DE10242657A1

DE10242657A1 - Differenzfilter mit Gleichtaktunterdrückung und Breitbandunterdrückung

Info

Publication number: DE10242657A1
Application number: DE10242657A
Authority: DE
Inventors: Michael Louis Frank
Original assignee: Agilent Technologies Inc
Current assignee: Avago Technologies International Sales Pte Ltd
Priority date: 2001-12-13
Filing date: 2002-09-13
Publication date: 2003-07-17
Anticipated expiration: 2022-09-14
Also published as: GB2383208A; US20030112098A1; GB0228773D0; DE10242657B4; GB2383208B; JP2003198324A; US6600390B2

Abstract

Ein Differenzfilter umfaßt einen ersten Eingang, einen zweiten Eingang, einen ersten Ausgang, einen zweiten Ausgang und eine Mehrzahl akustischer Resonatorelemente. Die Mehrzahl akustischer Resonatorelemente ist mit dem ersten Eingang, dem zweiten Eingang, dem ersten Ausgang und dem zweiten Ausgang verbunden. Die akustischen Resonatorelemente sind angeordnet, um zumindest zwei Strukturen einer Gitter-Struktur, einer Voll-Leiter-Struktur und einer gepaarten Halb-Leiter-Struktur zu bilden.

Description

Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf Schaltungen, die für Kommunikationssysteme verwendet werden, und insbesondere auf Differenzfilter mit Gleichtaktunterdrückung und Breitbandunterdrückung.

Für Anwendungen, wie zum Beispiel Mobiltelephone, ist es wünschenswert, die Größe von Komponenten zu reduzieren. Insbesondere ist es wünschenswert, HF-Duplexer und Filter als Teil eines Radio-auf-Chip (radio-on-a-chip) mit einer ohne weiteres herzustellenden Technologie zu integrieren.

Akustische Volumenresonatoren wurden verwendet, um Filter zu implementieren. Ein Vorteil der Verwendung akustischer Resonatoren besteht darin, daß die Schallgeschwindigkeit etwa drei bis vier Größenordnungen kleiner als die Lichtgeschwindigkeit ist, wodurch die Wellenlängen und so die Abmessungen einer Vorrichtung verglichen mit herkömmlichen (L-C-)Speicherkreisen (Tankschaltungen) klein werden.

Es gibt zwei breite Klassen von Schaltungen: unsymmetrische und symmetrische Schaltungen. Unsymmetrische bzw. Eintakt- Filterschaltungen entsprechen einem Signal, das auf Masse bezogen ist. Symmetrische Filterschaltungen entsprechen vorzugsweise Signalen, die aufeinander bezogen sind.

Es gibt zahlreiche Weisen zum Ausgleichen von Schaltungen. Eine Schaltungsstruktur kann zum Beispiel mit drei Phasen (Moden) gebildet sein. Eine Dreiphasenleistungszuführung wird auf eine von zwei Weisen, nämlich Ypsilon (Y) und Delta (Δ), durchgeführt. Für die Phasenleistungszuführung auf Delta-Weise wird Leistung auf drei Leitungen zugeführt. Es gibt keinen Masseknoten. Alle Spannungen sind hinsichtlich einander definiert. Jedes der Signale auf den drei Leitungen ist um 120 Grad phasenverschoben hinsichtlich den Signalen auf den beiden anderen Leitungen.

Für die Phasenleistungszuführung auf Ypsilon-Weise ist eine Masse ausreichend nahe angeordnet, um Ströme von den Übertragungsleitungen zu induzieren. Wenn eine einzelne Phase abgezogen wird, wird ein Stör-Ypsilon-Modus definiert. So kann der Ypsilon-Modus verwendet werden, um einen unsymmetrischen Leistungsausgang einer Leistungsleitung zu liefern. Ein Ypsilon-Modus kann jedoch als ein Störmodus bei Leitungen gebildet sein, die in einer Ypsilon-Bildung gebildet sind. Es ist außerdem möglich, eine symmetrische Schaltungsstruktur mit nur zwei Phasen zu bilden. Eine derartige Schaltung wird Differenzschaltung genannt. In diesem Fall sind Signale auf zwei Leitungen um 180 Grad phasenverschoben. Wenn die beiden Signale nicht symmetrisch (balanced) sind, zeigt sich die zusätzliche Energie als ein unsymmetrischer (single-ended) Ausdruck, der Gleichtakt genannt wird. Tatsächlich hat jedes der im übrigen phasenverschobenen Signale auch eine bestimmte Gleichphasenenergie. Der Gleichtakt muß nicht die gleiche Frequenz wie der Differenzmodus sein.

Es gibt zwei Quellen eines Gleichtaktes. Das Netzwerk selbst kann nicht symmetrisch sein, wobei die resultierende Unsymmetrie einen Gleichtakt bewirkt. Dies ist typisch für eine passive Struktur. Und wenn das Eingangssignal nicht vollständig symmetrisch ist, gibt es einen Gleichtakt im Verhältnis zu diesem Mangel an Symmetrie. Dieser Mangel an Symmetrie an dem Eingang kann innerhalb des Netzes ausgeglichen werden, wie dies typisch bei einer integrierten Schaltung, wie zum Beispiel einem Differenzverstärker, ist. Insbesondere kann diese Symmetrie durch eine Gleichtaktunterdrückung wiederhergestellt werden. Für eine allgemeine Erläuterung der Gleichtaktunterdrückung siehe zum Beispiel Paul Gray und Robert Meyer "Analysis and Design of Analog Integrated Circuits", 2^nd edition, Wiley, 1977, 1984.

Es gibt gleichwertig Eintakt- und symmetrische Bandpaßfilter. Es gibt viele Formen von Eintaktfiltern. Wenn dieselben auf zweidimensionale Resonator-basierte Vorrichtungen, wie zum Beispiel Filter, die akustische Filmvolumenresonatoren (FBAR) verwenden, beschränkt sind, wird die Anzahl von Formen stark reduziert. Die Basisstruktur ist eine Halb-Leiter.

Ein Filter unter Verwendung einer Halb-Leiter-Struktur kann durch verschiede Formen einer Kopplung wesentlich verbessert werden. Kopplungspfade können sich um Serienelemente herum befinden. Kopplungspfade können zwischen Nebenschlußelementen sein. Kopplungspfade können zwischen Serien- und Nebenschlußelementen sein. Die Kopplung kann entweder kapazitiv oder induktiv sein. Die kapazitive Kopplung existiert entweder aufgrund der Nähe gedruckter Metalleitungen, durch den Entwurf oder als eine unerwünschte Störung oder von einem direkt gebildeten Kondensator. Die induktive Kopplung kann das Ergebnis sowohl eines Bonddrahtes als auch der Nähe einer gedruckten Metalleitung sein, außerdem entweder durch den Entwurf oder als eine unerwünschte Störung. Diese Modifizierungen können die Neigung und die Durchlaßbreite modifizieren, verändern jedoch nicht die grundlegende Form der Filterantwort.

Ein ähnlich hergestelltes Differenzfilter weist üblicherweise eine von drei Hauptstrukturen auf. Die erste Struktur ist ein Paar von zwei identischen Halb-Leitern (auch eine gepaarte Halb-Leiter-Struktur genannt). Eine zweite Struktur ist eine Voll-Leiter-Struktur. Eine dritte Struktur für ein Differenzfilter ist eine Gitterstruktur.

