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Technisches Gebiet
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Die
vorliegende Erfindung bezieht sich auf ein Kontaktlochbildungsverfahren,
das ein elektrophotographisches Druckverfahren verwendet, und insbesondere
auf ein Kontaktlochbildungsverfahren zum Bilden eines in einem Substrat
oder dergleichen angeordneten Kontaktlochs, das ein elektrophotographisches
Druckverfahren verwendet.
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Stand der Technik
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Eine
mehrschichtige Keramikplatte wird durch plastisches Verformen einer
laminierten Struktur gebildet, die anhand eines Stapelns und Zusammendrückens
mehrerer Grünlagen nach Bedarf erhalten wurde. In den Grünlagen
werden Schaltungsmuster wie z. B. Widerstandsmuster als Widerstandselemente,
Verdrahtungen als Induktoren oder Elektroden von Kondensatoren auf
der Oberfläche derselben gebildet, oder Leiter wird in
Durchgangslöcher gefüllt, um Kontaktlöcher
zu bilden. Die Kontaktlöcher werden gebildet, indem auf
der Grünlage ein Stanzprozess durchgeführt wird,
indem unter Verwendung einer Gussform- oder Laseranwendung mechanisch
gestanzt wird und die Löcher anschließend unter
Verwendung eines Siebdruckverfahrens oder dergleichen mit Leiter
gefüllt werden (beispielsweise Patentschrift 1).
- Japanische ungeprüfte Patentanmeldung
Veröffentlichungsnr. 6-85457
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Offenbarung der Erfindung
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Durch die Erfindung zu lösende
Probleme
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Wenn
die Kontaktlöcher auf diese Weise gebildet werden, werden
verschiedene Vorgänge wie z. B. ein Stanzprozess und ein
Leitereinfüllprozess benötigt. Da die Herstellungsprozesse
zunehmen und in den Prozessen Defekte auftreten, ist es demgemäß schwierig,
die Ausbeute weiter zu verbessern, wodurch die Verringerung von
Herstellungskosten beschränkt ist.
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Ein
Vorteil mancher Aspekte der Erfindung besteht darin, dass sie ein
Kontaktlochbildungsverfahren liefert, das angesichts der oben erwähnten
Situation in der Lage ist, die Ausbeute durch Verringern der Prozesse
zu verbessern.
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Mittel zum Lösen
der Probleme
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Um
den oben erwähnten Vorteil zu erzielen, ist ein Kontaktlochbildungsverfahren
vorgesehen, das ein elektrophotographisches Druckverfahren verwendet
und das die folgenden Konfigurationen aufweist.
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Ein
Kontaktlochbildungsverfahren, das ein elektrophotographisches Druckverfahren
verwendet, umfasst: (1) einen ersten Schritt eines Erzeugens eines
Tonerbildes, indem Tonerpartikel, die ein leitfähiges Material
enthalten und einen vorstehenden Abschnitt aufweisen, an der Oberfläche
eines ersten lichtempfindlichen Bauglieds befestigt werden, so dass
der vorstehende Abschnitt nach außen gerichtet ist; und
(2) einen zweiten Schritt eines Anordnens der Oberfläche
des lichtempfindlichen Bauglieds gegenüber einer Hauptoberfläche
einer Grünlage, die ein isolierendes Material enthält,
und eines Transferierens des Tonerbildes auf die eine Hauptoberfläche der
Grünlage, so dass die vorstehenden Abschnitte der in die
Grünlage gestoßenen Tonerpartikel die andere Hauptoberfläche
der Grünlage erreichen und die Tonerpartikel in der Grünlage
vergraben werden.
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Bei
dem zweiten Schritt des Kontaktlochbildungsverfahrens werden die
in der Grünlage vergrabenen Tonerpartikel von beiden Hauptoberflächen der
Grünlage belichtet. Die Kontaktlöcher können durch
die in der Grünlage vergrabenen Tonerpartikel gebildet
werden.
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Bei
dem Kontaktlochbildungsverfahren ist es vorzuziehen, dass die jeweiligen
Tonerpartikel einen planaren Abschnitt aufweisen und die Spitze
des vorstehenden Abschnitts auf die normale Richtung des planaren
Abschnitts gerichtet ist.
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Da
die vorstehenden Abschnitte der Tonerpartikel nach außen
gerichtet werden, indem die planaren Abschnitte der Tonerpartikel
an der Oberfläche des ersten lichtempfindlichen Bauglieds
befestigt werden, ist es in diesem Fall bei dem ersten Schritt möglich,
die Richtungen der Tonerpartikel zu dem Zeitpunkt des Befestigens
der Tonerpartikel an dem lichtempfindlichen Bauglied so aufeinander
abzustimmen, dass sie parallel zueinander sind.
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Es
ist vorzuziehen, dass der Großteil der jeweiligen Tonerpartikel
aus einem einzigen Metallklumpen gebildet ist.
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Da
die Tonerpartikel Metallklumpen enthalten, die mittels Plattierens
oder mittels maschineller Bearbeitung hergestellt werden, wird in
diesem Fall der Widerstandswert gesenkt, und die elektrische Charakteristik
wird verbessert.
