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Diese
Erfindung betrifft allgemein eine Folie mit einer Architektur, die
für ein
Einbeziehen in Mikrofluidvorrichtungen, mikroelektronische, mikromechanische
und/oder mikrooptische Vorrichtungen geeignet ist.
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Der
Ausdruck "Mikroarchitektur" bezieht sich auf
eine oder mehrere Mikrostrukturen (z.B. mit einer Abmessung von
nicht mehr als 1000 μm),
die in einem vorgegebenen Muster auf einem Substrat angeordnet sind, bei
dem es sich z.B. um eine starre oder flexible Folie bzw. Platte
handeln kann. Typische Mikroarchitekturen umfassen Kanäle, Mulden
und/oder Ausnehmungen mit Tiefen, die geringer sind als die Dicke
des nicht geformten ursprünglichen
Substrats. Diese Mikroarchitekturen können Durchgänge umfassen, die sich in den x-y-Richtungen des Substrats
erstrecken. Die Abmessungen dieser Kanäle und Mulden können eine
Tiefe im Bereich von 0,00020 Inch bis 0,008 Inch (5 bis 200 μm) aufweisen;
0,00020 Inch bis 10 Inch (5 μm
bis 25,4 cm) und die Kanäle
können
windungsartige Formen aufweisen.
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Die
volumetrische Genauigkeit der Mikrodurchgänge ist dahingehend sehr wichtig,
dass bei vielen Anwendungen eine Genauigkeit von 90% oder mehr bei
der Querschnittsfläche über die
Länge eines
Kanals von Kanal zu Kanal und/oder von Mulde zu Mulde eingehalten
werden muss. Zusätzlich
zur volumetrischen Genauigkeit ist die Oberflächentextur des Kanals extrem
signifikant, insbesondere z.B. bei Mikrofluidanwendungen. Beispielsweise
kann die Glätte
oder die Rauhigkeit des Kanals die Reibung, den Strömungswiderstand der
Oberfläche,
das Diffusionsvermögen
und/oder das Strömungsmuster
im Hinblick auf eine laminare oder turbulente Strömung beeinflussen.
Ferner kann das Ausmaß von
Restspannungen dahingehend sehr relevant sein, dass dieses direkt
mit der Strangorientierung zusammenhängt, was zu einer unerwünschten
Polarisation führen
kann, und/oder da die Relaxation dieser Spannungen während einer
anschließenden
Verarbeitung oder während
der Gebrauchsdauer des Produkts zu einer Instabilität bezüglich der
Abmessungen führt.
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Die
vorliegende Erfindung stellt eine Mikroarchitektur bereit, die Durchgänge umfasst,
die sich in der z-Richtung durch die Dicke des Substrats erstrecken.
Auf diese Weise können
Mikrofluidanwendungen, mikroelektronische, mikromechanische und/oder
mikrooptische Anwendungen geschaffen werden, bei denen ein Durchfluss,
eine Durchgangsleitfähigkeit,
eine Durchgangsübertragung
und/oder andere Durchgangsmuster erforderlich ist bzw. sind. Die
vorliegende Erfindung stellt auch Durchgang-definierende Oberflächen bereit,
die eine bessere Größengenauigkeit,
eine verbesserte Mustergenauigkeit, eine erhöhte Winkelgenauigkeit und/oder
eine bessere Steuerung der Oberflächeneigenschaften (z.B. Textur)
aufweisen als Durchgang-definierende Oberflächen, die mit herkömmlichen
Verfahren gebildet worden sind, wie z.B. mit Härtungs-, Abtragungs-, Stempel-,
Walzenpräge-,
Photolithographie-, UV-Präge-
und Stanztechniken.
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Insbesondere
stellt die vorliegende Erfindung eine Folie bereit, die eine thermoplastische
Schicht aus einem thermoplastischen Material und eine Mikroarchitektur
umfasst, die mindestens einen Mikrodurchgang umfasst, der sich durch
die Dicke der Schicht des thermoplastischen Materials erstreckt.
Die Folie kann eine Dicke im Bereich von etwa 15 bis etwa 300 μm, etwa 200
bis etwa 300 μm,
etwa 40 bis etwa 100 μm
und/oder etwa 15 bis etwa 25 μm
aufweisen. Der Durchgang kann eine minimale Querschnittsfläche mit
einer vorherrschenden Abmessung aufweisen, die kleiner ist als die
Dicke des thermoplastischen Materials. Zusätzlich oder alternativ kann
die vorherrschende Abmessung der minimalen Querschnittsfläche im Bereich
von etwa 5 bis 20 μm
und/oder etwa 10 bis etwa 15 μm
liegen.
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Der
Durchgang kann eine axiale Abmessung, die gleich der Dicke der thermoplastischen
Schicht ist, ein erstes axiales Ende, das der maximalen Querschnittsfläche des
Durchgangs entspricht, und ein zweites axiales Ende aufweisen, das
der minimalen Querschnittsfläche
des Durchgangs entspricht. Das erste und das zweite axiale Ende
können
eine ähnliche
Geometrie, verschiedene Geometrien, eine polygonale Geometrie (regelmäßig oder
unregelmäßig) und/oder
eine im Wesentlichen kreisförmige
(z.B. Kreis oder Oval) Geometrie aufweisen. Die den Durchgang definierenden
Wände der
Folie, welche das erste axiale Ende und das zweite axiale Ende verbinden,
können
eine konstante Neigung, eine sich kontinuierlich ändernde
Neigung (z.B. eine bogenförmige
Neigung) oder eine sich diskontinuierlich ändernde Neigung (z.B. eine
Abstufung) aufweisen.
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Die
Mikroarchitektur kann einen einzelnen Durchgang oder eine Mehrzahl
von Durchgängen
umfassen. Die Mehrzahl von Durchgängen kann in einem Abstand
im Bereich von etwa 30 bis etwa 70 μm und/oder etwa 50 μm voneinander
getrennt sein. Sie können
in einer Matrixanordnung von Reihen und Spalten positioniert sein
und die Reihen/Spalten können
entweder ausgerichtet oder versetzt sein. Die Mikroarchitektur kann ferner
eine oder mehrere Ausnehmungen (z.B. Mulden, Kanäle, usw.) umfassen, die sich
nicht durch die Dicke der thermoplastischen Schicht erstrecken.