Jede unterschiedliche Differenzfilterstruktur hat Vorteile und Nachteile. Die Frequenzantwort eines Differenzfilters mit einer Leiter-Struktur unterscheidet sich ziemlich von der Frequenzantwort eines Differenzfilters mit einer Gitterstruktur. Ein Differenzfilter mit einer Leiter-Struktur neigt dazu, eine sehr steile Unterdrückungs- bzw. Sperrantwort, gefolgt durch ein Zurückkehren zu einem geringeren Sperren, aufzuweisen. Ein Differenzfilter mit einer Leiter- Struktur ist üblicherweise sehr effektiv beim Blockieren von Signalen nahe dem Durchlaßband, jedoch schlecht beim Sperren weiterer Frequenzen. Ein Differenzfilter mit einer Gitterstruktur sperrt Frequenzen weiter weg von dem Durchlaßband sehr gut, nicht jedoch Frequenzen näher an dem Durchlaßband.

Differenzfilter haben sowohl Differenz- als auch Gleichtaktantworten. Differenzfilter mit Voll-Leiter-Strukturen und Differenzfilter mit Gitterstrukturen sprechen allgemein nicht gut auf Gleichtaktsignale an. Differenzfilter mit Voll-Leiter-Strukturen und Differenzfilter mit Gitter- Strukturen sind vollständig symmetrisch und tragen so nicht direkt zu einem Gleichtakt bei. Differenzfilter mit Voll- Leiter-Strukturen und Differenzfilter mit Gitterstrukturen haben jedoch keine Einrichtung zum Sperren eines Gleichtaktes, der bereits in dem Eingangssignal enthalten ist. Üblicherweise gibt es die wesentliche Unsymmetrie an dem Eingang in jedes Netzwerk.

Differenzfilter mit gepaarten Halb-Leiter-Strukturen sperren einen Gleichtakt direkt. Differenzfilter mit gepaarten Halb-Leiter-Strukturen sind jedoch tatsächlich zwei separate Filter, wobei es schwierig ist, zwei separate Filter auszugleichen. Die Unsymmetrie resultiert in mehr Gleichtakt. Die Schwierigkeit beim Ausgleichen zweier Halb- Leiter-Strukturen steigert sich durch die Natur einer Halb- Leiter-Struktur. Jedes Nebenschlußelement ist einzeln geerdet. Die Massepfade sind abhängig von der Geometrie, so daß es schwierig ist, diese Massepfade identisch zu machen. Die Induktivität in dem Pfad zur Masse hat eine Auswirkung, was die Neigung des Übergangs von dem Durchlaßband zu dem Sperrband reduziert. Dieser Effekt kann abhängig von den Filteranforderungen entweder nützlich oder schädlich sein.

Es ist die Aufgabe der vorliegenden Erfindung, ein Differenzfilter mit verbesserter Gleichtaktunterdrückung zu schaffen.

Diese Aufgabe wird durch ein Differenzfilter gemäß Anspruch 1 gelöst.

Gemäß dem bevorzugten Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung umfaßt ein Differenzfilter einen ersten Eingang, einen zweiten Eingang, einen ersten Ausgang, einen zweiten Ausgang und eine Mehrzahl akustischer Resonatorelemente. Die Mehrzahl akustischer Resonatorelemente ist mit dem ersten Eingang, dem zweiten Eingang, dem ersten Ausgang und dem zweiten Ausgang verbunden. Die akustischen Resonatorelemente sind angeordnet, um sowohl eine Gitterstruktur als auch eine Voll-Leiter-Struktur zu bilden. Bei alternativen Ausführungsbeispielen der vorliegenden Erfindung sind die akustischen Resonatorelemente angeordnet, um sowohl eine Voll-Leiter-Struktur als auch eine gepaarte Halb-Leiter- Struktur zu bilden, um sowohl eine Gitterstruktur als auch eine gepaarte Halb-Leiter-Struktur zu bilden, oder um sowohl eine Gitterstruktur, eine Voll-Leiter-Struktur als auch eine gepaarte Halb-Leiter-Struktur zu bilden.