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Es
ist vorzuziehen, dass die Tonerpartikel mittels Koppelns einer Mehrzahl
von Partikeln eines leitfähigen Materials gebildet werden.
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Da
geladenes Harz auf die Tonerpartikel aufgebracht werden kann, nimmt
sich in diesem Fall der Anwendungsbereich des geladenen Harzes zu,
und somit kann die Befestigungskraft zum Befestigen der Tonerpartikel
an dem lichtempfindlichen Bauglied erhöht werden. Demgemäß ist
es möglich, die Defekte, die auf die Loslösung
der Tonerpartikel von dem lichtempfindlichen Bauglied oder dergleichen
zurückzuführen sind, zu verringern.
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Vorzugsweise
kann das Kontaktlochbildungsverfahren ferner Folgendes umfassen:
(3) einen dritten Schritt eines Erzeugens eines zweiten Tonerbildes,
indem zweite Tonerpartikel, die ein zweites leitfähiges
Material enthalten, an der Oberfläche eines zweiten lichtempfindlichen
Bauglieds befestigt werden; und (4) einen vierten Schritt eines
Transferierens des zweiten Tonerbildes auf die Grünlage
und eines Transferierens und Fixierens der zweiten Tonerpartikel
auf die beziehungsweise auf der Grünlage.
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Da
die Bildung der Kontaktlöcher und die Bildung der Verbindungselektroden
oder dergleichen unter Verwendung derselben Art von Vorrichtung kontinuierlich
durchgeführt werden kann, ist es in diesem Fall möglich,
die Reduzierung der Herstellungszeit und die Vereinfachung der Prozesse
zu erzielen. Der dritte und der vierte Schritt können nach
dem ersten und dem zweiten Schritt durchgeführt werden, oder
der dritte und der vierte Schritt können vor dem ersten
und dem zweiten Schritt durchgeführt werden, oder der erste
und der zweite Schritt und der dritte und der vierte Schritt können
gleichzeitig parallel zueinander ausgeführt werden. Das
zweite leitfähige Material kann dasselbe sein wie das erste
leitfähige Material. Das zweite lichtempfindliche Bauglied
kann dasselbe sein wie das erste lichtempfindliche Bauglied. Das
zweite Tonerbild kann auf der anderen Hauptoberfläche der
Grünlage erzeugt werden.
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Gemäß einem
anderen Aspekt der Erfindung ist ein Mehrschichtplattenherstellungsverfahren
vorgesehen.
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Bei
dem Mehrschichtplattenherstellungsverfahren wird eine laminierte
Struktur hergestellt, indem eine Mehrzahl von Grünlagen
laminiert wird, bei denen die Kontaktlöcher anhand des
oben erwähnten Kontaktlochbildungsverfahrens, das das elektrophotographische
Druckverfahren verwendet, gebildet werden.
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In
diesem Fall ist es anhand eines Festwerdenlassens der laminierten
Struktur mittels einer plastischen Verformung oder dergleichen möglich, eine
Mehrschichtplatte auf effiziente Weise herzustellen.
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Vorteile
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Bei
dem Schaltungsmusterbildungsverfahren gemäß den
Aspekten der Erfindung ist es möglich, die Prozesse zu
verringern und somit die Ausbeute zu verbessern, da der Stanzprozess
und der Leitereinfüllprozess gleichzeitig durchgeführt
werden können, indem die Tonerpartikel transferiert werden.
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Kurze Beschreibung von Zeichnungen
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1 ist
ein Diagramm, das die Konfiguration eines elektrophotographischen
Druckers veranschaulicht (Beispiel 1).
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2 ist
eine vergrößerte Schnittansicht, die einen Teil
einer Grünlage veranschaulicht (Beispiel 1).
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3 ist eine perspektivische Ansicht eines Tonerpartikels
(Beispiel 1).
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4 ist eine perspektivische Ansicht eines Tonerpartikels
(Beispiel 2).
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5 ist ein Diagramm, das einen elektrophotographischen
Drucker veranschaulicht (Beispiel 3).
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6 ist
ein Flussdiagramm, das einen Prozess eines Herstellens einer mehrschichtigen
Keramikplatte veranschaulicht (Beispiel 4).
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- 2
- keramische
Grünlage (Grünlage)
- 3
- Kontaktloch
- 10~12
- Tonerpartikel
- 10a~12a
- planarer
Abschnitt
- 10b~12b
- vorstehender
Abschnitt
- 10s~12s
- planarer
Abschnitt
- 10t~12t
- vorstehender
Abschnitt
- 10x~12x
- Tonerpartikel
- 14
- Partikel
- 20
- elektrophotographische
Vorrichtung
- 22,
22x
- Tonervorratsvorrichtung
- 30,
30x
- lichtempfindliches
Bauglied
- 32
- Ladegerät
- 34
- Belichtungsvorrichtung
- 36
- Reinigungseinrichtung
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Beste Modi zum Ausführen
der Erfindung
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Hiernach
werden Beispiele als Ausführungsbeispiele der Erfindung
unter Bezugnahme auf 1 bis 6 beschrieben.
