DE10359367A1 - Quadrupol-Massenfilter - Google Patents

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    • H01ELECTRIC ELEMENTS
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    • H01J49/00Particle spectrometers or separator tubes
    • H01J49/26Mass spectrometers or separator tubes
    • H01J49/34Dynamic spectrometers
    • H01J49/42Stability-of-path spectrometers, e.g. monopole, quadrupole, multipole, farvitrons
    • H01J49/4205Device types
    • H01J49/421Mass filters, i.e. deviating unwanted ions without trapping
    • H01J49/4215Quadrupole mass filters
    • HELECTRICITY
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Abstract

Ein Quadrupol-Massenfilter zur Bestimmung der Massenzahlen von ionisierten Materialien enthält zur Bestimmung der Elektrodenspannung mindestens einen Kondensator (21, 22). Dieser Kondensator ist erfindungsgemäß als Luftkondensator mit Luft als Dielektrikum ausgebildet. Dadurch wird in einer Rückkopplungsschleife (26) ein Rückkopplungssignal für eine Wechselspannungsquelle (15) erzeugt, das unabhängig von Umwelteinflüssen, insbesondere Temperatur und Luftfeuchtigkeit, ist. Das Quadrupol-Massenfilter ist dadurch unter unterschiedlichen Umweltbedingungen einsetzbar und liefert hochgenaue und hochauflösende Messergebnisse.

Description

  • Die Erfindung betrifft ein Quadrupol-Massenfilter mit
    • – vier parallelen stabförmigen Elektroden,
    • – einer Wechselspannungsquelle, die eine hochfrequente Wechselspannung variabler Amplitude liefert,
    • – einer Wandlerschaltung, die aus der Wechselspannung Versorgungsspannungen für zwei Paare gegenüberliegender Elektroden erzeugt,
    • – und einer mindestens einen Kondensator enthaltenden Rückkopplungsschleife zur Regelung der Wechselspannungsquelle in Abhängigkeit von der Amplitude der Elektrodenspannungen.
  • Zur Analyse von Substanzen auf Bestandteile verschiedener Masse und zur genauen Massenbestimmung finden Massenspektrometer Verwendung. In einem Massenspektrometer wird die zu analysierende Substanz ionisiert. Die Ionen werden in einem elektrischen Feld beschleunigt, so dass ein gebündelter Ionenstrahl entsteht. In einem Massenfilter wird der Ionenstrahl in seine verschiedenen Masseanteile zerlegt. Die elektrische Ladung der einzelnen Bestandteile wird an einen Auffänger abgegeben, wobei der vom Auffänger ausgehende elektrische Strom der Intensität der jeweiligen Masse proportional ist.
  • In DE 42 42 766 A1 (Leybold) ist ein Quadrupol-Massenfilter für ein Massenspektrometer beschrieben. Dieses Massenfilter weist vier parallel angeordnete Stabelektroden auf. An jedem Paar gegenüberliegender Elektroden liegt eine Gleichspannung, die von einer hochfrequenten Wechselspannung überlagert ist. Es sind auch Massenfilter bekannt, deren Stabelektroden nur an einer hochfrequenten Wechselspannung liegen.
