DE10245655B4 - Durchflußmesser und Durchflußmessersystem - Google Patents

Durchflußmesser und Durchflußmessersystem Download PDF

Info

Publication number
DE10245655B4
DE10245655B4 DE10245655A DE10245655A DE10245655B4 DE 10245655 B4 DE10245655 B4 DE 10245655B4 DE 10245655 A DE10245655 A DE 10245655A DE 10245655 A DE10245655 A DE 10245655A DE 10245655 B4 DE10245655 B4 DE 10245655B4
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
flow rate
characteristic
processing
signal
output signal
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
DE10245655A
Other languages
English (en)
Other versions
DE10245655A1 (de
Inventor
Atsushi Hitachi Kanke
Masahiro Hitachi Matsumoto
Shinya Igarashi
Keiji Mito Hanzawa
Kei Hitachinaka Ueyama
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hitachi Astemo Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
Hitachi Car Engineering Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi Ltd, Hitachi Car Engineering Co Ltd filed Critical Hitachi Ltd
Publication of DE10245655A1 publication Critical patent/DE10245655A1/de
Application granted granted Critical
Publication of DE10245655B4 publication Critical patent/DE10245655B4/de
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01FMEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
    • G01F1/00Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
    • G01F1/68Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using thermal effects
    • G01F1/696Circuits therefor, e.g. constant-current flow meters
    • G01F1/6965Circuits therefor, e.g. constant-current flow meters comprising means to store calibration data for flow signal calculation or correction
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F02COMBUSTION ENGINES; HOT-GAS OR COMBUSTION-PRODUCT ENGINE PLANTS
    • F02DCONTROLLING COMBUSTION ENGINES
    • F02D41/00Electrical control of supply of combustible mixture or its constituents
    • F02D41/02Circuit arrangements for generating control signals
    • F02D41/18Circuit arrangements for generating control signals by measuring intake air flow
    • F02D41/187Circuit arrangements for generating control signals by measuring intake air flow using a hot wire flow sensor
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01FMEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
    • G01F1/00Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
    • G01F1/68Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using thermal effects
    • G01F1/684Structural arrangements; Mounting of elements, e.g. in relation to fluid flow
    • G01F1/6845Micromachined devices
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01FMEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
    • G01F1/00Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
    • G01F1/68Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using thermal effects
    • G01F1/696Circuits therefor, e.g. constant-current flow meters
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01FMEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
    • G01F1/00Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
    • G01F1/72Devices for measuring pulsing fluid flows
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F02COMBUSTION ENGINES; HOT-GAS OR COMBUSTION-PRODUCT ENGINE PLANTS
    • F02DCONTROLLING COMBUSTION ENGINES
    • F02D41/00Electrical control of supply of combustible mixture or its constituents
    • F02D41/24Electrical control of supply of combustible mixture or its constituents characterised by the use of digital means
    • F02D41/26Electrical control of supply of combustible mixture or its constituents characterised by the use of digital means using computer, e.g. microprocessor
    • F02D41/28Interface circuits
    • F02D2041/281Interface circuits between sensors and control unit
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F02COMBUSTION ENGINES; HOT-GAS OR COMBUSTION-PRODUCT ENGINE PLANTS
    • F02DCONTROLLING COMBUSTION ENGINES
    • F02D41/00Electrical control of supply of combustible mixture or its constituents
    • F02D41/24Electrical control of supply of combustible mixture or its constituents characterised by the use of digital means
    • F02D41/26Electrical control of supply of combustible mixture or its constituents characterised by the use of digital means using computer, e.g. microprocessor
    • F02D41/28Interface circuits
    • F02D2041/281Interface circuits between sensors and control unit
    • F02D2041/285Interface circuits between sensors and control unit the sensor having a signal processing unit external to the engine control unit

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Fluid Mechanics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Measuring Volume Flow (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Combustion & Propulsion (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Combined Controls Of Internal Combustion Engines (AREA)

Abstract

Durchflußmesser, der umfaßt:
ein Erfassungselement (1), das ein nichtlineares Signal entsprechend einer Durchflußmenge ausgibt; und
eine Fehlerregulierungseinheite (2), die ein Ausgangssignal des Erfassungselementes (1) zur Steuerung reguliert;
wobei die Fehlerregulierungseinheit (2) eine Ausgangsregulierungsverarbeitung (43), die Unregelmäßigkeiten des Erfassungselements (1) im Ausgangssignal reguliert, und eine Ungleichmäßigkeits-Linearisierungsverarbeitung (44) ausführt, die einen Mittelwert des Ausgangssignals nach der Ausgangsregulierungsverarbeitung (43) mittels Regulierungsparameter (47) in Abhängigkeit von der Größe von Pulsationsamplituden oder der Differenz von Brummfrequenzen erhöht oder verringert.

