DE112018003730T5 - Modulare Mikrojet-Kühlung von gepackten elektronischen Komponenten - Google Patents

Modulare Mikrojet-Kühlung von gepackten elektronischen Komponenten Download PDF

Info

Publication number
DE112018003730T5
DE112018003730T5 DE112018003730.4T DE112018003730T DE112018003730T5 DE 112018003730 T5 DE112018003730 T5 DE 112018003730T5 DE 112018003730 T DE112018003730 T DE 112018003730T DE 112018003730 T5 DE112018003730 T5 DE 112018003730T5
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
microjet
base
modular
cooler
generating device
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
DE112018003730.4T
Other languages
English (en)
Inventor
James Paul Smith
Bernard A. Malouin Jr.
Eric A. Browne
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Massachusetts Institute of Technology
Original Assignee
Massachusetts Institute of Technology
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Massachusetts Institute of Technology filed Critical Massachusetts Institute of Technology
Publication of DE112018003730T5 publication Critical patent/DE112018003730T5/de
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L23/00Details of semiconductor or other solid state devices
    • H01L23/34Arrangements for cooling, heating, ventilating or temperature compensation ; Temperature sensing arrangements
    • H01L23/46Arrangements for cooling, heating, ventilating or temperature compensation ; Temperature sensing arrangements involving the transfer of heat by flowing fluids
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L23/00Details of semiconductor or other solid state devices
    • H01L23/34Arrangements for cooling, heating, ventilating or temperature compensation ; Temperature sensing arrangements
    • H01L23/46Arrangements for cooling, heating, ventilating or temperature compensation ; Temperature sensing arrangements involving the transfer of heat by flowing fluids
    • H01L23/473Arrangements for cooling, heating, ventilating or temperature compensation ; Temperature sensing arrangements involving the transfer of heat by flowing fluids by flowing liquids
    • H01L23/4735Jet impingement
    • GPHYSICS
    • G06COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
    • G06FELECTRIC DIGITAL DATA PROCESSING
    • G06F1/00Details not covered by groups G06F3/00 - G06F13/00 and G06F21/00
    • G06F1/16Constructional details or arrangements
    • G06F1/20Cooling means
    • GPHYSICS
    • G06COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
    • G06FELECTRIC DIGITAL DATA PROCESSING
    • G06F2200/00Indexing scheme relating to G06F1/04 - G06F1/32
    • G06F2200/20Indexing scheme relating to G06F1/20
    • G06F2200/201Cooling arrangements using cooling fluid
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L23/00Details of semiconductor or other solid state devices
    • H01L23/12Mountings, e.g. non-detachable insulating substrates
    • H01L23/13Mountings, e.g. non-detachable insulating substrates characterised by the shape
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K7/00Constructional details common to different types of electric apparatus
    • H05K7/20Modifications to facilitate cooling, ventilating, or heating
    • H05K7/2089Modifications to facilitate cooling, ventilating, or heating for power electronics, e.g. for inverters for controlling motor
    • H05K7/20927Liquid coolant without phase change

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Theoretical Computer Science (AREA)
  • Human Computer Interaction (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Cooling Or The Like Of Electrical Apparatus (AREA)

Abstract

Die vorliegende Erfindung betrifft allgemein einen modularen Mikrojet-Kühler. Der modulare Mikrojet-Kühler kann an einer gepackten wärmeerzeugenden Vorrichtung angebracht werden kann, die an einer Leiterplatte montiert ist. Der modulare Mikrojet-Kühler hat einen Einlass, der es ermöglicht, Zuführ-Fluid durch die Mikrojet-Düsen in Richtung auf eine Aufprallfläche der gepackten Vorrichtung zu leiten. Der modulare Mikrojet-Kühler hat außerdem einen oder mehrere Auslässe, die es ermöglichen, Ablass-Fluid abzuführen. Der modulare Mikrojet-Kühler wird an der Vorrichtung angebracht, nachdem diese gepackt wurde. Außerdem kann der modulare Mikrojet-Kühler an der gepackten Vorrichtung angebracht werden, entweder bevor oder nachdem die Vorrichtung an der Leiterplatte montiert wurde.

