DE1212050B - Verfahren zur Herstellung von Urankarbid-Einkristallen im Hochvakuum und Vorrichtungzur Durchfuehrung des Verfahrens - Google Patents

Verfahren zur Herstellung von Urankarbid-Einkristallen im Hochvakuum und Vorrichtungzur Durchfuehrung des Verfahrens

Info

Publication number
DE1212050B
DE1212050B DEE23036A DEE0023036A DE1212050B DE 1212050 B DE1212050 B DE 1212050B DE E23036 A DEE23036 A DE E23036A DE E0023036 A DEE0023036 A DE E0023036A DE 1212050 B DE1212050 B DE 1212050B
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
chamber
sublimation
cover
uranium carbide
high vacuum
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
DEE23036A
Other languages
English (en)
Inventor
Pierre Beucherie
Dr Joseph Gerard
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
European Atomic Energy Community Euratom
Original Assignee
European Atomic Energy Community Euratom
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Priority to BE632401D priority Critical patent/BE632401A/xx
Priority to NL293844D priority patent/NL293844A/xx
Application filed by European Atomic Energy Community Euratom filed Critical European Atomic Energy Community Euratom
Priority to DEE23036A priority patent/DE1212050B/de
Priority to FR934347A priority patent/FR1356666A/fr
Priority to LU43778D priority patent/LU43778A1/xx
Priority to CH641663A priority patent/CH446271A/de
Priority to US286699A priority patent/US3333931A/en
Priority to GB23492/63A priority patent/GB1036512A/en
Priority to OA50756A priority patent/OA00650A/xx
Publication of DE1212050B publication Critical patent/DE1212050B/de
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C30CRYSTAL GROWTH
    • C30BSINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
    • C30B29/00Single crystals or homogeneous polycrystalline material with defined structure characterised by the material or by their shape
    • C30B29/10Inorganic compounds or compositions
    • C30B29/36Carbides
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C01INORGANIC CHEMISTRY
    • C01BNON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
    • C01B32/00Carbon; Compounds thereof
    • C01B32/90Carbides
    • C01B32/914Carbides of single elements
    • C01B32/928Carbides of actinides
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/24Vacuum evaporation
    • C23C14/26Vacuum evaporation by resistance or inductive heating of the source
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C30CRYSTAL GROWTH
    • C30BSINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
    • C30B23/00Single-crystal growth by condensing evaporated or sublimed materials
    • C30B23/02Epitaxial-layer growth
    • C30B23/06Heating of the deposition chamber, the substrate or the materials to be evaporated
    • GPHYSICS
    • G21NUCLEAR PHYSICS; NUCLEAR ENGINEERING
    • G21CNUCLEAR REACTORS
    • G21C3/00Reactor fuel elements and their assemblies; Selection of substances for use as reactor fuel elements
    • G21C3/42Selection of substances for use as reactor fuel
    • G21C3/58Solid reactor fuel Pellets made of fissile material
    • G21C3/62Ceramic fuel
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05BELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
    • H05B6/00Heating by electric, magnetic or electromagnetic fields
    • H05B6/02Induction heating
    • H05B6/36Coil arrangements
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C01INORGANIC CHEMISTRY
    • C01PINDEXING SCHEME RELATING TO STRUCTURAL AND PHYSICAL ASPECTS OF SOLID INORGANIC COMPOUNDS
    • C01P2004/00Particle morphology
    • C01P2004/01Particle morphology depicted by an image
    • C01P2004/03Particle morphology depicted by an image obtained by SEM
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02EREDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
    • Y02E30/00Energy generation of nuclear origin
    • Y02E30/30Nuclear fission reactors

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • Inorganic Chemistry (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • High Energy & Nuclear Physics (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Ceramic Engineering (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)

