DE1163045B

DE1163045B - Reproduktionsobjektiv

Info

Publication number: DE1163045B
Application number: DEZ7919A
Authority: DE
Inventors: Erwin Konschack; Dr Guenther Lange
Original assignee: Carl Zeiss SMT GmbH
Current assignee: Carl Zeiss SMT GmbH
Priority date: 1960-04-06
Filing date: 1960-04-06
Publication date: 1964-02-13

Description

Reproduktionsobjektiv Die Erfindung betrifft ein Reproduktionsobjektiv, welches aus zwei äußeren bikonvexen Sammellinsen und zwei die Blende einschließenden inneren bikonkaven Zerstreuungslinsen besteht.
Um für alle in Frage kommenden Abbildungsmaßstäbe einen günstigen Kompromiß zwischen den für die Abbildungsgüte maßgebenden Aberrationen und insbesondere bei kleinen Zonenfehlern eine gute Ebnung der Bildschalen und eine gute Korrektion der Koma der schiefen Büschel zu erzielen, wird erfindungsgemäß vorgeschlagen, das Objektiv so aufzubauen, daß die folgenden Bedingungen gemeinsam erfüllt sind: 0,03 - B < d, < ds < d, < d, < 0,40 B 0,03 - B < d,< d,< d,< d,<0,40-B 1,5 -B< < r, < -r. < -r, < 4,5 B 0,2 f < < < -r3 < -r, < 0,6 f 1,5 B < < < r. < r, < 4,5 B 0,2 f < < -r, < r, < r7 < 0,6 f 0,10 - f < B < 0,20 - f wobei bezeichnet sind mit r, bis r, die Radien, mit d, bis d, die Scheitelabstände, mit B die Baulänge und mit f die Brennweite des Objektivs.
Ein Beispiel eines Objektivs, bei dem die Bedingungen der Erfindung erfüllt sind, ist in der Abbildung im Schnitt dargestellt. Seine Konstruktionsdaten sind in der nachfolgenden Tabelle für die Brennweite f = 1,00 angegeben. Das Öffnungsverhältnis beträgt 1 : 9. Das Beispiel stellt ein vollkommen symmetrisch aufgebautes Objektiv dar. Bei einem Vergrößerungsmaßstab von fl = - 1 ist die Länge der vorderen und der hinteren Schnittweite 1,9379 - f. Bei Einstellung auf unendliche Objektentfernung würde die hintere Schnittweite s' = 0,9402 - f betragen. Die Baulänge beträgt B = 0, 11803 - f.

Eine besonders gut ausgeglichene Korrektion läßt sich erzielen bei denjenigen innerhalb des Rahmens der vorliegenden Erfindung liegenden Objektiven, deren Konstruktionsdaten so dicht bei den der nachfolgenden Tabelle zu entnehmenden Werten liegen, daß keine der Flächenbrechkräfte dem Betrag noch um mehr als ± 0,41f und keiner der Scheitelabstände (d) dem Betrag nach um mehr als ± 0,025 - f von dem betreffenden in der Tabelle angegebenen Werte abweicht.

Linsen Radien Scheitelabstände % Vd A n

1 r

Li +0,24552 d, = 0,03907 1,62041 60,29 +2,526922/f

r2 = -0,48987 d, = 0,00796 + 1,266479/f

Lii r, = -0,34183 d, # 0,01190 1,55115 49,61 - 1,6123511f

r4 = +0,29182 d, = 0,02397 - 1,888664/f

Liii r. = -0,29182 d, # 0,01190 1,55115 49,61 - 1,888664/f

r6 = +0,34183 d, # 0,00796 - 1,612351/f

Liv r7 = +0,48987 d7 = 0,03907 1,62041 60,29 + 1,266479/f

r" = -0,24552 +2,526922/f

Hierin sind bezeichnet mit L, bis Liv die Linsen, mit r, bis r, die Radien, mit d, bis d, die Scheitelabstände, mit % die Brechzahlen für die d-Linie des Heliumspektrums, mit % die zugehörigen Abbeschen Zahlen und mit die Brechkräfte der Linsenflächen.

Claims

Patentansprüche: 1. Reproduktionsobjektiv, bestehend aus zwei äußeren bikonvexen Sammellinsen und zwei inneren bikonkaven Zerstreuungslinsen, welche die Blende einschließen, dadurch gekennzeichnet, daß die folgenden Bedingungen gemeinsam erfüllt sind: 0,03 - B < d2 < ds < d4 < d, < 0,40 - B 0,03 - B < d6 < d,5 < d4 < d7 < 0,40 - B 1,5 B < rl < r4 < _r3 < _r2 < 4,5 B 0,2 f < r, < r4 < -r3 < -r2 < 0,6 f 1,5 B < -r8 < -r,5 < r" < r7 < 4,5 B 0,2 f < -r, < - r" < r. < r7 < 0,6 f 0,10 - f < B < 0,20 - f wobei bezeichnet sind mit r, bis r, die Radien, mit d, bis d, die Scheitelabstände, mit B die Baulänge und mit f die Brennweite des Objektivs.
2. Objektiv nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß seine Konstruktionsdaten so dicht bei den in der nachfolgenden Tabelle angegebenen Werten liegen, daß keine der Flächenbrechkräfte dem Betrag noch um mehr als ± 0,4 - Ilf und keiner der Scheitelabstände (d), dem Betrag nach um mehr als ± 0,025 - f von dem betreffenden in der Tabelle angegebenen Werte abweicht. Linsen Radien Scheitelabstände % Vd An 1 r +0,24552 d, = 0,03907 1,62041 60,29 +2,526922/f -0,48987 d, = 0,00796 +I,266479/f Lii -0,34183 d3 # 0,01190 1,55115 49,61 - 1,612351/f r4 = +0,29182 d, = 0,02397 - 1,888664/f Liii r, = -0,29182 d, = 0,01190 1,55115 49,61 - 1,888664/f r. = +0,34183 d,3 = 0,00796 -1,612351/f Liv r7 = +0,48987 d, = 0,03907 1,62041 60,29 + 1,266479/f r, = -0,24552 +2,526922/f

worin bezeichnet sind mit LI bis LIV die Linsen, mit r, bis r, die Radien, mit d, bis d, die Scheitelabstände, mit ng die Brechzahlen, mit % die Abbeschen Zahlen und mit die Brechkräfte der Flächen. In Betracht gezogene Druckschriften: Britische Patentschriften Nr. 564 009, 577 763; USA.-Patentschrift Nr. 1306 958.