DE112021001178T5

DE112021001178T5 - Trockenvakuumpumpe

Info

Publication number: DE112021001178T5
Application number: DE112021001178.2T
Authority: DE
Inventors: Yann Olivier; Eric MANDALLAZ; Thibault BOURRILHON; Patrick Philippe
Original assignee: Pfeiffer Vacuum SAS
Current assignee: Pfeiffer Vacuum SAS
Priority date: 2020-02-20
Filing date: 2021-02-12
Publication date: 2022-12-22
Also published as: CZ2022344A3; FR3107575B1; CN115176068A; WO2021165160A1; JP2023514693A; KR20220131556A; FR3107575A1; US20230033204A1

Abstract

Trockenvakuumpumpe (1), umfassend eine elastische äußere Dichtung (16) und mindestens eine elastische innere Dichtung (17), die jeweils einen ersten und einen zweiten ringförmigen Endabschnitt (161, 171, 162, 172), die parallel zueinander und zwischen einem jeweiligen Endstück (9, 10) und den Halbschalen (7, 8) eingesetzt sind, und zwei Seitenleisten (163, 173), die die ringförmigen Endabschnitte (161, 171, 162, 172) verbinden und die in rechten Winkeln zu diesen stehen, umfassen, wobei die Seitenleisten (163, 173) zwischen den Halbschalen (7, 8) eingesetzt sind, wobei die mindestens eine innere Dichtung (17) in der äußeren Dichtung (16) derart angeordnet ist, dass die mindestens eine innere Dichtung (17) und die äußere Dichtung (16) mindestens zwei aufeinanderfolgende Dichtungsbarrieren für die Gase ausbilden.

Description

Die vorliegende Erfindung betrifft eine Trockenvakuumpumpe.
Die Vakuumpumpen vom trockenen Typ umfassen eine oder mehrere Pumpstufen in Reihe, in denen ein zu pumpendes Gas zirkuliert. Bekannte Vakuumpumpen können in jene mit Drehkolben, auch als „Wälzkolben“ bekannt, oder jene mit Nasen, auch als „Klauen“ bekannt, unterteilt werden. Diese Vakuumpumpen werden als „trocken“ bezeichnet, da sich im Betrieb die Rotoren innerhalb eines Stators ohne mechanischen Kontakt zwischeneinander oder mit dem Stator drehen, wodurch kein Öl in den Pumpstufen verwendet werden muss.
Als ein Beispiel offenbart das Dokument US 6,572,351 B2 eine Vakuumpumpenstruktur mit einem Stator in der Form von Halbschalen, die an einer Längsfügefläche zusammengefügt sind, die im Allgemeinen parallel zu den Achsen der Rotoren ist. Die Vakuumpumpe umfasst eine einteilige Dichtung mit zwei ringförmigen Endabschnitten und zwei Seitenleisten, die die ringförmigen Endabschnitte verbinden und die in rechten Winkeln zu diesen stehen. Die zwei ringförmigen Endabschnitte sind parallel zueinander und jedes ist zwischen einem Endstück und den Halbschalen eingesetzt. Die Seitenleisten sind zwischen den Halbschalen eingesetzt. Diese einteilige Dichtung stellt sowohl die Abdichtung zwischen den Halbschalen als auch die Abdichtung zwischen den Halbschalen und den hinzugefügten Endstücken sicher, um die Verdichterstufen von der Außenatmosphäre zu isolieren.
Bei einigen Pumpanwendungen, wie beispielsweise bei den in der Halbleiter-, „Flachbildschirm“- und Photovoltaikindustrie und bei den Beschichtungsverfahren verwendeten Pumpverfahren, können jedoch die verwendeten Gase, insbesondere die Gase, die während der Phasen einer Reinigung der Prozesskammern eingesetzt werden, korrosiv sein. Dies ist insbesondere bei den Gasen NF₃, ClF₃, F₂, Cl₂ der Fall. Diese korrosiven Gase können die Dichtungen beschädigen, die sich zwischen den Halbschalen befinden. Zusätzlich zu den Leistungsverlusten der Pumpvorrichtung kann die Verschlechterung dieser Dichtung zu Sicherheitsproblemen führen. Zum einen kann der Sauerstoff oder Wasserdampf aus der Umgebungsluft in die Pumpkammern eintreten und mit den geförderten Gasen reagieren, was insbesondere das Risiko des Verursachens eines Entzündens oder Explodierens der gepumpten Gase mit sich bringen kann. Zudem können toxische Gase aus den Pumpkammern der Vakuumpumpe, insbesondere den Hochdruckpumpstufen, in die Atmosphäre entweichen, was ein Risiko für die Sicherheit des Personals darstellt.
Um dies zu vermeiden, weisen die Vakuumpumpen eine scheibenartige Architektur auf, wobei die Statoren durch den axialen Zusammenbau mehrerer Statorelemente, einschließlich einer ringförmigen Dichtung, die radial zwischen den Statorelementen komprimiert wird, gekoppelt mit einer Teflon®-Dichtung (oder PTFE-Dichtung), die in derselben ringförmigen Dichtungsnut aufgenommen ist, zusammengesetzt sind. Die Teflon®-Dichtung nimmt die Form eines Streifens eines parallelepipedförmigen Profils an, das zwischen die Statorelemente gequetscht ist, um die Dichtung herzustellen. Die Kopplung der ringförmigen Dichtung mit einer Teflon®-Barriere macht es möglich, die Dichtung zu relativ wirtschaftlichen Kosten zu befestigen.
Diese Ausführungsform, die sehr geeignet für Pumpen mit einer scheibenartigen Architektur ist, kann jedoch nicht einfach auf die Pumpen angewendet werden, die eine Halbschalenarchitektur aufweisen, bei der die Abdichtung durch die oben beschriebene einteilige Dichtung hergestellt wird. Tatsächlich ist es nicht einfach, dreidimensionale Dichtungen aus Teflon® herzustellen, und eine Teflon®-Barriere, die aus mehreren Teilen hergestellt wird, die durch Quetschen zusammengefügt werden, wäre keine zufriedenstellende Lösung, da die Abdichtung ohne Eintritt von Gas zwischen den verschiedenen Teilen aufgrund der kleinen in Kontakt stehenden Flächen und der nicht elastischen Eigenschaften des Teflon® nicht garantiert werden könnte.
