DE112022002337T5

DE112022002337T5 - Verschlusseinrichtung, Einrichtung zur Herstellung eines polykristallinen Siliziumfüllung und Verfahren zur Herstellung einer polykristallinen Siliziumfüllung

Info

Publication number: DE112022002337T5
Application number: DE112022002337.6T
Authority: DE
Inventors: Yasuhiro Mizutani; Takahisa Imai; Masami Fujii; Kazuhiro Kawaguchi
Original assignee: Tokuyama Corp
Current assignee: Tokuyama Corp
Priority date: 2021-04-28
Filing date: 2022-03-25
Publication date: 2024-02-08
Also published as: JP7148762B1; CN117062753A; JPWO2022230497A1; US20240043153A1; KR20240004277A

Abstract

Um zu dem Zeitpunkt, zu dem eine Öffnung eines Aufnahmebeutels verschlossen wird, Falten zu reduzieren, die an dem Aufnahmebeutel entstehen, umfasst eine Verschlussvorrichtung (1): ein Kontaktelement (10), das eingerichtet ist, in einen ein polykristallines Siliziummaterial (S1) aufnehmenden Aufnahmebeutel (B1) eingeführt zu werden; ein Verschlusselement, das eingerichtet ist, einen Verschlussbereich (SE) zu verschließen; einen Antriebsmechanismus (20), der eingerichtet ist, das Kontaktelement (10) so anzutreiben, dass es an einer Öffnung (B2) zieht; und ein Einklemmelement (30), das eingerichtet ist, den Aufnahmebeutel (B1) über eine zweite Distanz (D2), die kürzer als eine erste Distanz (D1) ist, die eine Länge des Aufnahmebeutels (B1) entlang der Öffnung (B2) des Aufnahmebeutels (B1) ist, einklemmen zu können.

Description

Technisches Gebiet
Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf eine Verschlusseinrichtung, eine Einrichtung zur Herstellung einer polykristallinen Siliziummaterial-Packung und ein Verfahren zur Herstellung einer polykristallinen Siliziummaterial-Packung.
Hintergrund
Patentschrift 1 offenbart ein Verfahren zum Verpacken eines polykristallinen Siliziummaterials in einen Verpackungsbeutel. Bei dem in der Patentliteratur 1 offenbarten Verfahren zum Verpacken eines polykristallinen Siliziummaterials wird nach dem Verpacken eines polykristallinen Siliziummaterials in einen Verpackungsbeutel ein Bereich, der näher an einem Verpackungsteil liegt, in dem das polykristalline Siliziummaterial verpackt ist, als an einem vorgesehenen Schweißnahtteil zum Verschließen des Verpackungsbeutels durch Schweißen, zwischen Einklemmstäben eingeklemmt. Anschließend wird in einem Zustand, in dem der Bereich des Verpackungsbeutels von den Einklemmstäben eingeklemmt ist, der vorgesehene Schweißnahtteil von Siegelstäben eingeklemmt und verschweißt.
Referenzliste
[Patentliteratur]
Veröffentlichung der internationalen Veröffentlichung Nr. WO 2019/203316
Zusammenfassung der Erfindung
Technisches Problem
Bei dem in Patentschrift 1 offenbarten Verfahren zum Verpacken eines polykristallinen Siliziummaterials wird das vorgesehene Schweißnahtteil in einem Zustand verschweißt, in dem der Bereich des Verpackungsbeutels von den Einklemmstäben eingeklemmt ist. Das Verfahren weist jedoch das folgende Problem auf. Und zwar weisen die Stäbe eine Länge auf, die sich über die gesamte Länge des Verpackungsbeutels entlang einer Öffnung des Verpackungsbeutels erstreckt. Dadurch bildet sich bei dem Verpackungsverfahren ein luftgefüllter Raum zwischen den an höheren Positionen angeordneten Siegelstäben und den Einklemmstäben, und aufgrund einer durch den luftgefüllten Raum verursachten Ausbuchtung entstehen leider Falten in einem Bereich des Verpackungsbeutels, der sich um die Ausbuchtung herum befindet und den geplanten Schweißnahtteil umfasst. Eine Aufgabe eines Aspekts der vorliegenden Erfindung ist es, die beim Verschließen einer Öffnung des Aufnahmebeutels entstehenden Falten in einem Aufnahmebeutel zu reduzieren.
Lösung des Problems
Um das obige Problem zu lösen, umfasst eine Verschlusseinrichtung für einen Beutel zur Aufnahme von polykristallinem Siliziummaterial gemäß einem Aspekt der vorliegenden Erfindung: ein Kontaktelement, das eingerichtet ist, von oben in eine Öffnung eines Aufnahmebeutels zur Aufnahme eines polykristallinen Siliziummaterials eingeführt zu werden und eingerichtet ist, mit einer Innenfläche des Aufnahmebeutels in Kontakt gebracht zu werden; ein Verschlusselement, das so konfiguriert ist, dass es einen Verschlussbereich im Aufnahmebeutel verschließt; einen Antriebsmechanismus, der so konfiguriert ist, dass er das in die Öffnung des Aufnahmebeutels eingeführte Kontaktelement so antreibt, dass es an mindestens zwei Punkten der Öffnung zieht, um den Verschlussbereich abzuflachen; und ein Einklemmelement, das so konfiguriert ist, dass es den Aufnahmebeutel an einer Position unterhalb des Verschlussbereichs einklemmt, und das so konfiguriert ist, dass es den Aufnahmebeutel über eine zweite Distanz einklemmen kann, die kürzer ist als eine erste Distanz, die eine Länge des Aufnahmebeutels entlang der Öffnung des Aufnahmebeutels ist, in der der Verschlussbereich durch den Antriebsmechanismus abgeflacht wurde.
Ein Verfahren gemäß einem Aspekt der vorliegenden Erfindung zur Herstellung einer polykristallinen Siliziummaterial-Packung umfasst die folgenden Schritte: Einführen eines Kontaktelements von oben in eine Öffnung eines Aufnahmebeutels zur Aufnahme eines polykristallinen Siliziummaterials und In-Kontakt-Bringen des Kontaktelements mit einer Innenfläche des Aufnahmebeutels; Antreiben des in die Öffnung des Aufnahmebeutels eingeführten Kontaktelements, um an mindestens zwei Punkten der Öffnung zu ziehen, um einen Verschlussbereich in dem Aufnahmebeutel abzuflachen; Einklemmen des Aufnahmebeutels unter Verwendung eines Einklemmelements an einer Stelle unterhalb des Verschlussbereichs in dem Aufnahmebeutel und über eine zweite Distanz, die kürzer ist als eine erste Distanz, die eine Länge des Aufnahmebeutels entlang der Öffnung des Aufnahmebeutels ist, in der der Verschlussbereich in dem Antriebsschritt abgeflacht worden ist; und Verschließen des Verschlussbereichs, um den Aufnahmebeutel zu einer Verpackung für das polykristalline Siliziummaterial zu machen.
Vorteilhafte Wirkungen der Erfindung
Ein Aspekt der vorliegenden Erfindung ermöglicht es, die beim Verschließen einer Öffnung des Aufnahmebeutels entstehenden Falten in einem Aufnahmebeutel zu reduzieren.
Kurzbeschreibung der Zeichnungen

