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TECHNISCHES GEBIET DER ERFINDUNG
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Die
Erfindung betrifft Copolymerisationsverfahren vom halbdiskontinuierlichen
Typ. Genauer gesagt, die Verfahren gemäß der vorliegenden
Erfindung sind auf die Herstellung von Copolymeren mit einheitlicher Zusammensetzung
gerichtet, einschließlich der Herstellung derartiger Copolymere
aus ungleichartigen Monomeren, z. B. aus Monomeren mit signifikant
verschiedenen Reaktivitätsverhältnissen.
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TECHNISCHER HINTERGRUND DER
ERFINDUNG
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Ein
halbdiskontinuierliches Polymerisationsverfahren ist ein modifiziertes
diskontinuierliches Verfahren, das versucht, einige der Nachteile
eines normalen diskontinuierlichen Verfahrens zur Polymerisation
von Monomeren mit unterschiedlichen Reaktivitäten anzugehen.
In einem halbdiskontinuierlichen Polymerisationsverfahren wird der
Reaktionsbehälter bzw. Reaktor zunächst nur mit
einem Teil der Monomere und des Katalysators befüllt. Typischerweise
ist (sind) das (die) Monomer(e) mit niedrigerer Reaktivität
während der Anfangsbeschickung des Behälters in
einem höheren Molverhältnis anwesend. Mit fortschreitender
Reaktion und dem Verbrauch der Monomere bei der Erzeugung des Copolymers
werden mehr Monomere und wahlweise Katalysator in den Reaktor eingetragen,
in einem Verhältnis, das sowohl durch die relativen Reaktivitäten
der Monomere als auch durch die gewünschte Copolymerzusammensetzung
bestimmt wird. Gemäß der typischen Praxis für
Copolymerisationsverfahren ist dies ein rückführungsloser
Prozeß, d. h. es gibt keine In-situ- oder Echtzeitanalyse
zur Überwachung der Zusammensetzung der Reaktionsmasse
und daher keine Möglichkeit, die Zuflußzusammensetzung
zu regulieren, um Prozeßstörungen auszugleichen.
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Die
halbdiskontinuierliche Methodik mit Rückführung,
die gewöhnlich bei technischen Prozessen in der chemischen
Industrie benutzt wird, ist nicht auf die Herstellung von Copolymeren
angewandt worden, großenteils wegen des Mangels an geeigneten
Analysenverfahren zur In-situ-Überwachung der Zusammensetzung
der Reaktionsmasse im Verlauf der Polymerisation. Die spektralen
Charakteristiken von Monomeren und etwaigen, aus diesen Monomeren
erzeugten Polymeren sind oft ganz ähnlich und erschweren
die Feststellung, wie viel von einem gegebenen Monomer in Polymer
umgewandelt worden ist.
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Die
Regulierung der Flüssigphasenzusammensetzung eines Polymerisationsverfahrens
in einem gut gemischtem Reaktor ist ein schwieriges Prozeßsteuerungsproblem,
großenteils weil die Prozesse von Natur aus nichtlinear
sind. Die Prozeßgewinne (die Konzentrationsänderung
eines gegebenen Monomers innerhalb des Reaktors pro Durchsatzänderungseinheit
eines der Monomere) nehmen mit zunehmender Füllung des Reaktors
ab, und die Prozeßzeitkonstanten (wenn eine Durchsatzänderung
in Konzentrationsänderungen im Reaktor betrachtet wird)
nehmen mit zunehmender Füllung des Reaktors zu. Folglich
sind herkömmliche lineare Regelungssysteme, die auf dieses
Problem angewandt werden, von Natur aus instabil. Außer
der inhärenten Instabilität wird die Regelung
durch die Notwendigkeit, gleichzeitig mehrere Prozeßvariable
zu regulieren, weiter kompliziert.
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Die
Regelung (Steuerung mit Rückführung) der Zusammensetzung
innerhalb einer halbdiskontinuierlichen Polymerisierungseinrichtung,
wobei die In-situ-Prozeßüberwachung angewandt
wird und der Meßwert der Zusammensetzung zur kontinuierlichen
Regulierung der Polymerisationskurve dient, ist zuvor nicht offenbart
worden. Daher besteht ein Bedarf für ein Copolymerisationsverfahren,
das Copolymere von einheitlicher Zusammensetzung auch aus Monomeren
mit signifikant verschiedenen Reaktivitätsverhältnissen
erzeugt.
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ZUSAMMENFASSUNG DER ERFINDUNG
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Ein
Aspekt der vorliegenden Erfindung ist ein Polymerisationsverfahren
für die Umsetzung von Monomeren in einem Reaktionsbehälter,
der mit einem Nachweissystem ausgestattet ist, wobei das Verfahren
aufweist:
- a. Beschicken des Reaktionsbehälters
mit einer Vorfüllung von Monomeren in einer Zielzusammensetzung der
Flüssigphase;
- b. Herstellen eines gewünschten Satzes von Reaktionsbedingungen
in dem Reaktionsbehälter und einer vorläufigen
Flüssigphasenzusammensetzung;
- c. Messen der vorläufigen Flüssigphasenzusammensetzung
mit dem Nachweissystem, um vorläufige Flüssigphasenzusammensetzungswerte
bereitzustellen;
- d. Verwendung der vorläufigen Flüssigphasenzusammensetzungswerte
als Eingabe in ein modell-prädiktives Regelungssystem mit
Zwangsbedingungen; und
- e. Verwendung der Ausgabe aus dem Regelungssytem zur Einstellung
von Monomerzuflußraten zu dem Reaktor, um die Zielzusammensetzung
der Flüssigphase aufrechtzuerhalten.
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KURZE BESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGEN
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1A zeigt
eine schematische Darstellung der Datenerfassungs- und -analyseeinrichtung,
die in einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung
verwendbar ist.
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1B zeigt
eine schematische Darstellung eines Polymerisationsreaktors für
eine Ausführungsform der vorliegenden Erfindung.
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2 zeigt
ein Ablaufdiagramm für eine Ausführungsform der
vorliegenden Erfindung.
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3 zeigt
ein Diagramm von Monomerdurchsätzen und dem TFE-Druck als
Funktion der Zeit für Beispiel 1.
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4 zeigt
ein Diagramm von Monomerkonzentrationen als Funktion der Zeit für
Beispiel 1.
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Die 5A und 5B zeigen
einen Satz von zwei Mikrophotographien, in denen das lithographische Verhalten
von Vergleichsbeispiel A (Prozeß ohne Rückführung)
und Beispiel 1 (Prozeß mit Rückführung)
verglichen wird.
