DE112012005554A5 - Vorrichtung und Verfahren zum Erkennen von Fehlstellen innerhalb des Volumens einer ltransparenten Scheibe und Verwendung der Vorrichtung - Google Patents

Vorrichtung und Verfahren zum Erkennen von Fehlstellen innerhalb des Volumens einer ltransparenten Scheibe und Verwendung der Vorrichtung Download PDF

Info

Publication number
DE112012005554A5
DE112012005554A5 DE112012005554.3T DE112012005554T DE112012005554A5 DE 112012005554 A5 DE112012005554 A5 DE 112012005554A5 DE 112012005554 T DE112012005554 T DE 112012005554T DE 112012005554 A5 DE112012005554 A5 DE 112012005554A5
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
oil
volume
detecting defects
transparent pane
pane
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
DE112012005554.3T
Other languages
English (en)
Inventor
Frank Macherey
Holger Wegener
Michael Stelzl
Bruno Schrader
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Schott AG
Original Assignee
Schott AG
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Schott AG filed Critical Schott AG
Publication of DE112012005554A5 publication Critical patent/DE112012005554A5/de
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/95Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
    • G01N21/958Inspecting transparent materials or objects, e.g. windscreens
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B9/00Measuring instruments characterised by the use of optical techniques
    • G01B9/02Interferometers
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/17Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
    • G01N21/47Scattering, i.e. diffuse reflection
    • G01N21/49Scattering, i.e. diffuse reflection within a body or fluid
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/89Investigating the presence of flaws or contamination in moving material, e.g. running paper or textiles
    • G01N21/892Investigating the presence of flaws or contamination in moving material, e.g. running paper or textiles characterised by the flaw, defect or object feature examined
    • G01N21/896Optical defects in or on transparent materials, e.g. distortion, surface flaws in conveyed flat sheet or rod
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/17Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
    • G01N21/47Scattering, i.e. diffuse reflection
    • G01N2021/4704Angular selective
    • G01N2021/4709Backscatter
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/89Investigating the presence of flaws or contamination in moving material, e.g. running paper or textiles
    • G01N21/892Investigating the presence of flaws or contamination in moving material, e.g. running paper or textiles characterised by the flaw, defect or object feature examined
    • G01N21/896Optical defects in or on transparent materials, e.g. distortion, surface flaws in conveyed flat sheet or rod
    • G01N2021/8967Discriminating defects on opposite sides or at different depths of sheet or rod
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/17Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
    • G01N21/41Refractivity; Phase-affecting properties, e.g. optical path length
    • G01N21/45Refractivity; Phase-affecting properties, e.g. optical path length using interferometric methods; using Schlieren methods
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/94Investigating contamination, e.g. dust
DE112012005554.3T 2012-02-07 2012-12-27 Vorrichtung und Verfahren zum Erkennen von Fehlstellen innerhalb des Volumens einer ltransparenten Scheibe und Verwendung der Vorrichtung Withdrawn DE112012005554A5 (de)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE102012002174.7 2012-02-07
DE102012002174.7A DE102012002174B4 (de) 2012-02-07 2012-02-07 Vorrichtung und Verfahren zum Erkennen von Fehlstellen innerhalb des Volumens einer transparenten Scheibe und Verwendung der Vorrichtung
PCT/EP2012/076976 WO2013117282A1 (de) 2012-02-07 2012-12-27 Vorrichtung und verfahren zum erkennen von fehlstellen innerhalb des volumens einer transparenten scheibe und verwendung der vorrichtung

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DE112012005554A5 true DE112012005554A5 (de) 2014-09-18

Family

ID=47522629

Family Applications (2)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE102012002174.7A Active DE102012002174B4 (de) 2012-02-07 2012-02-07 Vorrichtung und Verfahren zum Erkennen von Fehlstellen innerhalb des Volumens einer transparenten Scheibe und Verwendung der Vorrichtung
DE112012005554.3T Withdrawn DE112012005554A5 (de) 2012-02-07 2012-12-27 Vorrichtung und Verfahren zum Erkennen von Fehlstellen innerhalb des Volumens einer ltransparenten Scheibe und Verwendung der Vorrichtung

Family Applications Before (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE102012002174.7A Active DE102012002174B4 (de) 2012-02-07 2012-02-07 Vorrichtung und Verfahren zum Erkennen von Fehlstellen innerhalb des Volumens einer transparenten Scheibe und Verwendung der Vorrichtung

Country Status (7)

Country Link
US (1) US9546967B2 (de)
JP (1) JP5972400B2 (de)
KR (1) KR20140117613A (de)
CN (1) CN104094104B (de)
DE (2) DE102012002174B4 (de)
TW (1) TWI504884B (de)
WO (1) WO2013117282A1 (de)

