JP6883705B2 - 荷電粒子線装置 - Google Patents
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Description
Claims (10)
- 荷電粒子線を発生させる荷電粒子線源と、
第1の荷電粒子線絞りと、
前記第1の荷電粒子線絞りに電圧を印加する荷電粒子線絞り電源と、
前記荷電粒子線を試料に集束する対物レンズと、
前記荷電粒子線が前記試料に照射されることにより放出された二次荷電粒子を検出する検出器と、
前記検出器で検出された二次荷電粒子に基づき荷電粒子線像を形成するコンピュータとを有し、
前記第1の荷電粒子線絞りの位置は、前記荷電粒子線絞り電源により前記第1の荷電粒子線絞りに交流電圧が印加された状態において、前記荷電粒子線像の移動がなく、前記交流電圧に同期して同心円状に変化するように設定される荷電粒子線装置。 - 請求項1において、
前記第1の荷電粒子線絞りは円環形状を有する荷電粒子線絞りであり、
前記交流電圧のオフセット電圧は、前記荷電粒子線絞り電源により前記第1の荷電粒子線絞りに前記交流電圧が印加された状態において、前記交流電圧の最大電圧におけるぼけ量と前記交流電圧の最小電圧におけるぼけ量とが同等になるように設定される荷電粒子線装置。 - 請求項2において、
前記荷電粒子線絞り電源が、前記オフセット電圧の大きさを有する直流電圧を前記第1の荷電粒子線絞りに印加した状態で、前記コンピュータは前記荷電粒子線像を形成する荷電粒子線装置。 - 請求項2において、
円孔形状を有する第2の荷電粒子線絞りと、
前記第1の荷電粒子線絞りと前記第2の荷電粒子線絞りとを切り換える荷電粒子線絞り器とを有し、
前記第2の荷電粒子線絞りを用いて前記荷電粒子線の光軸調整がなされた状態で、前記荷電粒子線絞り器により前記第2の荷電粒子線絞りから前記第1の荷電粒子線絞りに切換えられ、前記第1の荷電粒子線絞りの位置が設定される荷電粒子線装置。 - 請求項1において、
前記交流電圧は、正弦波、矩形波、三角波、鋸歯状波、またはそれらの複合波形のいずれかである荷電粒子線装置。 - 荷電粒子線を発生させる荷電粒子線源と、
荷電粒子線絞りと、
前記荷電粒子線絞りを移動させる荷電粒子線絞り器と、
前記荷電粒子線絞り器を制御する荷電粒子線絞り制御部と、
前記荷電粒子線絞りに交流電圧を印加する荷電粒子線絞り電源と、
前記荷電粒子線絞り電源を制御する荷電粒子線絞り電源制御部と、
前記荷電粒子線を試料に集束する対物レンズと、
前記荷電粒子線が前記試料に照射されることにより放出された二次荷電粒子を検出する検出器と、
前記検出器で検出された二次荷電粒子に基づき荷電粒子線像を形成する画像形成部と、前記荷電粒子線絞りに印加する前記交流電圧に同期した前記荷電粒子線像の変化の特徴量を算出する特徴量算出部とを有するコンピュータとを有し、
前記荷電粒子線絞り制御部は、前記荷電粒子線絞りの位置を変化させたことによる前記特徴量の変化量に基づき決定される前記荷電粒子線絞りの移動量を前記荷電粒子線絞り器に指示し、
前記荷電粒子線絞り電源制御部は、前記交流電圧のオフセット電圧を変化させたことによる前記特徴量の変化量に基づき決定される前記交流電圧のオフセット電圧の変化量を前記荷電粒子線絞り電源に指示する荷電粒子線装置。 - 請求項6において、
前記特徴量算出部は、前記特徴量として、前記荷電粒子線像の位置移動量または濃淡値を算出する荷電粒子線装置。 - 請求項6において、
前記荷電粒子線絞り器は、前記荷電粒子線絞りを移動させる電動駆動機構を有する荷電粒子線装置。 - 請求項6において、
前記交流電圧は、正弦波、矩形波、三角波、鋸歯状波、またはそれらの複合波形のいずれかである荷電粒子線装置。 - 請求項6において、
前記荷電粒子線絞りは、円環形状を有する荷電粒子線絞りである荷電粒子線装置。
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