Darüber hinaus ist in dem Fall, dass der Endabschnitt eine Nase umfasst, die axial mit den Halbschalen zusammengefügt wird, oder wenn die Montage eine Teflon®-Barriere ist, die weder elastisch noch toroidförmig um die axiale Nase herum ist, kein einfacher Vorgang. Zudem lässt der Zusammenbau der Halbschalen mit den Nasen der hinzugefügten Endstücke in der axialen Richtung kein wirksames Komprimieren der Teflon®-Barriere zu.
Eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es, einen der oben genannten Nachteile zumindest teilweise zu überwinden.
Zu diesem Zweck ist der Gegenstand der Erfindung eine Trockenvakuumpumpe, die Folgendes umfasst:

- einen Stator, der mindestens eine erste und eine zweite komplementäre Halbschale und ein erstes Endstück und ein zweites Endstück umfasst, wobei die Halbschalen und die Endstücke durch axialen Zusammenbau zusammengefügt sind, um mindestens eine Pumpkammer einer Pumpstufe auszubilden,
- zwei Rotorwellen, die dazu ausgebildet sind, sich in der mindestens einen Pumpstufe synchron in entgegengesetzten Richtungen zu drehen, dadurch gekennzeichnet, dass die Vakuumpumpe ferner Folgendes umfasst:
- eine elastische äußere Dichtung und mindestens eine elastische innere Dichtung, die jeweils Folgendes umfassen:
- - einen ersten und einen zweiten ringförmigen Endabschnitt, die parallel zueinander und zwischen einem jeweiligen Endstück und den Halbschalen eingesetzt sind, und
- - zwei Seitenleisten, die die ringförmigen Endabschnitte verbinden und die in rechten Winkeln zu diesen stehen, wobei die Seitenleisten zwischen den Halbschalen eingesetzt sind, wobei die mindestens eine innere Dichtung in der äußeren Dichtung derart angeordnet ist, dass die mindestens eine innere Dichtung und die äußere Dichtung mindestens zwei aufeinanderfolgende Dichtungsbarrieren für die Gase ausbilden.

Die mindestens eine innere Dichtung ist kleiner als die äußere Dichtung, damit diese in einer „verschachtelten“ Anordnung angeordnet werden können. Dadurch ist es möglich, die Dichtungen zu verdoppeln, sogar zu verdreifachen. Dieses Vervielfachen der Dichtungsbarrieren macht es möglich, eine gute Abdichtung sowohl von der Außenseite zur Innenseite als auch umgekehrt sicherzustellen, und ermöglicht die Verwendung von verschiedenen Materialien für jede Dichtung, die Leistungsstufen in Bezug auf eine Beständigkeit gegenüber korrosivem Gas und/oder Wärme bieten können, die sich mit dem Abstand von den Pumpkammern verringern.
Die Vakuumpumpe kann zudem ein oder mehrere der Merkmale, die nachstehend hierin beschrieben sind, einzeln oder in Kombination umfassen.
Die äußere Dichtung kann einteilig sein.
Die mindestens eine innere Dichtung kann einteilig sein.
Gemäß einer anderen beispielhaften Ausführungsform sind die äußere Dichtung und/oder die innere Dichtung an den Enden zusammengefügt, das heißt, durch miteinander Verbinden mehrerer elastischer Dichtungsteile an den jeweiligen Enden.
Die mindestens eine innere Dichtung kann aus einem Material ausgebildet sein, das beständiger gegenüber Korrosion, Abnutzung und/oder hohen Temperaturen ist als das Material der äußeren Dichtung.
Die äußere Dichtung kann aus einem fluorierten Elastomermaterial bestehen.
Die mindestens eine innere Dichtung kann aus einem Perfluorelastomermaterial bestehen.
Gemäß einer beispielhaften Ausführungsform sind die Halbschalen und die Endstücke durch axialen Zusammenbau einer ersten und einer zweiten axialen Nase und eines ersten und eines zweiten axialen Hohlraums, die komplementär sind, zusammengefügt, wobei die einen durch die Halbschalen, die anderen durch die Endstücke getragen sind, wobei die ersten und zweiten ringförmigen Endabschnitte zwischen einer jeweiligen axialen Nase und einem komplementären axialen Hohlraum eingesetzt sind.
Eine erste und mindestes eine zweite umlaufende ringförmige Nut kann in mindestens einer axialen Nase und/oder in mindestens einem axialen Hohlraum ausgebildet sein, um die ersten und zweiten ringförmigen Endabschnitte der äußeren Dichtung und der mindestens einen inneren Dichtung aufzunehmen.
Gemäß einer anderen beispielhaften Ausführungsform sind die Halbschalen und die Endstücke ohne das Vorhandensein der komplementären axialen Nasen und Hohlräume zusammengefügt. Die Endstücke und/oder die Halbschalen weisen zum Beispiel ringförmige Nuten auf, die in den Ebenen der Endstücke und den Ebenen der zugewandten Kanten der Halbschalen ausgebildet sind.
Mindestens zwei Längsnuten können in einer und/oder der anderen der Halbschalen in einer Fügefläche auf jeder Seite der Pumpkammern ausgebildet sein, um die Seitenleisten der äußeren Dichtung und der inneren Dichtung aufzunehmen.
Mindestens ein Einspritzkanal kann in der Halbschale des Stators ausgebildet sein und durch mindestens eine Einspritzöffnung in einen Zwischenraum ragen, der sich zwischen der mindestens einen inneren Dichtung und der äußeren Dichtung befindet, wobei die Vakuumpumpe eine Gaszufuhrvorrichtung umfasst, die dazu ausgebildet ist, ein neutrales Gas in den Einspritzkanal zu spritzen. Diese Zirkulation von Gas erzeugt eine dritte Dichtungsbarriere für die Gase und eine thermische Barriere. Die Dichtungsbarriere macht es insbesondere möglich, die äußere Dichtung zu schonen, besonders wenn diese ein Material aufweist, das weniger beständig gegenüber Korrosion, Abnutzung und/oder hohen Temperaturen ist.
Der Einspritzkanal kann in die Zone des Zwischenraums ragen, die sich in einer Fügefläche der Halbschalen zwischen zwei Seitenleisten befindet.
Die Gaszufuhrvorrichtung kann dazu ausgebildet sein, das neutrale Gas zu erwärmen.
Die Gaszufuhrvorrichtung kann dazu ausgebildet sein, das neutrale Gas mit Überdruck einzuspritzen.
Mindestens ein Saugkanal kann in einer Halbschale des Stators ausgebildet sein und in einen Zwischenraum, der sich zwischen der mindestens einen inneren Dichtung und der äußeren Dichtung befindet, durch mindestens eine Saugöffnung ragen, wobei der Saugkanal den Zwischenraum mit einer Pumpkammer oder einem stufenübergreifenden Kanal der Vakuumpumpe verbindet.
