DE10209112A1 - Elektrolumineszenzvorrichtung mit trocknendem Film und Verfahren zur Herstellung derselben - Google Patents
Elektrolumineszenzvorrichtung mit trocknendem Film und Verfahren zur Herstellung derselbenInfo
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Abstract
Es wird eine Elektrolumineszenzvorrichtung mit einem trocknenden Film (49) und ein Verfahren zur Herstellung derselben beschrieben. Das erfindungsgemäße Verfahren ist gekennzeichnet durch die Verfahrensschritte: Zurverfügungstellung eines Substrates (41), Ausbildung auf dem Substrat (41) aufeinanderfolgend eine transparente Elektrode (43), eine Lumineszenzschicht (45) und eine Gegenelektrode (47) sowie Ausbildung eines trocknenden Filmes (49) mittels eines Ausgangsmaterials (37) aus Barium (Ba), Magnesium (Mg) oder Kalzium (Ca), wobei das Ausgangsmaterial (37) mit einem gasförmigen Reaktanten (355) wie Sauerstoff an der Oberfläche der Gegenelektrode (47) reagiert. Der trocknende Film (49) aus Bariumoxid (BaO), Magnesiumoxid (MgO) oder Kalziumoxid (CaO) kann zum Absorbieren der Feuchtigkeit verwendet werden. Auf diese Weise kann die Erzeugung von schwarzen Flecken verhindert und die Zuverlässigkeit der Vorrichtung verbessert werden.
Description
- Die Erfindung betrifft eine Elektrolumineszenzvorrichtung, die nachfolgend abgekürzt als "EL" bezeichnet wird, mit einem trocknenden Film und ein Verfahren zur Herstellung derselben. Die EL-Vorrichtung ist dadurch gekennzeichnet, daß ein Erdalkalimetallfilm aus Barium (Ba), Magnesium (Mg) oder Kalzium (Ca) verwendet wird, um mit Sauerstoff zu reagieren und während des Verdampfungsprozesses zur Ausbildung des Erdalkalimetallfilmes einen Oxidfilm zu bilden, der aus Bariumoxid (BaO), Magnesiumoxid (MgO) oder Kalziumoxid (CaO) besteht und der auf der Oberfläche einer Gegenelektrode einen trocknenden Film bildet, wodurch die Erzeugung von schwarzen Flecken verhindert und die Zuverlässigkeit der Vorrichtung verbessert wird.
- Organische EL-Vorrichtungen haben infolge ihrer Vorteile im Vergleich zu anderen Anzeigepaneelen eine ungeheure Beachtung gefunden. Diese Vorteile bestehen im größeren Sichtwinkel, in der kürzeren Ansprechzeit, in den kleineren Dickenabmessungen, im erniedrigten Energieverbrauch, in der einfacheren Herstellung und in der Fähigkeit, Licht in einem vollen Farbumfang zu emittieren. Ein weiterer Vorteil besteht darin, daß keine Hintergrundbeleuchtung erforderlich ist.
- Die Fig. 1 zeigt in einer Schnittdarstellung schematisch den Aufbau einer bekannten organischen EL-Vorrichtung. Diese bekannte organische EL-Vorrichtung weist auf einem Substrat 11 eine transparente Elektrode 12 auf. Auf der transparenten Elektrode 12 ist eine organische Schicht 13 vorgesehen, die eine Lochimpfschicht, eine Lochtransportschicht, eine organische Emitterschicht oder eine Elektronentransportschicht aufweist. Auf der organischen Schicht 13 ist eine Gegenelektrode 14 vorgesehen. Eine Abdichtschicht 15 bedeckt die organische EL- Vorrichtung. Die Abdichtschicht 15 ist durch Verdampfung gebildet. Da in einer organischen EL-Vorrichtung Licht erzeugt wird, wenn die Elektronen und die Löcher der transparenten Elektrode 12 und der Gegenelektrode 14 in der organischen Schicht 13 kombiniert werden, um die organische Emitterschicht zu erregen, ist es unvermeidlich, daß während des Lumineszenzprozesses Wärme erzeugt wird. Wenn die Wärme mit Feuchtigkeit zusammentrifft, die sich innerhalb des Abdichtungsgehäuses 15 befindet, werden infolge Oxidation an der Oberfläche der organischen Schicht 13 schwarze Flecken gebildet. Das Vorhandensein solcher schwarzer Flecken beeinträchtigt jedoch die Lumineszenzqualitäten wie die Lumineszenzintensität und die Lumineszenzgleichförmigkeit einer solchen organischen EL-Vorrichtung. Insbesondere kann hierdurch die Lebensdauer einer derartigen organischen EL-Vorrichtung wesentlich verkürzt werden.
