DE112005001079T5 - Adaptive Behelfsfilterung für Servomechanismus-Steuersysteme - Google Patents

Adaptive Behelfsfilterung für Servomechanismus-Steuersysteme Download PDF

Info

Publication number
DE112005001079T5
DE112005001079T5 DE112005001079T DE112005001079T DE112005001079T5 DE 112005001079 T5 DE112005001079 T5 DE 112005001079T5 DE 112005001079 T DE112005001079 T DE 112005001079T DE 112005001079 T DE112005001079 T DE 112005001079T DE 112005001079 T5 DE112005001079 T5 DE 112005001079T5
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
input
control system
command
correction
current
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
DE112005001079T
Other languages
English (en)
Inventor
David Beaverton Watt
Mehmet Portland Alpay
Mark Portland Unrath
John Wen
Ben Potsaid
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Electro Scientific Industries Inc
Original Assignee
Electro Scientific Industries Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Electro Scientific Industries Inc filed Critical Electro Scientific Industries Inc
Publication of DE112005001079T5 publication Critical patent/DE112005001079T5/de
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G05CONTROLLING; REGULATING
    • G05BCONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
    • G05B19/00Programme-control systems
    • G05B19/02Programme-control systems electric
    • G05B19/18Numerical control [NC], i.e. automatically operating machines, in particular machine tools, e.g. in a manufacturing environment, so as to execute positioning, movement or co-ordinated operations by means of programme data in numerical form
    • G05B19/406Numerical control [NC], i.e. automatically operating machines, in particular machine tools, e.g. in a manufacturing environment, so as to execute positioning, movement or co-ordinated operations by means of programme data in numerical form characterised by monitoring or safety
    • G05B19/4062Monitoring servoloop, e.g. overload of servomotor, loss of feedback or reference
    • GPHYSICS
    • G05CONTROLLING; REGULATING
    • G05BCONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
    • G05B13/00Adaptive control systems, i.e. systems automatically adjusting themselves to have a performance which is optimum according to some preassigned criterion
    • G05B13/02Adaptive control systems, i.e. systems automatically adjusting themselves to have a performance which is optimum according to some preassigned criterion electric
    • G05B13/04Adaptive control systems, i.e. systems automatically adjusting themselves to have a performance which is optimum according to some preassigned criterion electric involving the use of models or simulators
    • G05B13/041Adaptive control systems, i.e. systems automatically adjusting themselves to have a performance which is optimum according to some preassigned criterion electric involving the use of models or simulators in which a variable is automatically adjusted to optimise the performance

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Automation & Control Theory (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Computer Vision & Pattern Recognition (AREA)
  • Medical Informatics (AREA)
  • Software Systems (AREA)
  • Evolutionary Computation (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Artificial Intelligence (AREA)
  • Human Computer Interaction (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Feedback Control In General (AREA)
  • Control Of Position Or Direction (AREA)

Abstract

Präzisions-Servomechanismus-Steuersystem mit hoher Geschwindigkeit mit:
einem Steuerservomechanismus in geschlossener Schleife, der mit einer Rückkopplungsteuerung und Mitkopplungskompensation implementiert wird, um die Ausgangszustände einer physikalischen Anlage in Reaktion auf einen Befehlseingangsstrom, der an das Steuersystem angelegt wird, zu steuern; und
einem Korrektureingabegenerator, der auf den Befehlseingangsstrom reagiert, um einen verfeinerten Eingangsstrom bereitzustellen, auf den die physikalische Anlage reagiert, um innerhalb einer Betriebstoleranz einen gewünschten Ausgangszustand entsprechend dem Befehleingangsstrom zu erreichen, wobei der Korrektureingabegenerator mit einer Korrektureingabeabbildung implementiert wird, die für einen willkürlichen Befehlseingangsstrom eine Übereinstimmungslösung bereitstellt, die bewirkt, dass die physikalische Anlage den gewünschten Ausgangszustand entsprechend dem willkürlichen Befehlseingangsstrom erreicht.

