DE1023234B - Oberflaechenpruefgeraet nach Mechau - Google Patents

Oberflaechenpruefgeraet nach Mechau

Info

Publication number
DE1023234B
DE1023234B DEV10810A DEV0010810A DE1023234B DE 1023234 B DE1023234 B DE 1023234B DE V10810 A DEV10810 A DE V10810A DE V0010810 A DEV0010810 A DE V0010810A DE 1023234 B DE1023234 B DE 1023234B
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
photocell
bearing
sum
testing device
relay
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
DEV10810A
Other languages
English (en)
Inventor
Dr Hans Illgen
Waltraud Knappe
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Jenoptik AG
Original Assignee
Carl Zeiss Jena GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Carl Zeiss Jena GmbH filed Critical Carl Zeiss Jena GmbH
Priority to DEV10810A priority Critical patent/DE1023234B/de
Publication of DE1023234B publication Critical patent/DE1023234B/de
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/30Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring roughness or irregularity of surfaces
    • G01B11/303Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring roughness or irregularity of surfaces using photoelectric detection means

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Spectrometry And Color Measurement (AREA)

Description

  • Oberflächenprüfgerät nach Mechau Der Gegenstand der Erfindung betrifft ein Oberflächenprüfgerät nach Mechau, bei dem das voln Prisma entworfene Leuchtbild photoelektrisch intefriert wird.
  • Bei den bekannten Ausführungen von oberflächenprüfgeräten zur Messung des Tragantils wird ein von einer Lichtquelle beleuchtetes Prisma auf die zu prfifellde Fläche aufgesetzt. wobei die in das Prisma eintretenden Strahlen an den nichttragenden Stellen total und an den Breührungs- oder Tragstellen infolge der au diesen Stellen ausgelöschten oder gestörten Totalreflexion nicht oder nur teilweise reflektiert werden, so daß das z. B. auf einer metallscheibe entworfene leuchtbild dementsprechend helle und dunkle Stellen oder ouerstrefen aufweist. Die summe aller dieser dunklen Querstreifen stellt dabei den Traganteil dar, der bisher zumeist durch Schätzung und Vergleich mit Testrragbildern ermittelw wirde. Die Genzuigkeit der Schätzung war jedoch stark abängig von dem subjektiven Beurteilungsvermögen en des Prü fers. Um die subjektiven Fehlerquellen auszsuchalten. sind bereits Geräte entwickelt worden, die das entworfene leuchtbild photographisch festhalten, so daß das erhaltene Lichtbild durch Planimeter geometrisch ausgemessen und somit weit genauere Meßergebnisse erzielt werden konnten. Dieses Verfahren, bei dem die Ergebnisse durch die Farbe des Prüflings und sein Reflexionsvermögen stark beeinflußt wurden, erforderte jedoch viel Zeit und war umständlich, so daß schon Greäte vorgeschlagen wurden, bei denen der Tragantil unmittelbar mittels einer Photozelle bestimmt werden kann, die die hellikeit des Lauchtbildes in meßbare, auf Anegegeräten ablesbare elektrische Ströme umwandelt. Von der Photozelle wird dabei das entworfene Tragbild in seiner ganzen Länge aufgenommen, so daß immer nur die mittlere Beleuchtungsstirke gemessen werden kann. Diese ist jedoch stark abhängig von den durch Spannungsänderungen in der Lichtquelle hervorgerufenen Schwnkungen in der Beleuchtungsstärke des Tragbildes sowie von den Farb- und Reflexionseigenschaften des Prüflings, so daß die Meßergebnisse in ihrer Genauigkeit nachteilig beeinflußt werden. Um diese nachtiligen Schwankungen in der Beleuchtungsstärke auszuschalten, ist die Anordnung einer zweiten Photozelle erforderlich, die unmittelbar von der Lichtquelle angestrahlt wird und über eine elektrische Leitung ebenfalls auf das Meßinstrument der erstz Photozelle wirkt, so daß nunmehr die Differenz der Spannungen der beiden Photozellen zur Messung des Praganteiles dient. Die Anordnung einer zweiten Photozelle ist jedoch umständlich und erfordert außerdem zum Ausgleich der voneinander verschiedenen Photoströme eine Vorschaltung von Filtern odr Widerständen, woduch das Gerät sehr kompliziert wird. Für genauere Messungen reicht insbesondere bei größeren Schwankungen in der Lichtquelle diese Art der Messung aber nicht aus, und es müssen kostspiellige Brückenschaltungen und Spannungsgleichhalter verwendet werden.
