DE10203738B4 - Messvorrichtung und Verfahren zur Messung der Flussdichteverteilung in einer bandförmigen, supraleitenden Probe - Google Patents

Abstract

Messvorrichtung zur Messung der Flussdichteverteilung in einer bandförmigen, supraleitenden Probe oder in Bändern angeordneter supraleitender Einzelproben (1) nach dem Prinzip der Magnetooptik mit
– einer Spul- und Führungsvorrichtung für den Transport der Probe (2)
– ein Mittel zur Erzeugung eines Magnetfeldes (4)
– einer Lichtquelle (6)
– einem Analysator zur Detektion der Änderung der Polarisation (10)
– einer Empfängereinheit (11) zum Messen der Intensität des Messsignals
und einer Hallsonde zur Kalibrierung der gemessenen Intensität.

Description

• Die Erfindung betrifft eine Messvorrichtung und ein Verfahren zur Messung der Flussdichteverteilung bandförmiger supraleitender Proben nach dem magnetooptischen Prinzip.
• Unter dem Begriff Magnetooptik versteht man im allgemeinen nichtlineare optische Phänomene wie z. B. den Faraday-Effekt oder den Kerr-Effekt, bei denen es zu einer Wechselwirkung einer elektromagnetischen Welle mit einem Magnetfeld kommt. In jedem Fall resultiert die Wechselwirkung in einer Drehung der Polarisationsrichtung des einfallenden polarisierten Lichtes. Je nachdem ob das Licht durch die Probe hindurchgeht (Transmission) oder von dieser reflektiert wird, spricht man vom Faraday-Effekt oder vom Kerr-Effekt.
• Mit Hilfe dieser Effekte sind optische Abbildungen magnetischer Strukturen wie sie beispielsweise in ferromagnetischen oder supraleitenden Materialien vorkommen möglich. So lässt sich auch die lokale Verteilung von magnetischem Fluss, welcher gleichzeitig ein Maß für die kritische Stromdichte ist, in supraleitenden Schichten beobachten.
• Gerade für supraleitende Materialien ist die kritische Stromdichte j_c, die Stromdichte bei der das Material vom supraleitenden in den normalleitenden Zustand übergeht, der Parameter, der weitestgehend die Güte des Supraleiters bestimmt.
• Die Bestimmung der kritischen Stromdichte j_c eines Supraleiters ist konventionell über eine resistive Methode möglich. Dazu wird der Supraleiter kontaktiert, mit Strom belastet und der Spannungsabfall gemessen. Diese Methode weist den wesentlichen Nachteil einer notwendigen Kontaktierung, z. B. Lötkontakt oder zumindest Schleifkontakt, und gegebenenfalls Strukturierung auf und ist daher ein nicht berührungsfreies und zum Teil zerstörendes Verfahren. Darüber hinaus ist diese Vorbereitung technisch aufwendig und in einer industriellen Fertigung für eine Standardqualitätssicherung nicht realisierbar. Außerdem kommt es zu Variationen der Messergebnisse aufgrund immer vorhandener aber nicht reproduzierbarer Übergangswiderstände. Aus diesem Grund sind berührungslose und nichtzerstörende Verfahren zu bevorzugen.
• Bei der Hallsonden-Magnetometrie, das vor allem für die Analyse supraleitender Bänder eingesetzt wird, handelt es sich beispielsweise um ein solches Verfahren. In dem in EP 0874 246 A2 beschriebenen Verfahren und Aufbau befindet sich der Supraleiter in einem externen Magnetfeld bzw. wird im Falle von bandförmigen Proben mit Hilfe einer Wickelvorrichtung kontinuierlich (in x Richtung) durch das Magnetfeld bewegt. Oberhalb des Bandes ist ein linienförmiges Hallsondenarray senkrecht zur Bewegungsrichtung des Bandes angeordnet.
• Das Hallsondenarray zeichnet die sich ergebende Magnetfeldverteilung in y-Richtung über das Linienarray und in x-Richtung durch die Bewegung des Bandes auf. Dadurch erhält man eine qualitative Aussage über die Homogenität der Probe mit einer Ortsauflösung im mm-Bereich. Darüber hinaus ist es über eine Kalibrierung möglich auf die kritische Stromdichteverteilung des Bandes zurückzurechnen.