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Die
Folie kann flache obere und untere x-y-Oberflächen aufweisen, in denen die
Durchgänge
und gegebenenfalls andere Vertiefungen (z.B. x-y-Kanäle, Ausnehmungen
oder Mulden, die sich nicht durch die Dicke der Folie erstrecken)
ausgebildet sind. Stattdessen kann die Mikroarchitektur Strukturen
umfassen, die sich von deren unterer und/oder oberer Oberfläche nach
außen
vorwölben,
wodurch diese Strukturen, in Kombination mit den Durchgängen, die
Folie mit einer Mehrniveau-Topographie ausstatten. Die vorgewölbten Strukturen
können
abhängig
von der Gestaltung der Architektur die gleiche Höhe oder verschiedene Höhen aufweisen.
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Die
Folie kann eine einzelne Schicht aus einem thermoplastischen Material
umfassen. Alternativ kann die Folie mehrere Schichten aus den gleichen
oder verschiedenen thermoplastischen Materialien umfassen. Insbesondere
bezüglich
Mehrschichtfolien, die aus verschiedenen Materialien hergestellt
sind, können
coextrudierte Folien verwendet werden, um einen Gradienten der Oberflächeneigenschaften
entlang der z-Achse des Durchgangs bzw. der Durchgänge bereitzustellen.
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Gemäß einem
Verfahren der vorliegenden Erfindung kann die Folie mit einem Werkzeug
hergestellt werden, das eine Vorwölbung aufweist, deren Größe, Form
und Anordnung derart ist, dass sie jedem Durchgang entspricht. Wenn
die Mikroarchitektur eine Mehrzahl von Durchgängen aufweist, wird das Werkzeug demgemäß eine Mehrzahl
von Vorwölbungen
aufweisen. Wenn die gewünschte
Architektur andere Vertiefungen (z.B. Kanäle, Ausnehmungen, Mulden, usw.)
und/oder nach außen
vorgewölbte
Strukturen umfasst, kann das Werkzeug die entgegengesetzten Merkmale
dieser Architekturmerkmale aufweisen, so dass sie gleichzeitig mit
dem Durchgang bzw. den Durchgängen
hergestellt werden können.
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Bei
diesem Verfahren wird die thermoplastische Schicht so erhitzt, dass
das thermoplastische Material ausreichend fließfähig ist, so dass sich die Vorwölbungen
dann, wenn das Werkzeug und die thermoplastische Schicht in geeigneter
Weise relativ zueinander positioniert sind, durch die ausreichend
fließfähige thermoplastische
Schicht erstrecken. Die thermoplastische Schicht wird dann abgekühlt, so
dass sich das thermoplastische Material um die Vorwölbung(en)
herum verfestigt. Das Werkzeug und die thermoplastische Schicht
werden dann voneinander abgezogen (z.B. wird das Werkzeug von der
thermoplastischen Schicht abgezogen oder die thermoplastische Schicht
wird von dem Werkzeug abgezogen).
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Eine
Trägerschicht
kann der thermoplastischen Schicht überlagert sein, um der angrenzenden
Seite der thermoplastischen Schicht eine gewünschte Oberflächenmorphologie
zu verleihen (z.B. eine flache Oberfläche mit hoher Oberflächengüte) und/oder
um die Schicht während
bestimmter Verfahrensschritte zu stützen. Zu diesem Zweck kann
die Kunststoffträgerschicht,
wenn diese thermoplastisch ist, eine Glasübergangstemperatur aufweisen,
die wesentlich größer ist
als die Glasübergangstemperatur
der gewünschten
thermoplastischen Schicht. Während
der Herstellung der Folie können
sich die Vorwölbungen
teilweise oder vollständig durch
die Trägerfolie
erstrecken, wodurch in der Trägerfolie
Ausnehmungen gebildet werden, die mit den Durchgängen in dem thermoplastischen
Material ausgerichtet sind.
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Diese
und andere Merkmale der Erfindung sind vollständig und detailliert in den
Ansprüchen
angegeben. Die nachstehende Beschreibung und die Zeichnungen zeigen
detailliert veranschaulichende Ausführungsformen der Erfindung,
die einige der verschiedenen Wege zeigen, wie die erfindungsgemäßen Prinzipien eingesetzt
werden können.
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1 ist eine Draufsicht auf
eine erfindungsgemäße Folie,
wobei die Folie eine Mikroarchitektur aufweist, die eine Matrix
von Durchgängen
umfasst, die sich durch die Dicke (d.h. die z-Richtung) der Folie
erstrecken.
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2 ist eine Seitenquerschnittsansicht
der Folie.
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2A ist eine schematische
Ansicht, welche die Geometrie eines der Durchgänge in der in den 1 und 2 gezeigten Folie zeigt.
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Die 2B bis 2M sind schematische Ansichten, die andere
mögliche
Geometrien des Durchgangs gemäß der vorliegenden
Erfindung zeigen.
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Die 3A bis 3C sind Seitenquerschnittsansichten von
Mehrschichtfolien.
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Die 4A bis 4C sind schematische Seitenansichten
von Folien, die andere, von Durchgängen verschiedene Architekturmerkmale
umfassen.
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Die 5A bis 5L sind schematische Ansichten von Schritten
eines Verfahrens zur Herstellung der erfindungsgemäßen Harzfolie.
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Die 6A bis 6C sind schematische Ansichten der Folie,
bei der die Durchgänge
gemäß der vorliegenden
Erfindung elektrisch leitfähig
gemacht worden sind.
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Die 7A bis 7D sind schematische Ansichten einer
Mehrzahl von Folien, die erfindungsgemäß gestapelt sind, und von Werkzeugen
zur Herstellung solcher Folien.
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Die 8A bis 8C sind schematische Ansichten erfindungsgemäßer abgedeckter
Folien.
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Die 9A bis 9D sind schematische Ansichten eines
Durchgangs mit einem darin enthaltenen Mikrostrukturblock und von
Zusammenbauschritten zum Positionieren der Mikrostrukturblöcke in den
Durchgängen.
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Unter
detaillierter Bezugnahme auf die Zeichnungen und zunächst auf
die 1 und 2 ist eine erfindungsgemäße Folie 20 gezeigt.