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Die 6A und 6B zeigen
einen Satz von zwei Diagrammen, in denen die Zusammensetzung von
zwei Polymeren – Vergleichsbeispiel A, hergestellt durch
einen Prozeß ohne Rückführung, und Beispiel
1, hergestellt durch einen erfindungsgemäßen Prozeß mit
Rückführung, verglichen wird.
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7 zeigt
ein Diagramm der Monomerkonzentration als Funktion der Zeit für
Vergleichsbeispiel A.
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AUSFÜHRLICHE BESCHREIBUNG
DER ERFINDUNG
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Die
Anmelder haben ein halbdiskontinuierliches Polymerisationsverfahren
mit moderner Regelung und Optimierung entwickelt, das eine In-situ-Messung
von Comonomer-Konzentrationen in der Flüssigphase und einen
modell-prädiktiven Regelungsalgorithmus mit Zwangsbedingungen
nutzt, der Monomer-Zuflußraten reguliert, um eine konstante
Flüssigphasenzusammensetzung aufrechtzuerhalten. Dieses
Verfahren ermöglicht die Aufrechterhaltung einer Zielzusammensetzung
der Flüssigphase unter der Zwangsbedingung, daß die Flüssigkeitsfüllrate über
den Verlauf der Polymerisation gleichfalls konstant gehalten wird.
Diese Zwangsbedingung maximiert die Produktivität des Reaktors
und gewährleistet dabei, daß der Reaktor nicht überfüllt
wird. Dieses Verfahren ist anwendbar für die Polymerisation
von Monomeren mit sehr unterschiedlichen Polymerisationsreaktivitäten
(mit relativen Reaktivitätsverhältnissen von mehr
als 2 oder weniger als 0,5), kann aber auch für Monomere
mit ähnlichen Reaktivitäten (relativen Reaktivitätsverhältnissen
zwischen etwa 0,5 und 2) angewandt werden. Beispiele derartiger
Monomere sind unter anderem Fluorolefine, wobei das Fluor an einen Kohlenstoff
mit Doppelbindung des Fluorolefins gebunden ist, Acrylate, Methacrylate,
cyclische Olefine, Vinylether und styrolartige Verbindungen.
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Eine
Folge der Fähigkeit, die Flüssigphasenzusammensetzung
der Monomere konstant zu halten, ist, daß durch das erfindungsgemäße
Verfahren hergestellte Copolymere eine größere
Einheitlichkeit in der Zusammensetzung von Kette zu Kette aufweisen.
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Die
Auswirkung größerer Einheitlichkeit auf das Verhalten
der Copolymere ist sowohl von der Natur der Copolymere als auch
von der Anwendung abhängig, in der sie eingesetzt werden.
Es ist zum Beispiel demonstriert worden, daß bestimmte
Photoresist-Copolymere, die durch das erfindungsgemäße
Verfahren hergestellt werden, im Vergleich zu Copolymeren, die aus
den gleichen Monomeren unter normalen halbdiskontinuierlichen Verfahrensbedingungen
hergestellt werden, eine verbesserte Linienkantenrauhigkeit aufweisen.
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Die
Sicherheit bestimmter Polymerisationsverfahren kann mit dem erfindungsgemäßen
Verfahren gleichfalls ohne Verlust an Produktivität verbessert
werden. In einem halbdiskontinuierlichen Reaktor, und besonders,
wenn einer der Recktanten toxisch und/oder verpuffungsanfällig
ist (z. B. TFE), ist es aus der Sicht der Verfahrenssicherheit wichtig,
daß der Reaktor nicht während der Beschickungsphase
des Verfahrens überfüllt wird. Umgekehrt ist es
aus wirtschaftlicher Sicht äußerst wünschenswert,
daß der Reaktor bei jeder Charge bis zu seinem maximalen
Potential genutzt wird. Herkömmliche, lineare Regelungssysteme
können derartige Zwangsbedingungen nicht handhaben.
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Das
erfindungsgemäße Verfahren kombiniert die Verwendung
eines modell-prädiktiven Reglers mit Zwangsbedingungen
(CMPC) mit geeigneten spektroskopischen oder anderen Analysenverfahren,
um ein System bereitzustellen, das in der Lage ist, die gewünschten
Monomerkonzentrationen während des gesamten Ablaufs eines
halbdiskontinuierlichen Copolymerisationsverfahrens aufrechtzuerhalten.
Kommerzielle Softwarepakete sind von einer Anzahl von Quellen beziehbar,
zu denen Adersa (Programm HIECON, Paris, Frankreich); Cutler Technology
Corp. (Programm DMC, San Antonio, TX); Honeywell (Programm RMPCT, Morris
Township, NJ); Aspentech (Programm DMCPlus, Houston, TX); und The
Mathworks, Inc. (Programm MPCMOVE, Natick, MA) gehören.
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Wie
durch P. B. Deshpande et al., Chemical Engineering Progress,
91, 3, 1995, S. 65–72, erklärt, ist CMPC
ein linearer digitaler Computer-Regelungsalgorithmus, der für
moderne Regelung und Optimierung von linearen, kontinuierlichen
Mehrgrößensystemen entwickelt wurde. Eine Teilmenge
der modell-prädiktiven Regelung, CMPC, nutzt ein explizites
dynamisches Modell zur Voraussage des Zustands der geregelten Anlage zu
irgendeinem Zeitpunkt in der Zukunft. [ONLINE]TM von
Six Sigma und Advanced Controls, Inc., vereinigt herkömmliche
Rückführung, moderne Regeleinrichtungen und Optimierung
mit Zwangsbedingungen zu einer einzigen Software-Anwendung. CMPC
kann sowohl quadratische (Anzahl der Stellgrößen
(MV) ist gleich der Anzahl der Prozeßausgangsgrößen
(PV)) als auch nichtquadratische (Anzahl der MV ist nicht gleich
der Anzahl der PV) Systeme unterbringen. Wenn die Anzahl der PV
größer ist als die Anzahl der MV, reguliert CMPC
die Regelgrößen innerhalb von anwenderspezifizierten
Grenzen. Wenn die Anzahl der MV größer ist als
die Anzahl der PV, können die MV auf der Basis eines geeigneten ökonomischen
Optimierungsziels zugeordnet werden. Im letzteren Szenario wird
es möglich, den Durchsatz zu maximieren, den Energieverbrauch
zu minimieren, die Qualitätskontrolle zu verbessern und
die Ausbeute von wertvolleren Produkten nach Wunsch zu verbessern.