Der Saugkanal kann in die Zone des Zwischenraums ragen, die sich in einer Fügefläche der Halbschalen zwischen zwei Seitenleisten befindet.
Die Vakuumpumpe kann einen Drucksensor umfassen, der dazu ausgebildet ist, den Druck in einem Zwischenraum zu messen, der sich zwischen der mindestens einen inneren Dichtung und der äußeren Dichtung befindet. Die Messung einer Druckschwankung über einem Schwellenwert kann das Vorhandensein einer Undichtigkeit und somit einen Dichtungsmangel aufzeigen.
Die Vakuumpumpe kann einen Gassensor umfassen, der dazu ausgebildet ist, das Vorhandensein mindestens einer korrosiven Gasspezies wie beispielsweise CI oder Cl₂, O₂, F oder F₂, H oder H₂, HBr, HF, HCl, ClF₃, NF₃, SIF₄ in einem Zwischenraum zu bestimmen, der sich zwischen der mindestens einen inneren Dichtung und der äußeren Dichtung befindet. Der Gassensor ist zum Beispiel vom elektrochemischen Typ wie beispielsweise mit zwei oder drei Elektroden. Das Vorhandensein einer dieser Gasspezies in dem Zwischenraum kann das Vorhandensein einer Undichtigkeit und somit einen Dichtungsmangel in der inneren Dichtung aufzeigen.
Der Gas- oder Drucksensor ist zum Beispiel ein MEMS-Sensor („mikro-elektro-mechanischer System-Sensor“).
Die Vakuumpumpe umfasst zum Beispiel eine Steuereinheit wie beispielsweise eine Steuerung oder Mikrosteuerung, die mit dem Gassensor verknüpft und dazu ausgebildet ist, eine Wartung auszulösen, wenn ein Schwellenwert einer Konzentration der mindestens einen korrosiven Gasspezies überschritten wird, und/oder die Steuereinheit ist mit dem Drucksensor verknüpft und dazu ausgebildet, eine Wartung auszulösen, wenn ein Druckschwankungsschwellenwert überschritten wird.
Die Halbschalen des Stators können mindestens zwei Pumpstufen ausbilden, die in Reihe zwischen einer Ansaugung und einem Ablass der Vakuumpumpe montiert sind.
Der Stator kann mindestens zwei Paare von komplementären Halbschalen umfassen, wobei die elastischen äußeren und inneren Dichtungen jeweils mindestens einen ringförmigen Zwischenabschnitt umfassen, der zwischen zwei Paaren von Halbschalen eingesetzt ist.
Der Stator kann ferner mindestens eine einteilige Pumpstufe umfassen, die in Reihe von der mindestens einen Pumpstufe montiert ist, die in den mindestens ersten und zweiten Halbschalen ausgebildet ist.
Figurenliste
Andere Vorteile und Merkmale werden beim Lesen der folgenden Beschreibung einer speziellen, jedoch nicht beschränkenden Ausführungsform der Erfindung und der beigefügten Zeichnungen offensichtlich, in denen:

[1] 1 eine schematische Explosionsansicht von Elementen einer Trockenvakuumpumpe gemäß einer ersten beispielhaften Ausführungsform zeigt.
[2] 2 eine perspektivische Ansicht eines Beispiels einer Rotorwelle der Vakuumpumpe aus 1 zeigt.
[3] 3 eine perspektivische Ansicht einer Halbschale zeigt, die mit einer äußeren Dichtung, einer inneren Dichtung und einem Endstück der Vakuumpumpe aus 1 zusammengebaut ist.
[4] 4 eine Draufsicht von Elementen aus 3 zeigt.
[5] 5 eine Längsschnittansicht der Halbschale aus 4 von der Seite gesehen und eine vergrößerte Ansicht eines Details der Halbschale zeigt.
[6] 6 eine Ansicht in Querschnitt BB der Halbschale aus 4 von vorn gesehen und eine vergrößerte Ansicht eines Details der Halbschale zeigt.
[7] 7 eine schematische Explosionsansicht von Elementen einer Trockenvakuumpumpe gemäß einer zweiten beispielhaften Ausführungsform zeigt.

Die Figuren wurden der Klarheit halber vereinfacht. Nur die zum Verständnis der Erfindung erforderlichen Elemente sind dargestellt.
Die folgenden Ausführungsformen sind Beispiele. Obwohl sich die Beschreibung auf eine oder mehrere Ausführungsformen bezieht, bedeutet dies nicht notwendigerweise, dass jede Bezugnahme dieselbe Ausführungsform betrifft oder dass die Merkmale nur auf eine einzige Ausführungsform zutreffen. Einfache Merkmale verschiedener Ausführungsformen können zudem kombiniert oder ausgetauscht werden, um andere Ausführungsformen bereitzustellen. Eine Primärvakuumpumpe definiert eine volumetrische Vakuumpumpe, die dazu ausgebildet ist, mithilfe zweier Rotorwellen das zu pumpende Gas bei atmosphärischem Druck anzusaugen, zu transportieren und dann abzulassen. Die Rotorwellen werden durch einen Motor der Primärvakuumpumpe drehend angetrieben. Eine Primärvakuumpumpe kann bei atmosphärischem Druck in Betrieb genommen werden.
Eine Vakuumpumpe vom Wälzkolbentyp oder ein Wälzkolbenkompressor (auch „Wälzkolbengebläse“ genannt) definiert eine volumetrische Vakuumpumpe, die dazu ausgebildet ist, mithilfe von Rotoren vom Wälzkolbentyp das zu pumpende Gas anzusaugen, zu transportieren und dann abzulassen. Die Vakuumpumpe vom Wälzkolbentyp ist stromaufwärts von und in Reihe mit einer Primärvakuumpumpe montiert. Die Rotoren sind durch zwei Wellen getragen, die drehend durch einen Motor der Vakuumpumpe vom Wälzkolbentyp angetrieben werden. Die Wälzkolbenvakuumpumpe umfasst eine bis drei Pumpstufen.
Unter „stromaufwärts“ ist ein Element zu verstehen, das in Bezug auf die Zirkulationsrichtung des zu pumpenden Gases vor einem anderen angeordnet ist. Dagegen ist unter „stromabwärts“ ein Element zu verstehen, das in Bezug auf die Zirkulationsrichtung des zu pumpenden Gases nach einem anderen angeordnet ist.