Description

  • Die vorliegende Anmeldung beansprucht die Priorität der vorläufigen US-Patentanmeldung mit der Seriennummer 62/535,339 , angemeldet am 21. Juli 2017, deren Offenbarung in ihrer Gesamtheit durch Bezugnahme hierin aufgenommen ist.
  • Diese Erfindung erfolgte mit Unterstützung der Regierung unter der Vertragsnummer FA8721-05-C-0002, die von der United States Air Force vergeben wurde. Die Regierung hat bestimmte Rechte an der Erfindung.
  • Hintergrund der Erfindung
  • Viele elektronische Komponenten, wie zum Beispiel Verarbeitungseinheiten und Hochfrequenzvorrichtungen (HF-Vorrichtungen), werden üblicherweise in vielen derzeitigen Schaltkreisen verwendet und erzeugen erhebliche Mengen an Wärme. Beispielsweise werden HF-Vorrichtungen, wie zum Beispiel Transistoren mit hoher Elektronenmobilität (HEMTs), üblicherweise beim Radar (Flugzeugüberwachung, Wetterüberwachung, taktische Überwachung); bei der elektronischen Kriegsführung (EW), einschließlich Jamming; bei HF-Kommunikationssystemen; und bei anderen Anwendungen benutzt. Verarbeitungseinheiten, wie zum Beispiel CPUs, werden allgemein in Computern, Laptops, mobilen elektronischen Geräten und anderen Anwendungen benutzt.
  • Ein limitierender Faktor bei vielen dieser Anwendungen ist die maximale Komponententemperatur der wärmeerzeugenden Vorrichtung, die beispielsweise in der Gate-Region eines HEMT auftreten kann. Die Lebensdauer von Komponenten ist eine Funktion der maximalen Temperatur, und daher erfolgt häufig ein Kompromiss zwischen Lebensdauer, maximaler Ausgangsleistung und/oder Einschaltdauer.
  • Die maximale Komponententemperatur in diesen wärmeerzeugenden Vorrichtungen wird durch die Wärmeübertragung in mehreren Schichten bestimmt.
  • Erstens, der konduktive thermische Widerstand durch die wärmeerzeugende Komponente selbst ist ein Faktor bei der Bestimmung der maximalen Komponententemperatur. Die elektrisch aktive Region einer wärmeerzeugenden Vorrichtung befindet sich üblicherweise an einer Seite eines Halbleitersubstrats, das beispielsweise Silizium, Galliumnitrid oder Galliumarsenid sein kann. Das ist die Region, wo Abwärme erzeugt wird. Diese Wärme muss durch das Substrat geleitet werden, bevor sie durch das Wärmemanagementsystem abgeleitet wird. Der thermische Widerstand korrespondiert mit der Dicke.
  • Zweitens, die Wärmeübertragung von der Oberfläche des Halbleitersubstrats zum Wärmemanagementsystem ist ein Faktor zur Bestimmung der maximalen Komponententemperatur. Wärmemanagementsysteme leiten normalerweise Wärme von der wärmeerzeugenden Vorrichtung in einen Verteiler oder in eine Wärmesenke ab. Diese Systeme geben die Wärme dann, beispielsweise über freie Konvektion, Konduktion oder Strahlung, an die Umgebung oder, unter Verwendung erzwungener Konvektion, an ein Kühlmittel ab.
  • Bestehende Technologien verwenden zu diesem Zweck Lamellen-Kühlkörper, Kühlplatten, Mikrokanäle oder Radiatoren. Somit kann die Wärmeübertragung von der wärmeerzeugenden Vorrichtung durch die Leistungsfähigkeit dieser Technologien begrenzt sein. Beispielsweise basieren diese Technologien normalerweise auf dem Vorhandensein eines thermischen Interface-Materials (TIM) zwischen der Komponente und dem Wärmemanagementsystem. Durch das thermische Interface-Material, auch wenn es ausgewählt ist, um einen geringen Widerstand zu haben, wird die Effizienz jeder Lösung vermindert.
  • Außerdem bestimmen die Größe, das Gewicht und die Leistung (SWaP) von vorhandenen Wärmemanagementlösungen häufig das Design dieser Systeme und können deren Leistungsfähigkeit einschränken. Beispielsweise kann das System, in dem die wärmeerzeugende Vorrichtung enthalten ist, recht kompakt sein, wodurch die Fähigkeit einschränkt wird, die Wärme an eine kühlere Umgebung zu übertragen.
  • Daher wäre es von Vorteil, wenn es ein Wärmemanagementsystem gäbe, das diesen Herausforderungen Rechnung trägt, indem der konduktive und konvektive thermische Widerstand in wärmeerzeugenden Vorrichtungen minimiert und die Abhängigkeit von SWaP-beschränkenden Kühlkörpern, Verteilern und ähnlichen Vorrichtungen verringert oder überwunden wird.
  • Zusammenfassung der Erfindung
  • Die vorliegende Erfindung betrifft allgemein einen modularen Mikrojet-Kühler. Der modulare Mikrojet-Kühler kann an einer gepackten wärmeerzeugenden Vorrichtung angebracht sein, die an einer Leiterplatte montiert ist. Der modulare Mikrojet-Kühler hat einen Einlass, der es ermöglicht, dass Zuführ-Fluid durch Mikrojet-Düsen in Richtung einer Aufprallfläche an der Vorrichtungspackung geleitet werden kann. Der modulare Mikrojet-Kühler hat außerdem einen oder mehrere Auslässe, die es ermöglichen, dass Ablass-Fluid abgeführt werden kann. Der modulare Mikrojet-Kühler wird an der Vorrichtung angebracht, nachdem diese hergestellt und gepackt ist. Außerdem kann der modulare Mikrojet-Kühler an der gepackten Vorrichtung angebracht werden, und zwar entweder vor oder nach deren Montage an der gedruckten Leiterplatte.
  • Gemäß einer Ausführungsform ist ein modularer Mikrojet-Kühler offenbart. Der modulare Mikrojet-Kühler hat eine Basis mit einer Mehrzahl von Mikrojet-Düsen und einem Auslassanschluss; hochstehende Seitenwände, die sich von der Basis erstrecken und eine Kavität mit einer offenen Seite gegenüberliegend zur Basis bilden; einen Befestigungsmechanismus, der an Enden der hochstehenden Seitenwände angeordnet ist; ein Einlassrohr, das mit der Mehrzahl von Mikrojet-Düsen in Verbindung steht; und ein Auslassrohr, das mit dem Auslassanschluss in Verbindung steht. Bei einigen Ausführungsformen hat die Basis einen zentralen Bereich, wo die Mehrzahl der Mikrojet-Düsen angeordnet ist, und einen den zentralen Bereich umgebenden Graben, wobei der Auslassanschluss in dem Graben angeordnet ist. Bei bestimmten Ausführungsformen sind das Einlassrohr und das Auslassrohr an einer Außenfläche, die der Kavität gegenüberliegt, mit der Basis verbunden. Bei bestimmten Ausführungsformen umfasst der Befestigungsmechanismus ein Lötmittel, einen Klebstoff oder eine Abdichtung.
  • Gemäß einer weiteren Ausführungsform ist eine Anordnung offenbart. Die Anordnung umfasst den vorstehend beschriebenen modularen Mikrojet-Kühler sowie eine gepackte wärmeerzeugende Vorrichtung, wobei die Enden der hochstehenden Seitenwände unter Verwendung des Befestigungsmechanismus an einer Aufprallfläche der gepackten wärmeerzeugenden Vorrichtung befestigt sind, wodurch eine fluiddichte Verbindung gebildet wird. Bei einigen Ausführungsformen ist die gepackte wärmeerzeugende Vorrichtung an einer Leiterplatte montiert.
  • Gemäß einer weiteren Ausführungsform ist ein modularer Mikrojet-Kühler offenbart. Der modulare Mikrojet-Kühler hat eine Basis mit einer Mehrzahl von Mikrojet-Düsen und einem Auslassanschluss; hochstehende Seitenwände, die sich von der Basis erstrecken und eine Kavität mit einer offenen Seite gegenüberliegend zur Basis bilden; einen Befestigungsmechanismus, der an Enden der hochstehenden Seitenwände angeordnet ist; eine Einlassverbindung, die an einer Bodenfläche der Basis gegenüberliegend zur Kavität angeordnet ist, wobei die Einlassverbindung einen Durchgang aufweist, der mit der Mehrzahl von Mikrojet-Düsen in Verbindung steht; und eine Auslassverbindung, die an einer Bodenfläche der Basis gegenüberliegend zur Kavität angeordnet ist, wobei die Auslassverbindung einen Durchgang aufweist, der mit dem Auslassanschluss in Verbindung steht. Bei bestimmten Ausführungsformen sind die Einlassverbindung und die Auslassverbindung durch gerippte Stecknippel gebildet. Bei anderen Ausführungsformen sind die Einlassverbindung und die Auslassverbindung durch Schnellverschlusskupplungen gebildet. Bei bestimmten Ausführungsformen umfasst die Basis einen ersten Bereich, in dem die Mehrzahl von Mikrojet-Düsen angeordnet ist, und einen zweiten Bereich benachbart zum ersten Bereich, wobei der Auslassanschluss in dem zweiten Bereich angeordnet ist.
  • Gemäß einer weiteren Ausführungsform ist eine Anordnung offenbart. Die Anordnung umfasst den zuvor beschriebenen modularen Mikrojet-Kühler und eine gepackte wärmeerzeugende Vorrichtung, wobei die Enden der Seitenwände unter Verwendung des Befestigungsmechanismus an einer Aufprallfläche der gepackten wärmeerzeugenden Vorrichtung befestigt sind, wodurch eine fluiddichte Verbindung gebildet wird. Bei einigen Ausführungsformen ist die gepackte wärmeerzeugende Vorrichtung an einer Leiterplatte montiert.