Description

  • Technisches Gebiet
  • Diese Erfindung betrifft Servomechanismus-Steuersysteme und insbesondere ein Hochleistungs-Servomechanismus-Steuersystem und -verfahren, die mit einer Mitkopplungskompensation und Rückkopplungssteuerung implementiert werden, um die Systemgeschwindigkeit und -genauigkeit zu verbessern.
  • Hintergrund der Erfindung
  • Typische Servomechanismus-Steuersysteme werden mit Rückkopplungs- und Mitkopplungselementen implementiert, die zusammenarbeiten, um eine Reaktion auf eine Befehlseingabe zu erzeugen. Im Allgemeinen ist der Servomechanismussystemfehler (der Unterschied zwischen der Befehleingabe und der Systemausgabe in Reaktion auf die Befehlseingabe) während und nach einer typischen Befehlsbahn signifikant. Wenn eine hohe Genauigkeit der Ausgabe erwünscht ist, wird eine Einschwingzeit zugewiesen, um zu ermöglichen, dass sich die Ausgabe des Systems auf die Befehlsposition innerhalb einer festgelegten Betriebsfehlertoleranz einschwingt. Zusätzliche Verfahren sind erwünscht, um die Einschwingzeit zu verringern oder zu beseitigen und dadurch die Hochleistungs-Servomechanismussteuerung zu verbessern.
  • Zusammenfassung der Erfindung
  • Bevorzugte Ausführungsbeispiele der Erfindung implementieren Verfahren zum Modifizieren der Befehlsbahn, der Architektur eines Servomechanismus-Steuersystems oder beider, um den Servofehler während und/oder nach der Befehlsbahn zu verringern.
  • Eine iterative Verfeinerungsprozedur erzeugt zur Verwendung durch das Servomechanismus-Steuersystem eine Korrektureingabe du, die den Fehler zwischen den gewünschten und tatsächlichen Servomechanismus-Steuersystemausgaben signifikant verringert. In einem Ausführungsbeispiel wird ein eindeutig identifiziertes Anlagenmodell in der iterativen Verfeinerungsprozedur verwendet, um einen ungefähren Gradienten zu berechnen, der die Leistung und Zuverlässigkeit der Verfeinerungsprozedur verbessert. In einem weiteren Ausführungsbeispiel wird die tatsächliche Anlagenreaktion anstelle des identifizierten Modells in der iterativen Verfeinerungsprozedur verwendet. Dies wird durch Zeitumkehr des gespeicherten Fehlersignals von einem Trainingsdurchlauf vor der Anwendung desselben auf die Anlage durchgeführt, um eine Aktualisierung für das Korrektureingangssignal du zu erzeugen.
  • Die iterative Verfeinerungsprozedur hat die Verwendung eines typischen Anlagenmodells anstelle eines eindeutig identifizierten Modells für jede spezielle Anlage zur Folge, um die iterative Verfeinerungsprozedur zu vereinfachen und zu beschleunigen. Ein Eingangsstrom von charakteristischen Bewegungsbahnen wird im Trainingsprozess verwendet, um ein Korrektursignal du zu entwickeln, das die Servomechanismusreaktion für diesen speziellen Eingangsstrom optimiert. Die Trainingsbahnen und die resultierende du-Korrektur werden dann verwendet, um einen Korrektureingabegenerator zu konstruieren, der vorzugsweise mit einem FIR-Filter implementiert wird, das ein du-Korrektursignal für eine willkürliche Befehlsbahn erzeugt.
  • Diese Erfindung optimiert die Servomechanismus-Steuersystemleistung durch Berücksichtigung von Toleranzen und Veränderungen, die für jeden Satz von Hardware spezifisch sind, ohne notwendigerweise die Verwendung einer komplexen Servomechanismus-Steuersystem-Modellidentifikation zu erfordern. Diese Optimierung ist selbst dann anwendbar, wenn das Servomechanismus-Steuersystem durch willkürliche Befehlsbahnen angetrieben wird.
  • Zusätzliche Aspekte und Vorteile sind aus der folgenden ausführlichen Beschreibung von bevorzugten Ausführungsbeispielen ersichtlich, die mit Bezug auf die zugehörigen Zeichnungen vor sich geht.
  • Kurzbeschreibung der Zeichnungen
  • 1 zeigt die Architektur eines Servomechanismus-Steuersystems, das dazu ausgelegt ist, einen genauen Hochgeschwindigkeitsbetrieb einer physikalischen Anlage zu erreichen.
  • 2 ist ein Blockdiagramm eines Korrektureingabegenerators, der den auf das Steuersystem von 1 angewendeten Eingangsbefehlsstrom verfeinert.
  • 3 ist ein Blockdiagramm einer speziellen Implementierung des Korrektureingabegenerators, der zur Verwendung im Steuersystem von 1 geeignet ist.
  • 4A zeigt die dynamische Übertragungsfunktion von der gemessenen Ausgabe der physikalischen Anlage zur Lastposition des Steuersystems von 1.
  • 4B zeigt die Übertragungsfunktion eines Sperrfilters, das dazu ausgelegt ist, einer Amplitudenspitze in der dynamischen Übertragungsfunktion von 4A entgegenzuwirken.
  • Ausführliche Beschreibung von bevorzugten Ausführungsbeispielen
  • 1 zeigt die Architektur eines Bewegungssteuersystems 10, das dazu ausgelegt ist, einen genauen Hochgeschwindigkeitsbetrieb einer physikalischen Anlage (G) 12 zu erreichen. In einem bevorzugten Ausführungsbeispiel ist die physikalische Anlage 12 ein Hochgeschwindigkeitsabtaster, der aus Abtastspiegeln, die üblicherweise bei der Hochleistungs-Lasermikrobearbeitung verwendet werden, und einer Motorantriebselektronik besteht. Das Steuersystem 10 ist so ausgelegt, dass es die Bewegungsleistung von einem der Abtastspiegel des Hochgeschwindigkeitsabtasters verbessert. Das Rückkopplungssignal y, das verwendet wird, um die Servoschleife zu schließen, wird durch einen Verbundcodierer gemessen, der einen Teil des Abtasters bildet. Eine dynamische Übertragungsfunktion (S) 13 modelliert die Kopplung zwischen der gemessenen (Rückkopplungs-) Position und der tatsächlichen Abtastspiegelposition. Separate Konstruktionssteuersysteme 10 können für den anderen Abtastspiegel oder die anderen Abtastspiegel des Hochgeschwindigkeitsabtasters ähnlich konfiguriert sein.