1 ist eine perspektivische Ansicht, die eine Konfiguration einer Herstellungsapparatur gemäß Ausführungsform 1 der vorliegenden Erfindung zur Herstellung einer polykristallinen Siliziummaterial-Packung zeigt.
2 ist eine Vorderansicht, die die Konfiguration einer Verschlusseinrichtung für einen Beutel zur Aufnahme von polykristallinem Siliziummaterial zeigt, der in der in 1 gezeigten Herstellungsapparatur enthalten ist.
3 ist eine rechte Seitenansicht, die die in 2 gezeigte Verschlusseinrichtung zeigt.
4 ist eine Draufsicht, die die in 2 gezeigte Verschlusseinrichtung zeigt.
5 ist eine Ansicht, die den Ablauf eines Verfahrens gemäß Ausführungsform 1 der vorliegenden Erfindung zur Herstellung einer polykristallinen Siliziummaterial-Packung zeigt.
6 ist eine Vorderansicht, die eine Konfiguration einer Verschlusseinrichtung gemäß Ausführungsform 2 der vorliegenden Erfindung zeigt.

Beschreibung der Ausführungsformen
Ausführungsform 1
<Konfiguration einer Apparatur zur Herstellung einer polykristallinen Siliziummaterial-Packung>
1 ist eine perspektivische Ansicht, die eine Konfiguration einer Herstellungsapparatur 100 gemäß Ausführungsform 1 der vorliegenden Erfindung zur Herstellung einer polykristallinen Siliziummaterial-Packung zeigt. Die Herstellungsapparatur 100 ist eingerichtet, eine polykristalline Siliziummaterial-Packung FI herzustellen, in der ein polykristallines Siliziummaterial S1 verpackt ist. Wie in 1 gezeigt, umfasst die Herstellungsapparatur 100 eine Verschlusseinrichtung 1, ein Förderband C1 und ein Förderband C2.
Das Förderband C1 ist so konfiguriert, dass es ein Aufnahmegehäuse CA zur Aufnahme eines Aufnahmebeutels B1, in dem das polykristalline Siliziummaterial S1 verpackt ist, zu der Verschlusseinrichtung 1 befördert. Das heißt, das Förderband C1 ist eine Einbringsektion, die eingerichtet ist, den Aufnahmebeutel B1 zur Aufnahme des polykristallinen Siliziummaterials S1 zu der Verschlusseinrichtung 1 einzubringen.
Die Verschlusseinrichtung 1 ist eine Einrichtung zum Verschließen des Beutels B1, in dem sich das polykristalline Siliziummaterial S1 befindet. Die Verschlusseinrichtung 1 wird später im Detail beschrieben. Das Förderband C2 ist so konfiguriert, dass es das Aufnahmegehäuse CA zur Aufnahme des Aufnahmebeutel B1, der von der Verschlusseinrichtung 1 verschlossen wurde, aus der Herstellungsapparatur 100 herausbringt. Das heißt, das Förderband C2 ist eine Entladesektion, die eingerichtet ist, den Aufnahmebeutel B1, der durch die Verschlusseinrichtung 1 verschlossen wurde, als polykristalline Siliziummaterial-Packung FI zu entladen.
<Konfiguration der Verschlusseinrichtung>
2 ist eine Vorderansicht, die eine Konfiguration der Verschlusseinrichtung 1 für einen Beutel zur Aufnahme von polykristallinem Siliziummaterial zeigt, der in der in 1 gezeigten Herstellungsapparatur 100 enthalten ist. 3 ist eine rechte Seitenansicht, die die in 2 gezeigte Verschlusseinrichtung 1 zeigt. 4 ist eine Draufsicht, die die in 2 gezeigte Verschlusseinrichtung 1 zeigt.
Es ist zu beachten, dass in 2 ein Verschlusselement 40 weggelassen ist; in 3 ein Kontaktelement 10 und ein Antriebsmechanismus 20 weggelassen ist; und in 4 das Aufnahmegehäuse CA, das polykristalline Siliziummaterial S1, das Kontaktelement 10, der Antriebsmechanismus 20 und das Verschlusselement 40 weggelassen sind. Ferner entspricht in den 2 bis 4 eine X-Achsen-Richtung einer Richtung, in der eine erste Antriebssektion 21 und eine zweite Antriebssektion 22 ausgerichtet sind, eine Y-Achsen-Richtung entspricht einer Richtung, in der ein erstes Einklemmelement 31 und ein zweites Einklemmelement 32 ausgerichtet sind, und eine Z-Achsen-Richtung entspricht einer Richtung senkrecht zu einer Platzierungsfläche SF, auf der das Aufnahmegehäuse CA platziert ist.
Wie in den 2 und 3 gezeigt, umfasst die Verschlusseinrichtung 1 das Kontaktelement 10, den Antriebsmechanismus 20, ein Einklemmelement 30 und das Verschlusselement 40. Die Verschlusseinrichtung 1 ist so konfiguriert, dass sie den Aufnahmebeutel B1 verschließt, in dem das polykristalline Siliziummaterial S1 aufgenommen ist, und der durch das Förderband C1 befördert wird.
Wie in 2 gezeigt, ist das Kontaktelement 10 eingerichtet, von oben in eine Öffnung B2 des Aufnahmebeutels B1 zur Aufnahme des polykristallinen Siliziummaterials S1 eingeführt und mit einer Innenfläche des Aufnahmebeutels B1 in Kontakt gebracht zu werden. Konkret umfasst das Kontaktelement 10 beispielsweise eine erste Spannvorrichtung 11 und eine zweite Spannvorrichtung 12, die jeweils eingerichtet sind, von oben in die Öffnung B2 des Aufnahmebeutels B1 eingeführt und jeweils mit der Innenfläche des Aufnahmebeutels B1 in Kontakt gebracht zu werden.
Die erste Spannvorrichtung 11 umfasst einen ersten Abschnitt 11A und einen zweiten Abschnitt 11 B. Der erste Abschnitt 11A ist mit der später beschriebenen ersten Antriebssektion 21 verbunden und erstreckt sich in Richtung der X-Achse. Der zweite Abschnitt 11 B ist mit einem Ende des ersten Abschnitts 11A auf der Seite der positiven Richtung einer X-Achse verbunden und erstreckt sich in der negativen Richtung einer Z-Achse.
Die zweite Spannvorrichtung 12 umfasst einen ersten Abschnitt 12A und einen zweiten Abschnitt 12B. Der erste Abschnitt 12A ist mit der später beschriebenen zweiten Antriebssektion 22 verbunden und erstreckt sich in Richtung der X-Achse. Der zweite Abschnitt 12B ist mit einem Ende des ersten Abschnitts 12A auf der Seite der negativen Richtung der X-Achse verbunden und erstreckt sich in der negativen Richtung der Z-Achse.
Der Antriebsmechanismus 20 treibt das in die Öffnung B2 des Aufnahmebeutels B1 eingeführte Kontaktelement 10 an, so dass mindestens zwei Punkte der Öffnung B2 voneinander weggezogen werden, um einen Verschlussbereich SE des Aufnahmebeutels B1 abzuflachen. Konkret ist der Antriebsmechanismus 20 beispielsweise so konfiguriert, dass er bewirkt, dass sich die erste Spannvorrichtung 11 und die zweite Spannvorrichtung 12 voneinander wegbewegen, um beide Enden der Öffnung B2 auseinander zu ziehen, so dass der Verschlussbereich SE abgeflacht wird.
Gemäß einer solchen Konfiguration ist es möglich, eine Ausbuchtung in einem oberen Abschnitt des Aufnahmebeutels B1 zu reduzieren und somit eine unnötige Luft im Aufnahmebeutel B1 aus dem Aufnahmebeutel B1 zu entfernen. Ferner ist es möglich, den Verschlussbereich SE mit einer einfachen Konfiguration abzuflachen, indem bewirkt wird, dass sich die erste Spannvorrichtung 11 und die zweite Spannvorrichtung 12 bewegen. Dies macht es möglich, die Kosten für die Verschlusseinrichtung 1 zu reduzieren.
