DE112006002378T5 - Ausrichtungsvorrichtung, Verfahren zum Zurückkehren zu einem Ausgangspunkt für eine Ausrichtungsvorrichtung, Drehtisch, Translationstisch oder Maschine mit einer Ausrichtungsvorrichtung und Maschinensteuersystem - Google Patents

Ausrichtungsvorrichtung, Verfahren zum Zurückkehren zu einem Ausgangspunkt für eine Ausrichtungsvorrichtung, Drehtisch, Translationstisch oder Maschine mit einer Ausrichtungsvorrichtung und Maschinensteuersystem Download PDF

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Takehiko Kitakyushu Komiya
Toshiyuki Kitakyushu Osuga
Yasuhiko Kitakyushu Kaku
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Abstract

Ausrichtungsvorrichtung zum Betätigen eines Tisches mit einem darauf montierten Objekt in den Richtungen XYθ, Yθ oder θ mittels eines an einem Maschinenbasisteil angeordneten Antriebsmechanismus für eine Positionierung an einer vorbestimmten Position, wobei die Ausrichtungsvorrichtung umfasst:
den Antriebsmechanismus, der eine Vielzahl von Antriebsmechanismuseinheiten umfasst, die jeweils gebildet werden durch:
einen Mechanismusteil, der zwei Translationsfreiheitsgradteile mit jeweils einem Translationsfreiheitsgrad und einen Drehfreiheitsgradteil mit einem Drehfreiheitsgrad umfasst, und
eine Motorsteuereinrichtung, die Motoren zum Antreiben der Freiheitsgradteile der zwei Translationsfreiheitsgradteile und des einen Drehfreiheitsgradteils, eine Erfassungseinrichtung zum Erfassen einer Betätigungsgröße des Mechanismusteils als zu erfassendem Teil, und eine Steuereinrichtung zum Steuern der Motoren umfasst, wobei ein Betriebsbefehl für eine Anzahl von Motoren empfangen wird, die wenigstens der Anzahl der Freiheitsgrade der XYθ, Yθ oder θ-Betätigung des Tisches entspricht,
wobei die Antriebsmechanismuseinheiten eine Befehlseinrichtung zum Ausgeben des Betriebsbefehls an die Steuereinrichtung umfassen,
wobei der Tisch betätigt wird, um sich translatorisch...

Description

  • Technisches Gebiet
  • Die vorliegende Erfindung betrifft eine Ausrichtungsvorrichtung zum Positionieren eines Objekts auf einem Tisch zu einer vorbestimmten Position durch das Bewegen des Tisches in den Richtungen XYθ, Yθ oder θ in einer Prüfungsvorrichtung, Belichtungsvorrichtung oder ähnlichem für ein Halbleiterelement, eine Leiterplatte, ein Flüssigkristall-Anzeigeelement oder ähnliches sowie ein Verfahren zum Zurückkehren zu einem Ausgangspunkt für eine Ausrichtungsvorrichtung.
  • Stand der Technik
  • Eine Objekttischvorrichtung mit einem Linearmotor gemäß einem ersten Beispiel aus dem Stand der Technik ermöglicht eine Positionierung um einen kleinen Winkel unter Verwendung eines Linearmotors und ist klein und dünn ausgebildet (siehe zum Beispiel die Patentreferenz 1).
  • Weiterhin werden ein 2-Achsen-Parallel-/1-Achse-Drehbewegungs-Führungsmechanismus und ein denselben verwendender 2-Achsen-Parallel-/1-Achse-Drehtisch gemäß einem zweiten Beispiel aus dem Stand der Technik verwendet, um eine Tischvorrichtung zu bilden, wobei der 2-Achsen-Parallel-/1-Achse-Drehbewegungs-Führungsmechanismus einfach in einen Tisch integriert ist und den Tisch mit hoher Genauigkeit führen und halten kann (siehe zum Beispiel die Patentreferenz 2).
  • Eine Objekttischvorrichtung gemäß einem dritten Beispiel aus dem Stand der Technik umfasst eine bewegliche Haltevorrichtung zum axialen Halten und Bewegen eines Endteils und eines anderen Endteils eines Objekttisches mit einem beweglichen Tisch und einer Positionssteuervorrichtung zum Steuern des beweglichen Tisches und der beweglichen Haltevorrichtung, wobei der Objekttisch präzise durch eine Bewegung nicht nur in der direkten Vorwärtsrichtung, sondern auch in einer Drehrichtung positioniert werden kann und wobei der Objekttisch mit einer hohen Geschwindigkeit bewegt werden kann, indem eine Antwort vorgesehen wird (siehe zum Beispiel die Patentreferenz 3).
    • Patentreferenz 1: JP-A-2002-328191 (1, 2)
    • Patentreferenz 2: JP-A-11-425128 (2, 4, 5)
    • Patentreferenz 3: JP-A-2003-316440 (1, 3, 4, 5, 7)
  • Im Folgenden wird eine Objekttischvorrichtung mit einem Linearmotor der Patentreferenz 1 gemäß einem ersten Beispiel aus dem Stand der Technik erläutert.
  • 77 ist eine Vorderansicht, die eine Ausführungsform der Objekttischvorrichtung mit dem Linearmotor der Patentreferenz 1 aus der X-Richtung als einer Richtung betrachtet zeigt, und 78 ist eine Draufsicht auf die Objekttischvorrichtung von 77.
  • In den beiden Zeichnungen ist die Objekttischvorrichtung mit dem Linearmotor mit einem sich drehenden Linearmotor 1013 als Antriebsvorrichtung für eine kleine Bewegung in einer Drehrichtung zwischen einem Drehobjekttisch 1103 und einem zweiten Objekttisch 1102 gezeigt, wobei insbesondere für eine kleine Winkelpositionierung des Drehobjekttisches 1103 als sich drehender Linearmotor 1013 ein Linearmotor mit einem beweglichen Magneten verwendet wird, um eine Drehobjekttischvorrichtung für eine Winkelpositionierung eines Werkstücks oder ähnlichem vorzusehen, indem der Drehlinearmotor 1013 und der Drehobjekttisch 1103 als ein in einer Drehrichtung vorgesehener Teil um eine kleine Distanz in der Drehrichtung (d. h. in der Richtung θ) bewegt werden.
  • Der Drehobjekttisch 1103 (d. h. die θ-Objekttischvorrichtung) ist in einer X-Objekttischvorrichtung integriert, die durch einen reziprok linear in der X-Richtung bewegten erste Objekttisch und einen reziprok in der entgegen gesetzten Y-Richtung bewegten zweite Objekttisch 1102 gebildet wird, um eine zusammengesetzte Objekttischvorrichtung einer XY-θ-Objekttischvorrichtung und einen Aufbau zum Positionieren eines Werkstücks oder ähnlichem in einer Ebene in der X-Richtung, der Y-Richtung und in einer Drehrichtung (θ-Richtung) vorzusehen.
  • Die Objekttischvorrichtung mit dem Linearmotor aus dem Stand der Technik ist klein und dünn ausgebildet und kann eine Positionierung in den Richtungen XYθ vorstehen.
  • Im Folgenden werden ein 2-Achsen-Parallel-/1-Achsen-Drehbewegungs-Führungsmechanismus und eine denselben verwendende 2-Achsen-Parallel-/1-Achse-Drehtischvorrichtung gemäß der Patentreferenz 2 erläutert. 79 ist eine teilweise aufgebrochene und demontierte perspektivische Ansicht des 2-Achsen-Parallel-/1-Achse-Drehbewegungs-Führungsmechanisimus der Patentreferenz 2. 80 zeigt die 2-Achsen-Parallel-/1-Achse-Drehtischvorrichtung mit dem 2-Achsen-Parallel-/1-Achsen-Drehbewegungs-Führungsmechanismus von 79, wobei (a) eine Draufsicht ist, in welcher der Tisch nur schematisch durch eine zweigepunktete Strichlinie angedeutet ist, und (b) eine Vorderansicht ist. 81 ist eine Draufsicht auf den in 80 gezeigten Tisch.
  • In 79 bis 81 wird ein 2-Achsen-Parallel-/1-Achse-Drehbewegungs-Führungsmechanismus 2201 (79) durch einen 2-Achsen-Parallelbewegungs-Führungsteil 2270 und einen in den 2-Achsen-Parallelbewegungs-Führungsteil 2270 integrierten Drehbewegungs-Führungsteil 2280 gebildet.
  • Weiterhin hält wie in 80 und 81 gezeigt eine 2-Achsen-Parallel-/1-Achse-Drehtischvorrichtung mit dem 2-Achsen-Parallel-/1-Achse-Drehbewegungs-Führungsmechanismus 2201 einen Tisch 2233 parallel zu einer Basis 2234 und in zwei senkrecht zueinander ausgerichteten Achsen beweglich mittels vier 2-Achsen-Parallel-/1-Achse-Drehbewegungs-Führungsmechanismen 2201A, 2201B, 2201C, 2201D, wobei er um eine Drehachse CO gedreht werden kann, die an einem Zentrumsteil des Tisches 2233 angeordnet ist.
  • Drei der vier 2-Achsen-Parallel-/1-Achse-Drehbewegungs-Führungsmechanismen 2201A, 2201B, 2201D sind operativ mit Linearantriebsmechanismen 2237A, 2237B, 2237D verbunden, die durch Drehmotoren 2238 und Schneckenmechanismen 2239 zum Wandeln einer Drehbewegung der Drehmotoren 2238 zu einer Linearbewegung gebildet werden, und werden jeweils angetrieben, um in linearen Richtungen vorgeschoben und zurückgezogen zu werden. Der 2-Achsen-Parallel-/1-Achse-Drehbewegungs-Führungsmechanismus 2201C kann frei bewegt werden.
  • Wenn der Tisch 2233 parallel bewegt wird, werden die zwei Linearantriebsmechanismen 2237A und 2237B oder der Linearantriebsmechanismus 2237C angetrieben.
  • Wenn der Tisch relativ zu der Drehachse C0 gedreht wird, werden die Linearantriebsmechanismen 2237A und 2237B um dieselbe Distanz +ΔX und –ΔX in entgegen gesetzten Richtungen angetrieben, während der Linearantriebsmechanismus 2237C um eine vorbestimmte Distanz ΔY in der Y-Achsenrichtung angetrieben wird.
  • Auf diese Weise bewegen sich der 2-Achsen-Parallel-/1-Achse-Drehbewegungs-Führungsmechanismus und die denselben verwendende 2-Achsen-Parallel-/1-Achse-Drehtischvorrichtung parallel oder drehen den Tisch in Position.
  • Im Folgenden wird eine Objekttischvorrichtung der Patentreferenz 1 gemäß einem dritten Beispiel aus dem Stand der Technik erläutert.
  • 82 ist eine Ansicht der Objekttischvorrichtung der Patentreferenz 1. In 82 geben die Bezugszeichen 3100, 3200, 3300 Direktvorschubtische an, geben die Bezugszeichen 3110, 3210, 3310 bewegliche Tische an, geben die Bezugszeichen 3112 und 3314, 3212 und 3214, 3312 und 3314 Beinteile an, geben die Bezugszeichen 3222 und 3224, 3222 und 3324 und 3322 und 3324 Führungsschienen an, geben die Bezugszeichen 3130, 3230, 3330 Linearmotorständer an, geben die Bezugszeichen 3120, 3220, 3320 Basisteile an, gibt das Bezugszeichen 3350 einen erste Endteil an und gibt das Bezugszeichen 3360 einen zweiten Endteil an. Die drei Direktvorschubtische 3100, 3200 und 3300 weisen jeweils einen gleichen Aufbau auf, und die beweglichen Tische 3110, 3210 und 3310, die bewegt werden können, indem sie separat durch Linearmotoren angetrieben werden, werden auf den Stufen 3100, 3200 und 3300 bewegt. Der erste Endteil 3350 des Basisteils 3320 der Direktvorschubsstufe 3300 wird schwenkbar auf dem beweglichen Tisch 3110 der Direktvorschubsstufe 3100 gehalten, und der zweite Endteil 3360 des Basisteils 3320 der Direktvorschubsstufe 3300 wird schwenkbar auf dem beweglichen Tisch 3210 der Direktvorschubsstufe 3200 gehalten.
  • 83 ist eine perspektivische Ansicht, die einen Modus eines Axialhalteteils der Direktvorschubsstufe 3300 der Objekttischvorrichtung der Patentreferenz 3 zeigt. In 83 geben die Bezugszeichen 3400, 3500 Axialhalteglieder an, geben die Bezugszeichen 3410, 3510 Außenseiten-Zylinderteile an, geben die Bezugszeichen 3420, 3520 Axialhalteglieder an und gibt das Bezugszeichen 3530 einen Blattfederteil an.
  • Der Blattfederteil 3530 ist an dem Innenseiten-Zylinderteil 3520 vorgesehen und ist über ein Halteglied an einer unteren Fläche des Basisteils 3320 fixiert.
  • 84 zeigt Ansichten mit Details des Axialhalteglieds 3400 und des Axialhalteglieds 3500. 84(a) zeigt einen Querschnitt, in dem das Axialhalteglied 3400 von der Seite des ersten Endteils 3350 des Basisglieds 3320 betrachtet wird, und 84(b) zeigt einen Querschnitt, in dem das Axialhalteglied 3500 von der Seite des zweiten Endteils 3360 des Basisteils 3320 betrachtet wird.
  • Der Innenseiten-Zylinderteil 3420 von 84(a) wird glatt relativ zu dem Außenseiten-Zylinderteil 3410 geschwenkt. Der Innenseiten-Zylinderteil 3520 von 84(b) ist mit der Blattfeder 3530 entlang einer Radiusrichtung des Innenseiten-Zylinderteils 3520 versehen.
  • 85 ist eine Ansicht, die den Innenseiten-Zylinderteil 3520 der Objekttischvorrichtung der Patentreferenz 3 zeigt. In 85 gibt das Bezugszeichen 3522 einen Teil mit kleinem Innendurchmesser an, gibt das Bezugszeichen 3524 einen Teil mit großem Innendurchmesser an, gibt das Bezugszeichen 3526 eine Grenzseitenfläche an und gibt das Bezugszeichen 3560 eine Schraube an. Die Blattfeder 3530 wird durch eine längliche Form gebildet, wobei beide Endteile der Blattfeder 3530 mit elliptischen Durchgangslöchern versehen sind und die Richtung des langen Durchmessers des Durchgangslochs in der elliptischen Form im wesentlichen der Längsrichtung der Blattfeder 3530 entspricht. Die beiden Endteile der Blattfeder 3530 sind über die Durchgangslöcher mittels Schrauben 3560 auf der Grenzseitenfläche 3526 des Innenseiten-Zylinderteils 3520 vorgesehen. Die Blattfeder 3530 ist derart ausgebildet, dass die Längsrichtung der Blattfeder 3530 im wesentlichen der Richtung des Durchmessers des Innenseiten-Zylinderteils 3520 entspricht. Wenn die Blattfeder 3530 in der Richtung des weißen Pfeils in der Zeichnung gebogen wird, können beide Endteile der Blattfeder 3530 etwas entlang der Durchgangslöcher in der elliptischen Form bewegt werden. Ein zentraler Teil der Blattfeder 3530 ist durch eine Schraube 3580 an einem Halteglied 3570 fixiert. Das Halteglied 3570 weist eine T-Form auf, wobei ein oberer Teil des Halteglieds 3570 durch eine Schraube 3590 an einer unteren Fläche des Basisteils 3320 der Direktvorschubsstufe 3300 fixiert ist. Weil ein Drehlager 3540 und eine Rolle 3550 vorgesehen sind, kann der Innenseiten-Zylinderteil 3520 glatt relativ zu dem Außenseiten-Zylinderteil 3510 geschwenkt werden. Weiterhin kann der Direktvorschubtisch 3300 relativ zu dem Innenseiten-Zylinderteil 3520 bewegt werden, indem die Blattfeder 3530 gebogen wird. Der „Objekttisch" wird durch den Direktvorschubtisch 3300 gebildet, und der „bewegliche Tisch" wird durch den beweglichen Tisch 3310 gebildet. Weiterhin wird die „erste bewegliche Haltevorrichtung" durch das axiale Halteglied 3400 gebildet, und wird die „zweite bewegliche Haltevorrichtung" durch das axiale Halteglied 3500 gebildet. Weiterhin wird „ein Endteil" durch den ersten Endteil 3350 gebildet, und wird der „andere Endteil" durch den zweiten Endteil 3360 gebildet. Weiterhin wird das „elastische Teil" durch den Blattfederteil 3350 gebildet.
  • 86 zeigt einen spezifischen Modus zum Positionieren des Tisches der Objekttischvorrichtung der Patentreferenz 3.
  • Die Draufsichten von 86(a) bis (c) zeigen die Umrisse der drei Direktvorschubtische 3100, 3200 und 3300 und der beweglichen Tische 3110, 3210 und 3310. 86(a) zeigt die Objekttischvorrichtung, wenn der bewegliche Tisch 3110 der Mitte in der X-Richtung des Direktvorschubtisches 3100 angeordnet ist, der bewegliche Tisch 3210 in der Mitte der X-Richtung des Direktvorschubtisches 3200 angeordnet ist und der bewegliche Tisch 3310 in der Mitte der Y-Richtung des Direktvorschubtisches 3300 angeordnet ist, wobei Bezugspositionen eingenommen werden, wenn die beweglichen Tische 3110, 3210 und 3310 an diesen Positionen angeordnet sind.
  • 86(b) zeigt einen Zustand, in dem der bewegliche Tisch 3110 der Direktvorschubtisches 3100 und der bewegliche Tisch 3210 des Direktvorschubtisches 3200 von den Bezugspositionen in einer positiven Richtung um eine Distanz Y1 bewegt ist und der bewegliche Tisch 3310 des Direktvorschubtisches 3300 von der Bezugsposition zu in einer positiven Richtung um eine Distanz X1 bewegt ist. Indem der bewegliche Tisch 3110 und der bewegliche Tisch 3210 in derselben Richtung um die dieselbe Distanz bewegt werden, kann der gesamte Direktvorschubtisch 3300 in der Y-Richtung bewegt werden. Durch eine derartige Bewegung kann der bewegliche Tisch 3310 an einer gewünschten Position in den X-Y-Richtungen positioniert werden.
  • In 86(c) ist der bewegliche Tisch 3110 des Direktvorschubtisches 3100 von der Bezugsposition in einer negativen Richtung um eine Distanz Y1 bewegt und ist der bewegliche Tisch des Direktvorschubtisches 3200 in der positiven Richtung durch eine Distanz Y1 bewegt. Durch eine derartige Bewegung kann der gesamte Direktvorschubtisch an einer um θ gedrehten Position positioniert werden. Indem der bewegliche Tisch 3110 und der bewegliche Tisch 3210 auf diese Weise an unterschiedlichen Positionen positioniert werden, kann der gesamte Direktvorschubtisch 3300 mit einem gewünschten Winkel positioniert werden und kann der bewegliche Tisch 3310 an einer um einen gewünschten Winkel gedrehten Position positioniert werden.
  • Wenn der Direktvorschubtisch 3300 wie in 86(c) gezeigt gedreht wird, wird das oben genannte Halteglied 3570 zum Halten des Basisteils 3320 des Direktvorschubtisches 3300 bewegt. Wenn das Halteglied 3570 gedreht wird, wird der an dem Halteglied 3570 fixierte Blattfederteil gebogen.
  • 87 ist eine Ansicht, die das Verhalten zeigt, wenn der Blattfederteil 3530 der Objekttischvorrichtung der Patentreferenz 3 gebogen wird. Das Halteglied 3570 ist in einem nach links in der Zeichnung bewegten Zustand gezeigt. Indem das Halteglied 3570 bewegt wird, wird der Blattfederteil 3530 an einem durch das Bezugszeichen M angegebenen Teil gebogen.
  • Indem der Direktvorschubtisch 3300 an dem ersten Endteil 3350 des Basisteils 3320 des Direktvorschubtisches 3300 nur axial gehalten wird, kann die Position des beweglichen Tisches 3310 entlang der Längsrichtung des Direktvorschubtisches 3300 berechnet werden, indem ein Bezug durch ein Schwenkzentrum des ersten Endteils 3350 gebildet wird. Indem weiterhin der Direktvorschubtisch 3300 an dem zweiten Endteil 3360 des Basisteils 3320 des Direktvorschubtisches 3300 axial gehalten wird und der Direktvorschubtisch 3300 in der Längsrichtung bewegt werden kann, kann die Schwenkoperation des Direktvorschubtisches 3300 glatt vorgesehen werden.
  • Beschreibung der Erfindung
  • Problemstellung der Erfindung
  • Die Objekttischvorrichtung mit dem Linearmotor der Patentreferenz 1 wird durch einen Aufbau gebildet, in dem die entsprechenden Achsen der drei Richtungen XYθ einander überlappen, wodurch sich das Problem ergibt, dass die Objekttischvorrichtung sehr voluminös wird, wenn ein zu positionierendes Objekt eine große Größe aufweist. In den letzten Jahren werden immer größere Flüssigkristallpaneele produziert, sodass für eine reziproke Bewegung oder eine drehende Bewegung des Tisches der Linearmotor bzw. die Tischobjektvorrichtung insgesamt vergrößert werden müssen.
  • Weil bei dem Aufbau der Vorrichtung die entsprechenden Achsen der drei Richtungen XYθ einander überlappen, wird in einer vergrößerten Tischobjektvorrichtung bei einer Bewegung in den Richtungen XY der Schwerpunkt verschoben, wobei je nach der Bewegungsposition des Objekttisches durch die Antriebsvorrichtung eine Last auf einen Verbindungsteil der entsprechenden Achsen konzentriert wird und eine große Momentlast an dem Objekttisch erzeugt wird, wodurch sich das Problem ergibt, dass die Positionsgenauigkeit reduziert wird, weil eine glatte Bewegung des Objekttisches behindert oder eine unbeabsichtigte Drehbewegung verursacht wird.
  • Weiterhin werden der 2-Achsen-Parallel-/1-Achsen-Drehbewegungs-Führungsmechanismus und die 2-Achsen-Parallel-/1-Achsen-Drehtischvorrichtung der Patentreferenz 2 durch einen 3-Achsen-Aufbau gebildet, der drei der 2-Achsen-Parallel-/1-Achsen-Drehbewegungs-Führungsmechanismen verwendet, wenn ein Antrieb um nur eine Achse vorgesehen wird. Die Kapazität eines Motors reicht also nicht aus und es kann keine Operation mit einem Antrieb um zwei Achsen ausgeführt werden, sodass mehr Zeit für das Bewegen/Positionieren erforderlich ist, wodurch sich das Problem ergibt, dass die Effizienz/Produktivität verschlechtert wird.
  • Weiterhin stellt sich bei einer Vorrichtung zum Drehen und Bewegen des Tisches oder ähnlichem unter Verwendung einer Translationsbewegung wie in der Patentreferenz 2 das Problem einer Nichtlinearität in einer Translationsbewegung und einer Drehbewegung. Dadurch ergibt sich das Problem, dass eine Translationsbewegungsgröße bei einer Drehung und einer umgekehrten Drehung des Tisches unterschiedliche Werte aufweist, sodass eine Winkelbewegung bei einem gleichen Intervall des Tisches vorgesehen wird. Mit anderen Worten unterscheidet sich die Translationsbewegung je nach der Haltung oder Position des Tisches.
  • Wenn sich die angenommene Haltung und die tatsächliche Haltung des Tisches voneinander unterscheiden, wird der Tisch nicht gemäß der Translationsbewegungsgröße des Betriebsbefehls gedreht.
  • Dadurch ergibt sich das große Problem, dass der Tisch nicht genau betätigt werden kann, wenn die Haltung/Position des Tisches nicht genau erfasst werden kann.
  • In einem Mechanismus wie etwa einer Kugelspindel, der einen mechanischen Verlust aufweist, stellt die oben genannte Genauigkeit kein großes Problem dar. Wenn jedoch die Betriebsgenauigkeit durch die Verwendung eines Linearmotors vergrößert wird, stellt ein in einem Befehl enthaltener Fehler ein Problem dar.
  • Die Objekttischvorrichtung der Patentreferenz 3 weist einen Freiheitsgrad auf, weil das elastische Glied verwendet wird, das gebogen wird, sodass eine Positionierung unter Berücksichtigung der Biegungsverschiebung des elastischen Glieds ausgeführt werden muss. Es stellt sich also das Problem, dass die Positionierung aufgrund einer Hysterese einer elastischen Eigenschaft der Blattfeder oder einer Nichtlinearität einer Wiederherstellungskraft und einer Verschiebung einer Spiralfeder oder einer pneumatischen Feder oder ähnlichem in dem elastischen Glied nicht fein ausgeführt werden kann. Wenn das elastische Glied als Blatterfeder eines Antriebssystems vorgesehen ist, ergibt sich weiterhin das Problem, dass eine durch das Blattfederelement verursachte Resonanz einen Einfluss auf die Positionierungsgenauigkeit hat.
  • Die Erfindung nimmt auf die vorstehend geschilderten Probleme Bezug, wobei es eine Aufgabe der Erfindung ist, eine Ausrichtungsvorrichtung anzugeben, die einen Tisch mit hoher Genauigkeit bewegen kann, indem sie einen Maschinenausgangspunkt als Ausgangsposition des Tisches genau bestimmt und einen Betriebsbefehl als Bezug für den Maschinenausgangspunkt berechnet, um eine Last durch den Tisch oder ein Objekt zu halten, indem die Last mit einer hervorragenden Ausgeglichenheit durch eine Antriebsmechanismuseinheit verteilt wird, wobei der Tisch auch dann genau betätigt werden kann, wenn der Tisch eine große Größe aufweist.
  • Problemlösung
  • Um das oben beschriebene Problem zu lösen, weist die Erfindung den nachfolgend genannten Aufbau auf.
  • Gemäß Anspruch 1 ist eine Ausrichtungsvorrichtung zum Betätigen eines Tisches mit einem darauf montierten Objekt in den Richtungen XYθ, Yθ oder θ mittels eines an einem Maschinenbasisteil angeordneten Antriebsmechanismus für eine Positionierung an einer vorbestimmten Position angegeben, wobei die Ausrichtungsvorrichtung umfasst:
    den Antriebsmechanismus, der eine Vielzahl von Antriebsmechanismuseinheiten umfasst, die jeweils gebildet werden durch:
    einen Mechanismusteil, der zwei Translationsfreiheitsgradteile mit jeweils einem Translationsfreiheitsgrad und einen Drehfreiheitsgradteil mit einem Drehfreiheitsgrad umfasst, und
    eine Motorsteuereinrichtung, die Motoren zum Antreiben der Freiheitsgradteile der zwei Translationsfreiheitsgradteile und des einen Drehfreiheitsgradteils, eine Erfassungseinrichtung zum Erfassen einer Betätigungsgröße des Mechanismusteils als zu erfassendem Teil, und eine Steuereinrichtung zum Steuern der Motoren umfasst, wobei ein Betriebsbefehl für eine Anzahl von Motoren empfangen wird, die wenigstens der Anzahl der Freiheitsgrade der XYθ, Yθ oder θ-Betätigung des Tisches entspricht,
    wobei die Antriebsmechanismuseinheiten eine Befehlseinrichtung zum Ausgeben des Betriebsbefehls an die Steuereinrichtung umfassen,
    wobei der Tisch betätigt wird, um sich translatorisch und drehend in zwei Richtungen der XYθ-Betätigung zu bewegen, um sich translatorisch und drehend in einer Richtung der Yθ-Betätigung zu bewegen oder um sich drehend in der θ-Betätigung zu bewegen, indem die Motoren jeweils in einer Translationsrichtung oder einer Drehrichtung betrieben werden,
    eine Maschinenausgangspunkt-Speichereinrichtung zum vorausgehenden Speichern oder Eingeben einer Differenz zwischen einer Maschinenausgangspunktposition und einer Fixierungsbezugsposition,
    eine Maschinenfixierungseinrichtung zum mechanischen Fixieren des Tisches oder des Antriebsmechanismus an der Fixierungsbezugsposition der Ausrichtungsvorrichtung,
    eine Maschinenfixierungsbezugspositions-Speichereinrichtung zum Erfassen und Speichern einer Anzahl von Maschinenfixierungsbezugspositionen, die wenigstens der Anzahl von Freiheitsgraden des Tisches entspricht, durch die Erfassungseinrichtung,
    eine Erfassungseinrichtungsbezugspositions-Speichereinrichtung zum Lösen der Maschinenfixierungseinrichtung, zum Erfassen von einer Anzahl von Erfassungseinrichtungsbezugspositionsbezügen, die wenigstens der Anzahl der Freiheitsgrade des Tisches entspricht, durch die Erfassungseinrichtung, indem eine Anzahl von Motoren betrieben werden, die wenigstens der Anzahl der Freiheitsgrade des Tisches entspricht, und zum Speichern von Differenzen zwischen den Erfassungseinrichtungsbezugspositionen und den Maschinenausgangspunktpositionen oder den Fixierungsbezugspositionen in einer Anzahl, die wenigstens den Freiheitsgraden des Tisches entspricht, und
    eine Maschinenausgangspunktrückkehrgrößen-Berechnungseinrichtung zum Erfassen einer Anzahl von Erfassungseinrichtungsbezugspositionsbezügen, die wenigstens der Anzahl von Freiheitsgraden des Tisches entspricht, indem eine Anzahl von Motoren betrieben wird, die wenigstens der Anzahl von Freiheitsgraden des Tisches entspricht, und zum Berechnen der Bewegungsgrößen der Anzahl von Motoren, die der Anzahl der Freiheitsgrade des Tisches entspricht, um den Tisch und die Antriebsmechanismuseinheit von einer aktuellen Position zu dem Maschinenausgangspunkt oder der Fixierungsbezugsposition in einem Zustand, in dem die Maschinenfixierungseinrichtung nicht verfügbar ist, routinemäßig zu positionieren, nachdem die oben beschriebene Verarbeitung abgeschlossen ist und die Stromversorgung wieder zugeführt wird, wobei
    der Tisch und die Antriebsmechanismuseinheit zu der Maschinenausgangsposition bewegt werden, indem eine Anzahl von Motoren betrieben wird, die wenigstens der Anzahl von Freiheitsgraden des Tisches entspricht.