- Um die Bildfehler entsprechend unerwünschten schwarzen Flecken zu vermeiden, haben verschiedene Unternehmen eine Anzahl organische EL-Anzeigen entwickelt, um die Bildqualität zu verbessern. Beispielsweise ist in den japanischen Patenten JP-A-363 890 und JP-A-5-114 486 beschrieben, im Inneren des Abdichtungsgehäuses 15flüssig fluorierten Kohlenstoff anzuordnen, um die während des Lumineszenzprozesses erzeugte Wärme wirksam zu entfernen. In der JP-A-5-41 281 ist beschrieben, daß dehydrierende Zusätze wie synthetische Zeolite mit dem flüssig fluorierten Kohlenstoff gemischt werden, um am Rand der Vorrichtung existierende Feuchtigkeit wirksam zu entfernen.
- Mit dem oben beschriebenen Stand der Technik kann die Erzeugung von schwarzen Flecken in einem bestimmten Umfang reduziert werden, die dehydrierenden Zusätze wie flüssig fluorierter Kohlenstoff können jedoch den Herstellungsprozeß erschweren. Das ist für die Herstellungsintegration und für die Kostenreduktion ungünstig.
- Eine zweite bekannte Struktur einer organischen EL-Vorrichtung ist in Fig. 2 schematisch dargestellt und im US-Patent 5 882 761 mit der Bezeichnung "Organic EL element" beschrieben. Diese bekannte organische EL-Vorrichtung weist einen trocknenden Film 17 auf, der an der Innenoberfläche eines Abdichtungsgehäuses 15 angebracht ist. Zwischen dem trocknenden Film 17 und einer Gegenelektrode 14 der organischen EL-Vorrichtung ist ein innerer Raum 19 ausgebildet. Der einen festen Zustand einnehmende trocknende Film 17 absorbiert die innerhalb des Abdichtungsgehäuses 15 vorhandene Feuchtigkeit, so daß die Erzeugung von schwarzen Flecken verhindert wird.
- Obwohl das zuletzt genannte US-Patent 5 882 761 einige der Probleme des Standes der Technik zu beseitigen in der Lage ist, sind auch dort noch die folgenden Mängel vorhanden:
- 1. Der trocknende Film ist in Richtung senkrecht zur organischen Schicht und zur Gegenelektrode angebracht. Wird die Vorrichtung einer externen Kraft ausgesetzt, so kann der trocknende Film herunterfallen und direkt gegen die organische Schicht oder die Gegenelektrode schlagen. Dabei kann die Vorrichtung beschädigt werden.
- 2. Die zur Ausbildung eines solchen trocknenden Filmes bislang zur Anwendung gelangende Temperatur beträgt mehr als 2000°C. Diese Hochtemperatur- Bedingung kann jedoch die Fabrikationsausbeute und die Betriebszuverlässigkeit der organischen Schicht beeinträchtigen.
- 3. Der trocknende Film ist in Richtung senkrecht zur organischen Schicht und zur Gegenelektrode angebracht. Außerdem muß zwischen dem trocknenden Film und der Gegenelektrode ein vertikaler Spalt vorhanden sein. Hierdurch wird die Gesamthöhe vergrößert, wodurch die Mindestabmessungen der Vorrichtung begrenzt, d. h. die Mindesthöhe nicht entsprechend reduzierbar ist.
- Mit Hilfe der vorliegenden Erfindung werden die oben genannten Probleme gelöst und eine Elektrolumineszenz(EL)-Vorrichtung geschaffen, die einen trocknenden Film aufweist, der direkt auf der Oberfläche der Gegenelektrode ausgebildet ist. Das bedeutet, daß die Fabrikationsausbeute und die Betriebszuverlässigkeit der organischen Schicht nicht beeinträchtigt werden und daß die Erzeugung von dunklen Flecken verhindert werden kann, wodurch die Lebensdauer der Vorrichtung verlängert wird.
- Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren zur Herstellung einer EL- Vorrichtung mit einem trocknenden Film zu schaffen, die dadurch gekennzeichnet ist, daß ein Erdalkalimetallfilm aus Barium (Ba), Magnesium (Mg) oder Kalzium (Ca) verwendet wird, um mit Sauerstoff zu reagieren und während des Verdampfungsprozesses zur Ausbildung des Erdalkalimetallfilmes ein Oxid aus Bariumoxid (BaO), Magnesiumoxid (MgO) oder Kalziumoxid (CaO) zu bilden, das als ein trocknender Film auf der Oberfläche der Gegenelektrode wirksam ist, wobei die zur Ausbildung des trocknenden Filmes erforderliche Temperatur wesentlich reduziert ist. Dadurch ergibt sich der Vorteil, daß die Betriebszuverlässigkeit der organischen Schicht nicht beeinträchtigt und die Erzeugung von dunklen Flecken verhindert werden kann, so daß die Lebenszeit der Vorrichtung verlängert sein kann.
- Der Erfindung liegt außerdem die Aufgabe zugrunde, eine EL-Vorrichtung mit einem trocknenden Film zu schaffen, wobei der trocknende Film direkt an der Gegenelektrode bei einer vergleichsweise niedrigen Fabrikationstemperatur gebildet wird. Dabei wird erreicht, daß der trocknende Film nicht herunterfallen und die Vorrichtung beschädigen kann. Außerdem wird im Inneren der EL-Vorrichtung eine trockene Umgebung aufrechterhalten, wodurch die Erzeugung von dunklen Flecken verhindert und die Lebensdauer der Vorrichtung verlängert wird.
- Noch eine andere Aufgabe der Erfindung besteht darin, eine EL-Vorrichtung mit einem trocknenden Film zu schaffen, der direkt auf der Gegenelektrode ausgebildet wird, so daß der Herstellungsprozeß vereinfacht und die Größe der Vorrichtung minimiert werden kann. Hierbei werden die Herstellungskosten wesentlich erniedrigt.
- Zur Lösung der obigen Aufgaben schafft die vorliegende Erfindung ein Verfahren zur Herstellung einer EL-Vorrichtung mit einem trocknenden Film, das die folgenden Verfahrensschritte aufweist: Zurverfügungstellung eines Substrates, Ausbildung einer transparenten Elektrode auf dem Substrat, einer Lumineszenzschicht auf der transparenten Elektrode, und einer Gegenelektrode auf der Lumineszenzschicht, sowie Ausbildung eines trocknenden Filmes mittels eines Ausgangsmaterials, das auf der Oberfläche der Gegenelektrode mit einem gasförmigen Reaktanten reagiert.
- Die vorliegende Erfindung schafft außerdem eine EL-Vorrichtung mit einem trocknenden Film, bestehend aus einem Substrat, mindestens einer transparenten Elektrode, die auf der Oberfläche des Substrates ausgebildet ist, einer organischen Schicht, die auf der Oberfläche der transparenten Elektrode ausgebildet ist, einer Gegenelektrode, die auf der Oberfläche der organischen Schicht ausgebildet ist, und einem trocknenden Film, der auf der Oberfläche der Gegenelektrode ausgebildet ist, wobei der trocknende Film mittels eines Ausgangsmaterials gebildet wird, das auf der Oberfläche der Gegenelektrode mit einem gasförmigen Reaktanten reagiert.
- Weitere Merkmale, Vorteil und Einzelheiten der Erfindung ergeben sich aus der nachfolgenden Beschreibung in Verbindung mit den Zeichnungen. Es versteht sich jedoch, daß die obige allgemeine Beschreibung und die folgende detaillierte Beschreibung exemplarisch und erläuternd sind, ohne die Erfindung jedoch zu beschränken. Die Zeichnungen und die Beschreibung der Zeichnungen bilden einen Teil der Anmeldung und dienen zur Erläuterung der Prinzipien der Erfindung mit allgemeinen Ausdrücken. Gleiche Einzelheiten sind jeweils mit denselben Bezugsziffern bezeichnet.