Description

BUNDESREPUBLIK DEUTSCHLAND
DEUTSCHES
PATENTAMT
AUSLEGESCHRIFT
Int. Cl.:
COIb
Deutsche Kl.: 12 i-31/30
Nummer: 1212 050
Aktenzeichen: E 23036IV a/12 i
Anmeldetag: 15. Juni 1962
Auslegetag: 10. März 1966
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung von Urankarbid-Einkristallen im Hochvakuum durch elektrothermisches Verdampfen des Karbids in einer ganz oder vorwiegend aus einem Urankarbidkörper bestehenden Kammer, wobei das Karbid aus den Kammerwänden heraus verdampft wird, und Sublimation der Dämpfe auf kühler gehaltenen Oberflächen innerhalb der Kammer.
Mit einem solchen Verfahren wurden bereits UOä-Einkristalle von bis zu 12 mm Länge erzeugt (vgl. Journal of Nuclear Materials, 1962, Nr. 2). Ein hohlzylindrischer UO2-Körper wird dabei stirnseitig zwischen zwei Elektroden geschaltet. Durch besondere elektrische Heizleiter wird er zunächst vorgeheizt und dadurch elektrisch genügend leitend gemacht. Dann wird über die Elektroden Strom direkt durch den Körper geleitet. Die im Inneren des Zylinderkörpers entstehenden UO2-Dämpfe schlagen sich auf den kühler gehaltenen Elektroden nieder und bilden die gewünschten Einkristalle.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, UC-Einkristalle zu erzeugen, und zwar ebenfalls auf dem Weg über die Sublimation in einer Verdampfungskammer des UC-Körpers.
Beim UC ist aber, im Gegensatz zum UO2, der Dampfdruck sehr klein. Ausnutzbar für die Sublimation ist er überdies nur in der Nähe des Schmelzpunktes des UC. Das bedeutet, daß bei einer Beheizung des Nuklearkörpers durch direkte Stromleitung über Elektroden mit folgenden Schwierigkeiten zu rechnen ist:
1. dem erforderlichen Kontaktdruck der Elektroden wird der UC-Körper mechanisch nicht standhalten, da die Verdampfungstemperatur in unmittelbarer Nähe der Schmelztemperatur liegt;
2. die sichere Regelung der Stromstärke im UC-Körper auf einen Wert, bei dem gerade noch kein Schmelzen eintritt, wird äußerst schwierig.
Die Erfindung zeigt einen Weg, wie diese Schwierigkeiten auf relativ einfache Weise und — wie die Praxis zeigt — mit Erfolg, umgangen werden können. Die Lösung besteht darin, daß die Verdampfungsenergie hochfrequent induktiv, unter Zwischenschaltung eines an sich bekannten Feldkonzentrators zwischen Karbidkörper und induzierender. Wicklung, den Wänden des Körpers, mit Ausnahme der Sublimationsflächen, zugeführt wird.
Auf diese Weise werden alle mit der Stromleitung verbundenen Probleme beseitigt, d. h., daß das Verfahren universeller anwendbar ist. Weitere Vorteile ergeben sich aus dem apparativen Aufbau/der Subli-Verfahren zur Herstellung von
Urankarbid-Einkristallen im Hochvakuum und
Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens
Anmelder:
Europäische Atomgemeinschaft (EURATOM),
Brüssel
Vertreter:
Dipl.-Ing. R. Müller-Börner
und Dipl.-Ing. H.-H. Wey, Patentanwälte,
Berlin-Dahlem, Podbielskiallee 68
Als Erfinder benannt:
Pierre Beucherie, Biandrono;
Dr. Joseph Gerard, Varese (Italien)
mationsvorrichtung, wie sie weiter unten beschrieben ist, und zwar insbesondere hinsichtlich der Zugänglichkeit der Sublimationsflächen, der Vergrößerbarkeit der Dimensionen des Karbidkörpers und der Aufrechterhaltung des Vakuums in der Apparatur.
Die Zeichnung veranschaulicht schematisch ein
Ausführungsbeispiel der Apparatur. Es zeigt
F i g. 1 die Apparatur ausschnittsweise im Längsschnitt, mit Induktionswicklung, Feldkonzentrator und Carbidkörper,
F i g. 2 einen Waagrechtschnitt durch den Feldkonzentrator,
Fig. 3 Feldkonzentrator und Karbidkörper in einer gegenüber Fig. 1 abgewandelten Form.
In Fig. 1 bezeichnet 1 das Hochvakuumgefäß, ein Quarzrohr von 6 cm Durchmesser, das oben abgedichtet und unten an einem Querstutzen für die Vakuumpumpen angeschlossen ist; 2 die Induktionswicklung, die an einem 1,5-MHz-Generator mit einer Heizleistung von 5 kW angeschlossen ist; 3 den Feldkonzentrator, ein doppelzylindrisches Bauelement aus Kupfer mit einem von der äußeren zur inneren Zylinderfläche geführten Radialschlitz (vgl. Bezugszeichen 3a in Fig. 2); 4 bezeichnet ein Traggefäß aus BeO, 5 den eigentlichen Körper aus UC, und 6, 7 sind konzentrische Kühlmittelein- und austrittsrohre. .
Die Verdampfungsenergie für den Karbidkörper wird erfindungsgemäß hochfrequent induktiv, unter Zwischenschaltung des an sich bekannten gekühlten
. -Feldkonzentrators 3 zwischen dem Karbidkörper 5
609 537/348
