DE1248182B - Verfahren zur Herstellung einer beheizten Objektblende fuer Elektronenmikroskope - Google Patents

Description

DEUTSCHES Mfljffi^ PATENTAMT Deutsche KL: 21g-37/10

AUSLEGESCHRIFT

Nummer: 1 248 182

Aktenzeichen: P 32134 VIII c/21 g

1248182 Anmeldetag: 4. Juli 1963

Auslegetag: 24. August 1967

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung einer aus einer Metallplatte bestehenden und mit zwei Stromleitern zur elektrischen Erwärmung versehenen Objektblende für Elektronenmikroskope.

Bei Elektronenmikroskopen befindet sich in der unmittelbaren Nähe des Objektes, das mit Elektronen bestrahlt wird, eine Blende zum Begrenzen des Querschnittes des Elektronenbündels. Streustrahlen und andere, meist als Randstrahlen bezeichnete Elektronenstrahlen, die nicht erheblich zum Erzeugen einer elektronenoptischen Abbildung des Objektes beitragen, werden von einer mit einer kleinen Öffnung versehenen Metallplatte aufgefangen. Es ist bekannt, die Öffnung in der Bewegungsrichtung der Elektronen zu erweitern, so daß die Öffnung im Längsschnitt kegelförmig ist und die Wandoberfläche der Öffnung nicht von Elektronen des Bündels getroffen wird.

Die Entstehung von Wandaufladungen muß bei einem Elektronenmikroskop sorgfältig vermieden werden. Sie sind die Ursache dafür, daß Elektronen von den vorgeschriebenen Bahnen abweichen und im elektronenoptischen Bild eine Verzeichnung herbeigeführt wird. Die Entstehung von Wandladungen wird im Mikroskopraum schwebenden Verunreinigungen zugeschrieben, die isolierend sind und die, nachdem sie an irgendeine Stelle gelangt sind, von Elektronen aufgeladen werden. Besonders schädlich sind Teilchen in der Nähe des Elektronenbündels, d.h. Teilchen, die auf die Blende und in deren Öffnung auftreffen. Bei der bekannten Blende mit kegelförmiger Öffnung sind die sich auf der Mantelfläche der öffnung absetzenden Teilchen zwar außerhalb des Bereiches der Elektronen im Bündel, aber vielleicht doch nicht völlig gegen Aufladung durch Sekundärelektronen gesichert, die aus dem von Elektronen getroffenen Teil der Blende entlang dem Rand der Öffnung ausgelöst werden.

Die Entfernung der sich anhäufenden Verschmutzung kann durch Erhitzen der Blende in einem Elektronenmikroskop bewirkt werden. Nach einer bekannten Ausbildung erfolgt die Erhitzung durch einen elektrischen Strom, wozu Stromleiter aus Wolfram vorgesehen sind und für die Blendenplatte Molybdän verwendet ist, wobei jeweils die Drähte mit der Blendenplatte verbunden sein sollen. In Anbetracht der geringen Blendendicke ist jedoch die gebräuchliche Befestigung durch Schweißen wenig geeignet.

Das Verfahren bezweckt, die sich ergebenden Schwierigkeiten zu vermeiden. Erfindungsgemäß wird ein Stromleiter parallel zu sich selbst zurückgebogen, dann wird der Schleifenteil des Stromleiters derart zu einer Platte verformt, daß eine Platte mit zwei Strom-Verfahren zur Herstellung einer beheizten
Objektblende für Elektronenmikroskope

Anmelder:

Philips Electronics and Pharmaceutical
Industries Co., New York, N.Y. (V. St. A.)

Vertreter:

Dr. H. Scholz, Patentanwalt,
Hamburg 1, Mönckebergstr. 7

Als Erfinder benannt:
Alvar Pietari Wilska,
Tucson, Ariz. (V. St. A.)

Beanspruchte Priorität:

V. St. v. Amerika vom 5. Juli 1962 (207 681)

leitern entsteht, und anschließend wird die Platte mit einer Durchlaßöffnung zur Bildung einer Blende versehen.

