DE1233955B - Ionenquelle - Google Patents

Ionenquelle

Info

Publication number
DE1233955B
DE1233955B DEH47471A DEH0047471A DE1233955B DE 1233955 B DE1233955 B DE 1233955B DE H47471 A DEH47471 A DE H47471A DE H0047471 A DEH0047471 A DE H0047471A DE 1233955 B DE1233955 B DE 1233955B
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
anode
opening
electrode
ion source
respect
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
DEH47471A
Other languages
German (de)
English (en)
Inventor
Andrew B Wittkower
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
High Voltage Engineering Corp
Original Assignee
High Voltage Engineering Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by High Voltage Engineering Corp filed Critical High Voltage Engineering Corp
Publication of DE1233955B publication Critical patent/DE1233955B/de
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J27/00—Ion beam tubes
    • H01J27/02—Ion sources; Ion guns
    • H01J27/08—Ion sources; Ion guns using arc discharge
    • H01J27/10—Duoplasmatrons ; Duopigatrons

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Combustion & Propulsion (AREA)
  • Electron Sources, Ion Sources (AREA)
DEH47471A 1961-12-11 1962-11-22 Ionenquelle Pending DE1233955B (de)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US15820661A 1961-12-11 1961-12-11
US205168A US3265918A (en) 1961-12-11 1962-06-18 Ion source having plasma control means

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DE1233955B true DE1233955B (de) 1967-02-09

Family

ID=26854835

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DEH47471A Pending DE1233955B (de) 1961-12-11 1962-11-22 Ionenquelle

Country Status (5)

Country Link
US (1) US3265918A (GUID-C5D7CC26-194C-43D0-91A1-9AE8C70A9BFF.html)
CH (1) CH403995A (GUID-C5D7CC26-194C-43D0-91A1-9AE8C70A9BFF.html)
DE (1) DE1233955B (GUID-C5D7CC26-194C-43D0-91A1-9AE8C70A9BFF.html)
GB (1) GB971770A (GUID-C5D7CC26-194C-43D0-91A1-9AE8C70A9BFF.html)
NL (1) NL285354A (GUID-C5D7CC26-194C-43D0-91A1-9AE8C70A9BFF.html)

Families Citing this family (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3458743A (en) * 1966-12-19 1969-07-29 Radiation Dynamics Positive ion source for use with a duoplasmatron
DE1648588B1 (de) * 1967-09-07 1971-02-25 Leybold Heraeus Gmbh & Co Kg Mit einem flaschanschluss versehenes vakuummess system
FR2061809A5 (GUID-C5D7CC26-194C-43D0-91A1-9AE8C70A9BFF.html) * 1969-04-04 1971-06-25 Commissariat Energie Atomique
FR2156978A5 (GUID-C5D7CC26-194C-43D0-91A1-9AE8C70A9BFF.html) * 1971-10-13 1973-06-01 Anvar
US3924134A (en) * 1974-11-29 1975-12-02 Ibm Double chamber ion source
US4020384A (en) * 1975-08-25 1977-04-26 The Raymond Lee Organization, Inc. Linear particle accelerator
US4103202A (en) * 1976-12-03 1978-07-25 Klykon, Inc. Ion projector head
US7838850B2 (en) * 1999-12-13 2010-11-23 Semequip, Inc. External cathode ion source

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE1001429B (de) * 1955-06-27 1957-01-24 Siemens Ag Ionenquelle
DE1014671B (de) * 1956-04-24 1957-08-29 Siemens Ag Einrichtung zur Erzeugung mehrfach geladener Ionen in einer Bogenentladungsquelle
DE1059581B (de) * 1956-03-28 1959-06-18 Siemens Ag Plasmaquelle fuer geladene Teilchen
FR1262136A (fr) * 1960-06-20 1961-05-26 Vakutronik Veb Source d'ions et d'électrons, notamment pour générateurs de van de graaff

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2975277A (en) * 1955-05-10 1961-03-14 Vakutronik Veb Ion source
FR1209092A (fr) * 1958-05-03 1960-02-29 Commissariat Energie Atomique Nouvelle source d'ions

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE1001429B (de) * 1955-06-27 1957-01-24 Siemens Ag Ionenquelle
DE1059581B (de) * 1956-03-28 1959-06-18 Siemens Ag Plasmaquelle fuer geladene Teilchen
DE1014671B (de) * 1956-04-24 1957-08-29 Siemens Ag Einrichtung zur Erzeugung mehrfach geladener Ionen in einer Bogenentladungsquelle
FR1262136A (fr) * 1960-06-20 1961-05-26 Vakutronik Veb Source d'ions et d'électrons, notamment pour générateurs de van de graaff

Also Published As

Publication number Publication date
NL285354A (GUID-C5D7CC26-194C-43D0-91A1-9AE8C70A9BFF.html)
CH403995A (fr) 1965-12-15
GB971770A (en) 1964-10-07
US3265918A (en) 1966-08-09

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP0413276B1 (de) Vorrichtung zur Erzeugung von Röntgenstrahlung mit einer Plasmaquelle
DE3689349T2 (de) Ionenquelle.
DE2237252A1 (de) Ionenquelle mit hochfrequenz-hohlraumresonator
DE69112166T2 (de) Plasmaquellenvorrichtung für Ionenimplantierung.
DE3429591A1 (de) Ionenquelle mit wenigstens zwei ionisationskammern, insbesondere zur bildung von chemisch aktiven ionenstrahlen
DE2633778A1 (de) Ionentriebwerk
DE2445603C3 (de) Ionenquelle
DE68922364T2 (de) Mit einer multizellulären Ionenquelle mit magnetischem Einschluss versehene abgeschmolzene Neutronenröhre.
DE2550349A1 (de) Verfahren und vorrichtung zur extraktion gut ausgebildeter ionenstrahlen hoher stromstaerke von einer plasmaquelle
DE1233955B (de) Ionenquelle
DE2837594A1 (de) Vorrichtung zur mikro-bearbeitung mittels ionenerosion
DE3881579T2 (de) Ionenquelle.
DE1153463B (de) Plasmaerzeuger zur Erzeugung eines kontinuierlichen Plasmastrahls
DE69609358T2 (de) Ionenquelle zur erzeugung von ionen aus gas oder dampf
DE102017104509A1 (de) Vorrichtung zum Erzeugen beschleunigter Elektronen
DE3688860T2 (de) Mittels Elektronenstrahl angeregte Ionenstrahlquelle.
DE2433781A1 (de) Quelle zur erzeugung von elektronen
DE1188221B (de) Verfahren zum Erzeugen einer energiereichen hochtemperierten Gasentladung
DE102007044070A1 (de) Ionenbeschleunigeranordnung und dafür geeignete Hochspannungsisolatoranordnung
DE102017113979A1 (de) Vorrichtung zum Erzeugen beschleunigter Elektronen
DE1190590B (de) Ionenquelle
DE1130083B (de) Vorrichtung zur raeumlichen Begrenzung einer Vielzahl von geladenen Teilchen
DE1214804B (de) Vorrichtung zum Erzeugen und Einschliessen eines Plasmas
DE2016038B2 (de) Ionenquelle
DE1220940B (de) Ionenquelle