  • Diese Mängel und Nachteile werden nach der Erfindung vermieden, wenn zur Abtastung des Leuchtbildes im Strahlengang zwischen Prisma und Photozelle eine senkrecht zur Längsrichtung des Tragbildes mit konstanter Frequenz schwingende Spaltblendc angeordnet ist, wobei ein von der Photozelle gesteuertes Meßgerät unabhängig von den Schwankungen in der Beleuchtungsstärke und den Farb- und Reflexionseigenschaften des Prüflings auf die relativen Helligkeitsunterschiede zwischen den tragenden und den nichttragenden Stellen ansprucht, indem über einen von der Photozelle gesteuerten Verstärker beim Überstreichen der durnkel erscheinenden Tragbildstellen ein Relais ein- oder an den nichttragenden hellen Stellen ausgeschaltet wird und der Gesamttragteil als Summe von Zahl und Breite der einzelnen Tragstellen auf einer Ablesevorrichtung ablesbar ist.
  • Vorteilhaft ist es, wenn Spaltblende und Photozelle auf einem Tastkopf angeordnet sind, der mittels einer Transportspindel in Richtung der Längsausdehnung des Tragbildes bewegbar ist.
  • Vorteilhaft ist es ferner, wenn das Relais einen mit dem Tastkopf verbundenen Elekt-romagneten betätigt, dessen mit einem Zeiger versehener Anker auf einer Skala die Summe der registrierten Traganteile zeigt.
  • Schließlich ist vertilhaft, wenn das Relais eine vorZugsweise über kegelrädergetriebe mit der Transportspindel des Tastkopfes verbundene elektromagnetische Kupplung steuert, die mit dem Tastkopf gemeinsam eine Anzeigevorrichtung betätigt, auf der die Summe der Traganteile im Verhältnis zu dem Meßweg der Transportspindel in Prozenten alles bar ist.
  • Eine beispielsweise Ausführung des Gegenstandes der Erfindung ist in den Abb. 1 bis 4 dargestellt, und zwar zeigt Abb. 1 einen Aufbau des Oberflächenprüfgerätes, Abb. 2 eine Schwingspaltblende mit dem abzutastenden Tragbild, Abb. 3 eine Anordnung zur Messung der Summe der Traganteile und Abb. 4 eine weitere Anordnung zur Messung des Traganteiles im Verhältnis zum Gesamtmeßweg.
  • Mit 1 ist ein Prüfling bezeichnet, auf dem zur Priifung seiner Oberfläche ein von einer Lichtquelle 2 über eine Kondensorlinse 3 beleuchtetes Prisma 4 aufgesetzt ist. Die längs der Berührungslinie des Prüflings mit dem Prisma reflektierten Strahlen gelangen über Spiegel 5 und 6 in den Strahlengang eines durch die optischen Glieder - 8 und 9 versinnbildlichten Mikroskops, in dessen Bildebene sie ein der Berührungslinie entsprechendes Leuchtbild erzeugen.
  • Mittels einer mit einem Schwingmagnet 10 von konstanter Frequenz verbundenen, senkrecht zur Längsrichtung des Tragbildes schwingenden Spaltblende 11 und einer nachgeordneten, von einer Stromquelle 12 gespeisten Photozelle 13 wird das entworfene Leuchthild abgetastet. Über einen von der Photozelle 13 gesteuerten Verstärker 14 und ein Relais 15 wird ein Elektromagnet 16 eine und ausgeschaltet, je nachdem die relativen Helligkeitsunterschiede zwischen den dunklen Berührungs- oder Tragstellen 17 und den nichttragenden hellen Stellen 18 des Leuchtbildes auf die Photozelle einwirken.
  • Beim Überstreichen des Leuchtbildes von der Länge »L« durch einen die Schwingblende 11 und die Photozelle 13 tragenden Tastkopf 19, der mit dem Elektromagneten 16 verbunden und auf einer Transportspindel 20 bewegbar ist, wird an den dunklen Tragbildstellen eine mit einem Zeiger versehene, in einer Führung 22 über einem Maßstab 23 gleitende Ankerplatte 24 von dem Anker 25 des Elektromagneten 16 angezogen und mit dem Tastkopf bewegt, während an den nichttragenden hellen Stellen der Elektromagnet 16 abgeschaltet ist und die Ankerplatte 24 stehenbleibt. Mit einer derartigen Einrichtung ist in einfacher Weise unabhängig von den Schwankungen in der Beleuchtungsstärke und den Farb- und Reflexionseigenschaften des Prüflings die Länge der Summe der Traganteile auf dem Maßstab 23 über der Stellung des Zeigers 21 ablesbar.
  • In Abb. 4 ist eine weitere Ausführungsform der Erfindung dargestellt, die die Summe der Traganteile im Verhältnis zum Gesamtmeßweg » L « der Transportspindel 20 in Traganteilprozenten abzulesen gestattet, bei der an Stelle des Elektromagneten 16 eine elektromagnetische Kupplung 26 (Relaislaufgerät) vorgesehen ist. Beim Überfahren der dunklen Tragstellen 17 des Leuchtbildes durch den auf der Transportspindel 20 bewegbaren Tastkopf 19, der mit einem auf einen Zeiger 27 wirkenden Führungsarm 28 aus- gestattet ist, wird die durch Kegel räder 29 und 30 mit der Transportspindel 20 verbundene elektromagnetische Kupplung 26 eingeschaltet und bewegt dabei über ein Kupplungsglied 31 eine mit einem ebenfalls auf den Zeiger 27 wirkenden Führungsarm 32 ausgestattete, mit Gewinde versehene Meßspindel 33, während an den nichttragenden hellen Stellen die Kupplung 26 ausgeschaltet und der Zeiger 27 nur von dem Führungsarm 28 des Tastkopfes 19 bewegt wird. Die jeweils von beiden Führungsarmen 28 und 32 beeinflußte Stellung des Zeigers 27 ergibt dann das N'erhältnis der Summe der Traganteile zu dem Gesamtmeßweg der Transportspindel, das auf einer in Traganteilprozenten geeichten Skala 34 leicht ablesbar ist.

