DE112017007787B4

DE112017007787B4 - Ladungsträgerstrahlvorrichtung

Info

Publication number: DE112017007787B4
Application number: DE112017007787.7T
Authority: DE
Inventors: Ryo Hirano; Tsunenori Nomaguchi; Chisato Kamiya; Junichi Katane
Original assignee: Hitachi High Technologies Corp; Hitachi High Tech Corp
Current assignee: Hitachi High Tech Corp
Priority date: 2017-09-04
Filing date: 2017-09-04
Publication date: 2023-09-28
Anticipated expiration: 2037-09-05
Also published as: JPWO2019043945A1; US20200219697A1; CN111033676B; CN111033676A; DE112017007787T5; WO2019043945A1; JP6812561B2; US11430630B2

Abstract

Ladungsträgerstrahlvorrichtung (10) zum Bestrahlen einer Probe (104) mit einem Ladungsträgerstrahl, wobei die Vorrichtung umfasst:eine lonenstrahl-Bestrahlungseinheit (101), die einen fokussierten lonenstrahl auf die Probe (104) emittiert;eine Elektronenstrahl-Bestrahlungseinheit (100), die einen Elektronenstrahl auf die Probe (104) emittiert;eine Objektivlinse zum Fokussieren des Elektronenstrahls auf die Probe (104); undeine Steuereinheit (105), die die Objektivlinse steuert, wobeidie Objektivlinse umfasst:ein erstes Magnetpolstück (110),ein zweites Magnetpolstück (111), das in Bezug auf das erste Magnetpolstück (110) an einer vom Elektronenstrahlengang entfernten Position angeordnet ist, undeine erste Spule (112), die zwischen dem ersten Magnetpolstück (110) und dem zweiten Magnetpolstück (111) angeordnet ist,die Ladungsträgerstrahlvorrichtung (10) ferner eine zweite Spule (113) umfasst, die in Bezug auf das zweite Magnetpolstück (111) an einer von dem Elektronenstrahlengang entfernten Position angeordnet ist,die Steuereinheit (105) eine erste Operation zum Erfassen eines ersten Beobachtungsbildes der Probe (104) durch den fokussierten lonenstrahl, während ein erster Strom zu der ersten Spule (112) geleitet wird, durchführt und eine zweite Operation zum Erfassen eines zweiten Beobachtungsbildes der Probe (104) durch den fokussierten lonenstrahl, während ein zweiter Strom zu der ersten Spule (112) geleitet wird, nach Anordnen einer Position der Probe (104) an derselben Position wie bei der ersten Operation durchführt,die Steuereinheit (105) einen Korrekturstrom zu der zweiten Spule (113) leitet, um ein Magnetfeld zu erzeugen, das eine Positionsverschiebung eines Beobachtungsbildes, die durch Leiten eines Stroms zu der ersten Spule (112) verursacht wird, verringert, unddie Steuereinheit (105) den Korrekturstrom basierend auf einer Differenz zwischen der ersten Operation und der zweiten Operation bestimmt.

Description

Technisches Gebiet
Die vorliegende Anmeldung bezieht sich auf eine Ladungsträgerstrahlvorrichtung.
Stand der Technik
Eine FIB-REM-Vorrichtung ist eine zusammengesetzte Ladungsträgerstrahlvorrichtung, bei der eine Bestrahlungseinheit mit fokussiertem lonenstrahl (FIB- Bestrahlungseinheit) und ein Rasterelektronenmikroskop (REM) in derselben Probenkammer angeordnet sind. Die FIB-REM-Vorrichtung wird zum Vorbereiten einer Dünnschichtprobe, die unter Verwendung eines Transmissionselektronenmikroskops beobachtet werden soll, und zur Analyse einer dreidimensionalen Struktur der Probe verwendet. Da das REM einen kleineren Sondenstrahldurchmesser als der FIB hat, kann die Probe mit hoher Auflösung beobachtet werden.
Die FIB-REM-Vorrichtung führt abwechselnd oder gleichzeitig eine Verarbeitung mit FIB und eine Beobachtung mit REM durch. Zu dieser Zeit wird dann, wenn ein Magnetfeld von einer REM-Objektivlinse in die FIB-REM-Probenkammer austritt, ein FIB-Ionenstrahl abgelenkt oder die Isotope einer lonenquelle werden getrennt, wodurch die Verarbeitungsgenauigkeit und Auflösung verschlechtert werden.
JP H11 - 329 331 A (PTL 1) beschreibt eine zusammengesetzte Ladungsträgerstrahlvorrichtung. Das Dokument offenbart „eine Technik eines kombinierten Ladungsträgerstrahlsystems, das mit einer Säule für einen fokussierten lonenstrahl, einer Elektronenstrahlsäule und einem Magnetfeldmessinstrument in derselben Probenkammer versehen ist und den Restmagnetismus in der Probenkammer misst und eine Funktion der Steuerung des Magnetfelds auf der Bewegungsbahn des fokussierten lonenstrahls unter Verwendung eines elektromagnetischen Verfahrens“ mit der Aufgabe „eine Massentrennung eines fokussierten lonenstrahls aufgrund des Restmagnetfelds zu verhindern und die Reproduzierbarkeit und Stabilität der Fokussierung eines Elektronenstrahls zu verbessern“ (siehe Zusammenfassung). DE 112016 000 644 T5 zeigt eine Verbundvorrichtung für geladene Partikelstrahlen mit einem Probentisch, auf dem eine Probe positioniert wird; einer lonenstrahlsäule; einer Elektronenstrahlsäule, die ein optisches Entschleunigungssystem und einen Detektor in einer Säule umfasst; eine Mehrzahl Elektroden zur Korrektur des elektrischen Felds, die um einen Endabschnitt der lonenstrahlsäule und um eine optische Achse der lonenstrahlsäule herum vorgesehen sind, und die eine um die Probe gebildete Verteilung des elektrischen Feldes korrigieren, wobei die Elektroden zur Korrektur des elektrischen Felds sich zwischen der Probe und der lonenstrahlsäule und an einer gegenüberliegenden Seite der Elektronenstrahlsäule bezüglich einer optischen Achse der lonenstrahlsäule befinden. DE 10 2006 059 162 A1 zeigt eine teilchenoptische Anordnung aus einem Elektronenmikroskopiesystem und einem Ionenstrahlbearbeitungssystem umfassend: eine Objektivlinse des Elektronenmikroskopiesystems, welche eine Ringelektrode aufweist, die eine einer Position eines zu untersuchenden Objekts am nächsten angeordnete Komponente des Elektronenmikroskopiesystem ist. Zwischen der Ringelektrode und einer Hauptachse des Ionenstrahlbearbeitungssystems ist ferner eine Abschirmelektrode angeordnet. DE 112015 001268 B4 zeigt eine Elektronenstrahlvorrichtung, welche Folgendes umfasst: eine Elektronenquelle zum Erzeugen eines Elektronenstrahls, einen Verzögerungsteil zum Verzögern von der Elektronenquelle erzeugter Elektronen und eine Objektivlinse zum Fokussieren des Elektronenstrahls auf eine Probe, wobei der Verzögerungsteil zwischen der Elektronenquelle und einem Magnetpol der Objektivlinse angeordnet ist, dadurch gekennzeichnet, dass die Form der Elektroden im Verzögerungsteil eine Schalenform ist, oder der Verzögerungsteil zwei Elektroden aufweist, die eine Form aufweisen, bei der eine Elektrode die andere bedeckt.