Description

  • Hintergrund der Erfindung
  • Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf einen Durchflußmesser, der eine Durchflußmenge von Luft und Gas mißt, und auf ein Durchflußmessersystem, das den Durchflußmesser verwendet.
  • Als Luftdurchflußmesser zum Messen einer Ansaugluft-Durchflußmenge, der an einem elektronisch geregelten Kraftstoffeinspritzsystem für eine Brennkraftmaschine eines Kraftfahrzeuges oder dergleichen installiert ist, war der Thermaltyp-Luftdurchflußmesser aufgrund seiner Fähigkeit, direkt eine Luftmassendurchflußmenge zu erfassen, weit verbreitet. In diesem Fall wird ein Heizwiderstand durch Wickeln eines Platindrahtes auf einem Spulenkörper und Beschichten desselben mit Glas, oder durch Ausbilden eines Dünnschichtwiderstands auf einem Keramiksubstrat oder auf einem Siliciumsubstrat oder dergleichen gebildet. Als Verfahren zum Erfas sen einer Durchflußmenge kann folgendes erwähnt werden. Ein System besteht darin, einen Heizwiderstand auf eine konstante Temperatur zu erwärmen und direkt einen fließenden Strom zu erfassen, wenn eine Strömung auftritt. Ein weiteres besteht darin, Temperaturerfassungswiderstände an beiden Seiten des Heizwiderstandes zu plazieren und eine Durchflußmenge durch eine Temperaturdifferenz zwischen den Temperaturerfassungswiderständen zu erfassen.
  • Im Fall einer pulsierenden Strömung, die eine hohe pulsierende Amplitude der Einlaßluftdurchflußmenge aufweist und teilweise mit einer Rückwärtsströmung einhergeht, wie z. B. im Fall einer geringen Drehzahl bei einer Maschine mit weniger als vier Zylindern und bei Ausübung einer starken Belastung, mangelt es der herkömmlichen Luftdurchflußmengenmeßvorrichtung an Genauigkeit; ferner gibt es einen wohlbekannten Durchflußmesser, der im offengelegten japanischen Patent Nr. 62-821 offenbart ist.
  • Um eine dynamische Pulsationscharakteristik, die eine Rückwärtsströmung enthält, zu kompensieren, gibt es Verfahren für eine Maschinensteuereinheit usw., um eine Kennlinie in einem Rückwärtsströmungsbereich zu modifizieren, indem ein Rückwärtsströmungsfeststellungssensor verwendet wird, der in der japanischen Patentveröffentlichung Nr. 8-511627 und im offengelegten japanischen Patent Nr. 9-15013 offenbart ist.
  • Als Verfahren zum Reduzieren von Fehlern in Pulsationen ist folgendes im offengelegten japanischen Patent Nr. 11-316145 und Nr. 11-337382 usw. offenbart, in welchem eine Maschinensteuereinheit oder ein Sensorkontrollmikrocomputer ein nichtlineares Sensor ausgangssignal unter Verwendung eines Kennfeldes oder dergleichen in ein lineares Signal (Durchflußmenge) umsetzt, um es in eine Luftdurchflußmenge umzusetzen, und eine pulsierende Amplitude mittels eines Filters reduziert, und anschließend eine Nichtlinearisierungsverarbeitung erneut auf das Signal anwendet, wodurch die Amplitude des endgültigen Ausgangssignals verringert wird, um somit die Fehler zu reduzieren.
  • Das offengelegte japanische Patent Nr. 6-265565 und dergleichen offenbart eine Konstruktion, bei der ein Sensorausgang eines Strommessers, der für eine Meßvorrichtung verwendet wird, mittels eines A/D-Umsetzers in einen digitalen Wert umgesetzt wird, wobei die Kennlinie mittels des funktionalen Ausdrucks eines Speichers angepaßt wird, der spezifizierte Koeffizienten aufzeichnet, wobei die Ergebnisse auf die Anzeige gesetzt werden, oder der Sensorausgang wird mittels eines D/A-Umsetzers in einen Analogwert umgesetzt, um ihn als Spannung auszugeben. Mit der gleichen Konstruktion wird ein Verfahren zum Reduzieren von Einflüssen einer schwankenden Strömungsgeschwindigkeit aufgrund von Druckschwankungen usw. in der veröffentlichten, ungeprüften japanischen Patentanmeldung Nr. 8-94406 offenbart, in der der Sensorausgang mittels eines A/D-Umsetzers in einen digitalen Wert umgesetzt wird und nach einer Linearisierung der Mittelwert berechnet wird, wobei eine Durchflußmenge ohne Fehler entsprechend dem Dokument präsentiert werden kann. Dies kann verwendet werden, um ein geschlossenes System als Durchflußmengenmeßvorrichtung zu bilden.
  • DE 196 52 026 A1 zeigt eine Vorrichtung und ein Verfahren zur Luftmengenmessung, bei der ein digitales Signal, das durch A/D-Umsetzung eines Ausgangs eines thermischen Luftmengenmessers erhalten wird, aufgeteilt und in zwei Schaltungen eingegeben wird. Nachdem in einer Schaltung eine Zeitkonstante (τ) erhalten worden ist, wird eine inverse Transformation ausgeführt, um in Verbindung mit einem Ausgang der anderen Schaltung einen Fehler zu erhalten. Das invers transformierte Signal wird auf der Grundlage der Charakteristik des thermischen Luftmengenmessers linearisiert, ferner wird die Strömungsrichtung bestimmt.
  • Zusammenfassung der Erfindung
  • Im allgemeinen wird die Beziehung zwischen einem Sensorausgang eines Thermaltyp-Durchflußmessers, der einen Heizwiderstand verwendet, und einer Luftdurchflußmenge durch den folgenden Ausdruck beschrieben, der als King-Ausdruck bezeichnet wird: Ih·Ih·Rh = (C1 + C2√Q)(Th – Ta) (1)wobei Ih einen Hitzdrahtstrom darstellt, Rh einen Hitzdrahtwiderstand darstellt, Th eine Oberflächentemperatur eines Hitzdrahtes darstellt, Ta eine Temperatur der Atmosphäre darstellt, Q eine Luftdurchflußmenge darstellt, C1 und C2 Konstanten sind, die durch den Hitzdraht bestimmt sind. Im allgemeinen wird der Sensorausgang in Form eines Spannungswertes erfaßt, der durch das Fließen des Hitzdrahtstroms Ih durch einen Widerstand erhalten wird. Eine Maschinensteuereinheit, die zum Steuern einer Brennkraftmaschine verwendet wird, setzt eine Sensorausgangsspannung in eine Durchflußmenge auf der Grundlage der Beziehung des Ausdrucks 1 um und steuert die Luft- und Kraftstoffmengen in der Brennkraftmaschine. Die Beziehung zwischen dem Sensorausgangssignal des Thermaltyp-Durchflußmessers und der Durchflußmenge ist in der Praxis jedoch nichtlinear (die vierte Wurzel der Durchflußmenge ist der Spannungswert), was irgendein Linearisierungsmittel erfordert, um ein Signal als Durchflußmenge zu verwenden.
  • In der herkömmlichen Technik gibt es zum Reduzieren des Erfassungsfehlers bezüglich der Schwankungen in pulsierenden dynamischen Strömungen ein Verfahren, das das Sensorspannungssignal in die Luftdurchflußmenge umsetzt, um es zu linearisieren, im linearen Bereich der pulsierenden Amplitude durch Verwendung eines Tiefpaßfilters und dergleichen reduziert, und eine Mittelungsverarbeitung ausführt. Das Verfahren führt bei Bedarf das Ergebnis wieder auf das nichtlineare Signal zurück, das die ursprüngliche Signalform aufweist, und macht als endgültiges Ziel das Signal immun gegen über Pulsationen.
  • Es gibt ein weiteres Verfahren, das dann, wenn eine durch ein Einlaßventil hervorgerufene Rückwärtsströmung in einem stark pulsierenden Bereich überlappt, eine pulsierende Strömung unter Verwendung eines Sensors mißt, der die Rückwärtsströmung erfassen kann, um das Spuck-Phänomen von Luft, die aus dem Abgasventil bei einem positiven Druck zum Einlaßventil zurückkehrt, wenn sich der Kolben nach oben bewegt, zu erfassen. Um hierbei die Einflüsse durch die Differenzen in der Antwort des Sensors und in der Empfindlichkeit der Rückwärtsströmung zu eliminieren, modifiziert das Verfahren den charakteristischen Ausdruck der Rückwärtsströmungsseite im Ausdruck 1 und verringert somit den Fehler der pulsierenden Strömung, die die Rückwärtsströmung enthält.
  • Im Fall einer neuen Brennkraftmaschine jedoch, die einen neueren Ventilmechanismus einsetzt, der das Abgasventil variabel macht und dergleichen, treten jedoch leicht Druckschwankungen und Störungen in der Signalform der Strömung auf. Die Pegel der Pulsationen und der Rückwärtsströmung sind hoch, wobei sie sich leicht in Abhängigkeit von den externen Bedingungen, wie z. B. der Drehzahl der Brennkraftmaschine usw., ändern, was ein zu lösendes Problem darstellt. Dementsprechend wurde gewünscht, den Fehler in einem Pulsationsbereich, der eine hohe Rückwärtsströmung enthält, zu reduzieren. Bei den obigen herkömmlichen Techniken wurden nicht viele Untersuchungen bezüglich des Verfahrens der Regulierung eines hohen Pulsationsfehlers auf ein niedriges Niveau durchgeführt.
  • Es ist daher eine Aufgabe der Erfindung, unter der Umgebung von hohen Pulsationen und hohen Rückwärtsströmungen einer Brenn kraftmaschine und dergleichen ein Regulierungsmittel zu schaffen, das einen Pulsationsfehler eines Durchflußmessers gemäß den Größen und Frequenzen der Pulsationen reduziert, und einen Durchflußmesser mit einem reduzierten Pulsationsfehler zu schaffen.
  • Gemäß einem Aspekt der Erfindung kann zum Reduzieren der Meßfehler der Durchflußmenge in Pulsationen der Durchflußmesser ein Erfassungselement enthalten, das ein nichtlineares Signal entsprechend einer Durchflußmenge ausgibt, und/oder ein Regulierungsmittel, das ein Ausgangssignal des Erfassungselements zur Steuerung reguliert. Ferner kann das Regulierungsmittel eine Ausgangsregulierungsverarbeitung ausführen, die Unregelmäßigkeiten des Erfassungselements im Ausgangssignal reguliert, und/oder eine Ungleichmäßigkeit-Linearisierungsverarbeitung, die einen Mittelwert des Ausgangssignals nach der Ausgangsregulierungsverarbeitung mittels Regulierungsparametern reguliert.
  • Gemäß einem weiteren Aspekt der Erfindung kann der Durchflußmesser ein Erfassungselement enthalten, das ein nichtlineares Signal entsprechend einer Durchflußmenge ausgibt, und/oder ein Regulierungsmittel, das ein Ausgangssignal des Erfassungselements zur Steuerung reguliert. Ferner kann das Regulierungsmittel eine Regulierungsverarbeitung ausführen, die Unregelmäßigkeiten des Erfassungselements im Ausgangssignal reguliert, eine Trennungsverarbeitung, die eine Gleichstromkomponente und eine Wechselstromkomponente, die im Ausgangssignal nach der Regulierungsverarbeitung enthalten sind, trennt, und/oder eine Ungleichmäßigkeit-Linearisierungsverarbeitung, die Mittelwerte der Gleichstromkomponente und der Wechselstromkomponente, die im Ausgangssignal enthalten sind, mittels Regulierungsparametern separat reguliert.
  • Ferner kann das Regulierungsmittel eine erste Umsetzungsverarbeitung ausführen, die das Ausgangssignal mittels eines ersten Umsetzungsausdrucks gemäß einer Charakterisitk zwischen einer Durchflußmenge und einem Ausgangssignal in ein Durchflußmengensignal umsetzt, und/oder eine Glättungsverarbeitung, die eine Amplitude des Durchflußmengensignals nach der ersten Umsetzungsverarbeitung verändert.
  • Ferner kann das Regulierungsmittel eine zweite Umsetzungsverarbeitung für ein Durchflußmengensignal nach der Glättungsverarbeitung mittels eines zweiten Umsetzungsausdrucks ausführen, die verwendet wird, um eine Durchflußmengenempfindlichkeit auf der Grundlage einer Beziehung zwischen dem ersten Umsetzungsausdruck und einer Referenzdurchflußmenge zu regulieren.
  • Ferner können in dem Durchflußmesser, der eine eine Rückwärtsströmung enthaltende bidirektionale Durchflußmenge erfaßt, bezüglich des ersten Umsetzungsausdrucks gemäß der Charakteristik zwischen der Durchflußmenge und dem Ausgangssignal wenigstens eine Charakteristik einer Richtung der Charakteristik zwischen den Durchflußmengen der beiden Richtungen und dem Ausgangssignal von einer Charakteristik zwischen der Referenzdurchflußmenge und dem Ausgangssignal verschieden sein.
  • Ferner kann der Durchflußmesser ein Mittel zur Wiederherstellung einer Antwort eines Ausgangssignals vor der Regulierung enthalten.
  • Ferner kann das Ausgangssignal vom Erfassungselement eine Pulsationscharakteristik enthalten, wobei ein Regulierungsmittel vorgese hen sein kann, das selektiv eine regulierte Pulsationscharakteristik und eine nicht-regulierte Pulsationscharakteristik ausgibt.
  • Ferner kann in dem Durchflußmessersystem, das einen Durchflußmesser und eine Steuervorrichtung umfaßt, die eine Maschinensteuerung mittels eines Signals vom Durchflußmesser ausführt, ein Signal von der Steuervorrichtung die Regulierungsparameter des Regulierungsmittels modifizieren.
  • Ferner kann die Steuervorrichtung mit einem Speichermittel versehen sein, das den ersten und/oder den zweiten Umsetzungsausdruck speichert.
  • Kurzbeschreibung der Zeichnungen
  • Andere Aufgaben und Vorteile der Erfindung werden deutlich anhand der folgenden Beschreibung der Ausführungsformen mit Bezug auf die beigefügten Zeichnungen, in welchen:
  • 1 ein Systemkonfigurationsdiagramm eines Durchflußmessers gemäß der ersten Ausführungsform der Erfindung ist;