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Beispiel 1
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Beispiel
1 wird unter Bezugnahme auf 1 bis 3 beschrieben.
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Wie
in 1 schematisch gezeigt ist, werden Kontaktlöcher 3 gebildet,
indem Tonerpartikel 10 in einer nicht plastisch verformten
Keramikgrünlage 2, die ein Keramikmaterial enthält,
unter Verwendung einer elektrophotographischen Vorrichtung 20 zum Bilden
von Tonerpartikeln und Transferieren und Fixieren der Tonerpartikel
vergraben werden.
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Die
elektrophotographische Vorrichtung 20 umfasst eine Entwicklungseinheit 40 und
eine Transfereinheit 26.
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Bei
der Entwicklungseinheit 40 sind ein Ladegerät 32,
eine Belichtungsvorrichtung 34, eine Tonervorratsvorrichtung 22 und
eine Reinigungseinrichtung 36 um ein lichtempfindliches
Bauglied 30 mit einer Walzenform herum angeordnet. Das
Ladegerät 32 lädt die Oberfläche 31 des
lichtempfindlichen Bauglieds 30 elektrisch auf. Beispielsweise
wird als Ladegerät 32 ein Koronaladegerät
verwendet. Die Belichtungsvorrichtung 34 bringt Licht auf
die Oberfläche 31 des lichtempfindlichen Bauglieds 30 und
erzeugt ein gewünschtes latentes Bildmuster (nicht gezeigt).
Die Tonervorratsvorrichtung 22 liefert Tonerpartikel 10,
die ein leitfähiges Material enthalten, auf das latente
Bildmuster des lichtempfindlichen Bauglieds 30, um ein
Tonerbild zu entwickeln. Die Reinigungseinrichtung 36 reinigt
die Oberfläche 31 des lichtempfindlichen Bauglieds 30,
auf die das Tonerbild transferiert wurde.
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Die
Transfereinheit 26 transferiert die auf der Oberfläche 31 des
lichtempfindlichen Bauglieds 30 gebildeten Tonerpartikel 10 als
Druckmaterial auf eine Keramikgrünlage 2. Die
Transfervorrichtung 26 ist unterhalb des lichtempfindlichen
Bauglieds 30 angeordnet. Die Oberfläche 31 des
lichtempfindlichen Bauglieds 30 gelangt in Kontakt mit
der oberen Oberfläche 2a der Keramikgrünlage 2,
die auf dem Trägerfilm 24 aufliegt.
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Nun
wird die Arbeitsweise der elektrophotographischen Vorrichtung 20 beschrieben.
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Als
Erstes wird die Oberfläche des lichtempfindlichen Bauglieds 30 durch
das Ladegerät 32 gleichmäßig
auf ein vorbestimmtes Potential (beispielsweise negative Ladungen)
geladen, während das lichtempfindliche Bauglied 30 in
der durch Pfeil 38 angegebenen Richtung gedreht wird. Ein
Beispiel des spezifischen Ladeverfahrens umfasst ein Scorotron-Ladeverfahren,
ein Walzenladeverfahren und ein Bürstenladeverfahren.
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Anschließend
werden dadurch, dass gemäß einem Bildsignal, das
einem Kontaktlochmuster entspricht, durch die Verwendung der Belichtungsvorrichtung 34 das
Licht auf die Oberfläche 31 des lichtempfindlichen
Bauglieds 30 gebracht wird, die negativen Ladungen des
mit Licht versehenen Bereichs entfernt, und ein Bild der Ladungen
(elektrostatisches latentes Bild), das dem Kontaktlochmuster entspricht,
wird auf der Oberfläche 31 des lichtempfindlichen
Bauglieds 30 erzeugt. Das aufgebrachte Licht wird von einem
Laseroszillator, einer LED oder dergleichen erzeugt.
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Dann
werden durch die Verwendung der Tonervorratsvorrichtung 22 die
Tonerpartikel 10 elektrostatisch an dem elektrostatischen
latenten Bild auf dem lichtempfindlichen Bauglied 30 befestigt,
um ein sichtbares Bild (Tonerbild) zu erzeugen. Die Tonerpartikel 10 weisen
eine Handbohrerform oder eine Nadelform auf. Beispielsweise, wie
in 3(a) gezeigt ist, weist jedes Tonerpartikel
eine im Wesentlichen regelmäßige tetraedrische
Gestalt auf und umfasst einen planaren Abschnitt 10a und
einen vorstehenden Abschnitt 10b. Wie in 1 gezeigt
ist, ist der planare Abschnitt 10a an der Oberfläche 31 des
lichtempfindlichen Bauglieds 30 befestigt, so dass die Spitze
des vorstehenden Abschnitts 10b nach außen gerichtet
ist.
