DE10356638A1 - Potentiometrische Messzelle für Mikroverfahrenstechnik - Google Patents

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Abstract

Eine Messzelle 1 zur Erfassung einer potentiometrischen Größe umfasst einen potentiometrischen Sensor 20; einen Messkanal 10 zum Führen eines Messmediums, wobei der Messkanal einen ersten Endabschnitt mit einer Eintrittsöffnung, einen zweiten Endabschnitt mit einer Austrittsöffnung und einen mittleren Abschnitt zwischen dem ersten und dem zweiten Endabschnitt aufweist und der mittlere Abschnitt mindestens eine Sensoröffnung 15 umfasst, an welcher der potentiometrische Sensor 20 angeordnet ist; und mindestens eine erste Referenzhalbzelle, welche eine erste Referenzkammer 28, 29, 31 und einen ersten Referenzsensor 30 zum Bereitstellen eines Referenzpotentials aufweist, wobei die Referenzkammer über eine Referenzöffnung 16 mit dem Messkanal verbunden ist.

Description

  • Für die Messung von wichtigen Prozessparametern werden in der Mikroverfahrens- und Mikroreaktortechnik bisher herkömmliche Sensoren eingesetzt, die durch Sonderarmaturen in die entsprechenden Anlagen integriert werden. Hierbei stößt man leicht an Grenzen hinsichtlich der minimalen Leitungsquerschnitte und der angestrebten Totraumfreiheit, sowie Partikelablagerungen und Werkstoffanforderungen. Speziell für die potentiometrischen Parameter in der Prozessanalyse (pH-Wert, Redox-Potential) stehen bisher keine geeigneten Sensoren für miniaturisierte inline Messungen zur Verfügung. Die stattdessen erfolgende Verwendung herkömmlicher Prozessanalysesensoren in der Mikroverfahrenstechnik geht mit den folgenden Nachteilen einher. Es ist die Verwendung von Sonderarmaturen notwendig, welche konstruktionsbedingt ein großes Totvolumen aufweisen. Dies wirkt sich gerade bei kleinen verfügbaren Volumina des Messmediums extrem negativ aus, denn es ist ein relativ großes Mindestvolumen an Messmedium erforderlich, um überhaupt aussagekräftige Messungen durchführen zu können. Zudem muss bei Defekten oder zur Wartung ein konventioneller Sensor komplett gewechselt werden; dies beinhaltet meist sowohl das eigentliche Sensorelement als auch das Referenzsystem. Weiterhin können ungünstige Strömungsverhältnisse, insbesondere in Strömungsschatten, leicht zu Ablagerungen bzw. zur Verblockung von funktionalen Komponenten wie Diaphragmen o. ä. führen. Schließlich kann es insbesondere bei der Untersuchung von nicht-leitenden Flüssigkeiten aufgrund der Reibung zwischen der Flüssigkeit und den Rohrleitungen zu statischen Aufladungen kommen, welche potentiometrische Messungen beeinträchtigen können.
  • Es ist daher die Aufgabe der vorliegenden Erfindung, eine Vorrichtung bereitzustellen, welche die beschriebenen Nachteile mildert oder überwindet. Diese Aufgabe wird gelöst durch die Messzelle gemäß des unabhängigen Patentanspruchs 1.
  • Die erfindungsgemäße Messzelle zur Erfassung einer potentiometrischen Größe umfasst
    einen potentiometrischen Sensor;
    einen Messkanal zum Führen eines Messmediums,
    wobei der Messkanal einen ersten Endabschnitt mit einer Eintrittsöffnung, einen zweiten Endabschnitt mit einer Austrittsöffnung und einen mittleren Abschnitt zwischen dem ersten und dem zweiten Endabschnitt aufweist, und der mittlere Abschnitt mindestens eine Sensoröffnung umfasst, an welcher der potentiometrische Sensor angeordnet ist; und
    mindestens eine erste Referenzhalbzelle, welche eine erste Referenzkammer und einen ersten Referenzsensor zum Bereitstellen eines Referenzpotentials aufweist, wobei die Referenzkammer über eine Referenzöffnung im Messkanal mit dem Lumen des Messkanals verbunden ist.
  • In einer derzeit bevorzugten Ausgestaltung der Erfindung umfasst die Messzelle einen Grundkörper, in welchem der Messkanal und die Referenzkammer, beispielsweise bei der Fertigung durch spanende Verfahren (Bohren) oder Gussverfahren (Spritzguss) im Grundkörper ausgebildet wird.