Darüber hinaus umfasst der Antriebsmechanismus 20 die erste Antriebssektion 21 und die zweite Antriebssektion 22. Die erste Antriebssektion 21 bewirkt, dass sich der erste Abschnitt 11A in Richtung der X-Achse bewegt. Die zweite Antriebssektion 22 bewirkt, dass sich der erste Abschnitt 12A in Richtung der X-Achse bewegt. Die erste Antriebssektion 21 und die zweite Antriebssektion 22 bewegen sich in Richtung der Z-Achse.
Bevor die zweiten Abschnitte 11B und 12B in die Öffnung B2 eingeführt werden, befinden sich die zweiten Abschnitte 11 B und 12B ungefähr in der Mitte der Öffnung B2 in Richtung der X-Achse und stehen miteinander in Kontakt. In diesem Zustand bewegt sich die erste Antriebssektion 21 in der negativen Richtung der Z-Achse, so dass sich der zweite Abschnitt 11B ebenfalls in der negativen Richtung der Z-Achse bewegt, um in die Öffnung B2 eingeführt zu werden. Ferner bewegt sich die zweite Antriebssektion 22 in die negative Richtung der Z-Achse, so dass sich der zweite Abschnitt 12B ebenfalls in die negative Richtung der Z-Achse bewegt, um in die Öffnung B2 eingeführt zu werden.
Ferner bewirkt die erste Antriebssektion 21, dass sich der erste Abschnitt 11A in eine negative Richtung der X-Achse bewegt, so dass der zweite Abschnitt 11 B mit einem Ende der Öffnung B2 in Kontakt gebracht wird. Ferner bewirkt die zweite Antriebssektion 22, dass sich der erste Abschnitt 12A in eine negative Richtung der X-Achse bewegt, so dass der zweite Abschnitt 12B mit dem anderen Ende der Öffnung B2 in Kontakt gebracht wird. Ferner bewirkt die erste Antriebssektion 21 in diesem Zustand, dass sich der erste Abschnitt 11A in der negativen Richtung der X-Achse um eine vorbestimmte Distanz bewegt, während die zweite Antriebssektion 22 bewirkt, dass sich der erste Abschnitt 12A in der positiven Richtung der X-Achse um eine vorbestimmte Distanz bewegt, so dass die beiden Enden der Öffnung B2 von den zweiten Abschnitten 11 B und 12B gezogen werden.
Das Einklemmelement 30 ist so konfiguriert, dass es den Aufnahmebeutel B1 so einklemmt, dass der Aufnahmebeutel B1 an einer Position unterhalb des Verschlussbereichs SE eingeklemmt wird. Wie in 3 gezeigt, umfasst das Einklemmelement 30 das erste Einklemmelement 31 und das zweite Einklemmelement 32. Das erste Einklemmelement 31 umfasst einen ersten Träger 31A und ein erstes Kontaktteil 31B. Wie in 4 gezeigt, ist das erste Kontaktteil 31B an dem ersten Träger 31A befestigt und weist eine erste Kontaktfläche CF1 auf. Das zweite Einklemmelement 32 umfasst einen zweiten Träger 32A und ein zweites Kontaktteil 32B. Das zweite Kontaktteil 32B ist an dem zweiten Träger 32A befestigt und weist eine zweite Kontaktfläche CF2 auf. Das erste Kontaktteil 31B und das zweite Kontaktteil 32B sind jeweils aus Harz gefertigt. Die erste Kontaktfläche CF1 und die zweite Kontaktfläche CF2 sind jeweils ebenfalls aus Harz gefertigt.
Gemäß einer solchen Konfiguration ist es möglich, eine Ausbuchtung im oberen Teil des Aufnahmebeutels B1 weiter zu reduzieren und somit eine größere Menge an unnötiger Luft im Aufnahmebeutel B1 aus dem Aufnahmebeutel B1 zu entfernen, verglichen mit einem Fall, in dem der Antriebsmechanismus 20 lediglich an den beiden Enden der Öffnung B2 zieht. Darüber hinaus ist es auch möglich, den Verschlussbereich SE weiter abzuflachen.
Eine zweite Distanz D2, die eine Länge des ersten Kontaktteils 31B entlang der X-Achsenrichtung ist, ist kürzer als eine erste Distanz D1, die eine Länge des Aufnahmebeutels B1 entlang der Öffnung B2 des Aufnahmebeutels B1 ist, in der der Verschlussbereich SE durch den Antriebsmechanismus 20 abgeflacht wurde. Darüber hinaus ist eine Länge des zweiten Kontaktteils 32B entlang der X-Achsenrichtung gleich der zweiten Distanz D2. Das Einklemmelement 30 klemmt den Aufnahmebeutel B1 unter Verwendung des ersten Einklemmelements 31 und des zweiten Einklemmelements 32 ein. In diesem Fall werden die erste Kontaktfläche CF1 und die zweite Kontaktfläche CF2 in Kontakt mit einer Außenfläche des Aufnahmebeutels B1 gebracht. Somit ist das Einklemmelement 30 so konfiguriert, dass es in der Lage ist, den Aufnahmebeutel B1 über die zweite Distanz D2 einzuklemmen.
Wie in 3 gezeigt, ist das Verschlusselement 40 eingerichtet, den Verschlussbereich SE des Aufnahmebeutels B1 zu verschließen. Das Verschlusselement 40 umfasst ein erstes Verschlusselement 41 und ein zweites Verschlusselement 42. Das Verschlusselement 40 verschließt den Verschlussbereich SE des Aufnahmebeutels B1 sowohl in positiver Richtung einer Y-Achse als auch in negativer Richtung der Y-Achse unter Verwendung des ersten Verschlusselements 41 und des zweiten Verschlusselements 42.
Das erste Verschlusselement 41 und das zweite Verschlusselement 42 enthalten jeweils ein Heizelement, und das Verschlusselement 40 verschließt den Verschlussbereich SE durch Verschweißen des Verschlussbereichs SE unter Verwendung dieser Heizelemente. Der Verschlussbereich SE wird durch den Antriebsmechanismus 20 und das Einklemmelement 30 abgeflacht. Dadurch ist es möglich, die Genauigkeit zu verbessern, mit der das Verschlusselement 40 den Verschlussbereich SE verschließt. Das heißt, es ist möglich, die Verschlusseigenschaften des Aufnahmebeutels B1 zu verbessern.
Wie oben beschrieben, ist in der Verschlusseinrichtung 1 die Länge (zweite Distanz D2), über die das Einklemmelement 30 den Aufnahmebeutel B1 einklemmt, kürzer als die Länge (erste Distanz D1) des Aufnahmebeutels B1 entlang der Öffnung B2 des Aufnahmebeutels B1. Dadurch ist es möglich, dass Luft zwischen einem durch das Einklemmelement 30 eingeklemmten Abschnitt P1 und jedem der äußeren Enden E1 des Aufnahmebeutels B1 in einem Zustand strömen kann, in dem das Einklemmelement 30 den Aufnahmebeutel B1 einklemmt, wie in 4 gezeigt. Wenn die Öffnung B2 des Aufnahmebeutels B1 verschlossen wird, ist es daher möglich, Falten zu reduzieren, die im Aufnahmebeutel B1 entstehen.
Nehmen wir außerdem den Fall an, dass Unebenheiten an einem äußeren Umfangsbereich des Aufnahmebeutels B1 entstehen und die Form des Aufnahmebeutels B1 unregelmäßig wird, da ein unregelmäßig geformtes Objekt wie das polykristalline Siliziummaterial S1 in dem Aufnahmebeutel B1 aufgenommen wird. Selbst in diesem Fall ist es möglich, die Falten, die im Aufnahmebeutel B1 entstehen, zu reduzieren. Ferner ist es möglich, den Verschlussbereich SE leicht abzuflachen und die Möglichkeit zu reduzieren, dass in einem Fall, in dem der Aufnahmebeutel B1 ein bewegliches Material aufnimmt, eine Verschiebung des Aufnahmebeutels B1 selbst aufgrund des Rollens und Zusammenfallens eines solchen Materials auftreten kann.