Die Folie 20 umfasst eine Mikrostrukturarchitektur, die
eine Matrix von Durchgängen 22 umfasst,
die sich vollständig
durch die Folie 20 erstrecken. Auf diese Weise kann die
Folie 20 in Anwendungen eingesetzt werden, die einen Durchfluss,
eine durchgehende Leitfähigkeit
oder andere Durchgangsmuster erfordern.
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Die
Folie 20 kann eine einzelne Schicht aus einem thermoplastischen
Material oder eine Mehrzahl von thermoplastischen Schichten sein,
die mit der vorgesehenen Anwendung verträglich ist bzw. sind. Beispielsweise
kann das thermoplastische Material Polyolefine, und zwar sowohl
lineare als auch verzweigte Polyolefine, Polyamide, Polystyrole,
Polyurethane, Polysulfone, Polyvinylchlorid, Polycarbonate und Acrylpolymere und
-copolymere umfassen. Wenn die Folie 20 in einen chemischen,
biochemischen oder pharmazeutischen Test einbezogen werden soll,
kann ein Polymer/Copolymer ausgewählt werden, das bezüglich der
in dem Test verwendeten Proben und Reagenzien chemisch inert ist
oder das andere immanente Merkmale aufweist, welche das Gesamtleistungsvermögen der
Vorrichtung verbessern können,
wie z.B. eine Hydrophilie/Hydrophobie. Wenn die Folie 20 in
ein Gerät
einbezogen werden soll, das auf Emissions- oder Reflexionseigenschaften zur
Erfassung eines interessierenden Ereignisses beruht (z.B. Fluorimetrie,
Kolorimetrie oder Spektroskopie), dann kann ein Polymer/Copolymer
ausgewählt
werden, das mit der Absorption oder Emission der Signale in Richtung
der Probe oder von der Probe nicht in Wechselwirkung tritt. Wenn
die Produktfolie 20 in eine elektrische Schaltung einbezogen
werden soll, dann können
die elektrischen/dielektrischen Eigenschaften des Polymers/Copolymers
berücksichtigt
werden.
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Die
Folie 20 kann eine im Wesentlichen planare Geometrie aufweisen,
die z.B. eine Breite W, eine Länge
L und eine Dicke T aufweist. Die Breite W kann über die Länge der Folie konstant sein
und eine Abmessung aufweisen, die mit der Ausrüstung kompatibel ist, die verwendet
wird, um die Folie 20 in das gewünschte Endprodukt einzubringen.
Die Länge
L kann eine vorgegebene Distanz im gleichen allgemeinen Bereich
wie die Breite W sein oder kann wesentlich länger sein, so dass die Folie 20 einer
kontinuierlichen Bahn ähnelt.
Die Dicke T liegt im Allgemeinen im Bereich von etwa 15 bis etwa
300 μm,
etwa 200 bis etwa 300 μm,
etwa 40 bis etwa 100 μm
und/oder etwa 15 bis etwa 25 μm.
Die Dicke T kann über
die Länge
und/oder die Breite der Folie konstant sein.
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Die
Matrixanordnung der Durchgänge 22 kann
in Form ausgerichteter Reihen/Spalten, versetzter Reihen/Spalten
und/oder sich ändernder
Reihen/Spalten vorliegen. Zusätzlich
oder alternativ kann der Abstand zwischen den Durchgängen 22 gleich
sein, sich proportional ändern
und/oder einfach verschieden sein. Die Durchgänge 22 können auch
statistisch angeordnet sein, so dass ein Matrixmuster oder eine
Abstandssequenz nicht erkennbar ist. In jedem Fall kann der minimale
Abstand zwischen angrenzenden Durchgängen 22 (Mitte-zu-Mitte) im Bereich
von etwa 30 bis 70 μm,
etwa 40 bis 60 μm
und/oder etwa 50 μm
liegen.
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In
der 2A ist die Geometrie
eines der Durchgänge 22 schematisch
gezeigt. Der veranschaulichte Durchgang 22 weist eine Kegelstumpfform
mit einer Abmessung in z-Achsenrichtung
A, die gleich der Dicke T der Folie 20 ist, ein erstes
(oberes) kreisförmiges
axiales Ende und ein zweites (unteres) kreisförmiges axiales Ende auf. Die
Fläche
des oberen Endes ist größer als
die Fläche
des unteren Endes, so dass sich der Durchgang 22 nach unten
verjüngt
(es sollte jedoch beachtet werden, dass die Folie 22 einfach
umgedreht werden könnte,
so dass ein Durchgang bereitgestellt wird, der sich nach oben verjüngt).
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Die
Verjüngungsform
des Durchgangs 22 ist bevorzugt, da diese Geometrie für bestimmte
Verfahren zur Herstellung der Folie 20 geeignet ist, bei
denen ein geeigneter "Freigabewinkel" erforderlich ist.
In bestimmten Situationen kann ein kleiner Freigabewinkel im Bereich
von etwa 3° bis
etwa 5° gewünscht sein,
so dass sich Querschnittsflächen
entlang der Achse des Durchgangs nicht signifikant unterscheiden.
In anderen Situationen können
jedoch große
Verjüngungswinkel
im Bereich von etwa 30° bis
60° besser
geeignet sein.
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Die
Verjüngungsform
des Durchgangs 22 ist bevorzugt, da diese Geometrie für bestimmte
Verfahren und/oder Vorrichtungen zur Herstellung der Folie 20 geeignet
ist. Mit anderen Worten: Ein axiales Ende definiert die maximale
Querschnittsfläche
des Durchgangs 22 und das andere axiale Ende definiert
die minimale Querschnittsfläche
des Durchgangs 22. In vielen Fällen wird die vorherrschende
Abmessung (z.B. der Durchmesser eines kreisförmigen Endes, die Länge eines
rechteckigen Endes, die Höhe/Basis
eines dreieckigen Endes, usw.), welche das axiale Ende mit dem maximalen
Querschnitt definiert, kleiner sein als die Dicke T der Folie 20 und
folglich kleiner als die axiale Abmessung des Durchgangs 22.
In der vorliegenden Erfindung ist eine vorherrschende Abmessung
im Bereich von etwa 0,10 μm
bis etwa 3,0 μm
vorgesehen.