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Anschließend
wird die auf das Pluspotential geladene Keramikgrünlage 2 synchron
zu der Drehung des lichtempfindlichen Bauglieds 30 in die
Richtung des Pfeils 28 getragen, während sie nahe
an die Oberfläche 31 des lichtempfindlichen Bauglieds 30 herankommt
oder mit derselben in Kontakt gelangt, und das Tonerbild auf der
Oberfläche 31 des lichtempfindlichen Bauglieds 30 wird
durch die Transfereinheit 26 auf die Oberfläche 5 der
Keramikgrünlage 2 transferiert.
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Zu
diesem Zeitpunkt werden in den Tonerpartikeln 10, die an
der Oberfläche 31 des lichtempfindlichen Bauglieds 30 befestigt
sind, um das Tonerbild zu erzeugen, die Spitzen der vorstehenden
Abschnitte 10b mit der Drehung des lichtempfindlichen Bauglieds 30 in
die Oberfläche 2a der Keramikgrünlage 2,
die auf dem Trägerfilm 24 aufliegt, geschoben,
gelangen durch die Keramikgrünlage 2 hindurch und
erreichen die untere Oberfläche 2b der Keramikgrünlage 2,
wodurch die Spitzen 10c, die durch den Trägerfilm 24 zusammengedrückt
und abgeflacht werden, gebildet werden. Auf diese Weise werden die
Kontaktlöcher 3 gebildet, indem die Tonerpartikel 10 in
der Keramikgrünlage 2 vergraben werden.
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Die
Tonerpartikel 10 werden in der Keramikgrünlage 2 vergraben,
indem auf die Keramikgrünlage 2 mit dem lichtempfindlichen
Bauglied 30 ein Druck ausgeübt wird. In diesem
Fall hängt der ausgeübte Druck von der Größe
oder der Anzahl von Tonerpartikeln 10 und der Dicke der
Keramikgrünlage 2, in der die Tonerpartikel 10 vergraben
werden, ab, wenn jedoch beispielsweise 10.000 Tonerpartikel in einer
Keramikgrünlage von 150 mm × 150 mm vergraben
werden, ist ein Oberflächendruck von 100 MPa bis 1000 MPa
ausreichend.
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Es
ist vorzuziehen, dass die Keramikgrünlage auf die Temperatur
von 40°C bis 100°C erhitzt wird, um das Bindemittel
der Keramikgrünlage weich zu machen.
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Es
ist auch vorzuziehen, dass die Dicke der Keramikgrünlage
geringer ist als die Dicke des Trägerfilms, und dass die
Dicke des Trägerfilms 0,05 mm oder mehr beträgt.
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Lediglich
die Keramikgrünlage kann an einem Arbeitstisch oder einem
Riemen angebracht sein und kann ohne Verwendung des Trägerfilms
getragen werden.
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Da
das Tonerbild transferiert werden kann, indem die Keramikgrünlage 2 und
das lichtempfindliche Bauglied 30 relativ bewegt werden,
kann die Keramikgrünlage 2 fest angebracht sein,
und die Entwicklungseinheit 40 und die Transfereinheit 26 können
bewegt werden, so dass sich die Oberfläche des lichtempfindlichen
Bauglieds 30 bewegt, während sie sich entlang
der oberen Oberfläche 2a der Keramikgrünlage 2 dreht.
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Bei
der Keramikgrünlage 2, auf die das Tonerbild transferiert
wird, wird, wie in der teilweise vergrößerten
Ansicht der 2 gezeigt ist, auf der Oberfläche 2a anhand
eines Druckverfahrens oder dergleichen unter Verwendung einer leitfähigen
Paste nach Bedarf ein Schaltungsmuster 4 gebildet, und anschließend
werden eine vorbestimmte Anzahl von Lagen laminiert und zusammengedrückt.
Dadurch, dass die auf diese Weise hergestellte laminierte Struktur
plastisch verformt wird, ist es möglich, eine mehrschichtige
Keramikplatte zu erhalten.
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Wie
in der perspektivischen Ansicht der 3 gezeigt
ist, ist die in einer Handbohrerform oder einer Nadelform gebildete
Oberfläche des leitfähigen Materials in den Tonerpartikeln
mit einem Harz beschichtet. Das repräsentative Beispiel
des leitfähigen Materials umfasst Au, Ag, Cu, Ni, Pd und
W. Das leitfähige Material wird anhand (a) eines Formungsverfahrens,
bei dem man geschmolzenes Metall in eine Gussform fließen
lässt, (b) eines Formungsverfahrens zum maschinellen Bearbeiten
von Metall, (c) eines Formungsverfahrens zum Schmieden von Metall
oder (d) eines Formungsverfahrens eines Aufbringens von plattiertem
Metall auf eine Gussform zu einem Metallklumpen geformt. Der Großteil
der jeweiligen Tonerpartikel ist aus einem Metallklumpen gebildet.
