nach Anspruch 2 oder 3, dadurch Die Last, die erforderlich ist, damit die Folie sich gekennzeichnet, daß die Metallfolie wenigstens abzuschälen beginnt, wird gemessen. Das Ergebnis auf dem Teil, auf dem das mikrokristalline Glas wird in kg/cm ausgedrückt. hergestellt werden soll, mit einem Nickelüberzug Eine reine Nickelfolie kann in der gleichen Weise, 5 versehen wird. wie das für die nickelverkleidete Kupferfolie be- 5. Verwendung eines Glases zur Durchführung schrieben wurde, verbunden werden. Die Haftung des Verfahrens nach einem der Ansprüche 1 dieser Folie ist auch gut; sie besitzt eine Schälfestig- bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß es folgende keit von etwa 1,8 kg/cm. Zusammensetzung in Gewichtsprozent aufweist: Bei einer abgewandelten Ausführungsart des Preß- io ^q ^o bis 80 Verfahrens nach Fig. 1, welche in Fig. 2 veran- ^nO 5 bis 30 schaulicht ist, wird die Metallfolie in eine Form 20 ^q 5 bis 15 mit einem porösen Grundkörper 22 eingesetzt. Der ρ ^ 1 bis 3 Grundkörper kann aus einer mit einer großen An- Al O 0 bis 3 zahl feiner Bohrungen versehenen Stahlplatte be- 15 B 6 3 0 bis 7 stehen; oder er besteht aus einer gesinterten Metall- K2O* 0 bis 5 platte. Der Körper der Form 20 ist hohl und bei 25 Na 6 0 bis 5 mit einer Vakuumpumpe verbunden, so daß, wenn 2 die Metallfolie 21 auf dem porösen Grundkörper 22 6. Glas nach Anspruch 5, dadurch gekenn- angedrückt ist, sie in engen Kontakt mit diesem ge- 20 zeichnet, daß es 0,5 bis 30 Gewichtsprozent PbO saugt wird. Dadurch wird gewährleistet, daß die enthält. Folie während des Preßarbeitsvorganges flach bleibt. 7. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 Außerdem entsteht dadurch ein guter thermischer bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß das platten- Kontakt zwischen der Folie 21 und dem Grund- förmige Element einer Wärmebehandlung in der körper 22. Die weiteren Schritte bei diesem Ver- 25 folgenden Weise unterzogen wird: fahren sind identisch mit den oben beschriebenen. . . .no„ Eine weitere abgewandelte Ausführungsform des *· Erhöhung der Temperatur nut einer 10° C Verfahrens gemäß der Erfindung ist in Fig. 3 dar- Pr° M™ nicht _ überschreitenden Gegestellt. Dort wird an Stelle des Kolbens14 eine schwmdigkeit auf eme erste Haltetempera-Walze 34 verwendet. Diese Ausführungsform ist be- 30 ^Lo^^ Λ Be^lches von 450 bls sonders dort anwendbar, wo Platten mit einer grö- 600, ^ Je ™c\ 5 G1™m™ensetz™g ßeren Fläche, als sie zweckmäßig durch Pressen her- ™d Aufrechterhaltung dieser Temperatur gestellt werden können, erforderlich sind. Die Metall- ** ™™&™ ^ Minuten; folie 31 ist auf der Basis 32 des Walzgerätes ange- 2. Steigerung der Temperatur mit einer 10° C ordnet, welches wiederum mit Mitteln zum Ansaugen 35 pro Minute nicht überschreitenden Geder Folie —■ wie oben beschrieben — vorgesehen schwindigkeit auf eine zweite Haltetempesein kann. Eine ausreichende Menge schmelzflüssi- ratur in dem Bereich von 700 bis 900Q C je gen Glases 33 wird unmittelbar vor einer schweren nach der Glaszusammensetzung und Auf-Stahlwalze 34 auf die Folie gegossen. Die Stahlwalze rechthaltung dieser Temperatur für mindebewegt sich vorwärts, während das Glas gegossen 40 stens 15 Minuten und wird, und walzt das Glas zu einer dünnen Schicht 3_ Verringerung der Temperatur mit einer a™· Gleichzeitig druckt sie das Glas gegen die Me- 1Qo c pro Minute nicht überschreitenden tallfolie 31. Auch hier erfolgt der Arbeitsablauf Geschwindigkeit schnell, und die Metall-Glas-Verbundplatte wird nach Beendigung des Walzarbeitsganges schnell in 45 8. Vorrichtung zur Durchführung des Verfah- einen Temperofen (oder direkt zu dem Wärme- rens nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch behandlungsofen) übergeführt. Die anderen Schritte gekennzeichnet, daß die Preßform (20) eine mit des Verfahrens laufen so ab, wie oben beschrieben. einer Vakuumpumpe in Verbindung stehende poröse Grundplatte (22) aufweist, um die Metall- Patentansprucne: So folie (21) jn engem Kontakt mit der Grundplatte

1. Verfahren zur Herstellung einer unmittelbar zu halten (F i g. 2).

mit einer Glasschicht durch Preßdruck verbun- 9. Vorrichtung zur Durchführung des Verdenen Metallfolie für ein als gedruckte Schaltung fahrens nach einem der Ansprüche 1 bis 7, gegeeignetes plattenförmiges Element, dadurch kennzeichnet durch eine Stahlwalze (34) zum gekennzeichnet, daß die Glasschicht durch 55 Aufwalzen der dünnen Glasschicht auf die Me-Wärmebehandlung zu einem überwiegend mikro- tallfolie (F i g. 3). kristallinen Glaskeramikstoff umgewandelt wird.

2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß für die Metallfolie Kupfer In Betracht gezogene Druckschriften: oder eine Legierung auf Kupferbasis verwendet 60 Deutsche Patentschrift Nr. 1 085 305; wird. USA.-Patentschrift Nr. 2 424 353;

3. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch ge- schweizerische Patentschrift Nr. 242 311; kennzeichnet, daß für die Metallfolie Silber oder G. Seidel, »Gedruckte Schaltungen« (1959), eine Legierung auf Silberbasis verwendet wird. S, 37 und 57.

Hierzu 1 Blatt Zeichnungen

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