  • Weiterhin ist gemäß Anspruch 2 eine Ausrichtungsvorrichtung zum Betätigen eines Tisches mit einem darauf montierten Objekt in den Richtungen XYθ, Yθ oder θ mittels eines an einem Maschinenbasisteil angeordneten Antriebsmechanismus für eine Positionierung an einer vorbestimmten Position angegeben,
    wobei die Ausrichtungsvorrichtung umfasst:
    den Antriebsmechanismus, der eine Vielzahl von Antriebsmechanismuseinheiten umfasst, die jeweils gebildet werden durch:
    einen Mechanismusteil, der zwei Translationsfreiheitsgradteile mit jeweils einem Translationsfreiheitsgrad und einen Drehfreiheitsgradteil mit einem Drehfreiheitsgrad umfasst, und
    eine Motorsteuereinrichtung, die Motoren zum Antreiben der Freiheitsgradteile der zwei Translationsfreiheitsgradteile und des einen Drehfreiheitsgradteils, eine Erfassungseinrichtung zum Erfassen einer Betätigungsgröße des Mechanismusteils als zu erfassendem Teil, und eine Steuereinrichtung zum Steuern der Motoren umfasst, wobei ein Betriebsbefehl für eine Anzahl von Motoren empfangen wird, die wenigstens der Anzahl der Freiheitsgrade der XYθ, Yθ oder θ-Betätigung des Tisches entspricht,
    wobei die Antriebsmechanismuseinheiten eine Befehlseinrichtung zum Ausgeben des Betriebsbefehls an die Steuereinrichtung umfassen,
    wobei der Tisch betätigt wird, um sich translatorisch und drehend in zwei Richtungen der XYθ-Betätigung zu bewegen, um sich translatorisch und drehend in einer Richtung der Vθ-Betätigung zu bewegen oder um sich drehend in der θ-Betätigung zu bewegen, indem die Motoren jeweils in einer Translationsrichtung oder einer Drehrichtung betrieben werden,
    eine Maschinenfixierungseinrichtung zum mechanischen Fixieren des Tisches oder des Antriebsmechanismus an einer Fixierungsbezugsposition der Ausrichtungsvorrichtung,
    eine Maschinenausgangspunkt-Speichereinrichtung zum vorausgehenden Speichern oder Eingeben einer Differenz zwischen einem Maschinenausgangspunkt und der Fixierungsbezugsposition,
    eine zweidimensionale Positionserfassungseinrichtung zum Erfassen einer zuvor an dem Tisch oder dem Objekt vorgesehenen Markierung,
    eine zweidimensionale Bildverarbeitungseinrichtung zum Berechnen der Bewegungsgröße des Tisches, die für eine Bewegung zu einer beliebigen Position erforderlich ist, auf der Basis des Bildes der zweidimensionalen Positionserfassungseinrichtung,
    eine Bezugsbildpositions-Speichereinrichtung zum Speichern einer Bezugsbildposition durch das Erzeugen einer absoluten Position durch die Position einer Markierung eines Bildes, indem die Ausgaben aus der zweidimensionalen Positionserfassungseinrichtung und der zweidimensionalen Bildverarbeitungseinrichtung verwendet werden, und
    eine Maschinenausgangspunktrückkehrgrößen-Berechnungseinrichtung zum Berechnen von Bewegungsgrößen einer Anzahl von Motoren, die wenigstens der Anzahl der Freiheitsgrade des Tisches entspricht, um den Tisch und die Antriebsmechanismuseinheit von einer aktuellen Position zu der Maschinenausgangspunktposition oder der Fixierungsbezugsposition zu positionieren, indem ein neues Ausgabebild, das durch das erneute Erfassen einer Markierung in einem aktuellen Zustand durch die zweidimensionale Positionserfassungseinrichtung und die zweidimensionale Verarbeitungseinrichtung vorgesehen wird, mit der in der Bezugsbildpositions-Speichervorrichtung gespeicherten Bezugsbildposition verglichen wird, wobei
    der Tisch und die Antriebsmechanismuseinheit zu der Maschinenausgangspunktposition bewegt werden, indem eine Anzahl von Motoren betrieben werden, die wenigstens der Anzahl von Freiheitsgraden des Tisches entspricht.
  • Weiterhin ist gemäß Anspruch 3 eine Ausrichtungsvorrichtung zum Betätigen eines Tisches mit einem darauf montierten Objekt in den Richtungen XYθ, Yθ oder θ mittels eines an einem Maschinenbasisteil angeordneten Antriebsmechanismus für eine Positionierung an einer vorbestimmten Position angegeben,
    wobei die Ausrichtungsvorrichtung umfasst:
    den Antriebsmechanismus, der eine Vielzahl von Antriebsmechanismuseinheiten umfasst, die jeweils gebildet werden durch:
    einen Mechanismusteil, der zwei Translationsfreiheitsgradteile mit jeweils einem Translationsfreiheitsgrad und einen Drehfreiheitsgradteil mit einem Drehfreiheitsgrad umfasst, und
    eine Motorsteuereinrichtung, die Motoren zum Antreiben der Freiheitsgradteile der zwei Translationsfreiheitsgradteile und des einen Drehfreiheitsgradteils, eine Erfassungseinrichtung zum Erfassen einer Betätigungsgröße des Mechanismusteils als zu erfassendem Teil, und eine Steuereinrichtung zum Steuern der Motoren umfasst, wobei ein Betriebsbefehl für
    eine Anzahl von Motoren empfangen wird, die wenigstens der Anzahl der Freiheitsgrade der XYθ, Yθ oder θ-Betätigung des Tisches entspricht,
    wobei die Antriebsmechanismuseinheiten eine Befehlseinrichtung zum Ausgeben des Betriebsbefehls an die Steuereinrichtung umfassen,
    wobei der Tisch betätigt wird, um sich translatorisch und drehend in zwei Richtungen der XYθ-Betätigung zu bewegen, um sich translatorisch und drehend in einer Richtung der Yθ-Betätigung zu bewegen oder um sich drehend in der θ-Betätigung zu bewegen, indem die Motoren jeweils in einer Translationsrichtung oder einer Drehrichtung betrieben werden,
    eine Maschinenausgangspunkt-Speichereinrichtung zum vorausgehenden Speichern oder Eingeben einer Differenz zwischen einer Maschinenausgangspunktposition und einer Fixierungsbezugsposition,
    eine Maschinenfixierungseinrichtung zum mechanischen Fixieren des Tisches oder des Antriebsmechanismus an der Fixierungsbezugsposition der Ausrichtungsvorrichtung,
    eine Maschinenfixierungsbezugspositions-Speichereinrichtung zum Erfassen und Speichern einer Anzahl von Fixierungsbezugspositionen, die wenigstens der Anzahl von Freiheitsgraden des Tisches entspricht, durch die Erfassungseinrichtung, und
    eine Absolutpositions-Speichereinrichtung an der Erfassungseinrichtung zum Speichern einer Anzahl von Werten für Maschinenausgangspunktpositionen, die wenigstens der Anzahl von Freiheitsgraden des Tisches entspricht, als absolute Werte für die Differenz zwischen der Fixierungsbezugsposition und der Maschinenausgangspunktposition, wobei
    der Tisch und die Antriebsmechanismuseinheit zu der Maschinenoriginalpunktposition bewegt werden, indem eine Anzahl von absoluten Werten der Maschinenausgangspunktpositionen, die wenigstens der Anzahl von Freiheitsgraden des Tisches entspricht, aus der Absolutpositionsspeichereinrichtung gelesen werden und indem eine Anzahl von Motoren, die wenigstens der Anzahl von Freiheitsgraden des Tisches entspricht, in einem Zustand, in dem die Maschinenfixierungseinrichtung nicht verfügbar ist, routinemäßig betrieben werden, nachdem die oben beschriebene Verarbeitung abgeschlossen ist und die Stromversorgung wieder zugeführt wird.
  • Weiterhin wird gemäß Anspruch 4 ein Verfahren zum Zurückkehren zu einem Ausgangspunkt für eine Ausrichtungsvorrichtung zum Betätigen eines Tisches mit einem darauf montierten Objekt in den Richtungen XYθ, Yθ oder θ mittels eines an einem Maschinenbasisteil angeordneten Antriebsmechanismus für eine Positionierung an einer vorbestimmten Position angegeben, wobei
    der Antriebsmechanismus eine Vielzahl von Antriebsmechanismuseinheiten umfasst, die jeweils gebildet werden durch:
    einen Mechanismusteil, der zwei Translationsfreiheitsgradteile mit jeweils einem Translationsfreiheitsgrad und einen Drehfreiheitsgradteil mit einem Drehfreiheitsgrad umfasst, und
    eine Motorsteuereinrichtung, die Motoren zum Antreiben der Freiheitsgradteile der zwei Translationsfreiheitsgradteile und des einen Drehfreiheitsgradteils, eine Erfassungseinrichtung zum Erfassen einer Betätigungsgröße des Mechanismusteils als zu erfassendem Teil, und eine Steuereinrichtung zum Steuern der Motoren umfasst, wobei ein Betriebsbefehl für eine Anzahl von Motoren empfangen wird, die wenigstens der Anzahl der Freiheitsgrade der XYθ, Yθ oder θ-Betätigung des Tisches entspricht,
    wobei die Antriebsmechanismuseinheiten eine Befehlseinrichtung zum Ausgeben des Betriebsbefehls an die Steuereinrichtung umfassen,
    wobei der Tisch betätigt wird, um sich translatorisch und drehend in zwei Richtungen der XYθ-Betätigung zu bewegen, um sich translatorisch und drehend in einer Richtung der Yθ-Betätigung zu bewegen oder um sich drehend in der θ-Betätigung zu bewegen, indem die Motoren jeweils in einer Translationsrichtung oder einer Drehrichtung betrieben werden,
    wobei das Verfahren zum Zurückkehren zu einem Ausgangspunkt folgende Schritte umfasst:
    vorausgehendes Speichern oder Eingeben einer Maschinenausgangspunktposition als Differenz zu einer Fixierungsbezugsposition durch eine Maschinenausgangspositions-Speichereinrichtung,
    mechanisches Fixieren des Tisches oder des Antriebsmechanismus an der Fixierungsbezugsposition der Ausrichtungsvorrichtung durch eine Maschinenfixierungseinrichtung,
    Erfassen einer Anzahl von Maschinenfixierungsbezugspositionen, die wenigstens der Anzahl von Freiheitsgraden des Tisches entspricht, durch die Erfassungseinrichtung, und Speichern derselben in einer Maschinenfixierungsbezugspositions-Speichereinrichtung,
    Lösen der Maschinenfixierungseinrichtung,
    Erfassen einer Anzahl von Erfassungseinrichtungsbezugspositionsbezügen, die wenigstens der Anzahl der Freiheitsgrade des Tisches entspricht, indem eine Anzahl von Motoren, die wenigstens der Anzahl von Freiheitsgraden des Tisches entspricht, betrieben werden,
    Speichern einer Anzahl von Differenzen zwischen den Erfassungseinrichtungsbezugspositionen und den Maschinenausgangspunktpositionen oder den Fixierungsbezugspositionen, die wenigstens der Anzahl von Freiheitsgraden des Tisches entspricht, in der Erfassungseinrichtungsbezugspositions-Speichereinrichtung,
    Erfassen einer Anzahl von Erfassungseinrichtungsbezugspositionsbezügen, die wenigstens der Anzahl von Freiheitsgraden des Tisches entspricht, indem eine Anzahl von Motoren betrieben wird, die wenigstens der Anzahl von Freiheitsgraden des Tisches entspricht, in einem Zustand, in dem die Maschinenfixierungseinrichtung routinemäßig nicht verfügbar ist, routinemäßig nachdem die oben beschriebene Verarbeitung abgeschlossen wurde und die Stromversorgung wieder zugeführt wird, und
    Berechnen einer Anzahl von Bewegungsgrößen der Motoren aus den Erfassungseinrichtungs-Bezugspositionsbezügen zu den Maschinenausgangspunktpositionen oder den Fixierungsbezugspositionen, die wenigstens der Anzahl von Freiheitsgraden des Tisches entspricht, durch eine Maschinenausgangspunktrückkehrgrößen-Berechnungseinrichtung.
  • Weiterhin wird gemäß Anspruch 5 ein Verfahren zum Zurückkehren zu einem Ausgangspunkt für eine Ausrichtungsvorrichtung zum Betätigen eines Tisches mit einem darauf montierten Objekt in den Richtungen XYθ, Yθ oder θ mittels eines an einem Maschinenbasisteil angeordneten Antriebsmechanismus für eine Positionierung an einer vorbestimmten Position angegeben, wobei
    der Antriebsmechanismus eine Vielzahl von Antriebsmechanismuseinheiten umfasst, die jeweils gebildet werden durch:
    einen Mechanismusteil, der zwei Translationsfreiheitsgradteile mit jeweils einem Translationsfreiheitsgrad und einen Drehfreiheitsgradteil mit einem Drehfreiheitsgrad umfasst, und
    eine Motorsteuereinrichtung, die Motoren zum Antreiben der Freiheitsgradteile der zwei Translationsfreiheitsgradteile und des einen Drehfreiheitsgradteils, eine Erfassungseinrichtung zum Erfassen einer Betätigungsgröße des Mechanismusteils als zu erfassendem Teil, und eine Steuereinrichtung zum Steuern der Motoren umfasst, wobei ein Betriebsbefehl für eine Anzahl von Motoren empfangen wird, die wenigstens der Anzahl der Freiheitsgrade der XYθ, Yθ oder θ-Betätigung des Tisches entspricht,
    wobei die Antriebsmechanismuseinheit eine Befehlseinrichtung zum Ausgeben des Betriebsbefehls an die Steuereinrichtung umfasst,
    wobei der Tisch betätigt wird, um sich translatorisch und drehend in zwei Richtungen der XYθ-Betätigung zu bewegen, um sich translatorisch und drehend in einer Richtung der Yθ-Betätigung zu bewegen oder um sich drehend in der θ-Betätigung zu bewegen, indem die Motoren jeweils in einer Translationsrichtung oder einer Drehrichtung betrieben werden,
    wobei das Verfahren zum Zurückkehren zu einem Ausgangspunkt folgende Schritte umfasst:
    vorausgehendes Speichern oder Eingeben einer Maschinenausgangspunktposition als Differenz zu einer Fixierungsbezugsposition durch eine Maschinenausgangspositions-Speichereinrichtung,
    mechanisches Fixieren des Tisches oder des Antriebsmechanismus an der Fixierungsbezugsposition der Ausrichtungsvorrichtung durch eine Maschinenfixierungseinrichtung,
    Erfassen einer Markierung auf dem Tisch durch eine zweidimensionale Positionserfassungseinrichtung,
    Empfangen eines Bildes aus der zweidimensionalen Positionserfassungseinrichtung durch eine zweidimensionale Bildverarbeitungseinrichtung und Speichern einer Bezugsbildposition in einer Bezugsbildpositions-Speichereinrichtung durch das Bilden einer absoluten Position aus der Position einer Markierung des Bildes,
    erneutes Erfassen der Position der Markierung eines aktuellen Zustands durch die zweidimensionale Positionserfassungseinrichtung und die zweidimensionale Bildverarbeitungseinrichtung in einem Zustand, in dem die Maschinenfixierungseinrichtung nicht verfügbar ist, routinemäßig nachdem die oben beschriebene Verarbeitung abgeschlossen ist und eine Stromversorgung wieder zugeführt wird,
    Berechnen einer Anzahl von Bewegungsgrößen der Motoren, die wenigstens der Anzahl von Freiheitsgraden des Tisches entspricht, um den Tisch und die Antriebsmechanismuseinheit von einer aktuellen Position zu der Maschinenausgangspunktposition oder der Fixierungspunktposition zu positionieren, indem die Positionen des neuen Bildes und die in der Bezugsbildpositions-Speichereinrichtung gespeicherte Bezugsbildposition durch eine Maschinenausgangspunktrückkehrgrößen-Berechnungseinrichtung verglichen werden, und
    Bewegen des Tisches und der Antriebsmechanismuseinheit zu der Maschinenausgangspunktposition, indem eine Anzahl von Motoren betrieben werden, deren Anzahl wenigstens der Anzahl von Freiheitsgraden des Tisches entspricht.
  • Weiterhin ist gemäß Anspruch 6 ein Verfahren zum Zurückkehren zu einem Ausgangspunkt für eine Ausrichtungsvorrichtung nach Anspruch 5 angegeben, wobei die folgenden Schritte wiederholt werden:
    Bewegen des Tisches und der Antriebsmechanismuseinheit zu der Maschinenausgangspunktposition, indem eine Anzahl von Motoren betrieben wird, die wenigstens der Anzahl der Freiheitsgrade des Tisches entspricht,
    und danach erneutes Erfassen der Position einer Markierung in dem aktuellen Zustand durch die zweidimensionale Positionserfassungseinrichtung und die zweidimensionale Bildverarbeitungsvorrichtung, und
    Vergleichen mit der in der Bezugsbildpositions-Speichereinrichtung gespeicherten Position des Bezugsbildes, und wenn die Positionen nicht miteinander übereinstimmen:
    Berechnen von Bewegungsgrößen einer Anzahl von Motoren, die wenigstens der Anzahl der Freiheitsgrade des Tisches entspricht, um den Tisch und die Antriebsmechanismuseinheit zu der Maschinenausgangspunktposition oder der Fixierungsbezugsposition von einer aktuellen Position zu positionieren, und
    Bewegen des Tisches und der Antriebsmechanismuseinheit zu der Maschinenausgangspunktposition, indem die Anzahl von Motoren betrieben wird, die wenigstens der Anzahl der Freiheitsgrade des Tisches entspricht.
  • Weiterhin ist gemäß Anspruch 7 ein Verfahren zum Zurückkehren zu einem Ausgangspunkt für eine Ausrichtungsvorrichtung zum Positionieren eines Tisches mit einem darauf montierten Objekt in XYθ, Yθ oder θ mittels eines an einem Basisteil angeordneten Antriebsmechanismus zu einer vorbestimmten Position angegeben, wobei
    der Antriebsmechanismus eine Vielzahl von Antriebsmechanismuseinheiten umfasst, die jeweils gebildet werden durch:
    einen Mechanismusteil, der zwei Translationsfreiheitsgradteile mit jeweils einem Translationsfreiheitsgrad und einen Drehfreiheitsgradteil mit einem Drehfreiheitsgrad umfasst, und
    eine Motorsteuereinrichtung, die Motoren zum Antreiben der Freiheitsgradteile der zwei Translationsfreiheitsgradteile und des einen Drehfreiheitsgradteils, eine Erfassungseinrichtung zum Erfassen einer Betätigungsgröße des Mechanismusteils als zu erfassendem Teil, und eine Steuereinrichtung zum Steuern der Motoren umfasst, wobei ein Betriebsbefehl für eine Anzahl von Motoren empfangen wird, die wenigstens der Anzahl der Freiheitsgrade der XYθ, Yθ oder θ-Betätigung des Tisches entspricht,
    wobei die Antriebsmechanismuseinheit eine Befehlseinrichtung zum Ausgeben des Betriebsbefehls an die Steuereinrichtung umfasst,
    wobei der Tisch betätigt wird, um sich translatorisch und drehend in zwei Richtungen der XYθ-Betätigung zu bewegen, um sich translatorisch und drehend in einer Richtung der Yθ-Betätigung zu bewegen oder um sich drehend in der θ-Betätigung zu bewegen, indem die Motoren jeweils in einer Translationsrichtung oder einer Drehrichtung betrieben werden,
    wobei das Verfahren zum Zurückkehren zu einem Ausgangspunkt folgende Schritte umfasst:
    vorausgehendes Speichern oder Eingeben einer Maschinenausgangspunktposition als Differenz zu einer Fixierungsbezugsposition durch eine Maschinenausgangspositions-Speichereinrichtung,
    mechanisches Fixieren des Tisches oder des Antriebsmechanismus an der Fixierungsbezugsposition der Ausrichtungsvorrichtung durch eine Maschinenfixierungseinrichtung,
    Erfassen einer Anzahl von Fixierungsbezugspositionen, die wenigstens der Anzahl von Freiheitsgraden des Tisches entspricht, durch die Erfassungseinrichtung,
    Speichern einer Anzahl von Werten der Maschinenausgangspunktpositionen, die wenigstens der Anzahl von Freiheitsgraden des Tisches entspricht, als absolute Werte in einer Absolutpositions-Speichereinrichtung an der Erfassungseinrichtung unter Berücksichtigung der Differenz zwischen der Fixierungsbezugsposition und der Maschinenausgangspunktposition,
    Lesen einer Anzahl von Maschinenausgangspunktpositionen, die wenigstens der Anzahl von Freiheitsgraden des Tisches entsprechen, aus der Absolutpositions-Speichereinrichtung in einem Zustand, in dem die Maschinenfixierungsvorrichtung nicht verfügbar ist, routinemäßig nachdem die oben beschriebene Verarbeitung abgeschlossen wurde und die Stromversorgung wieder zugeführt wird, und
    Bewegen des Tisches und der Antriebsmechanismuseinheit zu der Maschinenausgangspunktposition, indem die Anzahl der Motoren betrieben wird, die der Anzahl von Freiheitsgraden des Tisches entspricht.
  • Weiterhin wird gemäß Anspruch 8 eine Ausrichtungsvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3 angegeben, wobei
    der Antriebsmechanismus weiterhin umfasst:
    einen 3-Freiheitsgrade-Mechanismus, der den Translationsfreiheitsgradteil mit zwei Translationsfreiheitsgraden und den Drehfreiheitsgradteil mit einem Drehfreiheitsgrad ohne die Motoren umfasst.
  • Weiterhin ist gemäß Anspruch 9 eine Ausrichtungsvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3 angegeben, wobei
    in dem Tisch mit den wenigstens zwei Freiheitsgraden, der in der Richtung Yθ betrieben wird, ein 2-Freiheitsgrade-Mechanismus einschließlich des Translationsfreiheitsgradteils mit einem Translationsfreiheitsgrad und des Drehfreiheitsgradteils mit einem Drehfreiheitsgrad ohne die Motoren vorgesehen ist.
  • Weiterhin ist gemäß Anspruch 10 die Ausrichtungsvorrichtung nach Anspruch 9 vorgesehen, wobei
    in dem Tisch mit den wenigstens zwei Freiheitsgraden, der in der Richtung Yθ betrieben wird, der 2-Freiheitsgrade-Mechanismus einschließlich eines 2-Freiheitsgrade-Antriebsmechanismus mit den Motoren vorgesehen ist.
  • Weiterhin ist gemäß Anspruch 11 die Ausrichtungsvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3 angegeben, wobei
    in dem Tisch mit dem wenigstens einen Freiheitsgrad, der in der Richtung θ betrieben wird, ein 1-Freiheitsgrad-Drehmechanismus mit einem Drehfreiheitsgrad zum Halten des Tisches vorgesehen ist.
  • Weiterhin ist gemäß Anspruch 12 die Ausrichtungsvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3 angegeben, die weiterhin umfasst:
    eine erste Positionierungseinrichtung zum Positionieren der Maschinenfixierungseinrichtung an dem Maschinenbasisteil.
  • Weiterhin ist gemäß Anspruch 13 die Ausrichtungsvorrichtung gemäß einem der Ansprüche 1 bis 3 angegeben, die weiterhin umfasst:
    eine zweite Positionierungseinrichtung zum Positionieren der Maschinenfixierungseinrichtung an dem Antriebsmechanismus.
  • Weiterhin ist gemäß Anspruch 14 eine Ausrichtungsvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3 angegeben, die weiterhin umfasst:
    eine dritte Positionierungseinrichtung zum Positionieren der Maschinenfixierungseinrichtung an dem Tisch.
  • Weiterhin ist gemäß Anspruch 15 ein Verfahren zum Zurückkehren zu einem Ausgangspunkt für eine Ausrichtungsvorrichtung nach einem der Ansprüche 4 bis 7 angegeben, wobei das Verfahren weiterhin folgenden Schritt umfasst:
    Positionieren einer installierten Position durch eine erste Positionierungseinrichtung an dem Maschinenbasisteil.
  • Weiterhin ist gemäß Anspruch 16 ein Verfahren zum Zurückkehren zu einem Ausgangspunkt für eine Ausrichtungsvorrichtung nach einem der Ansprüche 4 bis 7 angegeben, wobei das Verfahren weiterhin folgenden Schritt umfasst:
    Positionieren einer installierten Position durch eine zweite Positionierungseinrichtung an dem Antriebsmechanismus.
  • Weiterhin ist gemäß Anspruch 17 ein Verfahren zum Zurückkehren zu einem Ausgangspunkt für eine Ausrichtungsvorrichtung nach einem der Ansprüche 4 bis 7 angegeben, wobei das Verfahren weiterhin folgenden Schritt umfasst:
    Positionieren einer installierten Position durch eine dritte Positionierungseinrichtung an dem Tisch.
  • Weiterhin ist gemäß Anspruch 18 eine Ausrichtungsvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3 angegeben, wobei die Vorrichtung weiterhin umfasst:
    eine erste Positionsfixierungseinrichtung zum Fixieren des Maschinenbasisteils und der Maschinenfixierungseinrichtung.
  • Weiterhin ist gemäß Anspruch 19 eine Ausrichtungsvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3 angegeben, wobei die Vorrichtung weiterhin umfasst:
    eine zweite Positionsfixierungseinrichtung zum Fixieren des Antriebsmechanismus und der Maschinenfixierungseinrichtung.
  • Weiterhin ist gemäß Anspruch 20 eine Ausrichtungsvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3 angegeben, wobei die Vorrichtung weiterhin umfasst:
    eine dritte Positionsfixierungseinrichtung zum Fixieren des Tisches und der Maschinenfixierungseinrichtung.
  • Weiterhin ist gemäß Anspruch 21 ein Verfahren zum Zurückkehren zu einem Ausgangspunkt für eine Ausrichtungsvorrichtung nach einem der Ansprüche 4 bis 7 angegeben, wobei
    die Maschinenfixierungseinrichtung und der Maschinenbasisteil unter Verwendung einer ersten Positionsfixierungsvorrichtung an dem Maschinenbasisteil fixiert sind.
  • Weiterhin ist gemäß Anspruch 22 ein Verfahren zum Zurückkehren zu einem Ausgangspunkt für eine Ausrichtungsvorrichtung nach einem der Ansprüche 4 bis 7 angegeben, wobei
    die Maschinenfixierungseinrichtung und der Antriebsmechanismus unter Verwendung einer zweiten Positionsfixierungseinrichtung an dem Antriebsmechanismus fixiert sind.
  • Weiterhin ist gemäß Anspruch 23 ein Verfahren zum Zurückkehren zu einem Ausgangspunkt für eine Ausrichtungsvorrichtung nach einem der Ansprüche 4 bis 7 angegeben, wobei
    die Maschinenfixierungseinrichtung und der Tisch unter Verwendung einer dritten Positionsfixierungseinrichtung an dem Tisch fixiert sind.
  • Weiterhin ist gemäß Anspruch 24 ein Verfahren zum Zurückkehren zu einem Ausgangspunkt für eine Ausrichtungsvorrichtung nach einem der Ansprüche 4 bis 7 angegeben, wobei
    die Steuereinrichtung eine Steuerung der Motoren unterbricht, den Tisch oder den Antriebsmechanismus bewegt und den Maschinenbasisteil und den Tisch oder den Antriebsmechanismus an der Fixierungsbezugsposition fixiert.