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Lineare
dynamische Prozeßmodelle sind das Rückgrat von
CMPC; in [ONLINE]TM wird ein Sprungantwort-Modell
verwendet. Sprungantwort-Modelle werden aus einem zweistufigen experimentellen
Prozeßerkennungsverfahren entwickelt. In der ersten Stufe,
in welcher der Prozeß im normalen Betriebszustand abläuft, werden
Stellgrößen (MV) in beiden Richtungen (oberhalb
und unterhalb von Anfangswerten) während geeigneter Zeitspannen
verschoben, und die resultierenden Eingangsdaten (MV plus gemessene
Störungen, falls vorhanden) und Ausgangsdaten (PV) werden
aufgezeichnet. In der zweiten Stufe werden die resultierenden Daten
analysiert, um das Sprungantwort-Modell ohne Rückführung
des Mehrgrößenprozesses zu erhalten. Die Abtastfrequenz
(äquivalent das Abtastintervall) wird so gewählt,
daß die langsamste Dynamik in dem Mehrgrößensystem
genau dargestellt wird.
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Das
stufenweise Verfahren zur Implementierung von CMPC an dem Prozeß ist
wie folgt:
- 1. In jedem Abtastintervall sind
mit den Sprungantwort-Modellen die Werte aller Prozeßausgangsgrößen (PV)
für P Abtastintervalle in die Zukunft vorauszusagen. Der
Parameter P wird als Prädiktionshorizont bezeichnet.
- 2. Auf der Basis der gegenwärtigen Prozeßausgangsmessungen
ist der Vektor der vorausgesagten Prozeßausgangsgrößen
im Schritt 1 zu korrigieren und auf diese Weise die Gegenwart von
nicht gemessenen Störungen und Modellierungsfehlern zu
berücksichtigen.
- 3. Die korrigierten zukünftigen Prozeßausgangsgrößen
sind mit der Sollwertkurve zu vergleichen, um einen Vektor von zukünftigen
Fehlern zu erzeugen.
- 4. Es ist ein Optimierungsproblem mit Zwangsbedingungen zu lösen,
um einen Satz von M Reglerbewegungen (MV) so zu berechnen, daß in
Abhängigkeit von allen Betriebszwangsbedingungen für
die Stellgrößen und die Prozeßausgangsgrößen
ein vom Anwender gewählter Optimierungsindex erfüllt
wird. Der Parameter M wird als Regelungshorizont bezeichnet.
- 5. Die erste von diesen M Bewegungen in jeder der Stellgrößen
ist auf den Prozeß anzuwenden, und die Schritte (1) bis
(4) sind im nächsten Abtastintervall zu wiederholen.
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Die
Parameter N (längste Ausregelzeit ohne Rückführung),
M (Regelungshorizont) und P (Prädiktionshorizont) haben
einen Einfluß auf die Ansprechempfindlichkeit und Robustheit
(die Fähigkeit zur Aufrechterhaltung der Stabilität
bei Vorhandensein einer Anlage-Modell-Fehlanpassung). Bei geeigneter
Auswahl dieser Parameter kann eine ideale Regelung (minimale Stellgrößenregelung)
spezifiziert werden. In diesem Fall ergeben sich jedoch übermäßige
Bewegungen der Stellgrößen, und das System kann
bei Vorhandensein von Modellierungsfehlern instabil werden. Wenn
P gleich N + M gesetzt wird, wie dies häufig geschieht,
werden die Berechnungen vereinfacht, und es entsteht ein Hochleistungsregler
mit wünschenswerten Robustheitseigenschaften.
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Der
modell-prädiktive Regler mit Zwangsbedingungen enthält
eine Reihe von Parametern zur Spezifikation von Betriebszielen.
- – Die oberen und unteren Grenzwerte
der Prozeßausgangsgrößen spezifizieren
die Ziele. Ein eindeutiger Sollwert wird spezifiziert, indem der
obere Grenzwert gleich dem unteren Grenzwert gesetzt wird. Unterschiedliche
Werte spezifizieren die Grenzen, innerhalb derer die Prozeßausgangsgrößen
enthalten sein sollen. Der Regler versucht zunächst, die
Prozeßausgangsgrößen innerhalb ihrer
jeweiligen Grenzen zu regulieren. Wenn er dies tun kann, konzentriert
er sich darauf, die mit den Kostenkoeffizienten spezifizierten ökonomischen
Ziele zu erreichen.
- – Den Prozeßausgangsgrößen
zugeordnete Gewichte werden benutzt, um die Prioritätsreihenfolge
ihrer relativen Bedeutung festzulegen. Durch Zuweisen eines größeren
Werts zur selektiven Gewichtung für eine bestimmte Stellgröße
(MV) erhält man eine straffere Regelung dieser MV relativ
zu den anderen.
- – Die oberen und unteren Grenzwerte der Stellgrößen
spezifizieren die Grenzen der Stellgrößen, die
durch CMPC nicht verletzt werden.
- – Die Kostenkoeffizienten (oder Bewegungsstrafen),
die mit den Stellgrößen verbunden sind, berücksichtigen
ihre Zuordnung auf der Basis von wirtschaftlichen Kriterien, die
in der Zielfunktion spezifiziert sind.
- – Maximale Bewegungsgrößen. Die CMPC-Software
verletzt nicht die von einem Abtastintervall zum nächsten
spezifizierte maximale Änderung der Stellgrößen.
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In
den 1A und 1B ist
schematisch ein Reaktor-, Detektor- und Regelungssystem dargestellt, das
in einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung verwendbar
ist. Diese Beispielkonfiguration verwendet zwei Flüssigphasen-Monomere
und ein Gasphasen-Monomer. In dieser Konfiguration wird eines der
Flüssigphasen-Monomere (in 1B als
M1 bezeichnet) mit der Pumpe A in den halbdiskontinuierlichen Reaktionsbehälter
eingespeist. Das reaktorinterne Überwachungssystem mißt
die Konzentration dieses Monomers. Das andere Flüssigphasen-Monomer
(M2) wird mit der Pumpe B in den Polymerisationsreaktor eingespeist. Der
Polymerisationsinitiator wird mit der Pumpe C in den Reaktor eingespeist.
Das Gasphasen-Monomer wird mit Hilfe eines Kompressors durch ein
Druckregelungsventil (PCV in 1A) in
den Reaktor eingetragen, und ein Teil dieses Monomers wird in der
Flüssigphase aufgelöst und wird gleichfalls durch
das reaktorinterne Überwachungssystem überwacht.
