DE1121226B - Halbleiteranordnung - Google Patents
HalbleiteranordnungInfo
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- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims description 27
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 12
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 11
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 11
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 claims description 9
- 239000010949 copper Substances 0.000 claims description 9
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 8
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 claims description 8
- 239000004332 silver Substances 0.000 claims description 8
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims description 6
- 239000010703 silicon Substances 0.000 claims description 6
- ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N Molybdenum Chemical compound [Mo] ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 239000011733 molybdenum Substances 0.000 claims description 5
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 claims description 5
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims description 4
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims 1
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011651 chromium Substances 0.000 description 2
- WUUZKBJEUBFVMV-UHFFFAOYSA-N copper molybdenum Chemical compound [Cu].[Mo] WUUZKBJEUBFVMV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- SBYXRAKIOMOBFF-UHFFFAOYSA-N copper tungsten Chemical compound [Cu].[W] SBYXRAKIOMOBFF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000006378 damage Effects 0.000 description 2
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 2
- MOWMLACGTDMJRV-UHFFFAOYSA-N nickel tungsten Chemical compound [Ni].[W] MOWMLACGTDMJRV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 2
- QGDMNTMSHUSFTE-UHFFFAOYSA-N [Ag].[Ni].[W] Chemical compound [Ag].[Ni].[W] QGDMNTMSHUSFTE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ITZSSQVGDYUHQM-UHFFFAOYSA-N [Ag].[W] Chemical compound [Ag].[W] ITZSSQVGDYUHQM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000007792 addition Methods 0.000 description 1
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- -1 copper and silver Chemical class 0.000 description 1
- 230000017525 heat dissipation Effects 0.000 description 1
- 238000010310 metallurgical process Methods 0.000 description 1
- DDTIGTPWGISMKL-UHFFFAOYSA-N molybdenum nickel Chemical compound [Ni].[Mo] DDTIGTPWGISMKL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005245 sintering Methods 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L23/00—Details of semiconductor or other solid state devices
- H01L23/34—Arrangements for cooling, heating, ventilating or temperature compensation ; Temperature sensing arrangements
- H01L23/36—Selection of materials, or shaping, to facilitate cooling or heating, e.g. heatsinks
- H01L23/373—Cooling facilitated by selection of materials for the device or materials for thermal expansion adaptation, e.g. carbon
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K35/00—Rods, electrodes, materials, or media, for use in soldering, welding, or cutting
- B23K35/22—Rods, electrodes, materials, or media, for use in soldering, welding, or cutting characterised by the composition or nature of the material
- B23K35/24—Selection of soldering or welding materials proper
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C22—METALLURGY; FERROUS OR NON-FERROUS ALLOYS; TREATMENT OF ALLOYS OR NON-FERROUS METALS
- C22C—ALLOYS
- C22C28/00—Alloys based on a metal not provided for in groups C22C5/00 - C22C27/00
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01C—RESISTORS
- H01C1/00—Details
- H01C1/14—Terminals or tapping points or electrodes specially adapted for resistors; Arrangements of terminals or tapping points or electrodes on resistors
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
- H01L21/18—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer the devices having semiconductor bodies comprising elements of Group IV of the Periodic Table or AIIIBV compounds with or without impurities, e.g. doping materials
- H01L21/24—Alloying of impurity materials, e.g. doping materials, electrode materials, with a semiconductor body
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L23/00—Details of semiconductor or other solid state devices
- H01L23/34—Arrangements for cooling, heating, ventilating or temperature compensation ; Temperature sensing arrangements
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L24/00—Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
- H01L24/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L24/26—Layer connectors, e.g. plate connectors, solder or adhesive layers; Manufacturing methods related thereto
- H01L24/31—Structure, shape, material or disposition of the layer connectors after the connecting process
- H01L24/32—Structure, shape, material or disposition of the layer connectors after the connecting process of an individual layer connector
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L29/00—Semiconductor devices specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching and having potential barriers; Capacitors or resistors having potential barriers, e.g. a PN-junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/40—Electrodes ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/41—Electrodes ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by their shape, relative sizes or dispositions
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- Engineering & Computer Science (AREA)
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- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Ceramic Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Cooling Or The Like Of Semiconductors Or Solid State Devices (AREA)
Description
- Halbleiteranordnung Bei der Kontaktierung von Halbleiterkörpern, insbesondere bei großflächigen Kontakten, treten bei thermischen Wechselbeanspruchungen häufig Schwierigkeiten auf, die durch die unterschiedlichen Ausdehnungskoeffizienten der aneinandergrenzenden Werkstoffe verursacht werden. Dieses Problem tritt insbesondere auf bei Leistungshalbleiteranordnungen, z. B. bei Leistungstransistoren oder Leistungsgleichrichtern. So weichen z. B. die Ausdehnungskoeffizienten von Silizium, der für Zwischenplatten in Frage kommenden Metalle, wie Wolfram und Molybdän, und der Trägermetalle, wie Kupfer und Silber, erheblich voneinander ab, so daß thermische Wechselbeanspruchungen zu einer Schädigung oder gar Zerstörung eines aus diesen Stoffen aufgebauten Halbleiterelementes führen können.
- Es sind verschiedene Vorschläge zur Beseitigung der vorgenannten Schwierigkeiten bekanntgeworden. So wurde z. B. vorgeschlagen, bei Siliziumgleichrichtern Zwischenplatten zu verwenden, die aus einem Wolfram-, Molybdän- oder Chrom-Sintergerüst, das mit einem gutleitenden Metall ausgefüllt ist, bestehen. Hierdurch erreicht man zwar eine verhältnismäßig gute Anpassung an den thermischen Ausdehnungskoeffizienten des Halbleiterkörpers, nicht aber an die Verbindungsteile des Trägers, z. B. an ein Gehäuse, wenn dieser etwa aus Kupfer oder Silber besteht.