  • Weiterhin ist gemäß Anspruch 25 eine Ausrichtungsvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3 angegeben, wobei
    der Antriebsmechanismus den Drehfreiheitsgradteil über dem Translationsfreiheitsgradteil umfasst und weiterhin den Translationsfreiheitsgradteil über dem Drehfreiheitsgradteil umfasst.
  • Weiterhin ist gemäß Anspruch 26 eine Ausrichtungsvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3 angegeben, wobei
    der Antriebsmechanismus weiterhin den Translationsfreiheitsgradteil über dem Translationsfreiheitsgradteil umfasst und den Drehfreiheitsgradteil über dem Translationsfreiheitstradteil umfasst.
  • Weiterhin ist gemäß Anspruch 27 eine Ausrichtungsvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3 angegeben, wobei
    der Antriebsmechanismus den Translationsfreiheitsgradteil über dem Drehfreiheitsgradteil umfasst und weiterhin den Translationsfreiheitsgradteil über dem Translationsfreiheitsgradteil umfasst.
  • Weiterhin ist gemäß Anspruch 28 die Ausrichtungsvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3 angegeben, wobei die Vorrichtung weiterhin umfasst:
    eine zweidimensionale Positionserfassungseinrichtung zum Erfassen der Position einer Markierung an dem Objekt oder dem Tisch, und
    eine zweidimensionale Bildverarbeitungseinrichtung, die ein durch die zweidimensionale Positionserfassungseinrichtung erfasstes Bild des Objekts einer Bildverarbeitung unterzieht und eine Korrekturgröße zum Korrigieren der Position des Objekts berechnet, wobei
    die Position des Tisches oder des Objekts korrigiert wird, indem die Motoren auf der Basis der Korrekturgröße aus der zweidimensionalen Bildverarbeitungseinrichtung betrieben werden.
  • Weiterhin wird gemäß Anspruch 29 eine Ausrichtungsvorrichtung nach einem der Ansprüche 2 oder 28 angegeben, wobei die Vorrichtung umfasst:
    eine Vielzahl von zweidimensionalen Positionserfassungseinrichtungen.
  • Weiterhin wird gemäß Anspruch 30 eine Ausrichtungsvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3 angegeben, wobei
    die Antriebsmechanismuseinheit derart angeordnet ist, dass die Motoren, deren Anzahl wenigstens der Anzahl von Freiheitsgraden des Tisches entspricht, von einem Schwerpunkt des Tischs entfernt sind und den Tisch bewegen, während sie zu dem Schwerpunkt des Tisches versetzt werden.
  • Weiterhin ist gemäß Anspruch 31 ein Verfahren zum Zurückkehren zu einem Ausgangspunkt für eine Ausrichtungsvorrichtung nach einem der Ansprüche 4 und 5 bis 7 angegeben, wobei
    die Antriebsmechanismuseinheiten derart angeordnet sind, dass die Motoren, deren Anzahl wenigstens der Anzahl von Freiheitsgraden des Tisches entspricht, von dem Schwerpunkt des Tisches entfernt sind und den Tisch bewegen, während sie von dem Schwerpunkt des Tisches versetzt werden.
  • Weiterhin ist gemäß Anspruch 32 eine Ausrichtungsvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3 angegeben, wobei
    die Motoren zum Antreiben des Translationsfreiheitsgradteils des Antriebsmechanismus jeweils Linearmotoren sind.
  • Weiterhin ist gemäß Anspruch 33 ein Verfahren zum Zurückkehren zu einem Ausgangspunkt für eine Ausrichtungsvorrichtung nach einem der Ansprüche 4 und 5 bis 7 angegeben, wobei
    ein Linearmotor als Motor den Translationsfreiheitsgradteil der Antriebsmechanismuseinheit antreibt.
  • Weiterhin ist gemäß Anspruch 34 eine Ausrichtungsvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3 angegeben, wobei
    die Fixierungsbezugsposition die Maschinenausgangspunktposition ist.
  • Weiterhin ist gemäß Anspruch 35 ein Verfahren zum Zurückkehren zu einem Ausgangspunkt für eine Ausrichtungsvorrichtung nach einem der Ansprüche 4 und 5 bis 7 angegeben, wobei
    die Maschinenausgangspunktposition als Fixierungsbezugsposition verwendet wird.
  • Weiterhin ist gemäß Anspruch 36 ein Drehtisch mit einer Ausrichtungsvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3 angegeben.
  • Weiterhin ist gemäß Anspruch 37 ein Translationstisch mit einer Ausrichtungsvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3 angegeben.
  • Weiterhin ist gemäß Anspruch 38 eine Maschine mit einer Ausrichtungsvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3 angegeben.
  • Weiterhin ist nach Anspruch 39 ein Maschinensteuersystem mit wenigstens einem Antriebsmechanismusteil und der Maschine nach Anspruch 38 als Antriebsmechanismusteil angegeben.
  • Effekte der Erfindung
  • Gemäß der Erfindung nach Anspruch 1 bis 7 kann der Tisch, der in den Richtungen XYθ, Yθ, θ betätigt wird, genau fixiert werden, sodass der Maschinenausgangspunkt erfasst und der Tisch genau betätigt werden kann. Wenn die Einrichtung abgeschlossen ist, kann die Ausrichtungsvorrichtung einfach routinemäßig zu dem Maschinenausgangspunkt zurückgeführt werden.
  • Gemäß der Erfindung nach Anspruch 1 bis 4 kann das Zurückkehren zu dem Ausgangspunkt bewerkstelligt werden, indem die Erfassungseinrichtung des Inkrementwerttyps verwendet wird.
  • Gemäß der Erfindung nach Anspruch 2, 5 und 6 kann das Zurückkehren zu dem Ausgangspunkt bewerkstelligt werden, indem die zweidimensionale Bilderfassungseinrichtung verwendet wird.
  • Gemäß der Erfindung nach Anspruch 3 und Anspruch 7 kann das Zurückkehren zu dem Ausgangspunkt bewerkstelligt werden, indem die Erfassungseinrichtung des Absolutwerttyps verwendet wird.
  • Weiterhin kann gemäß der Erfindung nach Anspruch 8 der Tisch durch den Mechanismus gehalten werden, der drei Freiheitsgrade aufweist, sodass der Tisch durch eine Vielzahl von Teilen gehalten werden kann, ohne dass der Betrieb des Tisches behindert wird, wobei eine Biegung des Tisches beschränkt werden kann.
  • Weiterhin kann gemäß der Erfindung nach Anspruch 9 und 10 der Tisch, der in den Richtungen Yθ betätigt wird, durch den Mechanismus mit den zwei Freiheitsgraden gehalten werden, sodass der Tisch durch das Drehzentrum gehalten wird, ohne dass der Betrieb des in den Richtungen Yθ betätigten Tisches behindert wird, wobei eine Biegung des Tisches beschränkt werden kann. Weiterhin kann der Tisch genau in den Richtungen Yθ betätigt werden, indem die Verschiebung des in den Richtungen Yθ betätigten Tisches in der X-Richtung beschränkt wird. Außerdem kann gemäß der Erfindung nach Anspruch 10 die Funktion des Motors verteilt vorgesehen sein, sodass die Kapazität des Motors verteilt gewählt werden kann.
  • Weiterhin kann gemäß der Erfindung nach Anspruch 11 der in der Richtung θ betätigte Tisch durch den 1-Freiheitsgrad-Drehmechanismus mit einem Drehfreiheitsgrad gehalten werden, sodass der Tisch gehalten werden kann, ohne dass der Betrieb des in der Richtung θ betätigten Tisches behindert wird, wobei eine Biegung des Tisches eingeschränkt werden kann. Weiterhin kann der Tisch genau in der Richtung θ betätigt werden, indem eine Verschiebung des in der Richtung θ betätigten Tisches in den Richtungen XY beschränkt wird.
  • Weiterhin kann gemäß der Erfindung nach Anspruch 12 bis 17 der Maschinenfixierungsteil genau an dem Maschinenbasisteil, dem Antriebsmechanismus und dem Tisch durch die erste Positionierungseinrichtung, die zweite Positionierungseinrichtung und die dritte Positionierungseinrichtung positioniert werden und können der Tisch oder die Antriebsmechanismuseinheit genau zu der Position positioniert werden, an welcher der Maschinenausgangspunkt erfasst werden kann.
  • Weiterhin können gemäß der Erfindung nach Anspruch 18 bis 23 die Maschinenfixiereinrichtung, der Maschinenbasisteil und der Tisch oder der Antriebsmechanismus fest an der Position fixiert werden, an welcher der Maschinenausgangspunkt genau durch die erste Positionsfixierungseinrichtung, die zweite Positionsfixierungseinrichtung und die dritte Positionsfixierungseinrichtung erfasst werden kann.
  • Weiterhin wird gemäß der Erfindung nach Anspruch 24 die Steuerung unterbrochen, sodass der Tisch oder die Antriebsmechanismuseinheit auch einfach manuell bewegt werden können, wobei der Tisch oder der Antriebsmechanismus einfach durch die Maschinenfixierungseinrichtung fixiert werden können.
  • Weiterhin können gemäß der Erfindung nach Anspruch 25 bis 27 der Antriebsmechanismus oder die Antriebsmechanismuseinheit verschiedenen Aufbauten aufweisen.
  • Insbesondere kann gemäß der Erfindung nach Anspruch 25 der Drehantriebsteil platziert werden, indem er zwischen den Direktvorschubsführungen der zwei Translationsantriebsteile vorgesehen wird, wobei der Tisch durch die Maschinenbasis kontinuierlich gehalten werden kann, sodass der Tisch durch die Maschinenbasis gehalten werden kann, indem eine Verformung des Antriebsmechanismus gegen den Tisch oder eine andere Last beschränkt wird. Gemäß der Erfindung nach Anspruch 26 und Anspruch 27 sind die Befestigungswinkel der zwei Translationsantriebsteile fixiert, sodass eine Betätigungsgröße zum Bewegen des Tisches vergleichsweise einfach berechnet werden kann.
  • Weiterhin kann gemäß der Erfindung nach Anspruch 28 die Position des Tisches oder des Objekts durch die zweidimensionale Positionserfassungseinrichtung und die zweidimensionale Bildverarbeitungseinrichtung erfasst werden, sodass die Position des Tisches oder des Objekts korrigiert werden kann, indem der Motor betrieben wird.
  • Weiterhin kann gemäß der Erfindung nach Anspruch 29 eine Vielzahl von zweidimensionalen Positionserfassungseinrichtungen verwendet werden, sodass auch dann, wenn der Tisch eine große Größe aufweist, Ausrichtungsmarkierungen an einer Vielzahl von Punkten erfasst werden können, und der Maschinenausgangspunkt oder die Fixierungsbezugsposition erfasst werden können, wodurch die Genauigkeit beim Erfassen einer Positionsverschiebung verbessert wird.
  • Weiterhin kann gemäß der Erfindung nach Anspruch 30 oder 31 der Tisch fest in Übereinstimmung mit Spezifikationen der XYθ-Betätigung, der Yθ-Betätigung oder der θ-Betätigung des Tisches betätigt werden, wobei die Antriebsmechanismuseinheit eine Mindestanzahl von Motoren vorsehen kann.
  • Weiterhin kann gemäß der Erfindung nach Anspruch 32 oder 33 der Linearmotor verwendet werden, sodass ein Mechanismus mit einem kleinen mechanischen Verlust vorgesehen wird, wobei die Translationsbewegung sehr genau durchgeführt werden kann und außerdem ein Mechanismus mit einem kleinen Wartungs- und Kontrollaufwand verwendet wird.
  • Weiterhin kann gemäß der Erfindung nach Anspruch 34 oder 35 die Fixierungsbezugsposition als Maschinenausgangspunktposition behandelt werden, wodurch die Verarbeitungsprozedur vereinfacht werden kann.
  • Weiterhin ist gemäß der Erfindung nach Anspruch 36 der Drehtisch befestigt, sodass der Tisch in den Richtungen XYθ, Yθ oder θ betätigt wird und die Ausrichtungsvorrichtung, die keine große Drehdistanz vorsehen kann, um die große Distanz gedreht werden kann.
  • Weiterhin ist gemäß der Erfindung nach Anspruch 37 der Translationstisch befestigt, sodass der Tisch in den Richtungen XYθ, Yθ oder θ betätigt wird und die Ausrichtungsvorrichtung, die keine große Translationsbewegung ausführen kann, translatorisch um die große Distanz bewegt werden kann.
  • Weiterhin bildet gemäß der Erfindung nach Anspruch 38 und 39 der Tisch die Maschine einschließlich der in den Richtungen XYθ, Yθ oder θ betätigten Ausrichtungsvorrichtung, sodass die verschiedenen Betätigungen jeweils durch die Betätigung anderer Antriebsmechanismen ausgeführt werden können.
  • Kurzbeschreibung der Zeichnungen
  • 1 enthält ein schematisches Diagramm und ein Steuerblockdiagramm einer Ausrichtungsvorrichtung gemäß einer ersten Ausführungsform der Erfindung.
  • 2 ist eine Draufsicht, die die Anordnung einer Antriebsmechanismuseinheit der Ausrichtungsvorrichtung gemäß der ersten Ausführungsform der Erfindung zeigt.
  • 3 ist eine Ansicht, die die Antriebsmechanismuseinheit der Ausrichtungsvorrichtung gemäß der ersten Ausführungsform der Erfindung zeigt.
  • 4 ist eine Ansicht, die eine Translationsbewegung eines Tisches der Ausrichtungsvorrichtung gemäß der ersten Ausführungsform der Erfindung zeigt.
  • 5 ist eine Ansicht, die eine Drehbewegung des Tisches der Ausrichtungsvorrichtung gemäß der ersten Ausführungsform der Erfindung zeigt.
  • 6 ist eine Ansicht, die die Drehbewegung des Tisches mit einem assoziierten Problem in der Ausrichtungsvorrichtung gemäß der ersten Ausführungsform der Erfindung zeigt.
  • 7 ist ein Diagramm, das die Beziehung zwischen der Drehbewegung des Tisches mit einem assoziierten Problem in der Ausrichtungsvorrichtung gemäß der ersten Ausführungsform der Erfindung und einer Translationsbewegung eines Motors zeigt.
  • 8 ist ein Flussdiagramm, das ein Verfahren zum Zurückkehren zu einem Ausgangspunkt für die Ausrichtungsvorrichtung gemäß der ersten Ausführungsform der Erfindung zeigt.
  • 9 ist ein Flussdiagramm, das das ein Verfahren zum Fixieren des Tisches oder der Antriebsmechanismuseinheit der Ausrichtungsvorrichtung gemäß der ersten Ausführungsform der Erfindung zeigt.
  • 10 ist eine Ansicht, die eine Maschinenfixierungseinrichtung der Ausrichtungsvorrichtung gemäß der ersten Ausführungsform der Erfindung zeigt.
  • 11 ist eine Draufsicht, die die Fixierung einer Maschine mit einer Ausrichtungsvorrichtung gemäß der ersten Ausführungsform der Erfindung zeigt, sowie ein Diagramm, das die Anordnung der Antriebsmechanismuseinheit zeigt.
  • 12 ist eine Ansicht, die das Verfahren zum Zurückkehren zu einem Ausgangspunkt für die Ausrichtungsvorrichtung gemäß der ersten Ausführungsform der Erfindung zeigt.
  • 13 enthält ein schematisches Diagramm und ein Steuerblockdiagramm einer Ausrichtungsvorrichtung gemäß einer zweiten Ausführungsform der Erfindung.
  • 14 ist eine Ansicht, die eine Antriebsmechanismuseinheit der Ausrichtungsvorrichtung gemäß der zweiten Ausführungsform der Erfindung zeigt.
  • 15 ist eine Ansicht, die eine Drehbewegung eines Tisches der Ausrichtungsvorrichtung gemäß der zweiten Ausführungsform der Erfindung zeigt.
  • 16 ist ein Flussdiagramm, das ein Verfahren zum Zurückkehren zu einem Ausgangspunkt in der Ausrichtungsvorrichtung gemäß der zweiten Ausführungsform der Erfindung zeigt.
  • 17 ist ein Flussdiagramm, das ein Verfahren zum Fixieren eines Tisches für die Ausrichtungsvorrichtung gemäß der zweiten Ausführungsform der Erfindung zeigt.
  • 18 ist eine Draufsicht, die die Fixierung einer Maschine mit der Ausrichtungsvorrichtung gemäß der zweiten Ausführungsform der Erfindung zeigt.
  • 19 ist eine Ansicht, die eine Maschinenfixierungseinrichtung der Ausrichtungsvorrichtung gemäß der zweiten Ausführungsform der Erfindung zeigt.
  • 20 ist eine Ansicht, die ein Verfahren zum Korrigieren der Position eines Objekts durch eine zweidimensionale Positionserfassungseinrichtung und eine zweidimensionale Bildverarbeitungseinrichtung der Ausrichtungsvorrichtung gemäß der zweiten Ausführungsform der Erfindung zeigt.
  • 21 ist eine Ansicht, die ein Verfahren zum Berechnen der Ausgangspunktposition durch die zweidimensionale Positionserfassungseinrichtung und die zweidimensionale Bildverarbeitungseinrichtung der Ausrichtungsvorrichtung gemäß der zweiten Ausführungsform der Erfindung zeigt.
  • 22 enthält ein schematisches Diagramm und ein Steuerblockdiagramm einer Ausrichtungsvorrichtung gemäß einer dritten Ausführungsform der Erfindung.
  • 23 ist eine Draufsicht, die die Anordnung einer Antriebsmechanismuseinheit der Ausrichtungsvorrichtung gemäß der dritten Ausführungsform der Erfindung zeigt.
  • 24 ist eine Ansicht, die Antriebsmechanismuseinheit (6a) der Ausrichtungsvorrichtung gemäß der dritten Ausführungsform der Erfindung zeigt.
  • 25 ist eine Ansicht, die die Antriebsmechanismuseinheit (6b) der Ausrichtungsvorrichtung gemäß der dritten Ausführungsform der Erfindung zeigt.
  • 26 ist eine Ansicht, die die Antriebsmechanismuseinheit (6c) der Ausrichtungsvorrichtung gemäß der dritten Ausführungsform der Erfindung zeigt.
  • 27 ist eine Ansicht, die einen 3-Freiheitsgrade-Mechanismus der Ausrichtungsvorrichtung gemäß der dritten Ausführungsform der Erfindung zeigt.
  • 28 ist eine Ansicht, die die Anordnung eines Antriebsmechanismus und einer Drehbewegung eines Tisches der Ausrichtungsvorrichtung gemäß der dritten Ausführungsform der Erfindung zeigt.
  • 29 ist eine Ansicht, die ein Beispiel 1 einer anderen Antriebsmechanismuseinheit der Ausrichtungsvorrichtung gemäß der dritten Ausführungsform der Erfindung zeigt.
  • 30 ist eine Ansicht, die ein Beispiel 2 einer anderen Antriebsmechanismuseinheit der Ausrichtungsvorrichtung gemäß der dritten Ausführungsform der Erfindung zeigt.
  • 31 ist eine Ansicht, die ein Beispiel 3 einer anderen Antriebsmechanismuseinheit der Ausrichtungsvorrichtung gemäß der dritten Ausführungsform der Erfindung zeigt.
  • 32 ist eine Ansicht, die ein Beispiel 4 einer anderen Antriebsmechanismuseinheit der Ausrichtungsvorrichtung gemäß der dritten Ausführungsform der Erfindung zeigt.
  • 33 ist eine Ansicht, die ein Beispiel 5 einer anderen Antriebsmechanismuseinheit der Ausrichtungsvorrichtung gemäß der dritten Ausführungsform der Erfindung zeigt.
  • 34 ist eine Ansicht, die ein Beispiel 6 einer anderen Antriebsmechanismuseinheit der Ausrichtungsvorrichtung gemäß der dritten Ausführungsform der Erfindung zeigt.
  • 35 ist eine Ansicht, die ein Beispiel 7 einer anderen Antriebsmechanismuseinheit der Ausrichtungsvorrichtung gemäß der dritten Ausführungsform der Erfindung zeigt.
  • 36 ist eine Ansicht, die ein Beispiel 8 einer anderen Antriebsmechanismuseinheit der Ausrichtungsvorrichtung gemäß der dritten Ausführungsform der Erfindung zeigt.
  • 37 ist eine Ansicht, die ein Beispiel 9 einer anderen Antriebsmechanismuseinheit der Ausrichtungsvorrichtung gemäß der dritten Ausführungsform der Erfindung zeigt.
  • 38 ist eine Ansicht, die ein Beispiel 10 einer anderen Antriebsmechanismuseinheit der Ausrichtungsvorrichtung gemäß der dritten Ausführungsform der Erfindung zeigt.
  • 39 ist eine Ansicht, die ein Beispiel 11 einer anderen Antriebsmechanismuseinheit der Ausrichtungsvorrichtung gemäß der dritten Ausführungsform der Erfindung zeigt.
  • 40 ist eine Ansicht, die ein Beispiel 12 einer anderen Antriebsmechanismuseinheit der Ausrichtungsvorrichtung gemäß der dritten Ausführungsform der Erfindung zeigt.
  • 41 ist eine Ansicht, die ein Beispiel 13 einer anderen Antriebsmechanismuseinheit der Ausrichtungsvorrichtung gemäß der dritten Ausführungsform der Erfindung zeigt.
  • 42 ist eine Ansicht, die ein Beispiel 14 einer anderen Antriebsmechanismuseinheit der Ausrichtungsvorrichtung gemäß der dritten Ausführungsform der Erfindung zeigt.
  • 43 ist eine Ansicht, die ein Beispiel 15 einer anderen Antriebsmechanismuseinheit der Ausrichtungsvorrichtung gemäß der dritten Ausführungsform der Erfindung zeigt.
  • 44 ist eine Ansicht, die ein Beispiel 16 einer anderen Antriebsmechanismuseinheit der Ausrichtungsvorrichtung gemäß der dritten Ausführungsform der Erfindung zeigt.
  • 45 ist eine Ansicht, die ein Beispiel 1 eines anderen 3-Freiheitsgrad-Mechanismus der Ausrichtungsvorrichtung gemäß der dritten Ausführungsform der Erfindung zeigt.
  • 46 ist eine Ansicht, die ein Beispiel 2 eines anderen 3-Freiheitsgrad-Mechanismus der Ausrichtungsvorrichtung gemäß der dritten Ausführungsform der Erfindung zeigt.
  • 47 ist eine Draufsicht, die die Anordnung der Antriebsmechanismuseinheit oder des 3-Freiheitsgrade-Mechanismus der Ausrichtungsvorrichtung gemäß der dritten Ausführungsform der Erfindung zeigt.
  • 48 ist eine Draufsicht, die ein Anordnungsbeispiel 1 einer anderen Antriebsmechanismuseinheit oder eines 3-Freiheitsgrade-Mechanismus zeigt.
  • 49 ist eine Draufsicht, die ein Anordnungsbeispiel 2 einer anderen Antriebsmechanismuseinheit oder eines 3-Freiheitsgrade-Mechanismus der Ausrichtungsvorrichtung gemäß der dritten Ausführungsform der Erfindung zeigt.
  • 50 ist eine Draufsicht, die ein Anordnungsbeispiel 3 einer anderen Antriebsmechanismuseinheit oder eines 3-Freiheitsgrade-Mechanismus der Ausrichtungsvorrichtung gemäß der dritten Ausführungsform der Erfindung zeigt.
  • 51 enthält ein schematisches Diagramm und ein Steuerblockdiagramm einer Ausrichtungsvorrichtung gemäß einer vierten Ausführungsform der Erfindung.
  • 52 ist eine Draufsicht, die die Anordnung einer Antriebsmechanismuseinheit der Ausrichtungsvorrichtung gemäß der vierten Ausführungsform der Erfindung zeigt.
  • 53 ist eine Ansicht, die einen 2-Freiheitsgrade-Mechanismus der Ausrichtungsvorrichtung der vierten Ausführungsform der Erfindung zeigt.
  • 54 ist eine Ansicht, die eine Translationsbewegung eines Tisches der Ausrichtungsvorrichtung gemäß der vierten Ausführungsform der Erfindung zeigt.
  • 55 ist eine Ansicht, die die Drehbewegung des Tisches der Ausrichtungsvorrichtung gemäß der vierten Ausführungsform der Erfindung zeigt.
  • 56 ist ein Flussdiagramm, das ein Verfahren zum Zurückkehren zu einem Ausgangspunkt für die Ausrichtungsvorrichtung gemäß der vierten Ausführungsform der Erfindung zeigt.
  • 57 enthält ein schematisches Diagramm und ein Steuerblockdiagramm, die ein anderes Beispiel 1 der Ausrichtungsvorrichtung gemäß der vierten Ausführungsform der Erfindung zeigen.
  • 58 ist eine Draufsicht, die die Anordnung einer Antriebsmechanismuseinheit des anderen Beispiels 1 der Ausrichtungsvorrichtung gemäß der vierten Ausführungsform der Erfindung zeigt.
  • 59 enthält ein schematisches Diagramm und ein Steuerblockdiagramm, die ein anderes Beispiel 2 der Ausrichtungsvorrichtung gemäß der vierten Ausführungsform der Erfindung zeigen.
  • 60 ist eine Draufsicht, die die Anordnung einer Antriebsmechanismuseinheit des anderen Beispiels 2 der Ausrichtungsvorrichtung gemäß der vierten Ausführungsform der Erfindung zeigt.
  • 61 ist eine Ansicht, die einen 2-Freiheitsgrade-Antreibsmechanismus des anderen Beispiels 2 der Ausrichtungsvorrichtung gemäß der vierten Ausführungsform der Erfindung zeigt.
  • 62 ist eine Ansicht, die ein Beispiel 1 eines anderen 2-Freiheitsgrade-Mechanismus der Ausrichtungsvorrichtung gemäß der vierten Ausführungsform der Erfindung zeigt.
  • 63 ist eine Ansicht, die ein Beispiel 2 eines anderen 2-Freiheitsgrade-Mechanismus der Ausrichtungsvorrichtung gemäß der vierten Ausführungsform der Erfindung zeigt.
  • 64 enthält ein schematisches Diagramm und ein Steuerblockdiagramm einer Ausrichtungsvorrichtung gemäß einer fünften Ausführungsform der Erfindung.
  • 65 ist eine Draufsicht, die eine Anordnung einer Antriebsmechanismuseinheit der Ausrichtungsvorrichtung gemäß der fünften Ausführungsform der Erfindung zeigt.
  • 66 ist eine Ansicht, die eine Drehbewegung eines Tisches der Ausrichtungsvorrichtung gemäß der fünften Ausführungsform der Erfindung zeigt.
  • 67 enthält ein schematisches Diagramm und ein Steuerblockdiagramm, die ein anderes Beispiel 1 der Ausrichtungsvorrichtung gemäß der fünften Ausführungsform zeigen.
  • 68 ist eine Draufsicht, die eine Anordnung des Antriebsmechanismus des anderen Beispiels 1 der Ausrichtungsvorrichtung gemäß der fünften Ausführungsform zeigt.
  • 69 enthält eine Draufsicht und eine Seitenansicht eines Drehtisches mit einer Ausrichtungsvorrichtung gemäß einer sechsten Ausführungsform der Erfindung.
  • 70 enthält Ansichten, die einen Tisch eines Translationstisches mit einer Ausrichtungsvorrichtung gemäß der sechsten Ausführungsform der Erfindung und eine Drehbewegung des Translationstisches zeigen.
  • 71 enthält eine Draufsicht und eine Seitenansicht eines Translationstisches mit einer Ausrichtungsvorrichtung gemäß einer siebten Ausführungsform der Erfindung und zeigt die Anordnung einer Antriebsmechanismuseinheit und eines Antriebsmechanismusteils.
  • 72 ist eine Draufsicht eines Maschinensteuersystems eines Portalmechanismus für eine Maschine mit einer Ausrichtungsvorrichtung gemäß einer achten Ausführungsform der Erfindung.
  • 73 ist eine Ansicht, die den Betrieb des Portalmechanismus der Maschine mit der Ausrichtungsvorrichtung gemäß der achten Ausführungsform der Erfindung zeigt.
  • 74 ist eine Ansicht, die die Ausrichtungsvorrichtung des Portalmechanismus der Maschine mit der Ausrichtungsvorrichtung gemäß der achten Ausführungsform der Erfindung und den Betrieb des Portalmechanismus zeigt.
  • 75 enthält eine Draufsicht und eine Seitenansicht eines Portalmechanismus für eine Maschine mit einer Ausrichtungsvorrichtung gemäß einer neunten Ausführungsform der Erfindung und eines Maschinensteuersystems eines Fixierungsmechanismus des Gattertyps.