Families Citing this family (21)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US9588056B2 (en) * 2014-05-29 2017-03-07 Corning Incorporated Method for particle detection on flexible substrates
CN104568989A (zh) * 2014-12-30 2015-04-29 湖北优尼科光电技术股份有限公司 玻璃基板的缺陷检测方法
DE102015106050A1 (de) 2015-04-21 2016-10-27 Schott Ag Glasrolle, Erzeugnis mit einer Glasrolle, Vorrichtung und Verfahren zu deren Herstellung
JP2018528396A (ja) * 2015-06-19 2018-09-27 コーニング インコーポレイテッド 光学技術を使用して基板に欠陥があるかを検査し、かつ、かかる欠陥を三次元で位置決めするための方法および装置
CN105675617B (zh) * 2016-04-06 2020-05-01 东旭科技集团有限公司 用于测量平板玻璃表面颗粒度的方法及设备
WO2018085237A1 (en) * 2016-11-02 2018-05-11 Corning Incorporated Method and apparatus for inspecting defects on transparent substrate and method of emitting incident light
KR102537558B1 (ko) 2016-11-02 2023-05-26 코닝 인코포레이티드 투명 기판 상의 결함 검사 방법 및 장치
DE112016007496T5 (de) * 2016-12-01 2019-08-29 Lumincode As Positionsfindervorrichtung und -verfahren unter verwendung optisch projizierter referenz
CN109656033B (zh) * 2017-10-12 2021-07-02 凌云光技术股份有限公司 一种区分液晶显示屏灰尘和缺陷的方法及装置
IT201800011107A1 (it) * 2018-12-14 2020-06-14 Sacmi Dispositivo di ispezione ottica di preforme
WO2020132960A1 (zh) * 2018-12-26 2020-07-02 合刃科技(深圳)有限公司 缺陷检测方法及缺陷检测系统
WO2020163054A1 (en) 2019-02-06 2020-08-13 Corning Incorporated Methods of processing a viscous ribbon
CN111238418A (zh) * 2019-02-21 2020-06-05 惠州市微米立科技有限公司 一种基于激光干涉成像的手机屏幕平整度检测方法
JP7125576B2 (ja) * 2019-02-21 2022-08-25 株式会社 エフケー光学研究所 異物検査装置及び異物検査方法
CN110132992B (zh) * 2019-03-30 2022-08-12 天津大学 一种光滑内壁微小缺陷视觉检测装置
WO2020199206A1 (zh) * 2019-04-04 2020-10-08 合刃科技(深圳)有限公司 透明或半透明材料微观缺陷检测系统及方法
DE102019128503A1 (de) 2019-10-22 2021-04-22 Krones Aktiengesellschaft Verfahren und Vorrichtung zur optischen Inspektion von Behältern
EP3848311A1 (de) * 2020-01-07 2021-07-14 Lenzing Aktiengesellschaft Automatische qualitätskontrolle von spulen
US20230152082A1 (en) * 2020-06-17 2023-05-18 Corning Incorporated Methods and apparatus for measuring a feature of glass-based substrate
CN114295074B (zh) * 2022-01-12 2023-06-27 重庆医科大学 一种测量单泡声致发光中气泡形状的方法及装置
CN114485436B (zh) * 2022-01-25 2023-07-07 重庆医科大学 一种测量气泡大小的装置和方法

Family Cites Families (21)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3218571A1 (de) * 1982-05-17 1983-11-17 Hoechst Ag, 6230 Frankfurt Verfahren und vorrichtung zur qualitativen und quantitativen bestimmung von unebenheiten und verunreinigungen auf und in transparenten oder semitransparenten flexiblen flaechengebilden
US5764345A (en) * 1995-09-12 1998-06-09 Corning Incorporated Methods for detecting inhomogeneities, specifically, striae, infused silica glasses
US5923423A (en) * 1996-09-12 1999-07-13 Sentec Corporation Heterodyne scatterometer for detecting and analyzing wafer surface defects
US6924898B2 (en) * 2000-08-08 2005-08-02 Zygo Corporation Phase-shifting interferometry method and system
WO2002042754A2 (en) * 2000-11-22 2002-05-30 Koninklijke Philips Electronics N.V. Measurement of surface defects
DE10111450B4 (de) * 2001-03-09 2005-02-10 Schott Ag Verfahren und Vorrichtung zur Bewertung von Schlieren
US7196800B1 (en) * 2001-07-26 2007-03-27 Advanced Micro Devices, Inc. Semiconductor die analysis as a function of optical reflections from the die
JP3511097B2 (ja) * 2001-09-04 2004-03-29 金沢大学長 光干渉を用いた形状測定方法および形状測定装置
US7142295B2 (en) * 2003-03-05 2006-11-28 Corning Incorporated Inspection of transparent substrates for defects
US20050018199A1 (en) * 2003-07-24 2005-01-27 Leblanc Philip R. Fiber array interferometer for inspecting glass sheets
EP1664931B1 (de) * 2003-09-15 2009-01-21 Zygo Corporation Oberflächen-triangulation und -profilierung
JP4576962B2 (ja) 2004-09-28 2010-11-10 凸版印刷株式会社 欠陥検査方法および欠陥検査装置
JP2008536127A (ja) 2005-04-06 2008-09-04 コーニング インコーポレイテッド ガラス検査装置及びその使用方法
JP4799268B2 (ja) * 2005-07-29 2011-10-26 大日本スクリーン製造株式会社 ムラ検査装置およびムラ検査方法
JP4885154B2 (ja) * 2007-01-31 2012-02-29 国立大学法人東京工業大学 複数波長による表面形状の測定方法およびこれを用いた装置
US7671978B2 (en) * 2007-04-24 2010-03-02 Xyratex Technology Limited Scatterometer-interferometer and method for detecting and distinguishing characteristics of surface artifacts
JP2010107355A (ja) * 2008-10-30 2010-05-13 Dainippon Screen Mfg Co Ltd 光学フィルタ調整方法およびムラ検査装置
JP5560628B2 (ja) * 2009-09-04 2014-07-30 ソニー株式会社 検査装置および検査方法
WO2011156713A1 (en) * 2010-06-11 2011-12-15 Vanderbilt University Multiplexed interferometric detection system and method
US20110304854A1 (en) * 2010-06-14 2011-12-15 Si Li Instantaneous, phase measuring interferometer apparatus and method
US8351051B2 (en) * 2010-11-25 2013-01-08 Semisysco Co., Ltd. System and method of measuring irregularity of a glass substrate

