DE1248182B - Verfahren zur Herstellung einer beheizten Objektblende fuer Elektronenmikroskope - Google Patents

Verfahren zur Herstellung einer beheizten Objektblende fuer Elektronenmikroskope

Info

Publication number
DE1248182B
DE1248182B DEP32134A DEP0032134A DE1248182B DE 1248182 B DE1248182 B DE 1248182B DE P32134 A DEP32134 A DE P32134A DE P0032134 A DEP0032134 A DE P0032134A DE 1248182 B DE1248182 B DE 1248182B
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
conductors
diaphragm
plate
current
carrier
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
DEP32134A
Other languages
German (de)
English (en)
Inventor
Alvar Pietari Wilska
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Philips Electronics and Pharmaceutical Industries Corp
Original Assignee
Philips Electronics and Pharmaceutical Industries Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Philips Electronics and Pharmaceutical Industries Corp filed Critical Philips Electronics and Pharmaceutical Industries Corp
Publication of DE1248182B publication Critical patent/DE1248182B/de
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/02—Details
    • H01J37/04—Arrangements of electrodes and associated parts for generating or controlling the discharge, e.g. electron-optical arrangement or ion-optical arrangement
    • H01J37/09—Diaphragms; Shields associated with electron or ion-optical arrangements; Compensation of disturbing fields

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Electron Sources, Ion Sources (AREA)
  • Electron Beam Exposure (AREA)
DEP32134A 1962-07-05 1963-07-04 Verfahren zur Herstellung einer beheizten Objektblende fuer Elektronenmikroskope Withdrawn DE1248182B (de)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US207681A US3150257A (en) 1962-07-05 1962-07-05 Electron beam aperture plate

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DE1248182B true DE1248182B (de) 1967-08-24

Family

ID=22771562

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DEP32134A Withdrawn DE1248182B (de) 1962-07-05 1963-07-04 Verfahren zur Herstellung einer beheizten Objektblende fuer Elektronenmikroskope

Country Status (8)

Country Link
US (1) US3150257A (GUID-C5D7CC26-194C-43D0-91A1-9AE8C70A9BFF.html)
JP (1) JPS4933209B1 (GUID-C5D7CC26-194C-43D0-91A1-9AE8C70A9BFF.html)
BE (1) BE634510A (GUID-C5D7CC26-194C-43D0-91A1-9AE8C70A9BFF.html)
CH (1) CH413147A (GUID-C5D7CC26-194C-43D0-91A1-9AE8C70A9BFF.html)
DE (1) DE1248182B (GUID-C5D7CC26-194C-43D0-91A1-9AE8C70A9BFF.html)
FR (1) FR1362285A (GUID-C5D7CC26-194C-43D0-91A1-9AE8C70A9BFF.html)
GB (1) GB1057684A (GUID-C5D7CC26-194C-43D0-91A1-9AE8C70A9BFF.html)
NL (1) NL294850A (GUID-C5D7CC26-194C-43D0-91A1-9AE8C70A9BFF.html)

Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE1299498B (de) * 1964-07-24 1969-07-17 Steigerwald Strahltech Vorrichtung zur UEberwachung des Strahlauftreffbereichs in Korpuskularstrahl-Bearbeitungsgeraeten
DE2326279A1 (de) * 1973-05-23 1974-12-19 Siemens Ag Ionenstrahlschnellschaltung zur erzielung definierter festkoerperdotierungen durch ionenimplantation
FR2321976A1 (fr) * 1975-08-26 1977-03-25 Commissariat Energie Atomique Vanne d'isolement pour machine de soudage par bombardement electronique et machines munies d'une telle vanne
US4445041A (en) * 1981-06-02 1984-04-24 Hewlett-Packard Company Electron beam blanker
HK1220287A1 (zh) * 2013-03-15 2017-04-28 Glenn Lane Family Limited Liability Limited Partnership 可調節的質量分辨孔

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE1850497U (de) * 1958-05-21 1962-04-26 Akashi Seisakusho Vorrichtung zum reinigen der blende von elektronen-mikroskopen bzw. elektronen-beugungsgeraeten.