- Einzelheiten, Merkmale und Vorteile einer bevorzugten Ausbildung der vorliegenden Erfindung ergeben sich aus der nachfolgenden Beschreibung eines in der Zeichnung schematisch dargestellten Ausführungsbeispieles. Es zeigen:
- Fig. 1 eine Schnittdarstellung einer Struktur einer bekannten organischen EL- Vorrichtung,
- Fig. 2 eine Schnittdarstellung einer Struktur einer anderen bekannten organischen EL-Vorrichtung,
- Fig. 3 eine Schnittdarstellung zur Verdeutlichung des Herstellungsprozesses eines trocknenden Filmes gemäß einer bevorzugten Ausbildung der vorliegenden Erfindung, und
- Fig. 4 eine Schnittdarstellung der Struktur einer bevorzugten Ausbildung der erfindungsgemäßen EL-Vorrichtung.
- Die Erfindung schafft eine Elektrolumineszenz(EL)-Vorrichtung mit einem trocknenden Film, der die Erzeugung unerwünschter schwarzer Flecken verhindert und die Lebensdauer der Vorrichtung verlängert.
- Die Fig. 3 und 4 zeigen in schematischen Schnittdarstellungen den Herstellungsprozeß eines trocknenden Filmes und einer EL-Vorrichtung einer bevorzugten Ausbildung der vorliegenden Erfindung. Wie aus diesen Figuren ersichtlich ist, weist die EL-Vorrichtung ein Substrat 41, mindestens eine transparente Elektrode 43 aus einem transparenten Material (wie ITO, IZO oder anderen transparenten Metalldünnfilmen) auf der Oberfläche des Substrates 41, eine organische Schicht 45 aus mindestens einer Lumineszenzschicht und eine Gegenelektrode 47 auf. Die mindestens eine organische Lumineszenzschicht wird auf der Oberfläche der transparenten Elektrode 43 durch Verdampfen oder Kathodenzerstäuben gebildet. Die Gegenelektrode 47 wird auf der organischen Schicht 45 durch Verdampfen oder Kathodenzerstäuben gebildet. Das solchermaßen hergestellte Vorrichtungsmuster wird in einer Kammer 31 (sh. Fig. 3) angeordnet, in der sich ein Ausgangsmaterial 37 aus Barium (Ba), Magnesium (Mg) oder Kalzium (Ca) befindet. Das Ausgangsmaterial 37 ist entlang eines Zufuhrkanales 375 der Gegenelektrode 47 zugewandt.
- Wird mit Hilfe einer Energiequelle 38 ein Erhitzer 39 mit elektrischem Strom beaufschlagt, so wird das Ausgangsmaterial 37 erhitzt. Wenn das Ausgangsmaterial 37 dann zur Gegenelektrode 47 hin entlang des Zufuhrkanales 375 verdampft, wird mit Hilfe einer Quelle 35 für einen gasförmigen Reaktanten ein gasförmiger Reaktant 355, wie Sauerstoff, in einen Pfad 32 eingeleitet, der zum Zufuhrkanal 375 gerichtet ist.
- Das verdampfte Ausgangsmaterial 37 reagiert mit dem gasförmigen Reaktanten 355, wie Sauerstoff, bevor es die Oberfläche der Gegenelektrode 47 erreicht. An der Oberfläche der Gegenelektrode 47 wird also ein Oxidfilm 49 aus Bariumoxid (BaO), Magnesiumoxid (MgO) oder Kalziumoxid (CaO) gebildet, wie aus Fig. 4 ersichtlich ist. Das Oxid wirkt als trocknender Film, der die Feuchtigkeit chemisch absorbieren kann und der die Feuchtigkeit nicht mehr freigibt, so daß die organische Schicht 45 entfeuchtet gehalten wird. Das ist sehr hilfreich, um die Erzeugung von dunklen Flecken zu verhindern, die Zuverlässigkeit der Vorrichtung zu verbessern und ihre Lebensdauer zu verlängern.
- Anschließend wird eine Abdichtungsschicht 48 ausgebildet, die die Außenoberfläche des Substrates 41, der transparenten Elektrode 43, der organischen Schicht 45, der Gegenelektrode 47 und des trocknenden Filmes 49 bedeckt. Auf diese Weise wird eine EL-Vorrichtung mit einem trocknenden Film 49 hergestellt. Eine solche EL- Vorrichtung weist eine geringe Höhe auf, wobei außerdem der Herstellungsprozeß vereinfacht ist.