Die Zeichnung bezieht sich auf ein Ausführungsbeispiel, wobei

F i g. 1 einen die Objektblende einschließenden Teil eines Elektronenmikroskops und

F i g. 2 die Blende zeigt.

Der in F i g. 1 dargestellte Teil des Elektronenmikroskops besteht aus einem Objektiv, das eine Erregerspule 1 aufweist. Die Spule ist nahezu völlig von magnetischem Material umgeben. Ein Zylindermantel 2 schließt die Spule 1 auf dem Außenumfang ein, während ein Zylindermantel 3 sich in der Spulenöffnung befindet. Die beiden Zylinder sind an einem Ende durch eine ringförmige Platte 4 miteinander verbunden. Der Innenzylinder 3 ist kürzer als die Höhe der Spule und endet in einen nach innen gerichteten Polschuh 5, in dem eine Öffnung 6 zum Hindurchlassen der Elektronenstrahlen vorgesehen ist. Der Außenzylinder ist am oberen Ende mit einer Platte 7 bedeckt, die gleichfalls mit einer Öffnung 8 zum Hindurchlassen von Elektronen versehen ist. Die beiden Öffnungen bilden zusammen die zur optischen Achse koaxiale Bohrung der Linse. Zwischen der Platte 7 und dem Polschuh 5 befindet sich ein Ring 9 aus nichtmagnetischem Material.

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Claims (1)

1. Die magnetische Linse ist innerhalb des Mantels 10 des Mikroskops angeordnet, der den evakuierten Raum umschließt, in dem sich Elektronen auf Bahnen 11 bewegen und auf das Objekt 12 treffen. Die hindurchgehenden Elektronen durchlaufen das Magnetlinsenfeld, das in der Bohrung zwischen den Öffnungen 6 und 8 am stärksten konzentriert ist. In diesem Bereich ist die Blende 13 angeordnet, die mit einer das Bündel begrenzenden, kegelförmigen öffnung 14 versehen ist. Die Verbindung der Blende mit einem Einstellknopf 20 außerhalb des Mantels 10 wird durch einen Träger 15 hergestellt, der auch die Zufuhr elektrischen Stromes zur Blende besorgt. Zu diesem Zweck ist der Träger mit zwei Stromleitern 16 und 17 versehen, was in F i g. 2 näher dargestellt ist.

   Die beiden den Träger 15 bildenden Halterungsglieder sind durch eine Scheibe 18 aus Isoliermaterial gegen den Mantel 10 isoliert. Die Scheibe 18 ist drehbar und mittels eines Dichtungsringes 19 luftdicht mit dem Mantel 10 verbunden. Der Knopf 20 aus Isoliermaterial ist mit Kontaktschrauben zum Anschließen einer elektrischen Stromquelle versehen.

   Die Blende nach F i g. 2 ist dadurch hergestellt, daß der Schleifenteil der Stromleiter 16 und 17 zu

   einer flachen Platte 13 verformt ist. Zur Verringerung der Blendengröße ist ein Teil des Materials entfernt worden. Dadurch wird erreicht, daß zwar die Blende 13, aber nicht die Leiter 16 und 17 erhitzt werden. Durch den die beiden Leiter in entgegengesetzter Richtung durchlaufenden elektrischen Strom erwächst kein Nachteil infolge der durch den Strom erzeugten Magnetfelder.

   Patentanspruch:

   Verfahren zur Herstellung einer aus einer Metallplatte bestehenden und mit zwei Stromleitern zur elektrischen Erwärmung versehenen Objektblende für Elektronenmikroskope, dadurch gekennzeichnet, daß ein Stromleiter parallel zu sich selbst zurückgebogen wird, daß dann der Schleifenteil des Stromleiters derart zu einer Platte verformt wird, daß eine Platte mit zwei Stromleitern entsteht, und daß anschließend die Platte mit einer Durchlaßöffnung zur Bildung einer Blende versehen wird.

   In Betracht gezogene Druckschriften:
   Deutsches Gebrauchsmuster Nr. 1 850 497.

   Hierzu 1 Blatt Zeichnungen

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