Die axiale Richtung ist als die Längsrichtung der Pumpe definiert, in die sich die Achsen der Rotorwellen erstrecken.
Die Trockenvakuumpumpe 1 aus 1 umfasst einen Stator 2, der mindestens eine Pumpstufe, beispielsweise mindestens zwei Pumpstufen 3a-3f, die in Reihe zwischen einer Ansaugung 4 und einem Ablass 5, beispielsweise zwischen zwei und zehn Pumpstufen (sechs in dem veranschaulichenden Beispiel), ausbildet. Die Vakuumpumpe 1 kann eine Primärvakuumpumpe (1) oder eine Vakuumpumpe vom Wälzkolbentyp sein.
Die Vakuumpumpe 1 umfasst ferner zwei Rotorwellen 6 (2), die dazu ausgebildet sind, sich synchron in entgegengesetzte Richtungen in der mindestens einen Pumpstufe 3a-3f derart zu drehen, dass die Rotoren ein zu pumpendes Gas zwischen der Ansaugung 4 und dem Ablass 5 antreiben. Die Rotorwellen 6 können einteilig oder durch den Zusammenbau verschiedener hinzugefügter Elemente hergestellt sein.
Die Rotoren weisen zum Beispiel Kolben mit identischen Profilen, zum Beispiel vom „Wälzkolben“-Typ (2) oder vom „Klauen“-Typ oder von einem anderen ähnlichen volumetrischen Vakuumpumpenprinzip auf. Die Wellen, die die Rotoren tragen, werden durch einen Motor (nicht dargestellt) angetrieben, der sich zum Beispiel an einem Ende der Vakuumpumpe 1, zum Beispiel auf der Seite des Ablasses 5, befindet.
Jede Pumpstufe 3a-3f des Stators 2 ist durch eine Pumpkammer ausgebildet, die zwei zusammengehörige Rotoren aufnimmt, wobei die Pumpkammern jeweilige Einlässe und Auslässe umfassen. Während einer Drehung wird das von dem Einlass angesaugte Gas in dem Volumen eingefangen, das durch die Rotoren und den Stator 2 erzeugt wird, wobei es dann durch die Rotoren zur nächsten Stufe angetrieben wird.
Die aufeinanderfolgenden Pumpstufen 3a-3f sind nacheinander in Reihe durch jeweilige stufenübergreifende Kanäle (nicht dargestellt) verbunden, die den Auslass der vorhergehenden Pumpstufe 3a-3e mit dem Einlass der nächsten Pumpstufe 3b-3f verbinden. Der Einlass der ersten Pumpstufe 3a ist mit der Ansaugung 4 der Vakuumpumpe 1 verbunden. Der Auslass der letzten Pumpstufe 3f ist mit dem Ablass 5 verbunden. Die axialen Abmessungen der Rotoren und der Pumpkammern sind zum Beispiel gleich oder sie verringern sich mit den Pumpstufen, wobei die Pumpstufe 3a, die sich auf der Seite der Ansaugung 4 befindet, die Rotoren 6 mit der größten axialen Abmessung aufnimmt.
Diese Vakuumpumpen werden als „trocken“ bezeichnet, da sich im Betrieb die Rotoren in dem Stator ohne mechanischen Kontakt zwischeneinander oder mit dem Stator drehen, wodurch kein Öl in den Pumpstufen 3a-3f verwendet werden muss.
Der Stator 2 umfasst mindestens eine erste und eine zweite komplementäre Halbschale 7, 8 und ein erstes Endstück und ein zweites Endstück 9,10. Die Halbschalenarchitektur macht es möglich, die Zeit für den Zusammenbau aufgrund der geringeren Anzahl an auszurichtenden Anschlussstellen zu reduzieren. Diese Architektur macht es zudem möglich, die Risiken von kumulierten Ausrichtungsfehlern zu reduzieren. Die Kosten der Vakuumpumpe 1 können somit reduziert und der Zusammenbau vereinfacht werden.
Die Halbschalen 7, 8 sind durch eine Fügefläche 11 aneinandergefügt, um mindestens eine Pumpkammer der mindestens einen Pumpstufe 3a-3f auszubilden. Die mindestens eine Kompressionskammer, und gegebenenfalls die Transportkanäle, sind teilweise in der ersten Halbschale 7 und teilweise in der zweiten Halbschale 8 ausgebildet.
Die Fügefläche 11 ist zum Beispiel eine ebene Fügefläche, die zum Beispiel durch eine Mittelebene der Trockenvakuumpumpe 1 verläuft. Die ebene Fügefläche 11 enthält zum Beispiel die Achsen der Rotorwellen 6. Diese ebene Fügefläche 11 kann vollkommen eben sein oder kann zum Beispiel komplementäre Reliefformen oder Nuten für Seitenleisten der Dichtungen zwischen den Halbschalen aufweisen, wie später erläutert wird.
Ein erstes Ende der Halbschalen 7, 8 ist durch ein erstes Endstück 9 verschlossen und ein zweites Ende der Halbschalen 7, 8 ist durch ein zweites Endstück 10 verschlossen. Öffnungen sind selbstverständlich in den transversalen Wänden 15 der Halbschalen 7, 8, die gegebenenfalls die Pumpkammern trennen, und den Endstücken 9, 10 für den Durchtritt der Rotorwellen 6 ausgebildet.
Die Halbschalen 7, 8 und die Endstücke 9, 10 werden durch axialen Zusammenbau, zum Beispiel durch den axialen Zusammenbau von komplementären ersten und zweiten axialen Nasen 12 und ersten and zweiten axialen Hohlräumen 13, aneinandergefügt, wobei die einen durch die Halbschalen 7, 8 getragen, die anderen durch die Endstücke 9, 10 getragen sind. In dem in den 1 bis 6 veranschaulichten Beispiel sind die ersten und zweiten axialen Nasen 12 in einem jeweiligen Endstück 9, 10 ausgebildet.
Die axiale Nase 12 ragt in der axialen Richtung hervor. Sie weist zum Beispiel eine längliche transversale Form auf, die im Wesentlichen der Form der Querschnitte der Pumpkammern der Pumpstufen 3a-3f entspricht, in denen die komplementären axialen Hohlräume 13 ausgebildet sind. Die axiale Nase 12 weist zum Beispiel eine massive Form auf. Die axialen Hohlräume 13 sind zum Beispiel in der Pumpkammer der ersten Pumpstufe 3a und in der Pumpkammer der letzten Pumpstufe 3f ausgebildet.