• Ein wesentlicher Nachteil dieser Methode ist, dass der Detektor kein Kontinuum darstellt und damit die Ortsauflösung der Messung durch die Abstände der einzelnen Hallsonden auf den mm-Bereich begrenzt ist. Die hohen Anforderungen an die Zuverlässigkeit des Materials zeigen, dass diese Auflösung für eine Qualitätskontrolle im industriellen Massstab nicht ausreicht. Außerdem erfolgt die Messdatenerfassung nur entlang einer Linie (Linienarray) senkrecht zum Band, was die Bandtransportgeschwindigkeit (3–10 mm/s) begrenzt. Ein weiterer Nachteil zeigt sich bei dem in EP 0874 246 A2 erwähnten Verfahren im verwendeten Messmodus, bei dem die Messdatenerfassung bei anliegendem externen Magnetfeld erfolgt. Da die kritische Stromdichte j_c eines Supraleiters eine Funktion des Magnetfeldes B ist, wird hier nicht der für die Anwendung relevante Wert der Stromdichte j_c bei Nullfeld B_ext = 0 gemessen.
• Ein anderes berührungsfreies Verfahren ist die Magnetooptik. Damit lassen sich magnetische Flussdichteverteilungen B_z(x,y) optisch aufnehmen. Diese Methode wird an nicht bewegten magnetischen Materialien und Supraleitern sowie an bewegten supraleitenden Kurzproben bereits erfolgreich eingesetzt. Grundsätzlich wird bei diesem Verfahren linear polarisiertes Licht verwendet und auf die magnetooptisch aktive Schicht eingestrahlt. Hierzu kann entweder unpolarisiertes Licht mittels Polarisatoren linear polarisiert werden oder aber ein Laser, der aufgrund seiner prinzipiellen Wirkungsweise polarisiertes Licht erzeugt. Besitzt das zu untersuchende Material selbst eine genügend hohe Aktivität, wie das beispielsweise bei ferromagnetischen Materialien der Fall ist, so wird das Licht direkt daran reflektiert (Kerr-Effekt). Im Falle von Materialien mit zu geringem Kerr-Effekt, wie z. B. bei den keramischen Hochtemperatursupraleitern, wird eine magnetooptisch aktive Schicht mit einer darunter liegenden Spiegelschicht als Indikatorsystem verwendet. Hier durchläuft das Licht in Summe zweimal, nach zwischenzeitlicher Reflexion an der Spiegelschicht, das Indikatormaterial (Faraday-Effekt, in Transmission). Der magnetooptisch aktiven Indikatorschicht kommt in beiden Fällen die Aufgabe zu, die Polarisationsrichtung des Lichtes in Abhängigkeit eines, von der Probe verursachten, lokal vorhandenen Magnetfeldes zu drehen. Das reflektierte Licht passiert dann einen Analysator und wird z. B. über eine CCD-Kamera detektiert. Man erhält eine zweidimensionale Aufnahme der Helligkeitsverteilung I(x,y), die ein Maß für die lokale Flussdichteverteilung B_z(x,y) ist.
• Im speziellen Fall der Supraleiter-Analyse interessiert vor allem die Homogenität hinsichtlich der kritischen Stromdichte j_c(x,y). Wird an den Supraleiter ein externes Magnetfeld B_ext angelegt, so verdrängt dieser das Feld aus seinem Volumen. Übersteigt das Feld einen kritischen Wert, dringt es in den Supraleiter ein. Die magnetooptisch visualisierbare Flussdichteverteilung B_z(x,y) im Supraleiter ist wiederum ein Maß für die lokale kritische Stromdichte j_c(x,y), den entscheidenden Parameter für die technische Anwendung des Materials. Aus der Flussdichteverteilung B_z(x,y) kann sofort qualitativ auf die Homogenität hinsichtlich der lokalen Stromdichte j_c(x,y) geschlossen werden.
• Mit Hilfe einer der magnetooptischen Messung vorangegangenen Kalibrierung der Intensitätsverteilung kann die zugehörige Flussdichteverteilung auch quantitativ dargestellt werden. Da durch die oben beschriebene Form der Messung nur die z-Komponente (senkrecht zur Probenoberfläche) der Flussdichte gemessen werden kann, wird die Stromdichte j_c nicht direkt über das Ampere'sche Gesetz berechnet, sondern über eine Inversion des Biot-Savart'schen Gesetzes für eine planare Stromdichte.