  • Gemäß einer weiteren Ausführungsform ist eine Anordnung offenbart. Die Anordnung umfasst einen modularen Mikrojet-Kühler mit einer Basis, die eine Mehrzahl von Mikrojet-Düsen und einen Auslassanschluss aufweist; hochstehenden Seitenwänden, die sich von der Basis erstrecken und eine Kavität mit einer offenen Seite bilden; und einem Befestigungsmechanismus, der an Enden der hochstehenden Seitenwände angeordnet ist; eine Abdichtung, die an einer äußeren Bodenfläche der Basis angeordnet ist, wobei die Abdichtung mindestens eine der Mehrzahl von Mikrojet-Düsen umgibt; eine zweite Abdichtung, die an der äußeren Bodenfläche der Basis angeordnet ist, wobei die zweite Abdichtung den Auslassanschluss umgibt; und einen Verteiler mit einer ersten Öffnung, die mit den Mikrojet-Düsen in Verbindung steht, um den Mikrojet-Düsen ein Zuführ-Fluid zuzuführen, und einer zweiten Öffnung, um ein Ablass-Fluid von dem Auslassanschluss aufzunehmen. Bei bestimmten Ausführungsformen bewirken die Abdichtung und die zweite Abdichtung eine fluiddichte Verbindung zwischen dem modularen Mikrojet-Kühler und dem Verteiler. Bei einigen Ausführungsformen umfasst die Anordnung außerdem eine gepackte wärmeerzeugende Vorrichtung, wobei die Enden der hochstehenden Seitenwände unter Verwendung des Befestigungsmechanismus an einer Aufprallfläche der gepackten wärmeerzeugenden Vorrichtung befestigt sind, wodurch eine fluiddichte Verbindung gebildet wird. Bei einigen Ausführungsformen umfasst der Befestigungsmechanismus ein Lötmittel, einen Klebstoff oder eine Abdichtung. Bei einigen Ausführungsformen ist die gepackte wärmeerzeugende Vorrichtung an einer Leiterplatte montiert.
  • Figurenliste
  • Zum besseren Verständnis der vorliegenden Erfindung wird auf die beigefügten Zeichnungen Bezug genommen, in denen gleiche Elemente mit gleichen Bezugszeichen bezeichnet sind, und in denen:
    • 1 zeigt die Fluid-Stromlinien, die analytisch für ein Array von Mikrojets vorhergesagt wurden.
    • 2 zeigt den Wärmeübertragungskoeffizienten an der Aufprallfläche.
    • 3 stellt den modularen Mikrojet-Kühler gemäß einer Ausführungsform dar, der an einer gepackten wärmeerzeugenden Vorrichtung angebracht ist.
    • 4A-4B zeigen eine Draufsicht bzw. eine Querschnittsansicht des modularen Mikrojet-Kühlers gemäß einer Ausführungsform.
    • 5A-5B zeigen eine Unteransicht bzw. eine Querschnittsansicht des modularen Mikrojet-Kühlers aus 4A, der an einer gepackten wärmeerzeugenden Vorrichtung angebracht ist.
    • 6 zeigt eine Querschnittsansicht des modularen Mikrojet-Kühlers aus 4A, der an einer gepackten wärmeerzeugenden Vorrichtung angebracht ist, die an einer Leiterplatte montiert ist.
    • 7 zeigt die Fluid-Strömung in dem modularen Mikrojet-Kühler aus 4A.
    • 8A-8C zeigen eine Draufsicht, eine Unteransicht bzw. eine Querschnittsansicht des modularen Mikrojet-Kühlers gemäß einer anderen Ausführungsform.
    • 9 zeigt den modularen Mikrojet-Kühler aus 8A, der an einer gepackten Vorrichtung befestigt ist, die an einer Leiterplatte montiert ist.
    • 10A-10B zeigen eine Querschnittsansicht bzw. eine perspektivische Ansicht des modularen Mikrojet-Kühlers gemäß einer anderen Ausführungsform.
    • 11 zeigt einen Verteiler, der mit der Ausführungsform aus 8A-8C und 9 verwendet werden kann.
  • Detaillierte Beschreibung
  • Mikrojet-Impingement ist eine Wärmeübertragungstechnik, bei der ein Strahl oder eine Array von Strahlen (Jets) auf eine Oberfläche auftrifft, mit dem Ziel, Wärme zwischen der Oberfläche und dem Fluid des Strahls zu übertragen. Strahlen können durch Verwendung von Düsen, Rohren oder einer Öffnungsplatte gebildet werden und zeichnen sich durch ein wesentlich höheres Momentum in einer Richtung im Vergleich zu dem umgebenden Fluid aus. Üblicherweise ist ein turbulentes Strahl-Austrittsgeschwindigkeitsprofil über den Radius flach und verringert sich am Rand auf Null, und zwar aufgrund des Vorhandenseins der Düse. Durch diesen Hochgeschwindigkeitsstrahl wird die thermische Grenzschicht an der Wärmeübertragungsfläche vermindert, was zu hohen Wärmeübertragungskoeffizienten führt.
  • Bei einer möglichen Implementierung tritt ein Array aus Mikrojets aus einer Reservoir-Region durch eine Verengung im Mikrometerbereich in einer Strahlplatte mit hohen Geschwindigkeiten aus. Der Mikrojet ist eingetaucht (austreten des Strahls in eine Region, die Kühlmittel anstelle eines anderen Fluids oder eines Vakuums enthält) und durch die Geometrie begrenzt. Der Mikrojet ist auf die Aufprallfläche gerichtet, wo lokal hohe Fluid-Geschwindigkeiten, Grenzschichtunterdrückung und turbulente Vermischung extrem hohe konvektive Wärmeübertragungskoeffizienten zwischen der Aufprallfläche und dem Kühlmittel erzeugen. Die Mikrojets können geometrisch als Array angeordnet sein, um größere Oberflächengebiete zu kühlen, mit Wärmeübertragungskoeffizienten von mehr als 400 kW/m2K, gemittelt über eine Aufprallfläche von 1 mm2, wie wird durch computerberechnete Fluid-Dynamik-Analysen typischer Geometrien gezeigt wird. Dadurch können signifikante Vorteile gegenüber gegenwärtigen fortschrittlichen Kühlplatten-Konstruktionen mit einer Leistungsfähigkeit in der Größenordnung von 1 bis 10 kW/m2K erreicht werden.
  • 1 zeigt Fluid-Strömungslinien, wie sie analytisch unter Verwendung von computerberechneten Fluid-Dynamiken vorhergesagt wurden. Diese Strömungslinien treffen auf die Aufprallfläche 102 der Komponente 100 auf. Das Kühlmittel wird erwärmt, und seine Geschwindigkeit wird umgekehrt und nimmt ab. In dieser Figur tritt das Kühlmittel durch Auslassanschlüsse aus, die außerhalb des Arrays aus Mikrojets 220 angeordnet sind. Strömungen mit höherer Geschwindigkeit sind mit Hilfe von durchgezogenen Linien gezeigt, während Strömungen mit geringerer Geschwindigkeit durch gepunktete Linien dargestellt sind.
  • 2 zeigt den Wärmeübertragungskoeffizienten an der Aufprallfläche 102. In dieser Figur sind die Mikrojets 220 als ein 4×4-Array angeordnet, das über eine Fläche von 1 mm2 verteilt ist. Jeder Mikrojet 220 hat einen Durchmesser von 100 µm. In diesem Beispiel beträgt die mittlere Mikrojet-Geschwindigkeit 30 m/s. Der Wärmeübertragungskoeffizient liegt bei 600,000 W/m2K. Dieser Wärmeübertragungskoeffizient nimmt mit zunehmender Entfernung von der Aufprallzone ab.
  • Daher wäre es vorteilhaft, die Mikrojet-Kühlung als eine Wärmeübertragungstechnik für wärmeerzeugende Komponenten zu verwenden. Die vorliegende Erfindung führt das Konzept eines modularen Mikrojet-Kühlers ein. Im Gegensatz zu vielen vorhandenen Wärmemanagementlösungen mit hoher Leistungsfähigkeit erreicht der modulare Mikrojet-Kühler eine sehr hohe thermische Leistungsfähigkeit, muss jedoch beim Herstellen und Packen der Vorrichtung nicht neugestaltet oder integriert werden. Stattdessen kann ein modularer Mikrojet-Kühler direkt auf einer neuen oder bereits vorhandenen Packung integriert werden, wobei das Äußere der Packung die Aufprallfläche bildet. Außerdem wird beim direkten Auftreffen die Notwendigkeit zusätzlicher thermischer Interface-Materialien (TIMs, z.B. thermische Pasten) vermieden, die ansonsten für die mechanische Verbindung von gerippten Wärmesenken, herkömmlichen Kühlplatten oder Mikrokanal-Aufsätzen erforderlich sind.
  • Elektronische Komponenten und andere Komponenten sind ebenfalls in einer Packung eingeschlossen, die aus Keramik, Kunststoff oder anderen Materialien hergestellt sein kann. Die elektrischen Leitungen von der Komponente enden normalerweise an Kontaktstellen, Stiften oder Erhebungen auf der äußeren Oberfläche dieser Packung. Der Typ oder die Konfiguration der Packung, die die wärmeerzeugende Vorrichtung einschließt, ist durch diese Offenbarung nicht beschränkt.
  • Diese Integration kann erreicht werden, indem der modulare Mikrojet-Kühler dauerhaft mit einer äußeren Oberfläche der gepackten elektronischen Komponente verbunden wird, beispielsweise unter Verwendung von Klebstoff oder Lötmittel. Alternativ kann diese Integration durch eine temporäre Verbindung erreicht werden, beispielsweise unter Verwendung von Abdichtungen und einer mechanischen Klemmkraft. Durch Verwendung modularer Mikrojet-Kühler werden die oft unregelmäßigen thermischen Pfade zwischen Komponenten-Packungen und ihrer zugehörigen Wärmesenke durch eine einzige konvektive Lösung mit hoher Leistungsfähigkeit ersetzt. In vielen Fällen erfordert die Verwendung eines modularen Mikrojet-Kühlers keine Modifikationen bezüglich des bestehenden Komponenten-Herstellungsprozesses oder des Designs der Packung.
  • 3 zeigt einen modularen Mikrojet-Kühler 300, der mit einer gepackten wärmeerzeugenden Vorrichtung 350 verlötet ist, die ein Galliumnitrid (GaN) QFN Packung sein kann. Die gepackte wärmeerzeugende Vorrichtung 350 ist an einer herkömmlichen Leiterplatte (PCB) 360 angeordnet. Indem das Äußere der gepackten wärmeerzeugenden Vorrichtung 350 als die Aufprallfläche verwendet wird, werden höhere Wärmeübertragungskoeffizienten erzielt, als wenn eine Wärmesenke oder eine Kühlplatte mit der Packung verklebt oder verbunden wäre. Außerdem werden thermische Schnittstellenverluste reduziert, wodurch die Leistungsfähigkeit weiter verbessert wird.