Die Vakuumpumpe 1 umfasst ferner eine äußere Dichtung 16 und mindestens eine innere Dichtung 17. Diese Dichtungen 16, 17 sind dreidimensional und können einteilig, das heißt aus einem Stück, ausgebildet sein.
Gemäß einer anderen beispielhaften Ausführungsform sind die äußere Dichtung 16 und/oder die innere Dichtung 17 an den Enden zusammengefügt, das heißt durch Anordnen mehrerer elastischer Teile der Dichtungen 16, 17 an den jeweiligen Enden ausgebildet.
Diese sind elastisch, insbesondere da diese Elastomermaterialien umfassen. Sie werden zum Beispiel durch Press- oder Spritzgießen hergestellt. Die äußeren und inneren Dichtungen 16, 17 weisen im nicht komprimierten Zustand zum Beispiel einen im Wesentlichen kreisförmigen Querschnitt auf.
Die äußere Dichtung 16 und die innere Dichtung 17 umfassen jeweils einen ersten und einen zweiten ringförmigen Endabschnitt 161, 162, 171, 172, die parallel zueinander sind, und zwei Seitenleisten 163, 173, welche die ringförmigen Endabschnitte 161, 162, 171, 172 verbinden und die in rechten Winkeln zu diesen stehen.
Die ringförmigen Endabschnitte 161, 171, 162, 172 weisen herkömmliche Schlaufenformen auf. Sie sind zwischen einem Endstück 9, 10 und den jeweiligen Halbschalen 7, 8, wie beispielsweise zwischen einer jeweiligen komplementären axialen Nase 12 und einem axialen Hohlraum 13, eingesetzt. Zum Beispiel sind die ersten ringförmigen Endabschnitte 161, 171 zwischen der axialen Nase 12 und dem ersten Endstück 9 und dem axialen Hohlraum 13 der Pumpkammer der letzten Pumpstufe 3f an einem ersten axialen Ende der Halbschalen 7, 8 eingesetzt. Die zweiten ringförmigen Endabschnitte 162, 172 sind zwischen der axialen Nase 12 des zweiten Endstücks 10 und dem axialen Hohlraum 13 der Pumpkammer der ersten Pumpstufe 3a an einem zweiten axialen Ende der Halbschalen 7, 8 eingesetzt.
Diese kreisförmige Form und die elastische Eigenschaft der ringförmigen Endabschnitte 161, 171, 162, 172 ermöglichen, dass diese einfach an einer jeweiligen axialen Nase 12 montiert/davon entfernt werden können.
Die Seitenleisten 163, 173 der äußeren Dichtung 16 und der mindestens einen inneren Dichtung 17 werden zwischen den Halbschalen 7, 8 an der Fügefläche 11 eingesetzt. Es gibt somit zwei Seitenleisten 163, 173, die sich parallel zueinander in der axialen Richtung auf jeder Seite der Pumpkammern erstrecken.
Die mindestens eine innere Dichtung 17 ist in der äußeren Dichtung 16 derart angeordnet, dass die mindestens eine innere Dichtung 17 und die äußere Dichtung 16 mindestens zwei aufeinanderfolgende Dichtungsbarrieren für die Gase ausbilden. Die mindestens eine innere Dichtung 17 ist kleiner als die äußere Dichtung 16, damit diese in einer „verschachtelten“ Anordnung angeordnet werden können.
Die Dichtungen können somit verdoppelt werden. Diese Vervielfachung der Dichtungsbarrieren macht es möglich, eine gute Abdichtung sowohl von der Außenseite zur Innenseite als auch umgekehrt sicherzustellen, und ermöglicht die Verwendung von verschiedenen Materialien, die potentiell Leistungsstufen in Bezug auf eine Beständigkeit gegenüber korrosivem Gas und/oder Wärme bieten, die sich mit dem Abstand von den Pumpkammern verringern.
Tatsächlich kann vorgesehen werden, dass die mindestens eine innere Dichtung 17 durch ein Material ausgebildet wird, das beständiger, insbesondere gegenüber Korrosion, Abnutzung und/oder hohen Temperaturen, als das Material der äußeren Dichtung 16 ist. Das Material der äußeren Dichtung 16 kann somit kostengünstiger sein als das Material der inneren Dichtung 17, während es im Hinblick auf Sicherheit ausreichend ist. Die äußere Dichtung 16 besteht zum Beispiel aus einem fluorierten Elastomermaterial (FKM) und die mindestens eine innere Dichtung 17 besteht zum Beispiel aus einem Perfluorelastomermaterial (FFKM).
Es ist auch möglich, die Dichtungen zu verdreifachen oder sogar noch mehr zu vervielfachen, wobei die Vakuumpumpe 1 dann mindestens zwei innere Dichtungen 17 umfasst, wobei mindestens eine erste innere Dichtung in mindestens einer zweiten inneren Dichtung angeordnet ist. Zudem kann die mindestens eine erste innere Dichtung 17 aus einem Material ausgebildet sein, das beständiger, insbesondere gegenüber Korrosion, Abnutzung und/oder hohen Temperaturen, als das Material der mindestens einen zweiten inneren Dichtung 17 ist. Eine erste umlaufende ringförmige Nut 18a und mindestens eine zweite umlaufende ringförmige Nut 18b können in mindestens einer axialen Nase 12 (5) und/oder in mindestens einem axialen Hohlraum 13 ausgebildet sein, um die ersten ringförmigen Endabschnitte 161, 171 der äußeren Dichtung 16 und der mindestens einen inneren Dichtung 17 aufzunehmen.
Eine erste umlaufende ringförmige Nut 18a und mindestens eine zweite umlaufende ringförmige Nut 18b können in mindestens einer axialen Nase 12 (5) und/oder in mindestens einem axialen Hohlraum 13 ausgebildet sein, um die zweiten ringförmigen Endabschnitte 162, 172 der äußeren Dichtung 16 und der mindestens einen inneren Dichtung 17 aufzunehmen.
Die in den Endstücken 9, 10 ausgebildete axiale Nase 12 hat den Vorteil, dass die umlaufenden ringförmigen Nuten 18a, 18b einteilig sind, ohne Verbindungen zwischen den Halbschalen und daher ohne zusätzliche Dichtungen. Es ist zudem einfacher, umlaufende ringförmige Nuten 18a, 18b in den axialen Nasen 12 herzustellen. Die Montage/Demontage der ringförmigen Endabschnitte 161, 162, 171, 172 in den umlaufenden ringförmigen Nuten 18a, 18b und die Herstellung davon ist daher einfacher bei umlaufenden ringförmigen Nuten, die in in den Endstücken 9, 10 ausgebildeten axialen Nasen 12 ausgebildet sind. Es gibt somit zum Beispiel zwei umlaufende ringförmige Nuten 18a, 18b, die axial in der axialen Nase 12 jedes der zwei Endstücke 9, 10 versetzt angeordnet sind.