  • Der potentiometrische Sensor, ein pH-Sensor oder ein Sensor zur Bestimmung eines Redox-Potentials, ist vorzugsweise ein Halbleitersensor, insbesondere ein ionensensitiver FET-Sensor, dessen Prinzip unter anderem in dem deutschen Patent DE 198 57 953 C2 dargestellt ist. Zur Minimierung von Totvolumina ist es derzeit bevorzugt, dass der Sensor einen ionensensitiven Abschnitt aufweist, welcher im minimalen Abstand von der Innenwand des Messkanals im Bereich der Sensoröffnung angeordnet ist. D.h., dass keine Stichleitungen von dem Messkanal zum ionensensitiven Abschnitt führen. Insbesondere ist der ionensensitive Abschnitt allenfalls um die Wandstärke des Messkanals, sowie um die Stärke eines Dichtelementes zwischen dem ionensensitiven Abschnitt und der Außenwand des Messkanals gegenüber der Innenwand des Messkanals versetzt.
  • Weiterhin ist es derzeit bevorzugt, dass das Verhältnis zwischen der Tiefe der Sensoröffnung zu deren Durchmesser minimiert ist. Vorzugsweise beträgt der Abstand des tiefsten Punktes der benetzbaren Oberflächen in der Sensoröffnung von der tiefsten Ebene, die senkrecht zu einer Achse der Sensoröffnung verläuft und die Innenwand des Messkanals berührt, nicht mehr als der maximale Durchmesser der Sensoröffnung, bevorzugt nicht mehr als der minimale Durchmesser der Sensoröffnung. Weiter bevorzugt beträgt der Abstand des tiefsten Punktes der benetzbaren Oberflächen in der Sensoröffnung von der tiefsten Ebene, die senkrecht zu einer Achse der Sensoröffnung verläuft und das Lumen des Messkanals berührt, nicht mehr als der halbe maximale Durchmesser der Sensoröffnung, besonders bevorzugt nicht mehr als der halbe minimale Durchmesser der Sensoröffnung.
  • Das von den benetzbaren Oberflächen Volumen in der Sensoröffnung begrenzte Volumen ist vorzugsweise konvex konstruiert. D.h., zwischen zwei beliebigen Punkten innerhalb dieses Volumens erheben sich keine konstruktiven Vorsprünge, welche als Strömungsbarrieren wirken könnten.
  • Vorzugsweise weist zumindest der benetzbare Teil des Sensors welcher den ionensensitiven Abschnitt umfasst, eine planare Oberfläche auf. Sofern die Innenwand des Messkanals im wesentlichen zumindest abschnittsweise zylindrisch verläuft, und das Sensorelement eine planare Oberfläche aufweist, ist es derzeit bevorzugt, dass die Außenwand des Messkanals zumindest im Bereich der Sensoröffnung der Oberfläche des Sensorelements angepasst ist. Hierzu kann beispielsweise die Außenwand im Bereich der Sensoröffnung in einem geraden zylindrischen Abschnitt in axialer Richtung parallel zur Innenwand planar geführt werden. Andererseits kann der Verlauf des Messkanal eine Krümmung oder einen Knick aufweisen, wobei die Sensoröffnung in diesem Fall zweckmäßig im Bereich der Krümmung oder des Knicks, insbesondere auf der konvexen Außenseite des gekrümmten oder abknickenden Messkanals angeordnet ist. Beispielsweise kann die Sensoröffnung um den Scheitelpunkt oder der Krümmung angeordnet sein. Die Sensoröffnung kann beispielsweise durch einen planaren Schnitt durch den Messkanal um den Scheitelpunkt der Krümmung gebildet werden, wobei die Schnittebene vorzugsweise im wesentlichen senkrecht zum Krümmungsradius des Verlaufs des Messkanals angeordnet ist.