In dieser Ausführungsform werden die Konzentrationen der
Monomere in der Flüssigphase und die Gesamt-Zuflußrate
der Flüssigphasen-Monomerlösungen in den Reaktor
durch den CMPC-Regler auf dem Zielwert gehalten, indem die Sollwerte
von lokalen Reglern, welche die Zuflüsse der Monomerlösungen
von der Pumpe A und der Pumpe B sowie den Reaktordruck aufrechterhalten,
manipuliert werden. Der Reaktordruck bestimmt die dem Reaktor zugeführte
Menge des Gasphasen-Monomers, die sich in die Flüssigphase
auflöst. Die Flüssigphasenzusammensetzung wird
mittels Raman-Spektroskopie durch ein durchsichtiges Fenster im
Reaktionsbehälter analysiert. Raman-gestreutes Licht von
der Flüssigphasenzusammensetzung wird durch das durchsichtige
Fenster durchgelassen und erzeugt Raman-Signale, die zu dem Raman-Prozeßanalysator übertragen
werden. Raman-Signaldaten werden im Verlauf der Reaktion periodisch erfaßt,
um die zwischenzeitlichen bzw. vorläufigen Flüssigphasenzusammensetzungen
zu bestimmen.
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Die
Temperaturregelung im Reaktor wird durch Verwendung eines kombinierten
internen/externen Heizungs-/Kühlungs-Systems aufrechterhalten.
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In
anderen Ausführungsformen können die Pumpe A und/oder
die Pumpe B Gemische von zwei oder mehreren Monomeren enthalten.
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Wie
in 1A dargestellt, werden Raman-Signale in dem Raman-Prozeßanalysator
analysiert und dann zur Umrechung in Zusammensetzungsinformation
an einen Raman-PC gesendet. Die Zusammensetzungsinformation wird
dann an einen Prozeßsteuerungs-PC gesendet, um das CPMC
für den Prozeß zu implementieren.
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Die
Zielzusammensetzung der Flüssigphase für die Polymerisation
wird für eine gegebene Copolymer-Zielzusammensetzung a
priori durch Anwendung der klassischen Polymergleichung festgelegt
und ist von den relativen Reaktivitäten jedes der polymerisierenden
Monomere abhängig. Je größer der Unterschied
zwischen den Reaktivitätsverhältnissen der Monomere,
desto stärker weicht die Zielzusammensetzung der Flüssigphase
von der Zielzusammensetzung des Copolymers ab. Die Reaktivitätsverhältnisse
der Monomere können aus kinetischen Untersuchungen von
paarweisen Copolymerisationen oder aus Schätzverfahren
für nichtlineare Parameter ermittelt werden. Diese beiden
Verfahren sind dem Fachmann bekannt.
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Ein
Blockdiagramm einer Ausführungsform der Erfindung ist in 2 dargestellt.
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Um
zu erläutern, wie die Zielzusammensetzung der Flüssigphase
bestimmt wird, betrachten wir ein Terpolymer aus TFE, NB-F-OH und
tBA. Die Polymergleichung für dieses Terpolymer ist nachstehend
angegeben:
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Die
Reaktivitätsverhältnisse (r
31r
21, r
21r
32,
r
31r
23 usw.) wurden
aus einer Reihe von diskontinuierlichen Polymerisationen ermittelt.
Unter Verwendung der obigen Gleichung kann die erforderliche Zielzusammensetzung
der Flüssigphase (d. h. die Konzentration von TFE, NB-F-OH
und tBA) für jede Zielzusammensetzung des Copolymers berechnet
werden (P
TFE:P
NB-F-OH:P
tBA).
Zielzusammensetzung
des Copolymers (Mol-%) | | Erforderliche
Flüssigphasen-Zusammensetzung (Mol-%) |
TFE | NB-F-OH | tBA | | TFE | NB-F-OH | tBA |
10 | 20 | 70 | | 37,03 | 20,86 | 42,11 |
20 | 20 | 60 | | 47,21 | 19,70 | 33,10 |
30 | 50 | 20 | | 51,18 | 43,57 | 5,26 |
30 | 40 | 30 | | 53,35 | 36,99 | 9,99 |
30 | 30 | 40 | | 54,59 | 28,47 | 16,94 |
30 | 20 | 50 | | 54,27 | 19,50 | 26,22 |
30 | 10 | 60 | | 52,33 | 10,06 | 37,61 |
40 | 20 | 40 | | 59,97 | 19,87 | 20,17 |
50 | 20 | 30 | | 64,81 | 20,73 | 14,45 |
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Wenn
z. B. die Zielzusammensetzung des Copolymers 30 Mol-% TFE, 20 Mol-%
NB-F-OH und 50 Mol-% tBA wäre, dann sollte die Zusammensetzung
der Flüssigphase während des gesamten Ablaufs
der Polymerisation 54,27 Mol-% TFE, 19,50 Mol-% NB-F-OH und 26,22
Mol-% tBA betragen.
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Die
Regelungsstrategie regelt die Copolymerzusammensetzung während
des gesamten Ablaufs der Reaktion durch Regelung der Flüssigphasenzusammensetzung
im Reaktor mittels Manipulation der Zuflußraten von Monomerlösungen
in den Reaktor. Die Zuflußrate des Initiators wird durch
das Regelungssystem nicht manipuliert, sonders statt dessen wird
das Zuflußprofil des Initiators vor dem Durchgang eingerichtet.
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In
einer Ausführungsform des erfindungsgemäßen
Verfahrens wird der Reaktor bis zu einem Füllstand gefüllt,
bei dem ein In-Line-Sensor voll mit einem Monomergemisch benetzt
werden kann, das die Zielzusammensetzung der Flüssigphase
aufweist. Während des Ablaufs der Polymerisation werden
weitere Portionen jedes Monomers mit der Geschwindigkeit in den
Reaktor gegeben, mit der jedes Monomer in Polymer umgesetzt wird.
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In
einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung setzt
[ONLINE]TM die Durchflußsollwerte
von nichtflüchtigen Monomeren und den Drucksollwert zurück,
um die Regelgrößen, z. B. Mol-% von nichtflüchtigen
Monomeren und den gesamten Monomerflüssigkeitsdurchfluß,
auf die vorgegebenen Ziele zu regulieren.
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Der
Gesamtzufluß an Monomerflüssigkeit ist eine Summierung
der Monomerlösungszuflüsse und wird mit einer
vorgegebenen Häufigkeit innerhalb der Datenerfassungs-
und Regelungssoftware (zum Beispiel LabView
®-Datenerfassungs-
und Regelungssoftware von National Instruments, Austin, TX) berechnet.