Bevorzugte Ausführungsbeispiele der vorliegenden Erfindung werden nachfolgend Bezug nehmend auf die beigefügten Zeichnungen näher erläutert. Es zeigen:
Fig. 1 ein vereinfachtes Blockdiagramm einer Differenzfilterschaltung gemäß einem bevorzugten Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung, die ein Gitterstruktursegment, ein Voll-Leiter-Struktur- Segment und ein gepaartes Halb-Leiter-Struktur- Segment umfaßt;
Fig. 2 ein vereinfachtes Blockdiagramm einer Differenzfilterschaltung gemäß einem bevorzugten Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung, die ein Gitterstruktursegment, ein Voll-Leiter-Struktur- Segment und ein gepaartes Halb-Leiter-Struktur- Segment umfaßt;
Fig. 3 ein vereinfachtes Blockdiagramm einer Differenzfilterschaltung gemäß einem bevorzugten Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung, die ein Gitterstruktursegment und ein Voll-Leiter- Struktur-Segment umfaßt;
Fig. 4 ein vereinfachtes Blockdiagramm einer Differenzfilterschaltung gemäß einem bevorzugten Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung, die ein Gitterstruktursegment und ein gepaartes Halb- Leiter-Struktur-Segment umfaßt; und
Fig. 5 ein vereinfachtes Blockdiagramm einer Differenzfilterschaltung gemäß einem bevorzugten Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung, die ein Voll-Leiter-Struktur-Segment und ein gepaartes Halb-Leiter-Struktur-Segment umfaßt.
Fig. 1 ist ein vereinfachtes Blockdiagramm einer Differenzfilterschaltung. Die Differenzfilterschaltung umfaßt einen Eingang 11, einen Eingang 12, einen Ausgang 13 und einen Ausgang 14. Die Differenzfilterschaltung umfaßt außerdem ein akustisches Resonatorelement (ARE) 16, ein akustisches Resonatorelement 17, ein akustisches Resonatorelement 18, ein akustisches Resonatorelement 19, ein akustisches Resonatorelement 20, ein akustisches Resonatorelement 21, ein akustisches Resonatorelement 22, ein akustisches Resonatorelement 23 und ein akustisches Resonatorelement 24, die wie gezeigt verbunden sind. Jedes akustische Resonatorelement ist zum Beispiel ein akustischer Filmvolumenresonator (FBAR). Alternativ kann jedes akustische Resonatorelement ein anderer Typ von akustischem Resonatorelement, wie zum Beispiel ein Oberflächenwellenbauelement (SAW-Bauelement), sein.
Bei der in Fig. 1 gezeigten Differenzfilterschaltung sind die akustischen Resonatorelemente 16 bis 24 angeordnet, um eine Gitterstruktur, eine Voll-Leiter-Struktur und eine gepaarte Halb-Leiter-Struktur zu bilden.
Die Gitterstruktur ist durch die akustischen Resonatorelemente 16, 17, 18 und 19 gebildet. Eine Gitterstruktur ist eine Struktur, bei der zumindest ein akustisches Resonatorelement in einer Serienschaltung zwischen jeden Eingang und jeden Ausgang der Gitterstruktur geschaltet ist. So ist in Fig. 1 das ARE 16 zwischen den Eingang 11 und einen Strukturausgang (Knoten 28) geschaltet. Das ARE 17 ist zwischen den Eingang 11 und einen Strukturausgang (Knoten 29) geschaltet. Das ARE 18 ist zwischen den Eingang 12 und den Strukturausgang 28 geschaltet. Das ARE 19 ist zwischen den Eingang 12 und den Strukturausgang 29 geschaltet.
Die Voll-Leiter-Struktur ist durch die akustischen Resonatorelemente 20, 21 und 22 gebildet. Der Knoten 28 wirkt als ein erster Eingang für die Voll-Leiter-Struktur. Der Knoten 29 wirkt als ein zweiter Eingang für die Voll-Leiter- Struktur. Der Ausgang 13 wirkt als ein erster Ausgang für die Voll-Leiter-Struktur. Der Ausgang 14 wirkt als ein zweiter Ausgang für die Voll-Leiter-Struktur.
Eine Voll-Leiter-Struktur ist eine Struktur, bei der zumindest ein akustisches Resonatorelement zwischen einen ersten Eingang und einen ersten Ausgang der Struktur geschaltet ist, zumindest ein akustisches Resonatorelement zwischen einen zweiten Eingang und einen zweiten Ausgang der Struktur geschaltet ist und zumindest ein akustischer Resonator in einer Nebenschlußschaltung zwischen ein Ende eines akustischen Resonators, der zwischen den ersten Eingang und den ersten Ausgang der Voll-Leiter-Struktur geschaltet ist, und ein Ende eines akustischen Resonators geschaltet ist, der zwischen den zweiten Eingang und den zweiten Ausgang der Voll-Leiter-Struktur geschaltet ist.
In Fig. 1 ist das ARE 21 zwischen den Eingang 28 der Voll- Leiter-Struktur und den Ausgang 13 der Voll-Leiter-Struktur geschaltet. Das ARE 22 ist zwischen den Eingang 29 der Voll-Leiter-Struktur und den Ausgang 14 der Voll-Leiter- Struktur geschaltet. Das ARE 20 ist zwischen ein Ende des ARE 21 und ein Ende des ARE 22 geschaltet.
Die gepaarte Halb-Leiter-Struktur ist durch die akustischen Resonatorelemente 21, 22, 23 und 24 gebildet. Der Knoten 28 wirkt als ein erster Eingang für die gepaarte Halb-Leiter- Struktur. Der Knoten 29 wirkt als ein zweiter Eingang für die gepaarte Halb-Leiter-Struktur. Der Ausgang 13 wirkt als ein erster Ausgang für die gepaarte Halb-Leiter-Struktur. Der Ausgang 14 wirkt als ein zweiter Ausgang für die gepaarte Halb-Leiter-Struktur.
Eine gepaarte Halb-Leiter-Struktur ist eine Struktur, bei der zumindest ein akustisches Resonatorelement zwischen einen ersten Eingang und einen ersten Ausgang der Struktur geschaltet ist, zumindest ein akustisches Resonatorelement zwischen einen zweiten Eingang und einen zweiten Ausgang der Struktur geschaltet ist, zumindest ein akustischer Resonator in einer Nebenschlußschaltung zwischen eine Referenzspannung und ein Ende eines akustischen Resonators geschaltet ist, der zwischen den ersten Eingang und den ersten Ausgang der gepaarten Halb-Leiter-Struktur geschaltet ist, und zumindest ein akustischer Resonator in einer Nebenschlußschaltung zwischen die Referenzspannung und ein Ende eines akustischen Resonators geschaltet ist, der zwischen den zweiten Eingang und den zweiten Ausgang der gepaarten Halb-Leiter-Struktur geschaltet ist.
In Fig. 1 ist das ARE 21 zwischen den Eingang 28 der gepaarten Halb-Leiter-Struktur und den Ausgang 13 der gepaarten Halb-Leiter-Struktur geschaltet. Das ARE 22 ist zwischen den Eingang 29 der gepaarten Halb-Leiter-Struktur und den Ausgang 14 der gepaarten Halb-Leiter-Struktur geschaltet. Das ARE 23 ist zwischen eine Referenzspannung 15 und ein Ende des ARE 21 geschaltet. Das ARE 24 ist zwischen eine Referenzspannung 15 und ein Ende des ARE 22 geschaltet.
Das in Fig. 1 gezeigte Differenzfilter hat sowohl Leiter- als auch Gittersperrcharakteristika und weist das Gleichtaktverhalten der gepaarten Halb-Leiter auf. Fig. 1 kombiniert so eine Differenz- und eine Gleichtaktunterdrückung in einer einzelnen Schaltung. Die Halb-Leiter-Struktur liefert eine Gleichtaktunterdrückung. Zumindest eine gepaarte Halb-Leiter wird für eine Gleichtaktunterdrückung benötigt.