  • Das Steuersystem 10 empfängt einen Bewegungsbefehl-Eingangsstrom, der an eine Mitkopplungssteuereinheit (F) 14 und einen Korrektureingabegenerator (P) 16 angelegt wird. Der Bewegungsbefehl-Eingangsstrom kann Positions-, Geschwindigkeits- und Beschleunigungskomponenten enthalten oder die Mitkopplungssteuereinheit 14 kann so implementiert werden, dass sie einen Bewegungsbefehl erweitert, um diese Komponenten zu berechnen. Die Ausgabe der Mitkopplungssteuereinheit 14 und des Korrektureingabegenerators 16 werden über zugehörige Additionsverbindungen an die Anlage 12 bzw. eine Rückkopplungssteuereinheit (H) 18 einer Servomechanismusschleife 20 angelegt. Die Mitkopplungssteuereinheit 14 ist dazu ausgelegt, das Inverse der Dynamik der Anlage 12 innerhalb eines begrenzten Frequenzbereichs abzugleichen, um die Anlagenverfolgungsleistung bei höheren Frequenzen zu verbessern. Der Korrektureingabegenerator 16 profiliert den Bewegungsbefehl-Eingangsstrom u, um einen verfeinerten Eingangstrom u* zu erzeugen, der die restlichen Unvollkommenheiten der geschlossenen Schleife kompensiert, um die Servomechanismusleistung weiter zu verbessern. Die Auslegung, Konstruktion und der Betrieb des Korrektureingabegenerators 16 werden nachstehend im vollständigen Detail beschrieben.
  • In dem beschriebenen bevorzugten Ausführungsbeispiel ist die physikalische Anlage 12 ein Moving Magnet Closed Loop Galvanometer Based Optical Scanner (optischer Abtaster auf der Basis eines Bewegungsmagnet-Galvanometers in geschlossener Schleife) des Modells 6220H, der von Cambridge Technology, Inc., Cambridge, Massachusetts, hergestellt wird, und ein geeigneter Motorantrieb. Die Mitkopplungssteuereinheit 14 und die Rückkopplungssteuereinheit 18 sind vorzugsweise in einer digitalen Galvanometer-Steuereinheit kombiniert, die ein Fachmann leicht konstruieren könnte, um eine Systembandbreite von 5 kHz in geschlossener Schleife in einer Implementierung unter Verwendung des Galvanometers des Modells 6220H bereitzustellen.
  • 2 zeigt ein Blockdiagramm eines Korrektureingabegenerators 16 in einer bevorzugten Implementierung, der ein nicht-rekursives (FIR) Filter 28 umfasst, das Abweichungen des Ausgangssignals y vom idealen Verhalten korrigiert. Mit Bezug auf 2 empfängt der Korrektureingabegenerator 16 einen Bewegungsbefehl-Eingangsstrom u und legt ihn an ein Verzögerungsmodul 30 und das FIR-Filter 28 an, um sein Ausgangssignal 32 in Bezug auf den direkten Signalweg des Bewegungsbefehl-Eingangsstroms u vorzuschieben. Ein Ausgangssignal 34 des Moduls 30 und ein Ausgangssignal 32 des FIR-Filters 28 werden an einer Additionsverbindung 36 kombiniert, um an ihrem Ausgang 38 einen verfeinerten Eingangsstrom u* zu erzeugen, der für eine durch das Verzögerungsmodul 30 eingeführte Nullverzögerung ausgedrückt werden kann als u* = u + duwobei du ein inkrementaler Korrekturfaktor ist, der an einen Bewegungsbefehleingang angelegt wird. Der allgemeine Fall, in dem die Verzögerung von Null verschieden ist, kann ausgedrückt werden als u*(n) = u(n – m) + du(n)wobei n der Zeitindex ist und m die Anzahl von Zeitschritten ist, die die Befehlseingaben relativ zum Ausgangssignal 32 des FIR-Filters 28 verzögert werden.
  • Das Ziel besteht darin, ein FIR-Filter 28 mit einem Satz von Filterkoeffizienten zu konstruieren, die eine allgemeine Lösung von du-Werten für alle möglichen Bewegungsbefehlseingaben bereitstellen, die Strahlpositionsbewegungen mit verschiedenen Längen (z.B. kurze, mittlere und lange Abstände) und verschiedenen Bewegungslängensequenzen (z.B. Bewegung in kurzem Abstand, gefolgt von einer weiteren Bewegung in kurzem Abstand, gefolgt von einer Bewegung in langem Abstand) darstellen können. Die Methode zum Konstruieren des FIR-Filters 28 hat zuerst das Bestimmen der inkrementalen Korrekturfaktoren du für einen endlichen Satz von Befehlseingaben u und dann das Berechnen der Koeffizienten des FIR-Filters 28 zur Folge. Diese Methode wird durch eine Prozedur ausgeführt, die die Befehlseingabe in einer iterativen Weise modifiziert, um die Übereinstimmung zwischen den gewünschten und tatsächlichen Systemausgaben zu verbessern. Die schrittweise iterative Verfeinerungsprozedur ist folgendermaßen:
    Schritt 1 hat das anfängliche Setzen von du = 0 zur Folge.
    Schritt 2 hat das Leiten von u* = u + du durch das Steuersystem 10 und das Messen des Fehlerstroms e, der in 1 gezeigt ist, zur Folge. Folglich gilt für du = 0, u* = u und e = u – y.
    Schritt 3 hat das Vergleichen von e mit einer Betriebstoleranz, und wenn e innerhalb der Betriebstoleranz liegt, das Beenden der iterativen Prozedur zur Folge. Die Betriebstoleranz ist durch eine Kostenfunktion
    Figure 00060001
    definiert, wobei yd die gewünschte Ausgabe ist und y die gemessene Ausgabe in Reaktion auf den Eingangsstrom u ist. Die Verbesserung der Übereinstimmung ist daher als Verringerung der durch J(u) definierten Kosten definiert.
    Schritt 4 hat im Fall, dass der Fehlerstrom e unzureichend klein ist, das Umkehren von e in der Zeit und Leiten des zeitlich umgekehrten Fehlerstroms e* durch das Steuersystem 10 als Befehl (selbst wenn es sich um eine Fehlermessung handelt); das Sammeln des gemessenen Ausgangsstroms ye*, der in Reaktion auf e* erzeugt wird; das zeitliche Umkehren des Ausgangsstroms ye* in die Form ye; das Setzen von dunext = du + α·ye, wobei α eine dynamisch eingestellte Korrekturverstärkung oder ein Skalierungsfaktor ist; und das Wiederholen der Schritte 2–4 für eine Anzahl von Iterationen, bis e die Betriebstoleranzeinschränkung erfüllt, zur Folge.