Darüber hinaus ist es möglich, das Risiko der Bildung eines nicht verschlossenen Bereichs im Verschlussbereich SE zu reduzieren und somit die Verschlusseigenschaften des Aufnahmebeutels B1 aufrechtzuerhalten, verglichen mit einem Fall, in dem der Verschlussbereich SE in einem Zustand verschlossen wird, in dem der Aufnahmebeutel B1 Falten aufweist. Dadurch wird die Verschlussstärke im Verschlussbereich SE verbessert, und es ist daher möglich, das Risiko zu reduzieren, dass unreine Luft von außerhalb des Aufnahmebeutels B1 in den Aufnahmebeutel B1 eindringen kann. Dadurch ist es möglich, das Risiko einer Qualitätsbeeinträchtigung des polykristallinen Siliziummaterials S1, das hochrein sein muss, zu reduzieren.
Darüber hinaus ist es möglich, im Aufnahmebeutel B1 entstehende Falten zu reduzieren und somit zu verhindern, dass beispielsweise ein Vorsprung des polykristallinen Siliziummaterials S1 mit einer unregelmäßigen Form in der Falte des Aufnahmebeutels B1 stecken bleibt. Daher ist es möglich, zu verhindern, dass eine äußere Kraft auf den Aufnahmebeutel B1 ausgeübt wird, wenn der Vorsprung in der Falte des Aufnahmebeutels B1 festsitzt. Auf diese Weise ist es möglich zu verhindern, dass der Vorsprung den Aufnahmebeutel B1 einreißt.
Da es möglich ist, zu verhindern, dass der Vorsprung in der Falte des Aufnahmebeutels B1 stecken bleibt, ist es außerdem möglich, beispielsweise zu verhindern, dass der Vorsprung an einem Faltenbereich und dergleichen des Aufnahmebeutels B1 schabt. Auf diese Weise ist es z.B. möglich, ein Risiko zu verhindern, dass der Aufnahmebeutel B1 eine Schwachstelle aufweist und dass ein durch den Vorsprung aus dem Aufnahmebeutel B1 abgeschabtes Harz zu einem in ein Produkt gemischten Fremdstoff wird.
Es ist zu beachten, dass die zweite Distanz D2 eine Länge von nicht weniger als 60 % und nicht mehr als 95 % der ersten Distanz D1, vorzugsweise eine Länge von nicht weniger als 65 % und nicht mehr als 90 % der ersten Distanz D1 aufweisen kann. Dies optimiert die Menge an Luft, die zwischen dem Abschnitt P1, der durch das Einklemmelement 30 eingeklemmt ist, und jedem der äußeren Enden E1 des Aufnahmebeutels B1 strömt. Wenn die Öffnung B2 des Aufnahmebeutels B1 verschlossen wird, ist es somit möglich, die Falten, die im Aufnahmebeutel B1 entstehen, wirksam zu reduzieren.
Darüber hinaus können nicht nur die Kontaktflächen des Einklemmelements 30, die mit dem Aufnahmebeutel B1 in Kontakt gebracht werden, wie oben beschrieben aus Harz bestehen, sondern auch die Kontaktflächen des Kontaktelements 10, die mit dem Aufnahmebeutel B1 in Kontakt gebracht werden, können ebenfalls aus Harz bestehen. Ferner können die Kontaktflächen des Verschlusselements 40, das mit dem Aufnahmebeutel B1 in Kontakt gebracht werden soll, ebenfalls jeweils aus Harz bestehen. Das heißt, dass zumindest eines der Elemente, ausgewählt aus der Gruppe bestehend aus dem Kontaktelement 10, dem Einklemmelement 30 und dem Verschlusselement 40, Kontaktflächen aus Harz aufweisen kann, die mit dem Aufnahmebeutel B1 in Kontakt gebracht werden sollen.
Wenn das Kontaktelement 10 Harzkontaktflächen aufweist, die mit dem Aufnahmebeutel B1 in Kontakt gebracht werden sollen, werden die Harzkontaktflächen des Kontaktelements 10 mit der Innenfläche des Aufnahmebeutels B1 in Kontakt gebracht. In einem Fall, in dem das Verschlusselement 40 Harzkontaktflächen aufweist, die mit dem Aufnahmebeutel B1 in Kontakt gebracht werden sollen, werden die Harzkontaktflächen des Verschlusselements 40 mit der Außenfläche des Aufnahmebeutels B1 in Kontakt gebracht. Dies bedeutet, dass die Kontaktflächen, die mit dem Aufnahmebeutel B1 in Kontakt gebracht werden, jeweils aus Harz gefertigt sind. Dadurch ist es möglich, ein Reißen des Aufnahmebeutels B1 zu verhindern. Insbesondere verhindert das aus Harz gefertigte Kontaktelement 10 eine metallische Verunreinigung des Aufnahmebeutels B1, wodurch es möglich ist, das aufgenommene polykristalline Siliziummaterial S1 sauberer zu halten.
Ferner können der zweite Abschnitt 11B der ersten Spannvorrichtung 11 und der zweite Abschnitt 12B der zweiten Spannvorrichtung 12 jeweils eine so große Länge entlang der Z-Achsenrichtung aufweisen, dass die unteren Enden der zweiten Abschnitte 11 B und 12B unterhalb des Einklemmelements 30 liegen. In diesem Fall werden die zweiten Abschnitte 11 B und 12B in die in 4 dargestellten Zwischenräume zwischen dem eingeklemmten Abschnitt P1 und den äußeren Enden E1 des Beutels B1 eingeführt. In einem Zustand, in dem das Einklemmelement 30 den Aufnahmebeutel B1 einklemmt, bewegen sich die erste Antriebssektion 21 und die zweite Antriebssektion 22 in einer positiven Richtung der Z-Achse, so dass sich die zweiten Abschnitte 11 B und 12B in eine Position oberhalb des Verschlussbereichs SE bewegen. Zu diesem Zeitpunkt wird eine Distanz zwischen den zweiten Abschnitten 11 B und 12B beibehalten. Danach verschließt das Verschlusselement 40 den Verschlussbereich SE.
<Verfahren zur Herstellung einer polykristallinen Siliziummaterial-Packung>
5 ist eine Ansicht, die den Ablauf eines Verfahrens gemäß Ausführungsform 1 der vorliegenden Erfindung zur Herstellung einer polykristallinen Siliziummaterial-Packung zeigt. Das Bezugszeichen 101 in 5 zeigt eine Ansicht zu dem Zeitpunkt, zu dem der Aufnahmebeutel B1 von der positiven Richtung zur negativen Richtung der Z-Achse betrachtet wird. Das Bezugszeichen 102 in 5 zeigt eine Ansicht zu dem Zeitpunkt, zu dem der Aufnahmebeutel B1 von der negativen Richtung in Richtung einer positiven Richtung der Y-Achse betrachtet wird. In dem Bezugszeichen 101 sind das Aufnahmegehäuse CA, das polykristalline Siliziummaterial S1 und der Antriebsmechanismus 20 weggelassen. In dem Bezugszeichen 102 ist der Antriebsmechanismus 20 weggelassen.
Wie unter Bezugszeichen 101A und Bezugszeichen 102A gezeigt, wird angenommen, dass der Aufnahmebeutel B1 das polykristalline Siliziummaterial S1 aufnimmt. In diesem Fall, wie in der Bezugsnummer 101B und der Bezugsnummer 102B gezeigt, führt der Antriebsmechanismus 20 das Kontaktelement 10 von oben in die Öffnung B2 des Aufnahmebeutels B1 zur Aufnahme des polykristallinen Siliziummaterials S1 ein und bringt das Kontaktelement 10 in Kontakt mit einer Innenfläche des Aufnahmebeutels B1.
Um den Verschlussbereich SE im Aufnahmebeutel B1 zu glätten, treibt weiterhin der Antriebsmechanismus 20 das in die Öffnung B2 des Aufnahmebeutels B1 eingeführte Kontaktelement 10 so an, dass es an mindestens zwei Punkten der Öffnung B2 zieht. Das Einklemmelement 30 klemmt den Aufnahmebeutel B1 an einer Position unterhalb des Verschlussbereichs SE ein.