Mindestens zwei Längsnuten 19a, 19b können in einer und/oder der anderen der Halbschalen 7, 8 in der Fügefläche 11 auf jeder Seite der Pumpkammern ausgebildet sein, um die Seitenleisten 163, 173 der äußeren Dichtung 16 und der inneren Dichtung 17 aufzunehmen (6).
Es gibt zum Beispiel vier Längsnuten 19a, 19b, die vier Seitenleisten 163, 173 einer inneren Dichtung 17 und einer äußeren Dichtung 16 aufnehmen, wobei zwei Längsnuten 19a, 19b auf jeder Seite der Pumpkammern ausgebildet sind.
Jede äußere und innere Dichtung 16, 17 kann somit in einer dieser zugeordneten jeweiligen umlaufenden ringförmigen Nuten 18a, 18b und jeweiligen Längsnuten 19a, 19b aufgenommen sein. Ferner ist es bevorzugt, eine einzelne Nut auf einer Seite des Stators 2 mit einer dieser Nut zugewandten ebenen Fläche auszubilden, anstatt eine Nut auf jeder Seite. Dies vereinfacht die Montage/Demontage und die Bearbeitung. Eine gute Abdichtung kann somit durch radiales Komprimieren der ringförmigen Endabschnitte 161, 171, 162, 172 und der Seitenleisten 163, 173 erzielt werden.
Der Zwischenraum 22, der sich zwischen der äußeren Dichtung 16 und der mindestens einen inneren Dichtung 17 befindet, definiert ein dicht abgeschlossenes Volumen.
Gemäß einer beispielhaften Ausführungsform ist mindestens ein Einspritzkanal 20 in einer Halbschale 8 des Stators 2 ausgebildet und ragt durch mindestens eine Einspritzöffnung 21 in den Zwischenraum 22 (6). Wie besser in den 3 und 4 zu sehen, ragt der Induktionskanal 20 zum Beispiel in die Zone des Zwischenraums 22, der sich in der Fügefläche 11 zwischen den zwei Seitenleisten 163, 173 befindet. Es gibt zum Beispiel auf jeder Seite der Pumpkammer der vorletzten Pumpstufe 3e mindestens zwei Einspritzkanäle 20, die in einer Halbschale 8 ausgebildet sind und in die Zone ragen.
Die Vakuumpumpe 1 umfasst ferner eine Gaszufuhrvorrichtung 23, die dazu ausgebildet ist, ein neutrales Gas in den Einspritzkanal 20 einzuspritzen (6). Ein neutrales Gas kann dann in den Zwischenraum 22 eingespritzt werden und in Längsrichtung zwischen den Seitenleisten 163, 173 und um die axialen Nasen 12 zwischen den ringförmigen Endabschnitten 161, 171, 162, 172 zirkulieren. Diese Zirkulation von Gas erzeugt eine dritte Dichtungsbarriere für die Gase und eine thermische Barriere. Diese Dichtungsbarriere ermöglicht es insbesondere, dass die äußere Dichtung 16 geschont wird, besonders wenn diese ein Material aufweist, das weniger beständig gegenüber Korrosion, Abnutzung und/oder hohen Temperaturen ist.
Die Gaszufuhrvorrichtung 23 kann dazu ausgebildet sein, das neutrale Gas mit Überdruck einzuspritzen, das heißt einem Druck, der höher als atmosphärischer Druck ist.
Die Gaszufuhrvorrichtung 23 kann zudem dazu ausgebildet sein, das neutrale Gas zu erwärmen. Sie umfasst zum Beispiel eine Spule in thermischem Kontakt mit dem Stator 2, die dazu ausgebildet ist, das in der Spule zirkulierende neutrale Gas durch Wärmeaustausch mit dem Stator 2 zu erwärmen. Der Stator 2 wird durch die Komprimierung der Gase und/oder durch eine eigene Temperatursteuervorrichtung erwärmt.
Mindestens ein Saugkanal (nicht sichtbar), der in den Zwischenraum 22 durch mindestens eine Saugöffnung 24 ragt, kann in einer Halbschale 7, 8 des Stators 2 ausgebildet sein. Der Saugkanal verbindet zum Beispiel den Zwischenraum 22 mit einer Pumpkammer oder einem stufenübergreifenden Kanal der Vakuumpumpe 1, beispielsweise der ersten Pumpstufe 3a. Die Transportkanäle sind zum Beispiel auf den Seiten der Pumpkammern in den Halbschalen ausgebildet.
Die Pumpfunktion der Vakuumpumpe 1 kann somit entweder allein zum Erzeugen eines Vakuums in dem Zwischenraum 22 oder mit einer komplementären Einspritzung eines neutralen Gases verwendet werden, um zu bewirken, dass das neutrale Gas in dem Zwischenraum 22 zirkuliert. Der Zwischenraum 22 kann im Vakuumdruckmodus oder im Gaszirkulationsmodus zudem ermöglichen, eine dritte Dichtungsbarriere für die Gase herzustellen.
Der Saugkanal ragt zum Beispiel in die Zone des Zwischenraums 22, die sich in der Fügefläche 11 zwischen den zwei Seitenleisten 163, 173 befindet. Es gibt zum Beispiel auf jeder Seite der Pumpkammer der ersten Pumpstufe 3a mindestens zwei Ansaugkanäle, die in einer Halbschale 8 ausgebildet sind und in die Zone ragen.
Die Vakuumpumpe 1 kann ferner einen Drucksensor 25 umfassen, der dazu ausgebildet ist, den Druck in dem Zwischenraum 22 zu messen. Der Drucksensor 25 ist zum Beispiel mit dem Einspritzkanal 20 verbunden (6). Die Messung einer Druckschwankung über einem Schwellenwert kann das Vorhandensein einer Undichtigkeit und somit eines Dichtungsdefekts aufzeigen. Diese Information kann durch eine Steuereinheit 26 der Vakuumpumpe 1 verwendet werden, die mit dem Drucksensor 25 verknüpft und dazu ausgebildet ist, das Erfordernis zum Auslösen einer Wartung zu signalisieren, wenn der Druckschwankungsschwellenwert überschritten wird.