  • Die Messzelle weist vorzugsweise einen modularen Aufbau auf, wobei der Sensor als austauschbares Sensormodul gefertigt ist. Das Sensormodul kann beispielsweise einen Halbleiter, insbesondere FET-Sensor, aufweisen, welcher mit einer lösbaren Spannvorrichtung gegen die Sensoröffnung des Messkanals gedrückt wird. Hierzu kann der Grundkörper einer Messzelle einen Sensorschacht aufweisen, der sich von einer Oberfläche des Grundkörpers bis zur Sensoröffnung des Messkanals erstreckt, wobei die Außenwand des Messkanals um die Sensoröffnung als axiale Anschlagfläche für das Sensormodul dient. Die Spannvorrichtung kann ein elastisches Element, beispielsweise eine Druckfeder, aufweisen, mit welchem das Sensormodul gegen die Anschlagfläche gedrückt wird. Die Kontaktierung des Sensorsmoduls kann beispielsweise über ein Dichtelement erfolgen, welches zwischen der Anschlagfläche und dem Sensormodul angeordnet ist, wobei das Dichtelement anisotrop leitend ist. Einzelheiten hierzu sind in der unveröffentlichten Anmeldung 10260961.6 offenbart. Gleichermaßen kann das Sensormodul über gewöhnliche Kabel oder Bond-Drähte kontaktiert sein.
  • Die Referenzöffnung im mittleren Abschnitt des Messkanals weist vorzugsweise ein poröses Diaphragma auf, welches beispielsweise ein organisches Material wie PTFE oder ein keramisches Material wie Korund oder Zirkoniumdioxyd umfassen kann. Im Sinne eines modularen Aufbaus ist es zweckmäßig, wenn das Diaphragma ebenfalls austauschbar ist. In diesem Fall ist es derzeit bevorzugt, wenn ein Abschnitt der Außenwand des Messkanals, welcher die Referenzöffnung umgibt, als Anschlagfläche ausgebildet ist. Um das Diaphragma in Position zu halten, sind geeignete Einspannmittel, beispielsweise eine Hohlschraube, vorgesehen, mit welchen das Diaphragma gegen die Anschlagfläche gedrückt wird.
  • Als Referenzlösung wird derzeit KCl bevorzugt, wobei in diesem Fall als Referenzsensor eine Referenzelektrode mit einem Silberdraht vorgesehen ist.
  • In einer Weiterbildung der Erfindung sind zwei Referenzhalbzellen mit jeweils einer Referenzkammer und einer Referenzelektrode zur Bereitstellung jeweils eines Referenzpotentials vorgesehen, wobei beide Referenzhalbzellen über Referenzöffnungen und ein Referenzdiaphragma mit dem Messkanal kommunizieren. In diesem Fall ist eine erste Referenzöffnung der ersten Referenzhalbzelle stromaufwärts von der Sensoröffnung im Messkanal angeordnet, und eine zweite Referenzöffnung der zweiten Referenzhalbzelle ist stromabwärts von der Sensoröffnung im Referenzkanal angeordnet, wobei der Abstand von der ersten Referenzöffnung von der Sensoröffnung im wesentlichen gleich dem Abstand der zweiten Referenzöffnung von der Sensoröffnung ist. Untersuchungen der Anmelderin haben ergeben, dass die beschriebene Anordnung ermöglicht, Referenzpotentialfehler aufgrund elektrostatischer Aufladungen zu minimieren, indem der Mittelwert zwischen dem ersten und dem zweiten Referenzpotential als Referenzpotential für die potentiometrische Messung verwendet wird, also Uref = (Ufer1 + Uref2)/2.
  • Optional kann die Messzelle weitere Sensoren aufweisen, wobei für medienberührende Sensoren weitere Sensoröffnungen vorzusehen sind. Insofern als potentiometrische Messungen eine Temperaturabhängigkeit aufweisen, weist die Messzelle nach einer weiteren Ausgestaltung der Erfindung einen Temperatursensor auf. Der Temperatursensor kann entweder in einem Sackloch an die Wand des Messkanals herangeführt sein, in einer separaten Sensoröffnung medienberührend angeordnet sein, oder in das Sensormodul des potentiometrischen Sensors integriert sein.
  • Die Anschlüsse an die Messzelle sind vorzugsweise ebenfalls so gestaltet, dass keine Totvolumina zwischen der Zuleitung bzw. Ableitung und dem Messkanal vermieden werden.
  • Die Erfindung wird anschließend anhand des in den Figuren dargestellten Ausführungsbeispiels erläutert. Es zeigt:
  • 1: einen schematischen Schnitt durch eine erfindungsgemäße Messzelle in der Ebene des Messkanals;
  • 2: eine perspektivische Schnittansicht durch eine erfindungsgemäße Messzelle mit Schnitten in der Ebene des Messkanals und in der Ebene der Referenzkammer; und
  • 3: den Linearitätsfehler einer erfindungsgemäßen pH-Messzelle.
