JP2003272836A - 吸湿薄膜を具えた発光装置及び形成する吸湿薄膜の製造方法 - Google Patents
吸湿薄膜を具えた発光装置及び形成する吸湿薄膜の製造方法Info
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-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
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- H—ELECTRICITY
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- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
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- H10K50/84—Passivation; Containers; Encapsulations
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 吸湿薄膜を具えた発光装置及び形成する吸湿
薄膜の製造方法。 【解決手段】 基板上に順に、下部電極、発光層及び対
向電極を形成した後、作業室内に入れ、作業室内にフィ
ードチャネルを設け、バリウム、マグネシウム或いはカ
ルシウムをフィードチャネルにより対向電極に向け、フ
ィードチャネル内に適量の酸素ガスを存在させ、該酸素
ガスがバリウム、マグネシウム或いはカルシウムを対向
電極表面に形成させたい時に、バリウム、マグネシウム
或いはカルシウムと化合作用を起こし、酸化バリウム、
酸化マグネシウム或いは酸化カルシウムの吸湿薄膜を発
生し、且つ自然に対向電極表面に形成し、吸湿薄膜が隔
離密封層内に存在する水分湿気を吸収でき、これにより
水分が有機層に影響或いは損害を与えないようにし、ダ
ークポイントの発生を抑制し、発光装置の作業の信頼度
を確保する。
薄膜の製造方法。 【解決手段】 基板上に順に、下部電極、発光層及び対
向電極を形成した後、作業室内に入れ、作業室内にフィ
ードチャネルを設け、バリウム、マグネシウム或いはカ
ルシウムをフィードチャネルにより対向電極に向け、フ
ィードチャネル内に適量の酸素ガスを存在させ、該酸素
ガスがバリウム、マグネシウム或いはカルシウムを対向
電極表面に形成させたい時に、バリウム、マグネシウム
或いはカルシウムと化合作用を起こし、酸化バリウム、
酸化マグネシウム或いは酸化カルシウムの吸湿薄膜を発
生し、且つ自然に対向電極表面に形成し、吸湿薄膜が隔
離密封層内に存在する水分湿気を吸収でき、これにより
水分が有機層に影響或いは損害を与えないようにし、ダ
ークポイントの発生を抑制し、発光装置の作業の信頼度
を確保する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は一種の吸湿薄膜を具
えた発光装置及び形成する吸湿薄膜の製造方法に係り、
特に、バリウム、マグネシウム或いはカルシウムを対向
電極表面に蒸着する時に更に酸素ガスと化合作用を起こ
させて酸化バリウム、酸化マグネシウム或いは酸化カル
シウムの吸湿薄膜を発生させ、且つ自然に対向電極表面
に形成し、これにより、ダークポイント抑制と発光装置
の作業の信頼性を確保できるようにする、吸湿薄膜を具
えた発光装置及び形成する吸湿薄膜の製造方法に関す
る。
えた発光装置及び形成する吸湿薄膜の製造方法に係り、
特に、バリウム、マグネシウム或いはカルシウムを対向
電極表面に蒸着する時に更に酸素ガスと化合作用を起こ
させて酸化バリウム、酸化マグネシウム或いは酸化カル
シウムの吸湿薄膜を発生させ、且つ自然に対向電極表面
に形成し、これにより、ダークポイント抑制と発光装置
の作業の信頼性を確保できるようにする、吸湿薄膜を具
えた発光装置及び形成する吸湿薄膜の製造方法に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】有機ＥＬ装置（ｏｒｇａｎｉｃ ｅｌｅ
ｃｔｒｏｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｔ ｄｅｖｉｃｅ）は、
大きな視野角度、低い応答時間、薄いディスプレイの厚
さ、低電力消耗、簡単な製造工程、耐衝撃、バックライ
ト不要、及びフルカラー光源を発射できるという長所を
有し、このため新時代の表示パネルにあって各方面の注
目を集め、使用されている。
ｃｔｒｏｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｔ ｄｅｖｉｃｅ）は、
大きな視野角度、低い応答時間、薄いディスプレイの厚
さ、低電力消耗、簡単な製造工程、耐衝撃、バックライ
ト不要、及びフルカラー光源を発射できるという長所を
有し、このため新時代の表示パネルにあって各方面の注
目を集め、使用されている。
【０００３】図１は周知の有機ＥＬ装置の構造断面図で
あり、それは基板１１上に、下部電極１２（ｔｒａｎｓ
ｐａｒｅｎｔ ｅｌｅｃｔｒｏｄｅ）が形成され、且つ
下部電極１１の適当な位置に、順に蒸着により、ホール
注入層（ｈｏｌｅ ｉｎｊｅｃｔｉｏｎ ｌａｙｅ
ｒ）、ホール伝送層（ｈｏｌｅ ｔｒａｎｓｐｏｒｔ
ｌａｙｅｒ）、有機発射層（ｏｒｇａｎｉｃ ｅｍｉｔ
ｔｉｎｇ ｌａｙｅｒ）或いは電子伝送層（ｅｌｅｃｔ
ｒｏｎ ｔｒａｎｓｐｏｒｔ ｌａｙｅｒ）を含む有機
層１３、対向電極１４（ｏｐｐｏｓｅｄ ｅｌｅｃｔｒ
ｏｄｅ）、及び隔離密封ケース１５が形成されている。
有機ＥＬ発光装置は、二つの電極１１、１４が個別に発