  • 76 ist eine Vorderansicht, die eine Ausführungsform einer Objekttischvorrichtung mit einem Linearmotor der Patentreferenz 1 gemäß einem ersten Beispiel aus dem Stand der Technik aus der Richtung X zeigt.
  • 77 ist eine Draufsicht auf die Objekttischvorrichtung von 34 der Patentreferenz 1 gemäß dem ersten Beispiel aus dem Stand der Technik.
  • 78 ist eine teilweise aufgebrochene, perspektivische Ansicht des demontierten Zustands eines 2-Achsen-Parallel-/1-Achse-Drehbewegungs-Führungsmechanismus der Patentreferenz 2 gemäß einem zweiten Beispiel aus dem Stand der Technik.
  • 79 zeigt eine 2-Achsen-Parallel-/1-Achse-Drehtischvorrichtung, die den 2-Achsen-Parallel-/1-Achse-Drehbewegungs-Führungsmechanismus der Patentreferenz 2 gemäß dem zweiten Beispiel aus dem Stand der Technik verwendet, wobei (a) eine Draufsicht ist, in der der Tisch nur durch eine zweigepunktete Strichlinie angedeutet ist, und wobei (b) eine Vorderansicht ist.
  • 80 ist eine Draufsicht auf den Tisch der Patentreferenz 2 gemäß dem zweiten Beispiel aus dem Stand der Technik.
  • 81 ist eine Ansicht einer Objekttischvorrichtung der Patentreferenz 3 gemäß einer dritten Ausführungsform aus dem Stand der Technik.
  • 82 ist eine perspektivische Ansicht, die einen Modus eines Axialhalteteils eines Direktvorschubtisches 3300 der Objekttischvorrichtung der Patentreferenz 3 gemäß der dritten Ausführungsform aus dem Stand der Technik zeigt.
  • 83 enthält Ansichten, die Details eines Axialhalteglieds 3400 und eines Axialhalteglieds 3500 der Objekttischvorrichtung der Patentreferenz 3 gemäß dem dritten Beispiel aus dem Stand der Technik zeigen.
  • 84 ist eine Ansicht, die einen Innenseiten-Zylinderteil 3520 der Objekttischvorrichtung der Patentreferenz 3 gemäß dem dritten Beispiel aus dem Stand der Technik zeigt.
  • 85 enthält Ansichten, die einen spezifischen Modus zum Positionieren eines Tisches der Objekttischvorrichtung der Patentreferenz 3 gemäß dem dritten Beispiel aus dem Stand der Technik zeigt.
  • 86 ist eine Ansicht, die ein Verhalten zeigt, wenn ein Blattfederteil 3530 der Objekttischvorrichtung der Patentreferenz 3 gemäß dem dritten Beispiel aus dem Stand der Technik gebogen wird.
    • 1
    Motor
    1L
    Linearmotor
    1R
    Drehmotor
    2
    Erfassungseinrichtung
    3
    Steuereinrichtung
    4
    Tisch
    5
    Objekt
    6
    Antriebsmechanismuseinheit
    7
    Maschinenbasisteil
    8
    Befehlseinrichtung
    9
    zweidimensionale Positionserfassungseinrichtung
    10
    zweidimensionale Bildverarbeitungseinrichtung
    11
    Translationsfreiheitsgradteil
    12
    Translationsantriebsteil
    13
    Drehfreiheitsgradteil
    14
    Drehantriebsteil
    16
    3-Freiheitsgrade-Mechanismus
    17
    2-Freiheitsgrade-Mechanismus
    18
    2-Freiheitsgrade-Antriebsmechanismus
    19
    1-Freiheitsgrad-Drehmechanismus
    21
    Direktvorschubführung
    22
    Direktvorschubführungsblock
    23
    Drehlager
    24
    Kurvenführung
    25
    Kurvenführungsblock
    30
    Maschinenausgangspunktposition
    31
    Fixierungsbezugsposition
    32
    Erfassungseinrichtungsbezugsposition
    41
    Maschinenfixierungseinrichtung
    42
    Maschinenfixierungsbezugspositions-Speichereinrichtung
    43
    Maschinenausgangspunkt-Speichereinrichtung
    44
    Erfassungseinrichtungsbezugspositions-Speichereinrichtung
    45
    Maschinenausgangspunktrückkehrgrößen-Berechnungseinrichtung
    46
    Antriebsmechanismus
    47
    Absolutpositions-Speichereinrichtung
    48
    Bezugsbildpositions-Speichereinrichtung
    51
    erste Positionierungseinrichtung
    52
    zweite Positionierungseinrichtung
    53
    dritte Positionierungseinrichtung
    54
    erste Positionsfixierungseinrichtung
    55
    zweite Positionsfixierungseinrichtung
    56
    dritte Positionsfixierungseinrichtung
    59
    Antriebsmechanismusteil
    60
    Ausrichtungsvorrichtung
    61
    Drehtisch
    62
    Translationstisch
    63
    Portalbewegungsteil
  • Bevorzugte Ausführungsform der Erfindung
  • Im Folgenden werden Ausführungsformen der Erfindung mit Bezug auf die Zeichnungen erläutert.
  • Beispiel 1
  • 1 enthält ein schematisches Diagramm und ein Steuerblockdiagramm einer Ausrichtungsvorrichtung gemäß einer ersten Ausführungsform der Erfindung, 2 ist eine Draufsicht auf die Ausrichtungsvorrichtung der Erfindung und zeigt die Anordnung einer Antriebsmechanismuseinheit einer Ausrichtungsvorrichtung, und 3 ist eine Ansicht, die die Antriebsmechanismuseinheit der Ausrichtungsvorrichtung gemäß der ersten Ausführungsform der Erfindung zeigt. In den Zeichnungen gibt das Bezugszeichen 1 einen Motor (Linearmotor 1L) an, gibt das Bezugszeichen 2 eine Erfassungseinrichtung an, gibt das Bezugszeichen 3 eine Steuereinrichtung an, gibt das Bezugszeichen 4 einen Tisch an, gibt das Bezugszeichen 5 ein Objekt an, gibt das Bezugszeichen 6 eine Antriebsmechanismuseinheit an, gibt das Bezugszeichen 7 einen Maschinenbasisteil an, gibt das Bezugszeichen 8 eine Befehlseinrichtung an, gibt das Bezugszeichen 11 einen Translationsfreiheitsgradteil an, gibt das Bezugszeichen 12 einen Translationsantriebsteil an, gibt das Bezugszeichen 13 einen Drehfreiheitsgradteil an, gibt das Bezugszeichen 21 eine Direktvorschubführung an, gibt das Bezugszeichen 22 einen Direktvorschubführungsblock an, gibt das Bezugszeichen 23 ein Drehlager an, gibt das Bezugszeichen 41 eine Maschinenfixierungseinrichtung an, gibt das Bezugszeichen 42 eine Maschinenfixierungsbezugspositions-Speichereinrichtung an, gibt das Bezugszeichen 43 eine Maschinenausgangspunkt-Speichereinrichtung an, gibt das Bezugszeichen 44 eine Erfassungseinrichtungsbezugspositions-Speichereinrichtung an und gibt das Bezugszeichen 45 eine Maschinenausgangspunktrückkehrgrößen-Berechnungseinrichtung an. Weiterhin ist die Erfassungseinrichtung 2 vom Inkrementwerttyp.
  • Wie in 1 und 2 gezeigt, ist die Ausrichtungseinrichtung mit vier Antriebsmechanismuseinheiten 6 zwischen dem Maschinenbasisteil 7 und dem Tisch 4 fixiert.
  • Wie in 3 gezeigt, ist die Antriebsmechanismuseinheit 6 ein Mechanismus mit zwei Translationsfreiheitsgraden und einem Drehfreiheitsgrad, der den Translationsantriebsteil 12 mit einem Linearmotor 1L für einen Translationsfreiheitsgrad umfasst.
  • Der Translationsfreiheitsgradteil 11 mit einem Translationsfreiheitsgrad und ohne Linearmotor bildet die Antriebsmechanismuseinheit 6 und ist über dem Translationsantriebsteil 12 mit dazwischen dem Drehfreiheitsgradteil 13 mit einem Drehfreiheitsgrad montiert. Die Antriebsmechanismuseinheit 6 wird also durch das aufeinander folgende Anordnen von Mechanismen mit einem Translationsfreiheitsgrad, einem Drehfreiheitsgrad und einem Translationsfreiheitsgrad gebildet.
  • Weiterhin sind der Translationsfreiheitsgradteil 11 und der Translationsantriebsteil 12 mit einem Direktvorschublager versehen, das die Direktvorschubführung 21 und den Direktvorschubführungsblock 22 umfasst, während der Drehfreiheitsgradteil 14 mit dem Drehlager 23 versehen ist, um einen Drehfreiheitsgrad zwischen dem Translationsfreiheitsgradteil 11 und dem Translationsfreiheitsgradteil 12 zu realisieren.
  • Zwei der Antriebsmechanismuseinheiten 6 sind an dem Maschinenbasisteil 7 angeordnet, um in einer X-Richtung betrieben werden zu können, und die restlichen zwei Antriebsmechanismuseinheiten 6 sind an Ecken des Maschinenbasisteils 7 und des Tisches 4 angeordnet, sodass der Translationsantriebsteil 12 in einer Y-Richtung betrieben werden kann.
  • Weiterhin sind die Linearmotoren 1L der Translationsantriebsteile 11 jeweils mit den Steuereinrichtungen 3 verbunden. Die entsprechenden Steuereinrichtungen 3 sind mit der Befehlseinrichtung 8 vorgesehen, um ein Betriebsbefehlssignal zum Betreiben der Linearmotoren 1L auszugeben und eine Motorsteuereinrichtung zu bilden. Die Befehlseinrichtung 8 erzeugt einen Betriebsbefehl, und die Steuereinrichtung 3 betreibt den Motor 1 in Übereinstimmung mit dem Betriebsbefehl. Die Erfassungseinrichtung 2 liest eine Position eines beweglichen Teils des Translationsantriebsteils 12, und die Steuereinrichtung 3 steuert den Motor 1, um einen Fehler des Betriebsbefehls aufzuheben.
  • Die Erfindung unterscheidet sich von der Patentreferenz 1 dadurch, dass eine Bewegung des Tisches in den Richtungen XYθ realisiert wird, indem vier der Antriebsmechanismuseinheiten 6 auf einer Ebene des Maschinenbasisteils 7 vorgesehen sind.
  • Die Erfindung unterscheidet sich von der Patentreferenz 2 dadurch, dass die Maschinenfixierungseinrichtung 41, die Maschinenfixierungsbezugspositions-Speichereinrichtung 42, die Maschinenausgangspunkt-Speichereinrichtung 43 und die Maschinenausgangspunktrückkehrgrößen-Berechnungseinrichtung 45 vorgesehen sind und weiterhin der Motor 1 durch den Linearmotor 1L ohne mechanischen Verlust und ohne Spiel gebildet wird.
  • Die Erfindung unterscheidet sich von der Patentreferenz 3 dadurch, dass ein Teil zum Realisieren einer Drehung des Tisches 4 durch die Antriebsmechanismuseinheiten 6 vier Antriebsmechanismuseinheiten 6 umfasst, die derart angeordnet sind, dass jeweils Mechanismen mit einem Translationsfreiheitsgrad, einem Drehfreiheitsgrad und einem Translationsfreiheitsgrad aufeinander folgen. Weiterhin kann die Erfindung den Tisch in den Richtungen XYθ betätigen, wobei sich die Anzahl der Freiheitsgrade des Tisches unterscheiden kann.
  • Im Folgenden wird der Betrieb der Ausrichtungsvorrichtung erläutert.
  • 4 ist eine Ansicht, die eine Translationsbewegung des Tisches der Ausrichtungsvorrichtung gemäß der ersten Ausführungsform der Erfindung zeigt, und 5 ist eine Ansicht, die eine Drehbewegung des Tisches der Ausrichtungsvorrichtung gemäß der ersten Ausführungsform der Erfindung zeigt. Wie in 4 und 5 gezeigt, kann die Ausrichtungsvorrichtung in den Richtungen XYθ bewegt werden.
  • Um den Tisch in einer Translationsrichtung zu bewegen, werden zwei Linearmotoren 1L in derselben Richtung gedreht, indem die Antriebsmechanismuseinheiten 6 verwendet werden, die mit den Linearmotoren 1 in den XY-Richtungen angeordnet sind. Um den Tisch 4 in der X-Richtung wie in 4 gezeigt zu bewegen, werden die Antriebsmechanismuseinheiten 6b und 6d, die mit den Linearmotoren 1 in der X-Richtung angeordnet sind, in derselben Richtung betrieben. Für die Y-Richtung werden die Antriebsmechanismuseinheiten 6a und 6c, die mit den Linearmotoren 1L in der Y-Richtung angeordnet sind, in derselben Richtung betrieben. Wenn die Linearmotoren 1L gleichzeitig in der X- und Y-Richtung betrieben werden, wird der Tisch 4 schräg bewegt. Wenn die XY-Bewegungsgrößen eingestellt werden, kann der Winkel der schrägen Translationsbewegung bestimmt werden.
  • Dadurch kann der Tisch 5 in der Translationsrichtung bewegt werden.
  • Um den Tisch 4 drehend zu bewegen, werden die Linearmotoren 1L der Antriebsmechanismuseinheiten 6, die in Paaren in den XY-Richtungen angeordnet sind, in jeweils entgegen gesetzten Richtungen betrieben, wobei der Tisch 4 wie in 5 gezeigt gedreht werden kann.
  • In 5 gibt Oo ein Zentrum und Drehzentrum des Tisches an, gibt R den Drehradius an, gibt δθ den Drehwinkel des Tisches an und gibt δZi die Betätigungsgröße des Linearmotors 1 der Antriebsmechanismuseinheit 6 an.
  • Um den Tisch 4, der durch eine fette Linie mit dem Zentrum bei Oo angegeben wird, zu drehen, kann der Linearmotor 1 der Antriebsmechanismuseinheit 6a um δZay betrieben werden, kann der Linearmotor 1 der Antriebsmechanismuseinheit 6b um δZbx betrieben werden, kann der Linearmotor 1 der Antriebsmechanismuseinheit 6c um δZcy betrieben werden und kann der Linearmotor 1 der Antriebsmechanismuseinheit 6d um δZdx betrieben werden. Wenn der Linearmotor 1 wie in 5 gezeigt betrieben wird, werden der Translationsfreiheitsgradteil 11 und der Drehfreiheitsgradteil 13 ohne den Linearmotor 1 der Antriebsmechanismuseinheit 6 betätigt, sodass der Tisch 4 um δθ gedreht wird.
  • Die δθ-Drehung und die Bewegungsgrößen der entsprechenden Linearmotoren 1 können geometrisch bestimmt werden.
  • Der Tisch 4 kann in der Drehrichtung wie oben beschrieben bewegt werden.
  • Die Bewegung kann realisiert werden, indem der Betriebsbefehl für eine Bewegung des Tisches 4 von 4 und 5 der Ausführungsform genau durch die Befehlseinrichtung 8 erzeugt und an die vier Steuereinrichtungen 3 ausgegeben wird, um die vier Motoren 1 (Linearmotoren 1L) genau zu steuern.
  • Obwohl gemäß der Ausrichtungsvorrichtung der Ausführungsform der Erfindung die Bewegungsgröße zum Bewegen des Linearmotors 1 für eine Drehung des Tisches 4 geometrisch berechnet werden muss, besteht eine nicht-lineare Beziehung zwischen der Drehung des Tisches 4 und der Translationsbewegung des Linearmotors 1, sodass sich ein Problem für die Steuerung des Betriebs des Tisches 4 gibt, das berücksichtigt werden muss.
  • 6 ist eine Ansicht, die eine Drehbewegung eines Tisches mit einem assoziierten Problem in der Ausrichtungsvorrichtung gemäß der ersten Ausführungsform der Erfindung zeigt, und 7 ist eine Ansicht, die die Beziehung zwischen einer Drehbewegung eines Tisches und einer Translationsbewegung eines Motors mit einem assoziierten Problem in der Ausrichtungsvorrichtung der ersten Ausführungsform der Erfindung zeigt.
  • 6 zeigt das Ergebnis einer Drehung des Tisches 4 in einer Richtung und in der entgegen gesetzten Richtung in drei Stufen mit gleichen Intervallen von δθ um das Zentrum Oo.
  • Dabei sind die Änderungsgrößen der Bewegungsgrößen der Linearmotoren 1L für die Drehung in der einen Richtung, d. h. die Änderungsgrößen der Bewegungsgrößen der Linearmotoren 1L bei einer Drehung des Tisches 4 von Rf (Ausgangszustand) zu P1, P2, P3 jeweils Yip1, Yip2, Yip3 an der Antriebsmechanismuseinheit 6a, Xiip1, Xiip2, Xiip3 an der Antriebsmechanismuseinheit 6b, Yiip1, Yiip2, Yiip3 an der Antriebsmechanismuseinheit 6c und Xip1, Xip2, Xip3 an der Antriebsmechanismuseinheit 6d.
  • Wenn bei einer Drehung in der entgegen gesetzten Richtung der Tisch 4 von Rf (Ausgangszustand) zu N1, N2, N3 gedreht wird, werden die Größen entsprechend zu Yin1, Yin2, Yin3, Xiin1, Xiin2, Xiin3, Yiin1, Yiin2, Yiin3, Xin1, Xin2, Xin3.
  • Obwohl in jedem dieser Fälle die Änderungsgrößen des Drehwinkels des Tisches 4 ein gleiches Intervall von δθ aufweisen, werden die Translationsbewegungsgrößen der Linearmotoren 1L nicht durch gleiche Intervalle gebildet. Weiterhin können sich auch die Bewegungsgrößen der Linearmotoren 1L in positiven und negativen Richtungen für die Drehung in einer Richtung und in der entgegen gesetzten Richtung des Tisches 4 unterscheiden.
  • Insbesondere werden die Bewegungsgrößen der entsprechenden Linearmotoren 1 in die folgenden Beziehungen gebracht:
    Yip1 ≠ Yip2, Yip2 ≠ Yip3, Yin1 ≠ Yin2, Yin2 ≠ Yin3,
    Xiip1 ≠ Xiip2, Xiip2 ≠ Xiip3, Xiin1 ≠ Xiin2, Xiin2 ≠ Xiin3
    Yiip1 ≠ Yiip2, Yiip2 ≠ Yiip3, Yiin1 ≠ Yiin2, Yiin2 ≠ Yiin3
    Xip1 ≠ Xip2, Xip2 ≠ Xip3, Xin1 ≠ Xin2, Xin2 ≠ Xin3
  • Weiterhin gilt:
    Yip1 ≠ Yin1, Yip2 ≠ Yin2, Yip3 ≠ Yin3
    (Yip1 + Yip2) ≠ (Yin1 + Yin2),
    (Yip1 + Yip2 + Yip3) ≠ (Yin1 + Yin2 + Yin3)
    Xiip1 ≠ Xiin1, Xiip2 ≠ Yiin2, Yiip3 ≠ Xiin3
    (Xiip1 + Xiip2) ≠ (Xiin1 + Xiin2),
    (Xiip1 + Xiip2 + Xiip3) ≠ (Xiin1 + Xiin2 + Xiin3),
  • Dasselbe gilt für die Antriebsmechanismuseinheit 6c und die Antriebsmechanismuseinheit 6d.
  • Deshalb bilden die Beziehungen eine Kurve wie in 7 gezeigt.
  • Es besteht wie in 7 gezeigt eine nicht-lineare Beziehung zwischen der Drehung des Tisches 4 und den Translationsbewegungen der Linearmotoren 1L, sodass wenn sich der tatsächliche Modus des Tisches 4 von der Annahme unterscheidet, keine genaue Drehung des Tisches 4 durchgeführt werden kann.
  • Wenn zum Beispiel die Bewegungsgröße der Linearmotors 1L unter der Annahme des Ausgangszustands Rf berechnet wird, obwohl sich der Tisch 4 in dem Modus N1 befindet, kann keine genaue Drehung des Tisches 4 durchgeführt werden.
  • Wenn der Tisch 4 translatorisch bewegt wird, werden die Distanzen zwischen den entsprechenden Linearmotoren 1 verändert und wird das Drehzentrum geändert, sodass sich der Drehradius unterscheidet, wobei bei einer Betätigung unter einem den Ausgangszustand annehmenden Betriebsbefehl keine genaue Drehung des Tisches 4 durchgeführt werden kann.
  • Um das oben beschriebene Problem zu lösen, wird eine Rückkehr zu einem Ausgangspunkt durchgeführt, damit der Tisch 4 genau gedreht werden kann. Dazu werden die folgenden Verarbeitungen durchgeführt.
  • Das in 6 und 7 gezeigte Problem ist auch in den anderen Ausführungsformen gegeben.
  • 8 ist ein Flussdiagramm, das ein Verfahren zum Zurückkehren zu einem Ausgangspunkt für die Ausrichtungsvorrichtung gemäß der ersten Ausführungsform der Erfindung zeigt.
  • Im Folgenden wird ein Verfahren der Erfindung schrittweise mit Bezug auf die Zeichnung erläutert.
  • Das Flussdiagramm von 8 läuft wie folgt ab.
  • Zuerst wird in Schritt STP1A eine Differenz zwischen einer Maschinenausgangsposition und einer Fixierungsbezugsposition durch die Maschinenausgangspunkt-Speichereinrichtung gespeichert oder zuvor eingegeben.
  • Dann wird in Schritt STP2A der Antriebsmechanismus oder der Tisch mechanisch an der Fixierungsbezugsposition der Ausrichtungsvorrichtung fixiert.
  • In Schritt STP3A wird die Maschinenfixierungsbezugsposition erfasst und in der Maschinenfixierungsbezugspositions-Speichereinrichtung gespeichert.
  • Um nach dem Ausschalten der Stromversorgung zu dem Ausgangspunkt zurückzukehren, wird in Schritt STP4A die Fixierung gelöst, wird der Erfassungseinrichtungsbezugspositionsbezug erfasst, indem der Motor betrieben wird, und wird eine Differenz zwischen der Erfassungseinrichtungsbezugsposition und dem Maschinenausgangspunkt oder der Fixierungsbezugsposition erfasst.
  • Danach wird eine routinemäßige Verarbeitung durchgeführt, nachdem die Stromversorgung vorübergehend unterbrochen wurde und anschließend wieder zugeführt wird.
  • In Schritt STP5A wird der Erfassungseinrichtungsbezugspositionsbezug erfasst, indem der Motor betrieben wird.
  • Dann wird in Schritt STP6A die Fixierungsbezugsposition oder die Maschinenausgangspunktposition aus dem Erfassungseinrichtungsbezugspositionsbezug durch die Maschinenausgangspunktrückkehrgrößen-Berechnungseinrichtung berechnet.
  • In Schritt STP7A wird der Tisch zu der Maschinenausgangspunktposition bewegt.
  • Die Rückkehr zu dem Ausgangspunkt wird wie oben beschrieben abgeschlossen, sodass der Betrieb der Ausrichtungsvorrichtung ausgeführt werden kann.
  • Die oben beschriebene Verarbeitung wird nachfolgend im Detail erläutert.
  • 9 ist ein Flussdiagramm, das ein Verfahren zum Fixieren der Antriebsmechanismuseinheit der Ausrichtungsvorrichtung gemäß der ersten Ausführungsform der Erfindung zeigt, 10 ist eine Ansicht, die die Maschinenfixierungseinrichtung der Ausrichtungsvorrichtung gemäß der ersten Ausführungsform der Erfindung zeigt, 11 ist eine Draufsicht, die die Fixierung der Maschine mit der Ausrichtungsvorrichtung gemäß der ersten Ausführungsform der Erfindung und die Anordnung der Antriebsmechanismuseinheit zeigt, und 12 ist eine Ansicht, die ein Verfahren zum Zurückkehren zu einem Ausgangspunkt in der Ausrichtungsvorrichtung gemäß der ersten Ausführungsform der Erfindung zeigt.
  • Die Maschinenfixierungseinrichtung 41 und der umgebende Aufbau der werden im Folgenden mit Bezug auf 9 erläutert.
  • Das Bezugszeichen 41 gibt die Maschinenfixierungseinrichtung an, das Bezugszeichen 51 gibt eine erste Positionierungseinrichtung an, das Bezugszeichen 52 gibt eine zweite Positionierungseinrichtung an, das Bezugszeichen 54 gibt eine erste Positionsfixierungseinrichtung an und das Bezugszeichen 55 gibt eine zweite Positionsfixierungseinrichtung an.
  • 12 zeigt die Erfassungseinrichtung 2 an dem Linearmotor 1 des Antriebsmechanismus 6 vergrößert, um die einzelnen Schritte zu verdeutlichen.
  • In Schritt STP1A wird die Differenz (Xref, Yref) zwischen der Maschinenausgangspunktposition und der Fixierungsbezugsposition erfasst, die bereits aus dem Entwurf der Maschine der Ausrichtungsvorrichtung bekannt ist. Das heißt, in dem Schritt STP1A wird die Differenz zwischen der Maschinenausgangspunktposition und der Fixierungsbezugsposition eingegeben.
  • In Schritt STP2A wird der Tisch oder die Antriebsmechanismuseinheit mechanisch an der Fixierungsbezugsposition der Ausrichtungsvorrichtung fixiert.
  • Wie in 10 gezeigt, wird die Antriebseinheit 6 gestoppt und wird der Tisch 4 mechanisch in einer bestimmten Haltung fixiert.
  • Der Schritt zum Fixieren der Antriebsmechanismuseinheit 6 wird mit Bezug auf 9 verdeutlicht.
  • In Schritt STP2A-1 wird die Steuerung des Motors unterbrochen. Dadurch können der Tisch 4 und die Antriebsmechanismuseinheit 6 (der Antriebsmechanismus 46) einfacher und sogar manuell bewegt werden.
  • In Schritt STP2A-2 wird die Position zum Installieren der Maschinenfixierungseinrichtung durch die erste Positionierungseinrichtung an dem Maschinenbasisteil vorgesehen. Die Maschinenfixierungseinrichtung 41 wird an der ersten Positionierungseinrichtung 51 auf der Seite des Maschinenbasisteils 7 positioniert.
  • In Schritt STP2A-3 wird die Position zum Installieren der Maschinenfixierungseinrichtung durch die zweite Positionierungseinrichtung an dem Maschinenbasisteil vorgesehen. Die Maschinenfixierungseinrichtung 41 wird an der zweiten Positionierungseinrichtung 51 auf der Seite der Antriebsmechanismuseinheit 6 (Antriebsmechanismus 46) positioniert.
  • In Schritt STP2A-2 und STP2A-3 wird die Positionierung eingestellt, indem der Tisch 4 oder die Antriebsmechanismuseinheit 6 bewegt wird. Der Maschinenbasisteil 7 ist mit der ersten Positionierungseinrichtung 51 versehen, sodass wenn die Maschinenfixierungseinrichtung 41 positioniert wird, die Maschinenfixierungseinrichtung 41 genau an dem Maschinenbasisteil 7 positioniert werden kann. Weiterhin ist die zweite Positionierungseinrichtung 52 ebenfalls auf einer Seite der Antriebsmechanismuseinheit 6 vorgesehen, sodass wenn die Maschinenfixierungseinrichtung 41 an der zweiten Positionierungseinrichtung 52 positioniert wird, indem der Tisch 4 oder die Antriebsmechanismuseinheit 6 bewegt wird, die Maschinenfixierungseinrichtung 41 genau an der Antriebsmechanismuseinheit 6 positioniert werden kann. Die Positionierungseinrichtung 51 oder die zweite Positionierungseinrichtung 52 können unter Verwendung eines Positionierungsstifts oder ähnlichem realisiert werden.
  • In Schritt STP2A-4 wird die Maschinenfixierungseinrichtung verwendet, indem die erste Positionsfixierungseinrichtung an dem Maschinenbasisteil verwendet wird. Die Maschinenfixierungsvorrichtung wird unter Verwendung der ersten Positionierungseinrichtung 54 an dem Maschinenbasisteil 7 fixiert.
  • In Schritt STP2A-5 wird die Maschinenfixierungseinrichtung unter Verwendung der zweiten Positionsfixierungseinrichtung an dem Antriebsmechanismus fixiert. Die Maschinenfixierungseinrichtung wird unter Verwendung der zweiten Positionsfixierungseinrichtung 55 an der Antriebsmechanismuseinheit 6 (Antriebsmechanismus 46) fixiert.