  • Der Ionenstrahl im Innern des Quadrupol-Massenfilters wird durch das Hochfrequenzfeld zu Schwingungen angeregt, die massenabhängig sind. Nur für Ionen einer bestimmten Masse bleibt die Schwingungsamplitude so klein, dass diese Ionen das Stabsystem passieren und in den Auffänger gelangen. Die anderen Ionen treffen auf die Stabelektroden und werden eliminiert. In Abhängigkeit von der Amplitude und der Frequenz der Wechselspannung können Ionen einer bestimmten Masse fokussiert werden. Die von der Wechselspannungsquelle erzeugte Frequenz liegt üblicherweise im Bereich von 1-10 MHz. In diesem Bereich ist eine Konstanthaltung der Wechselspannungsamplitude sehr schwierig, weil viele externe und interne Einflüsse die Amplitudenhöhe beeinflussen können. Es ist daher bekannt, eine Rückkopplungsschleife vorzusehen, durch die ein der Amplitudenhöhe entspre chender Wert auf die Wechselspannungsquelle rückgekoppelt wird, um die Amplitudenhöhe auf einen gewünschten Wert zu regeln. Zur Messung der Amplitude der hochfrequenten Wechselspannung kann an jedes Paar der Stabelektroden ein Kondensator angeschlossen werden. Die beiden Kondensatoren versorgen einen Gleichrichter, dessen Ausgang mit der Wechselspannungsquelle verbunden ist. Eine andere Möglichkeit besteht darin, einen kapazitiven Spannungsteiler vorzusehen, der die Paare von Stabelektroden verbindet und die hohe Hochfrequenzspannung herunterteilt. In beiden Fällen ist die sich im Massenspektrum ergebende Massenposition von den verwendeten Kondensatoren abhängig. Eine Spannungsmessung mit einem rein ohmschen Teiler ist aufgrund der hohen Arbeitsfrequenz wegen der Streukapazitäten und hohen Verlustleistungen nicht möglich.
  • Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Quadrupol-Massenfilter zu schaffen, das eine Konstanthaltung der Wechselspannungsamplitude auch unter schwierigen Verhältnissen ermöglicht.
  • Das erfindungsgemäße Quadrupol-Massenfilter ist durch den Patentanspruch 1 definiert.
  • Die Besonderheit der Erfindung besteht darin, dass der mindestens eine Kondensator zur Erzeugung einer Rückkopplungsspannung für die Wechselspannungsquelle ein Luftkondensator ist, der Luft als Dielektrikum verwendet. Da die üblichen Dielektrika von Kondensatoren bei hoher Luftfeuchtigkeit zu Kapazitätsveränderungen neigen, verursachen Quadrupol-Massenfilter, die mit derartigen Kondensatoren ausgestattet sind, eine Verschiebung der gemessenen Massenzahl gegenüber der tatsächlichen Massenzahl, insbesondere bei schweren Atomen, deren Massenzahlen über 25 betragen. Hinzu kommt eine Verbreiterung oder Verschmälerung des einer Massenzahl zugeordneten Spektralbereichs, was einer Verringerung der Auflösung bzw. der Empfindlichkeit entspricht. Derartige Effekte, die das Messergebnis beeinträchtigen, entstehen infolge hoher Luftfeuchtigkeit oder als Folge hoher oder niedriger Temperaturen. Durch die Verwendung eines Luftkondensators ist sichergestellt, dass die ohmschen Verluste des Kondensators praktisch Null sind und somit vernachlässigt werden können, unabhängig von den jeweiligen Umwelteinflüssen wie Luftfeuchtigkeit und Temperatur. Außerdem wird der Einfluss benachbarter Körper, wie Schaltungskomponenten oder Platinen, durch geeignete Bauform eliminiert.
  • Bei einer bevorzugten Ausgestaltung der Erfindung ist vorgesehen, dass mindestens eine Kondensatorelektrode des Kondensators als Becher ausgebildet ist, welcher die andere Kondensatorelektrode umgibt. Die becherförmige Elektrode bildet zugleich eine Abschirmung, die verhindert, dass benachbarte Komponenten Einfluss auf die Kapazität des Kondensators nehmen. Auf diese Weise werden Instabilitäten vermieden. Die Feldlinien bleiben im Wesentlichen innerhalb des Kondensators und unterliegen keiner Beeinflussung von außen.
  • Vorzugsweise sind beide Kondensatorelektroden als Becher ausgebildet. Hierbei können die Böden der becherförmigen Kondensatorelektroden durch einen nichtleitenden Stab verbunden sein. Beide Kondensatorelektroden sind ausschließlich durch den nichtleitenden Stab verbunden, so dass sie außer den potentialführenden Leitungen keine sonstigen Berührungen haben.