  • 2 ein Blockschaltbild der digitalen Verarbeitung gemäß der Ausführungsform der Erfindung ist;
  • 3 ein Graph ist, der ein Beispiel der Kennlinie der Sensorausgangsspannung über der Durchflußmenge zeigt;
  • 4A und 4B erläuternde Diagramme der digitalen Verarbeitung gemäß der Ausführungsform der Erfindung sind;
  • 5 ein Graph ist, der ein Beispiel der Kennlinie der Durchflußmenge über der Sensorausgangsspannungsumsetzung zeigt;
  • 6 ein Graph ist, der ein Beispiel der Durchflußmengenempfindlichkeits-Umsetzungscharakteristik zeigt;
  • 7 ein Schaltbild gemäß der ersten Ausführungsform der Erfindung ist;
  • 8A und 8B Schaltbilder gemäß der zweiten Ausführungsform der Erfindung sind;
  • 9 ein Muster von Widerstanden zeigt, die auf einem Siliciumsubstrat ausgebildet sind;
  • 10 eine Schnittansicht der auf dem Siliciumsubstrat ausgebildeten Widerstände ist;
  • 11 ein Graph ist, der ein Beispiel der Kennlinie der Sensorausgangsspannung über der Durchflußmenge in einem bidirektionalen Durchflußmengensensor zeigt;
  • 12 ein Graph ist, der ein Beispiel der Kennlinie der Durchflußmenge über der Sensorausgangsspannungsumsetzung im bidirektionalen Durchflußmengensensor zeigt;
  • 13 ein Graph ist, der ein Beispiel der Durchflußmengenempfindlichkeits-Umsetzungscharakteristik im bidirektionalen Durchflußmengensensor zeigt;
  • 14 eine Schnittansicht eines Umgehungsdurchlasses ist, der in einer Einlaßleitung installiert ist;
  • 15 ein Graph ist, der ein Beispiel der Kennlinie der Sensorausgangsspannung über der Durchflußmenge im bidirektionalen Durchflußmengensensor zeigt;
  • 16 ein Graph ist, der ein Beispiel der Kennlinie der Durchflußmenge über der Sensorausgangsspannungsumsetzung im bidirektionalen Durchflußmengensensor zeigt;
  • 17 ein Graph ist, der ein Beispiel der Brummfrequenzcharakteristik im Durchflußsensor zeigt;
  • 18 ein Graph ist, der ein Beispiel der Fehlercharakteristik in Pulsationen zeigt;
  • 19A und 19B Schaltbilder gemäß der dritten Ausführungsform der Erfindung sind;
  • 20 ein Blockschaltbild der digitalen Verarbeitung gemäß der vierten Ausführungsform der Erfindung ist;
  • 21 ein Blockschaltbild der digitalen Verarbeitung gemäß der fünften Ausführungsform der Erfindung ist; und
  • 22 ein Blockschaltbild der digitalen Verarbeitung gemäß der sechsten Ausführungsform der Erfindung ist.
  • Beschreibung der bevorzugten Ausführungsformen
  • Im folgenden wird die erste Ausführungsform der Erfindung mit Bezug auf 1 beschrieben. Eine Sensorschaltung 1 ist mit einer Stromversorgung 10 verbunden, um einen Heizwiderstand 11 auf eine konstante Temperatur aufzuheizen, und bildet einen Sensorabschnitt eines Thermaltyp-Durchflußmessers, der eine durch den Heizwiderstand 11 laufende Durchflußmenge über den erzeugten Wärmeaustausch entsprechend der Strömungsgeschwindigkeit mißt. Eine digitale Fehlerregulierungseinheit 2, die ein digitales Mittel mit einem Mikrocomputer und dedizierte Logik enthält, empfängt ein Ausgangssignal Vin von der Sensorschaltung 1. Das Signal Vin wird von einem A/D-Umsetzer 21 in einem digitalen Wert umgesetzt. Eine arithmetische Schaltung 22 wendet eine Fehlerkorrektur auf den digitalen Wert entsprechend den Korrekturdaten an, die in einem wiederbeschreibbaren Speicher 23 vorhanden sind. Ein D/A-Umsetzer 24 gibt an eine Maschinensteuereinheit 5 einen Spannungswert aus, der gleich dem Ausgangssignal Vin von der Sensorschaltung 1 ist. Die Sensorschaltung 1, die digitale Fehlerregulierungseinheit 2 und die Stromversorgungsschaltung 3 zum Erzeugen einer Referenzspannung bilden eine Durchflußmengenmeßvorrichtung 4. In der Maschinensteuereinheit 5 setzt ein A/D-Umsetzer 51 ein Ausgangssignal Vout von der Durchflußmengenmeßvorrichtung 4 in einen digitalen Wert um, wobei der digitale Wert für die Maschinensteuerung verwendet wird.
  • Im folgenden wird mit Bezug auf 2 der Verarbeitungsablauf in der digitalen Fehlerregulierungseinheit 2 erläutert, die ein digitales Mittel umfaßt, das einen Mikrocomputer und dedizierte Logik enthält. Die Operationsverarbeitung 40 nimmt den Ausgang Vin von der Sensorschaltung 1 auf, welcher mittels der A/D-Umsetzungsverarbeitung 41 in einen digitalen Wert umgesetzt wird. Der digitale Wert wird bei Bedarf einer Antwortwiedergewinnungsverarbeitung 42 zugeführt, und anschließend, um individuelle Unregelmäßigkeit in der Sensorcharakteristik zu beseitigen, einer Ausgangsregulierungsverarbeitung 43 unterworfen. Wenn das Spannungssignal vom Sensor in eine Durchflußmenge umgesetzt wird, auf die eine Glättung angewendet wird, wird anschließend eine Ungleichmäßigkeit-Linearisierungsverarbeitung 44 angewendet, die die Mittelwerte in Pulsationen unter Verwendung von Regulierungsparametern variabel macht. Auf den Ausgang nach der Ungleichmäßigkeit-Linearisierung wird bei Bedarf eine Nichtlinearisierungsverarbeitung 45 angewendet. Eine D/A-Umsetzungsverarbeitung 46 überträgt das Spannungssignal Vout mit einem reduzierten Fehler als Ausgang der Durchflußmengenmeßvorrichtung 4 zur Maschinensteuereinheit 5.
  • Im folgenden wird mit Bezug auf 3 vor der Ungleichmäßigkeit-Linearisierungsverarbeitung 44 die Beziehung zwischen der Durchflußmenge und der Sensorspannung erläutert, die im Ausdruck 1 gegeben ist. Wenn die horizontale Achse die Durchflußmenge repräsentiert, zeichnet die Ausgangsspannung von einem Sensor eine nichtlineare Kurve, derart, daß die Empfindlichkeit einer niedrigen Durchflußmenge hoch ist und die Empfindlichkeit mit steigender Durchflußmenge abnimmt. In einem Sensor, dessen Ausgangskennlinie eine solche Beziehung aufweist, wird selbst dann, wenn eine fein pulsierende Durchflußmenge als eine Sinuswelle eingegeben wird, das erfaßte Spannungssignal aufgrund der nichtlinearen Kurve leicht verzerrt, so daß es auf der positiven Seite komprimiert und auf der negativen Seite expandiert wird. Wenn ein durch die Mittelung dieses unveränderten Spannungssignals erhaltener Wert mit dem Mittelwert der Durchflußmenge verglichen wird, wird offensichtlich der Mittelwert der Durchflußmenge durch den Einfluß der nichtlinearen Kurve verringert. Diese Diskrepanz nimmt zu, wenn die Pulsation zunimmt, und wenn die Kurve der Spannung über den nichtlinearen Durchflußmengenkurven größer wird. Dementsprechend ist es ein üblicher Schritt, daß in Form der Sensorspannung erhaltene Signal unter Verwendung der Kennlinie in die Durchflußmenge umzusetzen, (zu linearisieren), und anschließend die Mittelungsverarbeitung usw. anzuwenden. Um diese Relation zu erhalten, wird im allgemeinen in der Praxis das Spannungssignal des Sensors über der Durchflußmenge gemessen, wobei eine Referenzkennlinie (bezeichnet als Haupt-Kennlinie Qref) in der Maschinensteuervorrichtung 5 oder dergleichen registriert wird. Damit wird die Durchflußmenge berechnet und für verschiedene Steuerungen verwendet.
  • Als nächstes wird das Verfahren zum Reduzieren des Pulsationsfehlers durch die Ungleichmäßigkeit-Linearisierungsverarbeitung 44 mit Bezug auf die 4A und 4B erläutert. 4A zeigt die Verarbeitung, die zum Reduzieren von Pulsationseinflüssen und Störungen verwendet wird, nicht für die Ungleichmäßigkeit-Linearisierungsverarbeitung. Dies ist ein Fall, in welchem eingegebene Sensorspannungssignale, die den Durchflußmengen gemäß einem hohen Amplitudensignal Qa1 und einem niedrigen Amplitudensignal Qa2 entsprechen, eingegeben werden, wobei die durchschnittlichen Durchflußmengen gleich Qave1 sind. In einer Spannung-Durchflußmengen-Umsetzungsverarbeitung 441 werden die Sensorspannungssignale in Durchflußmengen umgesetzt, entsprechend einer Kennlinie fx1 gleich einer Referenzkennlinie Qref. In der Glättungsverarbeitung 442 reduziert ein digitales Tiefpaßfilter oder dergleichen die pulsierenden Amplituden der umgesetzten Durchflußmengen und erhält Ausgangssignale Qaf1, Qaf2. Die Mittelwerte Qavef1, Qavef2 der geglätteten Signale werden gleich. Das heißt, die Umsetzung in die Durchflußmenge mittels der Kennlinie fx1, die genau gleich der Referenzkennlinie Qref ist, erzeugt den Mittelwert der Durchflußmenge, der nicht von den Amplituden und Frequenzen der Pulsationen abhängig ist. In einem Fall jedoch, in dem die Durchflußmengen und die gemessenen Spannungssignalformen in Abhängigkeit von hohen und niedrigen Amplituden der Pulsationen verzerrt sind, und folglich die Mittelwerte in den Pulsationen Fehler in den Mittelwerten hervorrufen, besitzt diese Verarbeitung kein Mittel zum Regulieren der Mittelwerte in bezug auf die Amplituden der Pulsationen.
  • Im Gegensatz hierzu zeigt 4B einen Fall, in welchem die Ungleichmäßigkeit-Linearisierungsverarbeitung angewendet wird, welche ein Mittel zum Regulieren der Mittelwerte der Durchflußmengen entsprechend den Amplituden der Pulsationen bietet. Genauer, nachdem die Kennlinie fx1, die von der Referenzkennlinie Qref verschieden ist, auf den gleichen Eingangssignalen wie vorher durch Regulierungsparameter aufgebaut ist werden die Eingangssignale in der Spannung-Durchflußmengen-Umsetzungsverarbeitung 441 in die Durchflußmengen umgesetzt. In der Glättungsverarbeitung 442 erzeugt ein digitales Tiefpaßfilter oder dergleichen Signale mit reduzierten pulsierenden Amplituden. Anschließend ist die Durchflußmengenempfindlichkeit-Umsetzungsverarbeitung 443 vorgesehen, die eine Ausgangskennlinie fx2 zum Kompensieren eines Fehlers (Gleichstromempfindlichkeitscharakteristik) in der statischen Charakteristik aufweist, welcher entsprechend der Differenz zwischen der Referenzkennlinie Qref und der Kennlinie fx1 in der vorherigen Spannung-Durchflußmengen-Umsetzungsverarbeitung 441 erzeugt wird. Mittels der Ausgangskennlinie fx2 werden die Ausgangssignale Qaf1', Qaf2' erhalten. Die Mittelwerte Qavef1', Qavef2' der geglätteten Signale werden in Abhängigkeit von den Signalamplituden verschieden. Somit wird es möglich, die Mittelwerte gemäß der Kennlinie fx1 in der vorherigen Spannung-Durchflußmengen-Umsetzungsverarbeitung 441 zu erhöhen oder zu senken (dieses Beispiel zeigt "erhöhen"). Das heißt, es wird möglich, die Mittelwerte frei zu erhöhen oder zu senken, indem die Kennlinie fx1 entsprechend den Regulierungsparametern modifiziert wird und die Ausgangskennlinie fx2 in der Durchflußmengenempfindlichkeit-Umsetzungsverarbeitung 443 gemäß der Differenz zwischen der Kennlinie fx1 nach der Modifizierung und der Referenzkennlinie qref modifiziert wird. Ferner ermöglicht das Modifizieren der Frequenzcharakteristik des Tiefpaßfilters und dergleichen in der Glättungsverarbeitung 442 durch die Regulierungsparameter, die Mittelwerte zu erhöhen oder zu senken, nicht nur durch die Größe der pulsierenden Amplituden, sondern auch durch die Differenz der Brummfrequenzen.
  • 5 zeigt die Kennlinien der Spannung-Durchflußmengen-Umsetzungsverarbeitung 441 genauer. Hierbei wird entsprechend der Beziehung zwischen der Durchflußmenge und der Sensorspannung in 3 ein Spannungssignal Vin in bezug auf ein Durchflußmengensignal Qa mit einer hohen Durchflußmenge erzeugt, wobei ein Spannungssignal Vinf in bezug auf ein Durchflußmengensignal Qaf erzeugt wird, in welchem die Durchflußmenge geglättet ist und die Amplitude verringert ist. In 5 werden die Spannungssignale Vin, Vinf eingegeben, wobei die Sensorspannung auf der horizontalen Achse angeordnet ist. Um dementsprechend die Spannungssignale Vin, Vinf mittels der Referenzkennlinie Qref in die Durchflußmengen umzusetzen, werden die Signale äquivalent zu den Durchflußmengensignalen Qa, Qaf in 3 zurückgesetzt. Wenn im Vergleich hierzu die Spannungssignale Vin, Vinf mittels der Kennlinie fx1 mit einer sanfteren Kurve als die Referenzkennlinie Qref in die Durchflußmengen umgesetzt werden (oder in die Signale Q' entsprechend den Durchflußmengen), steigen die Durchschnittswerte der Durchflußmengensignale Qa', Qaf nach der Umsetzung deutlich an, was Fehler erzeugt, wenn sie als Gleichstromsignale betrachtet werden (statische Charakteristik). Um die Gleichstromfehler zu beseitigen, muß die in 6 gezeigte Durchflußmengenempfindlichkeit-Umsetzungsverarbeitung angewendet werden.