• Der Vorteil der Magnetooptik liegt zum einen in der Tatsache, dass nicht nur eine Linie des Bandes während einer Messprozedur analysiert wird, sondern eine zweidimensionale Aufnahme mit einem Flächendetektor über die gesamte Breite sowie über eine große Länge möglich ist. Damit ist eine deutlich schnellere Bewegung der Probe durch den Analysebereich und eine damit verbundene kürzere Analysezeit möglich.
• Ein weiterer entscheidender Vorteil der großflächigen magnetooptischen Detektionsart liegt in der im Vergleich zur Hallsonden-Magnetometrie und allen anderen Analyseverfahren, wie beispielsweise den resistiven Verfahren, in der deutlich höheren Ortsauflösung für B_z(x,y) und damit auch für j_c(x,y). Die Ortsauflösung ist bei der Analyse von magnetooptisch aktiven Proben im wesentlichen durch apparative Gegebenheiten, wie z. B. die Empfängereinheit bzw. bei Proben die einen kleinen Kerr-Effekt zeigen und für die daher eine Indikatorschicht eingesetzt werden muß durch den Abstand von Probe und Indikatorschicht bestimmt und liegt zur Zeit im Bereich weniger μm.
• Aufgabe der Erfindung ist es, ein Verfahren und eine Messvorrichtung zur Bestimmung der Flussdichteverteilung in bandförmigen und supraleitenden Materialien und in Bändern angeordneter, supraleitender Einzelproben bereitzustelen bei dem/der die Analyse in einem kontinuierlichen Betrieb mit hoher Ortsauflösung und dennoch schnell und damit wirtschaftlich durchzuführen ist.
• Diese Aufgabe wird gemäß der Erfindung durch den Gegenstand der unabhängigen Ansprüche gelöst. Vorteilhafte Weiterbildungen ergeben sich aus den jeweiligen Unteransprüchen.
• Die erfindungsgemäße Messvorrichtung zur Messung charakteristischer Kenngrößen wie beispielsweise der Flussdichteverteilung oder der Stromdichteverteilung einer bandförmigen, supraleitenden Probe oder in Bändern angeordneter supraleitender Einzelproben nach dem Prinzip der Magnetooptik weist dazu folgende Merkmale auf:
• – eine Ab- und Aufspulvorrichtung für den Transport der bandförmigen Probe oder der in Bändern angeordneten Einzelproben
• – ein Mittel zur Erzeugung eines Magnetfeldes, beispielsweise einen Elektromagneten
• – eine Lichtquelle
• – einen Analysator zur Detektion der Änderung der Polarisation
• – eine Empfängereinheit zum Messen der Intensität des Messsignals
und eine Hallsonde zur Kalibrierung der gemessenen Intensität.
• Die erfindungsgemäße Vorrichtung ist eine besonders vorteilhafte Anwendung des magnetooptischen Prinzips auf die Homogenitätsanalyse über die gesamte Probenfläche, wie sie für industriell gefertigte Proben von Nöten ist. Dabei gestattet das magnetooptische Prinzip eine hohe Ortsauflösung im Bereich weniger μm² und eine hohe Messgeschwindigkeit. Die Verwendung einer Hallsonde ermöglicht die in-situ Umrechnung I(x,y) → B_z(x,y). Zur Kalibrierung der visualisierten Helligkeitsverteilung I(x,y), die prinzipiell bereits für eine qualitative Aussage hinsichtlich der j_c-Homogenität ausreicht, in eine magnetische Flussdichteverteilung B_z(x,y) wird eine Hallsonde im Analysebereich platziert.
• Besonders vorteilhaft ist es, wenn die Messvorrichtung optische Mittel zur Polarisation des Lichtes enthält, da dann die Lichtquelle selbst nicht notwendigerweise polarisiertes Licht erzeugen muss.
• Wenn die Vorrichtung eine magnetooptisch aktive Indikatorschicht zwischen Probe und Analysator aufweist, dann ergibt sich der Vorteil, dass auch Proben die selbst nur einen sehr geringen Kerr-Effekt zeigen, mit der erfindungsgemäßen Messvorrichtung analysiert werden können.
• Zur Bearbeitung, Archivierung und auch aus Kostengründen ist es besonders vorteilhaft in der erfindungsgemäßen Messvorrichtung die Empfängereinheit als CCD-Chip auszubilden, da dann die Daten in elektronischer Form vorliegen und alle Vorteile der elektronischen Datenverarbeitung genutzt werden können. Eine andere Form der Empfängereinheit wäre ein üblicher Film, wie er auch z. B. bei Elektronenmikroskopen angewandt wird.