  • Unter Bezugnahme auf 1 und 2 umfasst die erfinungsgemäße Messzelle 1 einen Grundkörper mit einem Kanalblock 2 und einer Bodenplatte 3. Der Grundkörper ist in diesem Ausführungsbeispiel aus PEEK gefertigt, wobei je nach Anforderungen hinsichtlich Temperatur Druck und pH-Bereich auch andere Werkstoffe verwendet werden können, beispielsweise metallische Werkstoffe, insbesondere Edelstahl.
  • In dem Kanalblock 2 verläuft ein Messkanal 10, der einen ersten Kanalabschnitt 11 und einen zweiten Kanalabschnitt 12 aufweist, die aneinander anschließen, wobei der Messkanal 10 im Übergangsbereich zwischen dem ersten Kanalabschnitt und dem zweiten Kanalabschnitt einen Knick von etwa 60° aufweist. Der Messkanal ist durch Bohrungen mit einem Durchmesser von 2 mm in dem Kanalkörper 10 gefertigt. In dem Knick ist eine Sensoröffnung 15 vorgesehen, wobei die Achse der Sensoröffnung 15 in der Ebene verläuft, die durch die Achsen des ersten Kanalabschnitts 11 und des zweiten Kanalabschnitts 12 aufgespannt ist und den Winkel zwischen den Achsen der Kanalabschnitte halbiert. Die Sensoröffnung 15 weist einen Durchmesser auf, der kleiner ist als der Durchmesser des Messkanals. Beispielsweise beträgt der Durchmesser des Sensoröffnung etwa 1 mm. An die Sensoröffnung 15 schließt ein Sensorschacht 4 an, welcher eine Bohrung in dem Kanalblock 2 umfasst, wobei die Bohrung einen größeren Durchmesser als die Sensoröffnung 15 aufweist. Die dem Sensorschacht 4 zugewandte Außenwand des Messkanals ist um die Sensoröffnung planar gestaltet und dient als axiale Anschlagfläche für ein Sensormodul 20, welches einen FET-Sensorchip, insbesondere einen isFET-Sensorchip umfasst. Der derzeit bevorzugte pH-isFET weist als Gatematerial Ta2O5 auf, womit langzeitstabile Sensormodule mit einer breiten pH-, Temperatur- und Druckspezifikation bereitgestellt werden können.
  • Die benetzbare Oberfläche des Sensormoduls 20 wird mittels einer Druckfeder 18, die zwischen einer Aufnahme 5 in der Bodenplatte 3 und dem Sensormodul 20 axial eingespannt ist, gegen die Sensoröffnung 15 gepresst, wobei zwischen der Außenwand des Messkanals um die Sensoröffnung 15 und dem Sensormodul 20 eine ringförmige Flachdichtung eingespannt ist. Die Kontaktierung des Sensormoduls 20 erfolgt über Bonddrähte, die über einen hier nicht gezeigten Kabelschacht zu einer Schnittstelle geführt werden, an die ein Messumformer angeschlossen werden kann.
  • Der Aufbau der Referenzhalbzelle wird anhand von 2 ersichtlich. Die Referenzhalbzelle umfasst eine Referenzkammer die mittels einer ersten Kammerbohrung 28 und einer zweiten Kammerbohrung 29 im Kanalblock 2, sowie einer dritten Kammerbohrung 31 in der Bodenplatte 3 gebildet ist. Die erste Kammerbohrung 28 erstreckt sich von einer seitlichen Oberfläche des Kanalblocks 2 horizontal bis zu einem Bereich der Wand des ersten Kanalabschnitts 11 des Messkanals, in dem eine Referenzöffnung 16 angeordnet ist. Die Referenzöffnung 16 weist einen Durchmesser von etwa 1 mm auf. Wobei der Durchmesser der ersten Kammerbohrung ein Vielfaches davon beträgt. Zumindest in dem axialen Abschnitt der ersten Kammerbohrung der an die Referenzöffnung 16 grenzt, ist ein Gewinde vorgesehen, in welches eine durchbohrte Spannschraube 27 eingeschraubt ist, um ein Diaphragma 25, gegen eine ringförmige axiale Anschlagfläche zu pressen, welche durch die Wand des Messkanals um die Referenzöffnung 16 gebildet wird. Zwischen der Spannschraube 27 und dem Diaphragma 25 kann noch ein ringförmiges elastisches Element angeordnet sein, um den Anpressduck auf das Diaphragma hinreichend konstant zu halten. Derzeit wird ein Diaphragma bevorzugt welches poröses Zirkoniumdioxyd aufweist.