Die Vakuumpumpe 1 kann ferner einen Gassensor 27 umfassen, der dazu ausgebildet ist, das Vorhandensein mindestens einer korrosiven Gasspezies in einem Zwischenraum 22 zu bestimmen, der sich zwischen der mindestens einen inneren Dichtung 17 und der äußeren Dichtung 16 befindet. Der Gassensor 27 ist zum Beispiel mit dem Einspritzkanal 20 verbunden (6).
Der Gassensor 27 ist zum Beispiel dazu ausgebildet, das Vorhandensein mindestens einer korrosiven Gasspezies aus Cl oder Cl₂, O₂, F oder F₂, H oder H₂, HBr, HF, HCl, ClF₃, NF₃, SIF₄ zu bestimmen. Der Gassensor 27 ist zum Beispiel vom elektrochemischen Typ wie beispielsweise mit zwei oder drei Elektroden.
Das Vorhandensein einer dieser Gasspezies in dem Zwischenraum 22 kann das Vorhandensein einer Undichtigkeit und somit eines Dichtungsdefekts in der inneren Dichtung 17 aufzeigen. Diese Information kann durch die Steuereinheit 26 verwendet werden, die dann mit dem Gassensor 27 verknüpft und dazu ausgebildet ist, das Erfordernis zum Auslösen einer Wartung zu signalisieren, wenn ein Konzentrationsschwellenwert der mindestens einen korrosiven Gasspezies überschritten wird.
Der Gassensor 27 oder Drucksensor 25 ist zum Beispiel ein MEMS-Sensor („mikro-elektro-mechanischer System-Sensor“).
Durch Detektieren einer Druckstörung oder des Vorhandenseins einer vorbestimmten Gasspezies in dem Totvolumen, das durch die zwei Dichtungen 16, 17 begrenzt ist, ist es möglich, ein Dichtungsversagen ohne Risiko für die Sicherheit von Personal oder Ausrüstung zu detektieren, während einem Wartungsarbeiter ermöglicht wird, einzuschreiten.
7 zeigt eine zweite beispielhafte Ausführungsform der Vakuumpumpe 1.
In diesem Beispiel umfasst der Stator 2 mindestens zwei Paare von komplementären Halbschalen 7, 8, 70, 80, 700, 800 (drei in dem veranschaulichenden Beispiel).
Zum Beispiel bilden zwei Halbschalen 7, 8 zwei Pumpstufen 3a, 3b aus, zwei Halbschalen 70, 80 bilden zwei andere Pumpstufen 3c, 3d aus und zwei Halbschalen 700, 800 bilden zwei andere Pumpstufen 3e, 3f aus, wobei die Pumpstufen 3a-3f in Reihe zwischen der Ansaugung 4 und dem Ablass 5 der Vakuumpumpe 1 montiert sind.
Die elastischen äußeren 16 und inneren 17 Dichtungen umfassen jeweils mindestens einen ringförmigen Zwischenabschnitt 164, 174, 165, 175, der zwischen zwei Paaren von Halbschalen 7, 8 eingesetzt ist. Die ringförmigen Zwischenabschnitte 164, 174, 165, 175 sind parallel zu den ringförmigen Endabschnitten 161, 171, 162, 172 und mit den zwei Seitenleisten 163, 173 verbunden und stehen in rechten Winkeln zu diesen.
Wie die ringförmigen Endabschnitte 161, 171, 162, 172 weisen die ringförmigen Zwischenabschnitte 164, 174, 165, 175 herkömmliche Schlaufenformen auf und können zwischen einer jeweiligen komplementären axialen Nase 12 und einem axialen Hohlraum 13 eingesetzt sein. Zum Beispiel sind die ersten ringförmigen Zwischenabschnitte 164, 174 zwischen den zwei Paaren von Halbschalen 7, 8, 70, 80 eingesetzt und die zwei ringförmigen Zwischenabschnitte 165, 175 sind zwischen den zwei Paaren von Halbschalen 70, 80, 700, 800 eingesetzt. Eine axiale Nase 12 ist zum Beispiel durch ein Paar von Halbschalen 70, 80 an einem ersten Ende getragen und ein axialer Hohlraum 13 ist zum Beispiel in einer Pumpkammer des Paars von Halbschalen 70, 80 an einem zweiten Ende ausgebildet. Darüber hinaus und obwohl nicht in den Figuren dargestellt, kann die Vakuumpumpe 1 zudem mindestens eine einteilige Pumpstufe umfassen, die in Reihe stromaufwärts oder stromabwärts der mindestens einen Pumpstufe 3a-3f montiert ist, die in den mindestens ersten und zweiten Halbschalen 7, 8 ausgebildet ist.
Gemäß einer anderen beispielhaften Ausführungsform können die Halbschalen 7, 8 und die Endstücke 9, 10 zudem ohne das Vorhandensein der komplementären axialen Nasen und Hohlräume zusammengefügt sein. Die Endstücke 9, 10 und/oder die Halbschalen 7, 8 weisen zum Beispiel ringförmige Nuten auf, die in den Ebenen der Endstücke und den Ebenen der zugewandten Kanten der Halbschalen 7, 8 ausgebildet sind.
ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
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Zitierte Patentliteratur

US 6572351 B2 [0003]

Claims

Trockenvakuumpumpe (1), die Folgendes umfasst: - einen Stator (2), der mindestens eine erste und eine zweite komplementäre Halbschale (7, 8) und ein erstes Endstück und ein zweites Endstück (9, 10) umfasst, wobei die Halbschalen (7, 8) und die Endstücke (9, 10) durch axialen Zusammenbau zusammengefügt sind, um mindestens eine Pumpkammer einer Pumpstufe (3a-3f) auszubilden, - zwei Rotorwellen (6), die dazu ausgebildet sind, sich in der mindestens einen Pumpstufe synchron in entgegengesetzten Richtungen zu drehen, dadurch gekennzeichnet, dass die Vakuumpumpe (1) ferner Folgendes umfasst: - eine elastische äußere Dichtung (16) und mindestens eine elastische innere Dichtung (17), die jeweils Folgendes umfassen: - einen ersten und einen zweiten ringförmigen Endabschnitt (161, 171, 162, 172), die parallel zueinander und zwischen einem jeweiligen Endstück (9, 10) und den Halbschalen (7, 8) eingesetzt sind, und - zwei Seitenleisten (163, 173), die die ringförmigen Endabschnitte (161, 171, 162, 172) verbinden und die in rechten Winkeln zu diesen stehen, wobei die Seitenleisten (163, 173) zwischen den Halbschalen (7, 8) eingesetzt sind, wobei die mindestens eine innere Dichtung (17) in der äußeren Dichtung (16) derart angeordnet ist, dass die mindestens eine innere Dichtung (17) und die äußere Dichtung (16) mindestens zwei aufeinanderfolgende Dichtungsbarrieren für die Gase ausbilden.