Entgegenhaltungsliste
Patentdokument(e)

PTL 1: JP H11 - 329 331 A
PTL 2: DE 11 2016 000 644 T5
PTL 3: DE 10 2006 059 162 A1
PTL 4: DE 2015 001 268 B4

Zusammenfassung der Erfindung
Technisches Problem
Zusätzlich zur FIB-Verarbeitung und REM-Beobachtung ist in der Probenkammer ein Analysator zur Durchführung verschiedener Analysen wie energiedispersiver Röntgenspektrometrie (EDS) und Elektronenrückstreubeugung (EBSD) installiert. Daher kann es schwierig sein, Platz zum Montieren eines Magnetfelddetektors wie bei JP H11 - 329 331 A (PTL 1) in der Probenkammer zu gewährleisten.
Die vorliegende Erfindung wurde im Hinblick auf das oben beschriebene Problem ersonnen und verwirklicht eine zusammengesetzte Ladungsträgerstrahlvorrichtung, die in der Lage ist, ein Streumagnetfeld aus einem Polstück, das eine Objektivlinse eines REM bildet, mit einer einfachen Struktur zu unterdrücken.
Lösung für das Problem
Die Ladungsträgerstrahlvorrichtung gemäß der vorliegenden Erfindung führt Operationen zum Erfassen eines lonenstrahlbeobachtungsbildes durch, während ein Strom zu einer ersten Spule, die die Objektivlinse bildet, mit mehreren Stromwerten geleitet wird, und verringert eine Positionsverschiebung des Beobachtungsbildes durch Leiten eines Stroms zu einer zweiten Spule basierend auf einer Differenz zwischen den Operationen.
Vorteilhafte Wirkungen der Erfindung
Gemäß der Ladungsträgerstrahlvorrichtung der vorliegenden Erfindung ist es möglich, die Verschiebung des fokussierten lonenstrahls zu unterdrücken, ohne das Magnetfeld in der Probenkammer zu messen. Daher ist es nicht erforderlich, ein Magnetfeldmessinstrument in der Probenkammer anzuordnen, wodurch die Vorrichtungskonfiguration vereinfacht werden kann.
Kurzbeschreibung der Zeichnungen

[1] 1 ist ein Konfigurationsdiagramm einer Ladungsträgerstrahlvorrichtung 10 gemäß Ausführungsform 1.
[2] 2 ist eine Seitendarstellung, die eine Konfiguration einer Objektivlinse zeigt, die in einer REM-Säule 100 bereitgestellt ist.
[3] 3 ist eine konzeptionelle Darstellung eines Magnetfelds, das in der in 2 gezeigten Objektivlinse erzeugt wird.
[4] 4 ist ein Beispiel einer Positionsverschiebung eines FIB-Beobachtungsbildes.
[5] 5 ist ein Ablaufdiagramm, das eine Prozedur zum Bestimmen eines Werts eines Stroms zeigt, der zu einer zweiten Spule 113 zu leiten ist, um ein Streumagnetfeld zu unterdrücken.
[6] 6 ist ein Graph, der eine Entsprechung zwischen dem Strom, der zu einer ersten Spule 112 geleitet wird, und einem FIB-Bildverschiebungsbetrag zeigt.
[7] 7 ist ein Ablaufdiagramm, das die Prozedur zeigt, in der eine Ladungsträgerstrahlvorrichtung 10 gemäß Ausführungsform 2 ein Streumagnetfeld unterdrückt, indem ein Strom zu der zweiten Spule 113 geleitet wird.
[8] 8 ist ein Ablaufdiagramm, das einen Betrieb zeigt, wenn die Ladungsträgerstrahlvorrichtung 10 eine Beschleunigungsspannung der REM-Säule 100 ändert.
[9] 9 ist ein Konfigurationsdiagramm einer Objektivlinse der REM-Säule 100, die in der Ladungsträgerstrahlvorrichtung 10 gemäß Ausführungsform 4 bereitgestellt ist.
[10] 10 ist ein Abwandlungsbeispiel von 9.
[11] 11 ist ein Konfigurationsdiagramm einer Objektivlinse der REM-Säule 100, die in der Ladungsträgerstrahlvorrichtung 10 gemäß Ausführungsform 5 bereitgestellt ist.
[12] 12 ist ein Beispiel eines FIB-Beobachtungsbildes, wenn CutAndSee ausgeführt wird.

Beschreibung von Ausführungsformen
<Ausführungsform 1>
1 ist ein Konfigurationsdiagramm der Ladungsträgerstrahlvorrichtung 10 gemäß Ausführungsform 1 der vorliegenden Erfindung. Die Ladungsträgerstrahlvorrichtung 10 ist als eine FIB-REM-Vorrichtung konfiguriert.
Die Ladungsträgerstrahlvorrichtung 10 umfasst die REM-Säule 100, eine FIB-Säule 101, eine Probenkammer 102, einen FIB-REM-Rahmen 103, einen Controller 105 und einen Monitor 106. Die FIB-Säule 101 bestrahlt eine Probe 104 mit FIB, um die Probe 104 zu verarbeiten oder zu beobachten. Die REM-Säule 100 bestrahlt die Probe 104 mit einem Elektronenstrahl, um die Probe 104 mit hoher Auflösung zu beobachten und zu analysieren. Die Probenkammer 102 ist ein Raum, in dem die Probe 104 installiert ist, und enthält die oben beschriebenen Linsensäulen. Der FIB-REM-Rahmen 103 ist mit der Probenkammer 102 ausgestattet. Der Controller 105 steuert die Ladungsträgerstrahlvorrichtung 10, um ein REM-Beobachtungsbild der Probe 104 zu erfassen, die Probe 104 durch FIB zu verarbeiten und ein FIB-Beobachtungsbild der Probe 104 zu erfassen. Der Monitor 106 zeigt ein Verarbeitungsergebnis (z. B. ein Beobachtungsbild) für die Probe 104 auf einem Bildschirm an.
