DE1073655B - Verfahren zum Ändern der Bildhelligkeit in Korpuskularstrahlgeräten, insbesondere in Elektronenmikroskopen - Google Patents

Verfahren zum Ändern der Bildhelligkeit in Korpuskularstrahlgeräten, insbesondere in Elektronenmikroskopen

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DE1073655B
DE1073655B DENDAT1073655D DE1073655DA DE1073655B DE 1073655 B DE1073655 B DE 1073655B DE NDAT1073655 D DENDAT1073655 D DE NDAT1073655D DE 1073655D A DE1073655D A DE 1073655DA DE 1073655 B DE1073655 B DE 1073655B
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DENDAT1073655D
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German (de)
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Inventor
Oberkochen Dr. Ernst Gutter (Württ.)
Original Assignee
Fa. Carl Zeiss, Heidenheim/Brenz
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    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/26—Electron or ion microscopes; Electron or ion diffraction tubes
    • H01J37/261—Details
    • H01J37/265—Controlling the tube; circuit arrangements adapted to a particular application not otherwise provided, e.g. bright-field-dark-field illumination

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