  • Von der Unterseite des Kanalblocks 2 erstreckt sich die zweite Kammerbohrung 29, die im wesentlichen vertikal verläuft und in die erste Kammerbohrung 28 mündet. Von der Oberseite der Bodenplatte 3 erstreckt sich die dritte Kammerbohrung als erstes Sackloch 31 in die Bodenplatte, wobei das Sackloch 31 mit der zweiten Kammerbohrung 29 fluchtet, wenn die Bodenplatte mit dem Kanalblock verbunden ist. Von einer seitlichen Oberfläche der Bodenplatte 3 erstreckt sich ein zweites Sackloch 32 horizontal in die Bodenplatte, wobei die Achse des zweiten Sacklochs 32 die Achse des ersten Sacklochs 31 schneidet. Vom Boden des zweiten Sacklochs erstreckt sich eine Elektrodenöffnung 35 entlang der Achse des zweiten Sacklochs in das erste Sackloch 31. Die Elektrodenöffnung 35 weist einen erheblich kleineren Durchmesser auf als das zweite Sackloch 32. Durch die Elektrodenöffnung ist ein Endabschnitt einer Silberdrahtelektrode 30 in das erste Sackloch 31 eingeführt. Die Mantelfläche des Zweiten Sacklochs weist ein Gewinde auf, in welches eine Hohlkegelschraube 38 einer Quetschmuffendichtung eingeschraubt ist, mit welcher ein kegelstumpfförmiges Dichtelement 37 der Quetschmuffendichtung, durch welches die Silberdrahtelektrode 30 geführt ist, gegen die Silberdrahtelektrode und gegen den Boden des ersten Sacklochs 32 gepresst wird:
    Zum Anschluss von Zuleitungen und Ableitungen an die Messzelle sind in dem Kanalblock 2 Sacklochbohrungen 13, 14 vorgesehen von deren Böden sich jeweils der erste bzw. der zweite Kanalabschnitt 11, 12 in das Innere des Kanalblocks 2 erstrecken. Die Sacklochbohrungen weisen einen erheblich größeren Durchmesser als die Kanalabschnitte auf, so dass Zuleitungen bzw. Ableitungen deren Innendurchmesser dem der Kanalabschnitte entspricht in den Sacklochbohrungen mit Quetschmuftendichtungen totraumfrei fixiert werden können, wie im Zusammenhang mit der Fixierung der Silberdrahtelektrode erläutert wurde. Gleichermaßen können in die Sacklochbohrungen Adapter für beliebige andere Anschlussarten eingeschraubt werden, beispielsweise Swagelock-Fittings.
  • Die Referenzkammer ist durch die Öffnung der ersten Kammerbohrung 28 an der Oberfläche des Kanalblockse 2 mit einem Referenzelektrolyten befüllbar, wobei derzeit KCl bevorzugt ist. Die Öffnung der ersten Kammerbohrung ist mit einem Schraubstopfen 34 verschließbar.
  • Zwischen der Bodenplatte 3 und dem Kanalblock 2 sind um die Referenzkammer und um den Sensorschacht Dichtringe 39 und 40 angeordnet.
  • Das Ausführungsbeispiel erfüllt die in der folgenden Tabelle I zusammengefassten Anforderungen: Tabelle I
    Figure 00100001
  • Die Linearität der Messzelle ist in 3. dargestellt. Im untersuchten pH-Bereich von pH 1 bis pH 12,45 sind die Säure- und Alkalifehler kleiner als 0,015 pH.
  • Bei den durchgeführten Versuchen zeigte sich insgesamt ein sehr stabiles Messverhalten der Messzelle. Auffällig war, dass bei Verwendung von Messmedien mit geringen elektrischen Leitfähigkeiten (< 10 μS/cm) eine starke Strömungsabhängigkeit der Messwerte zu verzeichnen war. Verursacht wird dieses Verhalten durch elektrostatische Aufladungen entlang des Strömungskanals zwischen Sensorelement und Referenz. Diese kann jedoch durch eine zweite Referenzhalbzelle die Symmetrisch zur ersten Angeordnet ist, kompensiert werden. Eine Zusammenfassung der Versuchsergebnisse und Randbedingungen ist in Tabelle II gegeben. Tabelle II
    Figure 00110001
  • Die Langzeitstabilität ist in Tabelle III angegeben Zeitliche Veränderung der Kalibrierwerte: Tabelle III
    Figure 00110002
  • Die Ergebnisse sind zufrieden stellend und belegen, die Leistungsfähigkeit der erfindungsgemäßen Messzelle.