  • Die Ausgangskennlinie fx2 in der Durchflußmengenempfindlichkeit-Umsetzungsverarbeitung 443 wird im folgenden genauer erläutert. 6 ordnet die Signale Q' entsprechend den Durchflußmengen auf der vertikalen Achse der 5 auf der horizontalen Achse an, und ordnet die richtigen Durchflußmengensignale Q nach der Modifizierung der Empfindlichkeit auf der vertikalen Achse an. Wenn die Empfindlichkeit der Durchflußmenge konstant ist, d. h. die Durchflußmengensignale befinden sich in der gleichen Relation (Q = Q'), nehmen beide vertikalen und horizontale Achsen die gleichen Durchflußmengensignale Qa', Qaf auf. Um diesbezüglich die Gleichstromempfindlichkeit zu kompensieren, indem die Ausgangskennlinie fx2 verwendet wird, die aus der Differenz zwischen der Referenzkennlinie Qref und der Kennlinie fx1 erhalten wird, kann die Gleichstromempfindlichkeit gleich dem Mittelwert Qave1 gemacht werden, wenn die vorherige Referenzkennlinie Qref verwendet wird. Der endgültige Mittelwert Qave' in Pulsationen, wenn z. B. das Durchflußmengensignal Qaf nach der Glättungsverarbeitung eingegeben wird, ist nicht gleich dem inhärenten Mittelwert Qave1. Dies bestätigt, daß die Mittelwerte in Pulsationen mittels der Kennlinie fx1 durch das erste Umsetzungsmittel und die Ausgangskennlinie fx2 durch das zweite Umsetzungsmittel reguliert werden können, wenn die Gleichstromkomponenten der Signale intakt bleiben. Die Regulierungsparameter sind im wiederbeschreibbaren Speicher 23 gespeichert und können implementiert werden durch Definieren der ersten und der zweiten Kennlinie mittels einer Polynomfunktion, eine Kennfeldumsetzung zum Nähern mittels der linearen Interpolation, einer Tabellenumsetzung oder dergleichen.
  • Wenn daher die Nichtlinearisierungsverarbeitung 45 auf die Durchflußmengensignale angewendet wird, nachdem die Ungleichmäßigkeit-Linearisierungsverarbeitung 44 ausgeführt worden ist, welche die Durchflußmengensignale mittels der Referenzkennlinie Qref, die als Referenz für die Durchflußmenge und die Sensorspannung dient, wie in 3 gezeigt ist, in die Spannungssignale umsetzt, wird es möglich, ein Signal zu erhalten, in welchem der Fehler aufgrund der Pulsationen offensichtlich reduziert ist. Wenn die Nichtlinearisierungsverarbeitung die Voraussetzung ist, können die Durchflußmengenempfindlichkeit-Umsetzungsverarbeitung 443 in der Ungleichmäßigkeit-Linearisierungsverarbeitung 44 und die Nichtlinearisierungsverarbeitung 45 mit einem Ausdruck oder mit der Kennfeldumsetzung zum Nähern mittels linearer Interpolation oder dergleichen implementiert werden. In diesem Fall werden die Rechenbelastung durch die Umsetzungsverarbeitung und die Größe des beanspruchten Speichers reduziert.
  • Von der Maschinensteuereinheit 5 aus gesehen liefert die Durchflußmengenmeßvorrichtung 4 für die Luftdurchflußmenge die gleiche Ausgangsspannung wie die Sensorschaltung 1, in der der schwankende Pegel der pulsierenden Amplituden reduziert ist, während der Fehler in den Pulsationen reguliert ist. Somit genießt das Verfahren dieser Ausführungsform zusätzlich zur Fehlerreduktion einen Systemvorzug, der dem A/D-Umsetzer 51 der Maschinensteuereinheit 5 erlaubt, eine langsamere Abtastfrequenz zu verwenden, und dergleichen.
  • Als nächstes wird die Hardware-Konfiguration der ersten Ausführungsform mit Bezug auf 7 genauer erläutert. Dies ist eine typische Konfiguration eines Durchflußmessers, der eine Durchflußmenge direkt aus einem Spannungssignal auf der Grundlage eines Heizstroms im Heizwiderstand 11 erhält. Die Sensorschaltung 1, die mit der Stromversorgung 10 verbunden ist, gibt ein Spannungssignal entsprechend einer Luftdurchflußmenge aus. In der Sensorschaltung 1 bilden der Heizwiderstand 11, ein Temperaturkompensationswiderstand 12, die Widerstände 13 und 14 eine Wheatstone-Brückenschaltung. Diese Brückenschaltung ist so konstruiert, daß die Potentialdifferenz der Brückenmitte gleich 0 wird, indem ein Differentialverstärker 15 und ein Transistor 16 einen durch den Heizwiderstand 11 fließenden Strom einstellen. Diese Konstruktion regelt so, daß der Widerstand des Heizwiderstands 15 unabhängig von der Strömungsgeschwindigkeit konstant gehalten wird, d. h. die Temperatur wird auf einen konstanten Wert gehalten. Anschließend empfängt eine Nullbereichsschaltung vom Heizwiderstand 11 ein Signal, das einer Strömungsgeschwindigkeit entspricht. Die Nullbereichsschaltung umfaßt einen Differentialverstärker 121, und die Widerstände 122, 123, 124, 125, 126 und 127.
  • Der Heizwiderstand 11 wird nun so gefertigt, daß eine Heizspule aus Platin oder Wolfram als Heizelement auf der Oberfläche eines zylindrischen Spulenkörpers gewickelt wird, der aus einem Isoliermaterial mit einer hohen Wärmeleitfähigkeit, wie z. B. Keramiken, gefertigt ist, woraufhin ein Glas oder Keramiken als Ummantelungsmaterial aufgebracht werden. Der Heizwiderstand 11 kann so gefertigt werden, daß eine Dünnschicht oder eine Dickschicht aus Platin oder Wolfram als Heizelement oder ein Polysiliciumwiderstand auf einer Basis eines plattenartigen Glases, einer Keramik, Silicium oder dergleichen ausgebildet wird.
  • Der Heizwiderstand 11 ist im Lufteinlaßdurchlaß einer Brennkraftmaschine eines Kraftfahrzeuges oder dergleichen installiert. Eine Ausgangsspannung entsprechend einer Luftdurchflußmenge, die durch den Einlaßdurchlaß strömt, wird als Ausgang des Differentialverstärkers 121 erhalten. Diese Ausgangsspannung wird in den A/D-Umsetzer 21 eingegeben, der in der digitalen Fehlerregulierungseinheit 2 enthalten ist, die ein digitales Mittel umfaßt, welches einen Mikrocomputer und dedizierte Logik enthält, und wird in einen digitalen Wert umgesetzt. Eine CPU 221 in der digitalen Fehlerregulierungseinheit 2 wendet die Antwortwiedergewinnungsverarbeitung auf den digitalen Wert bei Bedarf an, und führt anschließend die Ausgangsregulierungsverarbeitung aus, um die individuellen Unregelmäßigkeiten der Sensorcharakteristik zu beseitigen. Anschließend wird die Ungleichmäßigkeit-Linearisierungsverarbeitung ausgeführt, in der das Sensorspannungssignal entsprechend dem ersten willkürlichen Umsetzungsausdruck fx1 in die Durchflußmenge umgesetzt und geglättet wird, wobei die Empfindlichkeit gemäß dem zweiten Umsetzungsausdruck fx2 reguliert wird, und dergleichen. Die Linearisierungsverarbeitung wird nach der Ungleichmäßigkeit-Linearisierungsverarbeitung nach Bedarf erneut auf den Ausgang angewendet. Der D/A-Umsetzer 24 gibt eine nichtlineare Spannung an die Maschinensteuereinheit aus, usw.
  • Die digitale Fehlerregulierungseinheit 2 enthält ferner einen nichtflüchtigen Speicher (ROM) 223, der ein Speichermittel ist, das Durchflußmengenumsetzungskennfelder und Programme enthält, die als Referenzen für verschiedene Durchflußmengenumsetzungsausdrücke dienen, sowie einen wiederbeschreibbaren Speicher (PROM) 23, in welchem die Informationen der individuellen Differenzen, wie z. B. die Widerstandsdispersionen des Heizwiderstands 11, die Glättungsrate der Glättungsverarbeitung (Frequenzcharakteristik und dergleichen), die Regulierungsparameter zum Modifizieren verschiedener Funktionen, mit welchem die Unregelmäßigkeits-Linearisierungsverarbeitung angewendet wird, und die Rate der Antwortwiedergewinnungsverarbeitung und dergleichen aufgezeichnet sind, ein Schreib/Lese-Speicher (RAM) 222, der für den Operationsarbeitsbereich der CPU 221 verwendet wird, einen Oszillator (OSC) 25, der einen internen Takt erzeugt, und dergleichen. Der wiederbeschreibbare Speicher (PROM) 23 braucht nicht in der digitalen Fehlerregulierungseinheit 2 eingebaut zu sein. Er kann ein Speicher sein, der mehr als ein Mal beschreibbar ist, wie z. B. ein Schmelzsicherungstyp-ROM, ein elektrisch löschbarer EEPROM, ein Batch-Lösch-Flash-ROM, und ein nichtflüchtiger Hochgeschwindigkeitsspeicher, der das Polarisierungsphänomen einer ferroelektrischen Schicht nutzt, und dergleichen.
  • Der Durchflußmesser gemäß der ersten Ausführungsform ist somit fähig, die Fehler aufgrund einer Nichtlinearität zu reduzieren, ohne die Grundeigenschaften eines Sensorausgangs eines Thermaltyp-Durchflußmessers zu opfern, und die Beschränkungen für die Verwendung des Sensors zu reduzieren. Wenn die Durchflußmenge und die gemessenen Spannungssignalformen in der Größe der Pulsationen verzerrt sind, um Fehler in den Mittelwerten in den Pulsationen zu erzeugen, ist der Durchflußmesser fähig, ein Mittel zum Regulieren der Mittelwerte der Größe der Pulsationen zur Verfügung zu stellen. Ferner ist es möglich, den Bereich der Anwendung des Durchflußmessers zu erweitern, ohne durch die externen Bedingungen wie z. B. das Lufteinlaßsystem beeinflußt zu werden.
  • Als nächstes wird mit Bezug auf die 8A und 8B die zweite Ausführungsform der Erfindung beschrieben. Dies ist eine typische Konstruktion, die eine Temperaturdifferenz gemäß der Richtung und Größe eines Temperaturflusses erfaßt, der durch einen Heizwiderstand erzeugt wird. Dieser Durchflußmesser erhält eine Durchflußmenge aus einem Spannungssignal entsprechend der Temperaturdifferenz, und wird als Temperaturdifferenztyp-Durchflußmesser bezeichnet. Der Durchflußmesser ermöglicht ferner die Erfassung einer Rückwärtsdurchflußmenge durch Erfassen der Strömungsrichtung, und ist für die Erfassung einer Durchflußmenge geeignet, die starke Pulsationen enthält.
  • In der gleichen Weise wie bei der vorherigen Ausführungsform ist eine Heizspulen-Ansteuerschaltung 1 mit der Stromversorgung 10 verbunden. Die Heizspulenansteuerschaltung 1, der Heizwiderstand 211a, ein Temperaturkompensationswiderstand 211c, die Widerstände 13, 14 und 17 bilden die Wheatstone-Brückenschaltung. Diese Brückenschaltung ist so konstruiert, daß die Potentialdifferenz der Brückenmitte gleich 0 wird, indem ein Differentialverstärker 15 und ein Transistor 16 einen durch den Heizwiderstand 211a fließenden Strom einstellen. Wenn die Heiztemperatur des Heizwiderstands 211a geringer ist, wird der Ausgang des Differentialverstärkers 15 höher, so daß die Heizspulenansteuerschaltung 1 den Heizwiderstand 211a weiter aufheizt. Diese Konstruktion regelt den durch den Heizwiderstand 211a fließenden Strom so, daß der Widerstand des Heizwiderstands 211a unabhängig von der Strömungsgeschwindigkeit konstant gehalten wird, d. h. die Temperatur wird auf einem konstanten Wert gehalten. Temperaturerfassungswiderstände 211d, 211e, 211f, 211g sind an beiden Seiten des Heizwiderstands 211a plaziert. Die Temperaturerfassungswiderstände 211d, 211e, 211f, 211g bilden eine Brücke, die eine Temperaturdifferenz eines Widerstands anhand der Potentialdifferenz der Mittenspannungen Vp1, Vp2 erfaßt. Dieses Verfahren erlaubt, einen Ausgang entsprechend der Strömungsrichtung zu erhalten. Die Temperaturerfassungswiderstände 211d, 211e, 211f, 211g werden mittels einer konstanten Spannung von der Stromversorgungsspannung Vref1 betrieben. Dieses Verfahren zum Erfassen der Temperaturdifferenz eines Widerstands beruht auf der Differentialoperation und weist eine gute Empfindlichkeit im Bereich einer geringen Durchflußmenge auf, und ist geeignet für die Erfassung bidirektionaler Strömungen, die eine Rückwärtsströmung enthalten.
  • 9 zeigt ein Beispiel eines Musters, in welchem der Heizwiderstand 211a mit einer dünnen Schicht auf einem Siliciumsubstrat 211 ausgebildet ist. Der Heizwiderstand 211a ist in einem longitudinalen Muster ausgebildet, in dessen Mitte der Widerstand zurückgefaltet ist. Die Temperaturerfassungswiderstände 211d, 211e, 211f, 211g sind an beiden Seiten des Heizwiderstands 211a angeordnet. Der Heizwiderstand 211a und die Temperaturerfassungswiderstände 211d, 211e, 211f, 211g werden z. B. durch Ätzen der Rückseite des Siliciumsubstrats 211 in einer solchen Form ausgebildet, das die Widerstände auf einer Membranstruktur mit einer geringen Wärmekapazität angeordnet sind. Der Temperaturkompensationswiderstand 211c ist an einer Position angeordnet, die dem Einfluß der Tempe ratur durch die Erwärmung des Heizwiderstands 211a nicht ausgesetzt ist. 10 zeigt eine Schnittstruktur längs einer Linie A-B des Siliciumsubstrats 211 in 9. Die Bereiche mit den Widerstandsmustern sind mit der maximalen Dicke ausgeführt.