Die Differenzunterdrückung für das Differenzfilter, das in Fig. 1 gezeigt ist, wird durch die Voll-Leiter-Struktur und die Gitterstruktur geliefert. Allgemein werden einer oder mehrere Voll-Leiter-Abschnitte, einer oder mehrere Gitter- Abschnitte oder eine Kombination von Voll-Leiter- Abschnitten und Gitter-Abschnitten benötigt, um eine Differenzunterdrückung zu liefern.
Es ist zusätzlich anzumerken, daß das in Fig. 1 gezeigte Differenzfilter eine Unterdrückung mit der Kombination der Leiter-Charakteristik und der Gitter-Charakteristik liefert. Um diesen Typ von Unterdrückung zu liefern, werden zumindest ein Gitter-Abschnitt und entweder eine oder mehrere gepaarte Halb-Leitern, einer oder mehrere Voll-Leiter- Abschnitte oder einer oder mehrere von einem gepaarten Halb-Leiter-Abschnitt und einem Voll-Leiter-Abschnitt benötigt.
Fig. 1 ist nur ein Ausführungsbeispiel eines Differenzfilters, das die Merkmale der vorliegenden Erfindung enthält. Das in Fig. 1 gezeigte Differenzfilter könnte zum Beispiel zusätzliche Gitter-Abschnitte, zusätzliche gepaarte Halb- Leiter-Abschnitte und/oder zusätzliche Voll-Leiter- Abschnitte umfassen. Ein Beispiel hierfür ist in Fig. 2 unten gezeigt.
Fig. 2 ist ein vereinfachtes Blockdiagramm einer Differenzfilterschaltung. Die Differenzfilterschaltung umfaßt einen Eingang 91, einen Eingang 92, einen Ausgang 93 und einen Ausgang 94. Die Differenzfilterschaltung umfaßt außerdem ein akustisches Resonatorelement (ARE) 96, ein akustisches Resonatorelement 97, ein akustisches Resonatorelement 98, ein akustisches Resonatorelement 99, ein akustisches Resonatorelement 100, ein akustisches Resonatorelement 101, ein akustisches Resonatorelement 102, ein akustisches Resonatorelement 103, ein akustisches Resonatorelement 104, ein akustisches Resonatorelement 105, ein akustisches Resonatorelement 106 und ein akustisches Resonatorelement 107, die wie gezeigt verbunden sind. Jedes akustische Resonatorelement ist zum Beispiel ein akustischer Filmvolumenresonator (FBAR). Alternativ kann jedes akustische Resonatorelement ein anderer Typ von akustischem Resonatorelement, wie zum Beispiel ein Oberflächenwellenbauelement (SAW-Bauelement), sein.
Bei der in Fig. 2 gezeigten Differenzfilterschaltung sind die akustischen Resonatorelemente 96 bis 107 angeordnet, um eine Gitterstruktur, eine Voll-Leiter-Struktur und eine gepaarte Halb-Leiter-Struktur zu bilden.
Die Gitter-Struktur ist durch die akustischen Resonatorelemente 96, 97, 98 und 99 gebildet. Eine Gitter-Struktur ist eine Struktur, bei der zumindest ein akustisches Resonatorelement in einer Serienschaltung zwischen jeden Eingang und jeden Ausgang der Gitterstruktur geschaltet ist. So ist in Fig. 2 das ARE 96 zwischen den Eingang 91 und einen Strukturausgang (Knoten 108) geschaltet. Das ARE 97 ist zwischen den Eingang 91 und einen Strukturausgang (Knoten 109) geschaltet. Das ARE 98 ist zwischen den Eingang 92 und den Strukturausgang 108 geschaltet. Das ARE 99 ist zwischen den Eingang 92 und den Strukturausgang 109 geschaltet.
Die Voll-Leiter-Struktur (einschließlich zweier Voll- Leiter-Abschnitte) ist durch die akustischen Resonatorelemente 100, 101, 102, 103, 104 und 105 gebildet. Der Knoten 108 wirkt als ein erster Eingang für die Voll-Leiter- Struktur. Der Knoten 109 wirkt als ein zweiter Eingang für die Voll-Leiter-Struktur. Der Ausgang 93 wirkt als ein erster Ausgang für die Voll-Leiter-Struktur. Der Ausgang 94 wirkt als ein zweiter Ausgang für die Voll-Leiter-Struktur.
Eine Voll-Leiter-Struktur ist eine Struktur, bei der zumindest ein akustisches Resonatorelement zwischen einen ersten Eingang und einen ersten Ausgang der Struktur geschaltet ist, zumindest ein akustisches Resonatorelement zwischen einen zweiten Eingang und einen zweiten Ausgang der Struktur geschaltet ist und zumindest ein akustischer Resonator in einer Nebenschlußschaltung zwischen ein Ende eines akustischen Resonators, der zwischen den ersten Eingang und den ersten Ausgang der Voll-Leiter-Struktur geschaltet ist, und ein Ende eines akustischen Resonators geschaltet ist, der zwischen den zweiten Eingang und den zweiten Ausgang der Voll-Leiter-Struktur geschaltet ist.
In Fig. 2 sind das ARE 101 und das ARE 104 zwischen den Eingang 108 der Voll-Leiter-Struktur und den Ausgang 93 der Voll-Leiter-Struktur geschaltet. Das ARE 102 und das ARE 105 sind zwischen den Eingang 109 der Voll-Leiter-Struktur und den Ausgang 94 der Voll-Leiter-Struktur geschaltet. Das ARE 100 ist zwischen ein Ende des ARE 101 und ein Ende des ARE 102 geschaltet. Das ARE 103 ist zwischen ein Ende des ARE 104 und ein Ende des ARE 105 geschaltet.
Die gepaarte Halb-Leiter-Struktur ist durch die akustischen Resonatorelemente 104, 105, 106 und 107 gebildet. Der Knoten 118 wirkt als ein erster Eingang für die gepaarte Halb- Leiter-Struktur. Der Knoten 119 wirkt als ein zweiter Eingang für die gepaarte Halb-Leiter-Struktur. Der Ausgang 93 wirkt als ein erster Ausgang für die gepaarte Halb-Leiter- Struktur. Der Ausgang 94 wirkt als ein zweiter Ausgang für die gepaarte Halb-Leiter-Struktur.
Eine gepaarte Halb-Leiter-Struktur ist eine Struktur, bei der zumindest ein akustisches Resonatorelement zwischen einen ersten Eingang und einen ersten Ausgang der Struktur geschaltet ist, zumindest ein akustisches Resonatorelement zwischen einen zweiten Eingang und einen zweiten Ausgang der Struktur geschaltet ist, zumindest ein akustischer Resonator in einer Nebenschlußschaltung zwischen eine Referenzspannung und ein Ende eines akustischen Resonators geschaltet ist, der zwischen den ersten Eingang und den ersten Ausgang der gepaarten Halb-Leiter-Struktur geschaltet ist, und zumindest ein akustischer Resonator in einer Nebenschlußschaltung zwischen die Referenzspannung und ein Ende eines akustischen Resonators geschaltet ist, der zwischen den zweiten Eingang und den zweiten Ausgang der gepaarten Halb-Leiter-Struktur geschaltet ist.
In Fig. 2 ist das ARE 104 zwischen den Eingang 118 der gepaarten Halb-Leiter-Struktur und den Ausgang 93 der gepaarten Halb-Leiter-Struktur geschaltet. Das ARE 105 ist zwischen den Eingang 119 der gepaarten Halb-Leiter-Struktur und den Ausgang 94 der gepaarten Halb-Leiter-Struktur geschaltet. Das ARE 106 ist zwischen eine Referenzspannung 95 und ein Ende des ARE 104 geschaltet. Das ARE 107 ist zwischen eine Referenzspannung 95 und ein Ende des ARE 105 geschaltet.