  • In dieser Darstellung weist das PCB 360 eine Aussparung auf, so dass die Unterseite der gepackten wärmeerzeugende Vorrichtung 350 zugänglich ist. Der modulare Mikrojet-Kühler 300 wird dann an einer Oberfläche der gepackten wärmeerzeugenden Vorrichtung 350 befestigt. Der modulare Mikrojet-Kühler 300 kann an irgendeiner undurchlässigen Oberfläche der Packung befestigt werden, wird aber üblicherweise an der thermischen Pad-Oberfläche der Packung befestigt, sofern diese vorhanden ist, um die größte Wirkung zu erzielen. Bei vielen Ausführungsformen kann dies die Unterseite der Packung sein. Bei anderen Ausführungsformen ist jedoch die Unterseite der Packung möglicherweise nicht zugänglich. Bei diesen Ausführungsformen kann der modulare Mikrojet-Kühler 300 an der oberen Oberfläche der Packung befestigt sein.
  • 3 zeigt schraffierte Strömungslinien 301, die das Zuführ-Fluid darstellen, wenn dieses in Richtung auf die gepackte wärmeerzeugende Vorrichtung 350 strömt und auf diese auftrifft. Die schraffierten Strömungslinien 302 stellen das Ablass-Fluid dar, das anschließend von dem modularen Mikrojet-Kühler 300 abgeführt wird. Wie in 3 gesehen werden kann, sind die Mikrojets eingetaucht, wodurch anzeigt wird, dass das Zuführ-Fluid in eine Region austritt, die Ablass-Fluid enthält und durch eine Geometrie begrenzt ist.
  • 3 soll veranschaulichen, dass der modulare Mikrojet-Kühler 300 an einer gepackten wärmeerzeugenden Vorrichtung 350 angebracht werden kann. Es gibt eine Vielzahl von Verfahren, die benutzt werden können, um diese Verbindung zu erreichen. Besonders hervorzuheben ist, dass das Material des modularen Mikrojet-Kühlers und das Verfahren zur Befestigung keinen wesentlichen Einfluss auf die thermische Leistungsfähigkeit haben. Dies ermöglicht eine große Flexibilität bei der Auswahl der Materialien, wobei die Notwendigkeit teurer Beschichtungen oder aufgebrachter Schichten mit hoher Leitfähigkeit vermieden wird.
  • 4A-B zeigen eine erste Ausführungsform, wobei 4A eine Draufsicht und 4B eine Querschnittsansicht ist. Der modulare Mikrojet-Kühler 400 umfasst eine Mehrzahl hochstehender Seitenwände 401, die mit einer Basis 402 verbunden sind. Die hochstehenden Seitenwände 401 erstrecken sich bis über die Basis 402 hinaus, wodurch eine Kavität 403 gebildet wird (siehe 7). Die Kavität 403 wird durch die Basis 402 sowie durch die hochstehenden Seitenwände 401 gebildet und hat eine offene Seite. Ein Klebstoff, eine Vorform oder ein Lötmittel kann an den Enden der hochstehenden Seitenwände 401 vorgesehen sein, um eine fluiddichte Verbindung mit der gepackten wärmeerzeugenden Vorrichtung 350 auf dem PCB zu ermöglichen. Die gepackte wärmeerzeugende Vorrichtung ist benachbart der offenen Seite der Kavität angebracht und wandelt die Kavität 403 in eine abgedichtete Region um. Die abgedichtete Region wird durch die Basis 402, die hochstehenden Seitenwände 401 und die Oberfläche der gepackten wärmeerzeugenden Vorrichtung 350 gebildet.
  • Die Basis 402 hat einen zentralen Bereich 410, der eine Mehrzahl von Mikrojet-Düsen 411 aufweist. An der äußeren Oberfläche der Basis 402 ist das Einlassrohr 440 angebracht. Das Einlassrohr 440 kann auf verschiedene Weise an dem modularen Mikrojet-Kühler 400 angebracht sein, und der Befestigungsmechanismus ist nicht auf diese Offenbarung beschränkt. Die Mikrojet-Düsen 411 stehen in Fluidverbindung mit dem Einlassrohr 440. Beispielsweise kann die Basis 402 so ausgebildet sein, um interne Durchgänge zwischen dem Einlassrohr 440 und den Mikrojet-Düsen 411 zu haben.
  • Obwohl der zentrale Bereich 410 als kreisförmig dargestellt ist, sind auch andere Formen möglich. Diese Mikrojet-Düsen 411 können in einer zweidimensionalen Matrix angeordnet sein, wie in 4A gezeigt, können aber in einem anderen Muster angeordnet sein kann. Ferner kann, obwohl eine Matrix aus 4×4 Mikrojet-Düsen gezeigt ist, die Matrix eine beliebige Dimension haben und muss bei bestimmten Ausführungsformen bezüglich der beiden Dimensionen nicht gleich sein. Diese Anordnung von Mikrojet-Düsen 411 kann als ein Mikrojet-Einlass-Array bezeichnet werden.
  • Ein Graben 420 kann den zentralen Bereich 410 umgeben. Dieser Graben 420 kann sich in die Basis 402 erstrecken und bildet einen Kanal, um Ablass-Fluid zum Auslassanschluss 421 zu leiten. Der Auslassanschluss 421 umfasst ein oder mehrere Löcher, die durch die Basis 402 verlaufen, und stellt einen Befestigungsmechanismus für das Auslassrohr 430 zur Verfügung. Das Auslassrohr 430 kann auf verschiedene Arten an dem modularen Mikrojet-Kühler 400 befestigt werden, und der Befestigungsmechanismus ist nicht auf diese Offenbarung beschränkt.
  • 5A und 5B zeigen den modularen Mikrojet-Kühler 400, der an einer gepackten wärmeerzeugenden Vorrichtung 350 angebracht ist. Ein Befestigungsmechanismus 404 kann verwendet werden, um den modularen Mikrojet-Kühler 400 an der gepackten wärmeerzeugenden Vorrichtung 350 zu befestigen. Der Befestigungsmechanismus 404 kann ein Klebstoff, Lötmittel, eine Abdichtungen oder Klemmkraft sein. Beispielsweise kann dieser Befestigungsmechanismus 404 ein Lötmittel (Gold-Zinn, Indium usw.) oder ein Klebstoff (Epoxyd, RTV usw.) sein. 5A zeigt eine Unteransicht, während 5B eine Querschnittsansicht zeigt. Obwohl das Einlassrohr 440 und das Auslassrohr 430 als gekrümmt gezeigt sind, ist die Konfiguration der Rohre nicht durch diese Offenbarung beschränkt. Ferner können sich die relativen Größen des Einlassrohrs 440 und des Auslassrohrs 430 von denen unterscheiden, die in den Figuren gezeigt sind.
  • 6 zeigt den modularen Mikrojet-Kühler 400, der an einer gepackten wärmeerzeugenden Vorrichtung 350 angebracht ist, die an einem PCB 360 montiert ist.
  • 7 zeigt den modularen Mikrojet-Kühler 400 im Einsatz. Fluid tritt durch das Einlassrohr 440 in den modularen Mikrojet-Kühler 400 ein. Das Fluid strömt durch die Mikrojet-Düsen 411 und wird in Richtung auf die Aufprallfläche der gepackten wärmeerzeugenden Vorrichtung 350 geleitet. Mit anderen Worten, die Mikrojet-Düsen 411 sind so ausgerichtet, dass das Fluid, das durch die Mikrojet-Düsen 411 strömt, in Richtung auf die offene Seite der Kavität 403 geleitet wird. Das Fluid füllt die Kavität 403. Wie vorstehend beschrieben, ist die Kavität 403 durch die Basis 402 sowie durch die hochstehenden Seitenwände 401 gebildet und hat eine offene Seite. Eine abgedichtete Region ist zwischen der Basis 402 und der äußeren Oberfläche der gepackten wärmeerzeugenden Vorrichtung 350 gebildet, wenn die gepackte wärmeerzeugende Vorrichtung 350 an den Enden der hochstehenden Seitenwände 401 angebracht ist. Ablass-Fluid kann in den Graben 420 eintreten und strömt zum Auslassanschluss 421 (siehe 4A). Das Ablass-Fluid strömt durch den Auslassanschluss 421 und tritt über das Auslassrohr 430 aus. Der modulare Mikrojet-Kühler 400 ist an der gepackten wärmeerzeugenden Vorrichtung 350 entlang den Enden der hochstehenden Seitenwände 401 unter Verwendung des Befestigungsmechanismus 404 angebracht. Beispielsweise kann ein Klebstoff oder ein Epoxidharz, der temporär oder permanent sein kann, an den Enden der hochstehenden Seitenwände 401 vorgesehen sein, und die hochstehenden Seitenwände 401 werden gegen die Aufprallfläche der gepackten wärmeerzeugenden Vorrichtung 350 gedrückt. Somit wird zwischen den Enden der hochstehenden Seitenwände 401 und der Aufprallfläche der gepackten wärmeerzeugenden Vorrichtung 350 eine fluiddichte Abdichtung gebildet.
  • Obwohl 4A-4B eine bestimmte Konfiguration zeigen, die einen kreisförmigen zentralen Bereich mit einem Array aus Mikrojet-Düsen, die mit einem Einlassrohr verbunden sind, und einen den zentralen Bereich umgebenden Graben aufweist, der mit einem Auslassrohr verbunden ist, ist die Offenbarung nicht auf diese Ausführungsform beschränkt. Beispielsweise können mehrere Einlassrohre und/oder Auslassrohre vorhanden sein. Somit kann bei bestimmten Ausführungsformen mehr als ein Auslassanschluss vorgesehen sein, von denen jeder mit einem zugehörigen Auslassrohr verbunden ist.