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Zusätzlich oder
alternativ liegt die vorherrschende Abmessung des größeren axialen
Endes im Bereich von etwa 5 bis 20 μm und/oder etwa 10 bis etwa
15 μm. Wenn
die vorherrschende Abmessung des größeren axialen Endes im Bereich
von 5 bis 20 μm
liegt, kann die vorherrschende Abmessung des kleineren axialen Endes
im Bereich von etwa 2 bis etwa 10 μm und/oder etwa 3 bis etwa 5 μm liegen.
Beispielsweise könnte
das obere axiale Ende in der in den 1 und 2 gezeigten Kegelstumpfform
einen Durchmesser von etwa 13 μm aufweisen
und/oder das untere axiale Ende könnte einen Durchmesser von
etwa 3 μm
aufweisen.
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In
der vorliegenden Erfindung sind auch andere Durchgangsgeometrien
möglich
und vorgesehen. Beispielsweise können,
wie es in den 2B bis 2J gezeigt ist, die axialen
Enden stattdessen dreieckig (2B), quadratisch
(2C), rechteckig (2D), oval (2E) oder als unregelmäßiges Polygon (2K) oder in einer anderen unregelmäßigen Form
(2L) vorliegen. Die
Wände,
welche die axialen Enden verbinden, können eine konstante Neigung
(2A bis 2E, 2K, 2L), eine sich kontinuierlich ändernde
Neigung (2H) oder eine
sich diskontinuierlich ändernde
Neigung (2G) aufweisen.
Die Geometrie der Querschnittsform kann gleich bleiben (2A bis 2H und 2J)
oder sie kann sich bei einer vorgegebenen Tiefe in dem Durchgang ändern (2I). Die Mitten der axialen
Enden können
ausgerichtet sein (2A bis 2L) oder sie können relativ zueinander
verschoben sein, so dass ein "unsymmetrischer" Durchgang bereitgestellt
wird (2M). Es sollte jedoch
beachtet werden, dass ungeachtet der Durchgangsgeometrie ein geeigneter
Freigabewinkel über
ein beliebiges kontinuierliches "vertikales" Wandsegment erforderlich
sein kann.
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Wie
es vorstehend angegeben worden ist, kann die Folie 20 eine
einzelne thermoplastische Schicht sein oder aus einer Mehrzahl thermoplastischer
Schichten aufgebaut sein. Wenn die Folie 20 mehrschichtig ist,
wie es in den 3A bis 3C gezeigt ist, kann sie
coextrudierte und/oder laminierte Schichten des gleichen thermoplastischen
Materials umfassen (3A und 3B). Zusätzlich oder alternativ kann
die Folie 20 coextrudierte und/oder laminierte Schichten
aus verschiedenen thermoplastischen Materialien umfassen (3B und 3C). Die Schichten können die gleiche Dicke oder
verschiedene Dicken aufweisen.
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Insbesondere
bezüglich
Mehrschichtfolien, die aus verschiedenen Materialien hergestellt
sind, können coextrudierte
Folien verwendet werden, um einen Gradienten der Oberflächeneigenschaften
entlang der z-Achse des Durchgangs bzw. der Durchgänge bereitzustellen.
Beispielsweise könnte
eine hydrophile obere Schicht einer coextrudierten Folie eine Fluidprobe
halten, während
eine untere Schicht mit hydrophoberen Eigenschaften ein Herausfließen aus
dem Durchgang bzw. den Durchgängen
verhindern könnte.
Bei einem anderen Beispiel könnte
ein Gradient aus hydrophilen Schichten bereitgestellt werden, der
die Energie erhöhen oder
verändern
könnte,
die zum Durchfließen
durch den Durchgang bzw. die Durchgänge aufgrund des Gradienten
der Hydrophilieunterschiede der Oberfläche erforderlich ist. Bei einem
weiteren Beispiel könnten
verschiedene Schichten verschiedene Ätzbeständigkeiten aufweisen.
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Die
Durchgänge 22 können das
einzige ausgebildete Arbeitsmerkmal auf der Folie 20 sein
oder sie können
Teil eines Architekturschemas sein, das andere Elemente umfasst,
wie sie in den 4A bis 4C gezeigt sind. Beispielsweise
kann die Mikroarchitektur andere Vertiefungen 24 umfassen,
die sich nicht durch die Dicke der Folie 20 erstrecken,
wie z.B. Ausnehmungen, Mulden und/oder Kanäle (4A und 4C).
Zusätzlich oder
alternativ können
vorgewölbte
Strukturen 26 mit der gleichen Höhe oder verschiedenen Höhen bereitgestellt
werden (4B und 4C). Wenn die Mikroarchitektur
nur Vertiefungen umfasst (2 und 4A) kann die Folie 20 eine
flache obere und untere x-y-Fläche
aufweisen. Wenn die Mikroarchitektur vorgewölbte Strukturen 26 umfasst
(4B und 4C), weist die Folie 20 eine
Topologie mit verschiedenen Höhen
auf.
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In
den 5A bis 5I sind die Schritte eines
Verfahrens zur Herstellung der geprägten Folie 20 schematisch
gezeigt. Bei diesem Verfahren wird eine Bahn 30 bereitgestellt,
die mindestens eine thermoplastische Schicht 32 aufweist
und die Bahn 30 kann auch eine Kunststoffträgerschicht 34 aufweisen
(5A). Wie es vorstehend
erläutert
worden ist, kann die thermoplastische Schicht 32 ein Polymer
oder Copolymer mit Eigenschaften umfassen, die mit den Zusammenbauschritten
und mit der schließlich
vorgesehenen Anwendung der Folie 22 kompatibel sind.
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Die
Trägerschicht 34 kann
mehrere Funktionen ausüben.
Erstens kann sie dazu dienen, die thermoplastische Schicht 32 unter
Druck gegen ein Band zu halten, während sie Heiz- und Kühlstationen
durchläuft und/oder
während
sie die Distanz zwischen diesen Stationen durchläuft, wodurch die Übereinstimmung
der thermoplastischen Schicht 32 mit dem Präzisionsmuster
des Werkzeugs 56 sichergestellt wird, während sich der Temperaturgradient ändert, wenn
die Temperatur der Bahn (nunmehr die geprägte Folie) unter die Glasübergangstemperatur
des Materials fällt.