Die FIB-Säule 101 weist eine lonenquelle, einen Austaster, einen elektrostatischen Ablenker und eine elektrostatische Objektivlinse auf. Der Austaster wird verwendet, um zu verhindern, dass der lonenstrahl auf die Probe 104 gestrahlt wird, während die FIB-Säule 101 betrieben wird. Der elektrostatische Ablenker dient zum Ablenken des lonenstrahls mit der Linsenmitte der elektrostatischen Objektivlinse als Basispunkt und zum Abtasten der Oberfläche der Probe 104. Als elektrostatischer Ablenker können ein einstufiger Ablenker oder obere und untere zweistufige Ablenker verwendet werden.
Die REM-Säule 100 weist eine Elektronenkanone, eine Kondensorlinse, eine bewegliche Blende, einen Ablenker und eine Objektivlinse auf. Als Elektronenkanone kann ein Filamentverfahren, ein Schottky-Verfahren, ein Feldemissionsverfahren oder dergleichen verwendet werden. Als Ablenker wird ein magnetischer Ablenktyp oder ein elektrostatischer Ablenktyp verwendet. Ein einstufiger Ablenker oder ein oberer und unterer zweistufiger Ablenker können verwendet werden. Als Objektivlinse kann eine Magnetlinse, die eine Elektronenfokussierungswirkung durch ein Magnetfeld verwendet, eine Magnetlinse vom Typ mit elektrischer Feldüberlagerung, bei der die chromatische Aberration durch Überlagerung eines Magnetfelds und eines elektrischen Felds verringert wird, und dergleichen verwendet werden.
Die Probe 104 ist auf einem kippbaren Probentisch montiert, der in der Probenkammer 102 bereitgestellt ist. Wenn die Probe 104 durch FIB verarbeitet wird, wird die Probe 104 in Richtung der FIB-Säule 101 gekippt, und wenn die Probe 104 durch REM beobachtet wird, wird die Probe 104 in Richtung der REM-Säule 100 gekippt. Wenn während der REM-Beobachtung eine Vorspannung an die Probe 104 angelegt wird, ist die Probe 104 unter Berücksichtigung der Verzerrung des zwischen der Probe 104 und der REM-Säule 100 gebildeten elektrischen Feldes so angeordnet, dass sie senkrecht zu der Mittelachse der REM-Säule 100 ist.
Der Controller 105 tastet durch den Ablenker mit einem von der Elektronenkanone erzeugten Primärelektronenstrahl auf der Probe 104 ab und erfasst ein REM-Beobachtungsbild durch Detektieren von aus dem Inneren der Probe 104 erzeugten Sekundärelektronen mit einem Sekundärelektronendetektor (in der REM-Säule 100 oder der Probenkammer 102 montiert). Der Controller 105 verarbeitet die Probe 104 durch Bestrahlen der Probe 104 mit einem lonenstrahl aus der lonenquelle und erfasst ein FIB-Beobachtungsbild der Probe 104. Das FIB-Beobachtungsbild kann durch das gleiche Verfahren wie das REM-Beobachtungsbild erfasst werden.
2 ist eine Seitendarstellung, die eine Konfiguration einer Objektivlinse zeigt, die in der REM-Säule 100 bereitgestellt ist. Die Objektivlinse umfasst ein erstes Magnetpolstück 110, ein zweites Magnetpolstück 111 und eine erste Spule 112. Das erste Magnetpolstück 110 und das zweite Magnetpolstück 111 können aus einem hohlzylindrischen Magnetmaterial gebildet sein. Der Elektronenstrahl durchläuft den hohlen Teil. Das erste Magnetpolstück 110 und das zweite Magnetpolstück 111 sind symmetrisch um den Elektronenstrahlengang als Mittelachse ausgebildet. Das zweite Magnetpolstück 111 ist vom Elektronenstrahlengang aus betrachtet außerhalb des ersten Magnetpolstücks 110 angeordnet. Das Ende des zweiten Magnetpolstücks 111 auf der Seite der Probe 104 erstreckt sich zu einer Position, die näher an der Probe 104 liegt als das Ende des ersten Magnetpolstücks 110 auf der Seite der Probe 104.
Die erste Spule 112 ist zwischen dem ersten Magnetpolstück 110 und dem zweiten Magnetpolstück 111 angeordnet. Der Controller 105 passt den Magnetfluss an, der von dem ersten Magnetpolstück 110 und dem zweiten Magnetpolstück 111 erzeugt wird, indem er den Wert des Stroms steuert, der an die erste Spule 112 geliefert werden soll. Infolgedessen können die Eigenschaften der magnetischen Linse gesteuert werden.
Eine zweite Spule 113 ist vom Elektronenstrahlengang (der Mittelachse jedes Magnetpolstücks) aus gesehen außerhalb des zweiten Magnetpolstücks 111 angeordnet. Die REM-Säule 100 kann die zweite Spule 113 umfassen, oder die zweite Spule 113 kann in der Probenkammer 102 angeordnet sein. Der Controller 105 steuert den Wert des Stroms, der zu der zweiten Spule 113 zu leiten ist, wodurch das Streumagnetfeld gemäß einem später beschriebenen Verfahren unterdrückt wird.
3 ist eine konzeptionelle Darstellung eines Magnetfeldes, das in der in 2 gezeigten Objektivlinse erzeugt wird. In 3 ist eine Magnetlinse 120 vom Typ ohne Immersion mit einer Magnetfeldintensitätsspitze in der REM-Linsensäule 100 dargestellt. Es kann jedoch auch eine Magnetlinse vom Typ mit Immersion mit einer Magnetfeldstärkespitze zwischen der REM-Säule 100 und der Probe 104 oder eine Linse, in der diese Magnetlinsen kombiniert sind, verwendet werden. Die Magnetlinse vom Typ ohne Immersion ist eine Art von Magnetlinse, bei der die Linse innerhalb der REM-Linsensäule 100 ausgebildet ist. Die Magnetlinse vom Typ mit Immersion ist eine Art von Magnetlinse, bei der die Linse außerhalb der REM-Linsensäule 100 (Seite der Probe 104) ausgebildet ist.