  • Der in Schritt 4 definierte Wert von α sollte ausreichend klein sein, so dass Näherungen erster Ordnung für den Ausdruck J(u + du) = J(u) + ∇J(u)dugelten, so dass das Setzen von du als du = –α ∇J(u) mit α > 0 daher J(u + du) = J(u) – α(∇J(u))2 ergibt, was eine Verringerung der Kostenfunktion J sicherstellt. Während der iterativen Verfeinerung wird der Wert von α beginnend im bevorzugten Ausführungsbeispiel mit α0 = 0,3 dynamisch eingestellt. Wenn sich die Kosten während einer Iteration verbessern, wird α für die nächste Iteration bis auf ein Maximum von 0,6 um 0,05 erhöht. Wenn sich die Kosten während einer Iteration verschlechtern, wird α um einen Faktor von 2 verringert und die aktuelle Iteration wird mit dem verringerten Verfeinerungswert von α wiederholt. Diese Verringerung von α fährt fort, bis eine Verbesserung erreicht wird.
  • Ein alternativer Schritt 4 hat das Leiten des Fehlerstroms e durch mathematische Simulation als Befehl durch ein angeschlossenes System in geschlossener Schleife, das ein Computer ist, der an ein lineares zeitlich invariantes (LTI) Modell des physikalischen Systems in geschlossener Schleife angeschlossen modelliert wird, das die Anlage (G) 12, die Rückkopplungssteuereinheit (H) 18 und die Mitkopplungssteuereinheit (F) 14 umfasst; das Berechnen des Ausgangsstroms y, und das Setzen von dunext = du + αye zur Folge. Der alternative Schritt 4 verwendet ein simuliertes angeschlossenes System, das durch mathematische Modellierung erzeugt wird. Schritt 4 hat die Verwendung des tatsächlichen physikalischen Systems zur Folge, um eine gemessene Ausgabe experimentell zu sammeln. Der alternative Schritt 4 ist unterlegen, da er nicht nur die Erzeugung eines Modells, sondern auch die Verfügbarkeit eines Computers dazu erfordert.
  • Der Abschluss der iterativen Verfeinerungsprozedur erzeugt einen Verfeinerungsstrom du*, so dass die zusammengesetzte Eingabe u* = u + du eine sehr gute Übereinstimmung mit dem gewünschten Ausgangsstrom yd ergibt. Der Verfeinerungsstrom du* arbeitet jedoch nur für einen speziellen Eingangsstrom u, um einen speziellen gewünschten Ausgangsstrom yd abzugleichen. Der Korrektureingabegenerator 16 transformiert die Verfeinerung eines speziellen Eingangsstroms in eine allgemeine Lösung, die für willkürliche Eingaben zufrieden stellend funktioniert. Dazu implementiert der Korrektureingabegenerator 16 eine Korrekturabbildung, um eine ähnliche Verfeinerung du* zu erzeugen, wenn seine Eingabe der ursprüngliche Eingangsstrom u ist. Ein FIR-Filter ist bei der Implementierung des Korrektureingabegenerators 16 bevorzugt, da ein FIR-Filter eine garantierte Stabilität bereitstellt, von begrenztem Umfang ist und Koeffizienten besitzt, die in einer unkomplizierten Weise durch Anwenden von Standardalgorithmen der kleinsten Quadrate berechnet werden.
  • Das Folgende beschreibt ein Trainingsprofil, das verschiedene Bewegungslängen umfasst, aus denen globale FIR-Koeffizienten unmittelbar erhalten werden können, ohne Daten von verschiedenen Eingangsströmen zusammensetzen zu müssen. Die vorstehend beschriebene iterative Verfeinerung für eine Anzahl N von experimentellen Befehlsbewegungslängen, die im Lehrprozess verwendet werden, kann ausgedrückt werden als u1, u2, ..., uN → du1, du2, ..., duN N < ∞
  • Das Ziel besteht darin, ein Korrekturfilter zu konstruieren, um jeden u-Wert auf einen entsprechenden du-Wert abzubilden. Der FIR-Algorithmus, der in eine Funktion von Summen von Produkten eingebettet ist, kann ausgedrückt werden als Δ(z) = a0zm + a1zm–1 + ... + anzn–m wobei a0, a1, ..., an die Filterkoeffizienten darstellen und m den FIR-Vorlauf darstellt; d.h. m ist die Anzahl von Zeitschritten, die der FIR-Filtersignalweg vor dem direkten Signalweg liegt. Die Zahlen m und n werden gemäß einem empirisch-praktischen Prozess gewählt und a0, a1, ..., an werden durch einen Algorithmus der kleinsten Quadrate berechnet. Die Qualität der resultierenden Anpassung der kleinsten Quadrate wird durch Beobachten des restlichen Fehlers bewertet. Wenn der restliche Fehler klein ist, dann wird das Steuersystem 10 mit dem FIR-Filter 28 an der Stelle implementiert, um festzustellen, wie gut es arbeitet. Wenn die Steuersystemleistung unannehmbar ist, wird n, m oder beide modifiziert und neue Koeffizienten werden berechnet, um den Prozess erneut zu starten.
  • Der Korrektureingabegenerator 16 des Steuersystems 10 der Endkonfiguration, der mit dem Galvanometer des Modells 6220H von Cambridge Technology, Inc., ausgestattet ist, bildet ein Filter mit 320 Abgriffen und mit einer Aktualisierungsrate von 160 kHz und einem Vorlauf von 80 Abgriffen, um eine Verzögerung von 0,5 ms (als Verzögerungsmodul 30 gezeigt) im direkten Bewegungsbefehlsweg, aber nicht im Weg des FIR-Filters 28 einzufügen. Dies ermöglicht die Erzeugung eines effektiv nicht-kausalen Filters (mit 80 der 320 Abgriffe vor n = 0). Um sicherzustellen, dass das FIR-Filter 28 ein Filter mit einer Gleichspannungsverstärkung von Null ist, ist die Summe aller seiner Koeffizienten Null. Eine Weise zum Bewerkstelligen dieses Ergebnisses besteht darin, die ersten 319 Koeffizienten aufzulösen und dann den letzten Koeffizienten auf die negative Summe der ersten 319 FIR-Koeffizienten zu setzen. Die ersten 319 FIR-Koeffizienten sind die Lösung der kleinsten Quadrate für das Problem Uh = du