Der Sollwert für den Gesamtzufluß von Monomerflüssigkeit
wird vor jedem Durchgang auf der Basis der anfänglichen Reaktorfüllung,
V
0, der gewünschten Reaktorendfüllung,
V
f, der Polymerisationsdauer, t
P,
und der berechneten Gesamtabsorption von TFE der Flüssigphase,
V
TFE, manuell berechnet
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Durch
Beschränkung der Gesamt-Flüssigkeitszuflußrate
in den Reaktor auf diese Weise hat der Prozeß insofern
ein Maß der inhärenten Prozeßsicherheit,
als das System aggressiv versuchen wird, die Durchflußraten
zu manipulieren, um die gewünschten Zusammensetzungs-Sollwerte
zu erreichen, wird aber definitionsgemäß nicht
zur Überfüllung oder Unterfüllung des
Reaktors führen.
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Das
erfindungsgemäße Verfahren kann angewandt werden,
um verschiedene TFE-Copolymere herzustellen. Das Molekulargewicht
von TFE-Copolymeren kann durch Zugabe eines Kettenübertragungsreagens
(z. B. THF), Beeinflussung der Reaktionstemperatur oder der Eintragsrate
des radikalischen Initiators wirksam geregelt werden. Alle diese
Verfahren zur Regelung des Molekulargewichts sind in der Technik
der diskontinuierlichen Polymerisation bekannt. In einer Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung wird eine Kombination aus Initiator-Konzentration
und Konzentration des Kettenübertragungsreagens benutzt,
um das Molekulargewicht des Polymers zu regulieren.
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Eine
Ausführungsform der vorliegenden Erfindung beinhaltet zwar
die Polymerisation vom aufgelösten TFE mit Monomeren vom
Acrylat-Typ, aber der Fachmann wird leicht den Nutzen des Verfahrens
für die radikalische Copolymerisation von anderen Monomertypen
erkennen, zu denen styrolartige Verbindungen und olefinartige Verbindungen
gehören.
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In
einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung werden
die In-situ-Messungen durch Raman-Spektroskopie ausgeführt.
Entsprechend könnte irgendein In-Line-Gerät verwendet
werden, das ein Maß für die molare Zusammensetzung
der Flüssigphase liefert (FTIR, NIR, Densitometrie, GC
usw.).
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BEISPIELE
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Wenn
nicht anders vermerkt, werden alle Zusammensetzungen in Mol-% angegeben. Chemikalien/Monomere
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BEISPIEL 1
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Copolymerisation mit Rückführung
von TFE, NB-F-OH und Acrylaten (PinAc und HAdA)
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Dieses
Beispiel veranschaulicht die Zusammensetzungsregelung mit Rückführung
einer halbdiskontinuierlichen Copolymerisation, wobei die Monomere
Reaktivitätsverhältnisse im Bereich von 0,059
bis 47,4 aufweisen.
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Insbesondere
veranschaulicht dieses Beispiel die Copolymerisation von Acrylaten
(HAdA und PinAc), TFE und Norbornenfluoralkohol (NB-F-OH) mit Zusammensetzungsregelung
mit Rückführung während des Reaktionsablaufs.
Die Zielzusammensetzung des Copolymers für dieses Beispiel
war 21% TFE, 41% NB-F-OH, 21,6% PinAc und 16,4% HAdA, mit einem
massegemittelten Molekulargewicht (Mw) von 35700. Die angestrebte
Endkonzentration des Polymers in dem Lösungsmittel war
30 Gew.-%, und die angestrebte Füllung des Reaktors war
67,56% am Ende der Polymerisation, 12 Stunden nach Beginn der Monomer-
und Initiatorzuflüsse. Aus den Reaktivitätsverhältnissen
dieser vier Monomere wurde berechnet, daß die Zielzusammensetzung
des Polymers eine Flüssigphasenzusammensetzung von 40,09%
TFE, 43,78% NB-F-OH und 16,14% Acrylaten erfordern würde.
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Die
Polymerisationsreaktion nutzte vier Monomere in drei getrennten
Strömen: NB-F-OH (in Methylacetat-Lösungsmittel),
Acrylate (HAdA und PinAc in einem Molverhältnis von 21,6/16,4)
in Methylacetat-Lösungsmittel und TFE (Gas). Zum Einspeisen
der zwei flüssigen Monomerlösungen wurden Isco®-Schneckenpumpen benutzt, und TFE
wurde über einen Druckregelkreis in den Polymerisationsreaktor
eingespeist. Auch zum Einspeisen der Initiatorlösung wurde
eine Isco®-Pumpe benutzt.
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Der
Polymerisationsreaktor war ein Behälter von 3,785 l (1
Gallone) (Inconel® 600) (von Autoclave
Engineers, Erie, PA) mit einer Druckauslegung von 10,342 MPa Überdruck
(1500 psig) bei 343°C und ausgestattet mit einem Kühl-/Heizmantel
in Reihe mit einer internen Kühlschlange und einem internen
Rührwerk. Der Reaktor war außerdem mit einem bildgebenden
Raman-Spektrometer, Kaiser Optical Systems, Modell RXN1-785, ausgestattet.
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Raman-spektroskopische
Daten wurden durch ein Saphir-Sichtfenster am Reaktor erfaßt
und über ein Lichtleiterkabel zu dem Raman-Computer übertragen
und mit eindimensionalen und mehrdimensionalen Eichmodellen auf
der Basis von linearen Regressions- bzw. partiellen Fehlerquadrat-Algorithmen
analysiert, um die Stoffmengenanteile von TFE, NB-F-OH und Gesamt-Acrylaten
in einem Analysenzyklus von 60–80 s abzuschätzen.
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Die
Stoffmengenanteil-Messungen wurden über festverdrahtete
serielle Kommunikation an ein überwachendes Prozeßsteuerungs-
und Datenerfassungssystem (geschrieben in Labview®-Software,
National Instruments, Austin, TX, und implementiert auf einem Personal
Computer) weitergegeben. Echtzeit-Steuerung der in dem Verfahren
erzeugten Copolymer-Zusammensetzung wurde durch einen software-implementierten, modell-prädiktiven
Regler mit Zwangsbedingungen (CMPC) erzielt, der von SAC, Inc. (Louisville,
KY) bereitgestellt und als ONLINETM bezeichnet
wurde. Dieser Algorithmus verglich Meßwerte von NB-F-OH-
und Acrylat-Konzentrationen mit den Zielwerten und berechnete Änderungen
der Sollwerte der Zuflußraten dieser zwei Monomerlösungen
und des Reaktordruck-Sollwerts, welche die Zielfunktion des Regelungsalgorithmus erfüllten.