Also Published As

Publication number Publication date
DE102012002174A1 (de) 2013-08-08
CN104094104B (zh) 2017-06-20
JP5972400B2 (ja) 2016-08-17
DE102012002174B4 (de) 2014-05-15
KR20140117613A (ko) 2014-10-07
WO2013117282A1 (de) 2013-08-15
TW201333451A (zh) 2013-08-16
TWI504884B (zh) 2015-10-21
US20140347664A1 (en) 2014-11-27
JP2015511315A (ja) 2015-04-16
US9546967B2 (en) 2017-01-17
CN104094104A (zh) 2014-10-08

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE112012005554A5 (de) Vorrichtung und Verfahren zum Erkennen von Fehlstellen innerhalb des Volumens einer ltransparenten Scheibe und Verwendung der Vorrichtung
IL238425A0 (en) Apparatus and method for testing the surface of a sample
IL236320A0 (en) Apparatus and method for testing the surface of a sample
DE112010000681A5 (de) Vorrichtung und verfahren zum berührungslosen erfassen von glasplatten
DE112013005909A5 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Befahrbarkeitsanalyse
DE112013001553A5 (de) Optoelektronisches Bauelement und Verfahren zum Herstellen eines optoelektronischen Bauelements
DE102011118619A8 (de) Vorrichtung und Verfahren zur Erfassung von Wachstumsprozessen und simultanen Messung von chemisch-physikalischen Parametern
DE102009039685A8 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Detektion von Defekten in einem Objekt
DE112013004449T8 (de) Vorrichtung und Verfahren zum Optimieren von halbaktiven Auslastungen
DE102013210269B8 (de) Vorrichtung und Verfahren zur Untersuchung von Proben in einer Flüssigkeit
DE102012103495B8 (de) Optoelektronische Vorrichtung zur Vermessung von Struktur- oder Objektgrößen und Verfahren zur Kalibrierung
DE102010038830A8 (de) Vorrichtung und Verfahren zur wegmessenden Gewindeprüfung
DE102010025159A8 (de) Verfahren und Vorrichtung zum farblichen Gestalten von Oberflächenstrukturen
DE112009003125A5 (de) Verfahren und vorrichtung zum schnelltransport von glasplatten
DE102013114928A8 (de) Vorrichtung und Verfahren zum Verarbeiten von Straßendaten
EP2828643C0 (de) Verfahren und vorrichtung zur probencharakterisierung durch streulicht- und fluoreszenzmessung
DE112013003948A5 (de) Verfahren und Vorrichtung zum Klassifizieren von Wasserfahrzeugen
DE112014005057A5 (de) Vorrichtung und Verfahren zur Trocknung von Gärresten
DE102011121560A8 (de) Verfahren zur Detektion und Klassifikation von Objekten
DE112011102781A5 (de) Vorrichtung und Verfahren zur Erkennung von Personen
DE112013001299A5 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Überwachung des Oberflächenzustandes von Bauteilen
DE112013005162A5 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Erkennung von gekennzeichneten Gefahr- und/oder Baustellen im Bereich von Fahrbahnen
DE112013000492A5 (de) Verfahren zum Herstellen eines Untersuchungsreagens und Kit zum Analysieren einer T-Zellen-Frequenz
DE102012001591A8 (de) Verfahren zum Nachweisen von Fehlstellen in einer Ultrafiltrationsmembran
DE112011104161A5 (de) Vorrichtung und Verfahren zur Trennung von Materialien

Legal Events

Date Code Title Description
R012 Request for examination validly filed
R016 Response to examination communication
R119 Application deemed withdrawn, or ip right lapsed, due to non-payment of renewal fee