  • 10A-10B zeigen eine andere Ausführungsform des modularen Mikrojet-Kühlers 1000. 10A zeigt eine Querschnittsansicht, wohingegen 10B eine perspektivische Ansicht zeigt. Bei dieser Ausführungsform umfasst der modulare Mikrojet-Kühler 1000 eine Basis 1002 und hochstehende Seitenwände 1001, die eine Kavität 1003 bilden. Wie vorstehend beschrieben, kann der modulare Mikrojet-Kühler 1000 an einer gepackten wärmeerzeugenden Vorrichtung durch Anwenden eines Befestigungsmechanismus angebracht sein, wie zum Beispiel ein Klebstoff, Lötmittel, Abdichtungen oder Klemmkraft, um die Enden der hochstehenden Seitenwände 1001 an der Packung zu befestigen. Dieser Befestigungsmechanismus 1004 kann ein Lötmittel (Gold-Zinn, Indium usw.) oder ein Klebstoff (Epoxyd, RTV usw.) sein. Obwohl er als eine Vorform dargestellt ist, kann es sich um ein beliebiges Bindemittel handeln, durch das das Mikrojet-Modul mit einer Komponente verbunden wird.
  • Wie vorstehend beschrieben, hat die Kavität 1003 eine offene Seite. Eine Einlassverbindung 1030 ist an einer unteren Oberfläche der Basis 1002 angeordnet. Die Einlassverbindung 1030 kann ein gerippter Stecknippel sein, der auf einfache Weise mit einem Rohr verbunden werden kann. Die Einlassverbindung 1030 hat einen Durchgang 1031, um zu ermöglichen, dass ein Fluid in die Basis 1002 strömt. Mehrere Mikrojet-Düsen 1011 stehen mit dem Durchgang 1031 in der Einlassverbindung 1030 in Fluidverbindung und enden in der Basis 1002, die der Kavität 1003 zugewandt ist. Die Mikrojet-Düsen 1011 sind so ausgerichtet, dass das Fluid in Richtung auf die offene Seite der Kavität 1003 strömt.
  • Bei dieser Ausführungsform steht auch eine Auslassverbindung 1040 mit der Basis 1002 in Verbindung. Die Auslassverbindung 1040 kann ebenfalls gerippt sein, um eine einfache Befestigung eines Rohrs zu ermöglichen. Die Auslassverbindung 1040 hat einen Durchgang 1041 in Fluidverbindung mit der Kavität 1003. Mit anderen Worten, der Durchgang 1041 endet an der Kavität 1003 mit einer Auslassanschluss 1042 in der Basis 1002. Bei dieser Ausführungsform kann die Kavität 1003 wie ein rechteckiges Prisma geformt sein. Die Mikrojet-Düsen 1011 können an einem Bereich der Basis 1002 angeordnet sein, und der Auslassanschluss 1042 kann an einem zweiten Bereich der Basis 1002 angeordnet sein, der zu den Mikrojetdüsen 1011 benachbart ist.
  • Obwohl 10A-10B für die Einlassverbindung 1030 und die Auslassverbindung 1040 gerippte Stecknippel zeigen, können auch andere Anschlüsse verwendet werden. Beispielsweise können die Einlassverbindung 1030 und die Auslassverbindung 1040 durch Schnellverschlusskupplungen gebildet sein, von denen es viele Arten und Ausführungen gibt. Diese Kupplungen sind dem Fachmann bekannt.
  • Die in 10A-10B gezeigte Ausführungsform kann am besten für wärmeerzeugende Vorrichtungen geeignet sein, die eine rechteckige Form haben. Durch Modifizieren der Abmessungen kann diese Ausführungsform jedoch auch quadratische Packungen aufnehmen.
  • Außerdem gibt es Ausführungsformen, bei denen keine Rohre verwendet werden müssen. 8A-8C zeigen ein solches Beispiel. 8A eine Draufsicht, 8B eine Unteransicht, und 8C zeigt eine Querschnittsansicht. Bei dieser Ausführungsform weist die Basis 502 des modularen Mikrojet-Kühlers 500 eine Mehrzahl von Mikrojet-Düsen 511 auf. Diese Mikrojet-Düsen 511 erstrecken sich durch die gesamte Basis 502 und bilden einen Durchgang von der äußeren Bodenfläche der Basis 502 bis in die Kavität 503. Die Mikrojet-Düsen 511 dienen als Einlässe für das Zuführ-Fluid. Auslassanschlüsse 521 dienen als Auslässe. Bei bestimmten Ausführungsformen sind die Mikrojet-Düsen 511 näher an der Mitte der Basis 502 angeordnet als die Auslassanschlüsse 521. Seitenwände 501 umgeben die Basis 502 und erstrecken sich von der Basis 502 nach oben. Die obere Fläche der Seitenwände 501 ist unter Verwendung eines Befestigungsmechanismus an einer äußeren Fläche der gepackten Vorrichtung angebracht. Dies kann unter Verwendung von Klebstoff, Lötmittel, Abdichtungen oder anderen Mechanismen erreicht werden. Diese Befestigung zwischen den Seitenwänden 501 und der gepackten Vorrichtung kann bei bestimmten Ausführungsformen fluiddicht sein.
  • An der äußeren Bodenfläche der Basis 502 gegenüber der Kavität 503 kann, wie in 8B gezeigt, eine Abdichtung 517 um die Mikrojet-Düsen 511 herum angeordnet sein. Die Abdichtung 517 kann bei bestimmten Ausführungsformen ein O-Ring sein. In ähnlicher Weise kann eine zweite Abdichtung 518 um den Außenumfang der Austrittsanschlüsse 521 herum angeordnet sein. Bei anderen Ausführungsformen können Abdichtungen um jede einzelne Öffnung herum angeordnet sein, anstatt um Gruppen von Öffnungen, wie in 8B gezeigt.
  • 9 zeigt den modularen Mikrojet-Kühler 500, der an einer gepackten wärmeerzeugenden Vorrichtung 350 befestigt ist, die an einer Leiterplatte 360 montiert ist. Wie oben beschrieben, kann der modulare Mikrojet-Kühler 500 an der gepackten wärmeerzeugenden Vorrichtung 350 befestigt werden, und zwar entweder bevor oder nachdem diese an der Leiterplatte 360 montiert wurde. Jede der Öffnungen oder Gruppen von Öffnungen in der Basis 502 befindet sich in Ausrichtung mit einem entsprechenden Loch in einem externen Verteiler, wie in 11 gezeigt ist. Dieser externe Verteiler 600 versorgt die Mikrojet-Düsen 511 über den Auslass 610 mit Zuführ-Fluid und nimmt über den Einlass 620 das Ablass-Fluid von den Auslassanschlüssen 521 auf. Eine fluiddichte Verbindung kann zwischen dem modularen Mikrojet-Kühler 500 und dem externen Verteiler 600 hergestellt werden, und zwar durch Aufbringen eines ausreichenden Drucks gegen die Abdichtungen. Wie in 11 gezeigt, kann der externe Verteiler 600 einen modularen Mikrojet-Aufsatz 601 aufweisen, der den Auslass 610 und den Einlass 620 umfasst. Ferner kann der externe Verteiler 600 eine Mehrzahl dieser modularen Mikrojet-Aufsätze 601 aufweisen, um eine Mehrzahl von wärmeerzeugenden Vorrichtungen aufzunehmen, die an einem einzigen PCB angeordnet sind. Jeder modulare Mikrojet-Aufsatz 601 kann konfiguriert sein, um mit den Abdichtungen 517, 518 an der äußeren Bodenfläche der Basis 502 des modularen Mikrojet-Kühlers 500 zusammenzupassen, der in 8B gezeigt ist. Der externe Verteiler 600 weist außerdem einen Haupteinlass 630 und einen Hauptauslass 640 auf, die Fluid zu und von den modularen Mikrojet-Aufsätzen 601 des externen Verteilers 600 zu leiten.
  • Folglich beschreibt die vorliegende Offenbarung einen modularen Mikrojet-Kühler, der an einer gepackten wärmeerzeugenden Vorrichtung angebracht werden kann. Bei bestimmten Ausführungsformen können die Rohre direkt mit der Basis verbunden sein, wie in 4-7 gezeigt ist. Bei anderen Ausführungsformen kann die Basis Einlass- und Auslassverbindungen aufweisen, die eine Anbringung von Rohrleitungen ermöglichen, wie in 10A-10B gezeigt ist. Bei einer anderen Ausführungsform kann der modulare Mikrojet-Kühler an einem externen Verteiler angebracht sein, wie in 9 gezeigt ist.
  • Außerdem kann der modulare Mikrojet-Kühler an der gepackten wärmeerzeugenden Vorrichtung angebracht werden, und zwar entweder bevor oder nachdem die gepackte wärmeerzeugende Vorrichtung an der Leiterplatte angebracht wird. Mit anderen Worten, bei bestimmten Ausführungsformen wird der modulare Mikrojet-Kühler an der gepackten wärmeerzeugenden Vorrichtung angebracht, bevor diese an der Leiterplatte montiert wird. Bei anderen Ausführungsformen wird der modulare Mikrojet-Kühler an der gepackten wärmeerzeugenden Vorrichtung befestigt, nachdem diese an der Leiterplatte montiert wurde.
  • Die vorliegende Erfindung soll hinsichtlich ihres Schutzumfangs nicht durch die hierin beschriebenen spezifischen Ausführungsformen beschränkt sein. Stattdessen sind andere verschiedene Ausführungsformen und Modifikationen der vorliegenden Erfindung, zusätzlich zu jenen, die hier beschrieben sind, für den Durchschnittsfachmann aus der vorstehenden Beschreibung und den beigefügten Zeichnungen ersichtlich. Somit sollen diese anderen Ausführungsformen und Modifikationen in den Schutzbereich der vorliegenden Erfindung fallen. Obwohl die vorliegende Erfindung hier in Zusammenhang mit einer bestimmten Implementierung in einer bestimmten Umgebung für einen bestimmten Zweck beschrieben wurde, wird der Fachmann darüber hinaus erkennen, dass ihre Nützlichkeit nicht darauf beschränkt ist, und dass die vorliegende Erfindung in einer beliebigen Anzahl von Umgebungen für eine beliebige Anzahl von Zwecken vorteilhaft implementiert werden kann. Folglich sollten die nachstehenden Ansprüche im Hinblick auf die volle Breite und den Grundgedanken der vorliegenden Erfindung, wie sie hier beschrieben ist, ausgelegt werden.
  • ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
  • Diese Liste der vom Anmelder aufgeführten Dokumente wurde automatisiert erzeugt und ist ausschließlich zur besseren Information des Lesers aufgenommen. Die Liste ist nicht Bestandteil der deutschen Patent- bzw. Gebrauchsmusteranmeldung. Das DPMA übernimmt keinerlei Haftung für etwaige Fehler oder Auslassungen.
  • Zitierte Patentliteratur
    • US 62/535339 [0001]