  • In dieser Ausführungsform wird das Mittenpotential Vp1, Vp2 der Brücke von den Temperaturerfassungswiderständen 211d, 211e, 211f, 211g in die digitale Fehlerregulierungseinheit 2 eingegeben. Die digitale Fehlerregulierungseinheit 2 enthält zwei A/D-Umsetzer 21a, 21b. Die A/D-Umsetzer setzen die Spannungswerte entsprechend der Durchflußmengen in digitale Werte um und regulieren die digitalen Werte mittels arithmetischer Operationen. Der D/A-Umsetzer 24 liefert ein Ausgangsspannungssignal Vout zur Maschinensteuereinheit und dergleichen. Hierbei ist die digitale Fehlerregulierungseinheit 2 so konstruiert, wie in der vorangehenden Ausführungsform, jedoch wird die extern zugeführte Spannung Vcc als Stromversorgung in eine innere Stromversorgungs/Schutz-Schaltung 228 eingegeben. Eine Stromversorgungsspannung Vref1, die von der Spannung Vcc abhängt, wird mittels eines Schalters 225 den A/D-Umsetzern 21a, 21b und dem D/A-Umsetzer 24 als Referenzspannung zugeführt. Der Schalter 225 dient zum Umschalten der Stromversorgungsspannung Vref1 in Abhängigkeit von der Spannung Vcc und einer Spannung Vref2, die von einer Referenzspannungsschaltung 229 erzeugt wird, die in der digitalen Fehlerregulierungseinheit 2 enthalten ist. Die A/D-Umsetzer 21a, 21b nehmen direkt die Ausgänge Vp1, Vp2 von der Brückenschaltung auf; dementsprechend müssen sie genau sein. Um hierbei die Genauigkeit sicherzustellen und die Schaltungsgröße zu reduzieren, ist es lediglich erforderlich, einen ΔΣ-Typ-A/D-Umsetzer zu verwenden.
  • Der D/A-Umsetzer 24 ist ebenfalls so konfiguriert, daß der Schalter 225 die Referenzspannung umschalten kann. Der Grund hierfür ist, die Referenz frei zu wählen, wenn mit Analogwerten kommuniziert wird. Wenn die Referenzspannung für den A/D-Umsetzer auf der Seite der zu verbindenden Steuereinheit und die extern zugeführte Spannung Vcc in der gleichen Weise oder synchron variieren, wird die Stromversorgungsspannung Vref1 als Referenz verwendet. Wenn die Spannung Vcc für die Seite der Steuereinheit irrelevant ist, wird die unabhängige Referenzspannung Vref2 gewählt. Diese Konfiguration soll eine Anpassung an eine entsprechende Steuereinheit erleichtern und Fehler aufgrund unangepaßter Analog-Schnittstellen reduzieren.
  • Mit der obigen Konfiguration der digitalen Fehlerregulierungseinheit 2 ist es möglich, einen Durchflußmesser zu schaffen, der unter den Bedingungen, daß die Pulsationen sich mit hohen Amplituden über einen weiten Bereich von der Vorwärtsströmung bis zur Rückwärtsströmung ändern, leicht zu regulieren ist. Im folgenden wird die Operation mit Bezug auf 11 genauer erläutert. Diese zeigt Referenzausgangskennlinien Qrefu, Qrefd eines Durchflußmessers, der die Richtung einer Strömung erfassen kann und als Temperaturdifferenztyp bezeichnet wird. Bezüglich der Vorwärts- oder Rückwärts-Durchflußmenge längs der horizontalen Achse wird die Sensorspannung auch das Ausgangssignal, begleitet von positiven oder negativen Vorzeichen. Wenn eine pulsierende Durchflußmenge vorhanden ist, die den Rückwärtsströmungsbereich einschließt, wird eine hohe Ausgangsspannung Vin für ein Eingangsdurchflußmengensignal Qa erhalten. Der Grund hierfür liegt darin, daß, da die Referenzausgangskennlinien Qrefu, Qrefd eine hohe Empfindlichkeit nahe dem Ursprung (Nullpunkt) aufweisen, die Ausgangsamplitude eines den Nullpunkt durchquerenden Signals groß wird. Wenn das Sensorspannungssignal unverändert gemittelt wird, wird der Mittelwert deutlich gesenkt. Wenn das Eingangsdurchflußmengensignal Qa mit einem geglätteten Qaf verglichen wird, verursacht eine kleine Schwankung im Rückwärtsströmungsbereich eine große Spannungsschwankung. Hinsichtlich der Beziehung zwischen den Vorwärts- und Rückwärtscharakteristiken und den Durchschnittswerten in den Pulsationen gibt es einige denkbare Relationen in bezug auf die Spannung-Durchflußmengen-Umsetzung und die Durchflußmengenempfindlichkeitsumsetzung in der Ungleichmäßigkeit-Linearisierungsverarbeitung, die für die Vorwärts- und Rückwärts-Referenzausgangskennlinien Qrefu, Qrefd einzurichten sind.
  • Es gibt zwei denkbare repräsentative Fälle. Ein Fall ist, daß die Referenzkennlinie Qrefu für die Vorwärtsströmung mit der Kennlinie fx1u der Spannung-Durchflußmengen-Umsetzungskennlinie übereinstimmt, und die Referenzkennlinie Qrefd für die Rückwärtsströmung nicht mit der Kennlinie fx1d der Spannung-Durchflußmengen-Umsetzungskennlinie übereinstimmt. Ein weiterer Fall ist, daß weder die Referenzkennlinie Qrefu für die Vorwärtsströmung mit der Kennlinie fx1u der Spannung-Durchflußmengen-Umsetzungskennlinie übereinstimmt, noch die Referenzkennlinie Qrefd für die Rückwärtsströmung mit der Kennlinie fx1d der Spannung-Durchflußmengen-Umsetzungskennlinie übereinstimmt.
  • In dem Fall, daß die Referenzkennlinie Qrefu für die Vorwärtsströmung mit der Kennlinie fx1u der Spannung-Durchflußmengen-Umsetzungskennlinie übereinstimmt, und die Referenzkennlinie Qrefd für die Rückwärtsströmung nicht mit der Kennlinie fx1d der Spannung-Durchflußmengen-Umsetzungskennlinie übereinstimmt, wird im folgenden die Operation der Ungleichmäßigkeit-Linearisierungsverarbeitung mit Bezug auf 12 beschrieben. Diese Zeichnung ordnet die große Amplitudenspannung auf der horizontalen Achse an, die von den in 11 gezeigten Vorwärts- und Rückwärtsdurchflußmengen erzeugt wird, und simuliert die Operation zum Umsetzen der Spannung in die Durchflußmenge. Wenn die Rückwärtsseite die Referenzkennlinie Qrefd annimmt, wird die in 11 eingegebene Durchflußmenge reproduziert. Wenn jedoch die Kennlinie fx1d genommen wird, wird die Rückwärtskennlinie erhöht und gesenkt. Wenn nun die Amplitude des Durchflußmengensignals von der Glättungsverarbeitung gedämpft wird und der Mittelwert genommen wird, senkt Qave2 die Durchflußmenge gegen den Referenzmittelwert Qave1. Anschließend wird die Durchflußmengenempfindlichkeitsumsetzung auf das gesenkte Durchflußmengensignal angewendet. 13 zeigt die Charakteristik der Durchflußmengenempfindlichkeitsumsetzung, in der die Kennlinien fx2u, fx2d, die die Empfindlichkeit der Durchflußmenge repräsentieren, mit der Durchflußmenge in Übereinstimmung gebracht werden. Folglich erscheint keine Charakteristikumsetzung durch die Empfindlichkeitsumsetzung, wobei schließlich das Signal Qave2' mit dem gesenkten Mittelwert in den Pulsationen erhalten wird. Der Grund dafür, daß die Empfindlichkeitsumsetzung nicht auf die Rückwärtsströmungsseite angewendet wird, liegt in dem Konzept der Anwendung, daß üblicherweise die Rückwärtsströmungsseite nur in Pulsationen arbeitet, wobei die statische Charakteristik, die den Gleichstrom enthält, nur auf der Vorwärtsströmungsseite sicher gestellt werden sollte. Wenn sie für die Steuerung einer Brennkraftmaschine eines Kraftfahrzeuges verwendet wird, ist es denkbar, daß eine Rückwärtsströmung in Pulsationen vorhanden ist, um die in den Zylindern aufzunehmende Luftdurchflußmenge zu messen, jedoch keine Rückwärtsströmung in einem Zustand vorhanden ist, bei dem während einer geringen Last keine Einlaßpulsation auftritt. Wenn in einem solchen Fall die Charakteristik der Rückwärtsströmungsseite nicht unbedingt einen wahren Wert widerspiegelt, werden die Diskrepanzen bei der Steuerung ignoriert. Was hier zu erfassen ist, ist die Luftdurchflußmenge, die in jedem Zylinder aufgenommen wird. Es ist somit lediglich erforderlich, daß der Mittelwert korrekt ist. Da im Fall dieser Ausführungsform die Empfindlichkeitsumsetzung eingespart werden kann, kann die Regulierung von Pulsationen möglicherweise einfacher durchgeführt werden, jedoch ist die Regulierung von Pulsationen im Zustand ohne Rückwärtsströmung schwierig durchzuführen.
  • Im Fall der Verwendung einer Struktur, wie in 14 gezeigt ist, so daß ein Sensorelement 211 innerhalb eines Umgehungsdurchlasses 401 plaziert ist, der asymmetrisch bezüglich der Richtungen der Vorwärts- und Rückwärtsströmungen strukturiert ist, werden die Strömungsgeschwindigkeiten der Vorwärts- und Rückwärtsströmungen nicht symmetrisch. In einem solchen Fall ist möglicherweise die ursprüngliche Charakteristik für die Rückwärtsströmung im Ungleichgewicht gegenüber der inhärenten Sensorcharakteristik. Diesbezüglich wird das Verfahren zum Kompensieren der Vorwärts- und Rückwärtsseiten durch verschiedene Kennlinien als einen weiteren Anwendungsbereich aufweisend und eine größere Wirkung aufweisend betrachtet.
  • 15 zeigt eine Operation, in der die Ungleichmäßigkeit-Linearisierungsverarbeitung für die Vorwärts- und Rückwärtsseiten jeweils mit verschiedenen Kennlinien ausgeführt wird. Diese Zeichnung zeigt, daß sowohl die Kennlinie fx1u der Vorwärtsströmung als auch die Kennlinie fx1d der Rückwärtsströmung höhere Empfindlichkeiten gegenüber der Referenzcharakteristik Qrefu, Qrefd in einem Niedrigdurchflußmengenbereich aufweisen, und geringere Empfindlichkeiten (scharfe Kurve) in einem hohen Durchflußmengenbereich aufweisen. In einem solchen Fall gibt das Verfahren in 15 eine große Amplitudenspannung auf der Horizontalachse ein, die von den in 11 gezeigten Vorwärts- und Rückwärtsdurchflußmengen erzeugt wird, und simuliert die Operation zum Umsetzen der Spannung in die Durchflußmenge.
  • Wenn beide Vorwärts- und Rückwärtsseiten die Referenzkennlinien Qrefu, Qrefd nehmen, wird die in 11 eingegebene Durchflußmenge reproduziert. Wenn jedoch die Kennlinien fx1u, fx1d genommen werden, werden die Vorwärts- und Rückwärtskennlinien erhöht und gesenkt. Das Dämpfen der Amplitude der Durchflußmenge durch die Glättungsverarbeitung und das Nehmen des Mittelwerts Qave2 senkt nun die Durchflußmenge gegenüber dem Referenzdurchschnittswert Qave1. Anschließend wird die Durchflußmengenempfindlichkeitsumsetzung auf das gesenkte Durchflußmengensignal angewendet. 16 zeigt die Charakteristik der Durchflußmengenempfindlichkeitsumsetzung, in der die Kennlinie fx2d, die die Durchflußmengenempfindlichkeit auf der Rückwärtsseite repräsentiert, mit der Durchflußmenge in Übereinstimmung gebracht wird, wobei die Empfindlichkeitsumsetzung nur auf die Vorwärtskennlinie mit der Kennlinie fx2u angewendet wird. Dies wird ausgeführt, um pulsierende Einflüsse zu regulieren, während die Genauigkeit für die Vorwärtsströmung in der statischen Charakteristik erhalten bleibt. Als Ergebnis wird der endgültige Mittelwert Qave2 nach der Glättungsverarbeitung des Durchflußmengensignals Qave2 kleiner als der inhärente Mittelwert Qave1, und etwas größer als der Mittelwert Qave2, wenn die Durchflußmengenempfindlichkeit-Umsetzungsver arbeitung nicht angewendet wird.
  • Gemäß dieser Ausführungsform ist es möglich, die Pulsationsfehler leicht zu regulieren, selbst wenn Rückwärtsströmungen und hohe Pulsationen vorhanden sind, wobei aufgrund des Umgehungsdurchlasses und dergleichen die Empfindlichkeiten für die Vorwärts- und Rückwärtsströmungen ursprünglich verschieden sind. Da die Regulierung der Fehler der Pulsationen nur auf der Sensorseite durchgeführt wird, muß die externe Steuervorrichtung, wie z. B. die Maschinensteuereinheit, keine Arbeit durchführen, um die Durchflußmengenumsetzungscharakteristik abschließend zu modifizieren, um sie an die Empfindlichkeitscharakteristik anzupassen, und dergleichen, selbst wenn die individuellen Empfindlichkeiten für die Vorwärts- und Rückwärtsströmungen verschieden sind.
  • Im folgenden wird mit Bezug auf 17 die dritte Ausführungsform der Erfindung beschrieben. Die Zeichnung zeigt eine Frequenzantwortcharakteristik über der Brummfrequenz des Durchflußmengensensors im Form des Bode-Diagramms. Unter der Annahme, daß die Amplitudenbedingung der Durchflußmenge konstant ist, klingt die Grundcharakteristik fx1 des Sensors gemäß einer Kurve der Verzögerung erster Ordnung ab, wobei in einem höheren Frequenzbereich die Amplitude mit der Verzögerung zweiter Ordnung scharf abfällt. In einem solchen Fall erweitert ein Auftreten von Pulsationen oder Rückwärtsströmungen in einem weiten Brummfrequenzbereich den Meßfehler. Das Senken der Wärmekapazität durch Plazieren des Heizwiderstands z. B. auf einer Siliciummembran verbessert die Antwort. Im allgemeinen muß jedoch die Siliciummembran eine gewisse Festigkeit in ihrer Struktur aufweisen, wobei eine Beschränkung für die Verringerung der Wärmekapazität besteht, welche zu einer Beschränkung der Verbesserung der Antwort führt. In einem solchen Fall ermöglichen eine Ergänzung einer Schaltung zur Rückgewinnung der Antwort mit einer gewissen Charakteristik f2 und die digitale Signalverarbeitung, eine Charakteristik f3 zu erhalten, in der die Antwort bis zu einem gewissen Ausmaß wiedergewonnen worden ist.
  • 18 zeigt eine Abbildung der Wirkung, wenn ein Mittel zum Wiedergewinnen der Antwort verwendet wird. Die Zeichnung zeigt dem Brummfaktor auf der horizontalen Achse und den Fehler der Pulsationen auf der vertikalen Achse. Der Brummfaktor ist definiert als die Größe der Amplitude über dem Mittelwert der Durchflußmenge, so daß die Größe der Rückwärtsströmung erfaßt werden kann, wenn eine ideale Pulsation als Sinuswelle auftritt, und ist durch den folgenden Ausdruck gegeben: Brummfaktor = (Maximalwert der Pulsation – Minimalwert der Pulsation)/Mittelwert (2)