  • Zweckmäßigerweise besteht der Stab aus einem hohlen Rohr. Dies hat den Vorteil einer geringen Masse des Stabes und eines geringen Festkörpervolumens. Ein hohler Stab kann wenig Feuchtigkeit festhalten. Vorzugsweise besteht der Stab aus Saphir oder einem ähnlichen hoch isolierenden Kristallmaterial hoher Fes tigkeit. Eine andere Alternative sieht vor, dass ein die Kondensatorelektroden verbindender Halter aus Keramik oder Glas vorgesehen ist.
  • Im folgenden wird unter Bezugnahme auf die Zeichnung ein Ausführungsbeispiel der Erfindung näher erläutert. Diese Erläuterungen sind nicht so zu verstehen, dass sie den Schutzbereich der Erfindung einengen. Sie dienen vielmehr nur dem besseren Verständnis.
  • Es zeigen:
  • 1: Die vier Elektroden des Massenfilters in perspektivischer Darstellung,
  • 2: Ein schematisches Schaltbild der Spannungsversorgung für die Stabelektroden,
  • 3: Eine schematische Darstellung der Verläufe der Elektrodenspannungen und
  • 4: Einen Längsschnitt durch einen der in 2 dargestellten Kondensatoren.
  • Das Quadrupol-Massenfilter weist gemäß 1 vier stabförmige Elektroden E1-E4 auf, die um eine gedachte Achse A herum angeordnet sind und gegenseitige Abstände haben. Die Stäbe haben runden oder ovalen Querschnitt, so dass die der Achse A zugewandte Seite in grober Näherung hyperbelförmig gestaltet ist. Die sich diagonal gegenüberliegenden Elektroden E1 und E3 bilden ein Elektrodenpaar. Die beiden anderen sich ebenfalls diagonal gegenüberliegenden Elektroden E2 und E4 bilden ein ande res Elektrodenpaar. Die Elektroden eines Paares sind elektrisch miteinander verbunden. An jedes Elektrodenpaar wird eine Spannung angelegt, die aus einer Gleichspannung und einer überlagerten hochfrequenten Wechselspannung besteht. Von einer (nicht dargestellten) Ionenquelle werden Ionen der zu untersuchenden Substanz entlang der Achse A in das Eintrittsende 10 der Elektrodenanordnung eingeführt. Der Ionenstrahl 11 im Innern des Stabsystems wird durch das Hochfrequenzfeld zu Schwingungen unterschiedlicher Amplituden angeregt, die masseabhängig sind. Nur für Ionen einer bestimmten Masse bleibt die Amplitude der Schwingungen so klein, dass sie das Stabsystem passieren und zu einem Auffänger 12 gelangen. Die anderen Ionen treffen auf die Stabelektroden und werden eliminiert. An den Auffänger 12 ist eine Stromableitungsschaltung angeschlossen. Der durch die auftreffenden Ionen erzeugte Strom wird gemessen und dient zur Bestimmung der Menge der gesuchten Substanz.
  • Ionen mit größeren Massenzahlen als der gesuchten Massenzahl werden durch das elektrische Gleichfeld gegen eine Stabelektrode gelenkt und von dieser absorbiert. Ionen mit kleineren Massenzahlen werden durch das Wechselfeld gegen eine Stabelektrode gelenkt.