  • Wobei h = [h1 h2...h319]T die unabhängigen FIR-Koeffizienten sind und du = [du1 du2 ... duM]T die von einem einzelnen Trainingsprofil abgeleitete oder aus mehreren Verfeinerungsdurchläufen zusammengesetzte Korrektursequenz ist.
  • Die U-Matrix, die 319 Spalten und eine Anzahl M von Zeilen besitzt, enthält die anfängliche (ideale) Eingangssequenz in kreisförmigen Permutationen, d.h.
  • Figure 00100001
  • Die Standardlösung der kleinsten Quadrate kann erhalten werden aus h = (UT·U)–1·UT·du
  • Die Anzahl von experimentellen Befehlsbewegungslängen, aus denen die FIR-Filterkoeffizienten abgeleitet werden können, ist N = 2, wobei ein Experiment einen Bewegungsbefehl mit kürzerer Länge darstellt und das andere einen Bewegungsbefehl mit längerer Länge darstellt.
  • Eine alternative Weise zum Sicherstellen, dass das FIR-Filter 28 ein Filter mit einer Gleichspannungsverstärkung von Null ist, besteht darin, zu erkennen, dass zum Erfüllen der Bedingung Δ(1) = 0 z = 1 eine Wurzel der Gleichung sein muss. Dieser Ausdruck von Δ(z) ist Δ(z) = (1 – z–1)·Δ'in der alle Koeffizienten von Δ' bestimmt sind. 3 zeigt ein Blockdiagramm eines alternativen Korrektureingabegenerators 16', der mit einem umkonfigurierten FIR-Filter 28' implementiert ist, wie vorstehend beschrieben.
  • Der Abtastspiegel des Galvanometers 12 lenkt einen Laserstrahl in Richtung einer gewünschten Zielstelle. Idealerweise ist die tatsächliche Spiegelposition z zur gemessenen Abtasterposition y direkt proportional oder z = cy, wobei c ein bekannter oder gemessener konstanter Wert ist. Da die Abtasterposition durch den Verbundcodierer gemessen wird, stimmt die tatsächliche Position des Spiegels, der am freien Ende der Abtasterwelle eingesetzt ist, nicht mit der gemessenen Position der Abtasterwelle überein, wenn er einer Ablenkung während Positionsschaltbedingungen mit hoher Beschleunigung unterzogen wird. Ein Grund für diese Differenz ist die endliche Steifigkeit der mechanischen Kopplung zwischen der Abtasterwelle und dem Spiegel. Folglich gilt in der Realität z = Sy, wobei S ein dynamisches Filter darstellt, das die Kopplung zwischen der gemessenen Abtasterposition und der tatsächlichen Spiegelposition an einem Galvanometer des Modells 6220H von Cambridge Technology, Inc., kennzeichnet.
  • 4A zeigt die dynamische Filterübertragungsfunktion S, die einen Spitzenamplitudenwert oder eine Spitze bei etwa 10 kHz aufweist. Um den dynamischen Filtereffekt zu kompensieren, wird in Schritt 2 der iterativen Verfeinerungsprozedur, in der ursprünglich e = u – y, ein System-Invertierungssperrfilter mit einer wie in 4B gezeigten Übertragungsfunktion implementiert, um der Spitze bei 10 kHz entgegenzuwirken. Mit einer Sperrfilterimplementierung, die zur Bestimmung des FIR-Filters 28 beiträgt, gilt e = Nu – y, wobei Nu die sperrgefilterte Version von u ist. Die Sperrfilterkompensation wird als Teil der Berechnung des FIR-Filters 28 durchgeführt, um zu verhindern, dass der iterative Verfeinerungsprozess versucht, Verfolgungsfehler um die Sperrfrequenz zu kompensieren, insofern als gezeigt wird, dass die gemessene Position des Abtasters und die tatsächliche Spiegelposition in diesem Frequenzbereich signifikant voneinander abweichen.
  • Die Verwendung des Korrektureingabegenerators 16, der wie vorstehend beschrieben implementiert und in einem Laserstrahl-Positionierungssystem installiert wird, ermöglicht das Betreiben eines Galvanometers mit höheren Beschleunigungen und breiteren Bandbreiten als den vorher verwendeten, um einen Laserstrahl zu positionieren. Die Konsequenz ist eine Steigerung der Zielprüfstück-Servoleistung von etwa 25 Prozent.
  • Für Fachleute wird es offensichtlich sein, dass viele Änderungen an den Einzelheiten der vorstehend beschriebenen Ausführungsbeispiele vorgenommen werden können, ohne von den zugrunde liegenden Prinzipien der Erfindung abzuweichen. Alternative Implementierungen eines Korrektureingabegenerators können beispielsweise unter anderem ein rekursives (IIR) Filter, eine Kombination von IIR- und FIR-Filtern oder nicht-lineare Filtermethoden wie z.B. Neuronennetzwerke umfassen. Der Schutzbereich der vorliegenden Erfindung sollte daher nur durch die folgenden Ansprüche bestimmt sein.
  • Zusammenfassung
  • Bevorzugte Ausführungsbeispiele der Erfindung implementieren Verfahren zum Modifizieren der Befehlsbahn, der Architektur eines Servomechanismus-Steuersystems (10) oder beider, um den Servofehler während und/oder nach der Befehlsbahn zu verringern. Eine iterative Verfeinerungsprozedur erzeugt zur Verwendung vom Servomechanismus-Steuersystem eine Korrektureingabe du, die den Fehler (e) zwischen den gewünschten (yd) und tatsächlichen (y) Servomechanismus-Steuersystemausgaben signifikant verringert. In einem Ausführungsbeispiel wird ein eindeutig identifiziertes Anlagenmodell in der iterativen Verfeinerungsprozedur verwendet, um einen ungefähren Gradienten zu berechnen, der die Leistung und Zuverlässigkeit der Verfeinerungsprozedur verbessert. In einem weiteren Ausführungsbeispiel wird die tatsächliche Anlagenreaktion anstelle des identifizierten Modells in der iterativen Verfeinerungsprozedur verwendet. Dies wird durch zeitliche Umkehr des gespeicherten Fehlersignals von einem Trainingsdurchlauf, bevor es an die Anlage (12) angelegt wird, durchgeführt, um eine Aktualisierung am Korrektureingabesignal du zu erzeugen.