  • Der Maschinenbasisteil 7 und die Maschinenfixierungseinrichtung 41 können unter Verwendung der ersten Positionsfixierungseinrichtung 54 in den Schritten STP2A-4 und STP2A-5 fixiert werden. Gewindelöcher sind an dem Maschinenbasisteil 7 und der Maschinenfixierungseinrichtung 41 vorgesehen, wobei der Maschinenbasisteil 7 und die Maschinenfixierungseinrichtung 41 durch Schrauben fixiert werden können. Weiterhin können die Antriebsmechanismuseinheit 6 und die Maschinenfixierungseinrichtung 41 unter Verwendung der zweiten Positionsfixierungseinrichtung 55 fixiert werden.
  • Die Antriebsmechanismuseinheit 6 und die Maschinenfixierungseinrichtung 41 sind mit Gewindelöchern versehen, und die Antriebsmechanismuseinheit (der Antriebsmechanismus 46) und die Maschinenfixierungseinrichtung 41 können durch Schrauben fixiert werden. Die Ausrichtungseinrichtung kann an der Fixierungsbezugsposition fixiert werden, um wie oben beschriebenen einen Bezug vorzusehen.
  • Die Ausrichtungsvorrichtung wird unter Verwendung der Maschinenfixierungseinrichtung 41 wie in 11 gezeigt fixiert. Die Ausrichtungsvorrichtung wird an einer zu dem Maschinenausgangspunkt (der Ausgangsposition) um XRef und YRef entfernten Position fixiert.
  • Wie in 11 gezeigt, fixiert die Maschinenfixierungseinrichtung 41 vier der Antriebsmechanismuseinheiten 6 und den Maschinenbasisteil 7.
  • Es sind also vier der Antriebsmechanismuseinheiten 6 fixiert, sodass der Tisch 4 an der Fixierungsbezugsposition fixiert ist, die den Bezug bildet.
  • In Schritt STP3A wird die Maschinenfixierungsbezugsposition erfasst und in der Maschinenfixierungsbezugspositions-Speichereinrichtung gespeichert. Wie in 11 gezeigt, sind die Antriebseinheiten um Xref und Yref entfernt von dem Maschinenausgangspunkt fixiert. Die Erfassungseinrichtung 2, die wie in 12 gezeigt durch eine Skala und einen Kopf gebildet wird, wird in einen Zustand versetzt, in dem der Kopf an der Fixierungsbezugsposition 31 angeordnet ist. Indem der Wert der Skala gelesen wird, wird die Fixierungsbezugsposition 31 durch die Erfassungseinrichtung 2 erfasst. Der Wert der Fixierungsbezugsposition 31 wird in der Maschinenfixierungsbezugspositions-Speichereinrichtung gespeichert. Gemäß der Ausführungsform sind vier Motorsteuereinrichtungen vorgesehen und sind vier Maschinenfixierungseinrichtungen 41 vorgesehen, sodass vier Maschinenfixierungsbezugspositionen erfasst und in der Maschinenfixierungspositions-Speichereinrichtung gespeichert werden.
  • Dabei sind Xref und Yref bereits in Schritt STP1A bekannt, sodass die Maschinenausgangspunktposition 30 bekannt ist, wenn die Stromversorgung unterbrochen wird und die Maschine neu gestartet wird, weil die Erfassungseinrichtung 2 vom Inrkementwerttyp ist, sodass wenn die Antriebseinheit 6 nicht durch die Maschinenfixierungseinrichtung 41 fixiert wird, die Fixierungsbezugsposition 31 nicht erkannt werden kann. Deshalb wird der folgende Schritt ausgeführt.
  • Um zu dem Ausgangspunkt zurückzukehren, nachdem die Stromversorgung ausgeschaltet wurde, wird in Schritt STP4A die Fixierung gelöst, wird der Erfassungseinrichtungsbezugspositionsbezug erfasst, indem der Motor betrieben wird, und wird die Differenz zwischen der Erfassungseinrichtungsbezugsposition und der Maschinenausgangspunktposition oder der Fixierungsbezugsposition gespeichert.
  • Der Erfassungseinrichtungsbezugspositionsbezug wird erfasst, indem die Maschinenfixierungseinrichtung 41 gelöst wird und der Linearmotor 1L betrieben wird. Dabei werden in diesem Schritt vier Linearmotoren 1L betrieben, werden vier Erfassungseinrichtungsbezugspositionsbezüge erfasst und werden die Differenzen zwischen den vier Erfassungseinrichtungsbezugspositionen und der Maschinenausgangspunktposition oder der Fixierungsbezugsposition gespeichert. Das heißt, Cpa, Cpb, Cpc, Cpd oder Ds1, Ds2, Ds3, Ds4 von 12 werden gespeichert.
  • Es wird eine Operation zum Erfassen des Erfassungseinrichtungsbezugspositionsbezugs für die Rückkehr zum dem Ausgangspunkt verwendet, die allgemein durchgeführt wird, wenn die Erfassungseinrichtung 2 des Inkrementtyps verwendet wird. Allgemein wird der Erfassungseinrichtungsbezugspositionsbezug nicht mit strenger Genauigkeit durch die Erfassungseinrichtung 2 gesetzt, wobei in der Ausrichtungsvorrichtung der Ausführungsform auch der Erfassungseinrichtungsbezugspositionsbezug nicht unter einer Positionskontrolle gesetzt wird, sodass der Erfassungseinrichtungsbezugspositionsbezug nicht als Ausgangspunktposition verwendet werden kann. Deshalb stellt sich das Problem, dass auch wenn eine allgemeine Rückkehr zu dem Ausgangspunkt durchgeführt wird, die für die Ausführungsform unverzichtbare Maschinenausgangspunktposition nicht vorgesehen wird.
  • Die Ausrichtungseinrichtung ist jedoch fixiert, wobei die Erfassungsfixierungsbezugsposition erfasst wird und die Maschinenausgangspunktposition erfasst und gespeichert wird, sodass, obwohl die Distanzen zwischen der Maschinenausgangspunktposition 32 und den Erfassungseinrichtungsbezugspositionsbezügen oder den Fixierungsbezugspositionen (Cpa, Cpb, Cpc, Cpd oder Ds1, Ds2, Ds3, Ds4) jeweils verteilt sind, die Distanzen erfasst und gespeichert werden, sodass wenn der Schritt ausgeführt wird, die Rückkehr zu dem Ausgangspunkt einfach und routinemäßig ausgeführt werden kann.
  • In und nach dem Schritt STP5A wird die Rückkehr zu dem Ausgangspunkt routinemäßig ausgeführt.
  • In Schritt STP5A wird der Erfassungseinrichtungsbezugspositionsbezug erfasst, indem der Motor betrieben wird. Der Erfassungseinrichtungsbezugspositionsbezug aus Schritt STP4A wird erfasst. Wie bereits weiter oben beschrieben, handelt es sich dabei um die Rückkehr zu dem Ausgangspunkt, die allgemein durchgeführt wird, wenn die Erfassungseinrichtung 2 des Inkrementtyps verwendet wird. Es werden vier der Linearmotoren 1L betrieben und es werden vier der Erfassungseinrichtungsbezugspositionsbezüge erfasst.
  • In Schritt STP6A wird die Fixierungsbezugsposition oder die Maschinenausgangspunktposition aus dem Erfassungseinrichtungsbezugspositionsbezug durch die Maschinenausgangspunktrückkehrgrößen-Berechnungseinrichtung berechnet. Dabei werden in Schritt STP4A die Distanzen zwischen der Maschinenausgangspunktposition 32 und den Erfassungseinrichtungsbezugspositionsbezügen oder den Fixierungsbezugspositionen (Cpa, Cpb, Cpc, Cpd oder Ds1, Ds2, Ds3, Ds4) gespeichert, sodass wenn die neu erfassten Erfassungseinrichtungsbezugspositionsbezüge und zum Beispiel Ds1, Ds2, Ds3, Ds4 von 12 verwendet werden, die Fixierungsbezugspositionen berechnet werden können. Die Distanzen XRef und Yref zwischen der Fixierungsbezugsposition und dem Maschinenausgangspunkt sind bereits bekannt, sodass die Maschinenausgangspunktposition berechnet werden kann. Das heißt, die Distanzen Cpa, Cpb, Cpc und Cpd der Maschinenausgangspunktpositionen sind aus den in Schritt STP5A neu erfassten Erfassungseinrichtungsbezugspositionsbezügen bekannt.
  • In Schritt STP7A wird der Tisch zu der Maschinenausgangspunktposition bewegt. Die Distanzen Cpa, Cpb, Cpc, Cpd der Maschinenausgangspunktpositionen werden in Schritt STP6A aus den in Schritt STP5A neu erfassten Erfassungseinrichtungsbezugspositionsbezügen erhalten, sodass wenn der Tisch um die Distanzen bewegt wird, der Tisch an dem Maschinenausgangspunkt angeordnet werden kann.
  • Wenn die Erfassungseinrichtungsbezugspositionsbezüge in Schritt STP5A neu erfasst werden, kann der Tisch an dem Maschinenausgangspunkt angeordnet werden. Wenn also die Stromversorgung nach dem Starten in Schritt STA5A erneut unterbrochen wird, kann die Rückkehr zu dem Ausgangspunkt einfach durchgeführt werden. Die Rückkehr zu dem Ausgangspunkt kann sehr einfach und routinemäßig durchgeführt werden.
  • Indem der Tisch oder der Antriebsmechanismus mechanisch genau fixiert wird und die Distanzen zwischen den Fixierungsbezügen, über die der Maschinenausgangspunkt erhalten wird, und den Erfassungseinrichtungspositionsbezügen wie oben beschrieben gespeichert werden, kann die Rückkehr zu dem Ausgangspunkt einfach und routinemäßig durchgeführt werden.
  • Deshalb kann der Befehl für die XYθ-Betätigung, die mit der θ-Betätigung beginnt, genau durchgeführt werden, indem der Bezug durch den Maschinenausgangspunkt vorgesehen wird, und kann die XYθ-Betätigung des Tisches genau realisiert werden, indem der Motor betrieben wird.
  • Ausführungsform 2
  • 13 enthält ein schematisches Diagramm und ein Steuerblockdiagramm einer Ausrichtungsvorrichtung gemäß einer zweiten Ausführungsform der Erfindung, und 14 ist eine Ansicht, die eine Antriebsmechanismuseinheit der Ausrichtungsvorrichtung gemäß der zweiten Ausführungsform der Erfindung zeigt.
  • Diese Ausführungsform unterscheidet sich von der ersten Ausführungsform dadurch, dass die zweidimensionale Positionserfassungseinrichtung 9 und die zweidimensionale Bildverarbeitungseinrichtung 10 vorgesehen sind, um eine Markierung des Tisches 4 oder des Objekts 5 zu erfassen.
  • Ein weiterer Unterschied besteht darin, dass die Maschinenfixierungseinrichtung 41 verwendet wird, um den Maschinenbasisteil 7 und den Tisch 4 zu fixieren.
  • Weiterhin werden die Maschinenfixierungsbezugspositions-Speichereinrichtung 42 und die Erfassungseinrichtungsbezugspositions-Speichereinrichtung 44 nicht verwendet, wobei statt dessen die Bezugsbildpositions-Speichereinrichtung 43 vorgesehen ist. Weiterhin weist die Antriebsmechanismuseinheit 6 einen Aufbau auf, in dem wie in 13 gezeigt der Translationsfreiheitsgrad 11 über dem Translationsantriebsteil 12 vorgesehen ist und der Drehfreiheitsgrad 13 über dem Translationsfreiheitsgrad 11 vorgesehen ist.
  • Wie in 13 gezeigt, sind der Translationsantriebsteil 12 und der Translationsfreiheitsgrad 11 stets orthogonal zueinander angeordnet. Der Aufbau der Antriebsmechanismuseinheit 6 unterscheidet sich von demjenigen der ersten Ausführungsform (3) wie in 13 gezeigt, sodass die Beziehung zwischen der Drehung des Tisches 4 und des Linearmotors 1 anders beschaffen ist.
  • 15 ist eine Ansicht, die eine Drehbewegung des Tisches der Ausrichtungsvorrichtung gemäß der zweiten Ausführungsform der Erfindung zeigt. Während die Translationsbewegung des Tisches 4 die gleiche wie in der ersten Ausführungsform ist, unterscheidet sich die Drehbewegung von derjenigen der ersten Ausführungsform (5) wie in 15 gezeigt. Die Drehbewegung des Tisches und die Bewegung des Linearmotors 1 können jedoch auch hier geometrisch bestimmt werden. Weiterhin ergibt sich das in 6 und 7 gezeigte Problem der ersten Ausführungsform auch in dieser Ausführungsform.
  • Während also die Funktion der Ausrichtungsvorrichtung unverändert ist, werden andere Komponenten als in der ersten Ausführungsform verwendet, sodass die Prozedur zum Vorsehen des Maschinenausgangspunkts für den Tisch 4 unter Verwendung der zweidimensionalen Positionserfassungseinrichtung 9 und der zweidimensionalen Bildverarbeitungseinrichtung 10 anders beschaffen ist.
  • 16 ist ein Flussdiagramm, das ein Verfahren zum Rückkehren zu einem Ausgangspunkt gemäß der zweiten Ausführungsform der Erfindung zeigt. Es ist eine Prozedur vorgesehen, die die Schritte STP1A bis STP7B umfasst.
  • In Schritt STP1A wird ähnlich wie in der ersten Ausführungsform die Differenz zwischen der Maschinenausgangspunktposition und der Fixierungsbezugsposition durch die Maschinenausgangspunkt-Speichereinrichtung gespeichert oder zuvor eingegeben.
  • In Schritt STP2B wird ähnlich wie in der ersten Ausführungsform der Antriebsmechanismus oder der Tisch mechanisch an der Fixierungsbezugsposition der Ausrichtungsvorrichtung fixiert.
  • In Schritt STP3B wird die Position der Markierung durch die zweidimensionale Positionserfassungseinrichtung und die zweidimensionale Bildverarbeitungseinrichtung erfasst und wird die Fixierungsbezugsposition als absolute Position des Bildes unter Verwendung einer Ausgabe aus derselben gespeichert.
  • Danach wird die routinemäßige Verarbeitung nach einer vorübergehenden Unterbrechung der Stromversorgung und einer erneuten Zufuhr der Stromversorgung durchgeführt.
  • In Schritt STP4B wird die Position der Markierung erneut durch die zweidimensionale Positionserfassungseinrichtung und die zweidimensionale Bildverarbeitungseinrichtung erfasst.
  • In Schritt STP5B wird die Distanz von der aktuellen Position zu der Maschinenausgangsposition durch die Ausgangspunkpositions-Berechnungseinrichtung unter Verwendung der Ausgabe des Bildes berechnet.
  • In Schritt STP6B wird der Tisch zu dem Maschinenausgangspunkt bewegt.
  • In Schritt STP7B wird die Position der Markierung erneut durch die zweidimensionale Positionserfassungseinrichtung und die zweidimensionale Bildverarbeitungseinrichtung erfasst. Wenn das Ergebnis mit der gespeicherten Fixierungsbezugsposition übereinstimmt, wird die Rückkehr zu dem Ausgangspunkt abgeschlossen. Wenn das Ergebnis nicht mit der Fixierungsbezugsposition übereinstimmt, kehrt die Operation zu Schritt STP5B zurück, wobei die Verarbeitung wiederholt wird.
  • Die Rückkehr zu dem Ausgangspunkt wird wie oben beschrieben abgeschlossen, sodass der Betrieb der Ausrichtungsvorrichtung durchgeführt werden kann.
  • Die oben beschriebene Verarbeitung wird im Folgenden im Detail erläutert.
  • 17 ist ein Flussdiagramm, das ein Verfahren zum Fixieren des Tisches der Ausrichtungsvorrichtung gemäß der zweiten Ausführungsform der Erfindung zeigt. 18 ist eine Draufsicht, die die Fixierung der Maschine der Ausrichtungsvorrichtung gemäß der zweiten Ausführungsform der Erfindung zeigt, 19 ist eine Ansicht, die die Maschinenfixierungseinrichtung der Ausrichtungsvorrichtung gemäß der zweiten Ausführungsform der Erfindung zeigt, 20 ist eine Ansicht, die ein Verfahren zum Berechnen einer Ausgangspunktposition durch die zweidimensionale Positionserfassungseinrichtung und die zweidimensionale Bildverarbeitungseinrichtung der Ausrichtungsvorrichtung gemäß der zweiten Ausführungsform der Erfindung zeigt, und 21 ist eine Ansicht, die ein Verfahren zum Korrigieren der Position des Objekts durch die zweidimensionale Positionserfassungseinrichtung und die zweidimensionale Bildverarbeitungseinrichtung der Ausrichtungsvorrichtung gemäß der zweiten Ausführungsform der Erfindung zeigt.
  • In Schritt STP2B wird ähnlich wie in der ersten Ausführungsform der Tisch oder die Antriebsmechanismuseinheit mechanisch an der Fixierungsbezugsposition der Ausrichtungsvorrichtung fixiert. Der Schritt zum Fixieren des Tisches 4 erfolgt wie in 17 gezeigt. Wie in 18 und 19 gezeigt, unterscheidet sich die Fixierung etwas von derjenigen der ersten Ausführungsform, wobei der Tisch 4 direkt fixiert wird.
  • Das in dem Flussdiagramm gezeigte Verfahren zum Fixieren des Tisches der Ausrichtungsvorrichtung verläuft wie folgt.
  • In Schritt STP2B-1 wird die Steuerung des Motors unterbrochen. Ähnlich wie in der ersten Ausführungsform kann der Tisch 4 oder die Antriebsmechanismuseinheit 6 (der Antriebsmechanismus 46) einfach und sogar manuell bewegt werden.
  • In Schritt STP2B-2 wird die Position zum Installieren der Maschinenfixierungseinrichtung durch die erste Positionierungseinrichtung an dem Maschinenbasisteil vorgesehen. Die Maschinenfixierungseinrichtung 41 wird an der ersten Positionierungseinrichtung 51 auf der Seite des Maschinenbasisteils 7 positioniert.
  • In Schritt STP2B-3 wird die Position zum Installieren der Maschinenfixierungseinrichtung durch die zweite Positionierungseinrichtung an dem Tisch vorgesehen. Die Maschinenfixierungseinrichtung wird an der zweiten Positionierungseinrichtung 51 auf der Seite des Tisches positioniert.
  • In den Schritten STP2B-2 und STP2B-3 wird die Positionierung eingestellt, indem der Tisch 4 oder die Antriebsmechanismuseinheit 6 bewegt werden. Der Maschinenbasisteil 7 ist mit der ersten Positionierungseinrichtung 51 versehen, sodass, wenn die Maschinenfixierungseinrichtung 41 an derselben positioniert wird, die Maschinenfixierungseinrichtung 41 genau an dem Maschinenbasisteil 7 positioniert werden kann. Weiterhin ist auch eine Seite des Tisches 4 mit der zweiten Positionierungseinrichtung 52 versehen, sodass wenn die Maschinenfixierungseinrichtung 41 an der zweiten Positionierungseinrichtung 52 positioniert wird, indem der Tisch 4 oder die Antriebsmechanismuseinheit 6 bewegt wird, die Maschinenfixierungseinrichtung 41 genau an dem Tisch 4 positioniert werden kann. Die Positionierungseinrichtung 51 oder die zweite Positionierungseinrichtung 52 kann unter Verwendung eines Positionierungsstifts oder ähnlichem realisiert werden.
  • In Schritt STP2B-4 wird die Maschinenfixierungseinrichtung fixiert, indem die erste Positionsfixierungseinrichtung an dem Maschinenbasisteil verwendet wird. Die Maschinenfixierungseinrichtung wird unter Verwendung der ersten Positionsfixierungseinrichtung 54 an dem Maschinenbasisteil 7 fixiert.
  • In STP2B-5 wird die Maschinenfixierungseinrichtung unter Verwendung der zweiten Positionsfixierungseinrichtung an dem Tisch fixiert. Die Maschinenfixierungseinrichtung wird unter Verwendung der zweiten Positionsfixierungseinrichtung 55 an dem Tisch fixiert.
  • Durch die Schritte STP2B-4 und STP2B-5 können der Maschinenbasisteil 7 und die Maschinenfixierungseinrichtung 41 unter Verwendung der ersten Positionsfixierungseinrichtung 54 fixiert werden. Der Maschinenbasisteil 7 und die Maschinenfixierungseinrichtung 41 können fixiert werden, indem Gewindelöcher an dem Maschinenbaisteil 7 und der Maschinenfixierungseinrichtung 41 vorgesehen und Schrauben eingesetzt werden. Weiterhin können der Tisch und die Maschinenfixierungseinrichtung 41 unter Verwendung der zweiten Positionsfixierungseinrichtung 55 fixiert werden. Der Tisch und die Maschinenfixierungseinrichtung 41 können fixiert werden, indem Gewindelöcher an dem Antriebstisch und der Maschinenfixierungseinrichtung 41 vorgesehen und Schrauben eingesetzt werden. Die Ausrichtungseinrichtung kann an der Fixierungsbezugsposition fixiert werden, die wie oben beschrieben einen Bezug vorsieht.
  • Die Ausrichtungsvorrichtung wird unter Verwendung der Maschinenfixierungseinrichtung wie in 18 gezeigt fixiert. Die Ausrichtungsvorrichtung wird an einer Position fixiert, die um XRef und YRef von dem Maschinenausgangspunkt (Ausgangsposition) entfernt ist. Die Maschinenfixierungseinrichtung 41 fixiert den Tisch 4 und den Maschinenbasisteil 7 an zwei Positionen. Auf diese Weise wird der Tisch 4 an der Fixierungsbezugsposition fixiert, die den Bezug vorsieht.
  • In Schritt STP3B wird die Fixierungsbezugsposition als absolute Position des Bildes gespeichert, indem Ausgaben aus der zweidimensionalen Positionserfassungseinrichtung und der zweidimensionalen Bildverarbeitungseinrichtung verwendet werden. Wie in 18 gezeigt, wird der Tisch um XRef und. YRef von der Maschinenausgangsposition entfernt fixiert.
  • Wenn ein in 18 durch eine gepunktete Strichlinie umgebender Rahmen als Bild der zweidimensionalen Verarbeitungseinrichtung verwendet wird, ist die absolute Position (Refx, Refy) des Bildes auf dem Tisch bekannt. Die absolute Position wird in der Fixierungsbezugspositions-Speichereinrichtung als Fixierungsbezugsposition gespeichert.
  • In und nach Schritt STP4B wird die routinemäßige Rückkehr zu dem Ausgangspunkt durchgeführt. Dies wird durch eine Verarbeitung nach einer Unterbrechung der Stromversorgung und der erneuten Zufuhr der Stromversorgung bewerkstelligt. Weiterhin wird die Maschinenfixierungseinrichtung 41 gelöst.
  • In Schritt STP4B erfasst die zweidimensionale Positionserfassungseinrichtung die Markierung auf dem Tisch erneut. Weil auch die Maschinenfixierungseinrichtung 41 gelöst ist, erfasst die zweidimensionale Positionserfassungseinrichtung die Markierung auf dem Tisch erneut, um festzustellen, an welcher Position der Tisch 4 angeordnet ist. wenn wie in 20 gezeigt der Tisch wie durch die Strichlinie angegeben geneigt ist, ist bekannt, an welcher Position eine neu erfasst Markierung c relativ zu der in Schritt STP3B gespeicherten Fixierungsbezugsposition b (Refx, Refy) oder zu der Maschinenausgangsposition a (Refx + Xref, Refy + Yref) angeordnet ist.
  • In Schritt STP5B wird das erfasste Bild verarbeitet. Wie in 21 gezeigt, dient die Bildverarbeitungseinrichtung 10 zum Berechnen von Translationsbewegungskorrekturgrößen X, Y und einer Drehbewegungskorrekturgröße θ relativ zu einer Zielposition, sodass Bewegungsgrößen XYθ für die Fixierungsbezugsposition oder die Maschinenausgangspunktposition berechnet werden können.
  • Weiterhin kann die Befehlseinrichtung Bewegungsgrößen an den entsprechenden Motoren 1 (Linearmotoren 1L) berechnen, die für die Bewegungsgrößen in XYθ des Tisches 4 erforderlich sind, um die Ausrichtung zu realisieren. Diese Operation wird also gewöhnlich durch die Ausrichtungsvorrichtung durchgeführt, wobei die Fixierungsbezugsposition oder die Maschinenausgangspunktposition als Zielposition ein korrekter Wert ist, sodass die genauen Bewegungsgrößen der Linearmotoren 1L berechnet werden können.
  • In Schritt STP6B wird der Tisch 4 bewegt, indem er tatsächlich von dem aktuellen Wert um die Bewegungsgröße zu der Fixierungsbezugsposition oder der Maschinenausgangspunktposition betätigt wird.
  • In Schritt STP7B werden die neuen Ausgaben der zweidimensionalen Positionserfassungseinrichtung und der zweidimensionalen Bildverarbeitungseinrichtung erhalten und mit der gespeicherten Fixierungsbezugsposition verglichen. Wenn die beiden nicht miteinander übereinstimmen, kehrt die Operation zu Schritt STP5B zurück, um die Bewegungsgröße erneut zu berechnen, wobei die Verarbeitung wiederholt durchgeführt wird, bis die Markierung an dem Tisch erneut mit der gespeicherten Fixierungsbezugsposition übereinstimmt.
  • Wenn der Tisch oder der Antriebsmechanismus mechanisch genau fixiert wird und die Markierung aus der zweidimensionalen Positionserfassungseinrichtung und der zweidimensionalen Bildverarbeitungseinrichtung als Fixierungsbezugsposition wie oben beschrieben gespeichert wird, kann die Rückkehr zu dem Ausgangspunkt einfach und routinemäßig durchgeführt werden. Die zweidimensionale Positionserfassungseinrichtung kann das Ergebnis auch bestätigen, nachdem die Rückkehr zu dem Ausgangspunkt durchgeführt wurde, wobei die Rückkehr zu dem Ausgangspunkt wiederholt durchgeführt werden kann.
  • Deshalb kann der Befehl der XYθ-Betätigung, der mit der θ-Betätigung startet, genau durchgeführt werden, indem der Bezug durch den Maschinenausgangspunkt vorgesehen wird, und kann die XYθ-Betätigung des Tisches genau realisiert werden, indem der Motor betrieben wird.
  • Die Verarbeitung stellt eine allgemeine Nutzung der Ausrichtungsvorrichtung zum Ausrichten der Markierung des Tisches 4 an der gespeicherten Fixierungsbezugsposition dar. Weil die oben beschriebene Verarbeitung durchgeführt wird, kann die Verarbeitung für die Rückkehr zu dem Ausgangspunkt verwendet werden. Nach der Rückkehr zu dem Ausgangspunkt wird der Tisch der XYθ-Operation unterworfen, um diesen zu der Position zu bewegen, die mit der Markierung des Objekts 5 auf dem Tisch 4 gespeichert ist.
  • Ausführungsform 3
  • Für diese Ausführungsform wird ein Aufbau- bzw. Anordnungsbeispiel der Antriebsmechanismuseinheit beschrieben.
  • 22 enthält ein schematisches Diagramm und ein Steuerblockdiagramm einer Ausrichtungsvorrichtung gemäß einer dritten Ausführungsform der Erfindung, 23 ist eine Draufsicht auf die Ausrichtungsvorrichtung gemäß der dritten Ausführungsform der Erfindung und zeigt die Anordnung der Antriebsmechanismuseinheit, 24 ist eine Ansicht, die die Antriebsmechanismuseinheit (6a) der Ausrichtungsvorrichtung gemäß der dritten Ausführungsform der Erfindung zeigt, 25 ist eine Ansicht, die die Antriebsmechanismuseinheit (6b) der Ausrichtungsvorrichtung gemäß der dritten Ausführungsform zeigt, 26 ist eine Ansicht, die die Antriebsmechanismuseinheit (6c) der Ausrichtungsvorrichtung gemäß der dritten Ausführungsform zeigt, 27 ist eine Ansicht, die einen 3-Freiheitsgrade-Mechanismus der Ausrichtungsvorrichtung gemäß der dritten Ausführungsform der Erfindung zeigt, und 28 ist eine Ansicht, die eine Drehbewegung des Tisches der Ausrichtungsvorrichtung gemäß der dritten Ausführungsform der Erfindung zeigt.
  • Diese Ausführungsform unterscheidet sich von der ersten Ausführungsform dadurch, dass die Antriebsmechanismuseinheit 6 und ein 3-Freiheitsgrade-Mechanismus 16 mit unterschiedlichen Aufbauten miteinander kombiniert sind. Weiterhin sind zwei zweidimensionale Positionserfassungseinrichtungen 9 und zweidimensionale Bildverarbeitungseinrichtungen 10 vorgesehen. Weiterhin unterscheidet sich diese Ausführungsform von der zweiten Ausführungsform dadurch, dass eine Vielzahl von zweidimensionalen Positionserfassungseinrichtungen 9 vorgesehen sind und dass die Antriebsmechanismuseinheit 6 und der 3-Freiheitsgrade-Mechanismus 6 mit jeweils verschiedenen Aufbauten miteinander kombiniert sind.