und der induzierenden Wicklung 2, den Wänden des Körpers mit Ausnahme der (weiter unten näher bezeichneten) Sublimationsflächen zugeführt. Die im Karbidkörper erzeugten Ringströme bewegen sich dabei wegen des Skineffektes überwiegend an der äußeren Zylinderfläche des Körpers entlang, so daß die Wand mechanisch stabil bleibt. Der so nach außen gerichtete Temperaturgradient begünstigt im übrigen ein Diffundieren etwaiger leichter, flüchtiger Verunreinigungen im Karbidkörper nach außen.
Der Feldkonzentrator (vgl. auch Fig. 2) besitzt eine zylindrische Außenwand 3b, eine zylindrische Innenwand 3 c, Querstege 3 d und, dazwischen eingeschlossen, den ringartigen Hohlraum — den Kühlraum — 3e. Er ist mit der Induktionswicklung 2 transformatorisch gekoppelt. Die Außenwand 3 b saugt quasi die Induktionswicklung 2 ab und erstreckt sich daher über deren ganze Länge. Die Innenwand 3 c umschließt den Karbidkörper, erstreckt sich daher nicht weiter als dessen Längsabmessung. Wie F i g. 2 besonders deutlich zeigt, verläuft dealnduktionsstrom im Feldkonzentrator wegen des radialen Längsschlitzes 3 α von der Außenwand 3 b entlang des Spaltes zur zylindrischen Innenwand 3 c und schließt sich dort (vgl. die gestrichelte, eingezeichnete Linie). Die HF-Feldenergie wird also lokalisiert und konzentriert der Wandung des Karbidkörpers zugeführt.
Der Kühlraum 3e des Feldkonzentrators wird durch die Leitung 6 und den daran befindlichen Krümmer 6 a mit Wasser eingespeist. Der Krümmer endet offen vor der Querwand 3/ des Radialschlitzes. An dieser Stelle tritt das Kühlwasser in den Hohlraum 3 e ein. Von dort fließt es zurück zum Absaugrohr 7, das in der Nähe der anderen Querwand 3 g des Hohlraumes in diesen mündet. Durch diese Art der Wasserführung wird der ringförmige Kurzschluß des Sekundärfeldes im Kühlmittel verhindert.
Das Kühlmittel hält nicht nur den Feldkonzentrator selber kühl. Auf der einen Seite kühlt es die Außenwand des BeO-Tiegels, auf der anderen Seite schirmt es das Quarzrohr 1 thermisch ab. Die ganze Apparatur ist praktisch kalt, was ein großer betrieblicher Vorteil, insbesondere für die Vakuumanlage ist.
Der Karbidkörper 5 besteht im einzelnen aus dem zylindrischen Mittelteil Sa und den beiden losen Deckeln 5 b mit den Sublimationsflächen 5 c. Der Raum 5 d ist der Verdampfungsraum. Er wurde aus dem Vollen gearbeitet, d. h., aus einem anfänglich vollzylindrischen UC-Körper wurde durch Ultraschall eine zylindrische Kammer ausgebohrt. Die Körperabmessungen betragen 12 mm Außendurchmesser, 8 mm Kammerdurchmesser, 20 mm Höhe.
Wie Fig. 1 deutlich zeigt, liegen die Deckel 5b außerhalb der induktiven Beheizung. Sie bleiben so wesentlich kühler als der Mittelteil 5 a und verursachen dadurch die Sublimation der Dämpfe an die Flächen 5 c.
Das erwähnte BeO-Traggefäß 4 dient neben der Halterung des UC-Körpers und dem Schutz der Apparatur im Schadensfall noch der thermischen Isolation des Karbidkörpers. In der Verdampfungszone des UC-Körpers beträgt die Temperatur etwa 22000C. Der Unterdruck im Quarzrohr wird unter 10~e mm Hg-Säule gehalten.
An Stelle des in'Fig. 1 dargestellten Feldkonzentrators und Karbidkörpers können auch die in F i g. 3 gezeigten Ausführungsformen gewählt werden.
Gemäß Fig. 3 ist der Feldkonzentrator 8 trichterförmig ausgebildet. Seine innere zylindrische Mantelfläche 8a schneidet oben und unten scharf mit dem UC-Körper 9 ab. Er verhindert somit besonders die Energiestreuung nach unten. Nach oben erfolgt der Übergang von der inneren Mantelfläche zur äußeren Mantelfläche 8 b entsprechend der Trichterneigung stetig. Insgesamt werden also gegenüber der Konstruktion nach Fig. 1 jegliche Streukanten vermieden. Die Rohre 9,10 mit Ringleitung 11 und Hohlraum 12 bilden das Kühlsystem, dessen Einspeisung hier von unten erfolgt.
Der Karbidkörper 9 ist als Topf ausgebildet, der mit der Öffnung nach unten auf dem Deckel 9 a mit Stift 9 δ aufsitzt. Deckel und Stift bestehen aus hochhitzebeständigem Stoff, z. B. Wolfram. Am Stift, der die eigentliche Sublimationsfläche bildet, befindet sich ein Belag aus UC-Einkristallen. Sie sind Keimkristalle. Deckel und Stift können zusätzlich durch Wasser (Innenspülung) gekühlt werden.
Die gemäß dem neuen Verfahren erzeugten UC-Einkristalle haben eine größtenteils sehr regelmäßige Gestalt. Die Kristallabmessungen liegen ohne Verwendung von Saatkristallen in der Größenordnung von Vio mm.