Claims (16)

  1. Präzisions-Servomechanismus-Steuersystem mit hoher Geschwindigkeit mit: einem Steuerservomechanismus in geschlossener Schleife, der mit einer Rückkopplungsteuerung und Mitkopplungskompensation implementiert wird, um die Ausgangszustände einer physikalischen Anlage in Reaktion auf einen Befehlseingangsstrom, der an das Steuersystem angelegt wird, zu steuern; und einem Korrektureingabegenerator, der auf den Befehlseingangsstrom reagiert, um einen verfeinerten Eingangsstrom bereitzustellen, auf den die physikalische Anlage reagiert, um innerhalb einer Betriebstoleranz einen gewünschten Ausgangszustand entsprechend dem Befehleingangsstrom zu erreichen, wobei der Korrektureingabegenerator mit einer Korrektureingabeabbildung implementiert wird, die für einen willkürlichen Befehlseingangsstrom eine Übereinstimmungslösung bereitstellt, die bewirkt, dass die physikalische Anlage den gewünschten Ausgangszustand entsprechend dem willkürlichen Befehlseingangsstrom erreicht.
  2. Steuersystem nach Anspruch 1, wobei der Korrektureingabegenerator ein FIR-Filter umfasst, das mit Filterkoeffizienten implementiert wird, die zur Bereitstellung der Übereinstimmungslösung berechnet werden.
  3. Steuersystem nach Anspruch 2, wobei das FIR-Filter ein Ausgangssignal aufweist und wobei der Korrektureingabegenerator eine Eingangsverzögerung an dem willkürlichen Befehlseingangsstrom in Kombination mit dem Ausgangssignal des FIR-Filters implementiert, um den verfeinerten Eingangsstrom zu erzeugen.
  4. Steuersystem nach Anspruch 1, wobei die Ausgangszustände eine Bewegung darstellen und die physikalische Anlage ein Galvanometer und eine Motorantriebselektronik darstellt, die als Teil eines Laserstrahl-Positionierungssystems arbeiten.
  5. Steuersystem nach Anspruch 4, wobei der Befehlseingangsstrom gewünschte Laserstrahl-Positionsverschiebungen darstellt.
  6. Steuersystem nach Anspruch 4, wobei eine dynamische Filterübertragungsfunktion, die eine Spitze bei einer speziellen Frequenz aufweist, den Betrieb des Galvanometers charakterisiert, und wobei die im Korrektureingabegeneratorimplementierte Korrektureingabeabbildung ein Sperrfilter mit einer Übertragungsfunktion umfasst, die der Spitze bei der speziellen Frequenz entgegenwirkt.
  7. Steuersystem nach Anspruch 6, wobei der Korrektureingabegenerator ein FIR-Filter umfasst, das mit Filterkoeffizienten implementiert wird, die zur Bereitstellung der Übereinstimmungslösung mit dem Sperrfilter berechnet werden.
  8. Verfahren zum Herstellen eines Präzisions-Servomechanismus-Steuersystems mit hoher Geschwindigkeit, das einen Steuerservomechanismus in geschlossener Schleife umfasst, der mit einer Rückkopplungssteuerung und einer Mitkopplungskompensation implementiert wird, um die Ausgangszustände einer physikalischen Anlage in Reaktion auf einen Befehlseingangsstrom zu steuern, umfassend: Vorsehen eines Korrektureingabegenerators, der auf den Befehlseingangsstrom reagiert, um einen verfeinerten Eingangsstrom zu erzeugen, auf den die physikalische Anlage reagiert; und Durchführen einer iterativen Befehlseingabe-Verfeinerungsprozedur, um eine Korrektureingabeabbildung zu implementieren, die für einen willkürlichen Befehleingangsstrom eine Übereinstimmungslösung bereitstellt, die bewirkt, dass die physikalische Anlage innerhalb einer Betriebstoleranz einen gewünschten Ausgangszustand entsprechend dem willkürlichen Befehlseingangsstrom erreicht.
  9. Verfahren nach Anspruch 8, wobei das Durchführen einer iterativen Befehlseingangs-Verfeinerungsprozedur umfasst: (a) Anlegen eines verfeinerten Eingangsbefehls an das Servomechanismus-Steuersystem und Messen seines Ausgangsstroms, wobei der verfeinerte Eingangsbefehl eine nominale Befehlseingabe und einen inkrementalen Korrekturfaktor umfasst; (b) Messen eines Fehlerstroms, der eine Differenz zwischen der nominalen Befehlseingabe und dem gemessenen Ausgangsstrom darstellt; (c) Vergleichen des Fehlerstroms mit einer Betriebstoleranz, und sobald der Fehlerstrom die Betriebstoleranz übersteigt, zeitliches Umkehren des Fehlerstroms, um einen zeitlich umgekehrten Fehlerstrom zu erzeugen, Anlegen des zeitlich umgekehrten Fehlerstroms als Befehl an das Servomechanismus-Steuersystem und Messen seines Ausgangsstroms, zeitliches Umkehren des gemessenen Ausgangsstroms, um eine zeitlich umgekehrte Version des gemessenen Ausgangsstroms zu erzeugen, und Bestimmen eines nächsten verfeinerten Eingangsbefehls, der eine Summe des inkrementalen Korrekturfaktors und des Produkts einer dynamisch eingestellten Korrekturverstärkung und der zeitlich umgekehrten Version des gemessenen Ausgangstroms darstellt; und (d) Wiederholen der vorangehenden Schritte (a), (b) und (c), bis der Fehlerstrom innerhalb der Betriebstoleranz liegt.
  10. Verfahren nach Anspruch 8, wobei das Durchführen einer iterativen Befehlseingabe-Verfeinerungsprozedur umfasst: (a) Anlegen eines verfeinerten Eingangsbefehls an das Servomechanismus-Steuersystem und Messen seines Ausgangsstroms, wobei der verfeinerte Eingangsbefehl eine nominale Befehlseingabe und einen inkrementalen Korrekturfaktor umfasst; (b) Messen eines Fehlerstroms, der eine Differenz zwischen der nominalen Befehlseingabe und dem berechneten Ausgangsstrom darstellt; (c) Vergleichen des gemessenen Fehlerstroms mit einer Betriebstoleranz, und sobald der Fehlerstrom die Betriebstoleranz übersteigt, Anlegen des gemessenen Fehlerstroms durch mathematische Simulation als Befehl an den modellierten Anschluss des Steuerservomechanismus in geschlossener Schleife und Berechnen eines Ausgangsstroms und Bestimmen eines nächsten verfeinerten Eingangsbefehls, der eine Summe des inkrementalen Korrekturfaktors und des Produkts einer dynamisch eingestellten Korrekturverstärkung und des berechneten Ausgangsstroms darstellt; und (d) Wiederholen der vorangehenden Schritte (a), (b) und (c), bis der gemessene Fehlerstrom innerhalb der Betriebstoleranz liegt.
  11. Steuersystem nach Anspruch 8, wobei der Korrektureingabegenerator ein FIR-Filter umfasst, das mit Filterkoeffizienten implementiert wird, die zur Bereitstellung der Übereinstimmungslösung berechnet werden.
  12. Steuersystem nach Anspruch 11, wobei das FIR-Filter ein Ausgangssignal aufweist, und wobei der Korrektureingabegenerator eine Eingangsverzögerung an dem willkürlichen Befehlseingangsstrom in Kombination mit dem Ausgangssignal des FIR-Filters implementiert, um den verfeinerten Eingangsstrom zu erzeugen.
  13. Steuersystem nach Anspruch 8, wobei die Ausgangszustände eine Bewegung darstellen und die physikalische Anlage ein Galvanometer und eine Motorantriebselektronik darstellt, die als Teil eines Laserstrahl-Positionierungssystems arbeiten.
  14. Steuersystem nach Anspruch 13, wobei der Befehlseingangsstrom gewünschte Laserstrahl-Positionsverschiebungen darstellt.
  15. Steuersystem nach Anspruch 13, wobei eine dynamische Filterübertragungsfunktion, die eine Spitze bei einer speziellen Frequenz aufweist, den Betrieb des Galvanometers charakterisiert, und wobei die im Korrektureingabegeneratorimplementierte Korrektureingabeabbildung ein Sperrfilter mit einer Übertragungsfunktion umfasst, die der Spitze bei der speziellen Frequenz entgegenwirkt.
  16. Steuersystem nach Anspruch 15, wobei der Korrektureingabegenerator ein FIR-Filter umfasst, das mit Filterkoeffizienten implementiert wird, die zur Bereitstellung der Übereinstimmungslösung mit dem Sperrfilter berechnet werden.
DE112005001079T 2004-05-14 2005-05-12 Adaptive Behelfsfilterung für Servomechanismus-Steuersysteme Withdrawn DE112005001079T5 (de)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US57144204P 2004-05-14 2004-05-14
US60/571,442 2004-05-14
PCT/US2005/016719 WO2005114348A2 (en) 2004-05-14 2005-05-12 Adaptive command filtering for servomechanism control systems