  • Aus 2 ist ersichtlich, dass die Elektroden E1 und E3 zu einem Elektrodenpaar zusammengeschaltet sind und dass ebenfalls die Elektroden E2 und E4 zu einem Elektrodenpaar zusammengeschaltet sind. Zur Stromversorgung dient eine Wechselspannungsquelle 15, die eine hochfrequente Wechselspannung im Bereich von 1-10 MHz liefert, wobei die Amplitude der Wechselspannung veränderbar ist. Die Wechselspannungsquelle 15 ist mit einer Wandlerschaltung 16 verbunden. Diese enthält eine Primärwicklung 16a und zwei Sekundärwicklungen 16b und 16c. Jede der Sekundärwicklungen ist an eine Gleichspannungsquelle 17 bzw. 18 angeschlossen. Die Gleichspannungsquellen liefern gleichsinnige Gleichspannungen mit unterschiedlichen Amplituden. Sie sind mit den Sekundärwicklungen 16b und 16c derart verbunden, dass die Sekundärwicklungen gegensinnig zueinander durchflossen werden. Die Sekundärwicklung 16b ist über eine Leitung 19 mit dem Elektrodenpaar E1, E3 verbunden. Die Sekundärwicklung 16c ist über eine Leitung 20 mit dem Elektrodenpaar E2, E4 verbunden.
  • Zur Gewinnung einer Spannung, die der Spannung zwischen den Leitungen 19 und 20 proportional ist, sind an diese Leitungen Kondensatoren 21, 22 angeschlossen, welche mit den beiden Eingangsanschlüssen eines Gleichrichters 23 verbunden sind, welcher hier als Doppelweggleichrichter ausgebildet ist. An den Ausgang des Gleichrichters 23 ist ein Ableitwiderstand 24 angeschlossen. Von dem Ableitwiderstand 24 erstreckt sich eine Rückkopplungsschleife 26 zu einem Eingang der Wechselspannungsquelle 15.
  • Die am Ableitwiderstand 24 abfallende Spannung wird einem Regler 25 zugeführt, welcher die Amplitude der Wechselspannungsquelle 15 regelt. Die Regelung erfolgt in der Weise, dass am Ableitwiderstand 24 ein Spannungsabfall in Höhe eines vorgegebenen Sollwertes entsteht.
  • Die Kondensatoren 21 und 22 haben solche Impedanzen, dass im Gleichrichter 23 ein Strom in der Größenordnung von mA entsteht. Der Ableitwiderstand 24 hat einen Wert in der Größenordnung von 1 kΩ. An ihm fällt eine Spannung von nur wenigen Volt ab. Auf diese Weise wird mit einer geringen Regelspannung eine hohe Wechselspannung konstant gehalten.
  • 3 zeigt die Größe und den zeitlichen Verlauf der verschiedenen Spannungen. Die Gleichspannung, die von der Gleichspan nungsquelle 17 geliefert wird, ist mit U 17 bezeichnet. Die Gleichspannung, die von der Gleichspannungsquelle 18 geliefert wird, ist mit U 18 bezeichnet. Beide Gleichspannungen haben unterschiedliche Werte. Der Gleichspannung U 17 ist eine Wechselspannung W 1 überlagert und der Gleichspannung U 18 ist eine Wechselspannung W 2 überlagert. Die Wechselspannungen W 1 und W 2 sind zueinander gegenphasig. Dadurch entsteht eine kombinierte Spannung mit der Spitzenamplitude AM, die einige Hundert Volt betragen kann. Durch die Kondensatoren 21 und 22 von niedriger Kapazität werden die hohen Spannungsamplituden in niedrige Stromamplituden, die zu einer Regelung geeignet sind, umgewandelt.
  • Alternativ zu der beschriebenen Schaltung kann zwischen den Leitungen 19, 20 und dem Bezugspunkt auch jeweils ein kapazitiver Spannungsteiler angeordnet werden, an dem eine für die Regelung geeignete Spannung abgegriffen wird.
  • In 4 ist der Kondensator 21 dargestellt. Der Kondensator 22 ist in gleicher Weise ausgebildet. Der Kondensator 21 weist eine äußere Kondensatorelektrode 30 in Form eines Bechers auf. Der Boden dieser Elektrode ist mit einem Loch versehen, durch das ein Kontakt 31 für den Anschluss an die Leitung 20 hindurchgeht. Die Elektrode 30 und der Kontakt 31 bestehen aus gut leitendem Metall.