生する電子或いは正孔を有機層１３内に結合させて有機
発射層を励起して光源を発射し、この過程中にあって熱
の発生を防止することはできず、この熱が隔離密封ケー
ス１５内の水分（ｍｏｉｓｔｕｒｅ）と結合すると、有
機層１３表面に酸化現象が形成され及びダークポイント
（ｄａｒｋ ｐｏｉｔ）が発生する。このダークポイン
トの存在は有機ＥＬ装置の発光強度と発光均一性の発光
品質に影響を与え、厳重な場合は大幅に有機ＥＬ装置の
使用寿命を短縮した。ダークポイントの発生する顕像欠
点を解決するため、業界では各種の有機ＥＬ装置の構造
を研究開発しており、例えば日本特許第ＪＰ−Ａ−３６
３８９０号或いは第ＪＰ−Ａ−５−１１４４８６号に記
載のものは、隔離密封ケース１５内に液体炭化フッ素
（ｌｉｑｕｉｄ ｆｌｕｏｒｉｎａｔｅｄ ｃａｒｂｏ
ｎ）を入れ、これにより有効に発光時に発生する熱を除
去している。また日本特許第ＪＰ−Ａ−５−４１２８１
号に記載の技術によると、隔離密封ケース１５内にあっ
て、合成ゼオライト（ｓｙｎｔｈｅｔｉｃ ｚｅｏｌｉ
ｔｅ）等の液体脱水剤（ｄｅｈｙｄｒａｔｉｎｇ ａｇ
ｅｎｔ）を液体炭化フッ素中に混合し、並びにこれによ
り装置周辺の水分を中和除去するようにしている。
あり、それは基板１１上に、下部電極１２（ｔｒａｎｓ
ｐａｒｅｎｔ ｅｌｅｃｔｒｏｄｅ）が形成され、且つ
下部電極１１の適当な位置に、順に蒸着により、ホール
注入層（ｈｏｌｅ ｉｎｊｅｃｔｉｏｎ ｌａｙｅ
ｒ）、ホール伝送層（ｈｏｌｅ ｔｒａｎｓｐｏｒｔ
ｌａｙｅｒ）、有機発射層（ｏｒｇａｎｉｃ ｅｍｉｔ
ｔｉｎｇ ｌａｙｅｒ）或いは電子伝送層（ｅｌｅｃｔ
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ｏｄｅ）、及び隔離密封ケース１５が形成されている。
有機ＥＬ発光装置は、二つの電極１１、１４が個別に発
生する電子或いは正孔を有機層１３内に結合させて有機
発射層を励起して光源を発射し、この過程中にあって熱
の発生を防止することはできず、この熱が隔離密封ケー
ス１５内の水分（ｍｏｉｓｔｕｒｅ）と結合すると、有
機層１３表面に酸化現象が形成され及びダークポイント
（ｄａｒｋ ｐｏｉｔ）が発生する。このダークポイン
トの存在は有機ＥＬ装置の発光強度と発光均一性の発光
品質に影響を与え、厳重な場合は大幅に有機ＥＬ装置の
使用寿命を短縮した。ダークポイントの発生する顕像欠
点を解決するため、業界では各種の有機ＥＬ装置の構造
を研究開発しており、例えば日本特許第ＪＰ−Ａ−３６
３８９０号或いは第ＪＰ−Ａ−５−１１４４８６号に記
載のものは、隔離密封ケース１５内に液体炭化フッ素
（ｌｉｑｕｉｄ ｆｌｕｏｒｉｎａｔｅｄ ｃａｒｂｏ
ｎ）を入れ、これにより有効に発光時に発生する熱を除
去している。また日本特許第ＪＰ−Ａ−５−４１２８１
号に記載の技術によると、隔離密封ケース１５内にあっ
て、合成ゼオライト（ｓｙｎｔｈｅｔｉｃ ｚｅｏｌｉ
ｔｅ）等の液体脱水剤（ｄｅｈｙｄｒａｔｉｎｇ ａｇ
ｅｎｔ）を液体炭化フッ素中に混合し、並びにこれによ
り装置周辺の水分を中和除去するようにしている。
【０００４】上述の各特許は、いずれもダークポイント
の発生に対してそれを減らす効果を有している。しか
し、使用される炭化フッ素等の脱水剤はいずれも液体と
して存在し、工程上、一定の困難があり、ＩＣの整合と
製造コストの削減には不利であった。
の発生に対してそれを減らす効果を有している。しか
し、使用される炭化フッ素等の脱水剤はいずれも液体と
して存在し、工程上、一定の困難があり、ＩＣの整合と
製造コストの削減には不利であった。
【０００５】このため、第２種の有機ＥＬ装置の構造が
あり、それは図２に示される米国特許第５，８８２，７
６１号に記載の構造であり、それは、吸湿薄膜１７（ｄ
ｒｙｉｎｇ ｆｉｌｍ）を隔離密封ケース（ｓｅａｌｉ
ｎｇ ｃａｓｅ）１５の内表面に固定し、且つ対向電極
１４と内部間隙（ｉｎｔｅｒｎａｌ ｓｐａｃｅ）１９
を形成し、個体形式で存在する吸湿薄膜１７により隔離
密封ケース１５内に存在する水分を吸収し、ダークポイ
ント発生を抑制する効果を達成する。
あり、それは図２に示される米国特許第５，８８２，７
６１号に記載の構造であり、それは、吸湿薄膜１７（ｄ
ｒｙｉｎｇ ｆｉｌｍ）を隔離密封ケース（ｓｅａｌｉ
ｎｇ ｃａｓｅ）１５の内表面に固定し、且つ対向電極
１４と内部間隙（ｉｎｔｅｒｎａｌ ｓｐａｃｅ）１９
を形成し、個体形式で存在する吸湿薄膜１７により隔離
密封ケース１５内に存在する水分を吸収し、ダークポイ
ント発生を抑制する効果を達成する。
【０００６】しかしこの特許は前述の従来の技術の一部
の欠点を解決するが、このような発光装置の技術中には
尚も以下のような欠点があった。 １．吸湿薄膜が有機層及び対向電極の垂直延伸方向に固
定され、もし装置が外力の衝撃を受けて吸湿薄膜が脱落
すると、脱落の作用力により直接対向電極或いは有機層
に衝突し、装置を損傷するだけでなく、その使用寿命を
短縮した。 ２．吸湿薄膜を対向電極表面に設けることができない最
も主要な原因は吸湿薄膜を対向電極表面に形成する時、
その作業温度が高すぎることにある。テストによるとそ
の作業温度はいずれも２０００℃以上であり、このよう
な高温が厳重に有機層の作業信頼性及び生産の歩留りに
影響を与えた。 ３．隔離密封ケースのケース体に先行して吸湿薄膜を設
け、さらに発光装置の周縁に取り付ける方法が利用され
ているが、これは製造工程が煩瑣であり、且つ装置の体
積を有効に縮小できない。
の欠点を解決するが、このような発光装置の技術中には
尚も以下のような欠点があった。 １．吸湿薄膜が有機層及び対向電極の垂直延伸方向に固
定され、もし装置が外力の衝撃を受けて吸湿薄膜が脱落