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DE112005001079T5 true DE112005001079T5 (de) 2007-04-05

Family

ID=35429022

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE112005001079T Withdrawn DE112005001079T5 (de) 2004-05-14 2005-05-12 Adaptive Behelfsfilterung für Servomechanismus-Steuersysteme

Country Status (8)

Country Link
US (1) US7345448B2 (de)
JP (1) JP4997103B2 (de)
KR (1) KR101175290B1 (de)
CN (1) CN101088058B (de)
DE (1) DE112005001079T5 (de)
GB (1) GB2431483B (de)
TW (1) TWI378328B (de)
WO (1) WO2005114348A2 (de)

Families Citing this family (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB0505800D0 (en) * 2005-03-22 2005-04-27 Univ Sheffield Control of processes
JP2007094952A (ja) * 2005-09-30 2007-04-12 Brother Ind Ltd 駆動制御装置
US7627403B2 (en) * 2006-03-23 2009-12-01 The Boeing Company Bias correcting phase compensating rate limiter
US7818073B2 (en) * 2006-04-20 2010-10-19 Asml Netherlands B.V. Method for obtaining improved feedforward data, a lithographic apparatus for carrying out the method and a device manufacturing method
US8452424B2 (en) * 2008-03-05 2013-05-28 National Univeristy Corporation Nagoya Institute of Technology Moving object feed-forward control method
US9690261B2 (en) * 2013-06-25 2017-06-27 Linestream Technologies Method for automatically setting responsiveness parameters for motion control systems
CN106154827B (zh) * 2016-07-07 2019-05-24 中国飞机强度研究所 一种伺服控制信号补偿方法
CA3086974A1 (en) * 2018-02-09 2019-08-15 Alcon Inc. System inverting controller for laser scanning systems
CN110587611B (zh) * 2019-09-30 2021-06-22 中电九天智能科技有限公司 电视机组装线的机械臂控制方法
CN112338912B (zh) * 2020-10-13 2022-06-10 山东师范大学 一种柔性单链机械臂的有限时间稳定控制方法及系统
CN113093553B (zh) * 2021-04-13 2023-01-17 哈尔滨工业大学 一种基于指令滤波扰动估计的自适应反步控制方法
CN113300649B (zh) * 2021-06-11 2022-11-18 华北电力大学(保定) 基于增量反推控制的机械弹性储能用pmsm控制方法
JP2023031900A (ja) * 2021-08-26 2023-03-09 いすゞ自動車株式会社 情報処理装置