  • Die Differenz zwischen dem Maximalwert und dem Minimalwert der Pulsation zeigt die Amplitude der Pulsation. Wenn der Brummfaktor größer ist, kann die im Durchschnittswert der Durchflußmenge auftretende Rückwärtsdurchflußmenge als größer bezeichnet werden. In einer Maschine eines Kraftfahrzeuges besteht z. B. eine Tendenz, daß mit zunehmender Maschinendrehzahl die Brummfrequenz höher wird und bei einer niedrigen Drehzahl die Brummfrequenz niedrig wird. In einem solchen Fall wird aufgrund der Antwortcharakteristik bei einer hohen Drehzahl die Amplitude der Spannung mit der erfaßten Durchflußmenge niedrig, und ist geneigt, ausgehend vom Mittelwert der Durchflußmenge einen negativen Fehler aufzuweisen. Das vorangehende Mittel zur Wiedergewinnung der Antwort wird für die Verbesserung dieser Charakteristiken verwendet, wodurch die Fehler reduziert werden können. Jedoch wird in einem solchen Fall der Brummfaktor im niedrigen Drehzahlbereich größer, wobei selbst dann, wenn ein positiver Fehler aufgetreten ist, der Einfluß durch die Wiedergewinnung der Antwort begrenzt ist (da die ursprüngliche Verzögerung der Antwort gering ist) und die Charakteristik sich dementsprechend nicht ändert. In diesem Fall ermöglicht die Verwendung des Ungleichmäßigkeit-Linearisierungsmittels, den Pulsationsfehler im Bereich eines großen Brummfaktors zu regulieren. Durch Verwendung des Mittels zur Wiedergewinnung – der Antwort und des Mittels zum Regulieren des Pulsationsfehlers in Kombination, um die Optimierung der Parameter zu erreichen, wird es dementsprechend möglich, zur gleichen Zeit den Pulsationsfehler zu reduzieren, der durch die Frequenzcharakteristik eines Sensors, wie z. B. eine Antwortverzögerung, hervorgerufen wird.
  • Die 19A und 19B zeigen ein Beispiel, indem die Wiedergewinnung der Antwort mittels analoger Schaltungen erreicht wird. Hier werden in den Zeichnungen analoge Schaltungen verwendet, jedoch kann auch für die Wiedergewinnung der Antwort eine digitale Verarbeitung verwendet werden. Da die Antwort eine Durchflußmengenabhängigkeit aufweist, ist es diesbezüglich in jedem Fall vorzuziehen, ein Mittel zu verwenden, das direkt die Antwort des Sensorspannungssignals für die Kompensation wiedergewinnt. Die 19A und 19B weisen grundsätzlich die gleiche Schaltungskonfiguration wie die vorherigen 8A und 8B auf. Die Referenzspannung für die Temperaturdifferenzbrücke wird von außen geliefert. Zusätzlich ist eine Antwortkompensationsschaltung 50 vorgesehen, die einen Differentialverstärker 51, Widerstände 52, 53, 54, 55 und Kondensatoren 62, 63, 64, 65 umfaßt. Das geeignete Einstellen der Konstanten der Widerstände und Kondensatoren modifiziert die Charakteristik des Mittels zur Wiedergewinnung der Antwort. Im Fall eines Mittels, das die digitale Verarbeitung verwendet, wird durch die Variation der Regulierungsparameter die Antwort einfach modifiziert. Die Veränderung der Glättungscharakteristik des Glättungsmittels ist ebenfalls effektiv bei der selektiven Erhöhung und Senkung der Frequenzcharakteristik.
  • Selbst wenn gemäß dieser Ausführungsform die Fehlercharakteristik in Pulsationen sich aufgrund der Brummfrequenz ändert, weist das Antwortwiedergewinnungsmittel ein synthetisches Regulierungsmittel für Pulsationsfehler auf, das erlaubt, den Regulierungsbereich der Pulsationsfehler zu erweitern. Als Ergebnis wird es möglich, den Anwendungsbereich zu erweitern, wobei die Durchflußmenge für eine Maschine mit veränderlichen Ventilen und eine Mehrzylindermaschine und dergleichen gemessen wird.
  • Als nächstes wird mit Bezug auf 20 die vierte Ausführungsform der Erfindung beschrieben. Die Zeichnung zeigt die Inhalte der Operationsverarbeitung 40, in der die Regulation einschließlich der Ungleichmäßigkeit-Linearisierungsverarbeitung in Echtzeit mittels der SCI (serielle Kommunikationsschnittstelle) und dergleichen der externen Steuervorrichtung, wie z. B. einer Maschinensteuereinheit (ECU), ausgeführt wird.
  • Die Operationsverarbeitung 40 empfängt zuerst die Ausgabe von der Sensorschaltung 1 als Eingabe Vin, wobei die Eingabe Vin durch die A/D-Umsetzungsverarbeitung 41 in einen digitalen Wert umgesetzt wird. Auf den digitalen Wert wird die Ausgangsregulierungsverarbeitung 43 zum Beseitigen individueller Unregelmäßigkeiten in der Sensorcharakteristik angewendet, wobei das Ergebnis als ursprüngliches Signal S0 definiert wird. Anschließend wird die Ungleichmäßigkeit-Linearisierungsverarbeitung 44 angewendet, um den Pulsationsfehler zu reduzieren, wobei eine Integrationsverarbeitung 48 auf den Durchflußmengenwert angewendet wird und ein Korrektursignal S1 erhalten wird. Anschließend wählt die Ausgangssignalauswahlverarbeitung 49 die Eingangssignale S0, S1 und das Ausgangsformat aus und gibt eine Frequenz fout und ein Spannungssignal Vout aus. In Verbindung hiermit führt die Kommunikationsverarbeitung 25, die von der Maschinensteuereinheit Signale empfangt, wie z. B. SCI-Signal, eine Auswahl zum Auswählen des Ausgangs mit oder ohne der Ungleichmäßigkeit-Linearisierungsverarbeitung aus, und setzt und modifiziert die Parameter innerhalb der Regulierungsparameter 47. Wenn die Regulierungsparameter modifiziert werden, wird das Ausgangsergebnis verändert und der Pulsationseinfluß kann verändert werden. Es wird möglich, daß die Maschinensteuervorrichtung das Ergebnis erneut bewertet und eine Rückkopplung ausführt, um somit ein optimales Ergebnis zu erzielen. Wenn die Echtzeit-Anpassung des Pulsationsfehlers auf diese Weise verwirklicht wird, kann selbst dann, wenn die Maschine oder das Einlaßsystem verändert werden, die Anpassungsoperation leicht ausgeführt werden. Diese Ausführungsform führt keine Signalkompression und dergleichen mit der Nichtlinearisierungsverarbeitung durch. In diesem Fall schwächt die Integrationsverarbeitung 48 weiter das Pulsationssignal, um somit die Signalkompression und dergleichen einzusparen. Die Verarbeitung innerhalb der digitalen Fehlerregulierungseinheit 2 kann mit verschiedenen digitalen Verarbeitungsmitteln verwirklicht werden, wie Z. B. einer Steuervorrichtung zum Steuern der Drosselklappe. Die Maschinensteuereinheit kann zusätzlich zu dem in 1 gezeigten A/D-Umsetzer 51 ein Speichermittel wie z. B. einen ROM und eine Festplatte enthalten, und kann zur Steuerung die Umsetzungsausdrücke in der digitalen Fehlerregulierungseinheit 2 speichern. Mit dieser Systemkonfiguration kann die gleiche Wirkung erzielt werden.
  • Selbst wenn gemäß der Ausführungsform der Pulsationsfehler aufgrund einer Änderung der Maschine oder des Einlaßsystems verändert wird, ist es möglich, leicht den Pulsationsfehler zu reduzieren, ohne eine große Änderung der inhärenten Charakteristik des Einlaßsystems und des Sensors hervorzurufen. Als Ergebnis ist es möglich, den Entwicklungsterm des Meßsystems und dergleichen eines Maschineneinlaßsystems bis zu einem großen Ausmaß zu verkürzen.
  • Im folgenden wird mit Bezug auf 21 die fünfte Ausführungsform der Erfindung beschrieben. Diese zeigt einen Fall, in welchem das Eingangssignal durch die digitale Signalverarbeitung in eine Gleichstromkomponente und eine Wechselstromkomponente zerlegt wird und eine Korrektur angewendet wird (Ungleichmäßigkeit-Linearisierungsverarbeitung).
  • Die Operationsverarbeitung 40 empfängt den Ausgang von der Sensorschaltung 1 als Eingang Vin, wobei der Eingang Vin durch die A/D-Umsetzungsverarbeitung 41 in einen digitalen Wert umgesetzt wird. Auf den digitalen Wert wird bei Bedarf die Antwortwiedergewinnungsverarbeitung 42 angewendet. Anschließend wird die Ausgangsregulierungsverarbeitung 43 zum Beseitigen individueller Unregelmäßigkeiten in der Sensorcharakteristik angewendet. Als nächstes wird als Ungleichmäßigkeit-Linearisierungsverarbeitung 44 die Spannung-Durchflußmengen-Umsetzungsverarbeitung 441, die ein Sensorspannungssignal in eine Durchflußmenge umsetzt, angewendet, um einen Durchflußmengenwert zu erhalten. Der Durchfluß mengenwert wird durch die Gleichstrom-Wechselstrom-Trennungsverarbeitung 444 in eine Gleichstromkomponente und eine Wechselstromkomponente zerlegt. Anschließend modifiziert die Glättungsverarbeitung 442 die Pulsationscharakteristik der Wechselstromkomponente, wobei die Durchflußmengenempfindlichkeit-Umsetzungsverarbeitung 443 die Gleichstromkomponente kompensiert. Beide Komponenten werden anschließend erneut synthetisiert und in die Nichtlinearisierungsverarbeitung 45 eingegeben.
  • Die Veränderung des Mittelwertes in Pulsationen mittels der Regulierungsparameter wird verwirklicht, indem die Charakteristik der Spannung-Durchflußmengen-Umsetzungsverarbeitung 441 in derselben Weise wie in der ersten Ausführungsform und die Glättungsverarbeitung der Wechselstromkomponente verändert werden. Hierbei ist die Gleichstrom-Wechselstrom-Trennungsverarbeitung 444 durch die Ausführung einer digitalen Signalverarbeitung (DSP), die Speicherung abgetasteter digitaler Daten für eine bestimmte Zeit (Pufferung) und das Extrahieren des Unterschieds der Signalformen und dergleichen implementiert. Gemäß dieser Ausführungsform nimmt die arithmetische Operationsverarbeitung zu, jedoch kann die Regulierung von Fehlern selektiver für die Brummfrequenz durchgeführt werden, wobei die Regulierungsgenauigkeit der Pulsationsfehler verbessert werden kann.
  • Im folgenden wird mit Bezug auf 22 die sechste Ausführungsform der Erfindung beschrieben. Dieser zeigt in der gleicher Weise wie im vorherigen Fall einen Fall, in welchem das Eingangssignal in eine Gleichstromkomponente und eine Wechselstromkomponente zerlegt wird, wobei eine Korrektur angewendet wird (Ungleichmäßigkeit-Linearisierungsverarbeitung). Der Unterschied besteht jedoch darin, daß die Trennung der Signalkomponenten zuerst ausgeführt wird, und anschließend die Antwortwiedergewinnungsverarbeitung und die Spannung-Durchflußmengen-Umsetzungsverarbeitung ausgeführt werden. In der Ungleichmäßigkeit-Linearisierungsverarbeitung 44 bleibt die Gleichstromkomponente intakt, jedoch wird die Wechselstromkomponente der Antwortwiedergewinnungsverarbeitung 42 unterworfen, wobei das Ergebnis mittels der Spannung-Durchflußmengen-Umsetzungsverarbeitung 441 in einen Durchflußmengenwert umgesetzt wird. Anschließend wird bei Bedarf die Durchflußmengenempfindlichkeit-Umsetzungsverarbeitung 443 angewendet. Selbst wenn die Pulsationsamplitude besonders klein ist, kann die Regulierung der Wechselstromkomponente mit einer guten Empfindlichkeit durchgeführt werden, da die Wechselstromkomponente im voraus abgetrennt wird, wodurch die gesamte Genauigkeit verbessert wird. In dem Fall, in dem die Pulsation sehr selten auftritt, da die Empfindlichkeitskompensation für die Gleichstromkomponente nicht ausgeführt wird, können die Berechnungsfehler entsprechend reduziert werden. Wenn die Kompensation durch Trennen des Eingangssignals in die Gleichstromkomponente und die Wechselstromkomponente ausgeführt wird, erhöhen beide Fälle die Berechnungsbelastung, jedoch können die Inhalte der Ungleichmäßigkeit-Linearisierungsverarbeitung ausgewählt werden.
  • In jeder der bisher beschriebenen Ausführungsformen können die Meßfehler in Pulsationen reduziert werden, wobei die Verwendung irgendeiner von diesen für die Steuerung einer Maschine eine hochgenaue Steuerung ermöglicht, die Abgasmenge reduziert und den Kraftstoffverbrauch verbessert.
  • Die Anwendung des Durchflußmessers in den obigen Ausführungs formen auf eine Gasdurchflußerfassung von Wasserstoffgas einer Brennstoffzelle und dergleichen erzielt die gleiche Wirkung.
  • Gemäß der Erfindung können die Pulsationsfehler leicht reduziert werden, ohne die Grundcharakteristik eines Sensorausgangs eines Thermaltyp-Durchflußmessers zu opfern, wobei ein Benutzer dieses Sensors fähig ist, die Pulsationsfehler leicht zu regulieren. Die Meßfehler in den Pulsationen können ebenfalls reduziert werden, wobei die Verwendung des Durchflußmessers zum Steuern einer Maschine eine hochgenaue Steuerung verwirklicht, wodurch die Abgasmenge reduziert wird und der Kraftstoffverbrauch verbessert wird.
  • Obwohl die Erfindung mit ihren bevorzugten Ausführungsformen beschrieben worden ist, ist klar, daß die verwendeten Begriffe der Beschreibung und nicht der Einschränkung dienen, und daß Änderungen innerhalb des Bereiches der beigefügten Ansprüche vorgenommen werden können, ohne vom wahren Umfang und Erfindungsgedanken der Erfindung in ihren weiteren Aspekten abzuweichen.