すると、脱落の作用力により直接対向電極或いは有機層
に衝突し、装置を損傷するだけでなく、その使用寿命を
短縮した。 ２．吸湿薄膜を対向電極表面に設けることができない最
も主要な原因は吸湿薄膜を対向電極表面に形成する時、
その作業温度が高すぎることにある。テストによるとそ
の作業温度はいずれも２０００℃以上であり、このよう
な高温が厳重に有機層の作業信頼性及び生産の歩留りに
影響を与えた。 ３．隔離密封ケースのケース体に先行して吸湿薄膜を設
け、さらに発光装置の周縁に取り付ける方法が利用され
ているが、これは製造工程が煩瑣であり、且つ装置の体
積を有効に縮小できない。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】このため、上述の各種
の周知の発光装置の発生する問題に対して、新規な解決
方法を提供し、吸湿薄膜を直接対向電極表面に形成でき
るようにし、有機層の作業信頼性に影響或いは損害を及
ぼさず、また有効にダークポイントの発生を抑制でき、
使用寿命を延長できるようにすることが、本発明の重点
である。
の周知の発光装置の発生する問題に対して、新規な解決
方法を提供し、吸湿薄膜を直接対向電極表面に形成でき
るようにし、有機層の作業信頼性に影響或いは損害を及
ぼさず、また有効にダークポイントの発生を抑制でき、
使用寿命を延長できるようにすることが、本発明の重点
である。
【０００８】本発明の主要な目的は、一種の吸湿薄膜の
製造方法を提供することにあり、該方法によると、バリ
ウム、マグネシウム或いはカルシウムの形成したい物質
を、対向電極表面に形成したい時、さらに酸素ガスと化
合作用を起こさせ、並びに自然に対向電極表面に形成
し、これにより大幅に製造時の作業温度を下げ、発光装
置の作業信頼性を確保し、また、有効に製品の歩留りを
アップする。
製造方法を提供することにあり、該方法によると、バリ
ウム、マグネシウム或いはカルシウムの形成したい物質
を、対向電極表面に形成したい時、さらに酸素ガスと化
合作用を起こさせ、並びに自然に対向電極表面に形成
し、これにより大幅に製造時の作業温度を下げ、発光装
置の作業信頼性を確保し、また、有効に製品の歩留りを
アップする。
【０００９】本発明の次の目的は、一種の吸湿薄膜を具
えた発光装置を提供することにあり、それは、大幅に工
程温度を下げた状況にあって、吸湿薄膜が自然に対向電
極表面に形成され、吸湿薄膜が外力の衝撃を受けて脱落
する時の発光装置に対する損壊の恐れがなく、また発光
装置内の乾燥環境を確保でき、ダークポイントの発生を
抑制し、発光装置の使用寿命を延長した装置である。
えた発光装置を提供することにあり、それは、大幅に工
程温度を下げた状況にあって、吸湿薄膜が自然に対向電
極表面に形成され、吸湿薄膜が外力の衝撃を受けて脱落
する時の発光装置に対する損壊の恐れがなく、また発光
装置内の乾燥環境を確保でき、ダークポイントの発生を
抑制し、発光装置の使用寿命を延長した装置である。
【００１０】本発明のまた一つの目的は、一種の吸湿薄
膜を具えた発光装置を提供することにあり、それは、吸
湿薄膜が自然に対向電極表面に形成されたことにより、
製造工程を簡素化して製造コスト支出を減らし、また、
大幅に製品体積を減らした装置である。
膜を具えた発光装置を提供することにあり、それは、吸
湿薄膜が自然に対向電極表面に形成されたことにより、
製造工程を簡素化して製造コスト支出を減らし、また、
大幅に製品体積を減らした装置である。
【００１１】
【課題を解決するための手段】請求項１の発明は、吸湿
薄膜を具えた発光装置の製造方法において、基板上に順
に下部電極、発光層及び対向電極を形成し、形成待機物
質をフィードチャネルで対向電極に対向させ、フィード
チャネル内に適当なガスを存在させ、形成待機物質を対
向電極表面に形成したい時に、該ガスを該形成待機物質
と作用させて吸湿薄膜を形成させ、これにより吸湿薄膜
を対向電極表面に自然形成させることを特徴とする、吸
湿薄膜を具えた発光装置の製造方法としている。請求項
２の発明は、請求項１に記載の吸湿薄膜を具えた発光装
置の製造方法において、形成待機物質を、アルカリ金
属、アルカリ土金属及びその組合せ物の一つより選択す
ることを特徴とする、吸湿薄膜を具えた発光装置の製造
方法としている。請求項３の発明は、請求項１に記載の
吸湿薄膜を具えた発光装置の製造方法において、形成待
機物質を、バリウム、マグネシウム或いはカルシウム及
びその組合せ物の一つより選択することを特徴とする、
吸湿薄膜を具えた発光装置の製造方法としている。請求
項４の発明は、請求項１に記載の吸湿薄膜を具えた発光
装置の製造方法において、ガスを酸素ガスとすることを
特徴とする、吸湿薄膜を具えた発光装置の製造方法とし
ている。請求項５の発明は、請求項１に記載の吸湿薄膜
を具えた発光装置の製造方法において、吸湿薄膜を、酸
化バリウム、酸化マグネシウム或いは酸化カルシウム及
びその組合せ物より選択することを特徴とする、吸湿薄
膜を具えた発光装置の製造方法としている。請求項６の
発明は、請求項１に記載の吸湿薄膜を具えた発光装置の
製造方法において、吸湿薄膜を作業室により対向電極表
面に形成し、該作業室内にあってガスフィードチャネル
をフィードチャネルに連設し、並びにこれによりガスフ
ィーダ内に存在するガスをフィードチャネルに提供する
ことを特徴とする、吸湿薄膜を具えた発光装置の製造方
法としている。請求項７の発明は、請求項６に記載の吸
湿薄膜を具えた発光装置の製造方法において、作業室内
に対向電極両側の近隣に位置する少なくとも一つの隔離
リブを設けたことを特徴とする、吸湿薄膜を具えた発光
装置の製造方法としている。請求項８の発明は、請求項