Das in Fig. 2 gezeigte Differenzfilter hat sowohl Leiter- als auch Gittersperrcharakteristika und hat das Gleichtaktverhalten der gepaarten Halb-Leiter. Fig. 2 kombiniert so Differenz- und Gleichtaktunterdrückung in einer einzelnen Schaltung. Die Halb-Leiter-Struktur liefert eine Gleichtaktunterdrückung.
Fig. 3 ist ein vereinfachtes Blockdiagramm einer Differenzfilterschaltung, die ein Gitter-Struktur-Segment und ein Voll-Leiter-Struktur-Segment umfaßt. Die Differenzfilterschaltung umfaßt einen Eingang 31, einen Eingang 32, einen Ausgang 33 und einen Ausgang 34. Die Differenzfilterschaltung umfaßt außerdem ein akustisches Resonatorelement (ARE) 36, ein akustisches Resonatorelement 37, ein akustisches Resonatorelement 38, ein akustisches Resonatorelement 39, ein akustisches Resonatorelement 40, ein akustisches Resonatorelement 41, ein akustisches Resonatorelement 42, ein akustisches Resonatorelement 43, ein akustisches Resonatorelement 44 und ein akustisches Resonatorelement 45, die wie gezeigt verbunden sind. Jedes akustische Resonatorelement ist zum Beispiel ein akustischer Filmvolumenresonator (FBAR). Alternativ kann jedes akustische Resonatorelement ein anderer Typ von akustischem Resonatorelement, wie zum Beispiel ein Oberflächenwellenbauelement (SAW-Bauelement), sein.
In der in Fig. 3 gezeigten Differenzfilterschaltung sind die akustischen Resonatorelemente 36 bis 45 angeordnet, um eine Gitter-Struktur und eine Voll-Leiter-Struktur zu bilden.
Die Gitter-Struktur ist durch die akustischen Resonatorelemente 36, 37, 38 und 39 gebildet. Eine Gitter-Struktur ist eine Struktur, bei der zumindest ein akustisches Resonatorelement in einer Serienschaltung zwischen jeden Eingang und jeden Ausgang der Gitter-Struktur geschaltet ist. So ist in Fig. 3 das ARE 36 zwischen den Eingang 31 und einen Strukturausgang (Knoten 48) geschaltet. Das ARE 37 ist zwischen den Eingang 31 und einen Strukturausgang 49 (Knoten 49) geschaltet. Das ARE 38 ist zwischen den Eingang 32 und den Strukturausgang 48 geschaltet. Das ARE 39 ist zwischen den Eingang 32 und den Strukturausgang 49 geschaltet.
Die Voll-Leiter-Struktur ist durch die akustischen Resonatorelemente 40, 41, 42, 43, 44 und 45 gebildet. Der Knoten 48 wirkt als ein erster Eingang für die Voll-Leiter- Struktur. Der Knoten 49 wirkt als ein zweiter Eingang für die Voll-Leiter-Struktur. Der Ausgang 33 wirkt als ein erster Ausgang für die Voll-Leiter-Struktur. Der Ausgang 34 wirkt als ein zweiter Ausgang für die Voll-Leiter-Struktur.
Eine Voll-Leiter-Struktur ist eine Struktur, bei der zumindest ein akustisches Resonatorelement zwischen einen ersten Eingang und einen ersten Ausgang der Struktur geschaltet ist, zumindest ein akustisches Resonatorelement, zwischen einen zweiten Eingang und einen zweiten Ausgang der Struktur geschaltet ist und zumindest ein akustischer Resonator in einer Nebenschlußschaltung zwischen ein Ende eines akustischen Resonators, der zwischen den ersten Eingang und den ersten Ausgang der Voll-Leiter-Struktur geschaltet ist, und ein Ende eines akustischen Resonators geschaltet ist, der zwischen den zweiten Eingang und den zweiten Ausgang der Voll-Leiter-Struktur geschaltet ist.
In Fig. 3 sind das ARE 41 und das ARE 44 zwischen den Eingang 48 der Voll-Leiter-Struktur und den Ausgang 33 der Voll-Leiter-Struktur geschaltet. Das ARE 42 und das ARE 45 sind zwischen den Eingang 49 der Voll-Leiter-Struktur und den Ausgang 34 der Voll-Leiter-Struktur geschaltet. Das ARE 40 ist zwischen ein Ende des ARE 41 und ein Ende des ARE 42 geschaltet. Das ARE 43 ist zwischen ein Ende des ARE 44 und ein Ende des ARE 45 geschaltet.
Das in Fig. 3 gezeigte Differenzfilter hat sowohl Leiter- als auch Gittersperrcharakteristik.
Fig. 4 ist ein vereinfachtes Blockdiagramm einer Differenzfilterschaltung, die ein Gitterstruktursegment und ein gepaartes Halb-Leiter-Struktur-Segment umfaßt. Die Differenzfilterschaltung umfaßt einen Eingang 51, einen Eingang 52, einen Ausgang 53 und einen Ausgang 54. Die Differenzfilterschaltung umfaßt außerdem ein akustisches Resonatorelement (ARE) 56, ein akustisches Resonatorelement 57, ein akustisches Resonatorelement 58, ein akustisches Resonatorelement 59, ein akustisches Resonatorelement 60, ein akustisches Resonatorelement 61, ein akustisches Resonatorelement 62, ein akustisches Resonatorelement 63, ein akustisches Resonatorelement 64, ein akustisches Resonatorelement 65, ein akustisches Resonatorelement 66 und ein akustisches Resonatorelement 67, die wie gezeigt verbunden sind. Jedes akustische Resonatorelement ist zum Beispiel ein akustischer Filmvolumenresonator (FBAR). Alternativ kann jedes akustische Resonatorelement ein anderer Typ von akustischem Resonatorelement, wie zum Beispiel ein Oberflächenwellenbauelement (SAW-Bauelement), sein.
In der in Fig. 4 gezeigten Differenzfilterschaltung sind die akustischen Resonatorelemente 56 bis 67 angeordnet, um eine Gitterstruktur und eine gepaarte Halb-Leiter-Struktur zu bilden.
Die Gitter-Struktur ist durch die akustischen Resonatorelemente 56, 57, 58 und 59 gebildet. Eine Gitterstruktur ist eine Struktur, bei der zumindest ein akustisches Resonatorelement in einer Serienschaltung zwischen jeden Eingang und jeden Ausgang der Gitterstruktur geschaltet ist. So ist in Fig. 4 das ARE 56 zwischen, den Eingang 51 und einen Strukturausgang (Knoten 68) geschaltet. Das ARE 57 ist zwischen den Eingang 51 und einen Strukturausgang (Knoten 69) geschaltet. Das ARE 58 ist zwischen den Eingang 52 und den Strukturausgang 68 geschaltet. Das ARE 59 ist zwischen den Eingang 52 und den Strukturausgang 69 geschaltet.
Die gepaarte Halb-Leiter-Struktur ist durch die akustischen Resonatorelemente 60, 61, 62, 63, 64, 65, 66 und 67 gebildet. Der Knoten 68 wirkt als ein erster Eingang für die gepaarte Halb-Leiter-Struktur. Der Knoten 69 wirkt als ein zweiter Eingang für die gepaarte Halb-Leiter-Struktur. Der Ausgang 53 wirkt als ein erster Ausgang für die gepaarte Halb-Leiter-Struktur. Der Ausgang 54 wirkt als ein zweiter Ausgang für die gepaarte Halb-Leiter-Struktur.