Claims (18)

  1. Modularer Mikrojet-Kühler, umfassend: eine Basis mit einer Mehrzahl von Mikrojet-Düsen und einem Auslassanschluss; hochstehende Seitenwände, die sich von der Basis erstrecken und eine Kavität mit einer offenen Seite gegenüberliegend zur Basis bilden; einen Befestigungsmechanismus, der an Enden der hochstehenden Seitenwände angeordnet ist; ein Einlassrohr, das mit der Mehrzahl von Mikrojet-Düsen in Verbindung steht; und ein Auslassrohr, das mit dem Auslassanschluss in Verbindung steht.
  2. Modularer Mikrojet-Kühler nach Anspruch 1, wobei die Basis einen zentralen Bereich, in dem die Mehrzahl von Mikrojet-Düsen angeordnet sind, und einen Graben aufweist, der den zentralen Bereich umgibt, wobei der Auslassanschluss in dem Graben angeordnet ist.
  3. Modularer Mikrojet-Kühler nach Anspruch 1, wobei das Einlassrohr und das Auslassrohr an einer Außenfläche gegenüberliegend zur Kavität an der Basis angebracht sind.
  4. Modularer Mikrojet-Kühler nach Anspruch 1, wobei der Befestigungsmechanismus ein Lötmittel, einen Klebstoff oder eine Abdichtung umfasst.
  5. Modularer Mikrojet-Kühler, umfassend: eine Basis mit einer Mehrzahl von Mikrojet-Düsen und einem Auslassanschluss; hochstehende Seitenwände, die sich von der Basis erstrecken und eine Kavität mit einer offenen Seite gegenüberliegend zur Basis bilden; einen Befestigungsmechanismus, der an Enden der hochstehenden Seitenwände angeordnet ist; eine Einlassverbindung, die an einer Bodenfläche der Basis gegenüberliegend zur Kavität angeordnet ist, wobei die Einlassverbindung einen Durchgang aufweist, der mit der Mehrzahl von Mikrojet-Düsen in Verbindung steht; und eine Auslassverbindung, die an einer Bodenfläche der Basis gegenüberliegend zur Kavität angeordnet ist, wobei die Auslassverbindung einen Durchgang aufweist, der mit dem Auslassanschluss in Verbindung steht.
  6. Modularer Mikrojet-Kühler nach Anspruch 5, wobei die Einlassverbindung und die Auslassverbindung gerippte Stecknippel sind.
  7. Modularer Mikrojet-Kühler nach Anspruch 5, wobei die Einlassverbindung und die Auslassverbindung Schnellverschlusskupplungen sind.
  8. Modularer Mikrojet-Kühler nach Anspruch 5, wobei die Basis einen ersten Bereich, in dem die Mehrzahl von Mikrojet-Düsen angeordnet ist, und einen zweiten Bereich benachbart zum ersten Bereich umfasst, wobei der Auslassanschluss in dem zweiten Bereich angeordnet ist.
  9. Modularer Mikrojet-Kühler nach Anspruch 5, wobei der Befestigungsmechanismus ein Lötmittel, einen Klebstoff oder eine Abdichtung umfasst.
  10. Anordnung, umfassend: eine gepackte wärmeerzeugende Vorrichtung; und den modularen Mikrojet-Kühler nach Anspruch 1, wobei die Enden der hochstehenden Seitenwände unter Verwendung des Befestigungsmechanismus an einer Aufprallfläche der gepackten wärmeerzeugenden Vorrichtung befestigt sind, wodurch eine fluiddichte Verbindung gebildet wird.
  11. Anordnung nach Anspruch 10, wobei die gepackte wärmeerzeugende Vorrichtung an einer Leiterplatte montiert ist.
  12. Anordnung, umfassend: eine gepackte wärmeerzeugende Vorrichtung; und den modularer Mikrojet-Kühler nach Anspruch 6, wobei die Enden der hochstehenden Seitenwände unter Verwendung des Befestigungsmechanismus an einer Aufprallfläche der gepackten wärmeerzeugenden Vorrichtung befestigt sind, wodurch eine fluiddichte Verbindung gebildet wird.
  13. Anordnung nach Anspruch 12, wobei die gepackte wärmeerzeugende Vorrichtung an einer Leiterplatte montiert ist.
  14. Anordnung, umfassend: einen modularen Mikrojet-Kühler, mit einer Basis, die eine Mehrzahl von Mikrojet-Düsen und einen Auslassanschluss aufweist; hochstehenden Seitenwänden, die sich von der Basis erstrecken und eine Kavität mit einer offenen Seite bilden; und einem Befestigungsmechanismus, der an Enden der hochstehenden Seitenwände angeordnet ist; eine Abdichtung, die an einer äußeren Bodenfläche der Basis angeordnet ist, wobei die Abdichtung mindestens eine der Mehrzahl von Mikrojet-Düsen umgibt; eine zweite Abdichtung, die an der äußeren Bodenfläche der Basis angeordnet ist, wobei die zweite Abdichtung den Auslassanschluss umgibt; und einen Verteiler mit einer ersten Öffnung, die mit den Mikrojet-Düsen in Verbindung steht, um den Mikrojet-Düsen ein Zuführ-Fluid zuzuführen, und einer zweiten Öffnung, um ein Ablass-Fluid von dem Auslassanschluss aufzunehmen.
  15. Anordnung nach Anspruch 14, wobei durch die Abdichtung und die zweite Abdichtung eine fluiddichte Verbindung zwischen dem modularen Mikrojet-Kühler und dem Verteiler gebildet wird.
  16. Anordnung nach Anspruch 14, die außerdem eine gepackte wärmeerzeugende Vorrichtung umfasst, wobei die Enden der hochstehenden Seitenwände unter Verwendung des Befestigungsmechanismus an einer Aufprallfläche der gepackten wärmeerzeugenden Vorrichtung befestigt sind, wodurch eine fluiddichte Verbindung gebildet wird.
  17. Anordnung nach Anspruch 16, wobei der Befestigungsmechanismus ein Lötmittel, einen Klebstoff oder eine Abdichtung umfasst.
  18. Anordnung nach Anspruch 16, wobei die gepackte wärmeerzeugende Vorrichtung an einer Leiterplatte montiert ist.
DE112018003730.4T 2017-07-21 2018-07-19 Modulare Mikrojet-Kühlung von gepackten elektronischen Komponenten Pending DE112018003730T5 (de)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US201762535339P 2017-07-21 2017-07-21
US62/535,339 2017-07-21
PCT/US2018/042809 WO2019018597A1 (en) 2017-07-21 2018-07-19 MODULAR MICROJET COOLING OF CONDITIONED ELECTRONIC COMPONENTS