Claims (18)

  1. Durchflußmesser, der umfaßt: ein Erfassungselement (1), das ein nichtlineares Signal entsprechend einer Durchflußmenge ausgibt; und eine Fehlerregulierungseinheite (2), die ein Ausgangssignal des Erfassungselementes (1) zur Steuerung reguliert; wobei die Fehlerregulierungseinheit (2) eine Ausgangsregulierungsverarbeitung (43), die Unregelmäßigkeiten des Erfassungselements (1) im Ausgangssignal reguliert, und eine Ungleichmäßigkeits-Linearisierungsverarbeitung (44) ausführt, die einen Mittelwert des Ausgangssignals nach der Ausgangsregulierungsverarbeitung (43) mittels Regulierungsparameter (47) in Abhängigkeit von der Größe von Pulsationsamplituden oder der Differenz von Brummfrequenzen erhöht oder verringert.
  2. Durchflußmesser nach Anspruch 1, wobei: die Fehlerregulierungseinheit (2) eine erste Umsetzungsverarbeitung, die das Ausgangssignal mittels eines ersten Umsetzungsausdrucks entsprechend einer Charakteristik zwischen einer Durchflußmenge und einem Ausgangssignal in ein Durchflußmengensignal umsetzt, und eine Glättungsverarbeitung ausführt, die eine Amplitude des Durchflußmengensignals nach der ersten Umsetzungsverarbeitung verändert.
  3. Durchflußmesser nach Anspruch 2, wobei: die Fehlerregulierungseinheit (2) eine zweite Umsetzungsverarbeitung für ein Durchflußmengensignal nach der Glättungsverarbeitung mittels eines zweiten Umsetzungsausdrucks ausführt, der verwendet wird, um eine Durchflußmengenempfindlichkeit auf der Grundlage einer Beziehung zwischen dem ersten Umsetzungsausdruck und einer Referenzdurchflußmenge zu regulieren.
  4. Durchflußmesser nach Anspruch 2 oder Anspruch 3, der eine eine Rückwärtsströmung enthaltende bidirektionale Durchflußmenge erfaßt, wobei in bezug auf den ersten Umsetzungsausdruck gemäß der Charakteristik zwischen der Durchflußmenge und dem Ausgangssignal wenigstens eine Charakteristik einer Richtung der Charakteristiken zwischen den Durchflußmengen beider Richtungen und dem Ausgangssignal verschieden ist von einer Charakteristik zwischen der Referenzdurchflußmenge und dem Ausgangssignal.
  5. Durchflußmesser nach irgendeinem der Ansprüche 2 bis 4, der ferner ein Mittel zum Wiedergewinnen einer Antwort eines Ausgangssignals vor der Regulierung umfaßt.
  6. Durchflußmesser nach irgendeinem der Ansprüche 1 bis 5, wobei das Ausgangssignal vom Erfassungselement (1) eine Pulsationscharakteristik enthält, und wobei ein Regulierungsmittel vorgesehen ist, das selektiv eine regulierte Pulsationscharakteristik und eine nicht regulierte Pulsationscharakteristik ausgibt.
  7. Durchflußmessersystem, das einen Durchflußmesser nach irgendeinem der Ansprüche 1 bis 6 umfaßt, und eine Steuervorrichtung (5) umfaßt, die eine Maschinensteuerung unter Verwendung eines Signals am Durchflußmesser ausführt.
  8. Durchflußmessersystem nach Anspruch 7, wobei ein Signal von der Steuervorrichtung (5) die Regulierungsparameter (47) des Regulierungsmittels (2) modifiziert.
  9. Durchflußmessersystem nach Anspruch 7, wobei die Steuervorrichtung (5) mit einem Speichermittel versehen ist, das die ersten und zweiten Umsetzungsausdrücke speichert.
  10. Durchflußmesser, der umfaßt: ein Erfassungselement (1) das ein nichtlineares Signal entsprechend einer Durchflußmenge ausgibt; und eine Fehlerregulierungseinheit (2), die ein Ausgangssignal des Erfassungselements zur Steuerung reguliert; wobei die Fehlerregulierungseinheit (2) eine Ausgangsregulierungsverarbeitung (43), die Unregelmäßigkeiten des Erfassungselements im Ausgangssignal reguliert, eine Trennungsverarbeitung (444), die eine Gleichstromkomponente und eine Wechselstromkomponente trennt, die im Ausgangssignal nach der Ausgangsregulierungsverarbeitung (43) enthalten sind, und eine Ungleichmäßigkeit-Linearisierungsverarbeitung (44) ausführt, die separat Mittelwerte der Gleichstromkomponente und der Wechselstromkomponente, die im Ausgangssignal enthalten sind, mittels Regulierungsparameter (47) reguliert.
  11. Durchflußmesser nach Anspruch 10, wobei: die Fehlerregulierungseinheit (2) eine erste Umsetzungsverarbeitung, die das Ausgangssignal mittels eines ersten Umsetzungsausdrucks entsprechend einer Charakteristik zwischen einer Durchflußmenge und einem Ausgangssignal in ein Durchflußmengensignal umsetzt, und eine Glättungsverarbeitung ausführt, die eine Amplitude des Durchflußmengensignals nach der ersten Umsetzungsverarbeitung verändert.
  12. Durchflußmesser nach Anspruch 11, wobei: die Fehlerregulierungseinheit (2) eine zweite Umsetzungsverarbeitung für ein Durchflußmengensignal nach der Glättungsverarbeitung mittels eines zweiten Umsetzungsausdrucks ausführt, der verwendet wird, um eine Durchflußmengenempfindlichkeit auf der Grundlage einer Beziehung zwischen dem ersten Umsetzungsausdruck und einer Referenzdurchflußmenge zu regulieren.
  13. Durchflußmesser nach Anspruch 11 oder 12, der eine eine Rückwärtsströmung enthaltende bidirektionale Durchflußmenge erfaßt, wobei in bezug auf den ersten Umsetzungsausdruck gemäß der Charakteristik zwischen der Durchflußmenge und dem Ausgangssignal wenigstens eine Charakteristik einer Richtung der Charakteristiken zwischen den Durchflußmengen beider Richtungen und dem Ausgangssignal verschieden ist von einer Charakteristik zwischen der Referenzdurchflußmenge und dem Ausgangssignal.
  14. Durchflußmesser nach irgendeinem der Ansprüche 11 bis 13, der ferner ein Mittel zum Wiedergewinnen einer Antwort eines Ausgangssignals vor der Regulierung umfaßt.
  15. Durchflußmesser nach irgendeinem der Ansprüche 10 bis 14, wobei das Ausgangssignal vom Erfassungselement eine Pulsationscharakteristik enthält, und wobei ein Regulierungsmittel vorgesehen ist, das selektiv eine regulierte Pulsationscharakteristik und eine nicht regulierte Pulsationscharakteristik ausgibt.
  16. Durchflußmessersystem, das einen Durchflußmesser nach irgendeinem der Ansprüche 10 bis 15 sowie eine Steuervorrichtung, die eine Maschinensteuerung unter Verwendung eines Signals am Durchflußmesser ausführt, umfaßt.
  17. Durchflußmessersystem nach Anspruch 16, wobei ein Signal von der Steuervorrichtung die Regulierungsparameter (47) der Fehlerregulierungseinheit (2) modifiziert.
  18. Durchflußmessersystem nach Anspruch 16, wobei die Steuervorrichtung mit einem Speichermittel versehen ist, das die ersten und zweiten Umsetzungsausdrücke speichert.
DE10245655A 2002-06-19 2002-09-30 Durchflußmesser und Durchflußmessersystem Expired - Lifetime DE10245655B4 (de)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2002177870A JP4130877B2 (ja) 2002-06-19 2002-06-19 流量計及び流量計システム
JP177870-02 2002-06-19