Claims (3)

Patentansprüche:
1. Verfahren zur Herstellung von Urankarbid-Einkristallen im Hochvakuum durch elektrothermisches Verdampfen von Urankarbid in einer ganz oder vorwiegend aus einem Urankarbidkörper bestehenden Kammer und Sublimation der Dämpfe auf kühler gehaltenen Oberflächen innerhalb der Kammer, dadurch gekennzeichnet, daß die Verdampfungsenergie hochfrequent induktiv, unter Zwischenschaltung eines an sich bekannten Feldkonzentrators (3) zwischen dem Karbidkörper (5) und der induzierenden Wicklung (2), den Körperwänden (5 a), mit Ausnahme der Sublimationsflächen (5 c), zugeführt wird.
2. Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens nach Anspruch 1, bestehend aus einer hohlzylindrischen Kammer (5) aus Urankarbid und wenigstens einem stirnseitigen Deckel mit Sublimationsflächen, dadurch gekennzeichnet, daß die Kammer (5) rotationssymmetrisch zur induzierenden Wicklung (2) in den Feldkonzentrator (3) und zusammen mit diesem in ein Hochvakuumgefäß (1) eingebaut sind und daß mindestens eine Kammerabdeckung als loser Deckel (5 b) ausgebildet ist.
3. Vorrichtung gemäß Anspruch 2, gekennzeichnet durch einen Deckel (9 a), der einen in die Kammermitte ragenden Stift (9 b) aufweist, wobei Deckel und Stift aus Wolfram bestehen.
In Betracht gezogene Druckschriften:
Britische Patentschrift Nr. 829 422.
In Betracht gezogene ältere Patente:
Deutsches Patent Nr. 1150 947.
Hierzu 1 Blatt Zeichnungen
609 537/348 3.66 © Bundesdruckerei Berlin
DEE23036A 1962-06-15 1962-06-15 Verfahren zur Herstellung von Urankarbid-Einkristallen im Hochvakuum und Vorrichtungzur Durchfuehrung des Verfahrens Pending DE1212050B (de)

Priority Applications (9)

Application Number Priority Date Filing Date Title
BE632401D BE632401A (de) 1962-06-15
NL293844D NL293844A (de) 1962-06-15
DEE23036A DE1212050B (de) 1962-06-15 1962-06-15 Verfahren zur Herstellung von Urankarbid-Einkristallen im Hochvakuum und Vorrichtungzur Durchfuehrung des Verfahrens
FR934347A FR1356666A (fr) 1962-06-15 1963-05-10 Procédé pour la fabrication de mono-cristaux de matières nucléaires comportant une composante métallique, en particulier combustibles nucléaires céramiques, et installation permettant la réalisation de ce procédé
LU43778D LU43778A1 (de) 1962-06-15 1963-05-20
CH641663A CH446271A (de) 1962-06-15 1963-05-22 Verfahren zur Herstellung von Einkristallen von Kernbrennstoffen mit metallischer Komponente, insbesondere von keramischen Kernbrennstoffen, und Anordnung zur Durchführung des Verfahrens
US286699A US3333931A (en) 1962-06-15 1963-06-10 Process for the production of monocrystals of uranium carbide
GB23492/63A GB1036512A (en) 1962-06-15 1963-06-12 Process and apparatus for the production of monocrystals of nuclear materials
OA50756A OA00650A (fr) 1962-06-15 1964-12-05 Procédé pour la fabrication de matières nucléaires comportant une composante métallique, en particulier combustibles nucléaires céramiques, et installation permettant la réalisation de ce procédé.