１に記載の吸湿薄膜を具えた発光装置の製造方法におい
て、形成待機物質を蒸着或いはスパッタのいずれかの方
式でフィードチャネルに進入させることを特徴とする、
吸湿薄膜を具えた発光装置の製造方法としている。請求
項９の発明は、吸湿薄膜を具えた発光装置において、基
板と、該基板表面に形成された少なくとも一つの下部電
極とされ、一部表面に有機層が横設され、また、有機層
の表面に対向電極が設けられた、上記下部電極と、形成
待機物質を対向電極表面に形成したい時に、形成待機物
質にガスを作用させることにより、該対向電極表面に自
然形成される、吸湿薄膜と、を具えたことを特徴とす
る、吸湿薄膜を具えた発光装置としている。請求項１０
の発明は、請求項９に記載の吸湿薄膜を具えた発光装置
において、形成待機物質を、アルカリ金属、アルカリ土
金属及びその組合せ物の一つより選択することを特徴と
する、吸湿薄膜を具えた発光装置としている。請求項１
１の発明は、請求項９に記載の吸湿薄膜を具えた発光装
置において、形成待機物質を、バリウム、マグネシウム
或いはカルシウム及びその組合せ物の一つより選択する
ことを特徴とする、吸湿薄膜を具えた発光装置としてい
る。請求項１２の発明は、請求項９に記載の吸湿薄膜を
具えた発光装置において、ガスを酸素ガスとすることを
特徴とする、吸湿薄膜を具えた発光装置としている。請
求項１３の発明は、請求項９に記載の吸湿薄膜を具えた
発光装置において、吸湿薄膜を、酸化バリウム、酸化マ
グネシウム或いは酸化カルシウム及びその組合せ物より
選択することを特徴とする、吸湿薄膜を具えた発光装置
としている。請求項１４の発明は、請求項９に記載の吸
湿薄膜を具えた発光装置において、基板、下部電極、有
機層、対向電極及び吸湿薄膜の表面に隔離密封層を具え
たことを特徴とする、吸湿薄膜を具えた発光装置として
いる。請求項１５の発明は、吸湿薄膜を具えた発光装置
において、基板と、該基板表面に形成された少なくとも
一つの下部電極とされ、一部表面に有機層が横設され、
また、有機層の表面に対向電極が設けられた、上記下部
電極と、該対向電極表面に設けられて水分、湿気を吸収
する機能を有する吸湿薄膜と、を具えたことを特徴とす
る、吸湿薄膜を具えた発光装置としている。請求項１６
の発明は、請求項１５に記載の吸湿薄膜を具えた発光装
置において、吸湿薄膜を、酸化バリウム、酸化マグネシ
ウム或いは酸化カルシウム及びその組合せ物より選択形
成したことを特徴とする、吸湿薄膜を具えた発光装置と
している。請求項１７の発明は、請求項１５に記載の吸
湿薄膜を具えた発光装置において、基板、下部電極、有
機層、対向電極及び吸湿薄膜の表面に隔離密封層を具え
たことを特徴とする、吸湿薄膜を具えた発光装置として
いる。請求項１８の発明は、吸湿薄膜形成の製造方法に
おいて、形成待機物質をフィードチャネルで作用待機装
置に対向させ、フィードチャネル内に適量のガスを存在
させ、形成待機物質を作用待機装置表面に形成したい時
に、該ガスを該形成待機物質と作用させて吸湿薄膜を発
生させ、これにより吸湿薄膜を作用待機装置の表面に自
然形成させることを特徴とする、吸湿薄膜形成の製造方
法としている。請求項１９の発明は、請求項１８に記載
の吸湿薄膜形成の製造方法において、形成待機物質を、
アルカリ金属、アルカリ土金属及びその組合せ物の一つ
より選択することを特徴とする、吸湿薄膜形成の製造方
法としている。請求項２０の発明は、請求項１８に記載
の吸湿薄膜形成の製造方法において、形成待機物質を、
バリウム、マグネシウム或いはカルシウム及びその組合
せ物の一つより選択することを特徴とする、吸湿薄膜形
成の製造方法としている。請求項２１の発明は、請求項
１８に記載の吸湿薄膜形成の製造方法において、ガスを
酸素ガスとすることを特徴とする、吸湿薄膜形成の製造
方法としている。請求項２２の発明は、請求項１８に記
載の吸湿薄膜形成の製造方法において、吸湿薄膜を、酸
化バリウム、酸化マグネシウム或いは酸化カルシウム及
びその組合せ物より選択することを特徴とする、吸湿薄
膜形成の製造方法としている。請求項２３の発明は、請
求項１８に記載の吸湿薄膜形成の製造方法において、吸
湿薄膜を作業室により対向電極表面に形成し、該作業室
内にあってガスフィードチャネルをフィードチャネルに
連設し、並びにこれによりガスフィーダ内に存在するガ
スをフィードチャネル内に提供することを特徴とする、
吸湿薄膜形成の製造方法としている。請求項２４の発明
は、請求項１８に記載の吸湿薄膜形成の製造方法におい
て、作業室内に作業待機装置両側の近隣に位置する少な
くとも一つの隔離リブを設けたことを特徴とする、吸湿
薄膜形成の製造方法としている。請求項２５の発明は、
請求項１８に記載の吸湿薄膜形成の製造方法において、
形成待機物質を蒸着或いはスパッタのいずれかの方式で
フィードチャネル内に進入させることを特徴とする、吸
湿薄膜形成の製造方法としている。
薄膜を具えた発光装置の製造方法において、基板上に順
に下部電極、発光層及び対向電極を形成し、形成待機物
質をフィードチャネルで対向電極に対向させ、フィード
チャネル内に適当なガスを存在させ、形成待機物質を対
向電極表面に形成したい時に、該ガスを該形成待機物質
と作用させて吸湿薄膜を形成させ、これにより吸湿薄膜
を対向電極表面に自然形成させることを特徴とする、吸
湿薄膜を具えた発光装置の製造方法としている。請求項
２の発明は、請求項１に記載の吸湿薄膜を具えた発光装
置の製造方法において、形成待機物質を、アルカリ金
属、アルカリ土金属及びその組合せ物の一つより選択す
ることを特徴とする、吸湿薄膜を具えた発光装置の製造
方法としている。請求項３の発明は、請求項１に記載の
吸湿薄膜を具えた発光装置の製造方法において、形成待