- Bei einer Halbleiteranordnung, bei der thermische Wechselbeanspruchungen auftreten und bei der zwischen dem Halbleiterkörper und dem zugehörigen metallischen Träger eine metallische Sinterplatte vorgesehen ist, werden die vorgenannten Schwierigkeiten gemäß der Erfindung praktisch dadurch vollständig beseitigt, daß sich die Stoffzusammensetzung der Sinterplatte in Richtung Halbleiterkörper-Träger ändert, derart, daß die Sinterplatte an der dem Halbleiterkörper zugekehrten Seite aus Metall mit einem dem des Halbleiterkörpers ähnlichen Ausdehnungskoeffizienten und an der dem Träger zugekehrten Seite aus Metall mit einem dem des Trägers ähnlichen Ausdehnungskoeffizienten besteht.
- Sehr vorteilhaft wirken sich diese Maßnahmen bei Siliziumgleichrichtern aus. In diesem Falle besteht die dem Siliziumkörper zugekehrte Seite der Sinterplatte z. B. aus Molybdän oder Wolfram, gegebenenfalls mit geringen Nickelzusätzen, und die dem Kupfer- oder Silberträger zugekehrte Seite aus Kupfer bzw. Silber; im Zwischenbereich nimmt der Kupfer- oder Silberanteil in der oben angegebenen Richtung stetig zu. Der Nickelanteil kann z. B. 0,1 bis 5,0 Gewichtsprozent betragen. Zur weiteren Erläuterung der Erfindung wird auf die Zeichnung verwiesen; es zeigt Fig. 1 schematisch den Aufbau der Sinterplatte, Fig. 2 schematisch die Anordnung der Sinterplatte zwischen Halbleiterkörper und Trägerplatte.
- Bei der Sinterplatte gemäß Fig. 1 sind vier Bereiche (I bis IV) angedeutet. Der Bereich 1, der, wie die nachfolgend beschriebene Fig. 2 zeigt, dem Halbleiterkörper zugekehrt ist, besteht aus Metall mit einem dem des Halbleiterkörpers ähnlichen Ausdehnungskoeffizienten, der Bereich IV, der dem Träger zugekehrt ist, aus Metall mit einem dem des Trägers ähnlichen Ausdehnungskoeffizienten. Die Zwischenbereiche 11 und III weisen einen stetig steigenden Anteil am Metall des Bereiches IV auf. Bei einem Siliziumgleichrichter kommen z. B. folgende Bereichsanteile in Frage:
1 Molybdän-Nickel (99:1) 11 Molybdän-Kupfer (80:20) 111 Molybdän-Kupfer (50:50) IV Kupfer (100) oder 1 Wolfram-Nickel (95:5) 11 Wolfram-Kupfer (80:20) 111 Wolfram-Kupfer (50:50) IV Kupfer (100) oder 1 Wolfram-Nickel (98:2) 11 Wolfram-Silber-Nickel (80:18: 2) 111 Wolfram-Silber (50:50) IV Silber (100) - Die so ausgebildete Sinterplatte ist in der Lage, die ungleiche thermische Ausdehnung des Halbleiterkörpers und des Trägers zu überbrücken, ohne daß im Halbleitersystem kritische Spannungen auftreten. Hinzu kommt eine gegenüber den eingangs als bekannt erwähnten Zwischenplatten aus einem Wolfram-, Molybdän- oder Chrom-Sintergerüst mit Metallfüllung verbesserte elektrische und thermische Leitfähigkeit. Hierdurch wird vor allem eine bessere Wärmeableitung und damit eine niedrigere Gleichgewichtstemperatur erreicht.
Claims (4)
- PATENTANSPRÜCHE: 1. Halbleiteranordnung, bei der thermische Wechselbeanspruchungen auftreten und bei der zwischen dem Halbleiterkörper und dem zugehörigen metallischen Träger eine metallische Sinterplatte vorgesehen ist, dadurch gekennzeichnet, daß sich die Stoffzusammensetzung der Sinterplatte in Richtung Halbleiterkörper-Träger ändert, derart, daß die Sinterplatte an der dem Halbleiterkörper zugekehrten Seite aus Metall mit einem dem des Halbleiterkörpers ähnlichen Ausdehnungskoeffizienten und an der dem Träger zugekehrten Seite aus Metall mit einem dem des Trägers ähnlichen Ausdehnungskoeffizienten besteht.
- 2. Halbleiteranordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß sich die Stoffzusammensetzung der Sinterplatte stetig ändert.
- 3. Halbleiteranordnung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß bei Verwendung als Gleichrichter der Halbleiterkörper aus Silizium und der Träger aus Kupfer oder Silber besteht, daß die Sinterplatte an der dem Halbleiterkörper zugekehrten Seite aus Molybdän oder Wolfram, gegebenenfalls mit geringfügigem Nickelzusatz, und an der dem Träger zugekehrten Seite aus Kupfer bzw. Silber besteht.
- 4. Halbleiteranordnung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß der Nickelzusatz 0,1 bis 5,0 Gewichtsprozent beträgt.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DES69074A DE1121226B (de) | 1960-06-23 | 1960-06-23 | Halbleiteranordnung |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DES69074A DE1121226B (de) | 1960-06-23 | 1960-06-23 | Halbleiteranordnung |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE1121226B true DE1121226B (de) | 1962-01-04 |
Family
ID=7500711
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DES69074A Pending DE1121226B (de) | 1960-06-23 | 1960-06-23 | Halbleiteranordnung |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
DE (1) | DE1121226B (de) |
Cited By (6)
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-
1960
- 1960-06-23 DE DES69074A patent/DE1121226B/de active Pending
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---|---|---|---|---|
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