Die Objektivlinse der Magnetlinse vom Typ ohne Immersion weist ein kleines Streumagnetfeld 121 in Bezug auf die Probenkammer 102 auf. Das aufgrund der Objektivlinse innerhalb der Probenkammer 102 erzeugte Magnetfeld ist jedoch nicht komplett null. Daher wirkt aufgrund des Streumagnetfelds eine Lorentzkraft auf den lonenstrahl und Ionen werden in einer Richtung abgelenkt, die orthogonal zu der Ausbreitungsrichtung des lonenstrahls und der Magnetflussrichtung des Magnetfelds ist. Im Ergebnis wird der lonenstrahl auf der Oberfläche der Probe 104 um einige nm oder bis zu einige Dutzend nm verschoben. Da eine Objektivlinse vom einpoligen Linsentyp ein Magnetfeld in der Nähe der Probe 104 außerhalb der REM-Säule 100 erzeugt, ist der Einfluss des Magnetfeldes auf den lonenstrahl groß, auf der Probe 104 tritt eine Strahlverschiebung von einigen hundert µm auf und die Auflösung verschlechtert sich aufgrund des Auftretens einer Massentrennung von lonenisotopen. Im Falle einer einpoligen Linse verbleibt ein Magnetfeld in der Probenkammer 102 auch dann, wenn die Anregung ausgeschaltet wird, wodurch die Leistung des lonenstrahls verschlechtert wird.
4 ist ein Beispiel einer Positionsverschiebung des FIB-Beobachtungsbildes. 4(a) ist ein Beobachtungsbild dann, wenn die Probe 104 durch FIB beobachtet wird, während ein erster Strom zu der ersten Spule 112 geleitet wird. Wenn die Probe 104 durch FIB beobachtet wird, während ein Strom zu der ersten Spule 112 geleitet wird, ist die Position des Beobachtungsbildes aufgrund des von dem zweiten Magnetpolstück 111 erzeugten Streumagnetfelds verschoben. Hier ist zur Vereinfachung der Beschreibung eine Referenzposition 131 bei Fließen des ersten Stroms in der Mitte der Zeichnung angeordnet.
4(b) ist ein Beobachtungsbild dann, wenn die Probe 104 von dem FIB beobachtet wird, während ein zweiter Strom zu der ersten Spule 112 geleitet wird. Die Position der Probe 104 ist die gleiche wie die in 4(a). Wie aus dem Vergleich von 4(a) und 4(b) ersichtlich ist, variiert die Positionsverschiebung des Beobachtungsbildes, da sich die Größe des in der Probenkammer 102 erzeugten Streumagnetfeldes in Abhängigkeit von dem Wert des Stroms, der zu der ersten Spule 112 geleitet wird, unterscheidet, ebenfalls abhängig von dem Stromwert. Das heißt, eine Differenz 132 in dem Betrag der Positionsverschiebung tritt zwischen dem Fall, dass der erste Strom zu der ersten Spule 112 geleitet wird, und dem Fall, dass der zweite Strom zu der ersten Spule 112 geleitet wird, auf. In Ausführungsform 1 wird die Differenz 132 verwendet, um den Wert des Stroms zu bestimmen, der zu der zweiten Spule 113 zu leiten ist.
5 ist ein Ablaufdiagramm, das eine Prozedur zum Bestimmen eines Werts eines Stroms zeigt, der zu der zweiten Spule 113 zu leiten ist, um ein Streumagnetfeld zu unterdrücken. In diesem Ablaufdiagramm können die Schritte von dem Controller 105 ausgeführt werden oder können manuell von einer Bedienperson ausgeführt werden. In der folgenden Beschreibung wird angenommen, dass der Controller 105 jeden Schritt ausführt. Im Folgenden wird jeder Schritt von 5 beschrieben.
(Fig. 5: Schritt S501)
Der Controller 105 entmagnetisiert das Magnetfeld der Objektivlinse der REM-Säule 100. Dieser Schritt dient zum Verbessern der Genauigkeit der FIB-Bildverschiebungskorrektur, die in den folgenden Schritten ausgeführt wird, indem das Magnetfeld, das verbleibt, wenn die Anregung der REM-Objektivlinse auf null reduziert wird, ausgelöscht wird. Beispielsweise kann ein von der REM-Magnetlinse erzeugtes Magnetfeld aufgehoben werden, indem ein Gleichstrom oder ein Wechselstrom in der zu demjenigen bei der Beobachtung zu der ersten Spule 112 oder der zweiten Spule 113 geleiteten Strom entgegengesetzten Richtung geleitet wird.
(Fig. 5: Schritte S502 bis S503)
Der Controller 105 erfasst ein Beobachtungsbild der Probe 104 durch FIB, während der erste Strom zu der ersten Spule 112 geleitet wird (S502). Der Controller 105 identifiziert den Betrag, um den eine vorbestimmte Referenzposition auf dem Beobachtungsbild abweicht, und speichert den Bildverschiebungsbetrag und einen ersten Stromwert auf einer Speichervorrichtung (S503). Beispielsweise kann die Probe 104 vor dem Starten dieses Ablaufdiagramms durch FIB beobachtet werden und eine geeignete Position auf dem beobachteten Bild kann als Referenzposition bestimmt werden.
(Fig. 5: Schritte S504 bis S506)
Der Controller 105 speichert einen FIB-Bildverschiebungsbetrag und einen zweiten Stromwert dann, wenn der zweite Strom zu der ersten Spule 112 geleitet wird, durch die gleiche Prozedur wie in den Schritten S501 bis S503. Zu diesem Zeitpunkt ist die Position der Probe 104 die gleiche wie in den Schritten S501 bis S503.
(Fig. 5: Schritt S507)
Der Controller 105 schätzt die Entsprechung zwischen dem Wert des Stroms, der zu der ersten Spule 112 geleitet wird, und dem FIB-Bildverschiebungsbetrag durch das in 6 dargestellte Verfahren. Der Controller 105 bestimmt gemäß der geschätzten Entsprechung einen Wert eines Stroms, der zu der zweiten Spule 113 zu leiten ist, um die FIB-Bildverschiebung zu unterdrücken. Eine spezifische Prozedur ist in Verbindung mit 6 beschrieben.
6 ist ein Graph, der eine Entsprechung zwischen dem Strom, der zu der ersten Spule 112 geleitet wird, und dem FIB-Bildverschiebungsbetrag zeigt. Es wird angenommen, dass die Punkte 140 und 141 in 6(a) in den Schritten S503 bzw. S506 beobachtet werden. Wenn die Entsprechung zwischen dem Stromwert, der zu der ersten Spule 112 geleitet wird, und dem FIB-Bildverschiebungsbetrag linear ist, kann der Controller 105 die Entsprechung zwischen den beiden als Funktion 142 schätzen.