Family Cites Families (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4298833A (en) * 1980-02-29 1981-11-03 The United States Of America As Represented By The Administrator Of The National Aeronautics And Space Administration Apparatus for damping operator induced oscillations of a controlled system
JPS643705A (en) * 1987-06-26 1989-01-09 Toshiba Corp Process controller
US4866361A (en) * 1988-05-05 1989-09-12 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy Actuator rate saturation compensator
FR2651339B1 (fr) * 1989-08-30 1991-10-04 Alsthom Gec Dispositif d'asservissement d'un systeme a contre-reaction et application aux amplificateurs et servomecanismes.
WO1992009022A1 (en) * 1990-11-08 1992-05-29 Fanuc Ltd Method for controlling servomotor feedforward
JP3545006B2 (ja) * 1992-04-06 2004-07-21 三菱電機株式会社 2自由度制御装置及び電動機のサーボ制御装置
KR970055208A (ko) * 1995-12-28 1997-07-31 김광호 서보모터의 속도제어방법 및 속도제어장치
JPH09319402A (ja) * 1996-06-03 1997-12-12 Toshiba Corp プロセス制御装置
US5822143A (en) * 1996-06-11 1998-10-13 Western Digital Corporation Decision feedback equalization implementation of partial-response signaling in a magnetic recording channel
US5875066A (en) * 1996-12-13 1999-02-23 International Business Machines Corporation Method and apparatus for real-time filtering of a position error signal for a disk drive servo system
JP4036520B2 (ja) * 1998-02-16 2008-01-23 サンテスト株式会社 単純適応制御装置
US6563666B1 (en) * 1999-04-21 2003-05-13 Seagate Technology Llc Disc drive model reference seek algorithm
JP4189716B2 (ja) * 2000-02-10 2008-12-03 富士電機システムズ株式会社 モータ速度制御装置
US6567711B1 (en) * 2000-08-28 2003-05-20 Brooks Automation Observer-corrector control system for systems with unmodeled dynamics
US7437201B2 (en) 2003-01-14 2008-10-14 Cullen Christopher P Electric motor controller
US7015670B2 (en) * 2004-05-14 2006-03-21 Moog Inc. Method of controlling a high-friction electro-mechanical servo-mechanism to minimize the power needed to hold a loaded output member

Also Published As

Publication number Publication date
CN101088058A (zh) 2007-12-12
GB2431483A (en) 2007-04-25
JP2007537549A (ja) 2007-12-20
WO2005114348A3 (en) 2007-05-24
US7345448B2 (en) 2008-03-18
GB2431483B (en) 2008-12-24
JP4997103B2 (ja) 2012-08-08
KR101175290B1 (ko) 2012-08-20
CN101088058B (zh) 2010-10-27
US20050285558A1 (en) 2005-12-29
TW200602827A (en) 2006-01-16
KR20070012472A (ko) 2007-01-25
GB0623251D0 (en) 2007-01-03
WO2005114348A2 (en) 2005-12-01
TWI378328B (en) 2012-12-01

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE112005001079T5 (de) Adaptive Behelfsfilterung für Servomechanismus-Steuersysteme
DE60128929T2 (de) Praediktive steuerungsvorrichtung
EP1052558B1 (de) Verfahren und Einrichtung zur Zustandsschätzung
DE112007001271T5 (de) Servoregelvorrichtung
DE102007001025A1 (de) Verfahren zur rechnergestützten Steuerung und/oder Regelung eines technischen Systems
DE19538996C2 (de) Vorrichtung und Verfahren zum Schätzen von Filterkoeffizienten
DE4240984B4 (de) Steuerschaltung und Netzteil für Fernsehgeräte
DE102011007083A1 (de) Verfahren zum Steuern des Positionierens eines Aktuators mit einem Wellgetriebe
DE112004001083B4 (de) Positionssteuerung und Steuerverfahren dafür
DE102020200635A1 (de) Maschinenlernsystem, Steuervorrichtung und Maschinenlernverfahren für das Optimieren von Filterkoeffizienten
DE112020001369T5 (de) Gepulste synaptische elemente für gepulste neuronale netze
DE102011016559A1 (de) Verfahren zum Durchführen adaptiver Reibungskompensation in einem Aktuator, das eine mit einer Temperaturänderung verbundene Variation der Reibungseigenschaften eines Wellgetriebes berücksichtigt
EP0520233A2 (de) Einrichtung zur Identifikation einer Übertragungsstrecke
DE10255855A1 (de) Verfahren und Systeme zur Drehmomentwelligkeitskompensation
DE102013217102A1 (de) Regler zur Ansteuerung eines mikromechanischen Aktors, Ansteuerungssystem zur Ansteuerung eines mikromechanischen Aktors, Mikrospiegelsystem und Verfahren zum Ansteuern eines mikromechanischen Aktors
DE69930333T2 (de) Verfahren und Vorrichtung zum Verarbeiten von Bildern und Aufnahmemedium dafür
DE10201018A1 (de) Neuronales Netz zur Modellierung eines physikalischen Systems sowie Verfahren zur Bildung eines solchen neuronalen Netzes
DE102019212912A1 (de) Komprimieren eines tiefen neuronalen Netzes
EP0786709B1 (de) Schaltungsanordnung eines Reglers mit nachgiebiger Rückführung
WO2000063979A1 (de) Positioniervorrichtung
DE102013217105A1 (de) Regler zur Ansteuerung eines mikromechanischen Aktors, Ansteuersystem zur Ansteuerung eines mikromechanischen Aktors, Mikrospiegelsystem und Verfahren zum Ansteuern eines mikromechanischen Aktors
DE19702321C2 (de) Verfahren zum adaptiven Filtern einer Eingangsfolge aus Abtastwerten und zum adaptiven linearen Kombinieren von Abtastwerten sowie adaptiver linearer Kombinierer
DE19825859A1 (de) Kompensationseinrichtung, Verfahren und Stelleinrichtung zur Kompensation von Kriech- und Hystereseeffekten im Übertragungsverhalten von Stellgliedern
DE102009010634A1 (de) Verfahren und Anordnung zur Optimierung der Bestimmung und/oder Anpassung von Modellparametern beim Betrieb von mittels Piezoaktoren gesteuerten Ventilen
DE19644767B4 (de) Vorrichtung und Verfahren zur Bewegungsschätzung von Bildobjekten

Legal Events

Date Code Title Description
R005 Application deemed withdrawn due to failure to request examination

Effective date: 20120515