• Ein Ausführungsbeispiel, bei dem die magnetooptische Messung nicht im Magnetfeld, sondern im remanenten Zustand der Probe durchgeführt wird, ist besonders vorteilhaft für den Fall der Supraleiteranalyse. Um bei der Supraleiteranalyse die kritische Stromdichte j_c(x,y) des Supraleiters für den i. a. interessierenden Fall von B_ext= 0 zu erhalten, wird die Messung im remanenten Feld B_rem durchgeführt. Dazu wird ein Magnet vor den Analysebereich gebracht. Es findet zunächst eine Auf- und Abmagnetisierung der Probe statt. Der daraufhin im supraleitenden Material gepinnte Fluss B_rem(x,y) kann genau der kritischen Stromdichte j_c(x,y) für den Fall B_ext= 0 zugeordnet werden. Diese remanente Flussdichteverteilung B_rem(x,y) wird dann im Analysebereich gemessen.
• In einer vorteilhaften Weiterbildung der Messvorrichtung werden die Ergebnisse der kalibrierten magnetooptischen Messung B_z(x,y) über ein Inversionsverfahren (Biot-Savart) in Werte für die kritische Stromdichte j_c(x,y) umgerechnet. Hierdurch kann die qualitative Aussage hinsichtlich der Stromdichtehomogenität der gewonnenen Abbildung auch in j_c quantifiziert werden.
• In Weiterbildung der Erfindung ist es mit dem beschriebenen Aufbau auch möglich über eine vor dem Analysebereich platzierte Messspule eine weitergehende in-situ Kalibrierung der Flussdichteverteilung B_z(x,y) direkt in die gewünschte Stromdichteverteilung j_c(x,y) vorzunehmen und damit auf die Inversionsrechnung zu verzichten.
• Das erfindungsgemäße Verfahren, das mit der erfindungsgemäßen Messvorrichtung durchgeführt wird nutzt dabei das magnetooptische Prinzip zur Analyse bandförmiger, supraleitender Proben oder in Bändern angeordneter supraleitender Einzelproben die über eine Spul- und eine Führungsvorrichtung transportiert werden. Zur Messung wird polarisiertes Licht einer Lichtquelle genutzt, dessen Polarisationsrichtung sich nach Wechselwirkung mit der Probe entsprechend derer magnetischen Eigenschaften ändert und diese Änderung mit Hilfe eines Analysators von einer Empfängereinheit als Intensitätsänderung gemessen wird. Dieser Intensitätsänderung wird mittels einer Hallsonde ein Flussdichtewert B(x,y) zugeordnet. Das Vorsehen einer Hallsonde ermöglicht die Kalibrierung der Intensitätswerte. Auf diese Weise kann nicht nur ein qualitatives Bild des magnetischen Flusse B_z(x,y) gewonnen werden, sondern auch die quantitative Auswertung wird dadurch ermöglicht.
• Das erfindungsgemäße Verfahren ist eine besonders vorteilhafte Anwendung des magnetooptischen Prinzips auf die Homogenitätsanalyse über die gesamte Probenfläche, wie sie für industriell gefertigte Proben von Nöten ist. Dabei gestattet das Verfahren die Analyse von Materialien mit unterschiedlichsten magnetischen Eigenschaften, wie z. B. diamagnetische, ferromagnetische, paramagnetische oder supraleitende Proben.
• Je nach Art der Probe kann es von Interesse sein die Messung im Magnetfeld oder nach vorherigem auf- und abmagnetisieren , in Remanenz, durchzuführen. Daher erlauben vorteilhafte Ausführungsformen des erfindungsgemäßen Verfahrens die Anpassung des Verfahrens an die jeweiligen Anforderungen.
• Für die Analyse von Proben, die selbst nur einen geringen Kerr-Effekt zeigen, ist es von Vorteil, wenn das Verfahren als weiteren Schritt noch den Durchlauf des Lichtes durch eine magnetooptisch aktive Indikatorschicht, z. B. Eisengranatschichten, enthält. Dieser Schicht kommt dann die Aufgabe zu die Polarisationsrichtung des Lichtes in Abhängigkeit des nahegelegenen lokalen Magnetfeldes zu drehen. Je nachdem ob man das Licht in Reflexion oder Transmission detektieren möchte, ist eine Spiegelschicht, z. B. Ti oder Al, auf der Rückseite der Indikatorschicht von Nöten.