Zweitens kann die Folie als Träger
für die
Bahn in ihrem schwachen "geschmolzenen" Zustand dienen und
bewahrt die Bahn vor einem Anhaften an den Druckwalzen 58,
wenn die Bahn über
die Glasübergangstemperatur
erhitzt wird. Drittens kann die Trägerschicht gemäß der vorliegenden
Erfindung während
des Prägevorgangs
von Durchgangslöchern
in der thermoplastischen Schicht 32 eine Prägung erhalten
oder zumindest als "Amboss" wirken und dadurch
das erfindungsgemäße Prägen von Durchgangslöchern erleichtern.
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Demgemäß kann die
Kunststoffträgerschicht 34 auf
der Basis ausgewählt
werden, dass sie eine Glasübergangstemperatur
aufweist, die wesentlich größer ist
als die Glasübergangstemperatur
der thermoplastischen Schicht 32. Zusätzlich oder alternativ kann
die Trägerschicht 34 so
ausgewählt
werden, dass sie die angrenzende Oberfläche der Schicht 32 mit
einem flachen Profil mit hoher Oberflächengüte ausstattet, das für eine andere
Verarbeitung geeignet ist. Das Vermögen der Trägerschicht 34, die
thermoplastische Schicht 32 während bestimmter Verfahrensschritte
zu stützen,
kann auch berücksichtigt
werden, wenn ein Trägermaterial ausgewählt wird.
Mögliche
Kandidaten als Material für
die Trägerschicht 34 umfassen
unter anderem Polyester, wie z.B. eine Mylar-Folie. D.h., in der
vorliegenden Erfindung ist ein beliebiges Trägermaterial vorgesehen, das
thermoplastisch, hitzehärtend,
usw., sein kann und das mit dem Herstellungsverfahren kompatibel
ist.
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Es
wird ein Werkzeug 36 bereitgestellt, das eine Reihe von
Vorwölbungen 38 aufweist,
die so groß,
so geformt und so angeordnet sind, dass sie der gewünschten
Matrix von Durchgängen 22 auf
der Folie 20 entsprechen (5B und 5C). Zur Herstellung der
in den 1 und 2 veranschaulichten Folie 20 würden die
Vorwölbungen 38 eine
Kegelstumpfform aufweisen und in ausgerichteten Reihen/Spalten angeordnet
werden. Es sollte jedoch beachtet werden, dass es nötig sein
könnte,
dass die distalen Endabschnitte der Vorwölbungen eine Verlängerung
des kleineren axialen Endes des Durchgangs 22 darstellen müssen, da
es sich über
die Distanz hinaus erstrecken könnte,
die durch die Bodenfläche
der Folie 20 definiert ist.
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Das
Werkzeug 36 kann aus einem geeigneten Material hergestellt
sein, wie z.B. Nickel, das den folgenden Verfahrensschritten widersteht.
Beispielsweise umfasst das Verfahren Schritte, die ein Erhitzen
und Kühlen
des Werkzeugs 36 umfassen können. Demgemäß können die
Abmessungen des Werkzeugs 36 die Heiz/Kühl-Energie beeinflussen, die
erforderlich ist, um die erforderlichen Temperaturgradienten zu
erreichen. Ein dünnes
Werkzeug (etwa 0,010 Inch [0,254 mm] bis etwa 0,030 Inch [0,768
mm] wird ein schnelles Heizen und Kühlen erleichtern, während ein
dickeres Werkzeug Wärme
halten wird.
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Das
Werkzeug
36 kann mit bekannten Techniken hergestellt werden,
um Mikromuster in starren Substraten zu erzeugen, wie z.B. Linieren,
Diamantdrehen, Photolithographie, reaktivem Ionenstrahl-Tiefätzen, Plasmaätzen, reaktivem
Ionenätzen,
Röntgen-Tieflithographie,
Elektronenstrahllithographie, Ionenstrahlätzen oder Kombinationen davon.
Beispielsweise kann ein weibliches Original durch Galvanoformen
hergestellt und zur Erzeugung mehrerer männlicher Muster verwendet werden,
die zur Bildung des Werkzeugs
36 zusammengebaut werden.
Weitere Details bezüglich
der Herstellung des Werkzeugs
36 sind in den US-PSen
4,478,769 und
5,156,863 angegeben. (Diese Patente
werden auf den Erwerber der vorliegenden Erfindung übertragen und
deren gesamte Offenbarung wird unter Bezugnahme einbezogen.)
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In
dem erfindungsgemäßen Verfahren
wird die thermoplastische Schicht 32 erhitzt, bis sie ausreichend
fließfähig ist
(5D). In vielen Fällen wird
dies erfordern, dass die Schicht 32 mindestens auf die
Glasübergangstemperatur
Tg erhitzt wird, d.h. auf die Temperatur,
bei der das Material vom glasartigen Zustand in den kautschukartigen
Zustand übergeht.
Der Begriff "Glasübergangstemperatur" ist ein bekannter
Fachbegriff und wird auf thermoplastische Materialien und auch auf
Glas angewandt. Es handelt sich dabei um die Temperatur, bei der
das Material beim Erhitzen zu fließen beginnt. Für verschiedene
streckbare Acrylarten beginnen die Glasübergangstemperaturen bei etwa
200°F und
für Polyester
(Mylar) beginnt die Glasübergangstemperatur
bei etwa 480°F
bis 490°F.
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Glasübergangstemperaturen
im Bereich von etwa 325°F
bis etwa 410°F
(etwa 160°C
bis etwa 215°C) sind
typisch für
Materialien, die zur Herstellung der thermoplastischen Schicht 32 verwendet
werden. In manchen Fällen
wird die Temperatur auf eine Fließtemperatur Te erhöht werden
müssen,
die über
der Glasübergangstemperatur
Tg liegt, um das Material von dem kautschukartigen
Zustand in einen fließfähigen Zustand übergehen
zu lassen. Beispielsweise weist Polysulfon einen Beginn der Glasübergangstemperatur
Tg von etwa 190°C auf, wandelt sich bei etwa
210°C in
einen kautschukartigen Zustand um und beginnt bei etwa 230°C zu fließen.
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Demgemäß sind in
der vorliegenden Erfindung zwei Temperaturbezugspunkte signifikant:
Tg und Te. Tg ist als Glasübergangstemperatur definiert,
bei der ein Kunststoffmaterial vom glasartigen in den kautschukartigen
Zustand übergeht.
Sie kann einen Bereich vor der eigentlichen Fließfähigkeit des Materials umfassen.