機物質を、バリウム、マグネシウム或いはカルシウム及
びその組合せ物の一つより選択することを特徴とする、
吸湿薄膜を具えた発光装置の製造方法としている。請求
項４の発明は、請求項１に記載の吸湿薄膜を具えた発光
装置の製造方法において、ガスを酸素ガスとすることを
特徴とする、吸湿薄膜を具えた発光装置の製造方法とし
ている。請求項５の発明は、請求項１に記載の吸湿薄膜
を具えた発光装置の製造方法において、吸湿薄膜を、酸
化バリウム、酸化マグネシウム或いは酸化カルシウム及
びその組合せ物より選択することを特徴とする、吸湿薄
膜を具えた発光装置の製造方法としている。請求項６の
発明は、請求項１に記載の吸湿薄膜を具えた発光装置の
製造方法において、吸湿薄膜を作業室により対向電極表
面に形成し、該作業室内にあってガスフィードチャネル
をフィードチャネルに連設し、並びにこれによりガスフ
ィーダ内に存在するガスをフィードチャネルに提供する
ことを特徴とする、吸湿薄膜を具えた発光装置の製造方
法としている。請求項７の発明は、請求項６に記載の吸
湿薄膜を具えた発光装置の製造方法において、作業室内
に対向電極両側の近隣に位置する少なくとも一つの隔離
リブを設けたことを特徴とする、吸湿薄膜を具えた発光
装置の製造方法としている。請求項８の発明は、請求項
１に記載の吸湿薄膜を具えた発光装置の製造方法におい
て、形成待機物質を蒸着或いはスパッタのいずれかの方
式でフィードチャネルに進入させることを特徴とする、
吸湿薄膜を具えた発光装置の製造方法としている。請求
項９の発明は、吸湿薄膜を具えた発光装置において、基
板と、該基板表面に形成された少なくとも一つの下部電
極とされ、一部表面に有機層が横設され、また、有機層
の表面に対向電極が設けられた、上記下部電極と、形成
待機物質を対向電極表面に形成したい時に、形成待機物
質にガスを作用させることにより、該対向電極表面に自
然形成される、吸湿薄膜と、を具えたことを特徴とす
る、吸湿薄膜を具えた発光装置としている。請求項１０
の発明は、請求項９に記載の吸湿薄膜を具えた発光装置
において、形成待機物質を、アルカリ金属、アルカリ土
金属及びその組合せ物の一つより選択することを特徴と
する、吸湿薄膜を具えた発光装置としている。請求項１
１の発明は、請求項９に記載の吸湿薄膜を具えた発光装
置において、形成待機物質を、バリウム、マグネシウム
或いはカルシウム及びその組合せ物の一つより選択する
ことを特徴とする、吸湿薄膜を具えた発光装置としてい
る。請求項１２の発明は、請求項９に記載の吸湿薄膜を
具えた発光装置において、ガスを酸素ガスとすることを
特徴とする、吸湿薄膜を具えた発光装置としている。請
求項１３の発明は、請求項９に記載の吸湿薄膜を具えた
発光装置において、吸湿薄膜を、酸化バリウム、酸化マ
グネシウム或いは酸化カルシウム及びその組合せ物より
選択することを特徴とする、吸湿薄膜を具えた発光装置
としている。請求項１４の発明は、請求項９に記載の吸
湿薄膜を具えた発光装置において、基板、下部電極、有
機層、対向電極及び吸湿薄膜の表面に隔離密封層を具え
たことを特徴とする、吸湿薄膜を具えた発光装置として
いる。請求項１５の発明は、吸湿薄膜を具えた発光装置
において、基板と、該基板表面に形成された少なくとも
一つの下部電極とされ、一部表面に有機層が横設され、
また、有機層の表面に対向電極が設けられた、上記下部
電極と、該対向電極表面に設けられて水分、湿気を吸収
する機能を有する吸湿薄膜と、を具えたことを特徴とす
る、吸湿薄膜を具えた発光装置としている。請求項１６
の発明は、請求項１５に記載の吸湿薄膜を具えた発光装
置において、吸湿薄膜を、酸化バリウム、酸化マグネシ
ウム或いは酸化カルシウム及びその組合せ物より選択形
成したことを特徴とする、吸湿薄膜を具えた発光装置と
している。請求項１７の発明は、請求項１５に記載の吸
湿薄膜を具えた発光装置において、基板、下部電極、有
機層、対向電極及び吸湿薄膜の表面に隔離密封層を具え
たことを特徴とする、吸湿薄膜を具えた発光装置として
いる。請求項１８の発明は、吸湿薄膜形成の製造方法に
おいて、形成待機物質をフィードチャネルで作用待機装
置に対向させ、フィードチャネル内に適量のガスを存在
させ、形成待機物質を作用待機装置表面に形成したい時
に、該ガスを該形成待機物質と作用させて吸湿薄膜を発
生させ、これにより吸湿薄膜を作用待機装置の表面に自
然形成させることを特徴とする、吸湿薄膜形成の製造方
法としている。請求項１９の発明は、請求項１８に記載
の吸湿薄膜形成の製造方法において、形成待機物質を、
アルカリ金属、アルカリ土金属及びその組合せ物の一つ
より選択することを特徴とする、吸湿薄膜形成の製造方
法としている。請求項２０の発明は、請求項１８に記載
の吸湿薄膜形成の製造方法において、形成待機物質を、
バリウム、マグネシウム或いはカルシウム及びその組合
せ物の一つより選択することを特徴とする、吸湿薄膜形
成の製造方法としている。請求項２１の発明は、請求項
１８に記載の吸湿薄膜形成の製造方法において、ガスを
酸素ガスとすることを特徴とする、吸湿薄膜形成の製造
方法としている。請求項２２の発明は、請求項１８に記
載の吸湿薄膜形成の製造方法において、吸湿薄膜を、酸
化バリウム、酸化マグネシウム或いは酸化カルシウム及
びその組合せ物より選択することを特徴とする、吸湿薄
膜形成の製造方法としている。請求項２３の発明は、請
求項１８に記載の吸湿薄膜形成の製造方法において、吸
湿薄膜を作業室により対向電極表面に形成し、該作業室
内にあってガスフィードチャネルをフィードチャネルに
連設し、並びにこれによりガスフィーダ内に存在するガ
スをフィードチャネル内に提供することを特徴とする、