• Eine besonders vorteilhafte Ausführungsform des erfindungsgemäßen Verfahrens weist einen zusätzlichen Rechenschritt auf, der die kalibrierte Flussdichteverteilung über das angesprochenen Inversionsverfahren in-situ in eine Stromdichteverteilung j_c(x,y) umrechnet.
• In Weiterbildung des erfindungsgemäßen Verfahrens ist es besonders vorteilhaft vor dem magnetooptischen Analysebereich eine separate Messspule anzubringen, und in einem weiteren Verfahrensschritt eine in-situ Kalibrierung der Flussdichteverteilung B_z(x,y) in die Stromdichteverteilung j_c(x,y) vorzunehmen und damit auf die Inversionsrechnung zu verzichten.
• Das erfindungsgemäße Verfahren und die Messvorrichtung zur Durchführung desselben werden im folgenden anhand der Zeichnung näher veranschaulicht.
• 1 zeigt den prinzipiellen apparativen Aufbau der erfindungsgemäßen Messvorrichtung
• 2 zeigt eine spezielle Ausführungsform der in 1 gezeigten Messvorrichtung zur magnetooptischen Messung des magnetischen Flusses in einer supraleitenden Probe in Remanenz
• In 1 wird die bandförmige Probe oder die in Bändern angeordneten Einzelproben (1) über eine Spul- und Führungsvorrichtung (2) durch die Messvorrichtung geleitet. Das Band durchläuft im Fall der Analyse para- oder diamagnetischer Materialien (z. B. Supraleiter) ein externes Magnetfeld (4), dessen Stärke ausreichend ist, um das Material aufzumagnetisieren. Im Messmodus 1 findet dann am Ort des Magneten die magnetooptische Analyse der aufmagnetisierten Probe statt. Dazu wird mittels einer Lichtquelle (6) und möglichen optischen Komponenten (7) polarisiertes Licht generiert und entsprechend zur Probe geführt. Dieses tritt in Wechselwirkung mit der Probe und ändert entsprechend seine Polarisation. Die Magnetfeldverteilung B_z(x,y) in der Beleuchtungsebene wird so über eine Intensitätsverteilung I(x,y) des Lichtes nach durchlaufen eines Analysators (10) auf einer Empfängereinheit (11), beispielsweise ein CCD-Chip, abgebildet. Hierbei ist es nicht erforderlich, dass die gesamte optische Einheit von der Laborumgebung abgetrennt ist.
• Eine spezielle Ausführungsform der erfindungsgemäßen Messvorrichtung ist in 2 gezeigt. Um eine bandförmige, supraleitende Probe oder die in Bändern angeordneten Einzelproben (1) in Remanenz messen zu können, wird sie über eine Spul- und Führungsvorrichtung (2) in einem z. B. mit flüssigem Stickstoff gefüllten Kryostaten (3) an einem Magneten (4) vorbeigeführt, durch den sie auf- und abmagnetisiert wird. Der verbleibende gepinnte Fluss in der supraleitenden Probe wird in einer separaten Kammer (5) magnetooptisch gemessen. Hierzu wird mittels einer Lichtquelle (6) und möglichen optischen Komponenten (7) polarisiertes Licht generiert und nötigenfalls umgelenkt. Das Licht fällt durch ein Fenster (8) in der Kammer und im Falle von Proben aus Materialien die nur einen geringen Kerreffekt zeigen, wie z. B. keramische Hochtemperatursupraleiter, durch eine magnetooptisch aktive Indikatorschicht (9) auf die zu messende Probe. Dort wird das Licht an einer Spiegelschicht reflektiert und die Flussverteilung B_z(x,y) wird qualitativ über die Intensitätsverteilung I(x,y) des reflektierten Lichtes nach durchlaufen eines Analysators (10) auf einer Empfängereinheit (11), beispielsweise ein CCD-Chip, abgebildet. Zur quantitativen Bestimmung und Kalibrierung der Flußdichteverteilung B_z(x,y) in eine Stromdichteverteilung j_c(x,y) ist in der in 2 gezeigten speziellen Ausführungsform eine Hallsonde (12) zur Kalibrierung der magnetooptisch ermittelten Intensitätverteilung I(x,y) in eine Flußdichteverteilung B_z(x,y) und eine Messspule (13) zur Kalibrierung von B_z(x,y) in die Stromdichteverteilung j_c(x,y) integriert.