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Wie
in 3(a) bis 3(c) gezeigt
ist, weisen die Tonerpartikel 10 bis 12 planare
Abschnitte 10a bis 12a und vorstehende Abschnitte 10b bis 12b auf,
deren Spitzen auf die normalen Richtungen der planaren Abschnitte 10a bis 12a gerichtet
sind. Wenn die planaren Abschnitte 10a bis 12a an
der Oberfläche des lichtempfindlichen Bauglieds 30 befestigt
werden, werden die Spitzen der vorstehenden Abschnitte 10b bis 12b nach
außen gerichtet, und somit ist es leicht, die Richtungen
der Tonerpartikel 10 bis 12 zu dem Zeitpunkt des
Angreifens der Tonerpartikel auf das lichtempfindliche Bauglied 30 parallel
aufeinander abzustimmen. Tonerpartikel, die eine andere dreidimensionale
Gestalt haben als die oben beschriebene können verwendet
werden.
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Bei
den Tonerpartikeln 10, die eine im Wesentlichen regelmäßige
tetraedrische Form aufweisen, wie in 3(a) gezeigt
ist, sind die Spitzen der vorstehenden Abschnitte sogar dann nach
außen gerichtet, wenn an der Oberfläche 31 des
lichtempfindlichen Bauglieds 30 eine Fläche befestigt
ist. Demgemäß ist es leicht, die Richtungen parallel
aufeinander abzustimmen, wenn die Tonerpartikel 10 befestigt sind.
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Die
Tonerpartikel 11, die eine im Wesentlichen konische Gestalt
aufweisen, wie in 3(b) gezeigt ist,
können ohne weiteres gebildet werden, indem eine Maske,
die kreisförmige Durchgangslöcher aufweist, auf
einer Basis angebracht wird, indem die Durchgangslöcher
mit Paste gefüllt werden, die eine geeignete Viskosität
aufweist, einschließlich eines leitfähigen Materials,
und indem anschließend die Maske von der Basis nach oben
gezogen wird, um die Paste nach oben zu dehnen.
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Die
Tonerpartikel 11, bei denen die Spitze einer zylindrischen
Gestalt im Wesentlichen konisch ist, in 3(c) gezeigt,
kann ohne weiteres gebildet werden, indem zwei Lagen von Masken,
bei denen kreisförmige Durchgangslöcher angeordnet
sind, konzentrisch auf einer Basis angebracht werden, indem die
Durchgangslöcher mit Paste gefüllt werden, die
eine geeignete Viskosität aufweist und ein leitfähiges
Material umfasst, und indem lediglich die obere Maske von der Basis
nach oben gezogen wird, um die Paste der Spitze nach oben zu dehnen.
Wenn die Tonerpartikel in der Keramikgrünlage vergraben
werden, ist die zu der Achse senkrechte Querschnittsgestalt im Wesentlichen
konstant, und die Widerstandswerte der Kontaktlöcher sind
in jeglicher Querschnittsposition im Wesentlichen konstant.
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Wenn
die Kontaktlöcher unter Verwendung des elektrophotographischen
Druckverfahrens gebildet werden, wie oben beschrieben wurde, werden
die Tonerpartikel, die ein leitfähiges Material umfassen, direkt
in der Keramikgrünlage vergraben, und somit müssen
in der Keramikgrünlage im Voraus keine Löcher
für die Kontaktlöcher gebildet werden. Demgemäß ist
es möglich, die Prozesse zu verringern und somit die Herstellungskosten
zu verringern.
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Um
ein Tonerbild auf dem lichtempfindlichen Bauglied zu erzeugen, ist
es leicht, das Tonerbild mit hoher Präzision zu positionieren,
und die Positionsgenauigkeit der Kontaktlöcher ist hervorragend. Demgemäß ist
es möglich, die Größe eines Produkts zu
verringern.
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Die
scharfen Spitzen der Tonerpartikel werden in die Grünlage
gestoßen und werden in der Keramikgrünlage vergraben.
Demgemäß werden die Tonerpartikel, wenn die Keramikgrünlage
in den nachfolgenden Prozessen getragen wird, nicht bewegt. Deshalb
ist es möglich, Defekte wie beispielsweise einen elektrischen
Kurzschluss, der darauf zurückzuführen sind, dass
sich das leitfähige Abfallmaterial von den Tonerpartikeln
löst, oder die elektrische Trennung, die auf das Ablösen
der Tonerpartikel zurückzuführen ist, zu verhindern.
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Da
das Schaltungsmuster dahin gehend gebildet werden kann, sich zuverlässig
mit den Kontaktlöchern zu überlappen, nachdem
die Tonerpartikel in der Keramikgrünlage vergraben wurden,
wird die Verbindung des Schaltungsmusters mit den Kontaktlöchern
stabilisiert, und die Zuverlässigkeit der Verbindung wird
verbessert.
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Wenn
die Tonerpartikel in dem Zustand, in dem die Keramikgrünlage
auf dem Trägerfilm platziert ist, in der Keramikgrünlage
vergraben werden, gelangen die Spitzen der Tonerpartikel in Kontakt
mit dem aus PET oder PEN gebildeten Trägerfilm, der härter
ist als die Keramikgrünlage, und werden somit abgeflacht,
und die abgeflachten Spitzen der Tonerpartikel werden nicht erneut
mit der Keramikgrünlage beschichtet. Demgemäß ist
die Ver bindung dann, wenn die Schichten mit den abgeflachten Spitzen
der Kontaktlöcher verbunden sind, stabilisiert, und somit ist
die Ausbeute verbessert.