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DE112018003730T5 true DE112018003730T5 (de) 2020-04-16

Family

ID=65016363

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE112018003730.4T Pending DE112018003730T5 (de) 2017-07-21 2018-07-19 Modulare Mikrojet-Kühlung von gepackten elektronischen Komponenten

Country Status (3)

Country Link
US (3) US10665529B2 (de)
DE (1) DE112018003730T5 (de)
WO (1) WO2019018597A1 (de)

Families Citing this family (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US10634397B2 (en) * 2015-09-17 2020-04-28 Purdue Research Foundation Devices, systems, and methods for the rapid transient cooling of pulsed heat sources
US10651112B2 (en) 2016-11-01 2020-05-12 Massachusetts Institute Of Technology Thermal management of RF devices using embedded microjet arrays
DE112018003730T5 (de) 2017-07-21 2020-04-16 Massachusetts Institute Of Technology Modulare Mikrojet-Kühlung von gepackten elektronischen Komponenten
JP7190654B2 (ja) * 2018-09-21 2022-12-16 パナソニックIpマネジメント株式会社 冷却装置、プロジェクタ、および、受熱ユニット
WO2020210587A1 (en) 2019-04-10 2020-10-15 Jetcool Technologies, Inc. Thermal management of electronics using co-located microjet nozzles and electronic elements
US12029008B2 (en) * 2019-04-11 2024-07-02 The Penn State Research Foundation Hybrid microjet liquid-cooled heat spreader
CN113994772B (zh) 2019-04-14 2023-05-16 捷控技术有限公司 基于直接接触流体的冷却模块
CN114303037B (zh) * 2019-07-31 2023-01-24 捷控技术有限公司 再入式流体冷板
GB201916763D0 (en) * 2019-11-18 2020-01-01 Iceotope Group Ltd Nozzle arrangement and cooling module
US11963341B2 (en) 2020-09-15 2024-04-16 Jetcool Technologies Inc. High temperature electronic device thermal management system
CN114449830A (zh) * 2020-10-31 2022-05-06 华为技术有限公司 冷却装置及电子设备
US12004322B2 (en) 2020-12-26 2024-06-04 International Business Machines Corporation Cold plate with uniform plenum flow
US12048118B2 (en) 2021-08-13 2024-07-23 Jetcool Technologies Inc. Flow-through, hot-spot-targeting immersion cooling assembly
TW202407925A (zh) 2022-03-04 2024-02-16 美商捷控技術有限公司 用於電腦處理器及處理器組件之主動冷卻散熱蓋
US20240274506A1 (en) * 2023-02-13 2024-08-15 Semiconductor Components Industries, Llc Jet impingement heatsink for high power semiconductor devices