Claims (4)

  1. PATENTANSPRÜCHE 1. Oherflächenprüfgerät nach M ech au, bei dem ein von einem Prisma entworfenes Leuchtbild der zu prüfenden Fläche photoelektrisch integriert wird, dadurch gekennzeichnet, daß zur Abtastung des Leudilildes im Strahlengang zwischen Prisma und Photozelle eine senkrecht zur Längsrichtung des Tragbildes mit konstanter Frequenz schwinwende Spaltblende angeordnet ist, wobei ein von der Photozelle gesteuertes Meßgerät unabhängig von den Schwankungen in der Beleuchtungsstärke und den Fa,rb- und Reflexionseigenschaften des Prüflings auf die relativen Helligkeitsuntersch.iede zwischen den tragenden und den nichttragenderl Stellen anspricht, indem über einen von der Photozelle gesteuerten Verstärker beim Überstreichen der dunkel erscheinenden Tragbildstellen ein Relais ein-oder an den nichttragenden hellen Stellen ausgeschaltet wird und der Gesamttraganteil als Summe von Zahl und Breite der einzelnen Tragstellen auf einer Anzeigevorrichtung ablesbar ist.
  2. 2. Ol) erflächenprüfgerät nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet. daß Spaltblende und Photozelle auf einem Tastkopf angeordnet sind, der mittels einer Transportspindel in Richtung der Längsausdehnung des Tragbil des bewegbar ist.
  3. 3. Oberflächenprüfgerät nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß das Relais einen mit dem Tastkopf verbundenen Elektromagneten be -tätigt, dessen mit einem Zeiger versehener Anker auf einer Skala die Summe der registrierten Traganteile anzeigt.
  4. 4. Oberflächenprüfgerät nach Anspruch 1 und 2. dadurch gekennzeichnet, daß das Relais eine vorzugsweise über Kegel rädergetriebe mit der Transportspindel des Tastkopfes verbundene elektromagnetische Kupplung steuert, die mit dem Tastkopf gemeinsam eine Anzeigevorrichtung betätigt, auf der die Summe der Traganteile ini Verhältnis zu dem Meßweg der Transportspindel in Prozenten ahlesbar ist.
DEV10810A 1956-06-21 1956-06-21 Oberflaechenpruefgeraet nach Mechau Pending DE1023234B (de)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DEV10810A DE1023234B (de) 1956-06-21 1956-06-21 Oberflaechenpruefgeraet nach Mechau