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Wenn
der Großteil jedes Tonerpartikels aus einem einzigen Metallklumpen
gebildet wird, wird der Widerstandswert der Schaltung gesenkt, und
der Verlust in der Hochfrequenzschaltung kann verringert werden,
wodurch hervorragende Charakteristika erzielt werden.
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Wenn
der Metallklumpen, der den Großteil jedes Tonerpartikels
darstellt, mittels Plattierens gebildet wird, ist es möglich,
die Tonerpartikel problemlos und kostengünstig zu bilden
und somit die Herstellungskosten zu verringern. Da die Gestaltungsgussform
mit hoher Präzision hergestellt werden kann, ist es möglich,
mit hoher Genauigkeit winzige vorstehende Abschnitte zu bilden.
Beim elektrischen Plattieren kann die Dichte des Metallklumpens
durch Steuern des Stromwerts gesteuert werden. Demgemäß kann
ein Hohlraum in dem Metallklumpen gebildet werden, und somit wird
das Ausmaß des Zusammenziehens der Keramikgrünlage
und der Kontaktlöcher zum Zeitpunkt des plastischen Verformens
der laminierten Struktur aufeinander abgestimmt, wodurch Defekte
verhindert werden, die auf Risse um die Kontaktlöcher herum
zurückzuführen sind, die sich aus der Differenz
des Ausmaßes des Zusammenziehens zwischen den beiden zur
Zeit des plastischen Verformens der laminierten Struktur ergeben.
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Beispiel 2
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Beispiel
2 wird unter Bezugnahme auf 4 beschrieben.
Bei Beispiel 2 unterscheidet sich lediglich die Konfiguration der
in der Keramikgrünlage vergrabenen Tonerpartikel von der
des Beispiels 1.
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Wie
in den perspektivischen Ansichten der 4(a) bis 4(c) gezeigt ist, weisen die Tonerpartikel 10x bis 12x eine
handbohrerförmige oder nadelförmige Struktur auf,
die durch ein Koppeln mehrerer Partikel 14 eines leitfähigen
Materials gebildet wird. Ähnlich dem Beispiel 1 weisen
die Tonerpartikel 10x bis 12x planare Abschnitte 10s bis 12s und
vorstehende Abschnitte 10t bis 12t auf, deren
Spitzen auf die normale Richtung der planaren Abschnitte 10s bis 12s gerichtet
sind. Wenn die planaren Abschnitte 10s bis 12s an
der Oberfläche des lichtempfindlichen Bauglieds 30 befestigt
werden, werden die Spitzen der vorstehenden Abschnitte 10t bis 12t nach
außen gerichtet, und somit ist es leicht, die Richtungen
der Tonerpartikel 10x bis 12x zu dem Zeitpunkt
des Befestigens der Tonerpartikel an dem lichtempfindlichen Bauglied 30 parallel
aufeinander abzustimmen. Tonerpartikel, die Sätze von Partikeln aus
leitfähigem Material sind und die eine andere dreidimensionale
Gestalt haben als die oben beschriebene, können verwendet
werden.
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Aus
einem einzigen Metall bestehende Partikel aus Au, Ag, Cu, Ni, Pd
oder W oder Verbundmetallpartikel derselben werden als die Leitfähiges-Material-Partikel 14 verwendet,
und eine Paste aus additiven Partikeln des üblichen Basismetalls
oder dergleichen mit Lack wird nach Bedarf verwendet, und diese
werden durch eine Maske zu der in 4 gezeigten
Gestalt gestaltet. Die Tonerpartikel 10x bis 12x werden
anhand (a) eines Verfahrens, das die Leitfähiges-Material-Partikel
aus Metall, die geklebt werden sollen, die zuvor mit geladenem Harz
beschichtet wurden, verwendet, (b) eines Verfahrens, das Lack, der
mit geladenem Harz beschichtet ist, zum Kleben verwendet, oder (c)
eines Verfahrens zum Beschichten der gestalteten Partikel mit dem
geladenen Harz geladen.
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Wenn
die Tonerpartikel 10x bis 12x, die Sätze
der Leitfähiges-Material-Partikel 14 sind, verwendet
werden, kann das geladene Harz auf die Leitfähiges-Material-Partikel 14 aufgebracht
werden. Demgemäß nimmt der Aufbringungsbereich
des geladenen Harzes zu, und somit können die Tonerpartikel 10x bis 12x auf
zufrieden stellende Weise geladen werden. Demgemäß ist
es möglich, die Defekte, die auf den Verlust der Tonerpartikel 10x bis 12x von dem
lichtempfindlichen Bauglied 30 zurückzuführen sind,
zu verringern.