Claims (12)

  1. Messzelle (1) zur Erfassung einer potentiometrischen Größe, umfassend: einen potentiometrischen Sensor (20); einen Messkanal (10) zum Führen eines Messmediums, wobei der Messkanal (10) einen ersten Endabschnitt mit einer Eintrittsöffnung, einen zweiten Endabschnitt mit einer Austrittsöffnung und einen mittleren Abschnitt zwischen dem ersten und dem zweiten Endabschnitt aufweist, und der mittlere Abschnitt mindestens eine Sensoröffnung (15) umfasst, an welcher der potentiometrische Sensor (20) angeordnet ist; und mindestens eine erste Referenzhalbzelle, welche eine erste Referenzkammer (28, 29, 31) und einen ersten Referenzsensor (30) zum Bereitstellen eines Referenzpotentials aufweist, wobei die Referenzkammer über eine Referenzöffnung (16) mit dem Messkanal (16) verbunden ist.
  2. Messzelle nach Anspruch 1, weiter umfassend einen Grundkörper (2, 3), in welchem der Messkanal und die Referenzkammer ausgebildet sind.
  3. Messzelle nach Anspruch 1 oder 2, wobei der Abstand des tiefsten Punktes der benetzbaren Oberflächen in der Sensoröffnung (15) von der tiefsten Ebene, die senkrecht zu einer Achse der Sensoröffnung verläuft und das Lumen des Messkanals berührt, nicht mehr als den Wert des maximalen Durchmessers der Sensoröffnung, bevorzugt nicht mehr als den Wert des minimalen Durchmessers der Sensoröffnung beträgt.
  4. Messzelle nach Anspruch 1 oder 2, wobei der Abstand des tiefsten Punktes der benetzbaren Oberflächen in der Sensoröffnung von der tiefsten Ebene, die senkrecht zu einer Achse der Sensoröffnung verläuft und das Lumen des Messkanals berührt, nicht mehr als den Wert des halben maximalen Durchmessers der Sensoröffnung, bevorzugt nicht mehr als den Wert des halben minimalen Durchmessers der Sensoröffnung beträgt.
  5. Messzelle nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei der Verlauf des Messkanal eine Krümmung oder einen Knick aufweist, wobei die Sensoröffnung im Bereich der Krümmung oder des Knicks angeordnet ist.
  6. Messzelle nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei die Messzelle vorzugsweise einen modularen Aufbau aufweist, wobei der Sensor ein austauschbares Sensormodul umfasst.
  7. Messzelle nach Anspruch 6, wobei das Sensormodul einen FET-Sensor aufweist, welcher mit einer lösbaren Spannvorrichtung gegen die Sensoröffnung des Messkanals gedrückt wird.
  8. Messzelle nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei in der Referenzöffnung (16) ein poröses Diaphragma (25) aufweist, welches organisches oder ein keramisches Material umfasst.
  9. Messzelle nach Anspruch 8, wobei das Diaphragma austauschbar ist.
  10. Messzelle nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei die Messzelle zwei Referenzhalbzellen mit jeweils einer Referenzkammer und jeweils einer Referenzelektrode zur Bereitstellung jeweils eines Referenzpotentials aufweist, wobei beide Referenzhalbzellen über Referenzöffnungen und ein Referenzdiaphragma mit dem Messkanal kommunizieren.
  11. Messzelle nach Anspruch 10, wobei eine erste Referenzöffnung der ersten Referenzhalbzelle stromaufwärts von der Sensoröffnung im Messkanal angeordnet, und eine zweite Referenzöffnung der zweiten Referenz halbzelle stromabwärts von der Sensoröffnung im Messkanal angeordnet ist, und wobei der Abstand von der ersten Referenzöffnung von der Sensoröffnung im wesentlichen gleich dem Abstand der zweiten Referenzöffnung von der Sensoröffnung ist.
  12. Messzelle nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei die Messzelle einen Temperatursensor aufweist.
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