Nachdem das Einklemmelement 30 den Aufnahmebeutel B1 aus dem Einklemmzustand gelöst hat, verschließt das Verschlusselement 40 den Verschlussbereich SE im Aufnahmebeutel B1, wie mit Bezugszeichen 101C und Bezugszeichen 102C gezeigt. Der Aufnahmebeutel B1, in dem das polykristalline Siliziummaterial S1 aufgenommen ist und in dem der Verschlussbereich SE verschlossen wurde, wird als polykristalline Siliziummaterial-Packung FI definiert. Insbesondere kann das Verschlusselement 40 den Verschlussbereich SE innerhalb einer vorbestimmten Zeitspanne verschließen, nachdem das Einklemmelement 30 den Aufnahmebeutel B1 aus dem Einklemmzustand gelöst hat.
Gemäß einer solchen Konfiguration gibt das Einklemmelement 30 den Aufnahmebeutel B1 aus dem Einklemmzustand frei, bevor das Verschlusselement 40 den Verschlussbereich SE verschließt. Dadurch strömt im Aufnahmebeutel B1 die Luft, die sich oberhalb eines durch das Einklemmelement 30 eingeklemmten Bereichs befindet, in eine Position unterhalb des Bereichs. Dadurch ist es möglich, die Falten, die im Aufnahmebeutel B1 entstehen, zu reduzieren.
Die erste Antriebssektion 21 und die zweite Antriebssektion 22 bewegen sich in positiver Richtung der Z-Achse, so dass, wie mit Bezugszeichen 101D und Bezugszeichen 102D gezeigt, das Kontaktelement 10 angehoben und das Verschlusselement 40 vom Aufnahmebeutel B1 getrennt wird.
<Erste Variante>
Die erste Antriebssektion 21 kann, anstatt sich in der Z-Achsen-Richtung zu bewegen, bewirken, dass sich der zweite Abschnitt 11B in der Z-Achsen-Richtung in Bezug auf den ersten Abschnitt 11A bewegt. Außerdem kann die zweite Antriebssektion 22, anstatt sich in der Z-Achsen-Richtung zu bewegen, bewirken, dass sich der zweite Abschnitt 12B in der Z-Achsen-Richtung in Bezug auf den ersten Abschnitt 12A bewegt.
In diesem Fall bewirkt die erste Antriebssektion 21, dass sich der zweite Abschnitt 11B in die negative Richtung der Z-Achse bewegt, während die zweite Antriebssektion 22 bewirkt, dass sich der zweite Abschnitt 12B in die negative Richtung der Z-Achse bewegt, so dass die zweiten Abschnitte 11 B und 12B in die Öffnung B2 eingeführt werden. Darüber hinaus bewirkt die erste Antriebssektion21, dass sich der zweite Abschnitt 11B in die positive Richtung der Z-Achse bewegt, während die zweite Antriebssektion 22 bewirkt, dass sich der zweite Abschnitt 12B in die positive Richtung der Z-Achse bewegt, so dass sich die zweiten Abschnitte 11 B und 12B in Positionen oberhalb des Verschlussbereichs SE bewegen.
<Zweite Variante>
Bevor die zweiten Abschnitte 11 B und 12B in die Öffnung B2 eingeführt werden, können die zweiten Abschnitte 11 B und 12B in Richtung der X-Achse ungefähr in der Mitte der Öffnung B2 voneinander entfernt sein. In diesem Zustand bewegt sich die erste Antriebssektion 21 in der negativen Richtung der Z-Achse, so dass sich der zweite Abschnitt 11B ebenfalls in der negativen Richtung der Z-Achse bewegt, um in die Öffnung B2 eingeführt zu werden. Darüber hinaus bewegt sich die zweite Antriebssektion 22 in die negative Richtung der Z-Achse, so dass sich der zweite Abschnitt 12B ebenfalls in die negative Richtung der Z-Achse bewegt, um in die Öffnung B2 eingeführt zu werden.
<Dritte Variante>
Bevor die zweiten Abschnitte 11B und 12B in die Öffnung B2 eingeführt werden, können sich die zweiten Abschnitte 11 B und 12B an einer Position befinden, die in positiver oder negativer Richtung der X-Achse von der ungefähren Mitte der Öffnung B2 in Richtung der X-Achse verschoben ist, und sie können miteinander in Kontakt stehen. In diesem Zustand bewegt sich der zweite Abschnitt 11B in die negative Richtung der Z-Achse, um in die Öffnung B2 eingeführt zu werden, während sich der zweite Abschnitt 12B in die negative Richtung der Z-Achse bewegt, um in die Öffnung B2 eingeführt zu werden.
Ferner bewirkt die erste Antriebssektion 21, dass sich der erste Abschnitt 11A in der negativen Richtung der X-Achse bewegt, so dass der zweite Abschnitt 11B mit einem Ende der Öffnung B2 in Kontakt gebracht wird. Die zweite Antriebssektion 22 veranlasst den ersten Abschnitt 12A, sich in die positive Richtung der X-Achse zu bewegen, so dass der zweite Abschnitt 12B mit dem anderen Ende der Öffnung B2 in Kontakt gebracht wird. Zu diesem Zeitpunkt stellen die erste Antriebssektion 21 und die zweite Antriebssektion 22 die jeweiligen Geschwindigkeiten ein, mit denen bewirkt wird, dass sich die ersten Abschnitte 11A und 12A in Richtung der X-Achse bewegen, so dass zur gleichen Zeit, zu der der zweite Abschnitt 11B in Kontakt mit dem einen Ende der Öffnung B2 gebracht wird, der zweite Abschnitt 12B in Kontakt mit dem anderen Ende der Öffnung B2 gebracht wird.
Es ist zu beachten, dass in der dritten Variante, bevor die zweiten Abschnitte 11B und 12B in die Öffnung B2 eingeführt werden, die zweiten Abschnitte 11B und 12B an entsprechenden Positionen voneinander getrennt sein können, die jeweils in positiver oder negativer Richtung der X-Achse von der ungefähren Mitte der Öffnung B2 in Richtung der X-Achse versetzt sind.
Ausführungsform 2
Im Folgenden wird Ausführungsform 2 der vorliegenden Erfindung beschrieben. Es ist zu beachten, dass der Einfachheit halber Elemente, die in ihrer Funktion identisch sind mit denen, die in der Ausführungsform 1 beschrieben wurden, mit identischen Bezugszeichen versehen sind, und dass Beschreibungen solcher Elemente weggelassen werden. 6 ist eine Vorderansicht, die eine Konfiguration einer Verschlusseinrichtung 2 gemäß Ausführungsform 2 der vorliegenden Erfindung zeigt. Eine Herstellungsapparatur 100 kann die Verschlusseinrichtung 2 anstelle der Verschlusseinrichtung 1 enthalten.
Wie in 6 dargestellt, unterscheidet sich die Verschlusseinrichtung 2 von der Verschlusseinrichtung 1 dadurch, dass das Kontaktelement 10 und der Antriebsmechanismus 20 in ein Kontaktelement 10A bzw. einen Antriebsmechanismus 20A geändert wurden. Das Kontaktelement 10A ist ein einzelnes Element, das sich in Richtung der X-Achse ausdehnen und zusammenziehen kann. Das Kontaktelement 10A ist so konfiguriert, dass es von oben in eine Öffnung B2 eines Aufnahmebeutels B1 zur Aufnahme eines polykristallinen Siliziummaterials S1 eingeführt wird, und ist eingerichtet, mit einer Innenfläche des Aufnahmebeutels B1 in Kontakt gebracht zu werden.
Der Antriebsmechanismus 20A ist elektrisch mit dem Kontaktelement 10A verbunden und überträgt ein Steuersignal an das Kontaktelement 10A, um das Kontaktelement 10A zum Ausdehnen oder Zusammenziehen zu veranlassen. Der Antriebsmechanismus 20A treibt das Kontaktelement 10A an, das in die Öffnung B2 des Aufnahmebeutels B1 eingeführt wird, um zu bewirken, dass sich das Kontaktelement 10A ausdehnt, so dass das Kontaktelement 10A so angetrieben wird, dass es an mindestens zwei Punkten der Öffnung B2 zieht, um einen Verschlussbereich SE in der Öffnung B2 abzuflachen.
Aspekte der vorliegenden Erfindung können auch wie folgt ausgedrückt werden:

Eine Verschlusseinrichtung gemäß einem Aspekt der vorliegenden Erfindung für einen Aufnahmebeutel für polykristallines Siliziummaterial umfasst: ein Kontaktelement, das eingerichtet ist, von oben in eine Öffnung eines Aufnahmebeutels, der ein polykristallines Siliziummaterial aufnimmt, eingeführt zu werden und eingerichtet ist, mit einer Innenfläche des Aufnahmebeutels in Kontakt gebracht zu werden; ein Verschlusselement, das eingerichtet ist, einen Verschlussbereich im Aufnahmebeutel zu verschließen; einen Antriebsmechanismus, der so eingerichtet ist, das in die Öffnung des Aufnahmebeutels eingeführte Kontaktelement so anzutreiben, dass es an mindestens zwei Punkten der Öffnung zieht, um den Verschlussbereich abzuflachen; und ein Einklemmelement, das eingerichtet ist, den Aufnahmebeutel an einer Position unterhalb des Verschlussbereichs einzuklemmen, und das eingerichtet ist, den Aufnahmebeutel über eine zweite Distanz einzuklemmen, die kürzer ist als eine erste Distanz, die eine Länge des Aufnahmebeutels entlang der Öffnung des Aufnahmebeutels ist, in der der Verschlussbereich durch den Antriebsmechanismus abgeflacht wurde.