Die resultierenden Sollwertänderungen wurden zu der überwachenden
Prozeßsteuerungssoftware in Labview® und
dann zu den lokalen Pumpenreglern übertragen, welche die
Zuflußraten der Lösungen zum Reaktor regulierten,
sowie zu einem lokalen Druckregler, der das Steuerventil in der
TFE-Zuflußleitung zum Reaktor regulierte.
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Polymerisationsprozeß
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Der
Polymerisationsreaktor wurde mit N2 gespült.
Dann wurde TFE dem Reaktor zugeführt, bis der Druck 0,483
MPa Überdruck (70 psig) erreichte, und wurde dann aus dem
Reaktor abgelassen. Dieser Druckbeaufschlagungszyklus mit TFE mit
anschließendem Entlüften wurde sechsmal wiederholt.
Nach dem sechsten Zyklus wurde der Reaktordruck auf 34,5 kPa Überdruck
(5 psig) abgelassen.
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Unter
Verwendung der Isco®-Pumpe A wurde
der Reaktor mit einer Lösung gefüllt, die aus
322 g NB-F-OH, 10 g PinAc, 12 g HAdA und 426 g Methylacetat bestand,
einer ausreichenden Menge, um die unteren Flügel des Rührwerks
zu bedecken. Die restliche Vorfüllungslösung von
der Pumpe A und von den Förderleitungen wurde in einen
Auffangbehälter abgelassen. Das Raman-System wurde eingeschaltet,
und die Messung der Zusammensetzung der Flüssigphase innerhalb
des Reaktors wurde von diesem System alle 60 Sekunden während
der Dauer der Reaktion ermittelt.
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Dann
wurde die Isco®-Pumpe A mit Monomerlösung
M1 (66,8 Gew.-% NB-F-OH in Methylacetat) gefüllt, und eine
kleine Menge dieser Lösung wurde benutzt, um etwaige restliche
Vorfüllungslösung aus der Förderleitung
auszuspülen.
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Die
Isco®-Pumpe B wurde mit Monomerlösung
M2 (27,7 Gew.-% PinAc und 33,0 Gew.-% HAdA in Methylacetat) gefüllt,
und eine kleine Menge dieser Lösung wurde benutzt, um etwaige
Restlösung aus früheren Durchgängen aus
der Förderleitung auszuspülen.
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Die
Isco®-Pumpe C wurde mit Initiatorlösung
(4,6 Gew.-% Perkadox® 16 N, Di-(4-tert-butylcyclohexyl)peroxydicarbonat,
Noury Chemical Corp., Burt, NY, in Methylacetat) gefüllt,
und eine kleine Menge dieser Lösung wurde benutzt, um etwaige
Restlösung aus früheren Durchgängen aus
der Förderleitung auszuspülen.
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Der
Rührwerksantrieb am Reaktor wurde dann eingeschaltet und
auf eine Rührgeschwindigkeit von 500 U/min eingestellt.
Dann wurde die Julabo®-Heiz-/Kühleinheit
eingeschaltet, und der Sollwert wurde auf 50°C eingestellt.
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Als
die Reaktortemperatur auf 50°C stabilisiert war, wurde
der Druckregler für den Reaktordruck auf 1,448 MPa Überdruck
(210 psig) eingestellt, der TFE-Kompressor wurde eingeschaltet,
und der Zufluß vom TFE-Gas zum Reaktor wurde gestartet.
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Als
sowohl die Reaktortemperatur als auch der Druck auf ihren Sollwertzuständen
stabilisiert waren, wurden alle drei Isco®-Pumpen
eingeschaltet. Die Anfangsdurchflußrate betrug für
die Pumpe A 1,247 cm3/min, für
die Pumpe B 0,590 cm3/min und für
die Pumpe C 4,64 cm3/min. 6 Minuten nach
Beginn des Initiatorzuflusses wurde der Sollwert für den
Initiatorzufluß von Pumpe C auf 0,19 cm3/min
geändert. Auf diese Weise wurde die in den Reaktor eingespeiste
Gesamtmenge von Perkadox® (5 g)
so verteilt, daß 23,8% in den ersten 6 min eintraten und
der Rest mit konstanter Rate über 8 Stunden eintrat.
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Der
Anfangssollwert für die Flüssigphasenzusammensetzung
(gemessen durch das Raman-Gerät nach Einstellung der Zuflußrate
von Perkadox®) betrug 67,3% TFE,
30,0 NB-F-OH und 2,7% Acrylate, basierend auf früheren
Polymerisationen.
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Die
Sollwerte für die Durchflußraten der Pumpen A
und B und den Reaktordruck wurden im Verlauf der Polymerisation
alle 7 Minuten aktualisiert, wie durch den ONLINETM CMPC-Algorithmus
als Reaktion auf das von dem Raman-System erhaltene Signal festgelegt
wurde.
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Die
Konfiguration des CMPC [ONLINE]
TM ist in
Tabelle 1 dargestellt. Der ONLINE
TM-Regler
wurde so eingestellt, daß die Zuflußrate von M1
mit 1,25 cm
3/min und die Zuflußrate
von M2 mit 0,59 cm
3/min begonnen wurden.
