DE1053691B - Verfahren und Einrichtung zur Materialbearbeitung mittels Ladungstraegerstrahl - Google Patents

Verfahren und Einrichtung zur Materialbearbeitung mittels Ladungstraegerstrahl

Info

Publication number
DE1053691B
DE1053691B DEZ6396A DEZ0006396A DE1053691B DE 1053691 B DE1053691 B DE 1053691B DE Z6396 A DEZ6396 A DE Z6396A DE Z0006396 A DEZ0006396 A DE Z0006396A DE 1053691 B DE1053691 B DE 1053691B
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
deflection
pulse
point
workpiece
electron
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
DEZ6396A
Other languages
German (de)
English (en)
Inventor
Dipl-Phys Karl Hei Steigerwald
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Carl Zeiss SMT GmbH
Original Assignee
Carl Zeiss SMT GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Priority to CA610681A priority Critical patent/CA610681A/en
Priority to IT598814D priority patent/IT598814A/it
Priority to NL113812D priority patent/NL113812C/xx
Priority to BE572867D priority patent/BE572867A/xx
Application filed by Carl Zeiss SMT GmbH filed Critical Carl Zeiss SMT GmbH
Priority to DEZ6396A priority patent/DE1053691B/de
Priority to DEZ6548A priority patent/DE1058655B/de
Priority to GB35817/58A priority patent/GB836182A/en
Priority to CH6609858A priority patent/CH369223A/de
Priority to US774745A priority patent/US2989614A/en
Priority to FR779435A priority patent/FR1215825A/fr
Publication of DE1053691B publication Critical patent/DE1053691B/de
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23KSOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K15/00Electron-beam welding or cutting
    • B23K15/02Control circuits therefor
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/02Details
    • H01J37/04Arrangements of electrodes and associated parts for generating or controlling the discharge, e.g. electron-optical arrangement, ion-optical arrangement
    • H01J37/147Arrangements for directing or deflecting the discharge along a desired path
    • H01J37/1472Deflecting along given lines
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/30Electron-beam or ion-beam tubes for localised treatment of objects
    • H01J37/302Controlling tubes by external information, e.g. programme control
    • H01J37/3023Programme control
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/30Electron-beam or ion-beam tubes for localised treatment of objects
    • H01J37/304Controlling tubes by information coming from the objects or from the beam, e.g. correction signals
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10STECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10S164/00Metal founding
    • Y10S164/04Dental

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Welding Or Cutting Using Electron Beams (AREA)
DEZ6396A 1957-11-20 1957-11-20 Verfahren und Einrichtung zur Materialbearbeitung mittels Ladungstraegerstrahl Pending DE1053691B (de)

Priority Applications (10)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CA610681A CA610681A (en) 1957-11-20 Programmed particle irradiation accelerator
IT598814D IT598814A (US20090192370A1-20090730-C00001.png) 1957-11-20
NL113812D NL113812C (US20090192370A1-20090730-C00001.png) 1957-11-20
BE572867D BE572867A (US20090192370A1-20090730-C00001.png) 1957-11-20
DEZ6396A DE1053691B (de) 1957-11-20 1957-11-20 Verfahren und Einrichtung zur Materialbearbeitung mittels Ladungstraegerstrahl
DEZ6548A DE1058655B (de) 1957-11-20 1958-03-06 Verfahren zur Materialbearbeitung mittels Ladungstraegerstrahl
GB35817/58A GB836182A (en) 1957-11-20 1958-11-07 Method and device for working materials by means of a beam of charged particles
CH6609858A CH369223A (de) 1957-11-20 1958-11-13 Verfahren und Einrichtung zur Materialbearbeitung mittels eines Ladungsträgerstrahles
US774745A US2989614A (en) 1957-11-20 1958-11-18 Method and device for working materials by means of a beam of charged particles
FR779435A FR1215825A (fr) 1957-11-20 1958-11-18 Procédé et appareil pour le travail des matériaux au moyen d'un faisceau de partieules électrisées

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DEZ6396A DE1053691B (de) 1957-11-20 1957-11-20 Verfahren und Einrichtung zur Materialbearbeitung mittels Ladungstraegerstrahl
DEZ6548A DE1058655B (de) 1957-11-20 1958-03-06 Verfahren zur Materialbearbeitung mittels Ladungstraegerstrahl