Eine gepaarte Halb-Leiter-Struktur ist eine Struktur, bei der zumindest ein akustisches Resonatorelement zwischen einen ersten Eingang und einen ersten Ausgang der Struktur geschaltet ist, zumindest ein akustisches Resonatorelement zwischen einen zweiten Eingang und einen zweiten Ausgang der Struktur geschaltet ist, zumindest ein akustischer Resonator in einer Nebenschlußschaltung zwischen eine Referenzspannung und ein Ende eines akustischen Resonators geschaltet ist, der zwischen den ersten Eingang und den ersten Ausgang der gepaarten Halb-Leiter-Struktur geschaltet ist, und zumindest ein akustischer Resonator in einer Nebenschlußschaltung zwischen die Referenzspannung und ein Ende eines akustischen Resonators geschaltet ist, der zwischen den zweiten Eingang und den zweiten Ausgang der gepaarten Halb-Leiter-Struktur geschaltet ist.
In Fig. 4 sind das ARE 60 und das ARE 64 zwischen den Eingang 68 der gepaarten Halb-Leiter-Struktur und den Ausgang 53 der gepaarten Halb-Leiter-Struktur geschaltet. Das ARE 61 und das ARE 65 sind zwischen den Eingang 69 der gepaarten Halb-Leiter-Struktur und den Ausgang 54 der gepaarten Halb-Leiter-Struktur geschaltet. Das ARE 62 ist zwischen eine Referenzspannung 55 und ein Ende des ARE 60 geschaltet. Das ARE 63 ist zwischen die Referenzspannung 55 und ein Ende des ARE 61 geschaltet. Das ARE 66 ist zwischen die Referenzspannung 55 und ein Ende des ARE 64 geschaltet. Das ARE 67 ist zwischen die Referenzspannung 55 und ein Ende des ARE 65 geschaltet.
Das in Fig. 4 gezeigte Differenzfilter hat sowohl Leiter- als auch Gittersperrcharakteristika und weist das Gleichtaktverhalten der gepaarten Halb-Leiter auf. Fig. 4 kombiniert so Differenz- und Gleichtaktunterdrückungscharakteristika in einer einzelnen Differenzfilterschaltung.
Fig. 5 ist ein vereinfachtes Blockdiagramm einer Differenzfilterschaltung, die ein Voll-Leiter-Struktur-Segment und ein gepaartes Halb-Leiter-Struktur-Segment umfaßt. Die Differenzfilterschaltung umfaßt einen Eingang 71, einen Eingang 72, einen Ausgang 73 und einen Ausgang 74. Die Differenzfilterschaltung umfaßt außerdem ein akustisches Resonatorelement (ARE) 76, ein akustisches Resonatorelement 77, ein akustisches Resonatorelement 78, ein akustisches Resonatorelement 79, ein akustisches Resonatorelement 80, ein akustisches Resonatorelement 81, ein akustisches Resonatorelement 82, ein akustisches Resonatorelement 83, ein akustisches Resonatorelement 84, ein akustisches Resonatorelement 85, ein akustisches Resonatorelement 86 und ein akustisches Resonatorelement 87, die wie gezeigt verbunden sind. Jedes akustische Resonatorelement ist zum Beispiel ein akustischer Filmvolumenresonator (FBAR). Alternativ kann jedes akustische Resonatorelement ein anderer Typ von akustischem Resonatorelement, wie zum Beispiel ein Oberflächenwellenbauelement (SAW-Bauelement), sein.
In der in Fig. 5 gezeigten Differenzfilterschaltung sind die akustischen Resonatorelemente 76 bis 87 angeordnet, um eine Voll-Leiter-Struktur und eine gepaarte Halb-Leiter- Struktur zu bilden.
Die Voll-Leiter-Struktur ist durch die akustischen Resonatorelemente 76, 77, 78, 79, 80 und 81 gebildet. Der Eingang 71 wirkt als ein erster Eingang für die Voll-Leiter- Struktur. Der Eingang 72 wirkt als ein zweiter Eingang für die Voll-Leiter-Struktur. Der Knoten 88 wirkt als ein erster Ausgang für die Voll-Leiter-Struktur. Der Knoten 89 wirkt als ein zweiter Ausgang für die Voll-Leiter-Struktur.
Eine Voll-Leiter-Struktur ist eine Struktur, bei der zumindest ein akustisches Resonatorelement zwischen einen ersten Eingang und einen ersten Ausgang der Struktur geschaltet ist, zumindest ein akustisches Resonatorelement zwischen einen zweiten Eingang und einen zweiten Ausgang der Struktur geschaltet ist und zumindest ein akustischer Resonator in einer Nebenschlußschaltung zwischen ein Ende eines akustischen Resonators, der zwischen den ersten Eingang und den ersten Ausgang der Voll-Leiter-Struktur geschaltet ist, und ein Ende eines akustischen Resonators geschaltet ist, der zwischen den zweiten Eingang und den zweiten Ausgang der Voll-Leiter-Struktur geschaltet ist.
In Fig. 5 sind das ARE 77 und das ARE 80 zwischen den Eingang 71 der Voll-Leiter-Struktur und den Ausgang 88 der Voll-Leiter-Struktur geschaltet. Das ARE 78 und das ARE 81 sind zwischen den Eingang 72 der Voll-Leiter-Struktur und den Ausgang 89 der Voll-Leiter-Struktur geschaltet. Das ARE 76 ist zwischen ein Ende des ARE 77 und ein Ende des ARE 78 geschaltet. Das ARE 79 ist zwischen ein Ende des ARE 80 und ein Ende des ARE 81 geschaltet.
Die gepaarte Halb-Leiter-Struktur ist durch die akustischen Resonatorelemente 80, 81, 82, 83, 84, 85, 86 und 87 geschaltet. Der Knoten 188 wirkt als ein erster Eingang für die gepaarte Halb-Leiter-Struktur. Der Knoten 189 wirkt als ein zweiter Eingang für die gepaarte Halb-Leiter-Struktur.
Der Ausgang 73 wirkt als ein erster Ausgang für die gepaarte Halb-Leiter-Struktur. Der Ausgang 74 wirkt als ein zweiter Ausgang für die gepaarte Halb-Leiter-Struktur.
Eine gepaarte Halb-Leiter-Struktur ist eine Struktur, bei der zumindest ein akustisches Resonatorelement zwischen einen ersten Eingang und einen ersten Ausgang der Struktur geschaltet ist, zumindest ein akustisches Resonatorelement zwischen einen zweiten Eingang und einen zweiten Ausgang der Struktur geschaltet ist, zumindest ein akustischer Resonator in einer Nebenschlußschaltung zwischen eine Referenzspannung und ein Ende eines akustischen Resonators geschaltet ist, der zwischen den ersten Eingang und den ersten Ausgang der gepaarten Halb-Leiter-Struktur geschaltet ist, und zumindest ein akustischer Resonator in einer Nebenschlußschaltung zwischen die Referenzspannung und ein Ende eines akustischen Resonators geschaltet ist, der zwischen den zweiten Eingang und den zweiten Ausgang der gepaarten Halb-Leiter-Struktur geschaltet ist.
In Fig. 5 sind das ARE 80 und das ARE 84 zwischen den Eingang 188 der gepaarten Halb-Leiter-Struktur und den Ausgang 73 der gepaarten Halb-Leiter-Struktur geschaltet. Das ARE 81 und das ARE 85 sind zwischen den Eingang 189 der gepaarten Halb-Leiter-Struktur und den Ausgang 74 der gepaarten Halb-Leiter-Struktur geschaltet. Das ARE 82 ist zwischen eine Referenzspannung 75 und ein Ende des ARE 80 geschaltet. Das ARE 83 ist zwischen die Referenzspannung 75 und ein Ende des ARE 81 geschaltet. Das ARE 86 ist zwischen die Referenzspannung 75 und ein Ende des ARE 84 geschaltet. Das ARE 87 ist zwischen die Referenzspannung 75 und ein Ende des ARE 85 geschaltet.
Das in Fig. 5 gezeigte Differenzfilter hat Voll-Leiter- Sperrcharakteristika und weist das Gleichtaktverhalten der gepaarten Halb-Leiter auf. Fig. 5 kombiniert so Differenz- und Gleichtaktunterdrückungscharakteristika in einer einzelnen Differenzfilterschaltung.