Der Controller 105 kann eine Entsprechung zwischen dem Wert eines Stroms, der zu der zweiten Spule 113 geleitet werden ist, und dem FIB-Bildverschiebungsbetrag auf die gleiche Weise wie in 6(a) abschätzen, indem das FIB-Beobachtungsbild erfasst wird, während ein Strom zu der zweiten Spule 113 geleitet wird, also gemäß der gleichen Prozedur wie die Schritte S501 bis S506. Der Controller 105 kann einen Wert eines Stroms, der zu der zweiten Spule 113 zu leiten ist, bestimmen, indem er die für die erste Spule 112 geschätzte Entsprechung und die für die zweite Spule 113 geschätzte Entsprechung verwendet. Das heißt, die durch Leiten eines Stroms zu der ersten Spule 112 verursachte FIB-Bildverschiebung wird geschätzt und ein Strom, der den gleichen Betrag an FIB-Bildverschiebung in der entgegengesetzten Richtung verursacht, kann zu der zweiten Spule 113 geleitet werden.
6(b) zeigt ein Beispiel, bei dem die Entsprechung zwischen dem Strom, der zu der ersten Spule 112 zu leiten ist, und dem FIB-Bildverschiebungsbetrag nicht linear ist. In diesem Fall wird die Probenprozedur als Schritte S501 bis S503 dreimal oder öfter durchgeführt, während der Wert des Stroms, der zu der ersten Spule 112 zu leiten ist, geändert wird. Beispielsweise ist es möglich, die Entsprechung zwischen dem zu der ersten Spule 112 zu leitenden Strom und dem FIB-Bildverschiebungsbetrag durch weiteres Erfassen der Punkte 143 und 144 und Erhalten einer Funktion 145, die die Punkte verbindet, abzuschätzen. Gleiches gilt für die zweite Spule 113.
<Ausführungsform 1: Zusammenfassung>
Die Ladungsträgerstrahlvorrichtung 10 gemäß der vorliegenden Ausführungsform 1 bestimmt einen Wert eines Stroms, der zu der zweiten Spule 113 zu leiten ist, basierend auf der Differenz zwischen dem FIB-Bildverschiebungsbetrag dann, wenn der erste Strom zu der ersten Spule 112 geleitet wird, und dem FIB Bildverschiebungsbetrag dann, wenn der zweite Strom zu der ersten Spule geleitet wird. Dadurch ist es möglich, die FIB-Bildverschiebung unter Verwendung der zweiten Spule 113 zu unterdrücken, ohne das Streumagnetfeld zu messen, wenn ein Strom zu der ersten Spule 112 geleitet wird. Da es deshalb nicht notwendig ist, ein Magnetfeldmessinstrument in der Probenkammer 102 anzuordnen, kann der Aufbau der Probenkammer 102 (und der Ladungsträgerstrahlvorrichtung 10 selbst) vereinfacht werden.
<Ausführungsform 2>
7 ist ein Ablaufdiagramm, das die Prozedur zeigt, bei der die Ladungsträgerstrahlvorrichtung 10 gemäß Ausführungsform 2 ein Streumagnetfeld unterdrückt, indem ein Strom zu der zweiten Spule 113 geleitet wird. Die Konfiguration der Ladungsträgerstrahlvorrichtung 10 ist die gleiche der der Ausführungsform 1. Nachstehend wird jeder Schritt von 7 beschrieben.
(Fig. 7: Schritte S701 bis S702)
Der Controller 105 entmagnetisiert das Magnetfeld der Objektivlinse (S701) und leitet auf die gleiche Weise wie in den Schritten S501 bis S502 den ersten Strom zu der ersten Spule 112 (S702). Infolgedessen wird das FIB-Beobachtungsbild der Probe 104 von der Referenzposition verschoben.
(Fig. 7: Schritt S703)
Der Controller 105 stellt die FIB-Bildverschiebung in Schritt S702 wieder her, indem ein Strom zu der zweiten Spule 113 geleitet wird. Insbesondere ist es möglich, die Bildverschiebung wiederherzustellen, indem ein Strom zu der zweiten Spule 113 geleitet wird, der eine Bildverschiebung in der der durch die erste Spule 112 bewirkten Bildverschiebung entgegengesetzten Richtung bewirkt, und der Wert des Stromwertes allmählich erhöht wird. Es ist nicht immer erforderlich, die Bildverschiebung vollständig aufzuheben, und es ist ausreichend, die Bildverschiebung so weit zu unterdrücken, dass die Bildverschiebung in einen zulässigen Bereich fällt.
(Fig. 7: Schritt S704)
Der Controller 105 speichert den ersten Stromwert in Schritt S702 und den Wert des Stroms, der in Schritt S703 zu der zweiten Spule 113 geleitet wird, in Zuordnung zueinander.
(Fig. 7: Schritte S705 bis S708)
Der Controller 105 spezifiziert den Strom, der zu der zweiten Spule 113 zu leiten ist, wenn der zweite Strom zu der ersten Spule 112 geleitet wird, durch die gleiche Prozedur wie in den Schritten S701 bis S704 und speichert diese Stromwerte in Zuordnung zueinander. Zu dieser Zeit ist die Position der Probe 104 die gleiche wie in den Schritten S701 bis S704.
(Fig. 7: Schritt S709)
Der Controller 105 schätzt eine Entsprechung zwischen den beiden basierend auf dem Wert des Stroms, der zu der ersten Spule 112 zu leiten ist, und dem Wert des Stroms, der zu der zweiten Spule 113 zu leiten ist, die in den Schritten S704 und S708 gespeichert worden sind. Als Schätzverfahren kann beispielsweise das in 6 beschriebene Verfahren verwendet werden. Unter Verwendung dieser Entsprechung kann dann, wenn der zu der ersten Spule 112 zu leitende Stromwert bestimmt ist, der Stromwert, der zu der zweiten Spule 113 zu leiten ist, um die FIB-Bildverschiebung zu diesem Zeitpunkt zu unterdrücken, bestimmt werden.
<Ausführungsform 2: Zusammenfassung>
Die Ladungsträgerstrahlvorrichtung 10 gemäß der vorliegenden Ausführungsform 2 spezifiziert einen Strom, der zu der zweiten Spule 113 zu leiten ist, um die FIB-Bildverschiebung zu unterdrücken, wenn der erste Strom zu der ersten Spule 112 geleitet wird, und spezifiziert ferner einen Strom, der zu der zweiten Spule 113 zu leiten ist, um die FIB-Bildverschiebung zu unterdrücken, wenn der zweite Strom zu der ersten Spule 112 geleitet wird. Die Ladungsträgerstrahlvorrichtung 10 schätzt ferner eine Entsprechung zwischen dem zu der ersten Spule 112 zu leitenden Strom und dem zu der zweiten Spule 113 zu leitenden Strom gemäß jedem Stromwert. Das heißt, da die FIB-Bildverschiebung direkt unterdrückt wird, kann der Wert des Stroms, der zu der zweiten Spule 113 zu leiten ist, genau erhalten werden.