Te ist als Präge- oder Fließtemperatur
definiert, bei der das Material in einer Weise fließt, die
ausreichend ist, sodass es durch den Prägevorgang dauerhaft verformt
wird und beim Abkühlen
die passende Form und Gestalt beibehält, oder eine gesteuerte Variation
(z.B. mit einer Schrumpfung) der geprägten Gestalt aufweist. Da Te von Material zu Material variiert und auch
von der Dicke des Folienmaterials und der Art der Dynamik der Prägevorrichtung
abhängt,
hängt die
genauere Te-Temperatur mit Bedingungen zusammen,
welche den Prägedruck
bzw. die Prägedrücke, die
Temperaturvorgaben der Vorrichtung und die Geschwindigkeit der Vorrichtung
sowie das Ausmaß der
Heiz- und Kühlabschnitte
in der Reaktionszone umfassen.
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Die
Prägetemperatur
T
e muss hoch genug sein, so dass die Glasübergangstemperatur
T
g überschritten
und ein angemessenes Fließen
des Materials erreicht werden kann, um ein Prägen der Folie durch die Vorrichtung
mit hoher Genauigkeit zu erreichen. Als Polymermaterialien zur Bereitstellung
der Schicht
32 können zahlreiche
thermoplastische Materialien in Betracht gezogen werden (nicht alle
können
jedoch kontinuierlich geprägt
werden). Diese Materialien umfassen thermoplastische Materialien
mit einer relativ niedrigen Glasübergangstemperatur
(bis zu 302°F/150°C), sowie
Materialien mit einer höheren
Glasübergangstemperatur
(etwa 302°F/150°C). Typische
Materialien mit niedrigeren Glasübergangstemperaturen
(d.h. bis zu 302°F/150°C) umfassen
Materialien, die beispielsweise zum Prägen von Folien mit Würfelecken
verwendet werden, wie z.B. Vinyl, Polymethylmethacrylat, Polycarbonat
mit niedriger T
g, Polyurethan und Acrylnitril-Butadien-Styrol (ABS). Die
Glasübergangstemperaturen
T
g für
solche Materialien betragen 158°F,
212°F, 302°F und 140°F bis 212°F (272°C, 100°C, 150°C und 60
bis 100°C).
Thermoplastische Materialien mit höheren Glasübergangstemperaturen (d.h.
mit Glasübergangstemperaturen über 302°F/150°C), die sich
zum Prägen
von Präzisionsmikrodurchgängen als
geeignet erwiesen haben, sind in der US-Patentanmeldung
09/596,240 , die am 16.
Juni 2000 angemeldet worden ist, der US-Patentanmeldung
09/781,756 , die am 12.
Februar 2001 angemeldet worden ist, und/oder der US- Patentanmeldung
10/015,319 beschrieben,
die am 12. Dezember 2001 angemeldet worden ist. Diese Polymere umfassen
ein Polysulfon, Polyarylat, cycloolefinisches Copolymer, Polycarbonat
mit hoher T
g und Polyetherimid. Diese früheren Anmeldungen
wurden auf den Erwerber der vorliegenden Erfindung übertragen
und deren gesamte Offenbarung wird unter Bezugnahme einbezogen.
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Eine
Tabelle mit Beispielen für
thermoplastische Materialien und deren Glasübergangstemperaturen ist nachstehend
als Tabelle I angegeben: Tabelle
I
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Das
thermoplastische Material kann auch ein gefülltes Polymermaterial oder
ein Verbundmaterial umfassen, wie z.B. ein Mikrofaser-gefülltes Polymer,
und es kann ein mehrschichtiges Material umfassen, wie z.B. ein
Coextrudat von PMMA und BPA-PC.
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Das
Werkzeug 36 und die thermoplastische Schicht 32 werden
derart miteinander in Kontakt gebracht, so dass sich dann, wenn
das thermoplastische Material ausreichend fließfähig ist, die Vorwölbungen 38 durch die
thermoplastische Schicht 32 zu der Trägerschicht 34 erstrecken
(5E und 5F). Das Harzmaterial der Schicht 32 ist
ausreichend fließfähig, so
dass es um die Vorwölbungen 38 geformt
werden kann (5G). Folglich
durchstechen oder durchstoßen
die Vorwölbungen 38 die
thermoplastische Schicht 32 nicht so, wie dies stattfindet,
wenn ein Nagel durch einen Holzblock geschlagen wird. Stattdessen
führt die
Wechselwirkung zwischen der thermoplastischen Schicht 32 und
den Vorwölbungen 38 zu
einem genaueren Kopieren, wie wenn dieser Nagel in einen Eimer mit
Wasser eingetaucht werden würde.
Als Faustregel wurde gefunden, dass die Prägetemperatur Te für eine gute
Fließfähigkeit
des geschmolzenen Materials mindestens 50°F (10°C) und mehr bevorzugt zwischen
100°F bis
150°F (38°C bis 66°C) über der
Glasübergangstemperatur
der thermoplastischen Schicht 32 liegen sollte.
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Die
distalen Endabschnitte der Vorwölbungen 38 können sich
teilweise in die Trägerschicht 34 erstrecken
(5E) oder sie können sich
vollständig
durch diese erstrecken (5F).
Es sollte beachtet werden, dass eine gewisse Art einer Tiefenerfassung
bzw. Tiefenregistrierung erforderlich sein kann, da sich die Größe und Gestalt
des Durchgangs 20 abhängig
von dem Eindringen der Vorwölbung 38 ändern kann.
Diese Erfassung kann durch Messen der vertikalen Position des Werkzeugs 36 (5E und 5F) und/oder durch Abfühlen des
Eindringens der Vorwölbungen 38 durch
die Trägerschicht 34 (5F) erreicht werden. Es
sollte beachtet werden, dass die Trägerschicht 34 als
Amboss wirkt, wenn der Durchgang 22 durch die thermoplastische Schicht 32 geprägt wird.
Während
es erwünscht
ist, die Form des Durchgangs zu steuern, muss die Trägerschicht
nicht sauber geprägt
werden, da sie nicht Teil des Endprodukts ist. Demgemäß kann die
Trägerschicht 34 "gestanzt" werden, während sie
sich unterhalb der Glasübergangstemperatur
befindet.