Claims

1. Differenzfilter mit folgenden Merkmalen:
einem ersten Eingang (11; 31; 51; 71; 91);
einem zweiten Eingang (12; 32; 52; 72; 92);
einem ersten Ausgang (13; 33; 53; 73; 93);
einem zweiten Ausgang (14; 34; 54; 74; 94); und
einer Mehrzahl akustischer Resonatorelemente (16-24; 36-45; 56-67; 76-87; 96-107), die mit dem ersten Eingang (11; 31; 51; 71; 91), dem zweiten Eingang (12; 32; 52; 72; 92), dem ersten Ausgang (13; 33; 53; 73; 93) und dem zweiten Ausgang (14; 34; 54; 74; 94) verbunden sind, wobei die akustischen Resonatorelemente (16-24; 36-45; 56-67; 76-87; 96-107) angeordnet sind, um zumindest zwei einer Gitter-Struktur, einer Voll- Leiter-Struktur und einer gepaarten Halb-Leiter- Struktur zu bilden.

2. Differenzfilter gemäß Anspruch 1, bei dem jedes der akustischen Resonatorelemente (16-24; 36-45; 56-67; 76-87; 96-107) ein akustischer Filmvolumenresonator (FBAR) ist.

3. Differenzfilter gemäß Anspruch 1, bei dem jedes der akustischen Resonatorelemente (16-24; 36-45; 56-67; 76-87; 96-107) ein Oberflächenwellenbauelement (SAW- Bauelement) ist.

4. Differenzfilter gemäß einem der Ansprüche 1 bis 3, das zusätzlich einen Referenzspannungseingang (15) aufweist, der mit der Mehrzahl akustischer Resonatorelemente (16-24; 36-45; 56-67; 76-87; 96-107) gekoppelt ist, wobei die Mehrzahl akustischer Resonatorelemente folgende Merkmale ausweist:
ein erstes akustisches Resonatorelement (16), das zwischen den ersten Eingang (11) und einen ersten Knoten (28) geschaltet ist;
ein zweites akustisches Resonatorelement (17), das zwischen den ersten Eingang (11) und einen zweiten Knoten (29) geschaltet ist;
ein drittes akustisches Resonatorelement (18), das zwischen den zweiten Eingang (12) und den ersten Knoten (28) geschaltet ist;
ein viertes akustisches Resonatorelement (19), das zwischen den zweiten Eingang (12) und den zweiten Knoten (29) geschaltet ist;
ein fünftes akustisches Resonatorelement (20), das zwischen den ersten Knoten (28) und den zweiten Knoten (29) geschaltet ist;
ein sechstes akustisches Resonatorelement (21), das zwischen den ersten Ausgang (13) und den ersten Knoten (28) geschaltet ist;
ein siebtes akustisches Resonatorelement (22), das zwischen den zweiten Ausgang (14) und den zweiten Knoten (29) geschaltet ist;
ein achtes akustisches Resonatorelement (23), das zwischen den ersten Ausgang (13) und den Referenzspannungseingang (15) geschaltet ist; und
ein neuntes akustisches Resonatorelement (24), das zwischen den zweiten Ausgang (14) und den Referenzspannungseingang (15) geschaltet ist.

5. Differenzfilter gemäß einem der Ansprüche 1 bis 3, das zusätzlich einen Referenzspannungseingang (15) aufweist, der mit der Mehrzahl akustischer Resonatorelemente (16-24; 36-45; 56-67; 76-87; 96-107) gekoppelt ist, wobei die Mehrzahl akustischer Resonatorelemente folgende Merkmale umfaßt:
ein erstes akustisches Resonatorelement (96), das zwischen den ersten Eingang (91) und einen ersten Knoten (108) geschaltet ist;
ein zweites akustisches Resonatorelement (97), das zwischen den ersten Eingang (91) und einen zweiten Knoten (109) geschaltet ist;
ein drittes akustisches Resonatorelement (98), das zwischen den zweiten Eingang (92) und den ersten Knoten (108) geschaltet ist;
ein viertes akustisches Resonatorelement (99), das zwischen den zweiten Eingang (92) und den zweiten Knoten (109) geschaltet ist;
ein fünftes akustisches Resonatorelement (100), das zwischen den ersten Knoten (108) und den zweiten Knoten (109) geschaltet ist;
ein sechstes akustisches Resonatorelement (101), das zwischen den ersten Knoten (108) und einen dritten Knoten (118) geschaltet ist;
ein siebtes akustisches Resonatorelement (102), das zwischen den zweiten Knoten (109) und einen vierten Knoten (119) geschaltet ist;
ein achtes akustisches Resonatorelement (103), das zwischen den dritten Knoten (118) und den vierten Knoten (119) geschaltet ist;
ein neuntes akustisches Resonatorelement (104), das zwischen den ersten Ausgang (93) und den dritten Knoten (118) geschaltet ist;
ein zehntes akustisches Resonatorelement (105), das zwischen den zweiten Ausgang (94) und den vierten Knoten (119) geschaltet ist;
ein elftes akustisches Resonatorelement (106), das zwischen den ersten Ausgang (93) und den Referenzspannungseingang (95) geschaltet ist; und
ein zwölftes akustisches Resonatorelement (107), das zwischen den zweiten Ausgang (94) und den Referenzspannungseingang (95) geschaltet ist.

6. Differenzfilter gemäß einem der Ansprüche 1 bis 3, bei dem die Mehrzahl akustischer Resonatorelemente (16-24; 36-45; 56-67; 76-87; 96-107) folgende Merkmale umfaßt:
ein erstes akustisches Resonatorelement (16), das zwischen den ersten Eingang (11) und einen ersten Knoten (28) geschaltet ist;
ein zweites akustisches Resonatorelement (17), das zwischen den ersten Eingang (11) und einen zweiten Knoten (29) geschaltet ist;
ein drittes akustisches Resonatorelement (18), das zwischen den zweiten Eingang (12) und den ersten Knoten (28) geschaltet ist;
ein viertes akustisches Resonatorelement (19), das zwischen den zweiten Eingang (12) und den zweiten Knoten (29) geschaltet ist;
ein fünftes akustisches Resonatorelement (20), das zwischen den ersten Knoten (28) und den zweiten Knoten (29) geschaltet ist;
ein sechstes akustisches Resonatorelement (21), das zwischen den ersten Ausgang (13) und den ersten Knoten (28) geschaltet ist; und
ein siebtes akustisches Resonatorelement (16), das zwischen den zweiten Ausgang (14) und den zweiten Knoten (29) geschaltet ist.

7. Differenzfilter gemäß einem der Ansprüche 1 bis 3, bei dem die Mehrzahl akustischer Resonatorelemente (16-24; 36-45; 56-67; 76-87; 96-107) folgende Merkmale umfaßt:
ein erstes akustisches Resonatorelement (36), das zwischen den ersten Eingang (31) und einen ersten Knoten (48) geschaltet ist;
ein zweites akustisches Resonatorelement (37), das zwischen den ersten Eingang (31) und einen zweiten Knoten (49) geschaltet ist;
ein drittes akustisches Resonatorelement (38), das zwischen den zweiten Eingang (32) und den ersten Knoten (48) geschaltet ist;
ein viertes akustisches Resonatorelement (39), das zwischen den zweiten Eingang (32) und den zweiten Knoten (49) geschaltet ist;
ein fünftes akustisches Resonatorelement (40), das zwischen den ersten Knoten (48) und den zweiten Knoten (49) geschaltet ist;
ein sechstes akustisches Resonatorelement (41), das zwischen den ersten Knoten (48) und einen dritten Knoten geschaltet ist;
ein siebtes akustisches Resonatorelement (42), das zwischen den zweiten Knoten (49) und einen vierten Knoten geschaltet ist;
ein achtes akustisches Resonatorelement (43), das zwischen den dritten Knoten und den vierten Knoten geschaltet ist;
ein neuntes akustisches Resonatorelement (44), das zwischen den ersten Ausgang (33) und den dritten Knoten geschaltet ist; und
ein zehntes akustisches Resonatorelement (45), das zwischen den zweiten Ausgang (34) und den vierten Knoten geschaltet ist.