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DE1053691B true DE1053691B (de) 1959-03-26

Family

ID=26003347

Family Applications (2)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DEZ6396A Pending DE1053691B (de) 1957-11-20 1957-11-20 Verfahren und Einrichtung zur Materialbearbeitung mittels Ladungstraegerstrahl
DEZ6548A Pending DE1058655B (de) 1957-11-20 1958-03-06 Verfahren zur Materialbearbeitung mittels Ladungstraegerstrahl

Family Applications After (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DEZ6548A Pending DE1058655B (de) 1957-11-20 1958-03-06 Verfahren zur Materialbearbeitung mittels Ladungstraegerstrahl

Country Status (9)

Country Link
US (1) US2989614A (US20090192370A1-20090730-C00001.png)
BE (1) BE572867A (US20090192370A1-20090730-C00001.png)
CA (1) CA610681A (US20090192370A1-20090730-C00001.png)
CH (1) CH369223A (US20090192370A1-20090730-C00001.png)
DE (2) DE1053691B (US20090192370A1-20090730-C00001.png)
FR (1) FR1215825A (US20090192370A1-20090730-C00001.png)
GB (1) GB836182A (US20090192370A1-20090730-C00001.png)
IT (1) IT598814A (US20090192370A1-20090730-C00001.png)
NL (1) NL113812C (US20090192370A1-20090730-C00001.png)

Cited By (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE1102313B (de) * 1960-02-27 1961-03-16 Zeiss Carl Fa Verfahren und Vorrichtung zum Schweissen und Loeten im dafuer nicht direkt zugaenglichen Inneren eines Werkstueckes
DE1106893B (de) * 1960-03-30 1961-05-18 Zeiss Carl Fa Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung eines elektronischen Bauelementes
DE1110342B (de) * 1959-09-04 1961-07-06 Zeiss Carl Fa Verfahren zur Materialbearbeitung mittels eines Ladungstraegerstrahles
DE1118375B (de) * 1960-08-06 1961-11-30 Zeiss Carl Fa Verfahren und Einrichtung zur Materialbearbeitung mittels Ladungstraegerstrahl
DE1125096B (de) * 1960-12-06 1962-03-08 Zeiss Carl Fa Verfahren zum Herstellen einer Schweisszone gewuenschter Querschnittsform beim Ladungstraegerstrahl-Schweissen
DE1294153B (de) * 1961-03-08 1969-04-30 United Aircraft Corp Verfahren zum Schneiden von Werkstuecken
EP0001889A1 (en) * 1977-10-17 1979-05-16 Sciaky Bros., Inc. Method for surface hardening metals
DE2924003A1 (de) * 1978-06-16 1979-12-20 Rolls Royce Verfahren zur elektronenstrahl- nahtschweissung
DE102006035793A1 (de) * 2006-07-28 2008-01-31 All Welding Technologies Ag Elektronenstrahlanlage zur Materialbearbeitung und Stromaddieranordnung zur schnellen Ansteuerung einer Induktivität und Bilderzeugungsvorrichtung für eine Elektronenstrahlanlage zur Materialbearbeitung