1

bandförmige Probe oder in Bändern angeordnete Einzelproben

2

Spul- und Führungsvorrichtung

3

Kryostat

4

Magnet

5

separate Kammer für die optischen Elemente

6

Lichtquelle

7

optische Komponenten

8

Fenster

9

magnetooptisch aktive Indikatorschicht

10

Analysator

11

Empfängereinheit

12

Hallsonde

13

Messspule

Claims (13)

1. Messvorrichtung zur Messung der Flussdichteverteilung in einer bandförmigen, supraleitenden Probe oder in Bändern angeordneter supraleitender Einzelproben (1) nach dem Prinzip der Magnetooptik mit – einer Spul- und Führungsvorrichtung für den Transport der Probe (2) – ein Mittel zur Erzeugung eines Magnetfeldes (4) – einer Lichtquelle (6) – einem Analysator zur Detektion der Änderung der Polarisation (10) – einer Empfängereinheit (11) zum Messen der Intensität des Messsignals und einer Hallsonde zur Kalibrierung der gemessenen Intensität.
2. Messvorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass optische Mittel zur Polarisierung des Lichtes (7) eingesetzt werden.
3. Messvorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass zusätzlich zur Probe (1) eine magnetooptisch aktive Indikatorschicht (9) eingesetzt wird.
4. Messvorrichtung nach einem oder mehreren der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass die Empfängereinheit (11) ein CCD-Chip ist.
5. Messvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass Mittel vorgesehen sind, die die gemessene und kalibrierte Intensität I(x,y) in-situ in einen Stromdichtewert j(x,y) umrechnen.
6. Messvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, dass eine Messspule vorgesehen ist, die in-situ die Kalibrierung der magnetooptisch gemessenen Flußdichteverteilung B(x,y) in einen Stromdichtewert j(x,y) ermöglicht.
7. Verfahren zum Messen der Flussdichteverteilung einer Probe nach dem Prinzip der Magnetooptik, dadurch gekennzeichnet, dass die Probe (1) supraleitend und bandförmig ist oder aus in Bändern angeordneten supraleitenden Einzelproben besteht, die Probe über eine Spul- und Führungsvorrichtung (2) transportiert wird, zur Messung polarisiertes Licht einer Lichtquelle (6) genutzt wird und die Probe (1) die Polarisationsrichtung des Lichtes so ändert, dass mit Hilfe eines Analysators (10) die Variation der Polarisation von einer Empfängereinheit (11) als Intensitätsänderung gemessen werden kann und dieser Intensitätsänderung mittels einer Hallsonde ein Flussdichtewert B(x,y) zugeordnet wird.
8. Verfahren nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, dass sich die Probe (1) während der Messung in einem Magnetfeld (4) befindet.
9. Verfahren nach einem oder mehreren der Ansprüche 7 bis 8, dadurch gekennzeichnet, dass die Ortsauflösung besser als 1 mm² ist.
10. Verfahren nach einem oder mehreren der Ansprüche 7 bis 9 dadurch gekennzeichnet, dass die Probe (1) vor der Messung auf- und abmagnetisiert wird und das externe Magnetfeld am Ort der Messung abgeschaltet ist.
11. Verfahren nach einem oder mehreren der Ansprüche 7 bis 10 dadurch gekennzeichnet, dass das polarisierte Licht vor der Detektion eine magnetooptisch aktive Indikatorschicht (9) durchläuft.
12. Verfahren nach einem oder mehreren der Ansprüche 7 bis 11, dadurch gekennzeichnet, dass die gemessene und kalibrierte Intensitätsverteilung I(x,y) in-situ in einen Stromdichtewert j(x,y) umgerechnet wird.
13. Verfahren nach einem oder mehreren der Ansprüche 7 bis 12, dadurch gekennzeichnet, dass mittels einer Messspule in-situ eine Kalibrierung der magnetooptisch ermittelten Flußdichteverteilung B(x,y) in eine Stromdichteverteilung j_c(x,y) vorgenommen wird.