<Ausführungsform 3>
8 ist ein Ablaufdiagramm, das einen Betrieb zeigt, wenn die Ladungsträgerstrahlvorrichtung 10 eine Beschleunigungsspannung der REM-Säule 100 ändert. Es wird angenommen, dass die Ladungsträgerstrahlvorrichtung 10 bereits einen Strom, der zu der zweiten Spule 113 zu leiten ist, um die FIB-Bildverschiebung zu unterdrücken, durch die in den Ausführungsformen 1 und 2 beschriebene Prozedur bestimmt hat. Nachfolgend wird jeder Schritt von 8 beschrieben.
(Fig. 8: Schritte S801 bis S803)
Der Controller 105 entmagnetisiert das Magnetfeld der Objektivlinse wie in Schritt S501 (S801). Der Controller 105 ändert die Beschleunigungsspannung der REM-Säule 100 (S802). Beispielsweise kann beim Ändern der Messbedingungen die Beschleunigungsspannung geändert werden. Wenn sich die Beschleunigungsspannung ändert, müssen die Eigenschaften der Objektivlinse entsprechend geändert werden. Daher ändert der Controller 105 den Wert des Stroms, der zu der ersten Spule 112 zu leiten ist, gemäß der geänderten Beschleunigungsspannung (S803).
(Fig. 8: Schritt S804)
Der Controller 105 bestimmt einen Wert eines zu der zweiten Spule 113 zu leitenden Stroms, der dem Wert eines zu der ersten Spule 112 zu leitenden Stroms gemäß der zuvor spezifizierten Entsprechung entspricht. Der Controller 105 unterdrückt die FIB-Bildverschiebung, indem er den Strom zu der zweiten Spule 113 leitet.
<Ausführungsform 4>
9 ist ein Konfigurationsdiagramm einer Objektivlinse der REM-Säule 100, die in der Ladungsträgerstrahlvorrichtung 10 gemäß Ausführungsform 4 der vorliegenden Erfindung bereitgestellt ist. Die Ladungsträgerstrahlvorrichtung 10 gemäß Ausführungsform 4 umfasst zusätzlich zu den in den Ausführungsformen 1 und 2 beschriebenen Konfigurationen eine dritte Spule 150 und ein drittes Magnetpolstück 114.
Die erste Spule 112 ist zwischen dem ersten Magnetpolstück 110 und dem zweiten Magnetpolstück 111 angeordnet und bildet die Magnetlinse 120 vom Typ ohne Immersion mit einer Magnetfeldintensitätsspitze in der REM-Säule 100. Die zweite Spule 113 ist außerhalb des zweiten Magnetpolstücks 111 angeordnet und bildet eine Magnetlinse 151 vom Typ mit Immersion mit einer Magnetfeldintensitätsspitze zwischen der REM-Säule 100 und der Probe 104.
Das dritte Magnetpolstück 114 ist vom Elektronenstrahlengang aus betrachtet außerhalb des zweiten Magnetpolstücks 111 angeordnet. Das zweite Magnetpolstück 111 und das dritte Magnetpolstück 114 bilden einen Magnetpfad, der die zweite Spule 113 umgibt. Infolgedessen hat die zweite Spule 113 im Vergleich zu der in Ausführungsform 1 beschriebenen Konfiguration eine stärkere Magnetlinsenbildungsfunktion.
Die dritte Spule 150 ist außerhalb des zweiten Magnetpolstücks 111 angeordnet und wird verwendet, um die FIB-Bildverschiebung zu unterdrücken. Als dritte Spule 150 kann im Vergleich zu der ersten Spule 112 und der zweiten Spule 113 eine Spule mit einer geringen Anzahl von Windungen des Spulendrahts verwendet werden. Der Strom, der zu der dritten Spule 150 geleitet wird, um die FIB-Bildverschiebung zu unterdrücken, kann durch das gleiche Verfahren wie in den Ausführungsformen 1 und 2 bestimmt werden. Die dritte Spule 150 kann als Teil der REM-Säule 100 ausgebildet sein oder kann in der Probenkammer 102 angeordnet sein.
Die zweite Spule 113 kann verwendet werden, um eine Magnetlinse auszubilden, und kann verwendet werden, um wie in den Ausführungsformen 1 bis 3 die FIB-Bildverschiebung zu unterdrücken. Beispielsweise kann die FIB-Bildverschiebung, die auftritt, wenn eine Magnetlinse vom Typ ohne Immersion durch die erste Spule 112 gebildet wird, durch die zweite Spule 113 oder durch die dritte Spule 150 unterdrückt werden.
In Ausführungsform 4 hat die zweite Spule 113 sowohl die Rolle des Bildens einer Magnetlinse als auch die Rolle des Unterdrückens des Streumagnetfelds und hat somit die größte Windungszahl unter den drei Spulen. Das heißt, die Anzahl der Windungen der zweiten Spule ≥ die Anzahl der Windungen der ersten Spule ≥ die Anzahl der Windungen der dritten Spule. Andererseits wird in Ausführungsform 1 die zweite Spule 113 verwendet, um das Streumagnetfeld zu unterdrücken, und weist daher weniger Windungen als die erste Spule 112 auf. Das heißt, die Windungen der ersten Spule ≥ die Windungen der zweiten Spule.
10 ist ein Abwandlungsbeispiel von 9. Die dritte Spule 150 kann als ein Teil der REM-Säule 100 ausgebildet sein, wie es in 9 gezeigt ist, oder kann in der Probenkammer 102 angeordnet sein, wie es in 10 gezeigt ist.
<Ausführungsform 5>
11 ist ein Konfigurationsdiagramm einer Objektivlinse der REM-Säule 100, die in der Ladungsträgerstrahlvorrichtung 10 gemäß Ausführungsform 5 der vorliegenden Erfindung bereitgestellt ist. Die erste Spule 112 und/oder die zweite Spule 113 können in mehrere Spulen unterteilt sein. 11 zeigt ein Beispiel, bei dem sowohl die erste Spule 112 als auch die zweite Spule 113 in zwei Spulen unterteilt sind.