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DEV10810A DE1023234B (de) 1956-06-21 1956-06-21 Oberflaechenpruefgeraet nach Mechau

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DE1023234B true DE1023234B (de) 1958-01-23

Family

ID=7573232

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DEV10810A Pending DE1023234B (de) 1956-06-21 1956-06-21 Oberflaechenpruefgeraet nach Mechau

Country Status (1)

Country Link
DE (1) DE1023234B (de)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2428835A1 (fr) * 1978-06-15 1980-01-11 Onera (Off Nat Aerospatiale) Procede et appareillage pour la mesure d'une surface d'adhesion et du pouvoir collant d'un materiau adhesif

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2428835A1 (fr) * 1978-06-15 1980-01-11 Onera (Off Nat Aerospatiale) Procede et appareillage pour la mesure d'une surface d'adhesion et du pouvoir collant d'un materiau adhesif

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP0350589A1 (de) Bestimmung des Autokollimationswinkels eines Gitterkopplers
DE2607850A1 (de) Geraet zum optischen messen des profiles einer oberflaeche
DE2924241A1 (de) Goniophotometer zur messung des glanzes und/oder des glanzschleiers von oberflaechen
DE1023234B (de) Oberflaechenpruefgeraet nach Mechau
DE2528209B2 (de) Optischer Feintaster
DE3311945C2 (de) Vorrichtung zur berührungslosen Messung von Winkeln
DE3332986A1 (de) Reflexionsmessgeraet fuer die messung des spektralen strahldichtefaktors fuer die 45/0-messgeometrie
DE2829736C2 (de) Eicheinrichtung zur Aufnahme der Eichkurve eines fotoelektrischen Aerosolanalysators
EP0229307B1 (de) Einrichtung zur Auswertung der Lage und Intensität eines Lichtflecks
DE3305140A1 (de) Vorrichtung zur pruefung und vermessung von brillenglaesern jeglicher art oder anderen glaserzeugnissen
DE2248190A1 (de) Fotometrischer kopf fuer die brinellhaertemessung
DE957695C (de) Optisches Gerat mit unterteiltem Gesichtsfeld
DE2032314A1 (de) Verfahren zum berührungslosen optischen Prüfen und Messen von Oberflächen und Vorrichtungen zum Durchführen dieses Verfahrens
DE974984C (de) Lichtelektrisches Verfahren und Geraet zur Pruefung der Abbildungsguete optischer Linsensysteme
DE2100304C (de) Verfahren und Vorrichtung zum beruh rungslosen Messen der Oberflachenbeschaf fenheit, insbesondere Rauhigkeit einer im wesentlichen ebenen Flache
DE10203738B4 (de) Messvorrichtung und Verfahren zur Messung der Flussdichteverteilung in einer bandförmigen, supraleitenden Probe
DE3100182A1 (de) Vorrichtung zur photoelektrischen oberflaechenpruefung
DD140588A1 (de) Anordnung und verfahren zur messung der kalibrierten verzeichnung optischer abbildungssysteme
DE2454644C3 (de) Verfahren und Vorrichtung zum Beurteilen des Glanzvermögens von hochglänzenden Oberflächen insbesondere organischer Überzüge
DE723826C (de) Haertepruefer mit gegenseitig ein- und verstellbaren Marken, z. B. Messschenkeln, mit denen zwei senkrecht aufeinander stehende Durchmesser oder die beiden Diagonalen des optisch vergroesserten Bildes eines Prueflingseindruckes eingegrenzt und in ihrer Laenge gemessen werden
DE2220090A1 (de) Geradheitsmessvorrichtung
DE320188C (de) Optisches Photometer
DE1547456A1 (de) Verfahren und Einrichtung zur Bestimmung der Bildebene eines optischen Systems
DEN0006260MA (de)
DE1020797B (de) Optisches Messgeraet nach dem Autokollimationsverfahren