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Während sich
die Vorwölbungen 38 nach
wie vor bis zur Trägerschicht 34 oder
durch die Trägerschicht 34 erstrecken,
wird die Bahn 30 abgekühlt,
so dass sich das thermoplastische Material um die Vorwölbungen verfestigt
(5H). Nach einer ausreichenden
Verfestigung wird das Material, das die Vorwölbungen 38 umgibt,
bezüglich
der Festlegung der Gestalt nicht länger von dem Werkzeug 36 abhängen. Das
Werkzeug 36 wird dann von der Bahn 30 abgezogen,
wobei die Durchgänge 22 zurückbleiben
(5I).
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Die
Formgebungsschritte der vorliegenden Erfindung stellen im Wesentlichen
Oberflächen
mit exakter Größe und sehr
präzisen
Mustern zwischen den Durchgängen
bereit. Die geformten Durchgang-definierenden Oberflächen werden
ohne Verzerrung geformt, wodurch eine Durchgangsgeometrie mit verbesserter
Glätte von
flachen und gekrümmten
Bereichen der Durchgangsgeometrie ermöglicht wird. Auch bei Durchgangsformen,
die polygonale Geometrien umfassen (vgl. z.B. die 2B bis 2D, 2G und/oder 2I) weisen die Durchgang-definierenden
Oberflächen
eine erhöhte
Winkelgenauigkeit auf und scharfe Ecken können mit hoher Genauigkeit
erhalten werden.
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Es
wird angenommen, dass die Durchgang-definierenden Oberflächen der
vorliegenden Erfindung Durchgängen,
die mit herkömmlichen
Verfahren geformt worden sind, wie z.B. mit Härtungs-, Spritzguss-, Abtragungs-,
Stempel- und Stanztechniken, bezüglich
der Struktur überlegen
sind (und auf jeden Fall strukturell verschieden sind). Beispielsweise
unterliegt das geformte Material in einem Härtungsverfahren zwangsläufig einer
signifikanten chemischen Veränderung,
wodurch die Endgeometrien (Abmessungen und Oberflächenprofile)
in einer Mikrotoleranzsituation schwer vorhersagbar sind, insbesondere
von Durchgang zu Durchgang. Da ein Härtungsverfahren naturgemäß auch die
Chemie des Ausgangspolymers verändert,
können
sich die Eigenschaften der Struktur nach dem Härten von den Eigenschaften
der Struktur vor dem Härten
unterscheiden. Während
demgemäß das Testen
lokaler Eigenschaften des Ausgangspolymers bei der Abschätzung der Eigenschaften
des gehärteten
Materials unterstützen
kann, müssen
diese Eigenschaften gewöhnlich
in dem Endprodukt erneut getestet werden. Darüber hinaus kann selbst das
gleiche Ausgangspolymer verschiedene Eigenschaften des Endprodukts
ergeben (abhängig
von der genauen Art des Härtungsverfahrens),
wodurch häufig
ein Testen jeder Produktcharge erforderlich ist.
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Bei
einem Spritzgussverfahren ist Druck erforderlich, um das Material
in die geeigneten Hohlräume
zu drücken.
Dies führt
fast immer zu einem gewissen Maß einer
Orientierungsverdrehung und/oder Relaxationsspannung. Bestimmte
Teile des Formteils neigen häufig
auch dazu, schneller abzukühlen
als andere Teile des Formteils, wodurch einheitliche Folien schwer
zu erhalten sind.
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Ein
Abtragungsverfahren (wie z.B. eine Laserabtragung) umfasst das Verdampfen
eines Materialstücks
in der Form des Durchgangs, ein Stempelverfahren erfordert das Zusammendrücken eines
Materialstücks
in der Form des Durchgangs in umgebende Bereiche und ein Stanzverfahren
erfordert die Entfernung eines Materialstücks in der Form des Durchgangs.
In dem Maß,
wie eine Größenspezifikation
und/oder eine Musterpräzision
durch ein Abtragungs-, Stempel- und/oder Stanzverfahren erhalten
werden könnte(n),
wäre das
Profil der Oberflächen
schwer, wenn nicht unmöglich,
aufrechtzuerhalten, und der durch das Werkzeug ausgeübte Druck
müsste
sehr genau gesteuert werden.
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Demgemäß stellt
die vorliegende Erfindung Durchgang-definierende Oberflächen bereit,
die eine bessere Größengenauigkeit,
eine höhere
Mustergenauigkeit, eine höhere
Winkelgenauigkeit und/oder eine bessere Steuerung der Oberflächentextur
aufweisen als Durchgang-definierende Oberflächen, die mit Verfahren des
Standes der Technik gebildet worden sind. Zusätzlich werden mit der vorliegenden
Erfindung Restspannungen vermieden, wodurch im Wesentlichen spannungsfreie
Mikrostrukturen bereitgestellt werden. Darüber hinaus ändern sich die lokalen Eigenschaften
des Folienmaterials während
des Verfahrens zum Formen der Durchgänge nicht (da sich die Chemie
nicht ändert),
wodurch ein Testen dieser Eigenschaften nach dem Formen nicht erforderlich
ist.
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Sobald
die Bahn 30 und das Werkzeug 36 voneinander abgezogen
worden sind, kann die Trägerschicht 34 von
der thermoplastischen Schicht 32 entfernt (z.B. abgezogen)
werden (5J). Wenn die
Bahn 30 die gewünschte
Größe der Folie 20 aufweist,
ist die Herstellung der Folie 20 abgeschlossen und die
Folie 20 ist zur weiteren Verarbeitung, für einen
Zusammenbau und/oder eine Fertigbearbeitung bereit. Wenn die Bahn 30 eine
kontinuierliche Länge
aufweist, kann das Produkt auf eine Rolle aufgewickelt werden (5K), um sie später auf
gewünschte
Längen
zuzuschneiden. Alternativ kann die Bahn 30 in Abschnitte
mit den gewünschten
Folienabmessungen geschnitten werden (5L).
Es sollte beachtet werden, dass der Ablöseschritt vor, während oder
nach den Aufwickel- und/oder
Schneidschritten durchgeführt
werden kann.
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Das
erfindungsgemäße Verfahren
kann mit den Maschinen und Vorrichtungen durchgeführt werden, die
in der US-Patentanmeldung
09/596,240 ,
die am 16. Juni 2000 angemeldet worden ist, der US-Patentanmeldung
09/781,756 , die am 12.