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DEE23036A DE1212050B (de) 1962-06-15 1962-06-15 Verfahren zur Herstellung von Urankarbid-Einkristallen im Hochvakuum und Vorrichtungzur Durchfuehrung des Verfahrens

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DE1212050B true DE1212050B (de) 1966-03-10

Family

ID=7070963

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DEE23036A Pending DE1212050B (de) 1962-06-15 1962-06-15 Verfahren zur Herstellung von Urankarbid-Einkristallen im Hochvakuum und Vorrichtungzur Durchfuehrung des Verfahrens

Country Status (8)

Country Link
US (1) US3333931A (de)
BE (1) BE632401A (de)
CH (1) CH446271A (de)
DE (1) DE1212050B (de)
GB (1) GB1036512A (de)
LU (1) LU43778A1 (de)
NL (1) NL293844A (de)
OA (1) OA00650A (de)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3620682A (en) * 1969-10-31 1971-11-16 Siemens Ag Apparatus for producing rod-shaped members of crystalline material

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB829422A (en) * 1953-09-25 1960-03-02 Standard Telephones Cables Ltd Method and apparatus for producing semi-conductor materials of high purity

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3123435A (en) * 1964-03-03 Process of preparingttoanium carbide
US2807698A (en) * 1954-09-14 1957-09-24 A W Brickman Thermatronic processing and containercell combination
US2797289A (en) * 1955-02-21 1957-06-25 Int Harvester Co Induction heating device for treating cylinder bores
US3046090A (en) * 1961-06-28 1962-07-24 Richard M Powers Production of uranium monocarbide

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB829422A (en) * 1953-09-25 1960-03-02 Standard Telephones Cables Ltd Method and apparatus for producing semi-conductor materials of high purity

Also Published As

Publication number Publication date
LU43778A1 (de) 1963-09-12
GB1036512A (en) 1966-07-20
OA00650A (fr) 1966-07-15
BE632401A (de)
US3333931A (en) 1967-08-01
NL293844A (de)
CH446271A (de) 1967-11-15

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE1155759B (de) Vorrichtung zur Gewinnung reinsten kristallinen Halbleitermaterials fuer elektrotechnische Zwecke
DE1257748B (de) Vorrichtung zum Bilden von Kuegelchen aus koernigem Material mit hohem Schmelzpunkt
DE2818892C2 (de) Wärmeaustauscher zum Abkühlen heißer Gase
DE1187098B (de) Verfahren zum Herstellen von Koerpern aus hochgereinigtem Halbleitermaterial
DE1642509B2 (de) Vorrichtung zum destillieren von fluessigkeiten
DE1521494B1 (de) Vorrichtung zum Eindiffundieren von Fremdstoffen in Halbleiterkoerper
DE1212050B (de) Verfahren zur Herstellung von Urankarbid-Einkristallen im Hochvakuum und Vorrichtungzur Durchfuehrung des Verfahrens
DE1905470C3 (de) Anordnung zur gleichzeitigen Durchführung der Diffusion einer die Leitfähigkeit bestimmenden Verunreinigung in eine Mehrzahl von Halbleiterscheiben
DE1288206B (de) Vorrichtung zum Bestrahlen von Stoffen bei tiefen Temperaturen mit dem im Kern eines Schwimmbeckenreaktors erzeugten Neutronenfluss
DE2725891A1 (de) Verfahren und einrichtung zur trennung von fluessigen aggressiven stoffgemischen durch verdampfung wenigstens einer komponente
DE1212608B (de) Einrichtung zur direkten Umwandlung von thermischer in elektrische Energie
DE1615223A1 (de) Elektroden-Installation fuer elektrisch erwaermte Behaelter
DE3143146A1 (de) Als flachspule ausgebildete induktionsheizspule zum tiegelfreien zonenschmelzen
DE2603480C2 (de) Dünnschichtverdampfer, insbesondere für hochsiedende Produkte
DE397218C (de) Vorrichtung zur Kuehlung von Elektroden von Roentgenroehren mit einer Fluessigkeit
DE1946735A1 (de) Fluessigkeitsgekuehlter Tiegel
DE2511590A1 (de) Sublimations-vakuumpumpe
DE1269749B (de) Heizpatrone fuer Elektrooefen
DE2022025C3 (de) Vorrichtung zum Herstellen eines Hohlkörpers aus Halbleitermaterial
DE1907488U (de) Hochtemperatur-ofen.
AT234826B (de) Verfahren zur Umwandlung von thermischer in elektrische Energie und Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens
DE905282C (de) Elektrisches Entladungsgefaess fuer hohe Spannungen
DE1417786A1 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung von Silizium hoher Reinheit
DE1161651B (de) Vakuuminduktionsofen, insbesondere zum Fritten im Vakuum
DE1195883B (de) Elektrisch beheizter Kochtopf oder Kochkessel mit automatischer Temperaturregelung