  • Die Ausrichtungsvorrichtung der Ausführungsform wird durch die Antriebsmechanismuseinheit 6 und den 3-Freiheitsgrade-Mechanismus 16 von 24, 25, 26, 27 gebildet, wobei die Antriebsmechanismuseinheit 6 der Ausführungsform in Verbindung damit angeordnet ist.
  • Wie in 24 gezeigt, umfasst die Antriebsmechanismuseinheit 6a einen Drehmotor 1R und wird durch eine Abfolge eines Translationsfreiheitsgradteils 11, eines Drehantriebsteils 14 und eines Translationsfreiheitsgradteils 11 von dem Maschinenbasisteil 7 her gebildet.
  • Wie in 25 gezeigt, umfasst die Antriebsmechanismuseinheit 6b zwei Linearmotoren 1L und den Drehmotor 1R und wird durch eine Abfolge eines Drehantriebsteils 14, eines Translationsantriebsteils 12, eines Translationsantriebsteils 12 von dem Maschinenbasisteil 7 her gebildet, wobei die zwei Translationsantriebsteile 12 orthogonal zueinander angeordnet sind.
  • Wie in 26 gezeigt, umfasst die Antriebsmechanismuseinheit 6c zwei Linearmotoren 1L und wird durch eine Abfolge eines Translationsantriebsteils 12, eines Translationsantriebsteils 12, eine Drehantriebsteils 14 von dem Maschinenbasisteil 7 her gebildet, wobei die zwei Translationsantriebsteile 12 orthogonal zueinander angeordnet sind.
  • Die Antriebsmechanismuseinheit 6d weist den in 3 gezeigten Aufbau der ersten Ausführungsform auf.
  • Weiterhin wird wie in 27 gezeigt der 3-Freiheitsgrade-Mechanismus durch eine Abfolge eines Translationsfreiheitsgradteils 11, eines Drehfreiheitsgradteils 13 und eines Translationsfreiheitsgradteils 11 von dem Maschinenbasisteil 7 gebildet.
  • Es sind drei Linearmotoren 1L vorgesehen, die in der X-Richtung und in der Y-Richtung betrieben werden, und es sind zwei Drehmotoren 1L vorgesehen, sodass der Tisch in den Richtungen XYθ betätigt werden kann.
  • Weiterhin kann die Betätigung in den XY-Richtungen ähnlich wie in der ersten Ausführungsform durchgeführt werden.
  • Wenn der Tisch gedreht wird, unterscheiden sich die Aufbauten der Antriebsmechanismuseinheiten 6, sodass die Betriebsgröße des Motors 1 anders als in der ersten oder in der zweiten Ausführungsform ist.
  • Um den Tisch 4 um δθ zu drehen, betreibt die Antriebsmechanismuseinheit 6a wie in 28 gezeigt den Drehmotor 1L um δθ. Die Antriebsmechanismuseinheit 6b betreibt die zwei Linearmotoren 1L um δZbx und δZby und betreibt den Drehmotor 1L um δθ. Die Antriebsmechanismuseinheit 6c betreibt die zwei Linearmotoren 1L um δZcx und δZcy. Die Antriebsmechanismuseinheit 6d betreibt einen Linearmotor 1L um δZdx. Durch diese Betätigung wird auch der Freiheitsgrad ohne den Motor 1 bewegt, sodass der 3-Freiheitsgrade-Mechanismus um δθ bewegt wird und der Tisch 4 entsprechend um δθ gedreht werden kann.
  • Die Bewegungsgrößen des Motors 1 (Linearmotors 1L, Drehmotors 1R) der entsprechenden Antriebseinheiten 6, die zum Drehen des Tisches 4 erforderlich sind, können geometrisch bestimmt werden, obwohl sich die Größen bei verschiedenen Aufbauten unterscheiden.
  • Obwohl wie oben beschrieben der Betrieb der Ausrichtungsvorrichtung verschiedene Bewegungsgrößen für die Motoren 1 der einzelnen Antriebseinheiten 6 vorsieht, ist der Betrieb identisch mit demjenigen der ersten oder der zweiten Ausführungsform.
  • Das in 6 und 7 der ersten Ausführungsform gezeigte Problem stellt sich also auch in dieser Ausführungsform.
  • Die Rückkehr zu dem Ausgangspunkt der Ausrichtungsvorrichtung kann in der vorliegenden Ausführungsform ähnlich wie in der ersten Ausführungsform durchgeführt werden. Die Bezugsbildpositions-Speichereinrichtung 48 ist nicht deutlich gezeigt, wobei jedoch der Betrieb derselben ähnlich wie in der zweiten Ausführungsform durchgeführt werden kann.
  • Obwohl im Unterschied zu der zweiten Ausführungsform zwei zweidimensionale Positionserfassungseinrichtungen 9 vorgesehen sind, kann die Verarbeitung ähnlich wie in der zweiten Ausführungsform durchgeführt werden, indem Markierungen an zwei Teilen des Tisches 4 erfasst werden.
  • Wenn die Rückkehr zu dem Ausgangspunkt abgeschlossen ist, werden die zwei Markierungen des Objekts 5 auf dem Tisch 4 durch zwei zweidimensionale Positionserfassungseinrichtungen 9 erfasst, wobei der Tisch betätigt wird, um in den Richtungen XYθ zu den gespeicherten Positionen von zwei Punkten geführt zu werden.
  • Weiterhin sind gemäß der Ausführungsform die Antriebsmechanismuseinheit 6, der 3-Freiheitsgrade-Mechanismus 16 von 24, 25, 26 und 27 und die Antriebsmechanismuseinheit 6 von 3 der ersten Ausführungsform angeordnet, wobei die Antriebsmechanismuseinheit 6 und der 3-Freiheitsgrade-Mechanismus 16 auch anderen Aufbauten aufweisen können. Im Folgenden werden andere Aufbauten der Antriebsmechanismuseinheit 6 und des 3-Freiheitsgrade-Mechanismus 16 beschrieben.
  • 29 ist eine Ansicht, die ein Beispiel 1 einer anderen Antriebsmechanismuseinheit der Ausführungsvorrichtung gemäß der dritten Ausführungsform der Erfindung zeigt.
  • 30 ist eine Ansicht, die ein Beispiel 2 einer anderen Antriebsmechanismuseinheit der Ausrichtungsvorrichtung gemäß der dritten Ausführungsform der Erfindung zeigt.
  • 31 ist eine Ansicht, die ein Beispiel 3 einer anderen Antriebsmechanismuseinheit der Ausrichtungsvorrichtung gemäß der dritten Ausführungsform der Erfindung zeigt.
  • 32 ist eine Ansicht, die ein Beispiel 4 einer anderen Antriebsmechanismuseinheit der Ausrichtungsvorrichtung gemäß der dritten Ausführungsform der Erfindung zeigt.
  • 33 ist eine Ansicht, die ein Beispiel 5 einer anderen Antriebsmechanismuseinheit der Ausrichtungsvorrichtung gemäß der dritten Ausführungsform der Erfindung zeigt.
  • 34 ist eine Ansicht, die ein Beispiel 6 einer anderen Antriebsmechanismuseinheit der Ausrichtungsvorrichtung gemäß der dritten Ausführungsform der Erfindung zeigt.
  • 35 ist eine Ansicht, die ein Beispiel 7 einer anderen Antriebsmechanismuseinheit der Ausrichtungsvorrichtung gemäß der dritten Ausführungsform der Erfindung zeigt.
  • 36 ist eine Ansicht, die ein Beispiel 8 einer anderen Antriebsmechanismuseinheit der Ausrichtungsvorrichtung gemäß der dritten Ausführungsform der Erfindung zeigt.
  • 37 ist eine Ansicht, die ein Beispiel 9 einer anderen Antriebsmechanismuseinheit der Ausrichtungsvorrichtung gemäß der dritten Ausführungsform der Erfindung.
  • 38 ist eine Ansicht, die ein Beispiel 10 einer anderen Antriebsmechanismuseinheit der Ausrichtungsvorrichtung gemäß der dritten Ausführungsform der Erfindung zeigt.
  • 39 ist eine Ansicht, die ein Beispiel 11 einer anderen Antriebsmechanismuseinheit der Ausrichtungsvorrichtung gemäß der dritten Ausführungsform der Erfindung zeigt.
  • 40 ist eine Ansicht, die ein Beispiel 12 einer anderen Antriebsmechanismuseinheit der Ausrichtungsvorrichtung gemäß der dritten Ausführungsform der Erfindung.
  • 41 ist eine Ansicht, die ein Beispiel 13 einer anderen Antriebsmechanismuseinheit der Ausrichtungsvorrichtung gemäß der dritten Ausführungsform der Erfindung zeigt.
  • 42 ist eine Ansicht, die ein Beispiel 14 einer anderen Antriebsmechanismuseinheit der Ausrichtungsvorrichtung gemäß der dritten Ausführungsform der Erfindung zeigt.
  • 43 ist eine Ansicht, die ein Beispiel 15 einer anderen Antriebsmechanismuseinheit der Ausrichtungsvorrichtung gemäß der dritten Ausführungsform der Erfindung zeigt.
  • 45 ist eine Ansicht, die ein Beispiel 1 eines anderen 3-Freiheitsgrad-Mechanismus der Ausrichtungsvorrichtung gemäß der dritten Ausführungsform der Erfindung zeigt.
  • 46 ist eine Ansicht, die ein Beispiel 2 eines anderen 3-Freiheitsgrad-Mechanismus der Ausrichtungsvorrichtung gemäß der dritten Ausführungsform der Erfindung zeigt.
  • In 2 und 23 sind eine Anordnung der Antriebsmechanismuseinheit 6 und des 3-Freiheitsgrade-Mechanismus 16 der Ausführungsform gezeigt, wobei aber auch andere Anordnungen verwendet werden können. Die Erfindung ist nicht auf die im folgenden beschriebenen Anordnungsbeispiele beschränkt.
  • 47 ist eine Draufsicht, die die Anordnung der Antriebsmechanismuseinheit oder des 3-Freiheitsgrade-Mechanismus der Ausrichtungsvorrichtung gemäß der dritten Ausführungsform der Erfindung zeigt.
  • 48 ist eine Draufsicht, die ein Anordnungsbeispiel 1 einer anderen Antriebsmechanismuseinheit oder eines 3-Freiheitsgrade-Mechanismus zeigt.
  • 49 ist eine Draufsicht, die ein Anordnungsbeispiel 2 einer anderen Antriebsmechanismuseinheit oder eines 3-Freiheitsgrade-Mechanismus der Ausrichtungsvorrichtung gemäß der dritten Ausführungsform der Erfindung zeigt.
  • 50 ist eine Draufsicht, die ein Anordnungsbeispiel 3 einer anderen Antriebsmechanismuseinheit oder eines 3-Freiheitsgrade-Mechanismus der Ausrichtungsvorrichtung gemäß der dritten Ausführungsform der Erfindung zeigt.
  • Es können eine Antriebsmechanismuseinheit 6 oder ein 3-Freiheitsgrade-Mechanismus 16 mit einer bestimmten Anordnung gewählt werden, die für eine Operation oder Funktion des Tisches 4 geeignet ist.
  • Wenn bei dem oben beschriebenen Aufbau eine Rückkehr zu dem Ausgangspunkt ähnlich wie in der ersten oder zweiten Ausführungsform der Erfindung realisiert wird, kann die Befehlseinrichtung 8 einen genauen Betriebsbefehl erzeugen, sodass die XYθ-Betätigung des Tisches 4 genau realisiert werden kann, indem der Motor 3 betrieben wird.
  • Ausführungsform 4
  • 51 enthält ein schematisches Diagramm und ein Steuerblockdiagramm einer Ausrichtungsvorrichtung gemäß einer vierten Ausführungsform der Erfindung.
  • 52 ist eine Draufsicht, die die Anordnung einer Antriebsmechanismuseinheit der Ausrichtungsvorrichtung gemäß der vierten Ausführungsform der Erfindung zeigt.
  • 53 ist eine Ansicht, die einen 2-Freiheitsgrade-Mechanismus der Ausrichtungsvorrichtung der vierten Ausführungsform der Erfindung zeigt.
  • Die Ausführungsform ist ein Beispiel für einen in den Richtungen Yθ betätigten Tisch.
  • In den Zeichnungen gibt das Bezugszeichen 1 den Motor (Linearmotor 1L) an, gibt das Bezugszeichen 2 die Erfassungseinrichtung an, gibt das Bezugszeichen 3 die Steuereinrichtung an, gibt das Bezugszeichen 4 den Tisch an, gibt das Bezugszeichen 5 das Objekt an, gibt das Bezugszeichen 6 die Antriebsmechanismuseinheit an, gibt das Bezugszeichen 7 den Maschinenbasisteil an, gibt das Bezugszeichen 8 die Befehlseinrichtung an, gibt das Bezugszeichen 11 den Translationsfreiheitsgradteil an, gibt das Bezugszeichen 12 den Translationsantriebsteil an, gibt das Bezugszeichen 13 den Drehfreiheitsgradteil an, gibt das Bezugszeichen 21 die Direktvorschubführung an, gibt das Bezugszeichen 22 den Direktvorschubführungsblock an, gibt das Bezugszeichen 23 das Drehlager an, gibt das Bezugszeichen 41 die Maschinenfixierungseinrichtung an, gibt das Bezugszeichen 42 die Maschinenfixierungsbezugspositions-Speichereinrichtung an und gibt das Bezugszeichen 47 eine Absolutposition-Speichereinrichtung an. Weiterhin ist die Erfassungseinrichtung 2 mit der Absolutpositions-Speichereinrichtung 47 vom Absolutwerttyp.
  • Diese Ausführungsform unterscheidet sich von der ersten bis dritten Ausführungsform dadurch, dass der Tisch 4 mit zwei Freiheitsgraden versehen ist und in den Richtungen Yθ betätigt wird. Das Drehzentrum des Tisches 4 ist mit einem in 53 gezeigten 2-Freiheitsgrade-Mechanisus versehen. Zwei Antriebsmechanismuseinheiten 6 sind mit einem Linearmotor 1L angeordnet und werden für eine translatorische Bewegung in der Y-Richtung betätigt.
  • 54 ist eine Ansicht, die eine Translationsbewegung eines Tisches der Ausrichtungsvorrichtung gemäß der vierten Ausführungsform der Erfindung zeigt.
  • 55 ist eine Ansicht, die die Drehbewegung des Tisches der Ausrichtungsvorrichtung gemäß der vierten Ausführungsform der Erfindung zeigt.
  • Obwohl es schwierig ist, einen Aufbau der Ausrichtungsvorrichtung für eine Betätigung in den Richtungen XYθ in einem langen Hub vorzusehen, kann die Ausrichtungsvorrichtung gemäß dieser Ausführungsform nicht in der X-Richtung bewegt werden, sodass die Ausrichtungsvorrichtung durch einen langen Hub in der Y-Richtung bewegt werden kann.
  • Auch wenn der Tisch wie in der vorliegenden Ausführungsform in den Richtungen Yθ betätigt wird, stellt sich das Problem von 6 und 7. Jedoch bildet der 2-Freiheitsgrade-Mechanismus das Drehzentrum des Tisches wie in 52 gezeigt, wobei die Linearmotoren 1L der zwei Antriebsmechanismuseinheiten 6 in der Y-Richtung angeordnet sind, um eine Tangentiallinie von dem Drehzentrum des Tisches 4 zu bilden, sodass die absoluten Werte der Bewegungsgrößen der Linearmotoren 1L bei einer Drehung um denselben Winkel in einer Richtung und in der entgegen gesetzten Richtung des Tisches 4 gleich sind. Wenn die Distanzen der zwei Antriebsmechanismuseinheiten 6 von dem Drehzentrum gleich sind, sind die absoluten Werte der Bewegungsgrößen der Linearmotoren 1L bei einer Drehung des Tisches gleich.
  • Das Problem, dass die Bewegungsgrößen der Linearmotoren 1L kein gleiches Intervall bilden, auch wenn der Tisch um einen Drehwinkel mit einem gleichen Intervall gedreht wird, stellt sich genau so wie in der ersten Ausführungsform.
  • 56 ist ein Flussdiagramm, das ein Verfahren zum Zurückkehren zu einem Ausgangspunkt in der Ausrichtungsvorrichtung gemäß der vierten Ausführungsform der Erfindung zeigt.
  • Es muss ein Befehl zum Drehen des Tisches 4 berechnet werden, um einen Bezug für die Maschinenausgangspunktposition vorzusehen, wobei die Rückkehr zu dem Ausgangspunkt durch eine in 54 gezeigte Prozedur bewerkstelligt wird. Weiterhin unterscheidet sich das Verfahren von denjenigen der ersten und der zweiten Ausführungsform.
  • In Schritt STP1C wird die Differenz zwischen der Maschinenausgangspunktposition und der Fixierungsbezugsposition gespeichert oder zuvor durch die Maschinenausgangspunkt-Speichereinrichtung eingegeben.
  • In Schritt STP2C wird der Antriebsmechanismus des Tisches mechanisch an der Fixierungsbezugsposition der Ausrichtungsvorrichtung fixiert.
  • In Schritt STP3C wird die Fixierungsbezugsposition durch die Erfassungseinrichtung erfasst.
  • In Schritt STP4C wird die Bewegungsgröße zu der Maschinenausgangspunktposition von einer aktuellen Position (Fixierungsbezugsposition) durch die Maschinenausgangspunktpositions-Berechnungseinrichtung berechnet. Die Schritte STP1C bis STP4C sind identisch mit denjenigen der ersten Ausführungsform.
  • In Schritt STP5C wird die Maschinenausgangspunktposition in der Absolutpositions-Speichereinrichtung an der Erfassungseinrichtung als absoluter Wert gespeichert.
  • Danach wird eine routinemäßige Verarbeitung nach einer vorübergehenden Unterbrechung und der erneuten Zufuhr der Stromversorgung durchgeführt.
  • In Schritt STP6C wird die absolute Position der Maschinenausgangspunktposition oder der Fixierungsbezugsposition aus der Absolutpositions-Speichereinrichtung abgerufen.
  • In Schritt STP7C wird der Tisch zu der Maschinenausgangspunktposition bewegt.
  • Wie oben beschrieben, wird die Rückkehr zu dem Ausgangspunkt abgeschlossen, sodass die Ausrichtungsvorrichtung betätigt werden kann.
  • Die oben beschriebene Verarbeitung wird im Folgenden im Detail erläutert.
  • Die Schritte STP1C bis STP4C sind identisch mit denjenigen der ersten Ausführungsform.
  • In Schritt STP2C wird der Antriebsmechanismus oder der Tisch mechanisch an der Fixierungsbezugsposition der Ausrichtungsvorrichtung fixiert, wobei der Tisch 4 wie in 52 fixiert wird, sodass die Differenz gleich 0 ist und der Schritt STP1C zum Speichern oder Eingeben der Differenz zwischen der Maschinenausgangspunktposition und der Fixierungsbezugsposition ausgelassen werden kann.
  • Die Antriebseinheit 6 wird durch zwei Maschinenfixierungseinrichtungen 41 fixiert. Die Antriebseinheit 6 wird wie in 10 der ersten Ausführungsform gezeigt fixiert. Der Tisch 4 wird in den Richtungen Yθ betätigt, sodass zwei Punkte fixiert werden können. In Schritt STP3C wird die Fixierungsbezugsposition durch die Erfassungseinrichtung erfasst, sodass die Fixierungsposition erkannt werden kann.
  • Wie in 52 gezeigt, entspricht die Fixierungsbezugsposition der Maschinenausgangspunktposition, sodass der Schritt STP4C zum Berechnen einer Bewegungsgröße zu der Maschinenausgangspunktposition von der aktuellen Position (Fixierungsbezugsposition) durch die Maschinenausgangspunktpositions-Berechnungseinrichtung ausgelassen werden kann.
  • Die Schritte STP1C bis STP4C sind mit denjenigen der ersten Ausführungsform identisch.
  • In Schritt STP5C wird die Maschinenausgangspunktposition in der Absolutpositions-Speichereinrichtung an der Erfassungseinrichtung als absoluter Wert gespeichert. Es werden zwei Antriebsmechanismuseinheiten 6 für eine Yθ-Betätigung verwendet, sodass die Maschinenausgangspunktposition in zwei Absolutpositions-Speichereinrichtungen 47 gespeichert wird.
  • Die Erfassungseinrichtung 2 des Absolutwerttyps ist wie oben beschrieben eingerichtet.
  • Danach wird die routinemäßige Verarbeitung nach einer vorübergehenden Unterbrechung der Stromversorgung und einer erneuten Zufuhr der Stromversorgung ausgeführt.
  • Weil die Erfassungseinrichtung 2 des Absolutwerttyps verwendet wird, wird die Rückkehr zu dem Ausgangspunkt abgeschlossen, wenn in Schritt STP6C für die zwei Antriebsmechanismuseinheiten 6 zwei absolute Werte für die Maschinenausgangspunktposition oder die Fixierungsbezugsposition abgerufen werden.
  • Auch wenn die Erfassungseinrichtung 2 des Absolutwerttyps verwendet wird, muss die tatsächliche Maschinenausgangspunktposition erfasst werden, sodass die Maschinenausgangspunktposition als absoluter Wert gespeichert wird, indem die Vorrichtung an der Fixierungsbezugsposition oder der Maschinenausgangspunktposition wie in der Ausführungsform (52) durch die Maschinenfixierungseinrichtung 41 fixiert wird.
  • Es kann also eine Ausrichtungsvorrichtung realisiert werden, die genau in den Richtungen Yθ betätigt werden kann, indem sie wie oben beschrieben zu dem Ausgangspunkt zurückkehrt.
  • Während in dieser Ausführungsform ein Tisch mit zwei Freiheitsgraden, der in den Richtungen Yθ betätigt wird, verwendet wird, kann die Rückkehr zu dem Ausgangspunkt auch ausgeführt werden, indem eine ähnliche Verarbeitung in einem Tisch mit drei Freiheitsgraden, der in den Richtungen XYθ betätigt wird, wie in der ersten, zweiten oder dritten Ausführungsform ausgeführt wird.
  • Während in dieser Ausführungsform die Ausrichtungsvorrichtung, die in den Richtungen Yθ betätigt wird, durch die Antriebsmechanismuseinheit 6 von 3 der ersten Ausführungsform und den 2-Freiheitsgrad-Mechanismus 17 von 53 mit dem Aufbau von 51 und 52 realisiert wird, kann die Vorrichtung auch den folgenden Aufbau aufweisen.
  • 57 enthält ein schematisches Diagramm und ein Steuerblockdiagramm, die ein anderes Beispiel 1 der Ausrichtungsvorrichtung gemäß der vierten Ausführungsform der Erfindung zeigen, 58 ist eine Draufsicht, die die Anordnung einer Antriebsmechanismuseinheit des anderen Beispiels 1 der Ausrichtungsvorrichtung gemäß der vierten Ausführungsform der Erfindung zeigt, und 58 ist eine Ansicht, die einen 2-Freiheitsgrade-Antriebsmechanismus einer Ausrichtungsvorrichtung gemäß einer sechsten Ausführungsform der Erfindung zeigt.
  • Der Unterschied zu 51 und 52 liegt darin, dass zusätzlich ein 3-Freiheitsgrade-Mechanismus 16 vorgesehen ist. Weiterhin sind zwei Antriebseinheiten 6 entfernt zueinander in der vertikalen Richtung der Zeichnung und in der Längsrichtung des Tisches 4 angeordnet. Weiterhin ist der 2-Freiheitsgrade-Antriebsmechanismus 18 mit dem Motor 1 an dem 2-Freiheitsgrade-Mechanismus 17 in dem Drehzentrum des Tisches 4 angeordnet. Zusätzlich sind die zweidimensionale Positionserfassungseinrichtung 9 und die zweidimensionale Bildverarbeitungseinrichtung 10 vorgesehen. Um zu dem Ausgangspunkt zurückzukehren, sind ähnlich wie in der ersten Ausführungsform die Maschinenfixierungseinrichtung 41, die Maschinenfixierungsbezugspositions-Speichereinrichtung 42, die Maschinenausgangspunkt-Speichereinrichtung 43 und die Maschinenausgangspunktrückkehrgrößen-Berechnungseinrichtung 45 vorgesehen. Weiterhin ist die Erfassungseinrichtung 2 vom Inkrementwerttyp.
  • Die Antriebseinheiten 6 sind an den Positionen A und B von 58 angeordnet, die 3-Freiheitsgrade-Mechanismen 16 sind an den Positionen E und D angeordnet, und der 2-Freiheitsgrade-Antriebsmechanismus 18 ist an einer Position C angeordnet.
  • Auch wenn der Tisch in dieser Ausführungsform in den Richtungen Yθ betätigt wird, stellt sich das Problem von 6 und 7 der ersten Ausführungsform. Die Antriebsmechanismuseinheit 6 bildet keine Tangentiallinie von dem Drehzentrum des Tisches wie in der Ausführungsform 4, sodass sich die Bewegungsgrößen des Linearmotors 1L in der Y-Richtung bei einer Drehung des Tisches 4 in einer Richtung und in der entgegen gesetzten Richtung unterscheiden.
  • Mit diesem Aufbau kann eine Betätigung in den Richtungen θ bewerkstelligt werden, sodass, wenn der Tisch 4 durch die Maschinenfixierungseinrichtung 41 fixiert wird, der Tisch 4 durch eine Maschinenfixierungseinrichtung 41 wie in 58 gezeigt fixiert werden kann. Der Tisch 4 und der Maschinenbasisteil 7 können fixiert werden, indem der Tisch 4 und der Maschinenbasisteil 7 wie in 19 gezeigt durch die Prozedur von 17 der zweiten Ausführungsform positioniert werden.
  • Ähnlich wie in der ersten Ausführungsform sind die Maschinenfixierungseinrichtung 41, die Maschinenfixierungsbezugspositions-Speichereinrichtung 42, die Maschinenausgangspunkt-Speichereinrichtung 43 und die Maschinenausgangspunktrückkehrgrößen-Berechnungseinrichtung 45 vorgesehen, sodass die Rückkehr zu dem Ausgangspunkt ähnlich wie in der ersten Ausführungsform durchgeführt werden kann. Weiterhin kann die Rückkehr zu dem Ausgangspunkt ähnlich wie in der zweiten Ausführungsform durchgeführt werden, indem die Bezugsbildpositions-Speichereinrichtung 48, die zweidimensionale Erfassungseinrichtung 9 und die zweidimensionale Bildverarbeitungseinrichtung 10 verwendet werden, die nicht in 58 gezeigt sind. Wenn weiterhin die Erfassungseinrichtung 2 zu einem Absolutwerttyp mit der Absolutpositions-Speichereinrichtung 47 geändert wird, kann die Rückkehr zu dem Ausgangspunkt ähnlich wie in der dritten Ausführungsform durchgeführt werden.
  • 59 enthält ein schematisches Diagramm und ein Steuerblockdiagramm, die ein anderes Beispiel 2 der Ausrichtungsvorrichtung gemäß der vierten Ausführungsform der Erfindung zeigen.
  • 60 ist eine Draufsicht, die die Anordnung einer Antriebsmechanismuseinheit des anderen Beispiels 2 der Ausrichtungsvorrichtung gemäß der vierten Ausführungsform der Erfindung zeigt.
  • 61 ist eine Ansicht, die einen 2-Freiheitsgrade-Antreibsmechanismus des anderen Beispiels 2 der Ausrichtungsvorrichtung gemäß der vierten Ausführungsform der Erfindung zeigt.
  • 62 ist eine Ansicht, die ein Beispiel 1 eines anderen 2-Freiheitsgrade-Mechanismus der Ausrichtungsvorrichtung gemäß der vierten Ausführungsform der Erfindung zeigt.
  • 63 ist eine Ansicht, die ein Beispiel 2 eines anderen 2-Freiheitsgrade-Mechanismus der Ausrichtungsvorrichtung gemäß der vierten Ausführungsform der Erfindung zeigt.
  • Der Unterschied zu 57 und 58 besteht darin, dass das Drehzentrum des Tisches 4 zu dem 2-Freiheitsgrade-Antriebsmechanismus 18 mit dem Motor 1 an dem 2-Freiheitsgrade-Mechanismus 17 wie in 61 gezeigt hinzugefügt ist. Die zweidimensionale Positionserfassungseinrichtung 9 und die zweidimensionale Bildverarbeitungseinrichtung sind nicht in den Zeichnungen gezeigt.