- Erfindungsgemäß wird der Oxidfilm 49 (BaO, MgO oder CaO) auf der Gegenelektrode 47 nicht durch Verdampfen oder Kathodenzerstäuben wie beim Stand der Technik ausbildet. Vielmehr wird das Ausgangsmaterial 37 erhitzt und zur Gegenelektrode 47 hin verdampft, bevor es mit dem gasförmigen Reaktanten 355, wie Sauerstoff, reagiert und einen Oxidfilm 49 bei einer Temperatur von 400°C bildet. Im Vergleich zur Temperatur zur direkten Ausbildung des Oxidfilmes durch Verdampfung, die gewöhnlich mehr als 2000°C beträgt, ist die Temperatur zur Ausbildung des Oxidfilmes erfindungsgemäß wesentlich niedriger.
- Der gasförmige Reaktant 355, wie Sauerstoff, kann mit der organischen Schicht 45 reagieren, wodurch die Vorrichtung beschädigt würde. Deshalb wird ein Isolierelement 33 vorgesehen, das die Schmalseite der Gegenelektrode 47 berührt, so daß der gasförmige Reaktant 355, wie Sauerstoff, daran gehindert wird, mit der organischen Schicht 45 zu reagieren. Hierdurch wird die Fabrikationsausbeute verbessert.
- Das erfindungsgemäße Verfahren zur Herstellung einer organischen EL-Vorrichtung wird durch die beschriebene bevorzugte Ausbildung zwar erläutert aber nicht beschränkt. Das heißt, die Erfindung kann zur Herstellung jeder Vorrichtung verwendet werden, die an Feuchtigkeit leidet und einer hohen Temperatur bedarf.
- Gemäß den oben Ausführungen offenbart die Erfindung eine EL-Vorrichtung mit einem trocknenden Film sowie ein Verfahren zur Herstellung derselben, wobei ein Erdalkalimetallfilm aus Barium (Ba), Magnesium (Mg) oder Kalzium (Ca) verwendet wird, um mit Sauerstoff zu reagieren und einen Oxidfilm aus Bariumoxid (BaO), Magnesiumoxid (MGO) oder Kalziumoxid (CaO) zu bilden, der auf der Oberfläche einer Gegenelektrode als trocknender Film wirkt, wodurch die Erzeugung dunkler Flecken verhindert und die Zuverlässigkeit der Vorrichtung verbessert wird. Die vorliegende Erfindung ist fortschrittlich, vorteilhaft und in der Industrie anwendbar.
- Die Erfindung wurde oben in Bezug auf spezielle Ausbildungen beschrieben und erläutert, es versteht sich jedoch, daß die enthaltenen Prinzipien bei einer Vielzahl anderer Ausbildungen verwendbar ist, wie sie dem Durchschnittsfachmann nahegelegt sind. Die Erfindung ist also nur durch den Inhalt der anliegenden Ansprüche definiert bzw. begrenzt.
Claims (25)
1. Verfahren zur Herstellung einer Elektrolumineszenzvorrichtung mit einem
trocknenden Film (17),
gekennzeichnet durch die Verfahrensschritte
Zurverfügungstellung eines Substrates (41),
Ausbildung auf dem Substrat (41) aufeinanderfolgend eine transparente Elektrode (43), eine Lumineszenzschicht (45) und eine Gegenelektrode (47), und
Ausbildung des trocknenden Filmes (17) mittels eines Ausgangsmaterials (37), das mit einem gasförmigen Reaktanten (355) an der Oberfläche der Gegenelektrode (47) reagiert.
Zurverfügungstellung eines Substrates (41),
Ausbildung auf dem Substrat (41) aufeinanderfolgend eine transparente Elektrode (43), eine Lumineszenzschicht (45) und eine Gegenelektrode (47), und
Ausbildung des trocknenden Filmes (17) mittels eines Ausgangsmaterials (37), das mit einem gasförmigen Reaktanten (355) an der Oberfläche der Gegenelektrode (47) reagiert.
2. Verfahren nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet,
daß als Ausgangsmaterial (37) Alkalimetall, Erdalkalimetall oder eine
Zusammensetzung derselben verwendet wird.