吸湿薄膜形成の製造方法としている。請求項２４の発明
は、請求項１８に記載の吸湿薄膜形成の製造方法におい
て、作業室内に作業待機装置両側の近隣に位置する少な
くとも一つの隔離リブを設けたことを特徴とする、吸湿
薄膜形成の製造方法としている。請求項２５の発明は、
請求項１８に記載の吸湿薄膜形成の製造方法において、
形成待機物質を蒸着或いはスパッタのいずれかの方式で
フィードチャネル内に進入させることを特徴とする、吸
湿薄膜形成の製造方法としている。
【００１２】
【発明の実施の形態】図３及び図４はそれぞれ本発明の
好ましい実施例の吸湿薄膜形成時の工程表示図及び発光
装置の構造断面図である。図示されるように、まず、基
板４１の一部或いは全部の表面に少なくとも一つの透明
材料（例えばＩＴＯ、ＩＺＯ、或いはその他の透明薄金
属）で形成した下部電極４３を形成し、更に一般の蒸着
或いはスパッタ等の膜形成方式により下部電極４３の一
部表面に、順に、少なくとも一つの有機発射層を具えた
有機層４５と対向電極４７を形成する。その後、作業室
３１内に入れ、作業室３１内に、形成待機物質３７、例
えばアルカリ金属、或いはバリウム、マグネシウム或い
はカルシウムその他のアルカリ土金属を、放置する対応
地点及び角度が自然に形成するフィードチャネル３７５
により対向電極４７に対向するように、入れる。
好ましい実施例の吸湿薄膜形成時の工程表示図及び発光
装置の構造断面図である。図示されるように、まず、基
板４１の一部或いは全部の表面に少なくとも一つの透明
材料（例えばＩＴＯ、ＩＺＯ、或いはその他の透明薄金
属）で形成した下部電極４３を形成し、更に一般の蒸着
或いはスパッタ等の膜形成方式により下部電極４３の一
部表面に、順に、少なくとも一つの有機発射層を具えた
有機層４５と対向電極４７を形成する。その後、作業室
３１内に入れ、作業室３１内に、形成待機物質３７、例
えばアルカリ金属、或いはバリウム、マグネシウム或い
はカルシウムその他のアルカリ土金属を、放置する対応
地点及び角度が自然に形成するフィードチャネル３７５
により対向電極４７に対向するように、入れる。
【００１３】パワーサプライ３８で電源供給開始し、並
びに加熱装置３９により作業室３１内の作業温度を上げ
て形成待機物質３７に蒸着或いはスパッタ方式でフィー
ドチャネル３７５に向けて材料をシャワーさせる時、作
業室のガスフィーダ３５が作業室内でガス３５５が自然
に形成するガスフィードチャネル３２がフィードチャネ
ル３７５に向けて適量のガス３５５、例えば酸素ガスを
提供する。
びに加熱装置３９により作業室３１内の作業温度を上げ
て形成待機物質３７に蒸着或いはスパッタ方式でフィー
ドチャネル３７５に向けて材料をシャワーさせる時、作
業室のガスフィーダ３５が作業室内でガス３５５が自然
に形成するガスフィードチャネル３２がフィードチャネ
ル３７５に向けて適量のガス３５５、例えば酸素ガスを
提供する。
【００１４】酸素ガス３５５はバリウム、マグネシウム
或いはカルシウム３７が対向電極４７に形成される前
に、先行してバリウム、マグネシウム或いはカルシウム
と化合作用を起こし、水分、湿気を吸収する機能を有す
る酸化バリウム、酸化マグネシウム或いは酸化カルシウ
ムの吸湿薄膜４９となり、並びに自然に対向電極４７表
面に形成され、これは図４に示されるとおりである。
或いはカルシウム３７が対向電極４７に形成される前
に、先行してバリウム、マグネシウム或いはカルシウム
と化合作用を起こし、水分、湿気を吸収する機能を有す
る酸化バリウム、酸化マグネシウム或いは酸化カルシウ
ムの吸湿薄膜４９となり、並びに自然に対向電極４７表
面に形成され、これは図４に示されるとおりである。
【００１５】このような吸湿薄膜４７の材質が水分と結
合する時は、化学吸収（ｃｈｅｍｉａｌｌｙ ａｂｓｏ
ｒｂ）に属し、ゆえに一旦吸収後には水分子を再釈放す
ることがなく、これにより有機層４５周縁の乾燥環境要
求を確保し、ダークポイントの発生を抑制し、発光装置
の信頼性の確保と使用寿命の延長に大きく役立つ。
合する時は、化学吸収（ｃｈｅｍｉａｌｌｙ ａｂｓｏ
ｒｂ）に属し、ゆえに一旦吸収後には水分子を再釈放す
ることがなく、これにより有機層４５周縁の乾燥環境要
求を確保し、ダークポイントの発生を抑制し、発光装置
の信頼性の確保と使用寿命の延長に大きく役立つ。
【００１６】その後、さらに基板４１、下部電極４３、
有機層４５、対向電極４７及び吸湿薄膜４９の露出表面
に隔離密封ケース或いは隔離密封層４８を形成すれば、
吸湿薄膜４９を直接対向電極４７表面に形成した発光装
置が完成し、パッケージ等の製造フローを簡素化できる
だけでなく、有効に装置の体積を縮小できる。
有機層４５、対向電極４７及び吸湿薄膜４９の露出表面
に隔離密封ケース或いは隔離密封層４８を形成すれば、
吸湿薄膜４９を直接対向電極４７表面に形成した発光装
置が完成し、パッケージ等の製造フローを簡素化できる
だけでなく、有効に装置の体積を縮小できる。
【００１７】本発明は周知の技術とは異なり、酸化バリ
ウム、酸化マグネシウム或いは酸化カルシウム等の吸湿
薄膜４９製品を直接対向電極４７表面に蒸着或いはスパ
ッタし、バリウム、マグネシウム或いはカルシウムの形
成したい物質３７を先行して加熱処理し、並びに対向電
極４７の表面に形成する時にさらに酸素ガス３５５と化
合することにより、その作業温度を大幅に下げ、その作
業温度はテストによると僅かに４００℃程度であり、周
知の、製品を直接形成する作業温度２０００℃に較べ、
作業温度の低下は明らかであり、これにより、発光装置
有機層４５を損壊させない目的を達成する。
ウム、酸化マグネシウム或いは酸化カルシウム等の吸湿
薄膜４９製品を直接対向電極４７表面に蒸着或いはスパ