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Das
leitfähige Material ist körnig. Demgemäß nimmt
dann, wenn das leitfähige Material mit der Keramikgrünlage
plastisch verformt wird, der Benetzungsbereich der Glaskomponente
zu, und die Diffusion in die Keramiklage ist gut. Deshalb kann die
gute Bondeigenschaft des leitfähigen Materials und der Keramiklage
erlangt werden, wodurch die Charakteristika der mehrschichtigen
Keramikplatte verbessert werden. Außerdem können
durch Hinzufügen von anorganischen Materialien wie z. B.
von Glas, das die Keramikgrünlage bildet, zu den Tonerpartikeln 10x bis 12x die
Keramikgrünlage und die Tonerpartikel 10x bis 12x bezüglich
ihres Zusammenziehungsverhaltens aufeinander abgestimmt werden.
Demgemäß ist es möglich, Defekte zu verhindern,
die auf Risse um die Kontaktlöcher herum zurückzuführen sind,
die sich aus der Differenz des Ausmaßes des Zusammenziehens
zwischen den beiden zum Zeitpunkt der plastischen Verformung ergeben,
und die Bindefestigkeit der Kontaktlöcher und der Keramikplatte
zu verbessern.
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Beispiel 3
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Beispiel
wird unter Bezugnahme auf das schematische Diagramm der 5 beschrieben.
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Anders
bei dem Beispiel 1 werden bei dem Beispiel 3 das Entwickeln des
Tonerbildes und das Vergraben der Tonerpartikel unter Verwendung
eines konsolenförmigen lichtempfindlichen Bauglieds 30x auf
unabhängigen Arbeitstischen durchgeführt.
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Das
heißt, wie durch den Pfeil 39a in 5(a) angegeben
ist, dass das Tonerbild erzeugt wird, indem das lichtempfindliche
Bauglied 30x nahe an die Tonervorratsvorrichtung 22x herangebracht wird
und indem die Planaren Abschnitte 10a der Tonerpartikel 10 an
dem latenten Bild befestigt werden, das im Voraus auf der unteren
Oberfläche 31x des lichtempfindlichen Bauglieds 30x erzeugt
wurde.
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Wie
durch den Pfeil 39b in 5(b) angegeben
ist, wird das lichtempfindliche Bauglied 30x, in dem das
Tonerbild entwickelt wird, nahe an die auf dem Trägerfilm 24 aufliegende
Keramikgrünlage 2 herangebracht, wobei die Spitzen
der vorstehenden Abschnitte 10b der Tonerpartikel 10,
die an der unteren Oberfläche 31x des lichtempfindlichen
Bauglieds 30x befestigt sind, in die obere Oberfläche 2a der
Keramikgrünlage 2 gestoßen werden, das
lichtempfindliche Bauglied 30x aus dem gezeigten Zustand
zu der Keramikgrünlage 2 bewegt wird, die Spitzen
der vorstehenden Abschnitte 10b der Tonerpartikel 10 in Kontakt
mit dem Trägerfilm 24 gebracht werden und die
Spitzen der vorstehenden Abschnitte 10b zusammengedrückt
und abgeflacht werden.
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Durch
Verwendung des konsolenförmigen lichtempfindlichen Bauglieds 30x kann
in dem Zustand, in dem die Spitzen der vorstehenden Abschnitte 10b der
Tonerpartikel 10 zum Zeitpunkt des Vergrabens der Tonerpartikel 10 auf
die Keramikgrünlage gerichtet sind, vertikal ein Druck
auf die Keramikgrünlage 2 ausgeübt werden.
Demgemäß kann die Haltekraft der Tonerpartikel 10 in
dem lichtempfindlichen Bauglied 30x im Vergleich zu Beispiel
1 gesenkt werden.
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Beispiel 4
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Beispiel
4 wird nun unter Bezugnahme auf 6 beschrieben.
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Bei
Beispiel 4 werden, wie in dem Flussdiagramm der 6 gezeigt
ist, ähnlich dem Beispiel 1 unter Verwendung des elektrophotographischen Druckverfahrens
die Kontaktlöcher in der Keramikgrünlage gebildet
(S10) und die Verbindungselektroden auf der Keramikgrünlage
mit dem Toner für die Verbindungselektrode gebildet (S20).
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Im
Einzelnen wird ähnlich dem Beispiel 1 das lichtempfindliche
Bauglied geladen und belichtet, um den Positionen der Keramikgrünlage
zu entsprechen, an denen die Kontaktlöcher gebildet werden
sollten, um ein latentes Bildmuster auf der Oberfläche
des lichtempfindlichen Bauglieds zu erzeugen (S12). Anschließend
werden die Planaren Abschnitte der Tonerpartikel an der Oberfläche
des lichtempfindlichen Bauglieds befestigt, so dass die Spitzen
der vorstehenden Abschnitte nach außen gerichtet sind (S14). Dann
werden die Tonerpartikel in der Keramikgrünlage vergraben,
indem die vorstehenden Abschnitte der Tonerpartikel, die an der
Oberfläche des lichtempfindlichen Bauglieds befestigt sind,
in die obere Oberfläche der Keramikgrünlage gestoßen
werden, während das lichtempfindliche Bauglied gegen die Keramikgrünlage
gedrückt wird. Die obere Oberfläche der Keramikgrünlage,
in der die Tonerpartikel vergraben sind, ist eben.