Februar 2001 angemeldet worden ist, und/oder der US-Patentanmeldung
10/015,319 beschrieben
sind, die am 12. Dezember 2001 angemeldet worden ist. Diese Anmeldungen
gehören
dem Erwerber der vorliegenden Erfindung und deren gesamte Offenbarung
wird unter Bezugnahme einbezogen.
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Wie
es vorstehend angegeben worden ist, kann die Folie
20 in
verschiedenen Anwendungen eingesetzt werden, die jeweils eine weitere
Verarbeitung und/oder ein Zusammenbauen erfordern. Beispielsweise können in
elektrischen Schaltungskonstruktionen die Durchgang-definierenden Oberflächen mit
einer elektrisch leitfähigen
Beschichtung
90 beschichtet werden (
6A), elektrisch leitfähige Teilchen
90' können in dem
Durchgang
22 angeordnet werden (
6B) und/oder ein elektrisch leitfähiger Gegenstand
90'' (z.B. eine Kugel mit einem Durchmesser,
der kleiner ist als der Durchmesser des kreisförmigen oberen Endes und der größer ist
als der Durchmesser des kreisförmigen
unteren Endes eines kegelstumpfförmigen
Durchgangs) kann in den Durchgang
22 fallen gelassen werden
(
6C). Weitere Details
möglicher
leitfähiger
Durchgänge sind
in der gleichzeitig anhängigen
US-Anmeldung
60/349,907 beschrieben,
die am 18. Januar 2002 eingereicht worden ist. Diese Anmeldung wird
auf den Erwerber der vorliegenden Erfindung übertragen und deren gesamte
Offenbarung wird unter Bezugnahme einbezogen.
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Eine
Mehrzahl von Folien 20 kann gestapelt werden, so dass ein
dreidimensionales Netzwerk von Durchgangsverbindungen mit den Durchgängen 22 bereitgestellt
wird, wodurch eine Verbindung zwischen den Niveaus hergestellt wird
(7A). Folienanordnungen
mit mehreren Niveaus können
besonders bei Fluidanwendungen nützlich
sein, bei denen die Folie 20 eine andere Mikroarchitektur
aufweist, die Durchgangsverbindungen 92 zu und von den
Durchgängen 22 bildet
(7B). Die Durchgangsverbindungen 92 können gleichzeitig
mit den Durchgängen 22 ausgebildet
werden, und zwar durch Modifizieren des Werkzeugs 36 in
einer Weise, dass es "kürzere" Vorwölbungen 94 umfasst,
die sich nicht durch die thermoplastische Schicht 32 erstrecken
(7C bis 7D). Auch bei Filtrieranwendungen können Durchgänge 22 zwischen
gestapelten Folien 20 verwendet werden, um die Strömung stromabwärts von
dem Filtereingang zu verteilen und anzugleichen.
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Für die Folie
20 kann
ein Deckel oder eine Abdeckung
96 bereitgestellt werden,
der bzw. die dazu führt,
dass das Oberteil jedes oder einiger der Durchgänge
22 abgedeckt ist
(
8A bis
8C). Details möglicher, mit Deckel versehener
und/oder abgedeckter Konstruktionen sind in der gleichzeitig anhängigen US-Anmeldung
60/349,909 beschrieben,
die am 18. Januar 2002 angemeldet worden ist. Diese Anmeldung wird
auf den Erwerber der vorliegenden Erfindung übertragen und deren gesamte
Offenbarung wird unter Bezugnahme einbezogen.
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Die
Durchgänge 22 können Ausnehmungen
definieren, die komplementär
geformte Mikrostrukturblöcke 98 aufnehmen
(9A und 9B). Für einen effizienten Zusammenbau
kann eine Mehrzahl der Blöcke 98 (z.B.
Späne bzw.
Chips) in einer Aufschlämmung
bereitgestellt werden, die z.B. mit einem schwachen Luftstrom über die
Folie 20 bewegt wird (9C).
In geeigneter Weise positionierte Blöcke 98 werden in die
Durchgänge 22 fallen,
während
der Rest stromabwärts
abtransportiert wird (9D).
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Diese
und andere weitere(n) Verarbeitungs- und Zusammenbauschritte können durchgeführt werden, um
ein Produkt zu erzeugen, das zum Einbringen in eine Filteranwendung,
Probenahmeanwendung, elektrische Anwendung oder eine andere Anwendung
geeignet ist. Derartige Verarbeitungs- und Zusammenbauschritte können gegebenenfalls
auch kombiniert werden. Beispielsweise können Folien 20, welche
die in den 6A bis 6C gezeigten elektrisch leitfähigen Durchgänge 22 enthalten,
gestapelt werden, wie es in der 7A gezeigt
ist, und/oder mit einem Deckel 96 ausgestattet werden,
wie es in den 8A bis 8C gezeigt ist. Zusätzlich oder
alternativ können
Folien 20, welche die in der 9A gezeigten
Mikrostrukturblöcke 98 aufweisen,
entsprechend gestapelt und/oder abgedeckt werden.
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Obwohl
die Erfindung bezüglich
bestimmter bevorzugter Ausführungsformen
gezeigt und beschrieben worden ist, ist es offensichtlich, dass
der Fachmann beim Lesen dieser Beschreibung Äquivalente und nahe liegende
Veränderungen
und Modifizierungen erkennt. Die vorliegende Erfindung umfasst alle
diese Veränderungen
und Modifizierungen und ist lediglich durch den Schutzbereich der
beigefügten
Ansprüche
beschränkt.
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Zusammenfassung
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Eine
Folie (20) zur Verwendung in Mikrofluidanwendungen, mikroelektronischen,
mikromechanischen und/oder mikrooptischen Anwendungen, die einen
Durchfluss, eine Durchgangsleitfähigkeit,
eine Durchgangsübertragung
und/oder andere Durchgangsmuster erfordern. Die Folie (20)
umfasst eine Mikroarchitektur, die mindestens einen Durchgang (22)
umfasst, der sich durch die Dicke der Schicht (32) aus
einem thermoplastischen Material erstreckt. Die Durchgang-definierenden
Wände in
der thermoplastischen Schicht (32) werden durch das thermoplastische
Material gebildet, das um eine Vorwölbung fließt und sich dann um die Vorwölbung herum
verfestigt.