Family Cites Families (72)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2708495B2 (ja) * 1988-09-19 1998-02-04 株式会社日立製作所 半導体冷却装置
US6186619B1 (en) 1990-02-23 2001-02-13 Seiko Epson Corporation Drop-on-demand ink-jet printing head
JPH05136305A (ja) * 1991-11-08 1993-06-01 Hitachi Ltd 発熱体の冷却装置
US5353865A (en) 1992-03-30 1994-10-11 General Electric Company Enhanced impingement cooled components
JP2745948B2 (ja) 1992-04-06 1998-04-28 日本電気株式会社 集積回路の冷却構造
US5768103A (en) 1996-08-30 1998-06-16 Motorola, Inc. Circuit board apparatus and apparatus and method for spray-cooling an electronic component
JPH1084139A (ja) * 1996-09-09 1998-03-31 Technova:Kk 熱電変換装置
US5810942A (en) 1996-09-11 1998-09-22 Fsi International, Inc. Aerodynamic aerosol chamber
US5942037A (en) 1996-12-23 1999-08-24 Fsi International, Inc. Rotatable and translatable spray nozzle
EP0889201B1 (de) 1997-07-03 2003-01-15 ALSTOM (Switzerland) Ltd Prallanordnung für ein konvektives Kühl-oder Heizverfahren
AUPO850597A0 (en) 1997-08-11 1997-09-04 Silverbrook Research Pty Ltd Image processing method and apparatus (art01a)
US6688110B2 (en) 2000-01-18 2004-02-10 Rolls-Royce Plc Air impingement cooling system
US6571569B1 (en) 2001-04-26 2003-06-03 Rini Technologies, Inc. Method and apparatus for high heat flux heat transfer
US6519151B2 (en) 2001-06-27 2003-02-11 International Business Machines Corporation Conic-sectioned plate and jet nozzle assembly for use in cooling an electronic module, and methods of fabrication thereof
US6650542B1 (en) 2003-01-06 2003-11-18 Intel Corporation Piezoelectric actuated jet impingement cooling
US20050183844A1 (en) * 2004-02-24 2005-08-25 Isothermal Systems Research Hotspot spray cooling
DE202005003832U1 (de) 2004-03-26 2005-05-12 Ebm-Papst St. Georgen Gmbh & Co. Kg Wärmeaufnehmer
US7213636B2 (en) 2005-03-15 2007-05-08 Delphi Technologies, Inc. Cooling assembly with impingement cooled heat sink
US7277283B2 (en) * 2005-05-06 2007-10-02 International Business Machines Corporation Cooling apparatus, cooled electronic module and methods of fabrication thereof employing an integrated coolant inlet and outlet manifold
US7516776B2 (en) 2005-05-19 2009-04-14 International Business Machines Corporation Microjet module assembly
JP5137379B2 (ja) 2005-11-14 2013-02-06 インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレーション 衝突冷却器
US7536870B2 (en) 2006-03-30 2009-05-26 International Business Machines Corporation High power microjet cooler
US7597135B2 (en) 2006-05-23 2009-10-06 Coolit Systems Inc. Impingement cooled heat sink with low pressure drop
US7511957B2 (en) * 2006-05-25 2009-03-31 International Business Machines Corporation Methods for fabricating a cooled electronic module employing a thermally conductive return manifold structure sealed to the periphery of a surface to be cooled
US7362574B2 (en) * 2006-08-07 2008-04-22 International Business Machines Corporation Jet orifice plate with projecting jet orifice structures for direct impingement cooling apparatus
US7557002B2 (en) 2006-08-18 2009-07-07 Micron Technology, Inc. Methods of forming transistor devices
US7580261B2 (en) 2007-03-13 2009-08-25 Gm Global Technology Operations, Inc. Semiconductor cooling system for use in electric or hybrid vehicle
US8376031B2 (en) 2008-05-20 2013-02-19 Honeywell International Inc. Blowerless heat exchanger based on micro-jet entrainment
US8944151B2 (en) 2008-05-28 2015-02-03 International Business Machines Corporation Method and apparatus for chip cooling
US7731079B2 (en) 2008-06-20 2010-06-08 International Business Machines Corporation Cooling apparatus and method of fabrication thereof with a cold plate formed in situ on a surface to be cooled
US20100167552A1 (en) 2008-12-30 2010-07-01 Texas Instruments Incorporated Methods for particle removal during integrated circuit device fabrication
US7885074B2 (en) 2009-06-25 2011-02-08 International Business Machines Corporation Direct jet impingement-assisted thermosyphon cooling apparatus and method
US9252069B2 (en) * 2010-08-31 2016-02-02 Teledyne Scientific & Imaging, Llc High power module cooling system
US8659896B2 (en) 2010-09-13 2014-02-25 Toyota Motor Engineering & Manufacturing North America, Inc. Cooling apparatuses and power electronics modules
US8427832B2 (en) 2011-01-05 2013-04-23 Toyota Motor Engineering & Manufacturing North America, Inc. Cold plate assemblies and power electronics modules
US10051762B2 (en) * 2011-02-11 2018-08-14 Tai-Her Yang Temperature equalization apparatus jetting fluid for thermal conduction used in electrical equipment
US8391008B2 (en) 2011-02-17 2013-03-05 Toyota Motor Engineering & Manufacturing North America, Inc. Power electronics modules and power electronics module assemblies
US9061382B2 (en) 2011-07-25 2015-06-23 International Business Machines Corporation Heat sink structure with a vapor-permeable membrane for two-phase cooling
US9069532B2 (en) 2011-07-25 2015-06-30 International Business Machines Corporation Valve controlled, node-level vapor condensation for two-phase heat sink(s)
US8564952B2 (en) * 2011-07-25 2013-10-22 International Business Machines Corporation Flow boiling heat sink structure with vapor venting and condensing
US8485147B2 (en) 2011-07-29 2013-07-16 Achates Power, Inc. Impingement cooling of cylinders in opposed-piston engines
US10006720B2 (en) 2011-08-01 2018-06-26 Teledyne Scientific & Imaging, Llc System for using active and passive cooling for high power thermal management
US9219022B2 (en) 2012-03-08 2015-12-22 International Business Machines Corporation Cold plate with combined inclined impingement and ribbed channels
US9165857B2 (en) * 2012-11-08 2015-10-20 Intel Corporation Heat dissipation lid having direct liquid contact conduits
US9099295B2 (en) 2012-11-21 2015-08-04 Toyota Motor Engineering & Manufacturing North America, Inc. Cooling apparatuses having sloped vapor outlet channels
US8912643B2 (en) 2012-12-10 2014-12-16 General Electric Company Electronic device cooling with microjet impingement and method of assembly
US9460985B2 (en) * 2013-01-04 2016-10-04 Toyota Motor Engineering & Manufacturing North America, Inc. Cooling apparatuses having a jet orifice surface with alternating vapor guide channels
US8643173B1 (en) * 2013-01-04 2014-02-04 Toyota Motor Engineering & Manufacturing North America, Inc. Cooling apparatuses and power electronics modules with single-phase and two-phase surface enhancement features
US9484283B2 (en) * 2013-01-04 2016-11-01 Toyota Motor Engineering & Manufacturing North America Inc. Modular jet impingement cooling apparatuses with exchangeable jet plates
US9247672B2 (en) * 2013-01-21 2016-01-26 Parker-Hannifin Corporation Passively controlled smart microjet cooling array
US8981556B2 (en) * 2013-03-19 2015-03-17 Toyota Motor Engineering & Manufacturing North America, Inc. Jet impingement cooling apparatuses having non-uniform jet orifice sizes
US9131631B2 (en) 2013-08-08 2015-09-08 Toyota Motor Engineering & Manufacturing North America, Inc. Jet impingement cooling apparatuses having enhanced heat transfer assemblies
US9470136B2 (en) 2014-03-06 2016-10-18 Achates Power, Inc. Piston cooling configurations utilizing lubricating oil from a bearing reservoir in an opposed-piston engine
US9437523B2 (en) 2014-05-30 2016-09-06 Toyota Motor Engineering & Manufacturing North America, Inc. Two-sided jet impingement assemblies and power electronics modules comprising the same
US20170105313A1 (en) 2015-10-10 2017-04-13 Ebullient, Llc Multi-chamber heat sink module
US20160123637A1 (en) 2014-10-29 2016-05-05 Alliance For Sustainable Energy, Llc Two-phase heat exchanger for cooling electrical components
US9445526B2 (en) 2014-12-22 2016-09-13 Toyota Motor Engineering & Manufacturing North America, Inc. Modular jet impingement assemblies with passive and active flow control for electronics cooling
US20160240419A1 (en) 2015-02-13 2016-08-18 Eastman Kodak Company Atomic-layer deposition substrate
US9980415B2 (en) 2015-08-20 2018-05-22 Toyota Motor Engineering & Manufacturing North America, Inc. Configurable double-sided modular jet impingement assemblies for electronics cooling
US10306802B1 (en) 2015-08-28 2019-05-28 Lockheed Martin Corporation Micro jet impingement heat sink
US9622380B1 (en) * 2015-09-30 2017-04-11 Toyota Motor Engineering & Manufacturing North America, Inc. Two-phase jet impingement cooling devices and electronic device assemblies incorporating the same
US9953899B2 (en) 2015-09-30 2018-04-24 Microfabrica Inc. Micro heat transfer arrays, micro cold plates, and thermal management systems for cooling semiconductor devices, and methods for using and making such arrays, plates, and systems
US20170122476A1 (en) 2015-10-28 2017-05-04 General Electric Company Microwave-based fluid conduit heating system and method of operating the same
US10096537B1 (en) 2015-12-31 2018-10-09 Microfabrica Inc. Thermal management systems, methods for making, and methods for using
US9484284B1 (en) 2016-03-16 2016-11-01 Northrop Grumman Systems Corporation Microfluidic impingement jet cooled embedded diamond GaN HEMT
US10746475B2 (en) 2016-08-01 2020-08-18 California Institute Of Technology Multi-phase thermal control apparatus, evaporators and methods of manufacture thereof
US10651112B2 (en) 2016-11-01 2020-05-12 Massachusetts Institute Of Technology Thermal management of RF devices using embedded microjet arrays
US10566265B2 (en) 2016-11-18 2020-02-18 Toyota Motor Engineering & Manufacturing North America, Inc. Electronic assemblies having a cooling chip layer with impingement channels and through substrate vias
US10615100B2 (en) 2016-12-08 2020-04-07 Toyota Motor Engineering & Manufacturing North America, Inc. Electronics assemblies and cooling structures having metalized exterior surface
DE112018003730T5 (de) 2017-07-21 2020-04-16 Massachusetts Institute Of Technology Modulare Mikrojet-Kühlung von gepackten elektronischen Komponenten
US11131199B2 (en) 2019-11-04 2021-09-28 Raytheon Technologies Corporation Impingement cooling with impingement cells on impinged surface
DE102020103648A1 (de) 2020-02-12 2021-08-12 Doosan Heavy Industries & Construction Co., Ltd. Pralleinsatz zur Wiederverwendung von Prallluft in einem Schaufelblatt, Schaufelblatt, das einen Pralleinsatz umfasst, Turbomaschinenkomponente und damit versehende Gasturbine

Also Published As

Publication number Publication date
WO2019018597A1 (en) 2019-01-24
US11018077B2 (en) 2021-05-25
US20210265240A1 (en) 2021-08-26
US10665529B2 (en) 2020-05-26
US11594470B2 (en) 2023-02-28
US20200027819A1 (en) 2020-01-23
US20200312746A1 (en) 2020-10-01

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE112018003730T5 (de) Modulare Mikrojet-Kühlung von gepackten elektronischen Komponenten
DE69626662T2 (de) Mit flüssigkeit gekühlter kühlkorper zur kühlung von elektronischen bauteilen
DE102010043904A1 (de) Leistungselektroniksubstrat für direkte Substratkühlung
DE69821779T2 (de) Kühlmodul für elektronische bauelemente
DE3586661T2 (de) Bauelemente-anordnung auf einer leiterplatte mit einem modularen, fluessigen kuehlsystem.
DE112017005525T5 (de) Wärmemanagement von HF-Vorrichtungen unter Verwendung eingebetteter Mikrojet-Anordnungen
DE112010002591B4 (de) Avionikchassis
DE102019003030A1 (de) Wärmeübertragung für leistungsmodule
DE102015109361B4 (de) Halbleiterbauteil
DE112020003635T5 (de) Wiedereintritt-Strömungskälteplatte
DE102008016960A1 (de) Leistungshalbleitermodul und Leistungshalbleitervorrichtung mit dem darin befestigten Modul
DE112016003876T5 (de) Wärmetauscher für zweiseitige Kühlung
DE102013206480A1 (de) Halbleiterbauelement und Verfahren zum Herstellen eines Halbleiterbauelements
DE112007000829T5 (de) Kühler
DE102005033150A1 (de) Mikrostrukturierter Kühler und dessen Verwendung
DE112004002811T5 (de) Verbesserte Mikrokanal-Wärmesenke
DE102009027351A1 (de) Leistungshalbleitermodul
WO2019201660A1 (de) Kühlanordnung für elektrische bauelemente, stromrichter mit einer kühlanordnung sowie luftfahrzeug mit einem stromrichter
DE102010017001A1 (de) Wärmesenke und Verfahren zu deren Herstellung
DE102016103788A1 (de) Kunststoffkühler für Halbleitermodule
DE102016208919A1 (de) Kühlkörper zur Kühlung elektronischer Bauelemente
DE102014218389B4 (de) Halbleitermodul
DE112018005305B4 (de) Kühlkörperanordnung
DE102016222630A1 (de) Kühlvorrichtung und Verfahren zum Herstellen einer Kühlvorrichtung
EP2255604B1 (de) Steuergerät