8. Differenzfilter gemäß einem der Ansprüche 1 bis 3, bei dem die Mehrzahl akustischer Resonatorelemente (16-24; 36-45; 56-67; 76-87; 96-107) folgende Merkmale umfaßt:
ein erstes akustisches Resonatorelement (16), das zwischen den ersten Eingang (11) und einen ersten Knoten (28) geschaltet ist;
ein zweites akustisches Resonatorelement (17), das zwischen den ersten Eingang (11) und den zweiten Knoten (29) geschaltet ist;
ein drittes akustisches Resonatorelement (18), das zwischen den zweiten Eingang (12) und den ersten Knoten (28) geschaltet ist;
ein viertes akustisches Resonatorelement (19), das zwischen den zweiten Eingang (12) und den zweiten Knoten (29) geschaltet ist;
ein fünftes akustisches Resonatorelement (21), das zwischen den ersten Ausgang (13) und den ersten Knoten (28) geschaltet ist;
ein sechstes akustisches Resonatorelement (22), das zwischen den zweiten Ausgang (14) und den zweiten Knoten (29) geschaltet ist;
ein siebtes akustisches Resonatorelement (23), das zwischen den ersten Ausgang (13) und einen Referenzspannungseingang (15) geschaltet ist; und
ein achtes akustisches Resonatorelement (24), das zwischen den zweiten Ausgang (40) und den Referenzspannungseingang (15) geschaltet ist.

9. Differenzfilter gemäß einem der Ansprüche 1 bis 3, bei dem die Mehrzahl akustischer Resonatorelemente (16-24; 36-45; 56-67; 76-87; 96-107) folgende Merkmale umfaßt:
ein erstes akustisches Resonatorelement (56), das zwischen den ersten Eingang (51) und einen ersten Knoten (68) geschaltet ist;
ein zweites akustisches Resonatorelement (57), das zwischen den ersten Eingang (51) und den zweiten Knoten (69) geschaltet ist;
ein drittes akustisches Resonatorelement (58), das zwischen den zweiten Eingang (52) und den ersten Knoten (68) geschaltet ist;
ein viertes akustisches Resonatorelement (59), das zwischen den zweiten Eingang (52) und den zweiten Knoten (69) geschaltet ist;
ein fünftes akustisches Resonatorelement (60), das zwischen den ersten Knoten (68) und einen dritten Knoten geschaltet ist;
ein sechstes akustisches Resonatorelement (61), das zwischen den zweiten Knoten (69) und einen vierten Knoten geschaltet ist;
ein siebtes akustisches Resonatorelement (62), das zwischen den dritten Knoten und einen Referenzspannungseingangsknoten (55) geschaltet ist;
ein achtes akustisches Resonatorelement (63), das zwischen den vierten Knoten und den Referenzspannungseingangsknoten (55) geschaltet ist;
ein neuntes akustisches Resonatorelement (64), das zwischen den ersten Ausgang (53) und den dritten Knoten geschaltet ist;
ein zehntes akustisches Resonatorelement (65), das zwischen den zweiten Ausgang (54) und den vierten Knoten geschaltet ist;
ein elftes akustisches Resonatorelement (66), das zwischen den ersten Ausgang (53) und den Referenzspannungseingang (55) geschaltet ist; und
ein zwölftes akustisches Resonatorelement (67), das zwischen den zweiten Ausgang (54) und den Referenzspannungseingang (55) geschaltet ist.

10. Differenzfilter gemäß einem der Ansprüche 1 bis 3, bei dem die Mehrzahl akustischer Resonatorelemente (16-24; 36-45; 56-67; 76-87; 96-107) folgende Merkmale umfaßt:
ein erstes akustisches Resonatorelement (20), das zwischen einen ersten Knoten (28) und einen zweiten Knoten (29) geschaltet ist;
ein zweites akustisches Resonatorelement (21), das zwischen den ersten Ausgang (13) und den ersten Knoten (28) geschaltet ist;
ein drittes akustisches Resonatorelement (22), das zwischen den zweiten Ausgang (14) und den zweiten Knoten (29) geschaltet ist;
ein viertes akustisches Resonatorelement (23), das zwischen den ersten Ausgang (13) und einen Referenzspannungseingang (15) geschaltet ist; und
ein fünftes akustisches Resonatorelement (24), das zwischen den zweiten Ausgang (14) und den Referenzspannungseingang (15) geschaltet ist.

11. Differenzfilter gemäß einem der Ansprüche 1 bis 3, bei dem die Mehrzahl akustischer Resonatorelemente (16-24; 36-45; 56-67; 76-87; 96-107) folgende Merkmale umfaßt:
ein erstes akustisches Resonatorelement (100), das zwischen einen ersten Knoten (108) und einen zweiten Knoten (109) geschaltet ist;
ein zweites akustisches Resonatorelement (101), das zwischen den ersten Knoten (108) und einen dritten Knoten (118) geschaltet ist;
ein drittes akustisches Resonatorelement (102), das zwischen den zweiten Knoten (109) und einen vierten Knoten (119) geschaltet ist;
ein viertes akustisches Resonatorelement (103), das zwischen den dritten Knoten (118) und den vierten Knoten (119) geschaltet ist;
ein fünftes akustisches Resonatorelement (104), das zwischen den ersten Ausgang (93) und den dritten Knoten (118) geschaltet ist;
ein sechstes akustisches Resonatorelement (105), das zwischen den zweiten Ausgang (94) und den vierten Knoten (119) geschaltet ist;
ein siebtes akustisches Resonatorelement (106), das zwischen den ersten Ausgang (93) und einen Referenzspannungseingang (95) geschaltet ist; und
ein achtes akustisches Resonatorelement (107), das zwischen den zweiten Ausgang (94) und den Referenzspannungseingang (95) geschaltet ist.

12. Differenzfilter gemäß einem der Ansprüche 1 bis 3, bei dem die Mehrzahl akustischer Resonatorelemente (16-24; 36-45; 56-67; 76-87; 96-107) folgende Merkmale umfaßt:
ein erstes akustisches Resonatorelement (76), das zwischen den ersten Eingang (71) und den zweiten Eingang (72) geschaltet ist;
ein zweites akustisches Resonatorelement (77), das zwischen den ersten Eingang (71) und einen ersten Knoten (188) geschaltet ist;
ein drittes akustisches Resonatorelement (78), das zwischen den zweiten Eingang (72) und einen zweiten Knoten (189) geschaltet ist;
ein viertes akustisches Resonatorelement (79), das zwischen den ersten Knoten (188) und den zweiten Knoten (189) geschaltet ist;
ein fünftes akustisches Resonatorelement (80), das zwischen einen dritten Knoten (88) und den ersten Knoten (188) geschaltet ist;
ein sechstes akustisches Resonatorelement (81), das zwischen einen vierten Knoten (89) und den zweiten Knoten (189) geschaltet ist;
ein siebtes akustisches Resonatorelement (82), das zwischen den dritten Knoten (88) und einen Referenzspannungseingang (15) geschaltet ist;
ein achtes akustisches Resonatorelement (83), das zwischen den vierten Knoten (89) und den Referenzspannungseingang (15) geschaltet ist;
ein neuntes akustisches Resonatorelement (84), das zwischen den dritten Knoten (88) und den ersten Ausgang (13) geschaltet ist;
ein zehntes akustisches Resonatorelement (85), das zwischen den vierten Knoten (89) und den zweiten Ausgang (14) geschaltet ist;
ein elftes akustisches Resonatorelement (86), das zwischen den ersten Ausgang (13) und den Referenzspannungseingang (15) geschaltet ist; und
ein zwölftes akustisches Resonatorelement (87), das zwischen den zweiten Ausgang (14) und den Referenzspannungseingang (15) geschaltet ist.