Gemäß der obigen Konfiguration, da die Länge (zweite Distanz), über die das Einklemmelement den Aufnahmebeutel einklemmt, kürzer ist als die Länge (erste Distanz) des Aufnahmebeutels entlang der Öffnung des Aufnahmebeutels, ist es möglich, eine Luftströmung zwischen einem Abschnitt, der durch das Einklemmelement eingeklemmt ist, und jedem der äußeren Enden des Aufnahmebeutels in einem Zustand zu ermöglichen, in dem das Einklemmelement den Aufnahmebeutel einklemmt. Wenn die Öffnung des Aufnahmebeutels verschlossen wird, ist es daher möglich, Falten zu reduzieren, die im Aufnahmebeutel B1 auftreten.
Das Kontaktelement kann eine erste Spannvorrichtung und eine zweite Spannvorrichtung aufweisen; die erste Spannvorrichtung und die zweite Spannvorrichtung können jeweils eingerichtet sein, von oben in die Öffnung des Aufnahmebeutels eingeführt zu werden und können jeweils eingerichtet sein, mit einer Innenfläche des Aufnahmebeutels in Kontakt gebracht zu werden; und der Antriebsmechanismus kann eingerichtet sein, den Verschlussbereich abzuflachen, indem er bewirkt, dass sich die erste Spannvorrichtung und die zweite Spannvorrichtung voneinander weg bewegen, um beide Enden der Öffnung zu ziehen. Gemäß der obigen Konfiguration ist es möglich, den Verschlussbereich mit einer einfachen Konfiguration abzuflachen, indem die erste Spannvorrichtung und die zweite Spannvorrichtung bewegt werden. Dadurch ist es möglich, die Kosten für die Verschlusseinrichtung zu reduzieren.
Das Verschlusselement kann eingerichtet sein, den Verschlussbereich innerhalb einer vorbestimmten Zeitspanne zu verschließen, nachdem das Einklemmelement den Aufnahmebeutel aus einem Einklemmzustand gelöst hat. Gemäß der obigen Konfiguration löst das Einklemmelement den Aufnahmebeutel aus dem Einklemmzustand, bevor das Verschlusselement den Verschlussbereich verschließt. Dadurch kann im Aufnahmebeutel die Luft, die sich oberhalb eines durch das Einklemmelement eingeklemmten Bereichs befindet, in eine Position unterhalb dieses Bereichs strömen. Dadurch ist es möglich, die Falten zu reduzieren, die im Aufnahmebeutel entstehen.
Die zweite Distanz kann eine Länge von nicht weniger als 60 % und nicht mehr als 95 % der ersten Distanz aufweisen. Die obige Konfiguration optimiert eine Luftmenge, die zwischen einem Abschnitt, der durch das Einklemmelement und jedes der äußeren Enden des Aufnahmebeutels eingeklemmt ist, so dass, wenn die Öffnung des Aufnahmebeutels verschlossen ist, es möglich ist, Falten, die in dem Aufnahmebeutel entstehen, effektiv zu reduzieren.
Mindestens eines aus der Gruppe bestehend aus dem Kontaktelement, dem Verschlusselement und dem Einklemmelement kann Kontaktflächen aus Harz aufweisen, die mit dem Aufnahmebeutel in Kontakt gebracht werden. Gemäß der obigen Konfiguration sind die Kontaktflächen, die mit dem Aufnahmebeutel in Kontakt gebracht werden, jeweils aus Harz hergestellt, wodurch es möglich ist, ein Reißen des Aufnahmebeutels zu verhindern. Insbesondere verhindert das aus Harz bestehende Kontaktelement die Verunreinigung des Aufnahmebeutels mit Metall, und dadurch ist es möglich, das aufgenommene polykristalline Siliziummaterial sauberer zu halten.
Eine Apparatur zur Herstellung einer polykristallinen Siliziummaterial-Packung gemäß einem Aspekt der vorliegenden Erfindung kann umfassen: die Verschlusseinrichtung; eine Einbringsektion, die eingerichtet ist, einen ein polykristallines Siliziummaterial aufnehmenden Aufnahmebeutel in die Verschlusseinrichtung einzubringen; und eine Entladesektion, die eingerichtet ist, den Aufnahmebeutel, der durch die Verschlusseinrichtung verschlossen wurde, als polykristalline Siliziummaterial-Packung zu entladen.
Ein Verfahren, das der Herstellung einer polykristallinen Siliziummaterial-Packung dient und das einem Aspekt der vorliegenden Erfindung entspricht, umfasst die folgenden Schritte: Einführen eines Kontaktelements von oben in eine Öffnung eines Aufnahmebeutels, der ein polykristallines Siliziummaterial aufnimmt, und In-Kontakt-Bringen des Kontaktelements mit einer Innenfläche des Aufnahmebeutels; Antreiben des in die Öffnung des Aufnahmebeutels eingeführten Kontaktelements, um an mindestens zwei Punkten der Öffnung zu ziehen, um einen Verschlussbereich in dem Aufnahmebeutel abzuflachen; Einklemmen des Aufnahmebeutels unter Verwendung eines Einklemmelements an einer Position unterhalb des Verschlussbereichs in dem Aufnahmebeutel und über eine zweite Distanz, die kürzer ist als eine erste Distanz, die eine Länge des Aufnahmebeutels entlang der Öffnung des Aufnahmebeutels ist, in der der Verschlussbereich in dem Schritt zum Antreiben abgeflacht worden ist; und Verschließen des Verschlussbereichs, um den Aufnahmebeutel zu einer Packung des polykristallinen Siliziummaterials zu machen.
Die vorliegende Erfindung ist nicht auf die Ausführungsformen beschränkt, sondern kann von einem Fachmann im Schutzbereich der Ansprüche abgeändert werden. Die vorliegende Erfindung umfasst in ihrem technischen Anwendungsbereich auch jede Ausführungsform, die sich aus der Kombination technischer Mittel ergibt, die in verschiedenen Ausführungsformen offenbart sind.
Liste der Bezugszeichen