Um das von dem Polstück erzeugte Magnetfeld zu stabilisieren, ist es wichtig, die Temperaturänderung des Polstücks zu unterdrücken. Um die Temperaturänderung des Polstücks zu unterdrücken, kann die Leistungsaufnahme der Spule konstant gehalten werden. Um das Magnetfeld anzupassen, während die Leistungsaufnahme der Spule konstant gehalten wird, ist es nur erforderlich, die Richtung des Stroms jeder abgeteilten Spule zu ändern, während der Betrag des Stroms, der zu der Spule geleitet wird, konstant gehalten wird. Beispielsweise kann in 11 das erzeugte Magnetfeld aufgehoben werden, indem Ströme mit entgegengesetzten Richtungen zu den Spulen 112A und 112B geleitet werden. Wenn ein Magnetfeld erzeugt wird, können Ströme in der gleichen Richtung oder Ströme mit unterschiedlichen Beträgen in der entgegengesetzten Richtung zu den Spulen 112A und 112B geleitet werden. In beiden Fällen kann die Leistungsaufnahme konstant gehalten werden, indem der Stromwert konstant gehalten wird.
Die Anzahl der Windungen jeweiliger abgeteilter Spulen kann gleich oder verschieden sein. Die Stromsteuerung kann vereinfacht werden, wenn die Anzahl der Windungen gleich ist. Die Leistungsfähigkeit als Spule ist für eine abgeteilte Spule und eine einzelne Spule gleich.
<Abwandlungsbeispiel der vorliegenden Erfindung>
Die vorliegende Erfindung ist nicht auf die oben beschriebenen Ausführungsformen beschränkt und umfasst verschiedene Abwandlungsbeispiele. Zum Beispiel wurden die oben beschriebenen Ausführungsformen zum leichteren Verständnis der vorliegenden Erfindung ausführlich beschrieben und sind nicht notwendigerweise auf diejenigen mit allen beschriebenen Konfigurationen beschränkt. Ein Teil der Konfiguration eines Beispiels kann durch die Konfiguration eines anderen Beispiels ersetzt werden und die Konfiguration eines anderen Beispiels kann der Konfiguration eines Beispiels hinzugefügt werden. Es ist möglich, andere Konfigurationen für einen Teil der Konfiguration jedes Beispiels hinzuzufügen, zu streichen und zu ersetzen.
Als eine Anwendung der FIB-REM-Vorrichtung gibt es einen Modus (im Folgenden als „CutAndSee“ bezeichnet), in dem eine Probe dreidimensional analysiert wird, indem die FIB-Verarbeitung und die REM-Beobachtung schnell und abwechselnd wiederholt werden. Durch Verwendung der vorliegenden Erfindung in diesem CutAndSee kann eine genauere Analyse verwirklicht werden. Bei CutAndSee ändert sich die Probenhöhe während der REM-Beobachtung, während die FIB-Verarbeitung wiederholt wird. Daher ist es notwendig, den Fokus der REM-Säule 100 während der Analyse anzupassen. Zu dieser verschlechtert sich die Verarbeitungsgenauigkeit durch FIB, da sich das Magnetfeld der REM-Objektivlinse in der Probenkammer 102 geringfügig ändert und sich der FIB verschiebt. Daher wird der Einfluss des Magnetfelds der REM-Objektivlinse durch die zweite Spule 113 oder die dritte Spule 150 während CutAndSee unterdrückt. Dadurch ist es möglich, die Verarbeitungsgenauigkeit des FIB zu verbessern.
12 ist ein Beispiel eines FIB-Beobachtungsbildes, wenn CutAndSee ausgeführt wird. Ein Bereich 170 ist ein Bereich, der durch FIB verarbeitet wird. Es ist möglich, die Verarbeitungsgenauigkeit zu verbessern, indem die Abweichung der Referenzposition 131 beispielsweise jedes Mal korrigiert wird, wenn die CutAndSee-Verarbeitung mehrere Male durchgeführt wird.
In den obigen Ausführungsformen kann der Controller 105 unter Verwendung von Hardware wie etwa einer Schaltungsvorrichtung, die die Funktion implementiert, konfiguriert werden oder kann durch eine Recheneinheit, die Software ausführt, die die Funktion implementiert, konfiguriert werden.
Bezugszeichenliste

10: Ladungsträgerstrahlvorrichtung
100: REM-Säule
101: FIB-Säule
102: Probenkammer
103: FIB-REM-Rahmen
104: Probe
105: Controller
106: Monitor
110: Erstes Polstück
111: Zweites Polstück
112: Erste Spule
113: Zweite Spule
114: Drittes Polstück
150: Dritte Spule

Claims

Ladungsträgerstrahlvorrichtung (10) zum Bestrahlen einer Probe (104) mit einem Ladungsträgerstrahl, wobei die Vorrichtung umfasst: eine lonenstrahl-Bestrahlungseinheit (101), die einen fokussierten lonenstrahl auf die Probe (104) emittiert; eine Elektronenstrahl-Bestrahlungseinheit (100), die einen Elektronenstrahl auf die Probe (104) emittiert; eine Objektivlinse zum Fokussieren des Elektronenstrahls auf die Probe (104); und eine Steuereinheit (105), die die Objektivlinse steuert, wobei die Objektivlinse umfasst: ein erstes Magnetpolstück (110), ein zweites Magnetpolstück (111), das in Bezug auf das erste Magnetpolstück (110) an einer vom Elektronenstrahlengang entfernten Position angeordnet ist, und eine erste Spule (112), die zwischen dem ersten Magnetpolstück (110) und dem zweiten Magnetpolstück (111) angeordnet ist, die Ladungsträgerstrahlvorrichtung (10) ferner eine zweite Spule (113) umfasst, die in Bezug auf das zweite Magnetpolstück (111) an einer von dem Elektronenstrahlengang entfernten Position angeordnet ist, die Steuereinheit (105) eine erste Operation zum Erfassen eines ersten Beobachtungsbildes der Probe (104) durch den fokussierten lonenstrahl, während ein erster Strom zu der ersten Spule (112) geleitet wird, durchführt und eine zweite Operation zum Erfassen eines zweiten Beobachtungsbildes der Probe (104) durch den fokussierten lonenstrahl, während ein zweiter Strom zu der ersten Spule (112) geleitet wird, nach Anordnen einer Position der Probe (104) an derselben Position wie bei der ersten Operation durchführt, die Steuereinheit (105) einen Korrekturstrom zu der zweiten Spule (113) leitet, um ein Magnetfeld zu erzeugen, das eine Positionsverschiebung eines Beobachtungsbildes, die durch Leiten eines Stroms zu der ersten Spule (112) verursacht wird, verringert, und die Steuereinheit (105) den Korrekturstrom basierend auf einer Differenz zwischen der ersten Operation und der zweiten Operation bestimmt.
Ladungsträgerstrahlvorrichtung (10) nach Anspruch 1, wobei die Steuereinheit (105) einen ersten Verschiebungsbetrag zwischen dem ersten Beobachtungsbild der Probe (104), bei dem der erste Strom zu der ersten Spule (112) geleitet wird, und dem zweiten Beobachtungsbild der Probe (104), bei dem der zweite Strom zu der ersten Spule (112) geleitet wird, als Differenz erfasst und die Steuereinheit (105) den Korrekturstrom basierend auf dem ersten Verschiebungsbetrag bestimmt.