3. Verfahren nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet,
daß als Ausgangsmaterial (37) Barium (Ba) und/oder Magnesium (Mg) und/oder
Kalzium (Ca) verwendet wird.
4. Verfahren nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet,
daß als gasförmiger Reaktant (355) Sauerstoff verwendet wird.
5. Verfahren nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet,
daß der trocknende Film (49) aus Bariumoxid (BaO) und/oder Magnesiumoxid
(MgO) und/oder Kalziumoxid (CaO) zusammengesetzt ist.
6. Verfahren nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet,
daß der trocknende Film (49) an der Oberfläche der Gegenelektrode (47) in einer
Kammer (31) gebildet wird, wobei der gasförmige Reaktant (355) durch eine
Quelle (35) für den gasförmigen Reaktanten geliefert wird und in einem
Strömungspfad (32) hin zu einem Strömungskanal (375) strömt, durch den das
Ausgangsmaterial (37) zur Gegenelektrode (47) strömt.
7. Verfahren nach Anspruch 6,
dadurch gekennzeichnet,
daß ein Isolierelement (33) an der Schmalseite der Gegenelektrode (47)
angebracht wird.
8. Verfahren nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet,
daß das Ausgangsmaterial (37) durch Verdampfen oder durch
Kathodenzerstäuben zur Gegenelektrode (47) geleitet wird.
9. Elektrolumineszenzvorrichtung mit einem trocknenden Film (49),
gekennzeichnet durch
ein Substrat (41),
mindestens eine transparente Elektrode (43), die auf der Oberfläche des Substrates (41) ausgebildet ist,
eine organische Schicht (45), die auf der Oberfläche der transparenten Elektrode (43) ausgebildet ist,
eine Gegenelektrode (47), die auf der Oberfläche der organischen Schicht (45) ausgebildet ist, und
den trocknenden Film (49), der auf der Oberfläche der Gegenelektrode (47) ausgebildet ist, wobei der trocknende Film (49) mittels eines Ausgangsmaterials (37) gebildet ist, das an der Oberfläche der Gegenelektrode (47) durch die Reaktion mit einem gasförmigen Reaktanten (355) ausgebildet ist.
ein Substrat (41),
mindestens eine transparente Elektrode (43), die auf der Oberfläche des Substrates (41) ausgebildet ist,
eine organische Schicht (45), die auf der Oberfläche der transparenten Elektrode (43) ausgebildet ist,
eine Gegenelektrode (47), die auf der Oberfläche der organischen Schicht (45) ausgebildet ist, und
den trocknenden Film (49), der auf der Oberfläche der Gegenelektrode (47) ausgebildet ist, wobei der trocknende Film (49) mittels eines Ausgangsmaterials (37) gebildet ist, das an der Oberfläche der Gegenelektrode (47) durch die Reaktion mit einem gasförmigen Reaktanten (355) ausgebildet ist.
10. Elektrolumineszenzvorrichtung nach Anspruch 9,
dadurch gekennzeichnet,
daß das Ausgangsmaterial (37) aus Alkalimetall, Erdalkalimetall oder einer
Zusammensetzung derselben besteht.
11. Elektrolumineszenzvorrichtung nach Anspruch 9,
dadurch gekennzeichnet,
daß das Ausgangsmaterial (37) aus Barium (Ba) und/oder Magnesium (Mg)
und/oder Kalzium (Ca) besteht.
12. Elektrolumineszenzvorrichtung nach Anspruch 9,
dadurch gekennzeichnet,
daß der gasförmige Reaktant (355) aus Sauerstoff besteht.
13. Elektrolumineszenzvorrichtung nach Anspruch 9,
dadurch gekennzeichnet,
daß der trocknende Film (49) aus Bariumoxid (BaO) und/oder Magnesiumoxid
(MgO) und/oder Kalziumoxid (CaO) besteht.
14. Elektrolumineszenzvorrichtung nach Anspruch 9,
dadurch gekennzeichnet,
daß eine Abdeckschicht (48) die freiliegenden Oberflächenabschnitte des
Substrates (41), der transparenten Elektrode (43), der organischen Schicht (45),
der Gegenelektrode (47) und des trocknenden Filmes (49) bedeckt.