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE10245655A1 DE10245655A1 (de) 2004-01-22
DE10245655B4 true DE10245655B4 (de) 2009-08-13

Family

ID=29774067

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE10245655A Expired - Lifetime DE10245655B4 (de) 2002-06-19 2002-09-30 Durchflußmesser und Durchflußmessersystem

Country Status (3)

Country Link
US (3) US6839643B2 (de)
JP (1) JP4130877B2 (de)
DE (1) DE10245655B4 (de)

Families Citing this family (32)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6978667B2 (en) * 2003-02-04 2005-12-27 Hitachi, Ltd. Intake air amount detecting apparatus for engine and method thereof
DE10337259B4 (de) * 2003-08-13 2015-08-06 Robert Bosch Gmbh Auswerteeinheit für das Messsignal eines mikromechanischen Sensors
JP2005086108A (ja) * 2003-09-10 2005-03-31 Renesas Technology Corp 半導体集積回路
US7197408B2 (en) * 2004-01-29 2007-03-27 Invensys Systems, Inc. Flowmeter specification and ordering system
CN101057126B (zh) * 2004-11-11 2010-10-06 株式会社日立制作所 热式流量测定装置
DE102005039577B3 (de) * 2005-08-19 2007-05-10 Krohne Ag Massendurchflußmeßgerät
US7467027B2 (en) * 2006-01-26 2008-12-16 Mks Instruments, Inc. Compensation for thermal siphoning in mass flow controllers
JP5073949B2 (ja) 2006-02-02 2012-11-14 日立オートモティブシステムズ株式会社 流量測定装置
JP5209232B2 (ja) * 2007-05-24 2013-06-12 アズビル株式会社 熱式流量計
US7546200B2 (en) * 2007-10-31 2009-06-09 Roy Dwayne Justice Systems and methods for determining and displaying volumetric efficiency
WO2009070301A2 (en) * 2007-11-26 2009-06-04 Wallis Douglas E Apparatus and method for mass air measuring
JP4906815B2 (ja) * 2008-08-21 2012-03-28 日立オートモティブシステムズ株式会社 内燃機関の制御装置
DE102010014599A1 (de) * 2010-04-09 2010-11-18 Continental Automotive Gmbh Luftmassenmesser
US9146172B2 (en) * 2011-01-03 2015-09-29 Sentinel Hydrosolutions, Llc Non-invasive thermal dispersion flow meter with chronometric monitor for fluid leak detection
US9759632B2 (en) 2011-01-03 2017-09-12 Sentinel Hydrosolutions, Llc Non-invasive thermal dispersion flow meter with chronometric monitor for fluid leak detection and freeze burst prevention
US11608618B2 (en) 2011-01-03 2023-03-21 Sentinel Hydrosolutions, Llc Thermal dispersion flow meter with fluid leak detection and freeze burst prevention
US11814821B2 (en) 2011-01-03 2023-11-14 Sentinel Hydrosolutions, Llc Non-invasive thermal dispersion flow meter with fluid leak detection and geo-fencing control
JP5851358B2 (ja) * 2012-07-12 2016-02-03 日立オートモティブシステムズ株式会社 内燃機関の制御装置
JP5961592B2 (ja) * 2013-08-06 2016-08-02 日立オートモティブシステムズ株式会社 熱式質量流量計
DE102013215921A1 (de) * 2013-08-12 2015-03-05 Continental Automotive Gmbh Luftmassenmesser
JP2015203644A (ja) * 2014-04-15 2015-11-16 ルネサスエレクトロニクス株式会社 回転数測定装置、回転数測定方法および流量測定装置
JP6464709B2 (ja) 2014-12-09 2019-02-06 株式会社デンソー エアフロメータ
US10125710B2 (en) * 2015-02-17 2018-11-13 GM Global Technology Operations LLC Detection of reversion based on mass air flow sensor readings
JP6506681B2 (ja) * 2015-11-13 2019-04-24 日立オートモティブシステムズ株式会社 空気流量測定装置
KR101694077B1 (ko) * 2015-11-18 2017-01-06 현대자동차주식회사 차량의 공조 제어 방법
US10578062B2 (en) * 2016-01-13 2020-03-03 NJK Precision LLC Mass airflow sensor signal processing method
US10458828B2 (en) * 2017-02-07 2019-10-29 Honeywell International Inc. Flow sensor heater circuit calibration
JP6312885B1 (ja) * 2017-03-15 2018-04-18 三菱電機株式会社 熱式空気流量計
JP2019100182A (ja) * 2017-11-28 2019-06-24 トヨタ自動車株式会社 吸入空気量計測装置
US11209298B2 (en) * 2018-04-27 2021-12-28 Hitachi Metals, Ltd. Thermal mass flow sensor with improved accuracy
WO2019239726A1 (ja) * 2018-06-13 2019-12-19 日立オートモティブシステムズ株式会社 物理量検出装置
DE102023205862A1 (de) 2023-06-22 2024-04-04 Vitesco Technologies GmbH Verfahren und Gassensor zum Ermitteln der Konzentration einer Gaskomponente in einem Gasgemisch und/oder der Temperatur des Gasgemischs und Batterieanordnung

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH06265565A (ja) * 1993-03-12 1994-09-22 Yamatake Honeywell Co Ltd 気体の流速検出装置
JPH0894406A (ja) * 1994-09-27 1996-04-12 Tokyo Gas Co Ltd 流速センサの出力補正装置および流量計
JPH0915013A (ja) * 1995-06-26 1997-01-17 Hitachi Ltd 熱式空気流量測定方法及び測定装置
DE19652026A1 (de) * 1995-12-13 1997-06-19 Hitachi Ltd Vorrichtung und Verfahren zur Luftmengenmessung
JPH11316145A (ja) * 1998-05-06 1999-11-16 Hitachi Ltd 空気流量計測装置
EP0961105A1 (de) * 1998-05-27 1999-12-01 Hitachi, Ltd. Luftströmungsmessvorrichtung

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB1455021A (en) * 1973-02-07 1976-11-10 Croftshaw Engs Ltd Material flowrate monitoring system
US4177950A (en) * 1978-02-16 1979-12-11 Westinghouse Electric Corp. Control for a power plant coal mill pulverizer having feedforward damper positioning
JPH0752124B2 (ja) 1985-06-26 1995-06-05 松下電器産業株式会社 赤外線検出素子
US4926340A (en) * 1986-07-10 1990-05-15 Rosemount Inc. Low power process measurement transmitter
US5329818A (en) * 1992-05-28 1994-07-19 Rosemount Inc. Correction of a pressure indication in a pressure transducer due to variations of an environmental condition
DE4410789A1 (de) 1994-03-28 1995-10-05 Bosch Gmbh Robert Verfahren zur Korrektur des Ausgangssignales eines Luftmassenmessers
US5750889A (en) * 1994-06-13 1998-05-12 Hitachi, Ltd. Air flow rate measuring apparatus and air flow rate measuring method
JPH0915103A (ja) 1995-07-01 1997-01-17 Horiba Ltd 排気ガステスト記述ファイルとそれを用いた排気ガス計測制御方法

Patent Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH06265565A (ja) * 1993-03-12 1994-09-22 Yamatake Honeywell Co Ltd 気体の流速検出装置
JPH0894406A (ja) * 1994-09-27 1996-04-12 Tokyo Gas Co Ltd 流速センサの出力補正装置および流量計
JPH0915013A (ja) * 1995-06-26 1997-01-17 Hitachi Ltd 熱式空気流量測定方法及び測定装置
DE19652026A1 (de) * 1995-12-13 1997-06-19 Hitachi Ltd Vorrichtung und Verfahren zur Luftmengenmessung
JPH11316145A (ja) * 1998-05-06 1999-11-16 Hitachi Ltd 空気流量計測装置
DE19920961A1 (de) * 1998-05-06 1999-11-25 Hitachi Ltd Luftdurchflußmengen-Meßvorrichtung
EP0961105A1 (de) * 1998-05-27 1999-12-01 Hitachi, Ltd. Luftströmungsmessvorrichtung
JPH11337382A (ja) * 1998-05-27 1999-12-10 Hitachi Ltd 発熱抵抗体式空気流量測定装置

Also Published As

Publication number Publication date
US7457711B2 (en) 2008-11-25
US20060217901A1 (en) 2006-09-28
DE10245655A1 (de) 2004-01-22
JP4130877B2 (ja) 2008-08-06
US20040002821A1 (en) 2004-01-01
JP2004020454A (ja) 2004-01-22
US6839643B2 (en) 2005-01-04
US20050109121A1 (en) 2005-05-26

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE10245655B4 (de) Durchflußmesser und Durchflußmessersystem
DE19920961B4 (de) Luftdurchflußmengen-Meßvorrichtung
DE19546182C2 (de) Verfahren und Vorrichtung zur verbesserten Fluß- und Druck-Messung und -Steuerung
EP0804717B1 (de) Ultraschall-durchflussmessverfahren
DE102005018272B4 (de) Verfahren und Vorrichtung zum Betreiben einer Brennkraftmaschine
DE19543236C2 (de) Einlaßluftmengen-Meßvorrichtung für Verbrennungsmotoren
DE10306805B4 (de) Durchflussmengen-Messgerät
DE3248603A1 (de) Einrichtung zur messung des massendurchsatzes eines stroemenden mediums
DE3427743A1 (de) Verfahren zur temperaturkompensation und messschaltung hierfuer
CH694474A5 (de) Gaszähler und Verwendung des Gaszählers.
DE19636097C2 (de) Luftmengendurchflußmesser und -meßverfahren
DE3128006A1 (de) Saugluftdurchsatz-messeinrichtung
DE2900382A1 (de) Spannungsmesser-druckwandlergeraet
DE19615542A1 (de) Einrichtung zur Motorlastbestimmung für einen Verbrennungsmotor
WO2006111460A1 (de) Drucksensorvorrichtung
DE102004047786A1 (de) Verfahren zur Pulsationskorrektur innerhalb eines einen Medienmassenstrom messenden Messgeräts
DE102013218271A1 (de) Thermisches Luftflussmeter
DE19580750C2 (de) Luftströmungsraten-Messvorrichtung
DE4011950C2 (de) Steuervorrichtung für eine Brennkraftmaschine
DE3100462A1 (de) Vorrichtung zum messen der stroemungsgroesse der ansaugluft einer brennkraftmaschine
DE69430508T2 (de) Hitzdraht Luftdurchflussmesser
DE69119462T2 (de) Hitzdraht-Anemometer
EP0955524A2 (de) Luftmassensensor
DE4114170C2 (de)
DE3309404C2 (de)

Legal Events

Date Code Title Description
OP8 Request for examination as to paragraph 44 patent law
8364 No opposition during term of opposition
R081 Change of applicant/patentee

Owner name: HITACHI ASTEMO, LTD., HITACHINAKA-SHI, JP

Free format text: FORMER OWNERS: HITACHI, LTD., TOKYO, JP; HITACHI CAR ENGINEERING CO., LTD., HITACHINAKA, IBARAKI, JP

R071 Expiry of right