Ladungsträgerstrahlvorrichtung (10) nach Anspruch 2, wobei die Steuereinheit (105) eine erste Entsprechung zwischen dem Strom, der zu der ersten Spule (112) zu leiten ist, und dem ersten Verschiebungsbetrag auf der Basis des ersten Stroms, des zweiten Stroms und des ersten Verschiebungsbetrags schätzt und die Steuereinheit (105) den Korrekturstrom, der dem Strom entspricht, der zu der ersten Spule (112) zu leiten ist, gemäß der geschätzten ersten Entsprechung bestimmt.
Ladungsträgerstrahlvorrichtung (10) nach Anspruch 2, wobei die Steuereinheit (105) einen zweiten Verschiebungsbetrag zwischen einem dritten Beobachtungsbild der Probe (104), bei dem ein dritter Strom zu der zweiten Spule (113) geleitet wird, und einem vierten Beobachtungsbild der Probe (104), bei dem ein vierter Strom zu der zweiten Spule (113) geleitet wird, erfasst, die Steuereinheit (105) eine zweite Entsprechung zwischen dem Strom, der zu der zweiten Spule (113) zu leiten ist, und dem zweiten Verschiebungsbetrag auf der Basis des dritten Stroms, des vierten Stroms und des zweiten Verschiebungsbetrags schätzt und die Steuereinheit (105) den Korrekturstrom zum Verringern des ersten Verschiebungsbetrags gemäß der geschätzten zweiten Entsprechung bestimmt.
Ladungsträgerstrahlvorrichtung (10) nach Anspruch 2, wobei die Steuereinheit (105) mehrere verschiedene Ströme zu der ersten Spule (112) leitet und ein Beobachtungsbild der Probe (104) durch den fokussierten lonenstrahl während des Leitens jedes der Ströme erfasst, die Steuereinheit (105) eine Entsprechung zwischen einem Strom, der zu der ersten Spule (112) zu leiten ist, und einem Verschiebungsbetrag des Beobachtungsbildes schätzt, und die Steuereinheit (105) den Korrekturstrom, der einem Strom entspricht, der zu der ersten Spule (112) zu leiten ist, gemäß der geschätzten Entsprechung bestimmt.
Ladungsträgerstrahlvorrichtung (10) nach Anspruch 1, wobei die Steuereinheit (105) eine Positionsverschiebung eines ersten Beobachtungsbildes der Probe (104), das durch den fokussierten lonenstrahl erfasst wird, während der erste Strom zu der ersten Spule (112) geleitet wird, reduziert, indem ein erster Korrekturstrom zu der zweiten Spule (113) geleitet wird, die Steuereinheit (105) eine Positionsverschiebung eines zweiten Beobachtungsbildes der Probe (104), das durch den fokussierten lonenstrahl erfasst wird, während der zweite Strom zu der ersten Spule (112) geleitet wird, reduziert, indem ein zweiter Korrekturstrom zu der zweiten Spule (113) geleitet wird, die Steuereinheit (105) einen dritten Verschiebungsbetrag zwischen dem ersten Korrekturstrom und dem zweiten Korrekturstrom als Differenz erfasst und die Steuereinheit (105) den Korrekturstrom, der einem Strom entspricht, der zu der ersten Spule (112) zu leiten ist, basierend auf dem dritten Verschiebungsbetrag bestimmt.
Ladungsträgerstrahlvorrichtung (10) nach Anspruch 6, wobei die Steuereinheit (105) eine dritte Entsprechung zwischen einem Strom, der zu der ersten Spule (112) zu leiten ist, und dem Korrekturstrom auf der Basis des ersten Stroms, des zweiten Stroms und des dritten Verschiebungsbetrags schätzt und die Steuereinheit (105) den Korrekturstrom, der dem Strom entspricht, der zu der ersten Spule (112) zu leiten ist, gemäß der geschätzten dritten Entsprechung bestimmt.
Ladungsträgerstrahlvorrichtung (10) nach Anspruch 1, wobei die Steuereinheit (105) dann, wenn eine Beschleunigungsspannung, die verwendet wird, wenn die Elektronenstrahl-Bestrahlungseinheit (100) den Elektronenstrahl emittiert, geändert wird, einen Strom bestimmt, der unter der geänderten Beschleunigungsspannung zu der ersten Spule (112) zu leiten ist, und die Steuereinheit (105) den Korrekturstrom, der einem Strom entspricht, der unter der geänderten Beschleunigungsspannung zu der ersten Spule (112) zu leiten ist, bestimmt.
Ladungsträgerstrahlvorrichtung (10) nach Anspruch 1, die ferner umfasst: eine dritte Spule (150), die in Bezug auf das zweite Magnetpolstück (111) an einer von dem Elektronenstrahlengang entfernten Position angeordnet ist, wobei die Steuereinheit (105) einen dritten Korrekturstrom zu der dritten Spule (150) leitet, um ein Magnetfeld zu erzeugen, das eine Positionsverschiebung eines Beobachtungsbildes verringert, die durch Leiten eines Stromes zu der ersten Spule (112) verursacht wird, und die Steuereinheit (105) den dritten Korrekturstrom basierend auf einer Differenz zwischen der ersten Operation und der zweiten Operation bestimmt.
Ladungsträgerstrahlvorrichtung (10) nach Anspruch 9, die ferner umfasst: ein drittes Magnetpolstück (114), das in Bezug auf die zweite Spule (113) an einer von dem Elektronenstrahlengang entfernten Position angeordnet ist, wobei das zweite Magnetpolstück (111) und das dritte Magnetpolstück (114) einen die zweite Spule (113) umgebenden Magnetpfad bilden.
Ladungsträgerstrahlvorrichtung (10) nach Anspruch 1, wobei die erste Spule (112) und/oder die zweite Spule (113) durch mehrere Spulen ausgebildet ist.
Ladungsträgerstrahlvorrichtung (10) nach Anspruch 9, wobei die Anzahl der Windungen der zweiten Spule (113) größer oder gleich der Anzahl der Windungen der ersten Spule (112) ist und die Anzahl der Windungen der ersten Spule (112) größer oder gleich der Anzahl der Windungen der dritten Spule (150) ist.
Ladungsträgerstrahlvorrichtung (10) nach Anspruch 1, wobei die Anzahl der Windungen der ersten Spule (112) größer oder gleich der Anzahl der Windungen der zweiten Spule (113) ist.