  • Die Maschinenfixierungseinrichtung 41 fixiert die Punkte des Antriebsmechanismus 46 der Antriebsmechanismuseinheit 6 und des 3-Freiheitsgrade-Mechanismus 16 anders als in 57 und 58. Die Vorrichtung kann fixiert werden, indem sie wie in 10 gezeigt durch die Prozedur von 9 der ersten Ausführungsform positioniert wird.
  • Die Rückkehr zu dem Ausgangspunkt kann ähnlich wie in der ersten Ausführungsform durchgeführt. Weiterhin kann die Rückkehr zu dem Ausgangspunkt ähnlich wie in der zweiten und der dritten Ausführungsform unter Verwendung einer entsprechenden Vorrichtung durchgeführt werden.
  • Weiterhin kann der 2-Freiheitsgrade-Antriebsmechanismus 18 den Aufbau von 62 oder 63 aufweisen.
  • Auf diese Weise kann eine Betätigung in den Richtungen Yθ bewerkstelligt werden, sodass die Yθ-Betätigung des Tisches 4 genau ausgeführt werden kann, indem der Motor 3 betrieben wird, der Tisch 4 durch die Maschinenfixierungseinrichtung 41 fixiert wird und die Rückkehr zu dem Ausgangspunkt durchgeführt wird.
  • Ausführungsform 5
  • 64 enthält ein schematisches Diagramm und ein Steuerblockdiagramm einer Ausrichtungsvorrichtung gemäß einer fünften Ausführungsform der Erfindung, 65 ist eine Draufsicht auf die Ausrichtungsvorrichtung gemäß der fünften Ausführungsform der Erfindung und zeigt die Anordnung der Antriebsmechanismuseinheit, und 66 ist eine Ansicht, die eine Drehbewegung eines Tisches der Ausrichtungsvorrichtung gemäß der fünften Ausführungsform der Erfindung zeigt.
  • Diese Ausführungsform ist ein Beispiel für einen Tisch, der in der Richtung θ betätigt wird. Der Tisch wird durch einen Mechanismus mit einem Freiheitsgrad in der Richtung θ gedreht, indem die Antriebsmechanismuseinheit 6 verwendet wird und ein 1-Freiheitsgrad-Drehmechanismus 19 an dem Tisch 4 angeordnet ist. Der 1-Freiheitsgrad-Drehmechanismus 19 wird durch eine Kurvenführung 24 und einen Kurvenführungsblock gebildet.
  • Wie in 66 gezeigt, kann der Tisch 4 betätigt werden, um durch die Translationsbewegung des Translationsantriebsteils 12 der Antriebsmechanismuseinheit 6 gedreht zu werden. Während in der ersten Ausführungsform die Antriebsmechanismuseinheit 6 von 3 verwendet wird, bleibt die Funktion auch dann unverändert, wenn eine Antriebsmechanismuseinheit 6 mit einem anderen Aufbau verwendet wird.
  • Die Antriebsmechanismuseinheit 6 ist in einer Tangentialrichtung eines Drehkreises befestigt, sodass sich das Problem von 6 und 7 der ersten Ausführungsform stellt, dass nämlich auch bei gleichen absoluten Werten der Bewegungsgrößen des Linearmotors 1L, wenn der Tisch 4 um denselben Winkel in einer Richtung und in der entgegen gesetzten Richtung gedreht wird, der Drehwinkel des Tisches 4 mit der Position des Linearmotors 1L des beweglichen Teils der Antriebsmechanismuseinheit 6 variiert.
  • Deshalb wird die Rückkehr zu dem Ausgangspunkt durchgeführt, indem der Tisch 4 durch eine Maschinenfixierungseinrichtung 41 fixiert wird. Der Tisch 4 kann fixiert werden, indem er wie in 19 gezeigt durch die Prozedur von 17 der zweiten Ausführungsform positioniert wird.
  • Die Rückkehr zu dem Ausgangspunkt kann ähnlich wie in der ersten Ausführungsform durchgeführt werden. Weiterhin kann die Rückkehr zu dem Ausgangspunkt ähnlich wie in der zweiten und der vierten Ausführungsform unter Verwendung einer entsprechenden Vorrichtung durchgeführt werden.
  • Es kann eine genaue Ausrichtung in der Richtung θ bewerkstelligt werden, indem die oben beschriebene Rückkehr zu dem Ausgangspunkt durchgeführt wird.
  • Während die Ausrichtung in der Richtung θ in dieser Ausführungsform durch den Aufbau von 64 und 65 bewerkstelligt wird, kann die Ausführungsform jedoch auch den folgenden Aufbau aufweisen.
  • 67 enthält ein schematisches Diagramm und ein Steuerblockdiagramm, die ein anderes Beispiel 1 der Ausrichtungsvorrichtung gemäß der fünften Ausführungsform zeigen, und 68 ist eine Draufsicht, die eine Anordnung des Antriebsmechanismus des anderen Beispiels 1 der Ausrichtungsvorrichtung gemäß der fünften Ausführungsform zeigt.
  • Der Unterschied zu 64 und 65 besteht darin, dass der 3-Freiheitsgrade-Mechanismus 16 hinzugefügt ist. Weiterhin ist ein 1-Freiheitsgrad-Drehmechanismus 19 als Drehfreiheitsgradteil 13 vorgesehen. Zusätzlich dazu ist die Maschinenfixierungseinrichtung 41 an dem Antriebsmechanismus 46 fixiert, der den 3-Freiheitsgrade-Mechanismus 16 bildet. Die Vorrichtung kann fixiert werden, indem sie wie in 10 gezeigt durch die Prozedur von 9 der ersten Ausführungsform positioniert wird.
  • Die Rückkehr zu dem Ausgangspunkt kann ähnlich wie in der ersten Ausführungsform durchgeführt werden. Weiterhin kann die Rückkehr zu dem Ausgangspunkt ähnlich wie in der zweiten und in der dritten Ausführungsform unter Verwendung einer entsprechenden Vorrichtung durchgeführt werden.
  • Mit diesem Aufbau kann eine Betätigung in der Richtung θ bewerkstelligt werden, sodass die Yθ-Betätigung des Tisches 4 genau vorgesehen werden kann, indem der Tisch 4 durch die Maschinenfixierungseinrichtung 41 fixiert wird und die Rückkehr zu dem Ausgangspunkt durchgeführt wird.
  • Beispiel 6
  • 69 ist eine Draufsicht und eine Seitenansicht eines Drehtisches mit einer Ausrichtungsvorrichtung gemäß einer sechsten Ausführungsform der Erfindung, und 70 enthält Ansichten, die einen Tisch eines Translationstisches mit der Ausrichtungsvorrichtung gemäß der sechsten Ausführungsform der Erfindung und eine Drehbewegung des Translationstisches zeigen.
  • Die Ausrichtungsvorrichtung der ersten Ausführungsform ist über dem Drehtisch montiert.
  • Der Drehtisch bildet einen 1-Freiheitsgrad-Drehmechanismus 19, der den Drehmotor 1R, die Kurvenführung 24 und den Kurvenführungsblock 25 umfasst.
  • Es ist ein zweischichtiger Aufbau vorgesehen und die Höhe ist vergrößert. Und während die Ausrichtungsvorrichtung beschaffen sein kann, um sich wie in 70(a) gezeigt um eine kleine Distanz zu drehen, wird der Drehtisch durch einen Aufbau gebildet, der eine Drehung um eine große Distanz wie in
  • 70(b) gezeigt ausführen kann. Die Ausrichtungsvorrichtung führt eine feine Betätigung durch. Dadurch wird der Betriebsbereich verbreitert und werden die Nutzungsmöglichkeiten erweitert. Die Ausrichtungsvorrichtung ist dieselbe wie in der ersten Ausführungsform, sodass die Antriebsmechanismuseinheit 6 ähnlich wie in der ersten Ausführungsform fixiert werden kann. Weiterhin kann die Rückkehr zum Ausgangspunkt ähnlich wie in der ersten Ausführungsform durchgeführt werden. Weiterhin kann die Rückkehr zum Ausgangspunkt ähnlich wie in der zweiten oder in der vierten Ausführungsform unter Verwendung einer entsprechenden Vorrichtung durchgeführt werden.
  • Während die Antriebsmechanismuseinheit 6 von 3 der ersten Ausführungsform verwendet wird, bleibt die Funktion auch dann unverändert, wenn eine Antriebsmechanismuseinheit 6 mit einem anderen Aufbau verwendet wird.
  • Es kann eine Ausrichtungsvorrichtung realisiert werden, die in den Richtungen XYθ betätigt werden und genau zu dem Ausgangspunkt zurückkehren kann. Weiterhin kann ein Drehtisch einschließlich der genau in den Richtungen XYθ betätigten Ausrichtungsvorrichtung realisiert werden.
  • Ausführungsform 7
  • 71 enthält eine Draufsicht und eine Seitenansicht eines Translationstisches mit einer Ausrichtungsvorrichtung gemäß einer siebten Ausführungsform der Erfindung und zeigt die Anordnung einer Antriebsmechanismuseinheit und eines Antriebsmechanismusteils.
  • Die in der Richtung θ betätigte Ausrichtungsvorrichtung gemäß der fünften Ausführungsform ist über einer Translationsstufe montiert.
  • In der Zeichnung sind nur die Ausrichtungsvorrichtung und der Translationstisch gezeigt, wobei die Rückkehr zu dem Ausgangspunkt in der Ausrichtungsvorrichtung ähnlich wie in der ersten, zweiten oder vierten Ausführungsform durchgeführt werden kann, indem entsprechende Einrichtungen vorgesehen werden.
  • Die Ausrichtungsvorrichtung, die genau in der Richtung θ betätigt werden kann, indem die Rückkehr zu dem Ausgangspunkt durchgeführt wird, kann wie oben beschrieben realisiert werden. Weiterhin kann ein Translationstisch einschließlich der in der Richtung θ betätigten Ausrichtungsvorrichtung realisiert werden.
  • Ausführungsform 8
  • 72 ist eine Draufsicht eines Maschinensteuersystems eines Portalmechanismus für eine Maschine mit einer Ausrichtungsvorrichtung gemäß einer achten Ausführungsform der Erfindung.
  • 73 ist eine Ansicht, die den Betrieb des Portalmechanismus der Maschine mit der Ausrichtungsvorrichtung gemäß der achten Ausführungsform der Erfindung zeigt.
  • 74 ist eine Ansicht, die die Ausrichtungsvorrichtung des Portalmechanismus der Maschine mit der Ausrichtungsvorrichtung gemäß der achten Ausführungsform der Erfindung und den Betrieb des Portalmechanismus zeigt.
  • Die Ausrichtungsvorrichtung der ersten Ausführungsform ist an dem Maschinensteuersystem des Portalmechanismus montiert.
  • In dem Portalmechanismus wird ein beweglicher Portalteil 63 durch einen biaxialen Antriebsmechanismusteil 59 betätigt. Der Antriebsmechanismusteil 59 ist auch an dem beweglichen Portalteil 63 vorgesehen, wobei eine Betätigung in den Richtungen XY durch den Portalmechanismus durchgeführt werden kann. Weiterhin sind zwei zweidimensionale Positionserfassungseinrichtungen 9 an dem beweglichen Portalteil 63 befestigt, die über der Ausrichtungsvorrichtung bewegt werden können, indem der bewegliche Portalteil 63 bewegt wird. Die an dem Tisch 4 oder dem Objekt 5 der Ausrichtungsvorrichtung angebrachte Markierung kann erfasst werden. Die Maschinenfixierungseinrichtung 41 der Ausrichtungsvorrichtung ist ähnlich an der ersten Ausführungsform befestigt, wobei die Rückkehr zu dem Ausgangspunkt ähnlich wie in der ersten Ausführungsform durchgeführt werden kann. In der Zeichnung sind nur die Ausrichtungsvorrichtung, der Portalmechanismus und die zweidimensionale Positionserfassungseinrichtung 9 gezeigt, wobei die Rückkehr zu dem Ausgangspunkt in der Ausrichtungsvorrichtung jedoch ähnlich wie in der ersten, der zweiten und der vierten Ausführungsform unter Verwendung von entsprechenden Einrichtungen durchgeführt werden kann.
  • Wenn die Rückkehr zu dem Ausgangspunkt abgeschlossen ist, kann die Ausrichtungsvorrichtung in den Richtungen XYθ betätigt werden, sodass auf der Basis der Markierung des Objekts 5 auf dem Tisch 4, der in den Richtungen XYθ bewegt. werden soll, eine Verschiebung unter Verwendung von zwei zweidimensionalen Positionserfassungseinrichtungen 9 korrigiert werden kann.
  • Das Bezugszeichen (4) in 74 gibt eine Ausgangsposition des Objekts 5 auf dem Tisch 4 der Ausrichtungsvorrichtung 60 wieder. Wenn das Objekt 5 durch die zweidimensionale Positionserfassungseinrichtung 9 erfasst und durch die zweidimensionale Bildverarbeitungseinrichtung 10 (nicht gezeigt) verarbeitet wird, kann eine Verschiebungsgröße in den Richtungen XYθ wie in 21 gezeigt erfasst werden.
  • Bei dem Maschinensteuersystem dieser Ausführungsform muss der Portalmechanismus in den Richtungen XY auf einem Ort betätigt werden, der auf dem Objekt 5 in dem Zustand (0) von 74 durch eine Strichlinie angegeben ist. Die Betätigung kann derart durchgeführt werden, dass sie innerhalb des Zustand (4) von 74 bleibt, sodass die XYθ-Position des Objekts 5 durch die Ausrichtungsvorrichtung 60 korrigiert werden kann.
  • Wenn der Tisch 4 der Ausrichtungsvorrichtung 60 um eine Drehverschiebungsgröße δθ bewegt wird, wird der Zustand (3) von 74 erreicht und wird die Drehverschiebung beseitigt. Wenn der Tisch 4 der Ausrichtungsvorrichtung 60 weiterhin um eine Verschiebungsgröße δY bewegt wird, wird der Zustand (1) erreicht. Und wenn der Tisch 4 der Ausrichtungsvorrichtung 60 um eine Verschiebungsgröße δX in der X-Richtung bewegt wird, wird aus dem Zustand (3) zu dem Zustand (2) übergegangen. Wenn die Verschiebungsgröße in den Richtungen XY durch die Translationsbewegung des Tisches 4 der Ausrichtungsvorrichtung 60 korrigiert werden kann, geht das Objekt zu dem Zustand (0) von 74 über. Der Portalmechanismus kann also in den Richtungen XY betätigt werden.
  • Um eine derartige Betätigung auszuführen, ist eine genaue Betätigung der Ausrichtungsvorrichtung in den Richtungen XYθ erforderlich, was möglich ist, weil die Rückkehr zu dem Ausgangspunkt durchgeführt wird.
  • Die Ausrichtungsvorrichtung wird wie in der ersten oder in der zweiten Ausführungsform fixiert und die Rückkehr zu dem Ausgangspunkt wird wie in der ersten, der zweiten oder der vierten Ausführungsform durchgeführt, sodass die Vorrichtung genau in den Richtungen XYθ betätigt werden kann und durch die XY-Betätigung des Portalmechanismus ein Maschinensteuersystem zum Bearbeiten des Objekts 5 vorgesehen wird.
  • Ausführungsform 9
  • 75 enthält eine Draufsicht und eine Seitenansicht eines Maschinensteuersystems eines Portalmechanismus sowie eines Fixierungsmechanismus des Gattertyps für eine Maschine mit einer Ausrichtungsvorrichtung gemäß einer neunten Ausführungsform der Erfindung.
  • Es ist ein Aufbau vorgesehen, in dem ein Tisch ein Portal antreiben und drehen kann, indem auch die Ausrichtungsvorrichtung gemäß der vierten Ausführungsform in Kombination mit einem Fixierungsmechanismus des Gattertyps verwendet wird. Obwohl der Fixierungsmechanismus des Gattertyps den Antriebsmechanismusteil 59 in der X-Richtung umfasst, ist der Fixierungsmechanismus des Gattertyps fixiert.
  • Die Ausrichtungsvorrichtung 60 kann in der Y-Richtung über eine große Distanz bewegt werden und kann in der θ-Richtung wie in der vierten Ausführungsform bewegt werden. Der Fixierungsmechanismus des Gattertyps kann in der X-Richtung bewegt werden, sodass eine Betätigung in den Richtungen XYθ-durch das gesamte Maschinensteuersystem durchgeführt werden kann.
  • Die Markierung des Tisches 4 oder des Objekts 5 kann durch die zweidimensionale Positionserfassungseinrichtung 9 erfasst werden, indem der Tisch 4 der Ausrichtungsvorrichtung 60 in der Y-Richtung bewegt wird. Wenn die Betätigung von 74 der achten Ausführungsform durchgeführt wird, kann die Ausrichtungsvorrichtung 60 der Ausführungsform das Objekt nicht in der X-Richtung korrigieren, sodass die Betätigung durchgeführt wird, indem der Zustand (3) von 74 herbeigeführt wird, um eine Bewegung um δθ vorzusehen, oder der Zustand (1) von 74 herbeigeführt wird, um ein weitere Korrektur um δY vorzusehen.
  • Die Betätigung in den Richtungen XYθ kann durch das gesamte Maschinensteuersystem durchgeführt werden, sodass δX korrigiert wird, indem zu Beginn ein Betätigungsstartpunkt in der X-Richtung des Antriebsmechanismusteils 59 des Gatterfixierungsmechanismus um δX verschoben wird. δY kann dann korrigiert werden, indem der Zustand (1) von 74 in Abhängigkeit von der Ausrichtungsvorrichtung herbeigeführt wird, oder kann korrigiert werden, indem ein Betätigungsstartpunkt in der Y-Richtung um δY verschoben wird.
  • Bei der Korrektur von δθ stellt sich das Problem von 6 und 7 der ersten Ausführungsform, sodass δθ korrigiert werden kann, indem die Ausrichtungsvorrichtung fixiert wird und das Verfahren gemäß der ersten, der zweiten oder der vierten Ausführungsform ausgeführt wird. In 75 ist der Tisch 4 wie in 58 der vierten Ausführungsform fixiert gezeigt, wobei jedoch zwei Antriebsmechanismuseinheiten 6 wie in 52 der vierten Ausführungsform gezeigt fixiert sein können.
  • Die Maschinenfixierungseinrichtung 41, die Maschinenbezugspositions-Speichereinrichtung 42, die Maschinenausgangspunkt-Speichereinrichtung 43, die Maschinenausgangspunktrückkehrgrößen-Berechnungseinrichtung 45, die Bezugsbildpositions-Speichereinrichtung 48, die Absolutpositions-Speichereinrichtung 47 und die zweidimensionale Bildverarbeitungseinrichtung 10 sind in 75 nicht gezeigt, wobei die Rückkehr zu dem Ausgangspunkt jedoch durch das Verfahren der ersten, der zweiten oder der dritten Ausführungsform durchgeführt werden kann.
  • Wenn die Rückkehr zu dem Ausgangspunkt durchgeführt wird, kann die Betätigung in der Richtung Yθ der Ausrichtungsvorrichtung genau ausgeführt werden, sodass ein genaues Maschinensteuersystem vorgesehen wird.
  • Die Ausrichtungsvorrichtung ist wie in der ersten und in der zweiten Ausführungsform fixiert, wobei die Rückkehr zu dem Ausgangspunkt wie in der ersten, in der zweiten oder in der vierten Ausführungsform durchgeführt wird, sodass eine sehr genaue Yθ-Betätigung durchgeführt werden kann und das Maschinensteuersystem, das eine Bearbeitung des Objekts 5 leisten kann, durch die XY-Betätigung mit der Ausrichtungsvorrichtung vorgesehen wird.
  • Industrielle Anwendbarkeit
  • Die Antriebsmechanismuseinheit ist in einer Ebene des Maschinenbasisteils angeordnet, sodass der Tisch dünner ausgebildet werden kann.
  • Die Erfindung kann auf eine Ausrichtungsvorrichtung oder ähnliches eines Maschinenwerkzeugs angewendet werden, in dem eine Last verteilt gehalten wird, auch wenn der Tisch eine große Größe aufweist.
  • Weil die Ausrichtungsvorrichtung einen dünnen Aufbau aufweist, können die Höhen der Maschine zum Ausführen einer anderen Operation und des gesamten Maschinensteuersystems niedrig vorgesehen werden. Es kann also eine stabile Vorrichtung mit einem niedrigen Schwerpunkt realisiert werden, wodurch die Erzeugung von Vibrationen unterdrückt werden und wodurch der Betrieb und die Funktion des Antriebsmechanismusteils unterstützt werden können. Das heißt, es kann die Funktion des gesamten Maschinensteuersystems verbessert werden.
  • Die Position wird unter Verwendung der Erfassungseinrichtung an der Antriebsmechanismuseinheit gesteuert, sodass auch bei einem großen Tisch für den Fall, dass die Antriebsmechanismuseinheit in Nachbarschaft zu dem Außenumfang des Tisches angeordnet ist, die Auflösung bei der Drehbetätigung des Tisches höher ist als wenn die Position im Zentrum des Tisches erfasst wird, wodurch die Funktion verbessert wird.
  • Weiterhin kann die Höhe der Maschine eines Betätigungsteils über der Ausrichtungsvorrichtung niedrig vorgesehen werden, wodurch die Kosten reduziert werden können, weil Material eingespart werden kann. Weiterhin kann der Teil mit einem geringen Gewicht vorgesehen werden, wodurch die Herstellung/Integration der Maschine vereinfacht wird und außerdem das Maschinensteuersystem vereinfacht werden kann.
  • Durch die Anordnung Antriebsmechanismuseinheit kann ein hohler Aufbau im Zentrum des Tisches vorgesehen werden, der unter Verwendung eines Drehmotors nicht realisiert werden kann, wodurch die Nutzungsmöglichkeiten erweitert werden.
  • Auch wenn die Vorrichtung eine große Größe aufweist, verteilt der Aufbau die Antriebskraft unter Verwendung einer Vielzahl von Standardmotoren, sodass also kein großer Motor verwendet werden muss, wodurch der Vorteil erzielt wird, dass die Komponenten einfacher und günstiger zu beziehen sind als bei einem Spezialprodukt.
  • Zusammenfassung
  • Es wird eine Ausrichtungsvorrichtung zum Drehen eines Tisches durch ein translatorisches Antreiben angegeben, wobei der Tisch genau in den Richtungen XYθ, Yθ oder θ betätigt werden kann.
  • Vier Antriebssysteme zum Antreiben eines Tisches (4) mit einem darauf montierten Objekt (5) umfassen jeweils einen Translationsfreiheitsgradteil (11), einen Translationsantriebsteil (12) und einen Drehfreiheitsgradteil (13), wobei eine Ausrichtungsvorrichtung zu einem Ausgangspunkt zurückkehren kann, indem ein Motor (1) und eine Erfassungseinrichtung (2) an einer Maschinenfixierungseinrichtung (41) vorgesehen werden, der Tisch (4) genau durch die Maschinenfixierungseinrichtung (41) unter Verwendung einer ersten Positionierungseinrichtung und einer zweiten Positionierungseinrichtung sowie einer ersten Positionsfixierungseinrichtung und einer zweiten Positionsfixierungseinrichtung fixiert wird, und eine Erfassungseinrichtungsbezugsposition in einer Erfassungseinrichtungsbezugspositions-Speichereinrichtung (44) gespeichert wird.
  • ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
  • Diese Liste der vom Anmelder aufgeführten Dokumente wurde automatisiert erzeugt und ist ausschließlich zur besseren Information des Lesers aufgenommen. Die Liste ist nicht Bestandteil der deutschen Patent- bzw. Gebrauchsmusteranmeldung. Das DPMA übernimmt keinerlei Haftung für etwaige Fehler oder Auslassungen.
  • Zitierte Patentliteratur
    • - JP 2002-328191 A [0004]
    • - JP 11-425128 A [0004]
    • - JP 2003-316440 A [0004]

Claims (39)

  1. Ausrichtungsvorrichtung zum Betätigen eines Tisches mit einem darauf montierten Objekt in den Richtungen XYθ, Yθ oder θ mittels eines an einem Maschinenbasisteil angeordneten Antriebsmechanismus für eine Positionierung an einer vorbestimmten Position, wobei die Ausrichtungsvorrichtung umfasst: den Antriebsmechanismus, der eine Vielzahl von Antriebsmechanismuseinheiten umfasst, die jeweils gebildet werden durch: einen Mechanismusteil, der zwei Translationsfreiheitsgradteile mit jeweils einem Translationsfreiheitsgrad und einen Drehfreiheitsgradteil mit einem Drehfreiheitsgrad umfasst, und eine Motorsteuereinrichtung, die Motoren zum Antreiben der Freiheitsgradteile der zwei Translationsfreiheitsgradteile und des einen Drehfreiheitsgradteils, eine Erfassungseinrichtung zum Erfassen einer Betätigungsgröße des Mechanismusteils als zu erfassendem Teil, und eine Steuereinrichtung zum Steuern der Motoren umfasst, wobei ein Betriebsbefehl für eine Anzahl von Motoren empfangen wird, die wenigstens der Anzahl der Freiheitsgrade der XYθ, Yθ oder θ-Betätigung des Tisches entspricht, wobei die Antriebsmechanismuseinheiten eine Befehlseinrichtung zum Ausgeben des Betriebsbefehls an die Steuereinrichtung umfassen, wobei der Tisch betätigt wird, um sich translatorisch und drehend in zwei Richtungen der XYθ-Betätigung zu bewegen, um sich translatorisch und drehend in einer Richtung der Vθ-Betätigung zu bewegen oder um sich drehend in der θ-Betätigung zu bewegen, indem die Motoren jeweils in einer Translationsrichtung oder einer Drehrichtung betrieben werden, eine Maschinenausgangspunkt-Speichereinrichtung zum vorausgehenden Speichern oder Eingeben einer Differenz zwischen einer Maschinenausgangspunktposition und einer Fixierungsbezugsposition, eine Maschinenfixierungseinrichtung zum mechanischen Fixieren des Tisches oder des Antriebsmechanismus an der Fixierungsbezugsposition der Ausrichtungsvorrichtung, eine Maschinenfixierungsbezugspositions-Speichereinrichtung zum Erfassen und Speichern einer Anzahl von Maschinenfixierungsbezugspositionen, die wenigstens der Anzahl von Freiheitsgraden des Tisches entspricht, durch die Erfassungseinrichtung, eine Erfassungseinrichtungsbezugspositions-Speichereinrichtung zum Lösen der Maschinenfixierungseinrichtung, zum Erfassen von einer Anzahl von Erfassungseinrichtungsbezugspositionsbezügen, die wenigstens der Anzahl der Freiheitsgrade des Tisches entspricht, durch die Erfassungseinrichtung, indem eine Anzahl von Motoren betrieben werden, die wenigstens der Anzahl der Freiheitsgrade des Tisches entspricht, und zum Speichern von Differenzen zwischen den Erfassungseinrichtungsbezugspositionen und den Maschinenausgangspunktpositionen oder den Fixierungsbezugspositionen in einer Anzahl, die wenigstens den Freiheitsgraden des Tisches entspricht, und eine Maschinenausgangspunktrückkehrgrößen-Berechnungseinrichtung zum Erfassen einer Anzahl von Erfassungseinrichtungsbezugspositionsbezügen, die wenigstens der Anzahl von Freiheitsgraden des Tisches entspricht, indem eine Anzahl von Motoren betrieben wird, die wenigstens der Anzahl von Freiheitsgraden des Tisches entspricht, und zum Berechnen der Bewegungsgrößen der Anzahl von Motoren, die wenigstens der Anzahl der Freiheitsgrade des Tisches entspricht, um den Tisch und die Antriebsmechanismuseinheit von einer aktuellen Position zu dem Maschinenausgangspunkt oder der Fixierungsbezugsposition in einem Zustand, in dem die Maschinenfixierungseinrichtung nicht verfügbar ist, routinemäßig zu positionieren, nachdem die oben beschriebene Verarbeitung abgeschlossen ist und die Stromversorgung wieder zugeführt wird, wobei der Tisch und die Antriebsmechanismuseinheit zu der Maschinenausgangsposition bewegt werden, indem eine Anzahl von Motoren betrieben wird, die wenigstens der Anzahl von Freiheitsgraden des Tisches entspricht.