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Anders
als bei Beispiel 1 wird anschließend das latente Bildmuster,
das den gewünschten Verbindungselektroden entspricht, auf
dem lichtempfindlichen Bauglied für die Verbindungselektroden
gebildet (S22), indem das lichtempfindliche Bauglied für die
Verbindungselektroden geladen und belichtet wird, und das Tonerbild
für die Verbindungselektroden wird erzeugt, indem die Tonerpartikel
für die Verbindungselektroden an dem latenten Bildmuster
befestigt werden (S24). Danach werden die Tonerpartikel für
die Verbindungselektroden auf dem lichtempfindlichen Bauglied für
die Verbindungselektroden dazu gebracht, nahe an der oberen Oberfläche
der Keramikgrünlage zu liegen, und die Tonerpartikel werden
auf die obere Oberfläche der Keramikgrünlage transferiert
und dort fixiert (S26).
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Die
erforderliche Anzahl von Keramikgrünlagen wird gebildet
(S30), indem die oben erwähnten Schritte wiederholt werden,
die erforderliche Anzahl von Keramikgrünlagen wird laminiert
und zusammengedrückt, um eine laminierte Struktur zu bilden, und
die laminierte Struktur wird plastisch verformt, um die mehrschichtige
Keramikplatte zu erhalten (S32).
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Bei
Beispiel 4 ist es möglich – da die Bildung der
Kontaktlöcher und die Bildung der Verbindungselektroden
durch die Verwendung derselben Art von Vorrichtung nacheinander
durchgeführt werden kann – eine Verringerung der
Herstellungszeit und eine Vereinfachung der Prozesse zu erzielen.
Der Schritt der Bildung verbundener Elektroden (S20) kann vor dem
Kontaktlochbildungsschritt (S10) durchgeführt werden, oder
der Kontaktlochbildungsschritt (S10) und der Schritt der Bildung
verbundener Elektroden (S20) können parallel zueinander
gleichzeitig ausgeführt werden. Das leitfähige
Material des Toners für die Verbindungselektroden kann
dasselbe sein wie das leitfähige Material des Toners für
die Kontaktlöcher. Dasselbe lichtempfindliche Bauglied
kann bei dem Kontaktlochbildungsschritt (S10) und dem Schritt der
Bildung verbundener Elektroden (S20) verwendet werden. Die Verbindungselektroden
können auf der unteren Oberfläche der Keramikgrünlage gebildet
werden.
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Sonstiges
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Wie
oben beschrieben wurde, ist es dann, wenn die Grünlagen,
in denen die Tonerpartikel unter Verwendung des elektrophotographischen
Druckverfahrens vergraben werden, laminiert werden, um eine mehrschichtige
Platte herzustellen, möglich, die Prozesse zum Bilden der
Kontaktlöcher zu verringern und somit die Ausbeute zu verbessern.
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Die
Erfindung ist nicht auf das oben erwähnte Ausführungsbeispiel
beschränkt, sondern kann in verschiedenen Formen modifiziert
werden.
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Beispielsweise
können die Kontaktlöcher gebildet werden, indem
die Tonerpartikel in einer Grünlage vergraben werden, die
ein anderes isolierendes Material als eine Keramik, beispielsweise
ein Harz im B-Zustand, enthält. Die Erfindung kann auf
eine nichtzusammenziehbare Platte angewendet werden, die unter Verwendung
einer Zusammenziehungsunterdrückungsschicht zum Unterdrücken
des Zusammenziehens der Grünlage in der planaren Richtung gebildet
wird.
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ZUSAMMENFASSUNG
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Es
sind ein Kontaktlochbildungsverfahren und ein Mehrschichtige-Platte-Herstellungsverfahren vorgesehen,
die die Ausbeute verbessern können, indem sie die Prozesse
verringern.
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Das
Kontaktlochbildungsverfahren umfasst: (1) einen ersten Schritt eines
Erzeugens eines Tonerbildes, indem Tonerpartikel 10, die
ein leitfähiges Material enthalten und einen vorstehenden
Abschnitt 10b aufweisen, an der Oberfläche 31 eines
ersten lichtempfindlichen Bauglieds 30 befestigt werden,
so dass der vorstehende Abschnitt 10b nach außen
gerichtet ist; und (2) einen zweiten Schritt eines Anordnens der
Oberfläche 31 des lichtempfindlichen Bauglieds 30 gegenüber
einer Hauptoberfläche 2a einer Grünlage 2,
die ein isolierendes Material enthält, und eines Transferierens
des Tonerbildes auf die eine Hauptoberfläche 2a der
Grünlage 2, so dass die vorstehenden Abschnitte 10b der
in die Grünlage 2 gestoßenen Tonerpartikel 10 die
andere Hauptoberfläche 2b der Grünlage 2 erreichen
und die Tonerpartikel 10 in der Grünlage 2 vergraben
werden. Die Kontaktlöcher 3 werden unter Verwendung
eines elektrophotographischen Druckverfahrens gebildet.
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ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
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Zitierte Patentliteratur
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