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2877353A (en) * 1954-07-14 1959-03-10 Gen Electric X-ray microscope
US3038993A (en) * 1958-05-21 1962-06-12 Masuda Tatsunosuke Aperture system for electron optical instrument

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE1850497U (de) * 1958-05-21 1962-04-26 Akashi Seisakusho Vorrichtung zum reinigen der blende von elektronen-mikroskopen bzw. elektronen-beugungsgeraeten.

Also Published As

Publication number Publication date
NL294850A (GUID-C5D7CC26-194C-43D0-91A1-9AE8C70A9BFF.html)
JPS4933209B1 (GUID-C5D7CC26-194C-43D0-91A1-9AE8C70A9BFF.html) 1974-09-05
GB1057684A (en) 1967-02-08
CH413147A (de) 1966-05-15
BE634510A (GUID-C5D7CC26-194C-43D0-91A1-9AE8C70A9BFF.html)
FR1362285A (fr) 1964-05-29
US3150257A (en) 1964-09-22

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CH355225A (de) Verfahren und Einrichtung zum Kontrollieren und Korrigieren der Lage des durch einen Kathodenstrahl erzeugten Brennflecks auf der Antikathode einer Röntgenröhre
DE2555744B2 (de) Magnetische linse
DE1248182B (de) Verfahren zur Herstellung einer beheizten Objektblende fuer Elektronenmikroskope
DE715021C (de) Elektrische Elektronensammellinse fuer Hochvakuumelektronenstrahlroehren
EP0036618B1 (de) Hochstrom-Elektronenquelle
DE3438987A1 (de) Auger-elektronenspektrometer mit hoher aufloesung
DE1222170B (de) Kathodenstrahlroehre mit zwischen dem Ablenksystem und dem Leuchtschirm angeordneten Mitteln zur Vergroesserung des Ablenkwinkels des Elektronenstrahls
DE10252778A1 (de) Wien-Filter zur Verwendung in einem Rasterelektronenmikroskop oder ähnlichem
DE930996C (de) Kathodenstrahlroehre
DE1299771B (de) Elektronenstrahlerzeugungssystem fuer eine parametrische Elektronenstrahlverstaerkerroehre
DE907325C (de) Elektronenmikroskop
DE754660C (de) Anordnung zur Vermeidung des Streuflusses einer magnetischen oder elektromagnetischen Linse, die zum Teil von einem Mantel aus ferromagnetischem Werkstoff umgeben ist
DE2138892C3 (de) Magnetische Elektronenlinse mit Raumladung und ihre Verwendung
DE1005199B (de) Strahlerzeugungssystem zur Erzeugung eines Elektronenstrahls grosser Stromdichte mittels magnetischer Fokussierung
EP0138264A2 (de) Farbbildwiedergaberöhre
AT143231B (de) Braunsche Röhre.
DE1134769B (de) Vorrichtung zur Kompensation des OEffnungsfehlers einer rotations-symmetrischen, raumladungsfreien elektronenoptischen Linse
DE920861C (de) Anordnung zur Ausuebung des Verfahrens zur Herstellung und Beobachtung eines UEbersichtsbildes geringer Vergroesserung in einem Elektronenmikroskop
DE1113044B (de) Herstellungsverfahren fuer Kaskaden-Bildverstaerker
DE2403627A1 (de) Konzentriervorrichtung fuer eine elektronenroehre
DE2138892B2 (de) Magnetische elektronenlinse mit raumladung und ihre verwendung
DE1018145B (de) Praezisions-Elektronenstrahloszillograph
DE1190588B (de) Elektrostatische Kathodenstrahlschreibroehre
AT148915B (de) Sammelvorrichtung für Elektronen.
DE1138166B (de) Verfahren zur Herstellung eines Elektrodenaufbaus fuer Kathoden-strahlroehren

Legal Events

Date Code Title Description
E77 Valid patent as to the heymanns-index 1977
EHJ Ceased/non-payment of the annual fee