ッタし、バリウム、マグネシウム或いはカルシウムの形
成したい物質３７を先行して加熱処理し、並びに対向電
極４７の表面に形成する時にさらに酸素ガス３５５と化
合することにより、その作業温度を大幅に下げ、その作
業温度はテストによると僅かに４００℃程度であり、周
知の、製品を直接形成する作業温度２０００℃に較べ、
作業温度の低下は明らかであり、これにより、発光装置
有機層４５を損壊させない目的を達成する。
【００１８】当然、酸素ガス３５５の存在は有機層４５
に対して少なからぬ弊害があるため、作業室３１内の酸
素ガス３５５の供給の適量に注意しなければならないほ
か、作業室３１内に少なくとも一つの隔離リブ３３を、
対向電極４７の近隣にあって接触するように設け、吸湿
薄膜４７製造時に有効に酸素ガス３５５の有機層４５に
接触する確率を減らす。
に対して少なからぬ弊害があるため、作業室３１内の酸
素ガス３５５の供給の適量に注意しなければならないほ
か、作業室３１内に少なくとも一つの隔離リブ３３を、
対向電極４７の近隣にあって接触するように設け、吸湿
薄膜４７製造時に有効に酸素ガス３５５の有機層４５に
接触する確率を減らす。
【００１９】上述の実施例はいずれも発光装置を説明の
装置としているが、このような吸湿薄膜の製造方法は発
光装置（ＯＬＥＤ或いはＬＥＤ）に限られるわけではな
く、水分或いは高温が引き起こす作用により損害を受け
る装置或いは素子のいずれにも、本発明に記載の技術を
適用することができる。
装置としているが、このような吸湿薄膜の製造方法は発
光装置（ＯＬＥＤ或いはＬＥＤ）に限られるわけではな
く、水分或いは高温が引き起こす作用により損害を受け
る装置或いは素子のいずれにも、本発明に記載の技術を
適用することができる。
【００２０】
【発明の効果】総合すると、本発明は吸湿薄膜を具えた
発光装置及び形成する吸湿薄膜の製造方法を提供し、そ
れは、バリウム、マグネシウム或いはカルシウム等の物
質に、対向電極表面に蒸着させたい時に酸素ガスと化合
作用を形成させ、酸化バリウム、酸化マグネシウム或い
は酸化カルシウム等の吸湿薄膜を発生させ、且つ自然に
対向電極表面に形成させ、これによりダークポイントの
発生を抑制し発光装置の作業信頼度を確保する。ゆえに
本発明は新規性、進歩性及び産業上の利用価値を有する
発明であり、特許の要件を具備している。
発光装置及び形成する吸湿薄膜の製造方法を提供し、そ
れは、バリウム、マグネシウム或いはカルシウム等の物
質に、対向電極表面に蒸着させたい時に酸素ガスと化合
作用を形成させ、酸化バリウム、酸化マグネシウム或い
は酸化カルシウム等の吸湿薄膜を発生させ、且つ自然に
対向電極表面に形成させ、これによりダークポイントの
発生を抑制し発光装置の作業信頼度を確保する。ゆえに
本発明は新規性、進歩性及び産業上の利用価値を有する
発明であり、特許の要件を具備している。
【００２１】なお、以上の実施例は本発明の実施範囲を
限定するものではなく、本発明に基づきなしうる細部の
修飾或いは改変は、いずれも本発明の請求範囲に属する
ものとする。
限定するものではなく、本発明に基づきなしうる細部の
修飾或いは改変は、いずれも本発明の請求範囲に属する
ものとする。
【図１】周知の有機ＥＬ発光装置の構造断面図である。
【図２】もう一種の周知の有機ＥＬ発光装置の構造断面
図である。
図である。
【図３】本発明の好ましい実施例の吸湿薄膜形成時の工
程表示図である。
程表示図である。
【図４】本発明の好ましい実施例の構造断面図である。
１１ 基板 １２ 下部電極
１３ 有機層 １４ 対向電極
１５ 隔離密封ケース １７ 吸湿薄膜
１８ シールパッド １９ 内部間隙
３１ 作業室 ３２ ガスフィードチャネル
３３ 隔離リブ ３５ ガスフィーダ
３５５ ガス ３７ 形成待機金属
３７５ フィードチャネル ３８ パワーサプライ
３９ 加熱装置 ４１ 基板
４３ 下部電極 ４５ 有機層
４７ 対向電極 ４８ 隔離密封層
４９ 吸湿薄膜
フロントページの続き
(72)発明者 黄 彦士
台湾台中縣豐原市中正路695巷13號15樓
(72)発明者 林 三寶
台湾桃園縣中▲れき▼市民權路三段75巷61
弄26號
(72)発明者 莊 豐如
台湾新竹市竹光路78巷11弄23號
Ｆターム(参考） 3K007 AB08 AB11 AB13 AB18 BB05
DB03 FA01 FA02
Claims (25)
- 【請求項１】 吸湿薄膜を具えた発光装置の製造方法に
おいて、 基板上に順に下部電極、発光層及び対向電極を形成し、 形成待機物質をフィードチャネルで対向電極に対向さ
せ、フィードチャネル内に適当なガスを存在させ、形成
待機物質を対向電極表面に形成したい時に、該ガスを該
形成待機物質と作用させて吸湿薄膜を形成させ、これに
より吸湿薄膜を対向電極表面に自然形成させることを特
徴とする、吸湿薄膜を具えた発光装置の製造方法。 - 【請求項２】 請求項１に記載の吸湿薄膜を具えた発光
装置の製造方法において、形成待機物質を、アルカリ金
属、アルカリ土金属及びその組合せ物の一つより選択す
ることを特徴とする、吸湿薄膜を具えた発光装置の製造
方法。 - 【請求項３】 請求項１に記載の吸湿薄膜を具えた発光
装置の製造方法において、形成待機物質を、バリウム、
マグネシウム或いはカルシウム及びその組合せ物の一つ
より選択することを特徴とする、吸湿薄膜を具えた発光
装置の製造方法。 - 【請求項４】 請求項１に記載の吸湿薄膜を具えた発光
装置の製造方法において、ガスを酸素ガスとすることを
特徴とする、吸湿薄膜を具えた発光装置の製造方法。 - 【請求項５】 請求項１に記載の吸湿薄膜を具えた発光
装置の製造方法において、吸湿薄膜を、酸化バリウム、
酸化マグネシウム或いは酸化カルシウム及びその組合せ