  • Die zweite Kondensatorelektrode 32 ist ebenfalls eine Becherelektrode, die von der offenen Seite der Kondensatorelektrode 30 in diese eingeschoben ist. Die Böden der beiden Kondensatorelektroden 30 und 32 sind nach entgegengesetzten Richtungen gerichtet. Die Kondensatorelektrode 32 ist mit einem Loch versehen, durch das ein Kontakt 33 für den Anschluss der Leitung 19 hindurchgeht.
  • Die beiden stirnseitigen Enden der beiden Kontakte 31, 33 im Innern des von den Kondensatortöpfen gebildeten Hohlraums sind durch einen Stab 35 aus hochisolierendem Material verbunden. Der Stab 35 besteht aus einem hohlen Rohr, im vorliegenden Fall aus Saphir. Der Stab 35 bildet die einzige Verbindung zwischen den Kondensatorelektroden 30 und 32 über die Kontakte 31 und 33. Ein wesentlicher Vorteil des Luftkondensators besteht darin, dass die Umfangswände der Kondensatorelektroden 30 und 32 einander direkt gegenüberliegen, wobei die Umfangswand der Kondensatorelektrode 30 und die Bodenwand eine äußere Abschirmung bilden. Sämtliche elektrischen Felder, die sich zwischen den beiden Kondensatorelektroden erstrecken, verlaufen im Innern des Kondensators. Dadurch besteht eine Unabhängigkeit gegenüber der Luftfeuchtigkeit, der Temperatur und benachbarten externen Komponenten. Der Kondensator behält seine Kapazität unabhängig von den Umwelteinflüssen und der Einbausituation bei. Daher ist auch die Regelung der Wechselspannungsquelle 15 konstant, so dass die erzeugte Wechselspannung mit konstanter und geregelter Amplitude geliefert wird. Die Folge hiervon ist, dass das Quadrupol-Massenfilter reproduzierbare Ergebnisse liefert und die Größen der zu bestimmenden Massen exakt und mit hoher Auflösung angibt.

Claims (7)

  1. Quadrupol-Massenfilter mit – vier parallelen stabförmigen Elektroden (E1-E4), – einer Wechselspannungsquelle (15), die eine hochfrequente Wechselspannung variabler Amplitude liefert, – einer Wandlerschaltung (16), die aus der Wechselspannung Versorgungsspannungen für zwei Paare gegenüberliegender Elektroden (E1, E3; E2, E4) erzeugt, – und einer mindestens einen Kondensator (21, 22) enthaltenden Rückkopplungsschleife (26) zur Regelung der Wechselspannungsquelle (15) in Abhängigkeit von der Amplitude der Elektrodenspannungen, dadurch gekennzeichnet, – dass der mindestens eine Kondensator (21, 22) ein Luftkondensator ist, der Luft als Dielektrikum verwendet.
  2. Quadrupol-Massenfilter nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass mindestens eine Kondensatorelektrode (30, 32) des Kondensators (21) als Becher ausgebildet ist, welcher die andere Kondensatorelektrode umgibt.
  3. Quadrupol-Massenfilter nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass beide Elektroden (30, 32) becherförmig ausgebildet sind.
  4. Quadrupol-Massenfilter nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass die Böden der becherförmigen Kondensatorelektroden durch einen nichtleitenden Stab (35) verbunden sind.
  5. Quadrupol-Massenfilter nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass der Stab (35) aus einem hohlen Rohr besteht,
  6. Quadrupol-Massenfilter nach Anspruch 4 oder 5, dadurch gekennzeichnet, dass der Stab (35) aus Saphir besteht,
  7. Quadrupol-Massenfilter nach einem der Ansprüche 1-6, dadurch gekennzeichnet, dass ein die Kondensatorelektroden (30, 32) verbindender Halter aus Keramik oder Glas vorgesehen ist.
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