Die Beschränkung der Gesamtzuflußrate wurde auf
1,84 cm
3/min festgesetzt. TABELLE 1: KONFIGURATION VON CMPC [ONLINE]
TM FÜR BEISPIEL 1
Abtastintervall,
Minuten | 7 |
Anzahl
der Prozeßausgangsgrößen (PV) | 3 |
Anzahl
der Stellgrößen (MV) | 3 |
Anzahl
der Abtastintervalle in der längsten rückführungslosen
Ausregelzeit (N) | 120 |
Länge
für Optimierung (M), Anzahl der Abtastzeiten | 8 |
Obere
Grenze für PV#1, NB-F-OH-Konz. (Mol-%) | 26,77 |
Untere
Grenze für PV#1, NB-F-OH-Konz. (Mol-%) | 26,77 |
Obere
Grenze für PV#2, Acrylate-Konz. (Mol-%) | 2,7 |
Untere
Grenze für PV#2, Acrylate-Konz. (Mol-%) | 2,7 |
Obere
Grenze für PV#3, Gesamt-Zuflußrate der Monomerlösung,
cm3/min | 1,874 |
Untere
Grenze für PV#3, Gesamt-Zuflußrate der Monomerlösung,
cm3/min | 1,800 |
Anlaufwert
für MV#1, M1-Zuflußrate, cm3/min | 1,247 |
Obere
Grenze für MV#1, M1-Zuflußrate, cm3/min | 2,000 |
Untere
Grenze für MV#1, M1-Zuflußrate, cm3/min | 0,600 |
Anlaufwert
für MV#2, M2-Zuflußrate, cm3/min | 0,590 |
Obere
Grenze für MV#2, M2-Zuflußrate, cm3/min | 1,200 |
Untere
Grenze für MV#2, M2-Zuflußrate, cm3/min | 0,200 |
Anlaufwert
für MV#3, Reaktordruck-Sollwert, psig | 210 |
Obere
Grenze für MV#3, Reaktordruck-Sollwert, psig | 260 |
Untere
Grenze für MV#3, Reaktordruck-Sollwert, psig | 160 |
Selektive
Gewichtung für PV#1 (NB-F-OH-Konz.) | 1 |
Selektive
Gewichtung für PV#1 (Acrylate-Konz.) | 1 |
Selektive
Gewichtung für Ausgangsgr. 3 (Gesamt-Zuflußrate
der Monomerlösg.) | 25 |
Bewegungsstrafe
für MV#1 (M1-Zuflußrate) | 2 |
Bewegungsstrafe
für MV#2 (M2-Zuflußrate) | 2 |
Bewegungsstrafe
für MV#3 (Reaktordruck-Sollwert) | 1 |
Maximale
Bewegungsgröße für MV#1, M1-Zuflußrate,
cm3/min | 0,140 |
Maximale
Bewegungsgröße für MV#2, M2-Zuflußrate,
cm3/min | 0,100 |
Maximale
Bewegungsgröße für MV#3, Reaktordruck-Sollwert,
psig | 5 |
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Die
durch ONLINE
TM über den Verlauf
der Reaktion vorgeschriebene Sollwertkurve ist in
3 dargestellt.
Die resultierende Kurve der Flüssigphasenzusammensetzung,
gemessen durch das Raman-System, ist in
4 dargestellt.
Während des Verlaufs der Polymerisation wurden durch das
Raman-System mit einer Häufigkeit von etwa einer Abtastung
pro Minute 704 Messungen der Zusammensetzung durchgeführt.
Die resultierende Statistik zur Flüssigphasenzusammensetzung
ist in Tabelle 2 dargestellt. TABELLE 2: RAMAN-SYSTEM-STATISTIK FÜR
BEISPIEL 1
Komponente | Sollwert
(Mol-%) | Mittelwert
(Mol-%) | Standardabweichung
(Mol-%) |
TFE | 70,0 | 69,95 | 0,73 |
NB-F-OH | 27,3 | 27,37 | 0,69 |
HAdA/PinAc | 2,7 | 2,68 | 0,17 |
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Die
dem Reaktor zugeführte Gesamtmenge jedes Monomers ist in
Tabelle 3 dargestellt. TABELLE 3: GESAMT-FLÜSSIGPHASENZUFLÜSSE
IM VERLAUF DER POLYMERISATION
Komponente | Mol-%
in Flüssigkeit | Gew.-%
in Flüssigkeit | Vol-%
in Flüssigkeit | Zugeführtes Gesamtvolumen
(cm3) | Zugeführte Gesamtmasse
(g) | Zugeführte Gesamtmolzahl |
TFE | 40,1% | 19,8% | 25,4% | 348 | 324 | 3,24 |
NB-F-OH | 43,8% | 62,8% | 55,5% | 760 | 1026 | 3,54 |
PinAc | 9,2% | 7,8% | 8,6% | 118 | 127 | 0,74 |
HAdA | 7,0% | 9,5% | 10,5% | 144 | 156 | 0,57 |
Gesamt-Monomer | - | - | - | 1370 | 1633 | 8,09 |
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Acht
Stunden nach der Änderung der Initiatorzuflußrate
auf 0,19 cm3/min wurde die Pumpe C abgeschaltet.
Zwölf Stunden nach Beginn des Zuflusses der Monomerlösungen
in den Reaktor wurden die Pumpen A und B abgeschaltet. Gleichzeitig
wurde der TFE-Zufluß abgeschaltet, und der Reaktor wurde
alle 10 Minuten in Schritten von 138 kPa (20 psi) entlüftet,
bis der Reaktordruck 276 kPa Überdruck (40 psig) erreichte.
Als der TFE-Druck 276 kPa Überdruck (40 psig) erreichte,
wurde der Sollwert für die Julabo®-Heiz-/Kühleinrichtung auf
25°C reduziert. Als die Reaktortemperatur 25°C
erreichte, wurde der Restdruck im Behälter durch die TFE-Entlüftungsleitung
abgelassen, und der Rührwerksmotor wurde abgeschaltet.
Dann wurde dem Reaktor Stickstoff zugeführt, bis der Druck
68,95 kPa Überdruck (10 psig) erreichte.
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Die
Lösung im Reaktor wurde dann abgelassen und ergab 2781
g einer goldgelben, ein wenig trüben Polymerlösung
mit einer Flüssigkeitsdichte von 1,39 g/l, einem massegemittelten
Molekulargewicht (Mw) von 32700 und einer Polydispersität
(Mw/Mn) von 2,02. Die Polymerlösung wurde in Heptan abgeschieden
(bei einem Volumenverhältnis von 18/1 des Heptan zur Polymerlösung),
und 472 g weißes Polymer wurden isoliert. Dieses Polymer
wurde in einem Solkane® 365 mfc/THF-Gemisch
wiederaufgelöst (Masseverhältnis 50/50) und dann
erneut in Heptan abgeschieden und ergab 433 g trockenes Endprodukt.
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Gelpermeationschromatographie
dieses trockenen Endprodukts zeigte, daß das massegemittelte
Molekulargewicht (Mw) 34500 betrug, bei einer Polydispersität
von 1,86. Die Polymerzusammensetzung wurde durch NMR-Analyse mit
8,6% TFE/30,9% NB-F-OH/30,9% PinAc/29,6% HAdA ermittelt.
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Lithographieverfahren
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Eine
Lösung mit 12 Gew.-% Feststoffgehalt aus fertigem trockenem
Polymer (97,88 g), Triphenylsulfoniumnonaflat (2,00 g) und Tetrabutylammoniumlactat
(0,12 g) wurde in 2-Heptanon angesetzt und über Nacht gerührt.
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Die
Bebilderung wurde in Reinraumeinrichtungen durchgeführt.