Families Citing this family (24)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5552675A (en) * 1959-04-08 1996-09-03 Lemelson; Jerome H. High temperature reaction apparatus
DE1181840B (de) * 1960-07-12 1964-11-19 Lokomotivbau Elektrotech Elektronenstrahlschmelzofen
US3134892A (en) * 1960-08-06 1964-05-26 United Aircraft Corp Method and apparatus for the machining of material by means of a beam of charge carriers
US3259730A (en) * 1961-12-14 1966-07-05 Teldix Luftfahrt Ausruestung Balancing method and apparatus
US3183077A (en) * 1962-01-30 1965-05-11 Bendix Balzers Vacuum Inc Process for vacuum degassing
US3283147A (en) * 1962-05-09 1966-11-01 Emik A Avakian Energy-projecting and scanning apparatus
US3174026A (en) * 1962-06-20 1965-03-16 Budd Co Method and means of circumventing cathode maintenance in electron beam devices
US3268763A (en) * 1962-06-20 1966-08-23 United Aircraft Corp Space-time sequence generator for electron beam machining
NL129187C (US20090192370A1-20090730-C00001.png) * 1962-06-25
US3236994A (en) * 1962-07-23 1966-02-22 Hitachi Ltd Electron beam working method
BE636024A (US20090192370A1-20090730-C00001.png) * 1962-08-15
GB1052407A (US20090192370A1-20090730-C00001.png) * 1962-09-15
US3382114A (en) * 1964-01-07 1968-05-07 Philips Corp Method of manufacturing semiconductor plate using molten zone on powder support
DE1292418B (de) * 1965-05-05 1969-04-10 Hermsdorf Keramik Veb Verfahren zur Programmsteuerung bei der automatischen Bearbeitung von Duennschichtbauelementen der Elektrotechnik mittels eines Ladungstraegerstrahles
US3390222A (en) * 1965-08-17 1968-06-25 Air Reduction Electron beam apparatus with variable orientation of transverse deflecting field
US3474218A (en) * 1966-01-10 1969-10-21 Air Reduction Electron beam conditioning ingot and slab surfaces
US3566071A (en) * 1966-10-12 1971-02-23 Westinghouse Electric Corp Method of metals joining
FR1574491A (US20090192370A1-20090730-C00001.png) * 1967-07-18 1969-07-11
US3887784A (en) * 1971-12-27 1975-06-03 Commissariat Energie Atomique Welding guns
US4066863A (en) * 1974-06-26 1978-01-03 International Business Machines Corporation Method and system for automatically correcting aberrations of a beam of charged particles
US4072356A (en) * 1975-01-24 1978-02-07 The Welding Institute Electron beam welding generators
US4169976A (en) * 1976-02-27 1979-10-02 Valfivre S.P.A. Process for cutting or shaping of a substrate by laser
DE4024084A1 (de) * 1989-11-29 1991-06-06 Daimler Benz Ag Verfahren zum herstellen von hohlen gaswechselventilen fuer hubkolbenmaschinen
US6659148B1 (en) 1998-12-01 2003-12-09 The Goodyear Tire & Rubber Company Bead reinforcing structure for radial truck tires

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2267752A (en) * 1938-01-26 1941-12-30 Fides Gmbh Arrangement for producing filters and ultra filters

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE891113C (de) * 1951-09-08 1953-09-24 Licentia Gmbh Verfahren zur Herstellung elektrisch unsymmetrisch leitender Systeme
US2850723A (en) * 1953-03-04 1958-09-02 Gen Dynamics Corp Translation and display apparatus
US2819380A (en) * 1953-03-23 1958-01-07 Du Mont Allen B Lab Inc Method and apparatus for making apertured masks
US2872669A (en) * 1954-04-15 1959-02-03 Ibm Cathode ray character tracer
NL198049A (US20090192370A1-20090730-C00001.png) * 1954-06-16
US2883544A (en) * 1955-12-19 1959-04-21 Sprague Electric Co Transistor manufacture
BE554195A (US20090192370A1-20090730-C00001.png) * 1964-04-15

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2267752A (en) * 1938-01-26 1941-12-30 Fides Gmbh Arrangement for producing filters and ultra filters

Cited By (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE1110342B (de) * 1959-09-04 1961-07-06 Zeiss Carl Fa Verfahren zur Materialbearbeitung mittels eines Ladungstraegerstrahles
DE1102313B (de) * 1960-02-27 1961-03-16 Zeiss Carl Fa Verfahren und Vorrichtung zum Schweissen und Loeten im dafuer nicht direkt zugaenglichen Inneren eines Werkstueckes
DE1106893B (de) * 1960-03-30 1961-05-18 Zeiss Carl Fa Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung eines elektronischen Bauelementes
DE1118375B (de) * 1960-08-06 1961-11-30 Zeiss Carl Fa Verfahren und Einrichtung zur Materialbearbeitung mittels Ladungstraegerstrahl
DE1125096B (de) * 1960-12-06 1962-03-08 Zeiss Carl Fa Verfahren zum Herstellen einer Schweisszone gewuenschter Querschnittsform beim Ladungstraegerstrahl-Schweissen
DE1294153B (de) * 1961-03-08 1969-04-30 United Aircraft Corp Verfahren zum Schneiden von Werkstuecken
EP0001889A1 (en) * 1977-10-17 1979-05-16 Sciaky Bros., Inc. Method for surface hardening metals
DE2924003A1 (de) * 1978-06-16 1979-12-20 Rolls Royce Verfahren zur elektronenstrahl- nahtschweissung
DE102006035793A1 (de) * 2006-07-28 2008-01-31 All Welding Technologies Ag Elektronenstrahlanlage zur Materialbearbeitung und Stromaddieranordnung zur schnellen Ansteuerung einer Induktivität und Bilderzeugungsvorrichtung für eine Elektronenstrahlanlage zur Materialbearbeitung
DE102006035793B4 (de) * 2006-07-28 2010-09-23 All Welding Technologies Ag Elektronenstrahlanlage zur Materialbearbeitung und Stromaddieranordnung zur schnellen Ansteuerung einer Induktivität
DE102006035793B8 (de) * 2006-07-28 2011-01-05 Global Beam Technologies Ag Elektronenstrahlanlage zur Materialbearbeitung und Stromaddieranordnung zur schnellen Ansteuerung einer Induktivität