物より選択することを特徴とする、吸湿薄膜を具えた発
光装置の製造方法。 - 【請求項６】 請求項１に記載の吸湿薄膜を具えた発光
装置の製造方法において、吸湿薄膜を作業室により対向
電極表面に形成し、該作業室内にあってガスフィードチ
ャネルをフィードチャネルに連設し、並びにこれにより
ガスフィーダ内に存在するガスをフィードチャネルに提
供することを特徴とする、吸湿薄膜を具えた発光装置の
製造方法。 - 【請求項７】 請求項６に記載の吸湿薄膜を具えた発光
装置の製造方法において、作業室内に対向電極両側の近
隣に位置する少なくとも一つの隔離リブを設けたことを
特徴とする、吸湿薄膜を具えた発光装置の製造方法。 - 【請求項８】 請求項１に記載の吸湿薄膜を具えた発光
装置の製造方法において、形成待機物質を蒸着或いはス
パッタのいずれかの方式でフィードチャネルに進入させ
ることを特徴とする、吸湿薄膜を具えた発光装置の製造
方法。 - 【請求項９】 吸湿薄膜を具えた発光装置において、 基板と、 該基板表面に形成された少なくとも一つの下部電極とさ
れ、一部表面に有機層が横設され、また、有機層の表面
に対向電極が設けられた、上記下部電極と、 形成待機物質を対向電極表面に形成したい時に、形成待
機物質にガスを作用させることにより、該対向電極表面
に自然形成される、吸湿薄膜と、 を具えたことを特徴とする、吸湿薄膜を具えた発光装
置。 - 【請求項１０】 請求項９に記載の吸湿薄膜を具えた発
光装置において、形成待機物質を、アルカリ金属、アル
カリ土金属及びその組合せ物の一つより選択することを
特徴とする、吸湿薄膜を具えた発光装置。 - 【請求項１１】 請求項９に記載の吸湿薄膜を具えた発
光装置において、形成待機物質を、バリウム、マグネシ
ウム或いはカルシウム及びその組合せ物の一つより選択
することを特徴とする、吸湿薄膜を具えた発光装置。 - 【請求項１２】 請求項９に記載の吸湿薄膜を具えた発
光装置において、ガスを酸素ガスとすることを特徴とす
る、吸湿薄膜を具えた発光装置。 - 【請求項１３】 請求項９に記載の吸湿薄膜を具えた発
光装置において、吸湿薄膜を、酸化バリウム、酸化マグ
ネシウム或いは酸化カルシウム及びその組合せ物より選
択することを特徴とする、吸湿薄膜を具えた発光装置。 - 【請求項１４】 請求項９に記載の吸湿薄膜を具えた発
光装置において、基板、下部電極、有機層、対向電極及
び吸湿薄膜の表面に隔離密封層を具えたことを特徴とす
る、吸湿薄膜を具えた発光装置。 - 【請求項１５】 吸湿薄膜を具えた発光装置において、 基板と、 該基板表面に形成された少なくとも一つの下部電極とさ
れ、一部表面に有機層が横設され、また、有機層の表面
に対向電極が設けられた、上記下部電極と、 該対向電極表面に設けられて水分、湿気を吸収する機能
を有する吸湿薄膜と、 を具えたことを特徴とする、吸湿薄膜を具えた発光装
置。 - 【請求項１６】 請求項１５に記載の吸湿薄膜を具えた
発光装置において、吸湿薄膜を、酸化バリウム、酸化マ
グネシウム或いは酸化カルシウム及びその組合せ物より
選択形成したことを特徴とする、吸湿薄膜を具えた発光
装置。 - 【請求項１７】 請求項１５に記載の吸湿薄膜を具えた
発光装置において、基板、下部電極、有機層、対向電極
及び吸湿薄膜の表面に隔離密封層を具えたことを特徴と
する、吸湿薄膜を具えた発光装置。 - 【請求項１８】 吸湿薄膜形成の製造方法において、 形成待機物質をフィードチャネルで作用待機装置に対向
させ、フィードチャネル内に適量のガスを存在させ、形
成待機物質を作用待機装置表面に形成したい時に、該ガ
スを該形成待機物質と作用させて吸湿薄膜を発生させ、
これにより吸湿薄膜を作用待機装置の表面に自然形成さ
せることを特徴とする、吸湿薄膜形成の製造方法。 - 【請求項１９】 請求項１８に記載の吸湿薄膜形成の製
造方法において、形成待機物質を、アルカリ金属、アル
カリ土金属及びその組合せ物の一つより選択することを
特徴とする、吸湿薄膜形成の製造方法。 - 【請求項２０】 請求項１８に記載の吸湿薄膜形成の製
造方法において、形成待機物質を、バリウム、マグネシ
ウム或いはカルシウム及びその組合せ物の一つより選択
することを特徴とする、吸湿薄膜形成の製造方法。 - 【請求項２１】 請求項１８に記載の吸湿薄膜形成の製
造方法において、ガスを酸素ガスとすることを特徴とす
る、吸湿薄膜形成の製造方法。 - 【請求項２２】 請求項１８に記載の吸湿薄膜形成の製
造方法において、吸湿薄膜を、酸化バリウム、酸化マグ
ネシウム或いは酸化カルシウム及びその組合せ物より選
択することを特徴とする、吸湿薄膜形成の製造方法。 - 【請求項２３】 請求項１８に記載の吸湿薄膜形成の製
造方法において、吸湿薄膜を作業室により対向電極表面
に形成し、該作業室内にあってガスフィードチャネルを
フィードチャネルに連設し、並びにこれによりガスフィ
ーダ内に存在するガスをフィードチャネル内に提供する
ことを特徴とする、吸湿薄膜形成の製造方法。 - 【請求項２４】 請求項１８に記載の吸湿薄膜形成の製
造方法において、作業室内に作業待機装置両側の近隣に
位置する少なくとも一つの隔離リブを設けたことを特徴
とする、吸湿薄膜形成の製造方法。 - 【請求項２５】 請求項１８に記載の吸湿薄膜形成の製
造方法において、形成待機物質を蒸着或いはスパッタの
いずれかの方式でフィードチャネル内に進入させること
を特徴とする、吸湿薄膜形成の製造方法。
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|---|---|---|---|
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