Eine A TEL ACT 8-Beschichtungs-/Härtungs-/Entwicklungsbahn
von Tokyo Electron Company, Tokyo, Japan, wurde zum Auftragen und Verarbeiten
der Formulierung benutzt. Die Formulierung wurde von Hand auf einem
mit 82 nm AR19-Antireflexbelag grundierten 8''-Si-Wafer von Rohm
und Haas Electronic Products, Marlborough, MA, verteilt und mit 1764
U/min aufgeschleudert und ergab eine Schicht von ~270 nm Dicke.
Anschließend an das Aufschleudern wurde der beschichtete
Wafer 60 Sekunden bei 150°C gehärtet. Der Wafer
wurde dann mit einem SVG Micrasan 193-Stepper von ASML, Veldhoven,
Niederlande, bebildert, der mit einer Beleuchtungsoptik mit NA = 0,60
und Sigma = 0,3 eingerichtet war. Eine alternierende Phasenschiebermaske
(AltPSM) mit verschiedenen Strukturen, darunter 100 nm 1:1-Linien,
lieferte das Bild. Es wurde eine serpentinenförmige Struktur
von Belichtungen mit Dosisschritten von 0,5 mJ erzeugt. Nach der
Bebilderung wurde der Wafer 60 Sekunden bei 135°C gehärtet
und 60 Sekunden in Clariant® 300MIF
2,38% Entwickler (AZ Electronic Materials, Branchburg, NJ) entwickelt.
Ein Rasterelektronenmikroskop (SEM) von KLA Tencor, San Jose, CA,
Modell-Nr. 8100 CD, wurde dann benutzt, um die optimale Belichtung
für diese Struktur zu identifizieren und das in 5 dargestellte Bild zu erzeugen.
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VERGLEICHSBEISPIEL A
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Rückführungslose Copolymerisation
von TFE, NB-F-OH und Acrylaten (PinAc und HadA)
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Wie
in Beispiel 1 war die molare Zielzusammensetzung des Copolymers
21% TFE, 41% NB-F-OH, 38% Gesamtacrylate (21,6% PinAc und 16,4%
HAdA) mit einem Mw von 35700. Die angestrebte Endkonzentration des
Polymers in dem Lösungsmittel sollte 30 Gew.-% sein, und
der Reaktor sollte am Ende der Polymerisation, 12 Stunden nach Beginn
der Monomer- und Initiator-Zuflüsse, zu 67,56% gefüllt
sein. In diesem Beispiel wurden jedoch die Zuflußrate von
flüssigen Monomerlösungen und der durch TFE-Gaszufluß aufrechterhaltene
Reaktordruck während des Verlaufs der Reaktion konstant
gehalten (Modus ohne Rückführung). Dieses Beispiel
veranschaulicht das herkömmliche Verfahren, das für
die halbdiskontinuierliche Copolymerisation von Monomeren befolgt
wird, die stark von Eins abweichende Reaktivitätsverhältnisse
aufweisen.
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Polymerisationsverfahren
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Die
Vorfüllung, Monomerlösungen (M1 und M2) und die
zugesetzte Initiatorlösung waren die gleichen wie die von
Beispiel 1. Die Polymerisation wurde auch auf die gleiche Weise
durchgeführt, mit der Ausnahme, daß der ONLINETM-Regler nicht eingeschaltet wurde. Die
Sollwerte für die Monomerzuflußrate und den Reaktordruck
wurden im Verlauf der Polymerisation konstant auf dem Niveau gehalten,
das in Beispiel 1 als Anlaufbedingungen festgelegt war:
M1-Zuflußrate
= 1,25 cm3/min
M2-Zuflußrate
= 0,59 cm3/min
Reaktordruck = 1,448
MPa Überdruck (210 psig)
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Die
resultierende Flüssigphasen-Zusammensetzungskurve, gemessen
durch das Raman-System, ist in 6 dargestellt.
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Während
des Verlaufs der Polymerisation wurden durch das Raman-System mit
einer Häufigkeit von etwa einem Abtastwert pro Minute 720
Messungen der Zusammensetzung durchgeführt. Die resultierende Statistik
zur Flüssigphasenzusammensetzung ist in Tabelle 4 dargestellt. TABELLE 4: RAMAN-SYSTEM-STATISTIK FÜR
VERGLEICHSBEISPIEL A
Komponente | Sollwert
(Mol-%) | Mittelwert
(Mol-%) | Standardabweichung (Mol-%) |
TFE | n.
bek. | 70,28 | 2,20 |
NB-F-OH | n.
bek. | 28,09 | 0,67 |
HAdA/PinAc | n.
bek. | 1,63 | 1,80 |
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Die
Lösung im Reaktor wurde dann abgelassen und ergab 4350
g goldgelbe, ein wenig trübe Polymerlösung mit
einer Flüssigkeitsdichte von 1,39 g/l, einem Mw von 24000
und einer Polydispersität (Mw/Mn) von 3,15. Die Polymerlösung
wurde in Heptan abgeschieden (bei einem Volumenverhältnis
von 18/1 des Heptan zur Polymerlösung) und ergab 682 g
weißes Polymer. Das Polymer wurde in Solkane® 365
mfc/THF-Gemisch wiederaufgelöst und dann erneut in Heptan
abgeschieden und ergab 646 g trockenes Endprodukt mit einem Mw von
24700 und einer Polydispersität von 2,77. NMR-Auswertung
zeigte an, daß die Polymerzusammensetzung 13,2% TFE, 34,4%
NB-F-OH, 23,2% PinAc und 29.2% HAdA war.
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Lithographieverfahren
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Eine
Formulierung mit 12 Gew.-% Feststoffgehalt aus fertigem trockenem
Polymer (97,88 g), Triphenylsulfoniumnonaflat (2,00 g) und Tetrabutylammoniumlactat
(0,12 g) wurde in 2-Heptanon angesetzt und über Nacht gerührt.
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Die
Herstellung eines beschichteten Wafers und die anschließende
Bebilderung wurden ausgeführt, wie oben für Beispiel
1 beschrieben. Das Bild ist in 5 dargestellt.
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ZUSAMMENFASSUNG
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Die
Erfindung betrifft Copolymerisationsverfahren vom halbdiskontinuierlichen
Typ. Genauer gesagt, die Verfahren gemäß der vorliegenden
Erfindung sind auf die Herstellung von Copolymeren mit einheitlicher Zusammensetzung
gerichtet, einschließlich der Herstellung derartiger Copolymere
aus ungleichartigen Monomeren, z. B. aus Monomeren mit signifikant
verschiedenen Reaktivitätsverhältnissen.
-
ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
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Zitierte Nicht-Patentliteratur
-
- - P. B. Deshpande
et al., Chemical Engineering Progress, 91, 3, 1995, S. 65–72 [0020]