Also Published As

Publication number Publication date
NL113812C (US20090192370A1-20090730-C00001.png)
GB836182A (en) 1960-06-01
CA610681A (en) 1960-12-13
DE1058655B (de) 1959-06-04
US2989614A (en) 1961-06-20
BE572867A (US20090192370A1-20090730-C00001.png)
CH369223A (de) 1963-05-15
FR1215825A (fr) 1960-04-20
IT598814A (US20090192370A1-20090730-C00001.png)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE1053691B (de) Verfahren und Einrichtung zur Materialbearbeitung mittels Ladungstraegerstrahl
DE2458370C2 (de) Energiestrahl-Gravierverfahren und Einrichtung zu seiner Durchführung
AT215265B (de) Verfahren und Vorrichtung zum Schweißen unter Verwendung eines Ladungsträgerstrahles
DE2719275C2 (US20090192370A1-20090730-C00001.png)
EP0150364B1 (de) Röntgendiagnostikeinrichtung mit einer Röntgenröhre
DE1106893B (de) Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung eines elektronischen Bauelementes
DE1185305B (de) Verfahren zum Loeten, Schweissen und Abtragen von Materialien mittels eines Ladungstraegerstrahls
DE2654486A1 (de) Verfahren zur glaettung eines nadeloehrs
DE60111863T2 (de) Laserschweissverfahren
DE2814044C2 (US20090192370A1-20090730-C00001.png)
EP3119551B1 (de) Verfahren zum erzeugen kleiner bohrungen in werkstücken durch änderung eines arbeitsparameters innerhalb eines strahlimpulses
CH395373A (de) Verfahren und Vorrichtung zum Schweissen oder Löten im dafür nicht direkt zugänglichen Innern eines Werkstückes
DE819112C (de) Kathodenstrahlroehre fuer Kode-Impulsgruppenmodulation
DE1301209B (de) Verfahren zum Abtragen, insbesondere zum Perforieren von flexiblen Kunststoffen
DE3505857C2 (US20090192370A1-20090730-C00001.png)
DE2719725C2 (de) Einrichtung zur Elektronenstrahlerwärmung von Materialien
DE2153695A1 (de) Verfahren und einrichtung zur regelung des strahlstroms bei technischen ladungstraegerstrahlgeraeten
DE1125096B (de) Verfahren zum Herstellen einer Schweisszone gewuenschter Querschnittsform beim Ladungstraegerstrahl-Schweissen
DE2047138A1 (de) Steuersystem fur eine Elektronenstrahl Heizvorrichtung
DE1565883B1 (de) Vorrichtung zum Erhitzen eines Materials mittels Elektronen
DE1121747B (de) Verfahren zur Herstelung einer gleichmaessigen Verteilugn der Energiedichte in einem pulsierenden Strahl geladener Teilchen
DE19642116C2 (de) Verfahren zur strukturierten Energieübertragung mit Elektronenstrahlen
DE2525205A1 (de) Verfahren und vorrichtung zum steuern der helligkeit und zum ausrichten eines ladungstraegerstrahls
DE2918390C2 (de) Vorrichtung zum Bestrahlen einer sich an einer Befestigungsstelle eines Trägers befindenden Auftreffplatte mit elektrisch geladenen Teilchen
CH414891A (de) Verfahren zum Schneiden von Werkstücken mittels eines Ladungsträgerstrahls