1, 2: Verschlusseinrichtung
10, 10A: Kontaktelement
11: Erste Spannvorrichtung
12: Zweite Spannvorrichtung
20, 20A: Antriebsmechanismus
30: Einklemmelement
40: Verschlusselement
100: Herstellungsapparatur
B1: Aufnahmebeutel
B2: Öffnung
C1: Förderband (Einbringsektion)
C2: Förderband (Entladesektion)
CF1: Erste Kontaktoberfläche (Kontaktoberfläche)
CF2: Zweite Kontaktoberfläche (Kontaktoberfläche)
D1: Erste Distanz
D2: Zweite Distanz
FI: Polykristalline Siliziummaterial-Packung
S1: Polykristallines Siliziummaterial
SE: Verschlussbereich

ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
Diese Liste der vom Anmelder aufgeführten Dokumente wurde automatisiert erzeugt und ist ausschließlich zur besseren Information des Lesers aufgenommen. Die Liste ist nicht Bestandteil der deutschen Patent- bzw. Gebrauchsmusteranmeldung. Das DPMA übernimmt keinerlei Haftung für etwaige Fehler oder Auslassungen.
Zitierte Patentliteratur

WO 2019/203316 [0003]

Claims

Verschlusseinrichtung für einen Beutel zur Aufnahme von polykristallinem Siliziummaterial, wobei die Einrichtung umfasst: - ein Kontaktelement, das eingerichtet ist, von oben in eine Öffnung eines Aufnahmebeutels, der ein polykristallines Siliziummaterial aufnimmt, eingeführt zu werden und eingerichtet ist, mit einer Innenfläche des Aufnahmebeutels in Kontakt gebracht zu werden; - ein Verschlusselement, das eingerichtet ist, einen Verschlussbereich im Aufnahmebeutel zu verschließen; - einen Antriebsmechanismus, der eingerichtet ist, das in die Öffnung des Aufnahmebeutels eingeführte Kontaktelement so anzutreiben, dass es an mindestens zwei Punkten der Öffnung zieht, um den Verschlussbereich abzuflachen; und - ein Einklemmelement, das eingerichtet ist, den Aufnahmebeutel an einer Position unterhalb des Verschlussbereichs einzuklemmen, und das so eingerichtet ist, dass es den Aufnahmebeutel über eine zweite Distanz einklemmen kann, die kürzer ist als eine erste Distanz, die eine Länge des Aufnahmebeutels entlang der Öffnung des Aufnahmebeutels ist, in der der Verschlussbereich durch den Antriebsmechanismus abgeflacht wurde.
Verschlusseinrichtung nach Anspruch 1, wobei: - das Kontaktelement eine erste Spannvorrichtung und eine zweite Spannvorrichtung aufweist; - die erste Spannvorrichtung und die zweite Spannvorrichtung jeweils eingerichtet sind, von oben in die Öffnung des Aufnahmebeutels eingeführt zu werden und jeweils eingerichtet sind, mit einer Innenfläche des Aufnahmebeutels in Kontakt gebracht zu werden; und - der Antriebsmechanismus eingerichtet ist, den Verschlussbereich abzuflachen, indem er bewirkt, dass sich die erste Spannvorrichtung und die zweite Spannvorrichtung voneinander wegbewegen, um beide Enden der Öffnung zu ziehen.
Verschlusseinrichtung nach Anspruch 1 oder 2, wobei das Verschlusselement eingerichtet ist, den Verschlussbereich innerhalb einer vorbestimmten Zeitspanne zu verschließen, nachdem das Einklemmelement den Aufnahmebeutel aus einem Einklemmzustand freigegeben hat.
Verschlusseinrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, wobei die zweite Distanz eine Länge von nicht weniger als 60 % und nicht mehr als 95 % der ersten Distanz ist.
Verschlusseinrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 4, wobei mindestens eines aus der Gruppe bestehend aus dem Kontaktelement, dem Verschlusselement und dem Einklemmelement, Harzkontaktflächen zum in-Kontakt-Bringen mit dem Aufnahmebeutel aufweist.
Apparatur zur Herstellung einer polykristallinen Siliziummaterial-Packung, wobei die Apparatur aufweist: - die Verschlusseinrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 5; - eine Einbringsektion, die eingerichtet ist, einen ein polykristallines Siliziummaterial aufnehmenden Aufnahmebeutel in die Verschlusseinrichtung einzubringen; und - eine Entladesektion, die eingerichtet ist, den Aufnahmebeutel, der durch die Verschlusseinrichtung verschlossen wurde, als eine polykristalline Siliziummaterial-Packung zu entladen.
Verfahren zur Herstellung einer polykristallinen Siliziummaterial-Packung, wobei das Verfahren die folgenden Schritte umfasst: - Einführen eines Kontaktelements von oben in eine Öffnung eines Aufnahmebeutels, der ein polykristallines Siliziummaterial aufnimmt, und In-Kontakt-Bringen des Kontaktelements mit einer Innenfläche des Aufnahmebeutels; - Antreiben des in die Öffnung des Aufnahmebeutels eingeführten Kontaktelements, um an mindestens zwei Punkten der Öffnung zu ziehen, um einen Verschlussbereich in dem Aufnahmebeutel abzuflachen; - Einklemmen des Aufnahmebeutels unter Verwendung eines Einklemmelements an einer Position unterhalb des Verschlussbereichs in dem Aufnahmebeutel und über eine zweite Distanz, die kürzer ist als eine erste Distanz, die eine Länge des Aufnahmebeutels entlang der Öffnung des Aufnahmebeutels ist, in der der Verschlussbereich in dem Schritt des Antreibens abgeflacht worden ist; und - Verschließen des Verschlussbereichs, um den Aufnahmebeutel zu einer Packung des polykristallinen Siliziummaterials zu machen.