  2. Ausrichtungsvorrichtung zum Betätigen eines Tisches mit einem darauf montierten Objekt in den Richtungen XYθ, Yθ oder θ mittels eines an einem Maschinenbasisteil angeordneten Antriebsmechanismus für eine Positionierung an einer vorbestimmten Position, wobei die Ausrichtungsvorrichtung umfasst: den Antriebsmechanismus, der eine Vielzahl von Antriebsmechanismuseinheiten umfasst, die jeweils gebildet werden durch: einen Mechanismusteil, der zwei Translationsfreiheitsgradteile mit jeweils einem Translationsfreiheitsgrad und einen Drehfreiheitsgradteil mit einem Drehfreiheitsgrad umfasst, und eine Motorsteuereinrichtung, die Motoren zum Antreiben der Freiheitsgradteile der zwei Translationsfreiheitsgradteile und des einen Drehfreiheitsgradteils, eine Erfassungseinrichtung zum Erfassen einer Betätigungsgröße des Mechanismusteils als zu erfassendem Teil, und eine Steuereinrichtung zum Steuern der Motoren umfasst, wobei ein Betriebsbefehl für eine Anzahl von Motoren empfangen wird, die wenigstens der Anzahl der Freiheitsgrade der XYθ, Yθ oder θ-Betätigung des Tisches entspricht, wobei die Antriebsmechanismuseinheiten eine Befehlseinrichtung zum Ausgeben des Betriebsbefehls an die Steuereinrichtung umfassen, wobei der Tisch betätigt wird, um sich translatorisch und drehend in zwei Richtungen der XYθ-Betätigung zu bewegen, um sich translatorisch und drehend in einer Richtung der Yθ-Betätigung zu bewegen oder um sich drehend in der θ-Betätigung zu bewegen, indem die Motoren jeweils in einer Translationsrichtung oder einer Drehrichtung betrieben werden, eine Maschinenfixierungseinrichtung zum mechanischen Fixieren des Tisches oder des Antriebsmechanismus an einer Fixierungsbezugsposition der Ausrichtungsvorrichtung, eine Maschinenausgangspunkt-Speichereinrichtung zum vorausgehenden Speichern oder Eingeben einer Differenz zwischen einem Maschinenausgangspunkt und der Fixierungsbezugsposition, eine zweidimensionale Positionserfassungseinrichtung zum Erfassen einer zuvor an dem Tisch oder dem Objekt vorgesehenen Markierung, eine zweidimensionale Bildverarbeitungseinrichtung zum Berechnen der Bewegungsgröße des Tisches, die für eine Bewegung zu einer beliebigen Position erforderlich ist, auf der Basis des Bildes der zweidimensionalen Positionserfassungseinrichtung, eine Bezugsbildpositions-Speichereinrichtung zum Speichern einer Bezugsbildposition durch das Erzeugen einer absoluten Position durch die Position einer Markierung eines Bildes, indem die Ausgaben aus der zweidimensionalen Positionserfassungseinrichtung und der zweidimensionalen Bildverarbeitungseinrichtung verwendet werden, und eine Maschinenausgangspunktrückkehrgrößen-Berechnungseinrichtung zum Berechnen von Bewegungsgrößen einer Anzahl von Motoren, die wenigstens der Anzahl der Freiheitsgrade des Tisches entspricht, um den Tisch und die Antriebsmechanismuseinheit von einer aktuellen Position zu der Maschinenausgangspunktposition oder der Fixierungsbezugsposition zu positionieren, indem ein neues Ausgabebild, das durch das erneute Erfassen einer Markierung in einem aktuellen Zustand durch die zweidimensionale Positionserfassungseinrichtung und die zweidimensionale Verarbeitungseinrichtung vorgesehen wird, mit der in der Bezugsbildpositions-Speichervorrichtung gespeicherten Bezugsbildposition verglichen wird, wobei der Tisch und die Antriebsmechanismuseinheit zu der Maschinenausgangspunktposition bewegt werden, indem eine Anzahl von Motoren betrieben wird, die wenigstens der Anzahl von Freiheitsgraden des Tisches entspricht.
  3. Ausrichtungsvorrichtung zum Betätigen eines Tisches mit einem darauf montierten Objekt in den Richtungen XYθ, Yθ oder θ mittels eines an einem Maschinenbasisteil angeordneten Antriebsmechanismus für eine Positionierung an einer vorbestimmten Position, wobei die Ausrichtungsvorrichtung umfasst: den Antriebsmechanismus, der eine Vielzahl von Antriebsmechanismuseinheiten umfasst, die jeweils gebildet werden durch: einen Mechanismusteil, der zwei Translationsfreiheitsgradteile mit jeweils einem Translationsfreiheitsgrad und einen Drehfreiheitsgradteil mit einem Drehfreiheitsgrad umfasst, und eine Motorsteuereinrichtung, die Motoren zum Antreiben der Freiheitsgradteile der zwei Translationsfreiheitsgradteile und des einen Drehfreiheitsgradteils, eine Erfassungseinrichtung zum Erfassen einer Betätigungsgröße des Mechanismusteils als zu erfassendem Teil, und eine Steuereinrichtung zum Steuern der Motoren umfasst, wobei ein Betriebsbefehl für eine Anzahl von Motoren empfangen wird, die wenigstens der Anzahl der Freiheitsgrade der XYθ, Yθ oder θ-Betätigung des Tisches entspricht, wobei die Antriebsmechanismuseinheiten eine Befehlseinrichtung zum Ausgeben des Betriebsbefehls an die Steuereinrichtung umfassen, wobei der Tisch betätigt wird, um sich translatorisch und drehend in zwei Richtungen der XYθ-Betätigung zu bewegen, um sich translatorisch und drehend in einer Richtung der Yθ-Betätigung zu bewegen oder um sich drehend in der θ-Betätigung zu bewegen, indem die Motoren jeweils in einer Translationsrichtung oder einer Drehrichtung betrieben werden, eine Maschinenausgangspunkt-Speichereinrichtung zum vorausgehenden Speichern oder Eingeben einer Differenz zwischen einer Maschinenausgangspunktposition und einer Fixierungsbezugsposition, eine Maschinenfixierungseinrichtung zum mechanischen Fixieren des Tisches oder des Antriebsmechanismus an der Fixierungsbezugsposition der Ausrichtungsvorrichtung, eine Maschinenfixierungsbezugspositions-Speichereinrichtung zum Erfassen und Speichern einer Anzahl von Fixierungsbezugspositionen, die wenigstens der Anzahl von Freiheitsgraden des Tisches entspricht, durch die Erfassungseinrichtung, und eine Absolutpositions-Speichereinrichtung an der Erfassungseinrichtung zum Speichern einer Anzahl von Werten für Maschinenausgangspunktpositionen, die wenigstens der Anzahl von Freiheitsgraden des Tisches entspricht, als absolute Werte für die Differenz zwischen der Fixierungsbezugsposition und der Maschinenausgangspunktposition, wobei der Tisch und die Antriebsmechanismuseinheit zu der Maschinenoriginalpunktposition bewegt werden, indem eine Anzahl von absoluten Werten der Maschinenausgangspunktpositionen, die wenigstens der Anzahl von Freiheitsgraden des Tisches entspricht, aus der Absolutpositionsspeichereinrichtung gelesen werden und indem eine Anzahl von Motoren, die wenigstens der Anzahl von Freiheitsgraden des Tisches entspricht, in einem Zustand, in dem die Maschinenfixierungseinrichtung nicht verfügbar ist, routinemäßig betrieben werden, nachdem die oben beschriebene Verarbeitung abgeschlossen ist und die Stromversorgung wieder zugeführt wird.
  4. Verfahren zum Zurückkehren zu einem Ausgangspunkt für eine Ausrichtungsvorrichtung zum Betätigen eines Tisches mit einem darauf montierten Objekt in den Richtungen XYθ, Yθ oder θ mittels eines an einem Maschinenbasisteil angeordneten Antriebsmechanismus für eine Positionierung an einer vorbestimmten Position, wobei der Antriebsmechanismus eine Vielzahl von Antriebsmechanismuseinheiten umfasst, die jeweils gebildet werden durch: einen Mechanismusteil, der zwei Translationsfreiheitsgradteile mit jeweils einem Translationsfreiheitsgrad und einen Drehfreiheitsgradteil mit einem Drehfreiheitsgrad umfasst, und eine Motorsteuereinrichtung, die Motoren zum Antreiben der Freiheitsgradteile der zwei Translationsfreiheitsgradteile und des einen Drehfreiheitsgradteils, eine Erfassungseinrichtung zum Erfassen einer Betätigungsgröße des Mechanismusteils als zu erfassendem Teil, und eine Steuereinrichtung zum Steuern der Motoren umfasst, wobei ein Betriebsbefehl für eine Anzahl von Motoren empfangen wird, die wenigstens der Anzahl der Freiheitsgrade der XYθ, Yθ oder θ-Betätigung des Tisches entspricht, wobei die Antriebsmechanismuseinheiten eine Befehlseinrichtung zum Ausgeben des Betriebsbefehls an die Steuereinrichtung umfassen, wobei der Tisch betätigt wird, um sich translatorisch und drehend in zwei Richtungen der XYθ-Betätigung zu bewegen, um sich translatorisch und drehend in einer Richtung der Yθ-Betätigung zu bewegen oder um sich drehend in der θ-Betätigung zu bewegen, indem die Motoren jeweils in einer Translationsrichtung oder einer Drehrichtung betrieben werden, wobei das Verfahren zum Zurückkehren zu einem Ausgangspunkt folgende Schritte umfasst: vorausgehendes Speichern oder Eingeben einer Maschinenausgangspunktposition als Differenz zu einer Fixierungsbezugsposition durch eine Maschinenausgangspunkt-Speichereinrichtung, mechanisches Fixieren des Tisches oder des Antriebsmechanismus an der Fixierungsbezugsposition der Ausrichtungsvorrichtung durch eine Maschinenfixierungseinrichtung, Erfassen einer Anzahl von Maschinenfixierungsbezugspositionen, die wenigstens der Anzahl von Freiheitsgraden des Tisches entspricht, durch die Erfassungseinrichtung, und Speichern derselben in einer Maschinenfixierungsbezugspositions-Speichereinrichtung, Lösen der Maschinenfixierungseinrichtung, Erfassen einer Anzahl von Erfassungseinrichtungsbezugspositionsbezügen, die wenigstens der Anzahl der Freiheitsgrade des Tisches entspricht, indem eine Anzahl von Motoren, die wenigstens der Anzahl von Freiheitsgraden des Tisches entspricht, betrieben werden, Speichern einer Anzahl von Differenzen zwischen den Erfassungseinrichtungsbezugspositionen und den Maschinenausgangspunktpositionen oder den Fixierungsbezugspositionen, die wenigstens der Anzahl von Freiheitsgraden des Tisches entspricht, in der Erfassungseinrichtungsbezugspositions-Speichereinrichtung, Erfassen einer Anzahl von Erfassungseinrichtungsbezugspositionsbezügen, die wenigstens der Anzahl von Freiheitsgraden des Tisches entspricht, indem eine Anzahl von Motoren betrieben wird, die wenigstens der Anzahl von Freiheitsgraden des Tisches entspricht, in einem Zustand, in dem die Maschinenfixierungseinrichtung nicht verfügbar ist, routinemäßig nachdem die oben beschriebene Verarbeitung abgeschlossen wurde und die Stromversorgung wieder zugeführt wird, und Berechnen einer Anzahl von Bewegungsgrößen der Motoren aus den Erfassungseinrichtungs-Bezugspositionsbezügen zu den Maschinenausgangspunktpositionen oder den Fixierungsbezugspositionen, die wenigstens der Anzahl von Freiheitsgraden des Tisches entspricht, durch eine Maschinenausgangspunktrückkehrgrößen-Berechnungseinrichtung.
  5. Verfahren zum Zurückkehren zu einem Ausgangspunkt für eine Ausrichtungsvorrichtung zum Positionieren eines Tisches mit einem darauf montierten Objekt in den Richtungen XYθ, Yθ oder θ mittels eines an einem Maschinenbasisteil angeordneten Antriebsmechanismus für eine Positionierung an einer vorbestimmten Position, wobei der Antriebsmechanismus eine Vielzahl von Antriebsmechanismuseinheiten umfasst, die jeweils gebildet werden durch: einen Mechanismusteil, der zwei Translationsfreiheitsgradteile mit jeweils einem Translationsfreiheitsgrad und einen Drehfreiheitsgradteil mit einem Drehfreiheitsgrad umfasst, und eine Motorsteuereinrichtung, die Motoren zum Antreiben der Freiheitsgradteile der zwei Translationsfreiheitsgradteile und des einen Drehfreiheitsgradteils, eine Erfassungseinrichtung zum Erfassen einer Betätigungsgröße des Mechanismusteils als zu erfassendem Teil, und eine Steuereinrichtung zum Steuern der Motoren umfasst, wobei ein Betriebsbefehl für eine Anzahl von Motoren empfangen wird, die wenigstens der Anzahl der Freiheitsgrade der XYθ, Yθ oder θ-Betätigung des Tisches entspricht, wobei die Antriebsmechanismuseinheit eine Befehlseinrichtung zum Ausgeben des Betriebsbefehls an die Steuereinrichtung umfasst, wobei der Tisch betätigt wird, um sich translatorisch und drehend in zwei Richtungen der XYθ-Betätigung zu bewegen, um sich translatorisch und drehend in einer Richtung der Yθ-Betätigung zu bewegen oder um sich drehend in der θ-Betätigung zu bewegen, indem die Motoren jeweils in einer Translationsrichtung oder einer Drehrichtung betrieben werden, wobei das Verfahren zum Zurückkehren zu einem Ausgangspunkt folgende Schritte umfasst: vorausgehendes Speichern oder Eingeben einer Maschinenausgangspunktposition als Differenz zu einer Fixierungsbezugsposition durch eine Maschinenausgangspositions-Speichereinrichtung, mechanisches Fixieren des Tisches oder des Antriebsmechanismus an der Fixierungsbezugsposition der Ausrichtungsvorrichtung durch eine Maschinenfixierungseinrichtung, Erfassen einer Markierung auf dem Tisch durch eine zweidimensionale Positionserfassungseinrichtung, Empfangen eines Bildes aus der zweidimensionalen Positionserfassungseinrichtung durch eine zweidimensionale Bildverarbeitungseinrichtung und Speichern einer Bezugsbildposition in einer Bezugsbildpositions-Speichereinrichtung durch das Erzeugen einer absoluten Position aus der Position einer Markierung des Bildes, erneutes Erfassen der Position der Markierung eines aktuellen Zustands durch die zweidimensionale Positionserfassungseinrichtung und die zweidimensionale Bildverarbeitungseinrichtung in einem Zustand, in dem die Maschinenfixierungseinrichtung nicht verfügbar ist, routinemäßig nachdem die oben beschriebene Verarbeitung abgeschlossen ist und eine Stromversorgung wieder zugeführt wird, Berechnen einer Anzahl von Bewegungsgrößen der Motoren, die wenigstens der Anzahl von Freiheitsgraden des Tisches entspricht, um den Tisch und die Antriebsmechanismuseinheit von einer aktuellen Position zu der Maschinenausgangspunktposition oder der Fixierungspunktposition zu positionieren, indem die Positionen des neuen Bildes und die in der Bezugsbildpositions-Speichereinrichtung gespeicherte Bezugsbildposition durch eine Maschinenausgangspunktrückkehrgrößen-Berechnungseinrichtung verglichen werden, und Bewegen des Tisches und der Antriebsmechanismuseinheit zu der Maschinenausgangspunktposition, indem eine Anzahl von Motoren betrieben wird, deren Anzahl wenigstens der Anzahl von Freiheitsgraden des Tisches entspricht.
  6. Verfahren zum Zurückkehren zu einem Ausgangspunkt für eine Ausrichtungsvorrichtung nach Anspruch 5, wobei die folgenden Schritte wiederholt werden: Bewegen des Tisches und der Antriebsmechanismuseinheit zu der Maschinenausgangspunktposition, indem eine Anzahl von Motoren betrieben wird, die wenigstens der Anzahl der Freiheitsgrade des Tisches entspricht, und danach erneutes Erfassen der Position einer Markierung in dem aktuellen Zustand durch die zweidimensionale Positionserfassungseinrichtung und die zweidimensionale Bildverarbeitungsvorrichtung, und Vergleichen mit der in der Bezugsbildpositions-Speichereinrichtung gespeicherten Position des Bezugsbildes, und wenn die Positionen nicht miteinander übereinstimmen: Berechnen von Bewegungsgrößen einer Anzahl von Motoren, die wenigstens der Anzahl der Freiheitsgrade des Tisches entspricht, um den Tisch und die Antriebsmechanismuseinheit zu der Maschinenausgangspunktposition oder der Fixierungsbezugsposition von einer aktuellen Position zu positionieren, und Bewegen des Tisches und der Antriebsmechanismuseinheit zu der Maschinenausgangspunktposition, indem die Anzahl von Motoren betrieben wird, die wenigstens der Anzahl der Freiheitsgrade des Tisches entspricht.
  7. Verfahren zum Zurückkehren zu einem Ausgangspunkt für eine Ausrichtungsvorrichtung zum Betätigen eines Tisches mit einem darauf montierten Objekt in den Richtungen XYθ, Yθ oder θ mittels eines an einem Basisteil angeordneten Antriebsmechanismus für eine Positionierung einer vorbestimmten Position, wobei der Antriebsmechanismus eine Vielzahl von Antriebsmechanismuseinheiten umfasst, die jeweils gebildet werden durch: einen Mechanismusteil, der zwei Translationsfreiheitsgradteile mit jeweils einem Translationsfreiheitsgrad und einen Drehfreiheitsgradteil mit einem Drehfreiheitsgrad umfasst, und eine Motorsteuereinrichtung, die Motoren zum Antreiben der Freiheitsgradteile der zwei Translationsfreiheitsgradteile und des einen Drehfreiheitsgradteils, eine Erfassungseinrichtung zum Erfassen einer Betätigungsgröße des Mechanismusteils als zu erfassendem Teil, und eine Steuereinrichtung zum Steuern der Motoren umfasst, wobei ein Betriebsbefehl für eine Anzahl von Motoren empfangen wird, die wenigstens der Anzahl der Freiheitsgrade der XYθ, Yθ oder θ-Betätigung des Tisches entspricht, wobei die Antriebsmechanismuseinheit eine Befehlseinrichtung zum Ausgeben des Betriebsbefehls an die Steuereinrichtung umfasst, wobei der Tisch betätigt wird, um sich translatorisch und drehend in zwei Richtungen der XYθ-Betätigung zu bewegen, um sich translatorisch und drehend in einer Richtung der Yθ-Betätigung zu bewegen oder um sich drehend in der θ-Betätigung zu bewegen, indem die Motoren jeweils in einer Translationsrichtung oder einer Drehrichtung betrieben werden, wobei das Verfahren zum Zurückkehren zu einem Ausgangspunkt folgende Schritte umfasst: vorausgehendes Speichern oder Eingeben einer Maschinenausgangspunktposition als Differenz zu einer Fixierungsbezugsposition durch eine Maschinenausgangspositions-Speichereinrichtung, mechanisches Fixieren des Tisches oder des Antriebsmechanismus an der Fixierungsbezugsposition der Ausrichtungsvorrichtung durch eine Maschinenfixierungseinrichtung, Erfassen einer Anzahl von Fixierungsbezugspositionen, die wenigstens der Anzahl von Freiheitsgraden des Tisches entspricht, durch die Erfassungseinrichtung, Speichern einer Anzahl von Werten der Maschinenausgangspunktpositionen, die wenigstens der Anzahl von Freiheitsgraden des Tisches entspricht, als absolute Werte in einer Absolutpositions-Speichereinrichtung an der Erfassungseinrichtung unter Berücksichtigung der Differenz zwischen der Fixierungsbezugsposition und der Maschinenausgangspunktposition, Lesen einer Anzahl von Maschinenausgangspunktpositionen, die wenigstens der Anzahl von Freiheitsgraden des Tisches entsprechen, aus der Absolutpositions-Speichereinrichtung in einem Zustand, in dem die Maschinenfixierungsvorrichtung nicht verfügbar ist, routinemäßig nachdem die oben beschriebene Verarbeitung abgeschlossen wurde und die Stromversorgung wieder zugeführt wird, und Bewegen des Tisches und der Antriebsmechanismuseinheit zu der Maschinenausgangspunktposition, indem die Anzahl der Motoren betrieben wird, die der Anzahl von Freiheitsgraden des Tisches entspricht.
  8. Ausrichtungsvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, wobei der Antriebsmechanismus weiterhin umfasst: einen 3-Freiheitsgrade-Mechanismus, der den Translationsfreiheitsgradteil mit zwei Translationsfreiheitsgraden und den Drehfreiheitsgradteil mit einem Drehfreiheitsgrad ohne die Motoren umfasst.
  9. Ausrichtungsvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, wobei in dem Tisch mit den wenigstens zwei Freiheitsgraden, der in der Richtung Yθ betrieben wird, ein 2-Freiheitsgrade-Mechanismus einschließlich des Translationsfreiheitsgradteils mit einem Translationsfreiheitsgrad und des Drehfreiheitsgradteils mit einem Drehfreiheitsgrad ohne die Motoren vorgesehen ist.
  10. Ausrichtungsvorrichtung nach Anspruch 9 vorgesehen, wobei in dem Tisch mit den wenigstens zwei Freiheitsgraden, der in der Richtung Yθ betrieben wird, der 2-Freiheitsgrade-Mechanismus einschließlich eines 2-Freiheitsgrade-Antriebsmechanismus mit den Motoren vorgesehen ist.
  11. Ausrichtungsvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, wobei in dem Tisch mit dem wenigstens einen Freiheitsgrad, der in der Richtung θ betrieben wird, ein 1-Freiheitsgrad-Drehmechanismus mit einem Drehfreiheitsgrad zum Halten des Tisches vorgesehen ist.
  12. Ausrichtungsvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, die weiterhin umfasst: eine erste Positionierungseinrichtung zum Positionieren der Maschinenfixierungseinrichtung an dem Maschinenbasisteil.
  13. Ausrichtungsvorrichtung gemäß einem der Ansprüche 1 bis 3, die weiterhin umfasst: eine zweite Positionierungseinrichtung zum Positionieren der Maschinenfixierungseinrichtung an dem Antriebsmechanismus.
  14. Ausrichtungsvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, die weiterhin umfasst: eine dritte Positionierungseinrichtung zum Positionieren der Maschinenfixierungseinrichtung an dem Tisch.
  15. Verfahren zum Zurückkehren zu einem Ausgangspunkt für eine Ausrichtungsvorrichtung nach einem der Ansprüche 4 bis 7, wobei das Verfahren weiterhin folgenden Schritt umfasst: Positionieren einer installierten Position durch eine erste Positionierungseinrichtung an dem Maschinenbasisteil.
  16. Verfahren zum Zurückkehren zu einem Ausgangspunkt für eine Ausrichtungsvorrichtung nach einem der Ansprüche 4 bis 7, wobei das Verfahren weiterhin folgenden Schritt umfasst: Positionieren einer installierten Position durch eine zweite Positionierungseinrichtung an dem Antriebsmechanismus.
  17. Verfahren zum Zurückkehren zu einem Ausgangspunkt für eine Ausrichtungsvorrichtung nach einem der Ansprüche 4 bis 7, wobei das Verfahren weiterhin folgenden Schritt umfasst: Positionieren einer installierten Position durch eine dritte Positionierungseinrichtung an dem Tisch.
  18. Ausrichtungsvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, wobei die Vorrichtung weiterhin umfasst: eine erste Positionsfixierungseinrichtung zum Fixieren des Maschinenbasisteils und der Maschinenfixierungseinrichtung.
  19. Ausrichtungsvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, wobei die Vorrichtung weiterhin umfasst: eine zweite Positionsfixierungseinrichtung zum Fixieren des Antriebsmechanismus und der Maschinenfixierungseinrichtung.
  20. Ausrichtungsvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, wobei die Vorrichtung weiterhin umfasst: eine dritte Positionsfixierungseinrichtung zum Fixieren des Tisches und der Maschinenfixierungseinrichtung.
  21. Verfahren zum Zurückkehren zu einem Ausgangspunkt für eine Ausrichtungsvorrichtung nach einem der Ansprüche 4 bis 7, wobei die Maschinenfixierungseinrichtung und der Maschinenbasisteil unter Verwendung einer ersten Positionsfixierungsvorrichtung an dem Maschinenbasisteil fixiert sind.
  22. Verfahren zum Zurückkehren zu einem Ausgangspunkt für eine Ausrichtungsvorrichtung nach einem der Ansprüche 4 bis 7, wobei die Maschinenfixierungseinrichtung und der Antriebsmechanismus unter Verwendung einer zweiten Positionsfixierungseinrichtung an dem Antriebsmechanismus fixiert sind.
  23. Verfahren zum Zurückkehren zu einem Ausgangspunkt für eine Ausrichtungsvorrichtung nach einem der Ansprüche 4 bis 7, wobei die Maschinenfixierungseinrichtung und der Tisch unter Verwendung einer dritten Positionsfixierungseinrichtung an dem Tisch fixiert sind.
  24. Verfahren zum Zurückkehren zu einem Ausgangspunkt für eine Ausrichtungsvorrichtung nach einem der Ansprüche 4 bis 7, wobei die Steuereinrichtung eine Steuerung der Motoren unterbricht, den Tisch oder den Antriebsmechanismus bewegt und den Maschinenbasisteil und den Tisch oder den Antriebsmechanismus an der Fixierungsbezugsposition fixiert.
  25. Ausrichtungsvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, wobei der Antriebsmechanismus den Drehfreiheitsgradteil über einem Translationsfreiheitsgradteil umfasst und weiterhin den anderen Translationsfreiheitsgradteil über dem Drehfreiheitsgradteil umfasst.
  26. Ausrichtungsvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, wobei der Antriebsmechanismus weiterhin einen Translationsfreiheitsgradteil über dem anderen Translationsfreiheitsgradteil umfasst und den Drehfreiheitsgradteil über dem einen Translationsfreiheitstradteil umfasst.
  27. Ausrichtungsvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, wobei der Antriebsmechanismus einen Translationsfreiheitsgradteil über dem Drehfreiheitsgradteil umfasst und weiterhin den anderen Translationsfreiheitsgradteil über dem einen Translationsfreiheitsgradteil umfasst.
  28. Ausrichtungsvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, wobei die Vorrichtung weiterhin umfasst: eine zweidimensionale Positionserfassungseinrichtung zum Erfassen der Position einer Markierung an dem Objekt oder dem Tisch, und eine zweidimensionale Bildverarbeitungseinrichtung, die ein durch die zweidimensionale Positionserfassungseinrichtung erfasstes Bild des Objekts einer Bildverarbeitung unterzieht und eine Korrekturgröße zum Korrigieren der Position des Objekts berechnet, wobei die Position des Tisches oder des Objekts korrigiert wird, indem die Motoren auf der Basis der Korrekturgröße aus der zweidimensionalen Bildverarbeitungseinrichtung betrieben werden.
  29. Ausrichtungsvorrichtung nach einem der Ansprüche 2 oder 28, wobei die Vorrichtung umfasst: eine Vielzahl von zweidimensionalen Positionserfassungseinrichtungen.
  30. Ausrichtungsvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, wobei die Antriebsmechanismuseinheit derart angeordnet ist, dass die Motoren, deren Anzahl wenigstens der Anzahl von Freiheitsgraden des Tisches entspricht, von einem Schwerpunkt des Tischs entfernt sind und den Tisch bewegen, während sie zu dem Schwerpunkt des Tisches versetzt werden.
  31. Verfahren zum Zurückkehren zu einem Ausgangspunkt für eine Ausrichtungsvorrichtung nach einem der Ansprüche 4 und 5 bis 7, wobei die Antriebsmechanismuseinheiten derart angeordnet sind, dass die Motoren, deren Anzahl wenigstens der Anzahl von Freiheitsgraden des Tisches entspricht, von dem Schwerpunkt des Tisches entfernt sind und den Tisch bewegen, während sie von dem Schwerpunkt des Tisches versetzt werden.
  32. Ausrichtungsvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, wobei die Motoren zum Antreiben des Translationsfreiheitsgradteils des Antriebsmechanismus jeweils Linearmotoren sind.
  33. Verfahren zum Zurückkehren zu einem Ausgangspunkt für eine Ausrichtungsvorrichtung nach einem der Ansprüche 4 und 5 bis 7, wobei ein Linearmotor als Motor den Translationsfreiheitsgradteil der Antriebsmechanismuseinheit antreibt.
  34. Ausrichtungsvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, wobei die Fixierungsbezugsposition die Maschinenausgangspunktposition ist.
  35. Verfahren zum Zurückkehren zu einem Ausgangspunkt für eine Ausrichtungsvorrichtung nach einem der Ansprüche 4 und 5 bis 7, wobei die Maschinenausgangspunktposition als Fixierungsbezugsposition verwendet wird.
  36. Drehtisch mit einer Ausrichtungsvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3.
  37. Translationstisch mit einer Ausrichtungsvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3.
  38. Maschine mit einer Ausrichtungsvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3.
  39. Maschinensteuersystem mit wenigstens einem Antriebsmechanismusteil und der Maschine nach Anspruch 38 als Antriebsmechanismusteil.
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