15. Elektrolumineszenzvorrichtung mit einem trocknenden Film (49),
gekennzeichnet durch
ein Substrat (41),
mindestens eine transparente Elektrode (43), die auf der Oberfläche des Substrates (41) ausgebildet ist,
eine organische Schicht (45), die auf der Oberfläche der transparenten Elektrode (43) ausgebildet ist,
eine Gegenelektrode (47), die auf der Oberfläche der organischen Schicht (45) ausgebildet ist, und
einen Feuchtigkeit absorbierenden Film (49), der auf der Oberfläche der Gegenelektrode (47) ausgebildet ist.
ein Substrat (41),
mindestens eine transparente Elektrode (43), die auf der Oberfläche des Substrates (41) ausgebildet ist,
eine organische Schicht (45), die auf der Oberfläche der transparenten Elektrode (43) ausgebildet ist,
eine Gegenelektrode (47), die auf der Oberfläche der organischen Schicht (45) ausgebildet ist, und
einen Feuchtigkeit absorbierenden Film (49), der auf der Oberfläche der Gegenelektrode (47) ausgebildet ist.
16. Organische Elektrolumineszenzvorrichtung nach Anspruch 15,
dadurch gekennzeichnet,
daß der trocknende Film (49) aus Bariumoxid (BaO) und/oder Magnesiumoxid
(MgO) und/oder Kalziumoxid (CaO) zusammengesetzt ist.
17. Organische Elektrolumineszenzvorrichtung nach Anspruch 15,
dadurch gekennzeichnet,
daß eine Abdeckschicht (48) die freiliegenden Oberflächenabschnitte des
Substrates (41), der transparenten Elektrode (43), der organischen Schicht (45),
der Gegenelektrode (47) und des Feuchtigkeit absorbierenden Filmes (49)
bedeckt.
18. Verfahren zur Herstellung eines trocknenden Filmes (49),
gekennzeichnet durch die Verfahrensschritte:
Zurverfügungstellung eines Ausgangsmaterials (37) zur Reaktion mit einem gasförmigen Reaktanten (355) und Ausbildung eines trocknenden Filmes (47) durch die Reaktion des gasförmigen Reaktanten mit dem Ausgangsmaterial auf der Oberfläche einer Vorrichtung.
Zurverfügungstellung eines Ausgangsmaterials (37) zur Reaktion mit einem gasförmigen Reaktanten (355) und Ausbildung eines trocknenden Filmes (47) durch die Reaktion des gasförmigen Reaktanten mit dem Ausgangsmaterial auf der Oberfläche einer Vorrichtung.
19. Verfahren nach Anspruch 18,
dadurch gekennzeichnet,
daß als Ausgangsmaterial (37) Alkalimetall, Erdalkalimetall oder eine
Zusammensetzung derselben verwendet wird.
20. Verfahren nach Anspruch 18,
dadurch gekennzeichnet,
daß als Ausgangsmaterial (37) Barium (Ba) und/oder Magnesium (Mg) und/oder
Kalzium (Ca) verwendet wird.
21. Verfahren nach Anspruch 18,
dadurch gekennzeichnet,
daß als gasförmiger Reaktant (355) Sauerstoff verwendet wird.
22. Verfahren nach Anspruch 18,
dadurch gekennzeichnet,
daß der trocknende Film (49) aus Bariumoxid (BaO) und/oder Magnesiumoxid
(MgO) und/oder Kalziumoxid (CaO) zusammengesetzt wird.
23. Verfahren nach Anspruch 18,
dadurch gekennzeichnet,
daß der trocknende Film (49) auf der Oberfläche der Vorrichtung in einer
Kammer (31) ausgebildet wird, wobei der gasförmige Reaktant (355) durch eine
Quelle (35) für den gasförmigen Reaktanten geliefert wird und in einen
Strömungspfad (32) hin zu einem Strömungskanal (375) strömt, durch den das
Ausgangsmaterial (37) strömt.
24. Verfahren nach Anspruch 18,
dadurch gekennzeichnet,
daß ein Isolierelement (33) an der Schmalseite der Vorrichtung angebracht wird.
25. Verfahren nach Anspruch 18,
dadurch gekennzeichnet,
daß das Ausgangsmaterial (37) durch Verdampfen oder Kathodenzerstäuben zur
Vorrichtung geleitet wird.
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