Vakuumpumpe (1) nach dem vorhergehenden Anspruch, dadurch gekennzeichnet, dass die äußere Dichtung (16) einteilig ist.
Vakuumpumpe (1) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die mindestens eine innere Dichtung (17) einteilig ist.
Vakuumpumpe (1) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die mindestens eine innere Dichtung (17) aus einem Material ausgebildet ist, das beständiger gegenüber Korrosion, Abnutzung und/oder hohen Temperaturen ist als das Material der äußeren Dichtung (16).
Vakuumpumpe (1) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die äußere Dichtung (16) aus einem fluorierten Elastomermaterial besteht und die mindestens eine innere Dichtung (17) aus einem Perfluorelastomermaterial besteht.
Vakuumpumpe (1) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Halbschalen (7, 8) und die Endstücke (9, 10) durch axialen Zusammenbau einer ersten und einer zweiten axialen Nase (12) und eines ersten und eines zweiten axialen Hohlraums (13), die komplementär sind, zusammengefügt sind, wobei die einen durch die Halbschalen (7, 8), die anderen durch die Endstücke (9, 10) getragen sind, wobei die ersten und zweiten ringförmigen Endabschnitte (161, 171, 162, 172) zwischen einer jeweiligen komplementären axialen Nase (12) und einem axialen Hohlraum (13) eingesetzt sind.
Vakuumpumpe (1) nach dem vorhergehenden Anspruch, dadurch gekennzeichnet, dass: - eine erste und mindestens eine zweite umlaufende ringförmige Nut (18a, 18b) in mindestens einer axialen Nase (12) und/oder in mindestens einem axialen Hohlraum (13) ausgebildet sind, um die ersten und zweiten ringförmigen Endabschnitte (161, 171, 162, 172) der äußeren Dichtung (16) und der mindestens einen inneren Dichtung (17) aufzunehmen, - mindestens zwei Längsnuten (19a, 19b) in einer und/oder der anderen der Halbschalen (7, 8) in einer Fügefläche (11) auf jeder Seite der Pumpkammern ausgebildet sind, um die Seitenleisten (163, 173) der äußeren Dichtung (16) und der inneren Dichtung (17) aufzunehmen.
Vakuumpumpe (1) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass mindestens ein Einspritzkanal (20) in einer Halbschale (7, 8) des Stators (2) ausgebildet ist und durch mindestens eine Einspritzöffnung (21) in einen Zwischenraum (22) ragt, der sich zwischen der mindestens einen inneren Dichtung (17) und der äußeren Dichtung (16) befindet, wobei die Vakuumpumpe (1) eine Gaszufuhrvorrichtung (23) umfasst, die dazu ausgebildet ist, ein neutrales Gas in den Einspritzkanal (20) einzuspritzen.
Vakuumpumpe (1) nach dem vorhergehenden Anspruch, dadurch gekennzeichnet, dass der Einspritzkanal (20) in die Zone des Zwischenraums (22) ragt, die sich in einer Fügefläche (11) der Halbschalen (7, 8) zwischen zwei Seitenleisten (163, 173) befindet.
Vakuumpumpe (1) nach einem der Ansprüche 8 oder 9, dadurch gekennzeichnet, dass die Gaszufuhrvorrichtung (23) dazu ausgebildet ist, das neutrale Gas zu erwärmen.
Vakuumpumpe (1) nach einem der Ansprüche 8 bis 10, dadurch gekennzeichnet, dass die Gaszufuhrvorrichtung (23) dazu ausgebildet ist, das neutrale Gas mit Überdruck einzuspritzen.
Vakuumpumpe (1) nach einem der Ansprüche 1 bis 10, dadurch gekennzeichnet, dass mindestens ein Saugkanal in einer Halbschale (7, 8) des Stators (2) ausgebildet ist und in einen Zwischenraum (22), der sich zwischen der mindestens einen inneren Dichtung (17) und der äußeren Dichtung (16) befindet, durch mindestens eine Saugöffnung (24) ragt, wobei der Saugkanal (24) den Zwischenraum (22) mit einer Pumpkammer oder einem stufenübergreifenden Kanal der Vakuumpumpe (1) verbindet.
Vakuumpumpe (1) nach dem vorhergehenden Anspruch, dadurch gekennzeichnet, dass der Saugkanal (24) in die Zone des Zwischenraums (22) ragt, die sich in einer Fügefläche (11) der Halbschalen (7, 8) zwischen zwei Seitenleisten (163, 173) befindet.
Vakuumpumpe (1) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass diese einen Drucksensor (25) umfasst, der dazu ausgebildet ist, den Druck in einem Zwischenraum (22) zu messen, der sich zwischen der mindestens einen inneren Dichtung (17) und der äußeren Dichtung (16) befindet.
Vakuumpumpe (1) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass diese einen Gassensor (27) umfasst, der dazu ausgebildet ist, das Vorhandensein mindestens einer korrosiven Gasspezies in einem Zwischenraum (22) zu bestimmen, der sich zwischen der mindestens einen inneren Dichtung (17) und der äußeren Dichtung (16) befindet.
Vakuumpumpe (1) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Halbschalen (7, 8) des Stators (2) mindestens zwei Pumpstufen (3a-3f) ausbilden, die in Reihe zwischen einer Ansaugung (4) und einem Ablass (5) der Vakuumpumpe (1) montiert sind.
Vakuumpumpe (1) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Stator (2) mindestens zwei Paare von komplementären Halbschalen (7, 8, 70, 80, 700, 800) umfasst, wobei die elastischen äußeren (16) und inneren (17) Dichtungen jeweils mindestens einen ringförmigen Zwischenabschnitt (164, 165, 174, 175) umfassen, der zwischen zwei Paaren von Halbschalen (7, 8, 70, 80, 700, 800) eingesetzt ist.
Vakuumpumpe (1) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Stator (2) ferner mindestens eine einteilige Pumpstufe umfasst, die in Reihe von der mindestens einen Pumpstufe (3a-3f) montiert ist, die in den mindestens ersten und zweiten Halbschalen (7, 8) ausgebildet ist.